DE69200637T2 - System zur Reinigung von Argon. - Google Patents

System zur Reinigung von Argon.

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Description

    System zur Reinigung von Argon Technisches Gebiet
  • Diese Erfindung betrifft allgemein die Reinigung von Argon, und spezieller betrifft sie eine vor-Ort-Reinigung von Argon zwecks Rückführung und erneutem Gebrauch.
    • Stand der Technik
  • Argon wird bei verschiedenen Prozessen eingesetzt, bei welchen dessen chemisch inerte Natur, dessen spezifische physikalische Eigenschaften und dessen Preis, der im Vergleich zu jenem von anderen Edelgasen niedrig ist, den Gebrauch von Argon besonders vorteilhaft machen. Zum Beispiel wird Argon als ein Schutzgas oder Spülgas benutzt, als ein Wärmeübergangsmedium, zum Entgasen von reaktiven Verunreinigungen bei verschiedenen Metallverarbeitungsvorgangen und zum Zerstäuben von schmelzflüssigen Metallen in feines Pulver.
  • Obschon Argon bei viel höheren Konzentrationen als die anderer Edelgase in Luft enthalten ist und beträchtliche Volumina von Argon als ein Nebenprodukt der Sauerstoff- und Stickstoffbrzeugung mittels Luftzerlegung verfügbar sind, bieten die Argonkosten dennoch einen wesentlichen Anreiz, den erneuten Gebrauch zu maximieren. Daher wurden Systeme kommerziell verwirklicht, um Argon mittels Druckausgleich zwischen Gefäßen, Wiederaufdrücken und Rückführen -im allgemeinen mittels Teilchenabscheidung- zu konservieren.
  • Die Vorgänge, bei welchen Argon benutzt wird, erfordern jedoch, daß Teile des Systems periodisch der Umgebungsatmosphäre ausgesetzt werden. Bei niedrigem Druck oder unter Vakuum ausgeführte Verfahrensschritte sind einer potentiellen Luftinfiltration ausgesetzt. Außerdem können zu verarbeitende Werkstoffe verschiedene Verunreinigungen in Gasform abgeben. Daher besteht der Bedarf, das benutzte Argon zu reinigen, bevor es rückgeführt und erneut verwendet wird.
  • Der Betrieb von Systemen, bei welchen Argon eingesetzt wird, ist häufig diskontinuierlich, was zu periodischen Anforderungen für sehr hohe Durchflußmengen über relative kurze Zeitintervalle führt, während zu anderen Zeiten der Durchsatz sehr gering oder null ist. Es können Hochdruck-Aufnahmebehälter oder erneute Verflüssigung zwecks kompakter Lagerung benutzt werden, um diese Anforderungen zu erfüllen. Diese Bedingungen erschweren es, die gewünschte Beseitigung von Gasverunreinigungen an eine vernünftig bemessene Trennvorrichtung anzupassen.
  • Tieftemperaturdestillation und katalytische Verbrennung wurden für die Reinigung von Argon vorgeschlagen, um eine zusätzliche Argonkonservierung zu fördern. Die Verwirklichung und der Betrieb dieser beiden Verfahren sind jedoch kostenintensiv. Außerdem hängt der Entwurf eines Tieftemperatur-Destillationssystems im allgemeinen von dem maximalen momentanen Bedarf bezüglich der Verunreiniungspegel und der Durchflußmenge ab.
  • Von FP-A-0 240 270 ist ein einstufiges Verfahren zum Reinigen eines inerten Gases, z.B. Argon, bekannt, das als Verunreinigungen Kohlenmonoxid, Kohlendioxid. Sauerstoff, Wasserstoff und Wasser enthält, wobei dieses Verfahren darin besteht, daß der Gasstrom nnt einem Bett aus teilchenförmigem Material in Kontakt gebracht wird, welches elementares Nickel enthält. Diese Druckschrift offenbart außerdem bekannte Verfahren, welche die Adsorption von Sauerstoff an einem Zeolithbett bei kryogenen Temperaturen bzw. die Adsorption von Kohlendioxid an einem Zeolithbett bei Umgebungstemperaturen beinhalten.
  • Es ist eine Aufgabe dieser Erfindung, ein verbessertes Verfähren und eine Vorrichtung zum Reinigen von Argon zu schaffen, welche bei der Beseitigung von Verunreinigungen von einem Argonstrom, der verschiedene Verunreinigungen enthält, hoch flexibel sind.
