JPH0328390A - 有機アルミニウム電解質およびアルミニウムの電着方法 - Google Patents
有機アルミニウム電解質およびアルミニウムの電着方法Info
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- JPH0328390A JPH0328390A JP2152511A JP15251190A JPH0328390A JP H0328390 A JPH0328390 A JP H0328390A JP 2152511 A JP2152511 A JP 2152511A JP 15251190 A JP15251190 A JP 15251190A JP H0328390 A JPH0328390 A JP H0328390A
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Classifications
-
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- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/42—Electroplating: Baths therefor from solutions of light metals
- C25D3/44—Aluminium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、可溶性アルミニウム陽極を使用することによ
り導電性物質にアルミニウムを電着するための有機アル
ミニウム電解質およびそれを用いた電着方法に関する。
り導電性物質にアルミニウムを電着するための有機アル
ミニウム電解質およびそれを用いた電着方法に関する。
［従来の技術］
以前よりアルミニウムの電着のために有機アルミニウム
錯体化合物が使用されている〔ディザーテーション（Ｄ
ｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎ）、レームクール（Ｈ．Ｌ
ｅｈｎｋｕｈｌ）、アーヘン（Ｔ Ｈ Ａ ａｃｈｅｎ
）、１９５４年：西ドイツ特許第１ ０４７ ４５
０号；ツァイトシュリフト・ヒュール・アンオルガニッ
シェ・ウント・アルゲマイン・ヘミー（Ｚ ｅｉｔｓｃ
ｈｒｉｆｔｆｕｒ Ａｎｏｒｇａｎｉｓｃｈｅ ｕｎｄ
Ａｌｌｇｅｍｅｉｎｅ Ｃｈｅｍｉｅ） ；西ドイツ
特許第１ ０５６ ３７７号；ヘミー・インゲニュ
ール◆テヒニーク（Ｃｈｅｍｉｅ ｌ ｎｇｅｎｉｅｕ
ｒＴ ｅｃｈｎｉｋ）、第３６巻（１９６４年）、６１
６頁〕。
錯体化合物が使用されている〔ディザーテーション（Ｄ
ｉｓｓｅｒｔａｔｉｏｎ）、レームクール（Ｈ．Ｌ
ｅｈｎｋｕｈｌ）、アーヘン（Ｔ Ｈ Ａ ａｃｈｅｎ
）、１９５４年：西ドイツ特許第１ ０４７ ４５
０号；ツァイトシュリフト・ヒュール・アンオルガニッ
シェ・ウント・アルゲマイン・ヘミー（Ｚ ｅｉｔｓｃ
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特許第１ ０５６ ３７７号；ヘミー・インゲニュ
ール◆テヒニーク（Ｃｈｅｍｉｅ ｌ ｎｇｅｎｉｅｕ
ｒＴ ｅｃｈｎｉｋ）、第３６巻（１９６４年）、６１
６頁〕。
適当な錯体化合物として、式：ＭＸ・２ＡＩ２Ｒ３で示
される溶融塩または液体芳香族炭化水素中溶液として使
用される化合物が提案されている（西ドイツ特許第１
０４７ ４５０号）。ＭＸはノ＼ロゲン化アルカリ
金属またはハロゲン化オニウムであってよく、好ましく
はフノ化物である。Ｒはアルキル基を表す。
される溶融塩または液体芳香族炭化水素中溶液として使
用される化合物が提案されている（西ドイツ特許第１
０４７ ４５０号）。ＭＸはノ＼ロゲン化アルカリ
金属またはハロゲン化オニウムであってよく、好ましく
はフノ化物である。Ｒはアルキル基を表す。
アルミニウム層の優れた腐食防止性および生態学的安全
性故に、金属部材をアルミニウムにより被覆することへ
の興味が増大している。従って、有機アルミニウム電解
質からアルミニウムを被覆する方法は工業的に非常に重
要であり、その方法は閉鎖系において６０〜１５０’Ｃ
の穏やかな温度で行われる。最初に主に使用されていた
低融点錯体ＮａＦ ・２Ａｆ２Ｅｔ３（ツアイトシュリ
フト・ヒュール・アンオルガニッシエ・ウント・アルゲ
マイン・ヘミー第２８３巻（１．９５６年）、４１４頁
〕の自己発火性を低下させるために、該錯体のトルエン
溶液が使用されていたが、その方法においては、希釈を
