DE69002406T2 - Organoaluminium-Elektrolyte und Verfahren zur elektrolytischen Absetzung von Aluminium. - Google Patents
Organoaluminium-Elektrolyte und Verfahren zur elektrolytischen Absetzung von Aluminium.Info
- Publication number
- DE69002406T2 DE69002406T2 DE90110744T DE69002406T DE69002406T2 DE 69002406 T2 DE69002406 T2 DE 69002406T2 DE 90110744 T DE90110744 T DE 90110744T DE 69002406 T DE69002406 T DE 69002406T DE 69002406 T2 DE69002406 T2 DE 69002406T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- aluminum
- electrolytes
- mol
- mmol
- toluene
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 25
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 5
- 125000002370 organoaluminium group Chemical group 0.000 title description 3
- VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N triethylaluminium Chemical compound CC[Al](CC)CC VOITXYVAKOUIBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000203 mixture Chemical group 0.000 claims abstract description 9
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims abstract description 6
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims abstract description 5
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical group [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 4
- 229910052700 potassium Chemical group 0.000 claims abstract description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical group C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims abstract description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000011591 potassium Chemical group 0.000 claims abstract description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 81
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 7
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000008096 xylene Substances 0.000 claims description 6
- 239000005486 organic electrolyte Substances 0.000 claims description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 15
- IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N m-xylene Chemical group CC1=CC=CC(C)=C1 IVSZLXZYQVIEFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 5
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 5
- 101100058670 Aeromonas hydrophila subsp. hydrophila (strain ATCC 7966 / DSM 30187 / BCRC 13018 / CCUG 14551 / JCM 1027 / KCTC 2358 / NCIMB 9240 / NCTC 8049) bsr gene Proteins 0.000 description 3
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 description 3
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- FHYUCVWDMABHHH-UHFFFAOYSA-N toluene;1,2-xylene Chemical group CC1=CC=CC=C1.CC1=CC=CC=C1C FHYUCVWDMABHHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 229910052792 caesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 150000004673 fluoride salts Chemical class 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/42—Electroplating: Baths therefor from solutions of light metals
- C25D3/44—Aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
- Secondary Cells (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Primary Cells (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Luminescent Compositions (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft aluminiumorganische Elektrolyte zur elektrolytischen Abscheidung von Aluminium auf elektrisch leitenden Werkstoffen unter Verwendung löslicher Aluminiumanoden sowie ein Verfahren hierzu.
- Aluminiumorganische Komplexverbindungen werden seit langem zur elektrolytischen Abscheidung von Aluminium verwendet. {Dissertation H. Lehmkuhl, TH Aachen 1954; DE-PS 1 047 450; Z. anorg. allg. Chemie 283 (1956) 414; DE-PS 1 056 377; Chem. Ing. Tech. 36 (1964) 616}. Als geeignete Komplexverbindungen wurden solche des allgemeinen Typs MX 2 AlR&sub3; vorgeschlagen, die entweder als geschmolzene Salze oder in Form ihrer Lösungen in flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffen eingesetzt werden (DE-PS 1 047 450). MX können entweder Alkalimetall- oder Oniumhalogenide, vorzugsweise die Fluoride, sein. R sind Alkyl- Gruppen.