    • Zusammenfassnng der Erfindung
  • Die obige und andere Aufgaben, die Fachleuten aus dem Lesen dieser Beschreibung offenbar werden. werden durch die vorliegende Erfindung gelöst. wobei ein Aspekt derselben lautet:
  • Ein Verfahren zur Reinigung von Argon, bei dem:
  • (A) ein gasförmiger Argonstrom vorgesehen wird, der eine oder mehrere Verunreinigungen in Form von Sauerstoff, Stickstoff, Wasserdampf, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und Kohlenwasserstoff enthält;
  • (B) und danach der gasförmige Argonstrom aus dem Verfahrensschritt (A) durch ein Molekuiarsieb-Adsorptionsmittel aufweisendes Bett bei Umgebungstemperatur hindurchgeleitet wird und auf diesem Wasserdampf und/oder Kohlendioxid adsorbiert werden;
  • (C) und danach der gasförmige Argonstrom aus dem Verfahrensschritt (B) durch ein katalytisches Material aufweisendes Bett bei Umgebungstemperatur hindurchgeleitet wird und auf diesem Sauerstoff, Wasserstoff und/oder Kohlenmonoxid chemisorbiert werden:
  • (D) und danach der gasförmige Argonstrom aus dem Verfahrensschritt (C) durch ein Adsorptionsmittel aufweisendes Bett bei einer kryogenen Temperatur hindurchgeleitet wird und auf diesem Stickstoff und/oder Kohlenwasserstoff adsorbiert werden; und
  • (E) ein gereinigter Argonstrom gewonnen wird.
  • Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft eine Vorrichtung mit:
  • (A) einem Molekularsieb aufweisenden Bett und einer Anordnung zum Durchleiten von Verunreinigungen enthaltendem gasförmigem Argon durch das Molekularsiebbett;
  • (B) einem katalytisches Material aufweisenden Bett und einer Anordnung zum Durchleiten von Verunreinigungen enthaltendem gasförmigem Argon durch das kataiytisches Material aufweisende Bett;
  • (C) einem Adsorptionsmittel aufweisenden Bett und einer Anordnung zum Hindurchleiten von Verunreinigungen enthaltendem gasförmigem Argon durch das Adsorptionsmittelbett;
  • (D) einer Anordnung zum Herabsetzen der Temperatur des gasförmigen Argons auf eine kryogene Temperatur vor dessen Durchleiten durch das Adsorptionsmittelbett; und
  • (E) einer Anordnung zum Gewinnen von gereinigtem Argon von dem Adsorptionsmittelbett.
  • Wie hier benutzt, bezeichnet der Begriff "Umgebungstemperatur" eine Temperatur im Bereich von -30 ºC bis +50 ºC.
  • Wie hier benutzt, bezeichnet der Begriff "kryogene Temperatur" eine Temperatur von unter -120 ºC.
  • Wie hier benutzt, bezeiclmet der Begriff "Bett" ein permeables Aggregat von pelletierten festen Teilchen, die sich in einem Gefäß befinden.
  • Wie hier benutzt, bezeichnet der Begriff "katalytisches Material" ein festes Material, das unter bestimmten Temperatur- und Druckbedingungen die Rate spezifischer chemischer Reaktionen steigert, während es selbst bei dem Abschluß der Reaktion unverändert vorliegt.
  • Wie hier benutzt, bezeichnet der Begriff "Adsorption" den reversiblen Prozeß. bei welchem einige Komponenten eines Gasgemisches an der Oberfläche von festen Körpern haften, mit denen sie in Kontakt treten.
  • Wie hier benutzt, bezeichnet der Begriff "Chemisorption" einen Adsoiptionsvorgang, bei dem bestimmte Komponenten eines Gasgemisches infolge von chemischen Kräften selektiv an der Oberfläche des Festkörpers haften.
    • Kurze Beschreibung der Zeichnung
  • Die einzige Zeichnnng ist eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
    • Detaillierte Beschreibung
  • Die Frfindung weist drei aufeinanderfolgende Argonreinigungsschritte für das Beseitigen der verschiedenen Verunreinigungen auf, die in dem Argon enthalten sind, wobei es sich bei den Schritten um einen Verfahrensschritt der Molekularsiebadsorption bei Umgebungstemperatur, einen Verfährensschritt einer Chemisorption bei Umgebungstemperatur und einen Verfahrensschritt einer Adsorption bei einer kryogenen Temperatur handelt, welcher insbesondere dann vorteilhaft ist, wenn das gereinigte Argon z.B. für Lagerzwecke verflüssigt werden soll.
