DE69007341T2 - Organoaluminium-Elektrolyte für die elektrolytische Absetzung von hochfeinem Aluminium. - Google Patents

Organoaluminium-Elektrolyte für die elektrolytische Absetzung von hochfeinem Aluminium.

Info

Publication number
DE69007341T2
DE69007341T2 DE69007341T DE69007341T DE69007341T2 DE 69007341 T2 DE69007341 T2 DE 69007341T2 DE 69007341 T DE69007341 T DE 69007341T DE 69007341 T DE69007341 T DE 69007341T DE 69007341 T2 DE69007341 T2 DE 69007341T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
mol
electrolytes
ibu
alet3
alr3
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69007341T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69007341D1 (de
Inventor
Herbert Lehmkuhl
Klaus-Dieter Mehler
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Aluminal Oberflaechentechnik & Co Kg 56249 H GmbH
Original Assignee
Studiengesellschaft Kohle gGmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Studiengesellschaft Kohle gGmbH filed Critical Studiengesellschaft Kohle gGmbH
Application granted granted Critical
Publication of DE69007341D1 publication Critical patent/DE69007341D1/de
Publication of DE69007341T2 publication Critical patent/DE69007341T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/42Electroplating: Baths therefor from solutions of light metals
    • C25D3/44Aluminium

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Electrolytic Production Of Non-Metals, Compounds, Apparatuses Therefor (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft aluminiumorganische Elektrolyte zur elektrolytischen Abscheidung von hochreinem Aluminium unter Verwendung löslicher Anoden aus dem zu raffinierenden Aluminium sowie ein Verfahren hierzu.
  • Aluminiumorganische Komplex-Verbindungen werden seit langem zur elektrolytischen Abscheidung von Aluminum verwendet (Lit. 1: Dissertation H. Lehmkuhl, TH Aachen 1954; Lit. 2: Angew. Chem. 67 (1955) 424; Lit. 3: DE-PS 1 047 450; Lit. 4: Z. anorg. Chem. 283 (1956) 414; Lit. 5 Chem. Ber. 92 (1959) 2320; Lit. 6: Chem. Ing. Tech. 36 (1964) 616; Lit. 7: DE-PS 1 056 377). Als Elektrolyte wurden Komplexe des allgemeinen Typs MX 2 AlR&sub3; vorgeschlagen, die entweder als geschmolzene Salze oder in Form ihrer Lösungen in flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffen eingesetzt werden. MX sind entweder Alkalimetall- oder Oniumhalogenide, vorzugsweise deren Fluoride. R sind Alkyl-Reste oder Wasserstoff.
  • Höchstreines Aluminium ist ein sehr wichtiger Ausgangsstoff für elektronische Bauteile. Die bisher bedeutendste Anwendung ist die Verwendung für Leit- und Kontakt-Schichten auf Mikroprozessoren und Speicherchips. Die aluminiumorganischen Elektrolyte, die bei mäßigen Temperaturen zwischen 60 ºC und 150 ºC in geschlossenen Systemen elektrolysiert werden, besitzen wegen ihrer besonderen Selektivität bei der Lösung-Reaktion der Metall-Anoden für die Raffination von Aluminium zu höchstreinen Metall-Qualitäten von wenigstens 99,999 % und noch höherer Reinheit große technische Bedeutung (Lit. 1; Lit 4). Aufgrund des Chemismus der Anoden-Reaktion bei diesen aluminiumorganischen Elektrolyten werden die im zu raffinierenden Aluminium als Verunreinigungen anwesenden Übergangsmetalle sowie Si, Ge, As im Raffinat-Metall ab- und dementsprechend im Anodenschlamm stark angereichert (Lit. 6).
  • Als Elektrolyte für die metallorganische Raffination von Aluminium wurden bisher näher untersucht:
  • 1. Schmelzen von NaF 2 AlEt&sub3; (Lit. 1-4, 6).
  • Mit diesem Elektrolyten lassen sich Stromdichten von 2,3 A/dm² anwenden (Lit. 6). Ein Nachteil ist, daß er sich bei Zutritt von Luft oder Sauerstoff von selbst entzündet. Der Reinheitsgrad des kathodisch abgeschiedenen Aluminium- Raffinats wurde auf der Basis der seinerzeit verfügbaren Analysenmethoden mit ≥99,999 % angegeben (Lit. 1, 2, 4, 6). Die kathodischen und anodischen stromausbeuten betrugen 98 bis 100 % bei Stromdichten bis 1,1 A/dm² (Lit. 1).
  • 2. Lösungen von NaF 1,25 AlEt&sub3; bis NaF 1,50 AlEt&sub3; in 1 mol Toluol pro mol NaF (Lit. 8: Aluminium 37 (1961) 267).