- Das Interesse an Beschichtungen von Metallwerkstücken mit Aluminium hat wegen des hervorragenden Korrosionsschutzes durch die Aluminiumschichten und deren ökologische Unbedenklichkeit stark zugenommen. Deshalb hat besonders die Arbeitsweise der elektrolytischen Aluminiumbeschichtung aus aluminiumorganischen Elektrolyten, die bei mäßigen Temperaturen zwischen 60 ºC und 150 ºC und in geschlossenen Systemen durchgeführt wird, große technische Bedeutung. Um die Selbstentzündlichkeit des zunächst hauptsächlich verwendeten niedrig schmelzenden Komplexes NaF 2 AlEt&sub3; {Z. anorg. allg. Chemie 283 (1956) 414} zu vermindern, wurden dessen Toluollösungen eingesetzt, was aber zu einer Erniedrigung des Streuvermögens dieses Elektrolyten und der Leitfähigkeit desselben mit zunehmender Verdünnung führt (siehe Fig. 1 und 2). So wird bereits in der DE-PS 1 047 450 beschrieben, daß es sich nicht empfiehlt, die Verdünnung der Elektrolyte durch derartige Lösungsmittel übermäßig stark zu erhöhen. Möglichst hohe Leitfähigkeiten und möglichst hohes Streuvermögen sind wichtige Kriterien für die Bewertung von Elektrolytsystemen. Auch mit dieser Begründung wurden dann später solche aluminiumorganischen Elektrolyte vorgeschlagen (EP-A 0 084 816), deren Zusammensetzung durch die allgemeine Formel MF[(m-n)AlEt&sub3; n AlR&sub3;] definiert ist, wobei folgendes gilt: M = K, Rb, Cs; R = H, CxH2x+1 mit x = 1 und 3 bis 8, wobei wenigstens zwei Gruppen R Alkyl-Reste sind; m = 1,3 bis 2,4 und n = 0,2 bis 0,5. Weiter wurden in der gleichen Patentschrift auch Lösungen dieser Elektrolyte in 1 bis 10 mol, vorzugsweise 1 bis 5 mol eines flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffs pro Mol KF, insbesondere Toluol, vorgeschlagen. Diese Elektrolyte zeigen zwar eine gegenüber dem NaF 2 AlEt&sub3;-System mit gleicher Toluolmenge verbesserte Streufähigkeit, neigen jedoch beim Abkühlen auf Temperaturen unter die Elektrolysetemperatur von ca. 100 ºC zu starker Kristallisation. Dieses gilt abgeschwächt auch für Toluollösungen dieser Elektrolytsysteme der voranstehend definierten allgemeinen Formel.
- Für das einzige in EP-A 0 084 816 explizit offenbarte System KF [1,6 AlEt&sub3; 0,4 Al(iBu)&sub3;] (iBu = CH&sub2;CHMe&sub2;) beobachtet man folgendes: Eine Mischung mit 1 mol Toluol pro 1 mol Komplex erstarrt bereits bei 50 ºC so weitgehend, daß eine Trennung von fester und flüssiger Phase durch Filtrieren nicht möglich ist. Das gleiche Elektrolytsystem mit 2 mol Toluol pro 1 mol KF scheidet beim Abkühlen bis 23 ºC 44,7 Mol-% und beim Kühlen bis +2 ºC bis 0 ºC sogar 56 Mol-% des in diesem System potentiell vorhandenen KF 2 AlEt&sub3; als Kristallisat aus. Der Elektrolyt KF [1,6 AlEt&sub3; 0,4 Al(iBu)&sub3;] 3.4 mol Toluol scheidet beim Abkühlen auf 2 ºC bis 0 ºC eine Menge Kristalle aus, die 32 Mol-% des potentiell vorhandenen KF 2 AlEt&sub3; entspricht. Erst eine weitere wesentliche Erhöhung der Toluol-Menge auf mindestens 4,5 mol Toluol ergibt Elektrolyte, die noch bis hinab auf etwa 0 ºC flüssig sind. Diese starke Verdünnung reduziert aber neben dem Streuvermögen auch die elektrolytische Leitfähgkeit. Beide Größen sind aber wesentlich bei der Bewertung eines Elektrolytsystems. Für eine technische Anwendung ist vorteilhaft, daß das Elektrolytsystem auch im Bereich 20 ºC bis 0 ºC flüssig bleibt, damit außerhalb der eigentlichen Elektrolysezelle in Rohrleitungen, Pumpsystemen oder Vorratsbehältern oder auch bei Betriebsunterbrechungen oder -störungen keine Kristallisation des Elektrolyten einsetzt. Ein weiteres Verdünnen des Elektrolyten mit flüssigem Lösungsmittel ist aber aus den bereits beschriebenen Gründen unzweckmäßig.