  • Die Erfindung wird unter Bezugnahme auf die Zeichnung detailliert beschrieben, welche eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht, bei der die Betten oder Gefäße paarweise parallel angeordnet sind, um einen kontinuierlichen Betrieb zu ermöglichen. Das heißt, daß während das erste der beiden Gefäße den Argonstrom reinigt, das zweite der beiden eine Regeneration erfährt, und daß zu einem geeigneten Zeitpunkt die Ströme so umgeschaltet werden, daß das erste regeneriert wird, während das zweite die Reinigung ausführt. Bei einer alternativen Anordnung könnten die Betten Zweibett-Einzelgefäß-Adsorber sein.
  • Unter Bezugnahme auf die Zeichnung wird ein gasförmiger Argonstrom 1 angeliefert, der Verunreinigungen enthält, deren Konzentration im allgemeinen im Bereich von 1 ppm bis 1 % liegt. Typischerweise wird der Verunreinigungen enthaltende gasförmige Argonstrom einem industriellen Prozeß entnommen, bei welchem Argon als ein Scbutzgas oder Spülgas, ein Wärmeübergangsmedium oder ein Zerstäubergas benutzt wird. Bei den Verunreinigungen kann es sich um eine oder mehrere Verunreinigungen in Form von Sauerstoff, Stickstoff, Wasserdampf, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und einen oder mehrere Kohlenwasserstoffe wie z.B. Methan, Ethan oder Propan handeln.
  • Der gasförmige, Verunreinigungen enthaltende Argonstrom wird durch ein Molekularsiebe aufweisendes Bett geleitet. das in einem Gefäß 101 angeordnet ist. Die bevorzugte Form von Molekularsieb ist NaX-Zeolith. Andere Typen von Molekularsieben, die eingesetzt werden können, beinhalten NaA, CaA und CaX. Fachleute sind mit Molekularsieben und deren hier angegebener Bezeichnung vertraut. Wenn der gasförmige Argonstrom das Molekularsiebbett durchströmt werden Wasserdampf und/oder Kohlendioxid, falls vorhanden, bei Umgebungstemperatur von dem gasförmigen Argonstrom an dem Molekularsiebbett adsorbiert. Das bedeutet, das mindestens Wasserdampf oder Kohlendioxid an dem Molekularsiebbett adsorbiert werden.
  • Der sich ergebende gasförmige Argonstrom 2 wird dann durch ein Bett geleitet, das katalytisches Material aufweist und das sich in einem Gefäß 103 befindet. Unter den verschiedenen Typen von katalytischem Material, die in dem in Gefäß 103 befindlichen Bett eingesetzt werden können, sind verschiedene reduzierte Formen von Nickel oder Kobalt zu nennen. Das bevorzugte Material weist extrudierte Pellets, die einen hohen Prozentsatz von Nickel enthalten. auf einem Aluminiumoxid-Siliciumoxid-Träger auf, Wenn der gasförmige Argonstrom das Bett aus katalytischern Material durchströmt, werden Sauerstoff, Wasserstoff und/oder Kohlenmonoxid. falls vorhanden, bei Umgebungstemperatur aus dem gasförmigen Argonstrom an dem Bett aus katalytischem Material chemisorbiert. Das bedeutet, daß mindestens eine Verunreinigung in Form von Sauerstoff, Wasserstoff oder Kohlenmonoxid an dem Bett chemisorbiert wird. Der Chemisorptionsschritt selbst ist nicht katalytisch. Das Chemisorptionsmittel ist ein Werkstoff, der unter bestimmten Bedingungen, insbesondere bei der Regenerationstemperatur, als ein Katalysator für eine Reaktion zwischen mindestens einer der Verunreinigungen und einem anderen Gas dient, das entweder als eine adsorbierte Verunreinigung anwesend sein kann, oder das dem Regenerationsgas zugesetzt wurde.