  • Vorteil dieser Elektrolyte ist eine verminderte Selbstentzündlichkeit. Nachteile sind verminderte Leitfähigkeiten und Stromdichte-Beschränkungen auf Werte von ≤0,5 A/dm².
  • 3. Lösungen von NaF 2 AlEt&sub3; in 1 mol Toluol pro mol NaF (Lit. 9: Raffinationsverfahren in der Metallurgie, Verlag Chemie 1983, Seiten 55-68).
  • Als günstigste Betriebsbedingungen werden 100 ºC und eine Stromdichte von 0,35 A/dm² angegeben.
  • 4. Lösungen von KF (m-n) AlEt&sub3; n AlR&sub3;, worin
  • m = 1,8 bis 2,2, vorzugsweise 2,0;
  • n = 0,2 bis 0,5, vorzugsweise 0,4; und
  • R = CH&sub3; oder C&sub4;H&sub9;
  • (Lit. 9a: EP 0 084 816, Siemens AG).
  • Dieser Elektrolyt wird in Form einer Lösung von 1 bis 10 mol, vorzugsweise von 1 bis 5 mol) in flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffen, vorzugsweise Toluol, eingesetzt. Als spezielles Beispiel wird ein Komplex KF 1,6 AlEt&sub3; 0,4 Al(i-C&sub4;H&sub9;)&sub3; 0,4 Toluol (Lit. 9a) erwähnt.
  • In den unter 2. und 3. aufgeführten Elektrolyt-Systemen ist die verminderte Neigung, sich selbst zu entzünden, durch Verminderung der Konzentration an Trialkylaluminium und/oder Verdünnen mit Toluol zu Lasten der anwendbaren Stromdichte-Belastung erkauft worden. Eine möglichst hohe anwendbare Stromdichte ist aber für die Bewertung eines Elektrolyt-Systems von großer Bedeutung, da von ihr die Raum-Zeit-Ausbeute abhängt. Weitere wichtige Kriterien für die Bewertung sind die thermische Beständigkeit des Elektrolyten, die elektrolytische Leitfähigkeit, die Bildung möglichst kompakter Aluminium-Abscheidungen ohne Mitabscheidung von Alkalimetall sowie der Erhalt homogener flüssiger Phasen auch beim Abkühlen auf 20 ºC bis 0 ºC, da sonst Störungen durch Kristallisation bei Betriebsunterbrechungen oder -störungen in nicht geheizten Rohrleitungen oder Pumpen auftreten würden.
  • Es ist bekannt, daß Komplexe Kaliumfluorid 2 Trialkylaluminium bessere elektrolytische Leiter als die entsprechenden analogen Natriumfluorid-Verbindungen sind (Lit. 1). Der Nachteil dieser Kaliumfluorid enthaltenden Komplexe ist, daß sie im allgemeinen höhere Schmelzpunkte als die entsprechenden Natriumfluorid- Verbindungen haben und daher beim Abkühlen stärker zur Kristallisation aus Lösungen in aromatischen Kohlenwasserstoffen neigen. Es ist weiter bekannt, daß bekannte 1 : 2-Komplexe des Typs MF 2 AlR&sub3; mit Alkyl-Resten niedriger C-Zahl (z.B. Me, Et) mit überschüssigem Trialkylaluminium AlR&sub3; praktisch nicht mischbar sind. So bildet das bei 35 ºC flüssige NaF 2 AlEt&sub3; mit AlEt&sub3; zwei nicht mischbare flüssige Phasen (Litt. 1, Lit. 10: Liebigs Ann. Chem. 629 (1960), 33).
  • Daraus ergibt sich die Aufgabe, Elektrolyte zur Abscheidung von hochreinem Aluminium bereitzustellen, die in optimaler Weise die für eine technische Anwendung der Aluminium-Raffination geforderten Eigenschaf ten, wie eine möglichst hohe Leitfähigkeit und Stromdichte-Belastbarkeit bis über 6 A/dm², die Bildung einer Aluminium-Abscheidung, die so kompakt wie möglich ist, eine hohe Selektivität beim Auflösen der Aluminium-Anode und homogene Löslichkeit bis zu Temperaturen von 20 ºC bis 0 ºC, in sich vereinigen.