- Es wurde überraschend gefunden, daß Mischungen von bestimmten aluminiumorganischen Komplexen in gewissen engen Mischungsverhältnissen trotz ungünstiger Eigenschaften ihrer Einzelkomponenten optimale Elektrolyteigenschaften haben. So schmelzen die bekannten Komplexe KF 2 AlEt&sub3; bei 127-129 ºC und KF 2 AlMe&sub3; bei 151-152 ºC (Dissertation H. Lehmkuhl, TH Aachen 1954). Infolge der relativ hohen Schmelzpunkte beider Komplexe sind auch ihre Löslichkeiten in Toluol so, daß sie beim Abkühlen aus konzentrierten Lösungen leicht auskristallisieren. KF 2 Al(iBu)&sub3; schmilzt zwar bei wesentlich niedrigerer Temperatur bei 51-53 ºC, jedoch liefert dieser Komplex bei der Elektrolyse graue Alumininium-Abscheidungen von schlechter Qualität, die außerdem noch Kalium-Metall enthalten. Auch waren die anodischen Stromausbeuten schlecht (Dissertation H. Lehmkuhl, TH Aachen 1954).
- Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Elektrolyten zu finden, der in optimaler Weise die für eine technische Anwendung geforderten Eigenschaften, wie hohes Streuvermögen, möglichst hohe Leitfähigkeit, hohe Stromdichte-Belastbarkeit und homogene Löslichkeit bis hinab zu Temperaturen von 20 ºC bis 0 ºC in sich vereinigt.
- Die Aufgabe wird gelöst durch aluminiumorganische Elektrolyte zur elektrolytischen Abscheidung von Aluminium, die dadurch gekennzeichnet sind, daß sie aus KF 2 AlEt&sub3; (A), KF 2 AlMe&sub3; (B) und MF 2 Al(iBu)&sub3; (C), worin M = Natrium oder Kalium oder ein Gemisch von beiden, im molaren Verhältnis A : B : C von 2 : 1 : 1 bis 7 : 1 : 1 bestehen. Die beiden letztgenannten Komplexe KF 2 AlMe&sub3; und MF 2 Al(iBu)&sub3; sollen in annähernd äquimolaren Mengen vorliegen.
- Die erfindungsgemäßen Elektrolyte werden in 2 bis 4,5 mol, bezogen auf die Menge des eingesetzten MF, eines bei 0 ºC flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffs gelöst.
- Als Lösungsmittel werden bevorzugt Toluol oder ein flüssiges Xylol in einem Anteil von vorzugsweise 3 bis 4 mol, bezogen auf 1 mol eingesetztes MF, verwendet.
- Die Anwesenheit kleiner Mengen des Komplexes NaF 2 AlR&sub3; in dem Elektrolyten bewirkt, daß der Glanz der Aluminiumschichten verstärkt wird. In dem gesamten Elektrolyten sollte das Verhältnis KF : NaF etwa 7 : 1 bis 20 : 1 betragen.
- Beispielhaft seien einige Elektrolyte und die Temperaturbereiche, in denen diese flüssig vorliegen, angegeben. Tabelle 1 Molares Mischungs-Verhältnis Lösungsmittel Flüssig bis hinab zu wenigstens Toluol Xylol a) meta-Xylol. b) M = K, sofern nichts anderes angegeben ist. c) Verhältnis K:Na in (C) 0,19:0,81; daraus ergibt sich in dem gesamten Elektrolyten [(A) + (B) + (C)] ein Verhältnis K:Na von 9,9:1.
- Die spezifischen Leitfähigkeiten bei 95 ºC und 130 ºC sind im folgenden angegeben. Tabelle 2 Molares Mischungs-Verhältnis Lösungsmittel Spezifische Leitfähigkeit [mS cm&supmin;¹] Toluol Xylol a) meta-Xylol b) M = K, sofern nichts anderes angegeben ist. c) Verhältnis K:Na = 9,9:1 Gesamtes Verhältnis für [(A) + (B) + (C)].
- Aus Tabelle 2 geht hervor, daß bei 95 ºC Xylol-Lösungen weniger leitfähig sind als äquimolare Toluol-Lösungen. Dieser Effekt kann annähernd dadurch kompensiert werden, daß die Temperatur der Xylol-Lösungen auf 130 ºC erhöht wird.