すすめると、電解質の均一電着性および導電率が低下す
る（第１図および第２図参照）。
性故に、金属部材をアルミニウムにより被覆することへ
の興味が増大している。従って、有機アルミニウム電解
質からアルミニウムを被覆する方法は工業的に非常に重
要であり、その方法は閉鎖系において６０〜１５０’Ｃ
の穏やかな温度で行われる。最初に主に使用されていた
低融点錯体ＮａＦ ・２Ａｆ２Ｅｔ３（ツアイトシュリ
フト・ヒュール・アンオルガニッシエ・ウント・アルゲ
マイン・ヘミー第２８３巻（１．９５６年）、４１４頁
〕の自己発火性を低下させるために、該錯体のトルエン
溶液が使用されていたが、その方法においては、希釈を
すすめると、電解質の均一電着性および導電率が低下す
る（第１図および第２図参照）。
西ドイツ特許第］ ０４７ ４５０号には、そのよ
うな溶媒により電解質を過度に希釈することは薦められ
ないことが記載されている。できるだけ高い導電率およ
び均一電着性が、電解質系の評価の重要な規準である。
うな溶媒により電解質を過度に希釈することは薦められ
ないことが記載されている。できるだけ高い導電率およ
び均一電着性が、電解質系の評価の重要な規準である。
この理由により、後に、式：ＭＦ［（ｍ−ｎ）ＡＣＥｔ
．・ｎＡＱＲｓ］ Ｃ式中、Ｍ＝Ｋ，Ｒｈ，ＣｓＳＲ＝
ＨＳＣｘＨｙｘ＊＋ （ｘ＝１および３〜８）、Ｒの少
なくとも二つのはアルキル基、ｍ−１３〜２．４、ｎ＝
０．２〜０．５）で示される組成を有する有機アルミニ
ウム電解質が提案された（ＥＰ−Ａ−０ ０８４
８１６）。さらに、同じ特許に、ＫＦＩモル当たり１〜
１０モル、好ましくは１〜５モルの液状芳香族炭化水素
、好ましくはトルエン中に上記電解質を溶解した溶液も
提案されている。そのような電解質か同じ量の１・ルエ
ンを用いたＮａ・２ Ａ（Ｅ ｔ３系と比較して優れた
均一電着性を示すことは事実であるが、約１００℃の電
解温度より低い温度に冷却すると、多量の結晶を生じる
傾向がある。程度は小さいものの同じことが上記式で示
される電解質系のトルエン溶液に当てはまる。
．・ｎＡＱＲｓ］ Ｃ式中、Ｍ＝Ｋ，Ｒｈ，ＣｓＳＲ＝
ＨＳＣｘＨｙｘ＊＋ （ｘ＝１および３〜８）、Ｒの少
なくとも二つのはアルキル基、ｍ−１３〜２．４、ｎ＝
０．２〜０．５）で示される組成を有する有機アルミニ
ウム電解質が提案された（ＥＰ−Ａ−０ ０８４
８１６）。さらに、同じ特許に、ＫＦＩモル当たり１〜
１０モル、好ましくは１〜５モルの液状芳香族炭化水素
、好ましくはトルエン中に上記電解質を溶解した溶液も
提案されている。そのような電解質か同じ量の１・ルエ
ンを用いたＮａ・２ Ａ（Ｅ ｔ３系と比較して優れた
均一電着性を示すことは事実であるが、約１００℃の電
解温度より低い温度に冷却すると、多量の結晶を生じる
傾向がある。程度は小さいものの同じことが上記式で示
される電解質系のトルエン溶液に当てはまる。
Ｋ Ｆ ［１． ６ Ａ（！Ｅ ｔ３・０． ４ Ａ（
！（ｉ−Ｂ ｕ）３］（式中、ｉ−Ｂ ｕ＝ Ｃ Ｈ
−Ｃ ）｛ Ｍｅｔ）で示される系（ＥＰ−Ａ−０
０８４ ８１６に明確に記載されている唯一の系）に
おいて、錯体１モル当たりｌモルのトルエンを含む混合
物は、５０’Ｃですでに凝固し、固体相と液体相を濾過
により分離することができない。
！（ｉ−Ｂ ｕ）３］（式中、ｉ−Ｂ ｕ＝ Ｃ Ｈ
−Ｃ ）｛ Ｍｅｔ）で示される系（ＥＰ−Ａ−０
０８４ ８１６に明確に記載されている唯一の系）に
おいて、錯体１モル当たりｌモルのトルエンを含む混合
物は、５０’Ｃですでに凝固し、固体相と液体相を濾過
により分離することができない。
ＫＦＩモル当たり２モルのトルエンを含む同じ電解質系
は、系に潜在的に存在するＫＦ・２ＡＣＥｔｉの内２３
℃に冷却すると４４．７モル％が、および０〜２℃に冷
却すると５６モル％が、結晶として枕澱する。Ｋ Ｆ
［１． ６ ＡＱＥ ｔ．・０．４Ａ（（ｉ Ｂ ｕ）
．］・３．４モルトルエンの電解質をＯ〜２０Ｃに冷却
すると、潜在的に存在するＫＦ・２ＡＱＥｔ，の３２モ
ル％に相当する量の結晶が沈澱する。
は、系に潜在的に存在するＫＦ・２ＡＣＥｔｉの内２３
℃に冷却すると４４．７モル％が、および０〜２℃に冷
却すると５６モル％が、結晶として枕澱する。Ｋ Ｆ
［１． ６ ＡＱＥ ｔ．・０．４Ａ（（ｉ Ｂ ｕ）
．］・３．４モルトルエンの電解質をＯ〜２０Ｃに冷却
すると、潜在的に存在するＫＦ・２ＡＱＥｔ，の３２モ
ル％に相当する量の結晶が沈澱する。
トルエンの量を実質的に増加させトルエンを４５モル％
過剰にしさえすれば、約０°Ｃに冷却してもなお液体で
ある電解質が得られる。しかしながら、この高希釈によ