  • Es wurde jetzt unerwartet gefunden, daß Mischungen von bestimmten aluminiumorganischen Komplexen zusammen mit Organoaluminium, bestimmten bifunktionellen Lewis-Basen vom Typ des 1,2-Dialkoxyalkans und bei Raumtemperatur flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffen, wie Toluol und/oder einem flüssigen Xylol in gewissen engen Mischungsverhältnissen trotz der ungünstigen Eigenschaften ihrer einzelnen Komponenten optimale Elektrolyt- Eigenschaften für die Raffination von Aluminium haben. So sind nicht-komplexierte Aluminiumalkyle {Lit. 11: Angew. Chem. 67 (1955) 525)}, 1,2-Dialkoxyalkan und Toluol oder Xylol praktisch elektrolytische Nichtleiter. Die Eigenleitfähigkeit von Triethylaluminium in Kohlenwasserstoffen beträgt z.B. ca. 10&supmin;&sup8; S cm&supmin;¹ (Lit. 11). KF 2 AlEt&sub3; und KF 2 AlMe&sub3; sind zwar gute elektrolytische Leiter, haben jedoch relativ hohe schmelzpunkte von 127-129 ºC und 151-152 ºC und sind daher in Toluol nicht sehr gut löslich, so daß zum Auflösen verhältnismäßig große Mengen Toluol erforderlich sind. KF 2 Al(iBu)&sub3; schmilzt zwar schon bei ca. 51-53 ºC, zeigt jedoch nur eine schlechte Stromdichte-Belastbarkeit. Sogar bei einer Elektrolyse mit nur 0,4 A/dm² bilden sich an der Kathode bereits graue, kaliumhaltige Niederschläge (Lit. 1).
  • Die Erfindung betrifft aluminiumorganische Elektrolyte zur elektrolytischen Abscheidung von hochreinem Aluminium, die dadurch gekennzeichnet sind, daß sie Mischungen aluminiumorganischer Komplex-Verbindungen vom Typ MF 2 AlR&sub3; (A), wobei M Kalium oder Mischungen von K mit maximal etwa 15 Mol-% Natrium bedeutet, sowie nicht an ein Alkalifluorid komplex gebundenes Trialkylaluminium AlR&sub3; (B) im Stoffmengen-Verhältnis A : B von 4 : 0,6 bis 4 : 2 sowie eine mehrfunktionelle Lewis-Base vom Typ R'-OCH&sub2;CH&sub2;-OR" (C) im Stoffmengen-Verhältnis B : C von 1 : 0,5 bis 1 : 1 enthalten. Die Organyl-Reste R in A sind Ethyl-Gruppen (Et), Methyl-Gruppen (Me) und iso-Butyl-Gruppen (iBu) im Stoffmengen-Verhältnis Et : Me : iBu wie 3 : m : n sind, wobei m und n Zahlenwerte zwischen 1,1 und 0 sind und die Summe (m + n) 0,75 bis 1,4, vorzugsweise 0,9 bis 1,1 betragen soll.
  • Das nicht an Alkalimetallfluorid (z.B. KF) komplex gebundene Trialkylaluminium AlR&sub3; (B) ist vorzugsweise AlEt&sub3; oder Al(iBu)&sub3; oder eine Mischung dieser beiden Komponenten. Die molaren Mischungsverhältnisse der Summe der Komplexe Alkalimetallfluorid 2 AlR&sub3; (z.B. KF 2 AlR&sub3;) zu dem nicht an Alkalimetallfluorid (z.B. KF) gebundenen AlR&sub3; betragen vorzugsweise 4 : 1,0 bis 4 : 1,6. Das Stoffmengen-Verhältnis der Summe der nicht an Alkalimetallfluorid (z.B. KF) koordinierten Aluminiumtrialkyle AlR&sub3; zu der mehrfunktionellen Lewis-Base liegt vorzugsweise zwischen 1 : 0,5 und 1 : 0,8. R' und R" können Alkyl-, Aryloder OCH&sub2;CH&sub2;OR"'-Gruppen sein, worin R"' für R' oder R" steht.
  • Bifunktionelle Lewisbasen vom Typ des 1,2-Dialkoxyalkans R'OCH2CH2OR" mit R' = R" = Me oder Et oder R' = Me und R" = Et werden bevorzugt. Die erfindungsgemäß definierten Mehrkomponenten-Elektrolyte bilden mit Toluol, m- oder o-Xylol oder anderen bei 0 ºC flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffen homogene flüssige Systeme, die für die elektrolytische Aluminium-Raffination besonders geeignet sind. Die Menge an aromatischem Kohlenwasserstoff sollte 3 bis 4,5 mol, vorzugsweise 3-3,5 mol, auf 1 mol Alkalimetallfluorid (z.B. KF) betragen. Jede weitere Verdünnung mit Lösungsmittel ist wegen der damit verbundenen Verminderung der Leitfähigkeit unzweckmäßig. Bei wesentlich geringeren Lösungsmittel-Gehalten neigen die Systeme beim Abkühlen zu partieller Kristallisation. In den Mehrkompoten-Elektrolyten bewirken die Alkalimetallfluorid 2 AlR&sub3;- Komplexe (z.B. KF 2 AlR&sub3;) gute elektrolytische Leitfähigkeiten. Der Zusatz von nicht an Alkalimetallfluorid (z.B. KF) komplex gebundenem AlR&sub3; ermöglicht die Anwendung hoher Stromdichten bis zu mehr als 6 A/dm², und die Anwesenheit der bifunktionellen Lewis-Base vom Typ des 1,2-Dialkoxyalkans führt zu sehr kompakten Aluminiumabscheidungen. Bei Abwesenheit dieser Lewis-Basen wird dagegen ein stark dendritisches Wachstum des Aluminiums auf der Kathode beobachtet, das leicht Kurzschlüsse zwischen Kathode und Anode bewirkt. Bevorzugte Arbeitstemperaturen für die Elektrolyse sind 80 ºC bis 135 ºfür Systeme, die m-Xylol enthalten, und 90 ºC bis 105 ºC für Toluol enthaltende Systeme.