  • Der sich ergebende gasförmige Argonstrom 3 wird mittels Durchleiten durch einen Wärmetauscher 108 gekühlt, und zwar im allgemeinen auf eine kryogene Temperatur, die nahe an dessen Taupunkt und im allgemeinen im Bereich von -150 ºC bis -180 ºC liegt. Der sich ergebende gasförmige Argonstrom 4 wird dann durch ein Adsorptionsmittel enthaltendes Bett geleitet, das sich in einem Gefäß 105 befindet. Das bevorzugte Adsorptionsmiffel ist NaX- Zeolith. Andere Arten von Adsorptionsmitteln, die benutzt werden können, beinhalten CaA und CaX. Fachleute sind mit Adsorptionsmitteln und deren vorgenannten Bezeichnungen vertraut. Wenn der gasförmige Argonstrom das Adsorptionsmittelbett durchströmt, werden Stickstoff und/oder Kohlenwasserstoffe, falls vorhanden. bei einer kryogenen Temperatur aus dem gasförmigen Argonstrom an dem Adsorptionsmittelbett adsorbiert. Das bedeutet, daß mindestens Stickstoff oder Kohlenwasserstoff an dem Bett adsorbiert werden.
  • Der sich ergebende Strom 5 ist gereinigtes Argon mit einer Argonkonzentration im allgemeinen von 99,999 % oder mehr. Dieses gereinigte Argon kann gewonnen werden, und es kann für einen erneuten Gebrauch dem industriellen Prozeß zugeführt werden. Die in der Zeichnung veranschaulichte Ausführungsform ist eine bevorzugte Ausführungsform, bei der das gereinigte Argon kondensiert wird, um gelagert zu werden und/oder um effizienter wiederaufgedrückt zu werden, falls höhere Drücke bcnötigt werden. Bei dieser Ausführungsform wird der gereinigte Argonstrom 5 mittels Durchleiten durch einen Warmetauscher 109 durch indirekten Wärmeaustausch mit flüssigem Stickstoff 20 kondensiert, der von einem Speichertank 111 für flüssigen Stickstoff dem Wärmetauscher oder Kondensator 109 zugeführt wird. Verflüssigtes Argon 6 kann dann zu einem Speichertank 110 für flüssiges Argon geleitet werden. Das flüssige Argon kann von dem Speichertank 110 als Strom 7 abgezogen und mittels einer Pumpe 112 auf einen höheren Druck geprumpt werden. Falls ein höherer Druck erwünscht ist, erhöht das Pumpen der Flüssigkeit auf diese Weise den Druck des Argons viel effizienter, als es bei dem Aufdrücken von gasförmigem Argon der Fall wäre. Unter Druck stehendes flüssiges Argon 8 wird dann verdampft, z.B. mittels Durchleiten durch einen atmosphärischen Verdampfer 113, und das sich ergebende Argon 9 kann gewonnen und zwecks einem erneuten Gebrauch dem industriellen Prozeß zugeführt werden.
  • Gasförmiger Stickstoff 21, der sich von dem Wärmeaustausch in dem Wärmetauscher oder Kondensator 109 ergibt, wird mittels Durchleiten durch den Wärmetauscher 108 durch indirekten Wärmeaustausch mit kühlendem gasförmigen Argon. wie es zuvor beschrieben wurde, auf Umgebungstemperatur abgekühlt, wodurch zusätzliche Kälte aus dem verdampften Stickstoff gewonnen wird. Der sich ergebende gasförmige Stickstoff 22 wird zur Regeneration des Molekularsiebbettes und des Bettes aus katalytischem Material benutzt.