り、均一電着性に加え導電性も低下する。それにもかか
わらず、両方とも電解質系の評価に欠かすことのできな
いものである。
過剰にしさえすれば、約０°Ｃに冷却してもなお液体で
ある電解質が得られる。しかしながら、この高希釈によ
り、均一電着性に加え導電性も低下する。それにもかか
わらず、両方とも電解質系の評価に欠かすことのできな
いものである。
工業的用途において、電解質系がＯ〜２０’Ｃの範囲の
温度でも液体であり、実際の電解槽の外部の導管、ポン
プ系または貯蔵部において、あるいは運転の中断または
故障の場合においても結晶化か起こらないことは有利で
ある。しかしながら、電解質を液体溶媒でさらに希釈す
ることは上記理由故に不適当である。
温度でも液体であり、実際の電解槽の外部の導管、ポン
プ系または貯蔵部において、あるいは運転の中断または
故障の場合においても結晶化か起こらないことは有利で
ある。しかしながら、電解質を液体溶媒でさらに希釈す
ることは上記理由故に不適当である。
特定の狭い屍合比内のある有機アルミニウム錯体混合物
が、個々の成分が有する好ましくない特性にも拘わらず
、最良の電解質特性を有することは驚くべきことである
。既知の錯体ＫＦ・２ＡＱＥｔ．およびＫ Ｆ ・２
Ａ（！Ｍｅ３はそれぞれ１２７〜１２９℃および１５１
〜１５２℃で溶融する（ディザーテーション、Ｈ．レー
ムクール、ＴＨ アーヘン，１９５４年）。二つの錯
体の比較的高い融点故に、トルエンへの溶解性も、冷却
時に容易に濃厚溶液から晶出するような程度である。Ｋ
Ｆ・２ＡＩ２（ｉＢｕ）ａは５１〜５３℃においてあま
り溶解しないが、電着の際に、カリウム金属をも含む品
質の劣る灰色のアルミニウム付着物を生戊する。
が、個々の成分が有する好ましくない特性にも拘わらず
、最良の電解質特性を有することは驚くべきことである
。既知の錯体ＫＦ・２ＡＱＥｔ．およびＫ Ｆ ・２
Ａ（！Ｍｅ３はそれぞれ１２７〜１２９℃および１５１
〜１５２℃で溶融する（ディザーテーション、Ｈ．レー
ムクール、ＴＨ アーヘン，１９５４年）。二つの錯
体の比較的高い融点故に、トルエンへの溶解性も、冷却
時に容易に濃厚溶液から晶出するような程度である。Ｋ
Ｆ・２ＡＩ２（ｉＢｕ）ａは５１〜５３℃においてあま
り溶解しないが、電着の際に、カリウム金属をも含む品
質の劣る灰色のアルミニウム付着物を生戊する。
陽極電流収率も劣る（ディザーテーション、Ｈ，レーム
クール、ＴＨ アーヘン、１９５４年）。
クール、ＴＨ アーヘン、１９５４年）。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の目的は、優れた均一電着性、できるだけ高い導
電性、高い電流密度負荷、およびＯ〜２０′Ｃに冷却し
た際の均一溶解性のような工業的用途に要求される特性
を最も好ましい態様で併有する電解質を提供することに
ある。
電性、高い電流密度負荷、およびＯ〜２０′Ｃに冷却し
た際の均一溶解性のような工業的用途に要求される特性
を最も好ましい態様で併有する電解質を提供することに
ある。
［課題を解決するための手段］
本発明の上記課題は、ＫＦ・２ＡＱＥｔ３（Ａ）、ＫＦ
・２ＡｇＭｅ３（Ｂ）およびＭ Ｆ ・２ ＡＲ（ｉ
−Ｂ ｕ）３（Ｃ）〔式中、Ｍはナトリウムまたはカリ
ウムあるいは両者の混合物を表す。〕をモル比２：ｌ：
１〜７：１：１で含んでなるアルミニウム電着用の有機
アルミニウム電解質により達或される。後者の二つの成
分ＫＦ・２ｋＱＭｅｓおよびＭＦ・２Ａｆ２（ｉＢｕ）
３はおよそ等モル量で存在する。
・２ＡｇＭｅ３（Ｂ）およびＭ Ｆ ・２ ＡＲ（ｉ
−Ｂ ｕ）３（Ｃ）〔式中、Ｍはナトリウムまたはカリ
ウムあるいは両者の混合物を表す。〕をモル比２：ｌ：
１〜７：１：１で含んでなるアルミニウム電着用の有機
アルミニウム電解質により達或される。後者の二つの成
分ＫＦ・２ｋＱＭｅｓおよびＭＦ・２Ａｆ２（ｉＢｕ）
３はおよそ等モル量で存在する。
本発明の電解質は、使用するＭＦの星に対して２〜４
５モル量の０℃で液状の芳香族炭化水素に溶解する。
５モル量の０℃で液状の芳香族炭化水素に溶解する。
溶媒として、トルエンまたは液状キシレンを、使用する
ＭＦの量に対して好ましくは３〜４モルの量で使用する
のが好ましい。
ＭＦの量に対して好ましくは３〜４モルの量で使用する
のが好ましい。
電解質中に少量のＮａＦ・２Ａ（Ｒ．錯体が存在すると
、アルミニウム層の光沢が向上する。電解質全体のＫＦ
：ＮａＦ比は杓７：１〜２０゜ｌである。
、アルミニウム層の光沢が向上する。電解質全体のＫＦ
：ＮａＦ比は杓７：１〜２０゜ｌである。