  • Erfindungsgemäße Elektrolyt-Systeme sind beispielhaft in der Tabelle 1 zusammengestellt. Die Zusammensetzungen müssen den Angaben nicht genau entsprechen; es genügt, wenn sie die Bedingungen annähernd erfüllen. Die Formeln sind so geschrieben, daß zu erkennen ist, aus welchen Grund-Komponenten die Elektrolyte zusammengesetzt sind. Damit ist keinerlei Aussage verbunden, daß sie in Vielkomponenten-Mischungen noch unverändert in den ursprünglichen Formen vorliegen.
  • Da bekannt ist (Lit. 1), daß die Trialkylaluminium-Verbindungen AlMe&sub3; und AlEt&sub3; aus KF 2 Al(iBu)&sub3; das Triisobutylaluminium aus der komplexen Bindung an KF gemäß
  • KF 2 Al(iBu)&sub3; + AlMe&sub3; T KF AlMe&sub3; Al(iBu)&sub3; + Al(iBu)&sub3;
  • verdrängen, wird auch in den erfindungsgemäßen Elektrolyten durch Zugabe von AlEt&sub3; oder AlMe&sub3; aus KF 2 Al(iBu)&sub3; Triisobutylaluminium freigesetzt werden. In gleicher Weise wird aus NaF 2 AlEt&sub3; durch Zugabe von AlMe&sub3; das komplex gebundene AlEt&sub3; durch AlMe&sub3; verdrängt, z.B. bei einer Zugabe am Stoffmengen- Verhältnis 1 : 1 entsprechend der Gleichung
  • NaF 2 AlEt&sub3; + AlMe&sub3; T NaF AlMe&sub3; AlEt&sub3; + AlEt&sub3;.
  • Folglich nehmen die Tendenzen zur Komplexbildung der Aluminiumtrialkyle in der Reihenfolge AlMe&sub3; > AlEt&sub3; > Al(iBu)&sub3; ab.
  • Al(iBu)&sub3; wird aus den Alkalifluorid-Komplexen des Al(iBu)&sub3; durch AlMe&sub3; oder AlEt&sub3; verdrängt, und AlEt&sub3; wird aus den entsprechenden Komplexen des AlEt&sub3; nur durch AlMe&sub3; verdrängt.
  • Dieser Effekt kann bei der Herstellung der Vielkomponenten- Elektrolyte genutzt werden. Auf diese Weise werden absolut identische Elektrolyte erhalten, unabhängig davon, ob
  • a) eine Mischung von 0,75 mol KF 2 AlEt&sub3; und 0,25 mol KF 2 AlMe&sub3; in 3 mol Toluol vorgelegt und mit 0,25 mol Al(iBu)&sub3; und 0,25 mol MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe versetzt wird oder
  • b) eine Mischung von 0,75 mol KF 2 AlEt&sub3;, 0,125 mol KF 2 AlMe&sub3; und 0,125 mol KF 2 Al(iBu)&sub3; in 3 mol Toluol vorgelegt und mit 0,25 mol AlMe&sub3; und 0,25 mol MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe tropfenweise versetzt wird oder
  • c) 0,25 mol AlEt&sub3; und 0,25 mol MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe zu einer Mischung aus 0,625 mol KF 2 AlEt&sub3;, 0,25 mol KF 2 AlMe&sub3; und 0,125 mol KF 2 Al(iBu)&sub3; in 3 mol Toluol hinzugefügt werden oder
  • d) 0,25 mol des komplexen Al(iBu)&sub3; MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe zu einer Mischung aus 0,75 mol KF 2 AlEt&sub3; und 0,25 mol KF 2 AlMe&sub3; in 3 mol Toluol hinzugefügt werden. Tabelle 1: Mehrkomponenten-Systeme für die elektrolytische Aluminium-Raffination In den MF.2AlR&sub3;-Komplexena) gebundene Organylreste Molares Verhältnis Et : Me : iBu nicht an MF komplexiertes AlR&sub3; Molares Verhältnis MF : AlR&sub3; Lösungsmittel mol/mol MF Bemerkungen Kristallisation spezif. Leitfähigkeitχ Toluol meta-Xylol Keine Kristallisation bis 0 ºC homogen flüssig bis 35 ºC a) Wenn nicht anders vermerkt, bedeutet M = Kalium; b) Molares Verhältnis K : Na = 9 : 1; χ(95ºC) = 23,2 mS.cm&supmin;¹