  • Wie zuvor erwähnt, werden bei der in der Zeichnung veranschaulichten Ausführungsform zwei Gefäße für jeden Reinigungsschritt eingesetzt, wobei ein Gefäß für die Reinigung des gasförmigen Argons benutzt wird, während das andere regeneriert wird. Das Gefäß 102 enthält ein Bett ähnlich dem in Gefäß 101 enthaltenen, und das Gefäß 104 enthält ein Bett ähnlich dem in Gefäß 103 enthaltenen. Während die Betten in den Gefäßen 101 und 103 die zuvor erwähnte Reinigung durchführen, werden die Betten in den Gefäßen 102 und 104 unter Verwendung eines Regenerationsgases. das gasförmigen Stickstoff 22 aufweist, regeneriert. Das Regenerationsgas wird während dem ersten Teil der Regeneration in einem elektrischen Erhitzer 107 erwärmt. Dieses Gas strömt im Gegenstrom zu dem Strom während der Adsorption, wobei es in den unteren Bereich des Gefäßes 104 eintritt und aus dem oberen Teil des Gefäßes 102 austritt, bevor es in die Atmosphäre entlüftet wird. Wenn der das Bett 104 verlassende Strom die gewünschte Desorptionstemperatur erreicht hat, wird dem Regenerationsdas kurzzeitig eine geringe Menge von extern angeliefertem Wasserstoff zugesetzt, um die Regeneration des Chemisorptionsmittels zu unterstützen. Der Wasserstoffgehalt des gemischten Regenerationsgases während dieses Schrittes beträgt typischerweise etwa 1 %. Nach Abschalten des Wasserstoffstroms wird der Erhitzungsschritt fortgesetzt, bis der den Adsorber 102 verlassende Strom seine gewünschte Regenerationstemperatur erreicht. Der Erhitzer 107 wird dann abgeschaltet und der Regenerations-Gasstrom fortgesetzt, um die beiden Adsorber aut eine Temperatur nahe dei Umgebungstemperatur zu kühlen. Die Betten in den Getaßen 102 und 104 können dann auf Adsorptionsbetrieb umgeschaltet beiden.
  • In ähnlicher Weise enthält das Gefäß 106 ein Bett ähnlich dem in Gefäß 105 enthaltenen. Während das Bett in Gefäß 105 die zuvor erwähnte Reinigung ausführt, wird das Bett in Gefäß 106 regeneriert. Der anfängliche Teil der Regeneration wird durch Rückführen in geschlossener Schleife von Argongas durch einen atmosphärischen Erhitzer 114, ein Gebläse 115 und das Gefäß 106 in einer Richtung im Gegenstrom zu dem Strom während einer Adsorption durchgeführt. Das Gas kehrt dann zurück zu dem atmosphärischen Erhitzer. Wenn die Temperatur des das Gefäß 106 verlassenden Gases sich der Umgebungstemperatur nähert. wird ein Teil des den Adsorber 105 verlassenden gereinigten Argons durch ein Ventil 117 zu dem Gefäß 106 abgezweigt und durch ein Ventil 118 aus dem Tieftemperatur-Adsorptionssystem abgelassen. Dadurch werden die desorbierten Verunreinigungen aus der Regenerationsrückführschleife gespült.
  • Abkühlung wird durch Schließen eines Ventils 118 erreicht. Der Strom durch Ventil 117 wird dann von dem Kopf des Adsorbers 106 durch den atmosphärischen Erhitzer 114, das Gebläse 115, einen Nachkühler 116 tind ein Ventil 119 in Strom 3 geleitet, welcher der Einsatzstrom zu dem Tieftemperatursystem ist. Dieses Gas wird in Wärmetauscher 108 gekühlt, und es strömt mit dem Einsatz durch den Adsorber 105, woraufhin der Rückführanteil durch Ventil 117 von dem Produkt abgezweigt wird.
  • Das zum Spülen der Regenerationsschleife des Tieftemperatur-Adsorptionssystems durch Ventil 118 abgelassene Argon stellt den einzigen wesentlichen Argonverlust des Systems dar. Dieser Verfahrensschritt wird zeitlich abgestimmt, um mit dem letzten Regenerationsschritt der auf Umgebungstemperatur arbeitenden Adsorber zusammenzufallen. Das Argonspülen ersetzt den Stickstoff-Regenerationsgasstrom zu den letztgenannten Adsorbern während dieses Intervalls, wobei Stickstoff aus den Gefäßen gespült wird, und diese somit auf das Umschalten zum Adsorptionsbetrieb vorbereitet werden.
  • Der Entwurf der bei dem Argonreinigungssystem gemäß dieser Erfindung eingesetzten Reinigungsschriffe wird in erster Linie von dem über die Zeit gemittelten Bedarf bestimmt. Der Betrag von jedem zuzuführenden Adsorptionsmittel ist eine Funktion des Gesamtbetrages der entsprechenden Verunreinigungen, die während eines kompletten Adsorptions-Halbzyklus entfernt werden müssen. Die Bettenform kann so ausgelegt werden, daß der Druckabfall auf einen annehmbaren Wert bei der maximalen Adsorptions-Durchflußmenge beschränkt wird. Das Regenerationssystem kann basierend auf dem über die Zeit gemittelten Adsorptionsmittelbedarf entworfen werden. Diese Erfindung erleichtert somit eine wirtschaftliche Auslegung der Anlage.