幾つかの電解質およびそれらが液体である温度範囲を下
記第１表に例示する。
記第１表に例示する。
第２表より、９５℃においてキシレン溶液が等モル量の
トルエン溶液より導電性が低いことが明らかである。こ
のことはキシレン溶液を１３０’Ｃに昇温することによ
りほぼ補うことができる。
トルエン溶液より導電性が低いことが明らかである。こ
のことはキシレン溶液を１３０’Ｃに昇温することによ
りほぼ補うことができる。
本発明の電解質からのアルミニウム電着は、可溶性アル
ミニウム陽極を使用することにより、トルエン溶液から
９０〜１００℃で、およびキシレン溶液から９５〜１３
０℃で良好に行われる。陽極および陰極電流密度は各々
９８〜１００％であった。間隔をおいて極性が反転する
ことなく、良好な電解質撹拌により陰極電流密度１．０
〜１．２Ａ／ｄｆｆｌｔを達成することができる。輝き
のある均一なアルミニウム層が得られた。本発明の電解
質の均一電着性は、ＫＦ・２Ａｌ２Ｅｔ３・４．０モル
トルエン、ＣｓＦ ・２Ａｌ２Ｅｔｓ・４．０モルトル
エン、またはヨーロッパ特許第０ ０８４ ８１６号
に記載のＫＦ ［１ ． ６ Ａｆ２Ｅ ｔｓ ・０．
４ Ａ＆（ｉＢｕ）−コ・４，Ｏモルトルエンに相当
する。
ミニウム陽極を使用することにより、トルエン溶液から
９０〜１００℃で、およびキシレン溶液から９５〜１３
０℃で良好に行われる。陽極および陰極電流密度は各々
９８〜１００％であった。間隔をおいて極性が反転する
ことなく、良好な電解質撹拌により陰極電流密度１．０
〜１．２Ａ／ｄｆｆｌｔを達成することができる。輝き
のある均一なアルミニウム層が得られた。本発明の電解
質の均一電着性は、ＫＦ・２Ａｌ２Ｅｔ３・４．０モル
トルエン、ＣｓＦ ・２Ａｌ２Ｅｔｓ・４．０モルトル
エン、またはヨーロッパ特許第０ ０８４ ８１６号
に記載のＫＦ ［１ ． ６ Ａｆ２Ｅ ｔｓ ・０．
４ Ａ＆（ｉＢｕ）−コ・４，Ｏモルトルエンに相当
する。
［実施例コ
大梅園１
ＫＦ − ２１！Ｅｔ３、Ｋ Ｆ ・２ Ａｆ２Ｍｅ３
およびＫＦ−２Ａ０．（ｉＢｕ）−を既知の方法（デイ
ザーテーション、夏］．レームクーノレ、ＴＨ アーヘ
ン、１９５４年）により調製し、２：１：ｌのモル比で
ＫＦＩモル当たり３．０モルのトルエンに溶解した。こ
の溶液を１０’Ｃで１週間貯蔵したが、結晶は現れなか
った。
およびＫＦ−２Ａ０．（ｉＢｕ）−を既知の方法（デイ
ザーテーション、夏］．レームクーノレ、ＴＨ アーヘ
ン、１９５４年）により調製し、２：１：ｌのモル比で
ＫＦＩモル当たり３．０モルのトルエンに溶解した。こ
の溶液を１０’Ｃで１週間貯蔵したが、結晶は現れなか
った。
実施例２
まずＡｆｆ（ｉＢ ｕ）ｓ １ ２ ２ ． ９ミリモ
ル、続いてＡＣＭｅ． １ ２ ２． ９ミリモルを、
Ｋ［ＡＱＥｔ．Ｆ］２４ ５．８ミリモルのトルエン７
３７．４ミリモル中溶ｔｆ支に５０℃で滴加することに
より同量の電解質溶液を得た。
ル、続いてＡＣＭｅ． １ ２ ２． ９ミリモルを、
Ｋ［ＡＱＥｔ．Ｆ］２４ ５．８ミリモルのトルエン７
３７．４ミリモル中溶ｔｆ支に５０℃で滴加することに
より同量の電解質溶液を得た。
実施例３
ＫＦ・２Ａｌ２Ｅｔ３５７ミリモル、ＫＦ・２Ａ＆Ｍｅ
ｓ２８．５ミリモルおよびＫ Ｆ ・２ Ａｌ２（ｉＢ
ｕ）３２８．５ミリモルを、２０’Ｃで、メタキシレン
３４２ミリモルに溶解して透明な溶液を得た。１０℃で
数週間貯蔵後もこの溶液から結晶は沈澱しなかった。
ｓ２８．５ミリモルおよびＫ Ｆ ・２ Ａｌ２（ｉＢ
ｕ）３２８．５ミリモルを、２０’Ｃで、メタキシレン
３４２ミリモルに溶解して透明な溶液を得た。１０℃で
数週間貯蔵後もこの溶液から結晶は沈澱しなかった。
実施例４
Ａ（！Ｅｔ３４３０ミリモル、Ａ＆Ｍｅ．７ １．７５
ミリモルおよびＡ＋２（ｉＢｕ）−７ １．７ ５ミリ
モルの混合物を撹拌下に、４０〜５０℃で、乾燥ＫＦ２
８７．０ミリモルのトルエン１．０モル中懸濁液に滴加
した。透明な溶液が得られ、１０℃で貯蔵しても、結晶
は沈澱しなかった。
ミリモルおよびＡ＋２（ｉＢｕ）−７ １．７ ５ミリ
モルの混合物を撹拌下に、４０〜５０℃で、乾燥ＫＦ２
８７．０ミリモルのトルエン１．０モル中懸濁液に滴加
した。透明な溶液が得られ、１０℃で貯蔵しても、結晶
は沈澱しなかった。
実施例５
Ｋ Ｆ ・２ ＡＩ２Ｍｅ＋ １ ０． ２ミリモル、
ＫＦ−２ＡＱ（ｉＢｕ）３１ ０．２ミリモルおよびＫ
Ｆ−２ＡＩ２Ｅｔ３６１．２ミリモルを、６０〜７０℃
で、メタキシレン３０．１ｍ（２（２４４ミリモル）に
溶解した。
ＫＦ−２ＡＱ（ｉＢｕ）３１ ０．２ミリモルおよびＫ