  • Beispiel 1
  • Ein erfindungsgemäßes Elektrolyt-System wurde aus 0.51 mol KF 2 AlMe&sub3;, 1.53 mol KF 2 AlEt&sub3;, 647 ml Toluol, 0.59 mol AlEt&sub3; und 0,30 mol MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe erhalten. Die Elektrolyse wurde in einer geschlossenen Elektrolyse-Zelle unter Schutzgas bei 95-98 ºC durchgeführt. Ein Blech aus Reinaluminium war als Kathode im Abstand von jeweils 30 mm zwischen zwei Anoden aus dem zu raffinierenden Aluminium angebracht. Die Elektrolyse wurde 66,2 h mit Stromdichten von 1,5 A/dm² für die Kathode und von 2,3 A/dm² für die Anoden bei einer Zellenspannung von 2,7 V und einer Stromstärke von 3,0 A durchgeführt. In dieser Zeit waren 66.69 g Aluminium aufgelöst worden, das sind 99.3 % der theoretischen Menge. Die kathodische Stromausbeute war quantitativ.
  • Beispiel 2
  • Ein Elektrolyt, der aus KF 2 AlEt&sub3;, KF 2 AlMe&sub3;, Al(iBu)&sub3; und Dimethoxyethan in einem Stoffmengen-Verhältnis 3 : 1 : 1 : 1 in 3 mol Xylol pro 1 mol KF hergestellt worden war, wurde bei 120 ºC zwischen zwei Aluminium-Elektroden mit 3 A/dm² elektrolysiert. Eine dicke, silbrigglänzende, etwas warzige Aluminium- Abscheidung wurde erhalten. Die anodische Stromausbeute betrug 99.7 %, die kathodische Stromausbeute war quantitativ.
  • Beispiel 3
  • Der in Beispiel 2 beschriebene Elektrolyt wurde bei 97-98 ºC mit 2,8 V und 0,18 A und Stromdichten bis zu 6 A/dm² elektrolysiert. Eine dicke, silbrigglänzende, warzige Aluminium-Abscheidung wurde erhalten. Der Elektrolyt bleibt auch beim Abkühlen auf 0 ºC bei wochenlanger Aufbewahrung flüssig.
  • Beispiel 4
  • In der gleichen Weise wie in Beispiel 2 wurden die gleichen Komponenten in 3 mol Toluol an Stelle des Xylols gelöst. Der erhaltene Elektrolyt blieb ebenfalls bis hinab zu 0 ºC eine homogene Flüssigkeit. Er hat jedoch, im Vergleich zu der Xylol- Lösung, eine wesentlich höhere Leitfähigkeit von 25,5 mS cm&supmin;¹ bei 95 ºC. Die Leitfäigkeit der Xylol-Lösung bei der gleichen Temperatur beträgt 16,7 mS cm&supmin;¹.
  • Beispiel 5
  • Ein Elektrolyt, der aus KF 2 AlEt&sub3;, KF 2 AlMe&sub3;, AlEt&sub3; und EtOCH&sub2;CH&sub2;OEt oder MeOCH&sub2;CH&sub2;OEt in einem Stoffmengen-Verhältnis 3 : 1 : 1,6 : 0,8 in 4 mol Toluol pro 1 mol KF hergestellt worden war, wurde bei 93-96 ºC zwischen zwei Aluminium-Elektroden in drei getrennten Versuchen mit 3 A/dm² (3,7 V; 0,88 A), 4,5 A/dm² (5,4 V, 1,32 A) und 6,0 A/dm² (6,2 V; 1,78 A) elektrolysiert. In jedem Fall wurden hellglänzende, kristalline Aluminium-Abscheidungen erhalten. Bei 6 A/dm² wurde Knollenbildung an den Elektrolyt-Rändern beobachtet. Die kathodischen und anodischen Stromausbeuten betrugen 100 und 99,4 %, 99,6 und 99,6 % sowie 99,8 und 99,3 %.