Claims (14)

1.Verfahren zur Reinigung von Argon, bei dem:
(A) ein gasförmiger Argonstrom vorgesehen wird, der eine oder mehrere Verunreinigungen in Form von Sauerstoff, Stickstoff, Wasserdampf, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid und Kohlenwasserstoff enthält;
(B) und danach der gasförmige Argonstrom aus dem Verfahrensschritt (A) durch ein Molekularsieb-Adsorptionsmittel aufweisendes Bett bei Umgebungstemperatur hindurchgeleitet wird und auf diesem Wasserdampf und/oder Kohlendioxid adsorbiert werden;
(C) und danach der gasförmige Argonstrom aus dem Vertahrensschritt (B) durch ein katalytisches Material aufweisendes Bett bei Umgebungstemperatur hindurchgeleitet wird und auf diesem Sauerstoff, Wasserstoff und/oder Kohlenmonoxid chemisorbiert werden;
(D) und danach der gasförmige Argonstrom aus dem Verfahrensschritt (C) durch ein Adsorptionsmittel aufweisendes Bett bei einer kryogenen Temperatur hindurchgeleitet wird und auf diesem Stickstoff und/oder Kohlenwasserstoff adsorbiert werden; und
(E) ein gereinigter Argonstrom gewonnen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem das gereinigte Argon verflüssigt wird.
3.Verfahren nach Anspruch 2, bei dem das verflüssigte Argon aufgedrückt und danach verdampft wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem das gereinigte Argon durch indirekten Wärmeaustausch mit verdampfendem flüssigem Stickstoff verflüssigt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, bei dem der verdampfte Stickstoff durch indirekten Wa meaustausch mit gasförmigem Argon erhitzt wird, um das gasförmige Argon vor der kryogenen Adsorption des Verfahrensschrittes (D) auf eine kryogene Temperatur abzukühlen.
6.Verfähren nach Anspruch 4, bei dem der verdampfte Stickstoff zum Regenerieren des Bettes aus katalytischem Material verwendet wird.
7.Verfähren nach Anspruch 4, bei dem der verdampfte Stickstoff zum Regenerieren des Molekularsiebbettes benutzt wird.
8.Vorrichtung zum Reinigen von Argon entsprechend dem Verfahren nach Anspruch 1, mit:
(A) einem Molekularsieb aufweisenden Bett und einer Anordnung zum Durchleiten von Verunreinigungen enthaltendem gasförmigem Argon durch das Molekularsiebbett:
(B) einem katalytisches Material aufweisenden Bett und einer Anordnung zum Durchleiten von Verunreinigungen enthaltendem gasförmigem Argon durch das katalytisches Material aufweisende Bett;
(C) einem Adsorptionsmittel aufweisenden Bett und einer Anordnung zum Hindurchleiten von Verunreinigungen enthaltendem gasförmigem Argon durch das Adsorptionsmittelbett;
(D) einer Anordnung zum Herabsetzen der Temperatur des gasförmigen Argons auf eine kryogene Temperatur vor dessen Durchleiten durch das Adsorptionsmittelbett; und
(E) einer Anordnung zum Gewinnen von gereinigtem Argon von dem Adsorptionsmittelbett.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, ferner versehen mit einem Kondensator, einer Anordnung zum Zuleiten von flüssigem Stickstoff zu dem Kondensator und einer Anordnung zum Zuleiten von gereinigtem Argon zu dem Kondensator.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, ferner versehen mit einem Flüssigkeitsspeichertank und einer Anordnung zum Überleiten von Flüssigkeit von dem Kondensator zu dem Flüssigkeitsspeichertank.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, ferner versehen mit einer Anordnung zum Steigern des Druckes der von dem Kondensator zugeleiteten Flüssigkeit und einer Anordnung zum Verdampfen der aufgedrückten Flüssigkeit.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9, ferner versehen mit einem Wärmetauscher und einer Anordnung zum Überleiten von gasförmigem Stickstoff von dem Kondensator zu dem Wärmetauscher.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, ferner versehen mit einer Anordnung zum Zuleiten von gasförmigem Stickstoff von dem Wärmetauscher zu dem katalytisches Material aufweisenden Bett.
14. Vorrichtung nach Anspruch 12, ferner versehen mit einer Anordnung zum Überleiten von gasförmigem Stickstoff von dem Wärmetauscher zu dem Molekularsieb aufweisenden Bett.
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