Ｆ−２ＡＩ２Ｅｔ３６１．２ミリモルを、６０〜７０℃
で、メタキシレン３０．１ｍ（２（２４４ミリモル）に
溶解した。
透明な溶液が得られ、２０℃で貯蔵しても、結晶は得ら
れなかった。
れなかった。
実施例６
本発明の電解質を実施例１により調製し、９２℃で、陰
極電流密度を１．１Ａ／ｄｍ”として、アルミニウム陽
極を用いて電解した。輝きのある均一な層厚ｌ２．５μ
ｌのアルミニウム層を陰極上に得た。陽極の重量損失か
ら算出した陽極電流収率は９８％であり、陰極電流収率
は定量的であった。
極電流密度を１．１Ａ／ｄｍ”として、アルミニウム陽
極を用いて電解した。輝きのある均一な層厚ｌ２．５μ
ｌのアルミニウム層を陰極上に得た。陽極の重量損失か
ら算出した陽極電流収率は９８％であり、陰極電流収率
は定量的であった。
実施例７
実施例３により調製した電解質を、実施例６のようにし
て、１００’Ｃで陰極電流密度を１．２Ａ／ｄ一として
電解した。輝きのあるアルミニウム層を陰極上に得た。
て、１００’Ｃで陰極電流密度を１．２Ａ／ｄ一として
電解した。輝きのあるアルミニウム層を陰極上に得た。
陽極電流収率は９７．３％であり、陰極電流収率は定量
的であった。
的であった。
実施例８
実施例４により得た電解質を、９６〜９７℃で、電流密
度１．２〜１．３Ａ／ｄｍ２およびセル電圧１６ボルト
として、実施例６のようにして約１時間電解した。陰極
上に非常に均一な輝きのあるアルミニウム層が得られた
。陽極電流収率は９９％であり、陰極電流収率は定量的
であった。
度１．２〜１．３Ａ／ｄｍ２およびセル電圧１６ボルト
として、実施例６のようにして約１時間電解した。陰極
上に非常に均一な輝きのあるアルミニウム層が得られた
。陽極電流収率は９９％であり、陰極電流収率は定量的
であった。
実施例９
ＫＦ・２Ａｕ：ｔ３９４．４ミリモル、ＫＦ・２Ａ（Ｍ
ｅ３１５．７ミリモルおよびＫ Ｆ ・２ ＡＲ（ｉＢ
ｕ）３１５．７ミリモルをトルエン４８５ミリモルに溶
解し、液状ＮａＦ ・２ ＡＩ２Ｅ Ｌｓ １ ２．７
ミリモルを添加した。得られた電解質は、ＫＦ・２ＡＱ
Ｅｔ，１０７ミリモル、Ｋ Ｆ ・２ ｋｌ２Ｍｅ３１
５． ７ミリモル、Ｋ Ｆ ・２ ＡＱ（ｉＢｕ），
３． ０ミリモルおよびＮａＦ ・２Ａｌ（ｉＢｕ）−
１２．７ミリモルのトルエン４８５ミリモル溶液、また
はＫＦ・２ ＡＣＥ ｔ３７ ８７ミリモル、Ｋ Ｆ−
Ａｆ２Ｍｅ３・Ａ（２Ｅ ｔ３１ ５． ７ミリモル、
ＫＦ − ＡＱＥｔ，・Ａ（（ｉＢｕ）ｓｌ ５．７ミ
リモル、Ｋ Ｆ−ＡＱＭｅｓ ・ＡＩ２（＋Ｂｕ）−
１ ５． ７ミリモル、およびＮａＦ ・２ Ａ（Ｅ
ｔｓ １ ２． ７ミリモルのトルエン４８５ミリモル
溶液から調製された同じ分析組成を有する電解質と全く
同一であった。同し分析組成を有する電解質の同一性は
個々の錯体間のトリアルキルアルミニウムの交換平衡か
ら得られた。
ｅ３１５．７ミリモルおよびＫ Ｆ ・２ ＡＲ（ｉＢ
ｕ）３１５．７ミリモルをトルエン４８５ミリモルに溶
解し、液状ＮａＦ ・２ ＡＩ２Ｅ Ｌｓ １ ２．７
ミリモルを添加した。得られた電解質は、ＫＦ・２ＡＱ
Ｅｔ，１０７ミリモル、Ｋ Ｆ ・２ ｋｌ２Ｍｅ３１
５． ７ミリモル、Ｋ Ｆ ・２ ＡＱ（ｉＢｕ），
３． ０ミリモルおよびＮａＦ ・２Ａｌ（ｉＢｕ）−
１２．７ミリモルのトルエン４８５ミリモル溶液、また
はＫＦ・２ ＡＣＥ ｔ３７ ８７ミリモル、Ｋ Ｆ−
Ａｆ２Ｍｅ３・Ａ（２Ｅ ｔ３１ ５． ７ミリモル、
ＫＦ − ＡＱＥｔ，・Ａ（（ｉＢｕ）ｓｌ ５．７ミ
リモル、Ｋ Ｆ−ＡＱＭｅｓ ・ＡＩ２（＋Ｂｕ）−
１ ５． ７ミリモル、およびＮａＦ ・２ Ａ（Ｅ
ｔｓ １ ２． ７ミリモルのトルエン４８５ミリモル
溶液から調製された同じ分析組成を有する電解質と全く
同一であった。同し分析組成を有する電解質の同一性は
個々の錯体間のトリアルキルアルミニウムの交換平衡か
ら得られた。
ここに記載の電解質を、９５℃で陰極電流密度０．５Ａ
／ｄ−とじて、セル電圧０．７ボルトで電解した。陰極
上に、非常に均一な銀光沢のあるアルミニウム層が得ら
れた。陽極電流収率は９８％で、陰極電流収率は定量的
であった。
／ｄ−とじて、セル電圧０．７ボルトで電解した。陰極
上に、非常に均一な銀光沢のあるアルミニウム層が得ら
れた。陽極電流収率は９８％で、陰極電流収率は定量的
であった。
第１図は、９５℃でのＮ ａＦ ・２ ＡＩ２Ｅ ｔｓ
’ ２モルトルエンとＮａＦ●２ＡＱＥｔ，・４モル
トルエンの均一ｉｔ性を比較して示すグラフである。第
２図は、種々のトルエン希釈度における９５℃でのＮａ