  • Beispiel 6
  • Die gleichen Elektrolyt-Systeme, wie sie in den Beispielen 2 oder 4 beschrieben sind, wurden durch Vereinigen von 2 mol K[Et&sub3;AlF], 1 mol AlEt&sub3;, 1 mol AlMe&sub3;, 0,5 mol Al(iBu)&sub3; und 0,5 mol Dimethoxyethan in 6 mol m-Xylol oder Toluol erhalten. Die mit diesen Systemen durchgeführten Elektrolysen lieferten die gleichen Ergebnisse, wie sie in den Beispielen 2 bis 4 beschrieben sind.
  • Beispiel 7
  • Die Elektrolyt-Systeme der Beispiele 2 und 4 waren auch dadurch erhältlich, daß zu einer Suspension von 2 mol getrocknetem Kaliumfluorid in 6 mol Xylol oder Toluol bei 50-60 ºC zunächst 2 mol AlEt&sub3; tropfenweise hinzugefügt wurden und nach dem Abkühlen auf ca. 30 ºC eine Mischung von 1 mol AlEt&sub3;, 1 mol AlMe&sub3; und 0,5 mol Al(iBu)&sub3; zugetropft wurde. Danach erfolgte die Zugabe von 0,5 mol MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe.
  • Beispiel 8
  • Ein Elektrolyt, der aus 94,7 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 30,1 mmol KF 2 AlMe&sub3;, 13,8 mmol NaF 2 Al(iBu)&sub3;, 40,4 mmol AlEt&sub3; und 31,5 mmol MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe in 416 mmol Toluol hergestellt worden war, wurde bei 95 ºC zwischen zwei Aluminium-Anoden elektrolysiert. Bei einer kathodischen Stromdichte von 3 A/dm² wurde eine grobkristalline, warzige, glänzende Aluminium-Abscheidung erhalten. Die anodische Stromausbeute betrug 98,4 %, die kathodische Stromausbeute war quantitativ. Die Reinheit des kathodisch abgeschiedenen Aluminiums betrug > 99,999 %.
  • Beispiel 9
  • Ein mit demjenigen aus Beispiel 8 identischer Elektrolyt wurde durch Vermischen von 94,7 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 30,1 mmol KF 2 AlMe&sub3;, 13,8 mmol NaF 2 AlEt&sub3;, 12,8 mmol AlEt&sub3;, 27,6 mmol Al(iBu)&sub3; und 31,5 mmol MeOCH&sub2;CH&sub2;0Me mit 416 mmol Toluol erhalten.
  • Beispiel 10
  • Ein Elektrolyt, der durch Auflösen von 96,1 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 28,7 mmol KF 2 AlMe&sub3;, 10,0 mmol AlEt&sub3; MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe und 28,7 mmol Al(iBu)&sub3; MeOCH&sub2;CH&sub2;0Me in 371 mmol Toluol bei 60-70 ºC erhalten worden war, wurde bei 95 ºC zwischen zwei Aluminium-Anoden elektrolysiert. Bei einer kathodischen Stromdichte von 3 A/dm² wurde eine hellgraue, warzige Aluminium- Abscheidung ohne Bildung von Dendriten erhalten. Die anodische und die kathodische Stromausbeute waren quantitativ. Die Reinheit des kathodisch abgeschiedenen Aluminiums betrug ≥99,999 %.
  • Beispiel 11
  • Ein mit demjenigen aus Beispiel 10 identischer Elektrolyt wurde durch Lösen von 67,4 mmol KF 2 AlEt&sub3;, 57,4 mmol KF AlMe&sub3; AlEt&sub3;, 10,0 mmol AlEt&sub3; MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe und 28,7 mmol Al(iBu)&sub3; MeOCH&sub2;CH&sub2;OMe in 371 mmol Toluol bei 60-70 ºC erhalten.

Claims (9)

1. Aluminiumorganische Elektrolyte zur elektrolytischen Abscheidung von hochreinem Aluminium, dadurch gekennzeichnet, daß sie
Mischungen aluminiumorganischer Komplex-Verbindungen vom Typ MF 2 AlR&sub3; (A), wobei M Kalium oder Mischungen von K mit maximal etwa 15 Mol-% Natrium bedeutet,
sowie nicht an ein Alkalifluorid komplex gebundenes Trialkylaluminium AlR&sub3; (B) im Stoffmengen-Verhältnis A : B von 4 : 0,6 bis 4 : 2
sowie eine mehrfunktionelle Lewis-Base vom Typ R'OCH&sub2;CH&sub2;OR" (C) im Stoffmengen-Verhältnis B : C von 1 : 0,5 bis 1 : 1 enthalten.
2. Elektrolyte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Organyl-Reste R in den Komplex-Verbindungen MF 2 AlR&sub3; (A) Ethyl-Gruppen (Et), Methyl-Gruppen (Me) und iso-Butyl- Gruppen (iBu) im Stoffmengen-Verhältnis Et : Me : iBu wie 3 : m : n sind, wobei m und n Zahlenwerte zwischen 1,1 und 0 sind und die Summe (m + n) 0,75 bis 1,4, vorzugsweise 0,9 bis 1,1 beträgt.