- Die elektrolytische Abscheidung von Aluminium aus den erfindungsgemäßen Elektrolyten wird zweckmäßigerweise unter Verwendung einer löslichen Aluminium-Anode bei einer in Anspruch 5 angegebenen Temperatur durchgeführt, aus Toluol-Lösungen vorzugsweise bei 90 ºC bis 100 ºC und aus Xylol-Lösungen vorzugsweise bei 95 ºC bis 130 ºC. Die anodische Stromdichte und die kathodische Stromdichte wurden zu jeweils 98 bis 100 % bestimmt. Ohne eine Umkehr der Polarität in Intervallen können kathodische Stromdichten von 1,0 bis 1,2 A/dm² bei guter Bewegung des Elektrolyten erreicht werden. Glänzende einheitliche Aluminium-Schichten werden erhalten. Das Streuvermögen der betreffenden Elektrolyten der vorliegenden Erfindung entspricht demjenigen von KF 2 AlEt&sub3; 4,0 mol Toluol, demjenigen von CsF 2 AlEt&sub3; 4,0 mol Toluol, oder demjenigen des in der Europäischen Patentschrift 0 084 816 erwähnten Systems KF [1,6 AlEt&sub3; 0,4 Al(iBu)&sub3;] 4,0 mol Toluol.
- Fig. 1 zeigt einen Vergleich der Streufähigkeit von NaF 2 AlEt&sub3; mit 2 bzw. 4 mol Toluol bei 95 ºC.
- Fig. 2 zeigt die Leitfähigkeit einer Toluol-Lösung von NaF 2 AlEt&sub3; bei 95 ºC bei verschiedenen Toluol-Verdünnungen.
- In bekannter Weise wurden KF 2 AlEt&sub3;, KF 2 AlMe&sub3; und KF 2 Al(iBu)&sub3; (Dissertation H. Lehmkuhl, TH Aachen 1954) hergestellt und im Stoffmengen-Verhältnis 2 : 1 : 1 in 3,0 mol Toluol pro 1 mol KF gelöst. Bei wochenlangem Stehen dieser Lösung bei 10 ºC tritt keine Kristallisation ein.
- Eine gleiche Elektrolytlösung wurde erhalten, indem zu einer Lösung von 245,8 mmol K[AlEt&sub3;F] in 737,4 mmol Toluol bei 50 ºC zuerst 122,9 mmol Al(iBu)&sub3; und anschließend 122,9 mmol AlMe&sub3; zugetropft wurden.
- 57 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 28,5 mmol KF 2 AlMe&sub3; und 28,5 mmol KF 2 Al(iBu)&sub3; wurden bei 20 ºC in 342 mmol meta-Xylol zu einer klaren Flüssigkeit gelöst, aus der auch nach mehrwöchigem Stehen bei 0 ºC keine Kristalle ausfielen.
- Zu einer Suspension von 287,0 mmol getrocknetem KF in 1,0 mol Toluol wurde bei 40 ºC bis 50 ºC unter Rühren eine Mischung aus 430 mmol AlEt&sub3;, 71,75 mmol AlMe&sub3; und 71,7 mmol Al(iBu)&sub3; zugetropft. Man erhielt eine klare Lösung, aus der beim Stehen bei 10 ºC keine Kristalle ausfielen.
- 10,2 mmol KF 2 AlMe&sub3;, 10,2 mmol KF 2 Al(iBu)&sub3; und 61,2 mmol KF 2 AlEt&sub3; wurden bei 60-70 ºC in 30,1 ml (244 mmol) meta-Xylol gelöst. Man erhielt eine klare Lösung, aus der beim Stehen bei 20 ºC keine Kristalle ausfielen.
- Ein erfindungsgemäßer Elektrolyt wurde nach Beispiel 1 hergestellt und bei 92 ºC mit einer kathodischen Stromdichte von 1,1 A/dm² und unter Verwendung einer Aluminiumanode elektrolysiert. Man erhielt auf der Kathode eine glänzende, gleichmäßige Aluminiumschicht von 12,5 um Schichtdicke. Die aus dem Gewichtsverlust der Anode bestimmte anodische Stromausbeute betrug 98 %, während die kathodische Stromausbeute quantitativ war.
- Der gemäß Beispiel 3 hergestellte Elektrolyt wurde, wie in Beispiel 6 beschrieben, bei 100 ºC mit einer kathodischen Stromdichte von 1,2 A/dm² elektrolysiert. Man erhielt auf der Kathode eine glänzende Aluminiumschicht. Die anodische Stromausbeute betrug 97,3 %, die kathodische Stromausbeute war quantitativ.