Ｆ・２ＡＣＥｔ３トルエン溶液の導電率を示すグラフで
ある。
’ ２モルトルエンとＮａＦ●２ＡＱＥｔ，・４モル
トルエンの均一ｉｔ性を比較して示すグラフである。第
２図は、種々のトルエン希釈度における９５℃でのＮａ
Ｆ・２ＡＣＥｔ３トルエン溶液の導電率を示すグラフで
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ＫＦ・２ＡｌＥｔ＿３、ＫＦ・２ＡｌＭｅ＿３およ
びＭＦ・２Ａｌ（ｉ−Ｂｕ）＿３〔式中、Ｍはナトリウ
ムまたはカリウムあるいは両者の混合物を表す。〕をモ
ル比２：１：１〜７：１：１で含んでなるアルミニウム
電着用の有機アルミニウム電解質。 ２、使用するＭＦの量に対して２〜４．５モルの０℃で
液体である芳香族炭化水素溶媒に溶解している請求項１
記載の有機アルミニウム電解質。 ３、溶媒使用量が使用するＭＦの量に対して３〜４モル
である請求項２記載の有機アルミニウム電解質。 ４、溶媒としてトルエンまたは液状キシレンを用いる請
求項２または３記載の有機アルミニウム電解質。 ５、トルエン溶液を用いる場合は８０〜１０５℃、好ま
しくは９０〜１００℃の温度で、キシレン溶液を用いる
場合は８０〜１３５℃、好ましくは９５〜１３０℃の温
度で、請求項２〜４のいずれかに記載の有機アルミニウ
ム電解質およびアルミニウム陽極を使用することにより
導電物質にアルミニウムを電着する方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3919069A DE3919069A1 (de) | 1989-06-10 | 1989-06-10 | Aluminiumorganische elektrolyte und verfahren zur elektrolytischen abscheidung von aluminium |
| DE3919069.2 | 1989-06-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0328390A true JPH0328390A (ja) | 1991-02-06 |
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Family
ID=6382542
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2152511A Expired - Fee Related JP2918634B2 (ja) | 1989-06-10 | 1990-06-11 | 有機アルミニウム電解質およびアルミニウムの電着方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP2918634B2 (ja) |
| AT (1) | ATE92114T1 (ja) |
| CA (1) | CA2018129C (ja) |
| DE (2) | DE3919069A1 (ja) |
| DK (1) | DK0402761T3 (ja) |
| ES (1) | ES2044319T3 (ja) |
| IE (1) | IE63956B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007181919A (ja) * | 2007-03-09 | 2007-07-19 | Seiko Epson Corp | ワーク加工装置用治具及びワーク |
Families Citing this family (10)
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|---|---|---|---|---|
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| DE19649000C1 (de) * | 1996-11-27 | 1998-08-13 | Alcotec Beschichtungsanlagen G | Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung |
| DE19716495C1 (de) * | 1997-04-19 | 1998-05-20 | Aluminal Oberflaechentechnik | Elektrolyt für die elektrolytische Abscheidung von Aluminium und dessen Verwendung |