3. Elektrolyte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Trialkylaluminium AlR&sub3; (B) AlEt&sub3; oder Al (iBu)&sub3; ist oder aus einem Gemisch von AlEt&sub3; und Al(iBu)&sub3; besteht.
4. Elektrolyte nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Stoffmengen-Verhältnis A : B vorzugsweise 4 : 1 bis 4 : 1,6 beträgt.
5. Elektrolyte nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß in den mehrfunktionellen Lewis-Basen (C) R' = R", vorzugsweise Methyl oder Ethyl, oder R' = Methyl und R" = Ethyl oder R' = Methyl oder Ethyl und R" = OCH&sub2;CH&sub2;OR"' gilt, worin R"' für R' oder R" steht.
6. Elektrolyte nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie in 3 bis 4,5 mol, bezogen auf 1 mol eingesetztes Alkalifluorid, eines bei 0 ºC flüssigen aromatischen Kohlenwasserstoffs gelöst sind.
7. Elektrolyte nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Anteil des Lösungsmittels 3 bis 3,5 mol, bezogen auf 1 mol eingesetztes Alkalifluorid, beträgt.
8. Elektrolyte nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß als Lösungsmittel Toluol oder ein flüssiges Xylol eingesetzt wird.
9. Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von hochreinem Aluminium unter verwendung des aluminiumorganischen Elektrolyten nach den Ansprüchen 6 und 7 bei einer Temperatur, die bei Verwendung von Toluol-Lösungen 90 ºC bis 105 ºC und bei Verwendung von Xylol-Lösungen 80 ºC bis 135 ºC beträgt.
DE69007341T 1989-06-10 1990-06-07 Organoaluminium-Elektrolyte für die elektrolytische Absetzung von hochfeinem Aluminium. Expired - Lifetime DE69007341T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3919068A DE3919068A1 (de) 1989-06-10 1989-06-10 Aluminiumorganische elektrolyte zur elektrolytischen abscheidung von hochreinem aluminium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69007341D1 DE69007341D1 (de) 1994-04-21
DE69007341T2 true DE69007341T2 (de) 1994-07-21

Family

ID=6382541

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3919068A Withdrawn DE3919068A1 (de) 1989-06-10 1989-06-10 Aluminiumorganische elektrolyte zur elektrolytischen abscheidung von hochreinem aluminium
DE69007341T Expired - Lifetime DE69007341T2 (de) 1989-06-10 1990-06-07 Organoaluminium-Elektrolyte für die elektrolytische Absetzung von hochfeinem Aluminium.

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3919068A Withdrawn DE3919068A1 (de) 1989-06-10 1989-06-10 Aluminiumorganische elektrolyte zur elektrolytischen abscheidung von hochreinem aluminium

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5007991A (de)
EP (1) EP0402760B1 (de)
JP (1) JP2918635B2 (de)
AT (1) ATE103017T1 (de)
CA (1) CA2018130C (de)
DE (2) DE3919068A1 (de)
DK (1) DK0402760T3 (de)
ES (1) ES2050303T3 (de)
IE (1) IE65262B1 (de)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0505886A1 (de) * 1991-03-28 1992-09-30 Siemens Aktiengesellschaft Erzeugung dekorativer Aluminiumbeschichtungen
DE19649000C1 (de) * 1996-11-27 1998-08-13 Alcotec Beschichtungsanlagen G Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung
DE19716495C1 (de) * 1997-04-19 1998-05-20 Aluminal Oberflaechentechnik Elektrolyt für die elektrolytische Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung
DE19855666A1 (de) * 1998-12-01 2000-06-08 Studiengesellschaft Kohle Mbh Aluminiumorganische Elektrolyte und Verfahren zur elektrolytischen Beschichtung mit Aluminium oder Aluminium-Magnesium Legierungen
US7250102B2 (en) * 2002-04-30 2007-07-31 Alumiplate Incorporated Aluminium electroplating formulations
EP1647613A1 (de) * 2004-10-15 2006-04-19 Aluminal Oberflächentechnik GmbH & Co. KG Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium
US8128750B2 (en) * 2007-03-29 2012-03-06 Lam Research Corporation Aluminum-plated components of semiconductor material processing apparatuses and methods of manufacturing the components

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE540052A (de) * 1955-06-13
US3448134A (en) * 1961-12-04 1969-06-03 Nat Steel Corp Organic aluminum complexes
US3268421A (en) * 1961-12-04 1966-08-23 Nat Steel Corp Electrodeposition of metals from a fused bath of aluminum halohydride organic complex and composition therefor