- Der gemäß Beispiel 4 erhaltene Elektrolyt wurde, wie in Beispiel 6 beschrieben, bei 96-97 ºC mit einer kathodischen Stromdichte von 1,2 - 1,3 A/dm² und 1,6 V Zellenspannung ca. 1 h elektrolysiert. Man erhielt eine sehr gleichmäßige, glänzende Aluminiumabscheidung auf der Kathode. Die anodische Stromausbeute betrug 99 %, die kathodische Stromausbeute war quantitativ.
- 94,4 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 15,7 mmol KF 2 AlMe&sub3; und 15,7 mmol KF 2 Al(iBu)&sub3; wurden in 485 mmol Toluol gelöst, und 12,7 mmol NaF 2 AlEt&sub3; wurden hinzugefügt. Der erhaltene Elektrolyt ist absolut identisch mit einem Elektrolyten der gleichen analytischen Zusammensetzung, der aus 107 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 15,7 mmol KF 2 AlMe&sub3;, 3,0 mmol KF 2 Al(iBu)&sub3; und 12,7 mmol NaF 2 Al(iBu)&sub3; in 485 mmol Toluol oder aus 78,7 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 15,7 mmol KF AlMe&sub3; AlEt&sub3;, 15,7 mmol KF AlEt&sub3; Al(iBu)&sub3; sowie 15,7 mmol KF AlMe&sub3; Al(iBu)&sub3; und 12,7 mmol NaF 2 AlEt&sub3; in 485 mmol Toluol hergestellt wurde. Die Identität der Elektrolyten mit gleichen analytischen Zusammensetzungen resultiert aus Austausch-Gleichgewichten der Aluminiumtrialkyle zwischen den einzelnen Komplexen.
- Der hier beschriebene Elektrolyt wurde bei 95 ºC mit einer kathodischen Stromdichte von 0,5 A/dm² bei einer Zellenspannung von 0,7 V elektrolysiert. Eine sehr gleichmäßige silberglänzende Aluminium-Schicht wurde auf der Kathode erhalten. Die anodische Stromausbeute betrug 98 %, während die kathodische Stromausbeute quantitativ war.
Claims (5)
1. Aluminiumorganische Elektrolyte zur elektrolytischen
Abscheidung von Aluminium, dadurch gekennzeichnet, daß sie
aus KF 2 AlEt&sub3; (A), KF 2 AlMe&sub3; (B) und
MF 2 Al(iBu)&sub3; (C), wobei M = Natrium oder Kalium
oder eine Mischung beider bedeutet, im molaren
Verhältnis A : B : C von 2 : 1 : 1 bis 7 : 1 : 1
bestehen.
2. Aluminiumorganische Elektrolyte nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß sie in 2 - 4,5 mol, auf 1 mol
eingesetztes MF, eines bei 0 ºC flüssigen aromatischen
Kohlenwasserstoffs gelöst sind.
3. Elektrolyte nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
der Anteil des Lösungsmittels 3 bis 4 mol, auf 1 mol
eingesetztes MF, beträgt.
4. Elektrolyte nach den Ansprüchen 2 und 3, dadurch
gekennzeichnet, daß als Lösungsmittel Toluol oder ein flüssiges
Xylol eingesetzt wird.
5. Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Aluminium
auf elektrisch leitenden Werkstoffen unter Verwendung des
aluminiumorganischen Elektrolyten nach den Ansprüchen 2
bis 4, sowie Aluminium-Anoden bei einer Temperatur, die
bei Verwendung von Toluol-Lösungen 80 ºC bis 105 ºC,
vorzugsweise 90 ºC bis 100 ºC, und bei Verwendung von
Xylol-Lösungen 80 ºC bis 135 ºC, vorzugsweise 95 ºC bis
130 ºC beträgt.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3919069A DE3919069A1 (de) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Aluminiumorganische elektrolyte und verfahren zur elektrolytischen abscheidung von aluminium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE69002406D1 DE69002406D1 (de) | 1993-09-02 |
| DE69002406T2 true DE69002406T2 (de) | 1993-12-09 |
Family
ID=6382542
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE3919069A Withdrawn DE3919069A1 (de) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Aluminiumorganische elektrolyte und verfahren zur elektrolytischen abscheidung von aluminium |
| DE90110744T Expired - Lifetime DE69002406T2 (de) | 1989-06-10 | 1990-06-07 | Organoaluminium-Elektrolyte und Verfahren zur elektrolytischen Absetzung von Aluminium. |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE3919069A Withdrawn DE3919069A1 (de) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Aluminiumorganische elektrolyte und verfahren zur elektrolytischen abscheidung von aluminium |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5091063A (de) |
| EP (1) | EP0402761B1 (de) |
| JP (1) | JP2918634B2 (de) |
| AT (1) | ATE92114T1 (de) |
| CA (1) | CA2018129C (de) |
| DE (2) | DE3919069A1 (de) |
| DK (1) | DK0402761T3 (de) |
| ES (1) | ES2044319T3 (de) |
| IE (1) | IE63956B1 (de) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0505886A1 (de) * | 1991-03-28 | 1992-09-30 | Siemens Aktiengesellschaft | Erzeugung dekorativer Aluminiumbeschichtungen |
| DE19649000C1 (de) * | 1996-11-27 | 1998-08-13 | Alcotec Beschichtungsanlagen G | Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung |
| DE19716493C2 (de) * | 1997-04-19 | 2001-11-29 | Aluminal Oberflaechentechnik | Verfahren zum elektrolytischen Beschichten von metallischen oder nichtmetallischen Endlosprodukten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| DE19716495C1 (de) * | 1997-04-19 | 1998-05-20 | Aluminal Oberflaechentechnik | Elektrolyt für die elektrolytische Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung |
| US7250102B2 (en) * | 2002-04-30 | 2007-07-31 | Alumiplate Incorporated | Aluminium electroplating formulations |
| EP1518946A1 (de) * | 2003-09-27 | 2005-03-30 | Aluminal Oberflächtentechnik GmbH & Co. KG | Electrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium |
| EP1927680A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-04 | Aluminal Oberflächentechnik GmbH & Co. KG | Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium aus aprotischen lösungsmitteln in einer galvanisiertrommel |
| JP4706651B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2011-06-22 | セイコーエプソン株式会社 | ワーク加工装置用治具及びワーク |
| US8128750B2 (en) * | 2007-03-29 | 2012-03-06 | Lam Research Corporation | Aluminum-plated components of semiconductor material processing apparatuses and methods of manufacturing the components |
| US20080257744A1 (en) * | 2007-04-19 | 2008-10-23 | Infineon Technologies Ag | Method of making an integrated circuit including electrodeposition of aluminium |
| DE102007018489A1 (de) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | Tec-Chem Gmbh | Aluminiumorganischer 4-Komponentenelektrolyt zur Abscheidung von Aluminium |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE540052A (de) * | 1955-06-13 | |||
| US3448134A (en) * | 1961-12-04 | 1969-06-03 | Nat Steel Corp | Organic aluminum complexes |
| US3268421A (en) * | 1961-12-04 | 1966-08-23 | Nat Steel Corp | Electrodeposition of metals from a fused bath of aluminum halohydride organic complex and composition therefor |
| US3672965A (en) * | 1970-06-29 | 1972-06-27 | Continental Oil Co | Electroplating of aluminum |
| US4144140A (en) * | 1974-11-13 | 1979-03-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for the preparation of additives in organo-aluminum electrolyte media |
| DE2453829C2 (de) * | 1974-11-13 | 1983-04-07 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur Herstellung von Additiven und ihre Verwendung als Glanzbildner |
| US4003804A (en) * | 1975-12-31 | 1977-01-18 | Scientific Mining & Manufacturing Company | Method of electroplating of aluminum and plating baths therefor |