| DE19716493C2 (de) * | 1997-04-19 | 2001-11-29 | Aluminal Oberflaechentechnik | Verfahren zum elektrolytischen Beschichten von metallischen oder nichtmetallischen Endlosprodukten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US7250102B2 (en) * | 2002-04-30 | 2007-07-31 | Alumiplate Incorporated | Aluminium electroplating formulations |
| EP1518946A1 (de) * | 2003-09-27 | 2005-03-30 | Aluminal Oberflächtentechnik GmbH & Co. KG | Electrolyt zur galvanischen Abscheidung von Aluminium |
| EP1927680A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-04 | Aluminal Oberflächentechnik GmbH & Co. KG | Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium aus aprotischen lösungsmitteln in einer galvanisiertrommel |
| US8128750B2 (en) * | 2007-03-29 | 2012-03-06 | Lam Research Corporation | Aluminum-plated components of semiconductor material processing apparatuses and methods of manufacturing the components |
| DE102007018489A1 (de) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | Tec-Chem Gmbh | Aluminiumorganischer 4-Komponentenelektrolyt zur Abscheidung von Aluminium |
| US20080257744A1 (en) * | 2007-04-19 | 2008-10-23 | Infineon Technologies Ag | Method of making an integrated circuit including electrodeposition of aluminium |
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|---|---|---|---|---|
| BE540052A (ja) * | 1955-06-13 | |||
| US3268421A (en) * | 1961-12-04 | 1966-08-23 | Nat Steel Corp | Electrodeposition of metals from a fused bath of aluminum halohydride organic complex and composition therefor |
| US3448134A (en) * | 1961-12-04 | 1969-06-03 | Nat Steel Corp | Organic aluminum complexes |
| US3672965A (en) * | 1970-06-29 | 1972-06-27 | Continental Oil Co | Electroplating of aluminum |
| US4144140A (en) * | 1974-11-13 | 1979-03-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Method for the preparation of additives in organo-aluminum electrolyte media |
| DE2453829C2 (de) * | 1974-11-13 | 1983-04-07 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zur Herstellung von Additiven und ihre Verwendung als Glanzbildner |