US3672965A (en) * 1970-06-29 1972-06-27 Continental Oil Co Electroplating of aluminum
US4144140A (en) * 1974-11-13 1979-03-13 Siemens Aktiengesellschaft Method for the preparation of additives in organo-aluminum electrolyte media
DE2453829C2 (de) * 1974-11-13 1983-04-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur Herstellung von Additiven und ihre Verwendung als Glanzbildner
US4003804A (en) * 1975-12-31 1977-01-18 Scientific Mining & Manufacturing Company Method of electroplating of aluminum and plating baths therefor
DE3202265A1 (de) * 1982-01-25 1983-07-28 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium
EP0309831A1 (de) * 1987-09-29 1989-04-05 Siemens Aktiengesellschaft Ionensperrschicht auf Metallen und Nichtmetallen
US4778575A (en) * 1988-01-21 1988-10-18 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Electrodeposition of magnesium and magnesium/aluminum alloys

Also Published As

Publication number Publication date
DE69007341D1 (de) 1994-04-21
US5007991A (en) 1991-04-16
ATE103017T1 (de) 1994-04-15
ES2050303T3 (es) 1994-05-16
IE65262B1 (en) 1995-10-18
DE3919068A1 (de) 1990-12-13
DK0402760T3 (da) 1994-05-24
JP2918635B2 (ja) 1999-07-12
CA2018130C (en) 1999-12-28
JPH0331493A (ja) 1991-02-12
CA2018130A1 (en) 1990-12-10
EP0402760B1 (de) 1994-03-16
IE902061L (en) 1990-12-10
EP0402760A1 (de) 1990-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69808415T2 (de) Elektroplattierung von nickel-phosphor-legierungsbeschichtungen
DE1047450B (de) Elektrolyt zur elektrolytischen Abscheidung von Aluminium
EP1141447B1 (de) Aluminiumorganische elektrolyte und verfahren zur elektrolytischen beschichtung mit aluminium oder aluminium-magnesium-legierungen
DE69007341T2 (de) Organoaluminium-Elektrolyte für die elektrolytische Absetzung von hochfeinem Aluminium.
DE69002406T2 (de) Organoaluminium-Elektrolyte und Verfahren zur elektrolytischen Absetzung von Aluminium.
DE3447813A1 (de) Waessriges saures bad sowie ein verfahren zur galvanischen abscheidung von zink oder zinklegierungen
DE3875943T2 (de) Verfahren zur elektroplattierung einer metallschicht mit aluminium.
DE1771116C2 (de) Galvanisches Bad zur Abscheidung von Aluminium
DE68908944T2 (de) Plattierungsbad für die Elektroplattierung von Aluminium und Plattierungsverfahren, das dieses Bad verwendet.
DE68905429T2 (de) Verfahren fuer das zinn-elektroplattieren von metallischem material.
DE19716495C1 (de) Elektrolyt für die elektrolytische Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung
DE3509367C1 (de) Bad und Verfahren zur galvanischen Abscheidung von Gold/Zinn-Legierungsueberzuegen
DE2215737C3 (de) Wäßriges saures galvanisches Halbglanznickelbad
DE19649000C1 (de) Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung
EP1509641B1 (de) Verfahren zur herstellung von aluminiumorganischen komplexen und deren verwendung zur herstellung von elektrolytlösungen zur elektrochemischen abscheidung von aluminium-magnesium-legierungen
EP0328128A1 (de) Verfahren zur Haftvermittlung zwischen Metallwerkstoffen und galvanischen Aluminiumschichten und hierbei eingesetzte nichtwässrige Elektrolyte
DE1226311B (de) Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Zirkonium, Hafnium, Vanadium, Niob, Tantal, Chrom, Molybdaen oder Wolfram oder ihrer Legierungen
AT251300B (de) Verfahren zur Erzeugung von dichten, gefügezusammenhängenden Abscheidungen aus reinem oder legiertem Zirkon, Hafnium, Vanadin, Niob, Tantal, Chrom, Molybdän oder Wolfram
EP1518946A1 (de) Electrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium
DE1470061C3 (de) Glanznickelbad
AT259244B (de) Verfahren zur Herstellung dichter, gefügezusammenhängender Abscheidungen von reinem Molybdän oder Wolfram oder Legierungen dieser Metalle
DE2659577A1 (de) Verfahren zur herstellung einer loesung zur galvanischen abscheidung von aluminium und deren verwendung
EP1927680A1 (de) Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium aus aprotischen lösungsmitteln in einer galvanisiertrommel
EP1647613A1 (de) Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium
DD262452A1 (de) Galvanisches bad und verfahren zum abscheiden von aluminiumbronzen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ALUMINAL OBERFLAECHENTECHNIK GMBH & CO. KG, 56249 H