| DE3202265A1 (de) * | 1982-01-25 | 1983-07-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium |
| EP0309831A1 (de) * | 1987-09-29 | 1989-04-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Ionensperrschicht auf Metallen und Nichtmetallen |
| US4778575A (en) * | 1988-01-21 | 1988-10-18 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Electrodeposition of magnesium and magnesium/aluminum alloys |
-
1989
- 1989-06-10 DE DE3919069A patent/DE3919069A1/de not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-06-01 CA CA002018129A patent/CA2018129C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-06-05 US US07/533,322 patent/US5091063A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-07 DK DK90110744.1T patent/DK0402761T3/da active
- 1990-06-07 AT AT90110744T patent/ATE92114T1/de not_active IP Right Cessation
- 1990-06-07 ES ES90110744T patent/ES2044319T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-07 DE DE90110744T patent/DE69002406T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-07 EP EP90110744A patent/EP0402761B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-08 IE IE206290A patent/IE63956B1/en not_active IP Right Cessation
- 1990-06-11 JP JP2152511A patent/JP2918634B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5091063A (en) | 1992-02-25 |
| IE902062L (en) | 1990-12-10 |
| JP2918634B2 (ja) | 1999-07-12 |
| IE63956B1 (en) | 1995-06-28 |
| DE3919069A1 (de) | 1990-12-13 |
| CA2018129A1 (en) | 1990-12-10 |
| CA2018129C (en) | 1999-08-10 |
| EP0402761A1 (de) | 1990-12-19 |
| JPH0328390A (ja) | 1991-02-06 |
| DK0402761T3 (da) | 1993-10-04 |
| EP0402761B1 (de) | 1993-07-28 |
| ES2044319T3 (es) | 1994-01-01 |
| DE69002406D1 (de) | 1993-09-02 |
| ATE92114T1 (de) | 1993-08-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2447897A1 (de) | Chromhaltige galvanische baeder | |
| DE69002406T2 (de) | Organoaluminium-Elektrolyte und Verfahren zur elektrolytischen Absetzung von Aluminium. | |
| DE2256845A1 (de) | Verfahren und zusammensetzung zur galvanischen abscheidung einer zinn/bleilegierung | |
| DE832982C (de) | Elektrolyt und Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Kupfer | |
| EP0084816A2 (de) | Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium | |
| DE1496917A1 (de) | Elektrolytbaeder sowie Verfahren fuer die Herstellung galvanischer UEberzuege | |
| EP1141447B1 (de) | Aluminiumorganische elektrolyte und verfahren zur elektrolytischen beschichtung mit aluminium oder aluminium-magnesium-legierungen | |
| DE3447813A1 (de) | Waessriges saures bad sowie ein verfahren zur galvanischen abscheidung von zink oder zinklegierungen | |
| DE2809636A1 (de) | Galvanisierbad auf der basis von dreiwertigem chrom | |
| DE68908944T2 (de) | Plattierungsbad für die Elektroplattierung von Aluminium und Plattierungsverfahren, das dieses Bad verwendet. | |
| DE68905429T2 (de) | Verfahren fuer das zinn-elektroplattieren von metallischem material. | |
| DE69007341T2 (de) | Organoaluminium-Elektrolyte für die elektrolytische Absetzung von hochfeinem Aluminium. | |
| DE1496978A1 (de) | Galvanisches Chrombad | |
| EP0975823B1 (de) | Elektrolyt für die elektrolytische hochgeschwindigkeitsabscheidung von aluminium auf endlosprodukten | |
| DE2215737C3 (de) | Wäßriges saures galvanisches Halbglanznickelbad | |
| DE3619386C2 (de) | ||
| EP0948670B1 (de) | Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium | |
| DE69030176T2 (de) | Schutz von bleienthaltenden anoden während der elektrobeschichtung mit chrom | |
| DE2948999C2 (de) | Wässriges, saures Bad zur galvanischen Abscheidung von Gold und Verfahren zur galvanischen Abscheidung von Hartgold unter seiner Verwendung | |
| DE815882C (de) | Verfahren zur Erzeugung von Niederschlaegen auf Metallflaechen durch Elektrolyse | |
| DE2321465C3 (de) | Unlösliche Anode zum galvanischen Abscheiden von Metallen | |
| DE3934866A1 (de) | Verfahren zur abscheidung von blei- und bleihaltigen schichten, elektrolyte zur durchfuehrung des verfahrens sowie verwendung von tensiden in sauren blei-elektrolyten | |
| WO2008064954A2 (de) | Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium aus aprotischen lösungsmitteln in einer galvanisiertrommel | |
| EP0244685B1 (de) | Wässriges saures galvanisches Bad | |
| DE963389C (de) | Bad zur Herstellung galvanischer Nickelniederschlaege |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ALUMINAL OBERFLAECHENTECHNIK GMBH & CO. KG, 56249 H |