| US4003804A (en) * | 1975-12-31 | 1977-01-18 | Scientific Mining & Manufacturing Company | Method of electroplating of aluminum and plating baths therefor |
| DE3202265A1 (de) * | 1982-01-25 | 1983-07-28 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Elektrolyt zur galvanischen abscheidung von aluminium |
| EP0309831A1 (de) * | 1987-09-29 | 1989-04-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Ionensperrschicht auf Metallen und Nichtmetallen |
| US4778575A (en) * | 1988-01-21 | 1988-10-18 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Electrodeposition of magnesium and magnesium/aluminum alloys |
-
1989
- 1989-06-10 DE DE3919069A patent/DE3919069A1/de not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-06-01 CA CA002018129A patent/CA2018129C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-06-05 US US07/533,322 patent/US5091063A/en not_active Expired - Lifetime
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- 1990-06-07 ES ES90110744T patent/ES2044319T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-07 DE DE90110744T patent/DE69002406T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-06-08 IE IE206290A patent/IE63956B1/en not_active IP Right Cessation
- 1990-06-11 JP JP2152511A patent/JP2918634B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4706651B2 (ja) * | 2007-03-09 | 2011-06-22 | セイコーエプソン株式会社 | ワーク加工装置用治具及びワーク |
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| EP0402761A1 (en) | 1990-12-19 |
| IE902062L (en) | 1990-12-10 |
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| DK0402761T3 (da) | 1993-10-04 |
| DE69002406D1 (de) | 1993-09-02 |
| CA2018129A1 (en) | 1990-12-10 |
| US5091063A (en) | 1992-02-25 |
| CA2018129C (en) | 1999-08-10 |
| ES2044319T3 (es) | 1994-01-01 |
| DE3919069A1 (de) | 1990-12-13 |
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| ATE92114T1 (de) | 1993-08-15 |
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