-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen integrierten magneto-optischen
Modulator mit optischem Isolator, der einen optischen Isolator,
der in der optischen Kommunikation eingesetzt wird, und einen optischen
Modulator, der Licht moduliert indem der magneto-optische Effekt
eingesetzt wird, integriert; auf ein Verfahren zum Herstellen desselben; und
auf ein optisches Kommunikationssystem, das denselben [den integrierten
Modulator] benutzt.
-
EP 1 202 105 offenbart ein
optisches Übertragungssystem,
das mit einem magneto-optischen Modulator ausgestattet ist. Das
System umfasst eine Lichtquelle, einen Polarisator, wobei der magneto-optische
Modulator ein den Faraday-Effekt verwendendes magneto-optisches
Element umfasst, einen Analysator, einen Hochfrequenzfeld-Generator, der so
funktioniert, dass ein hochfrequentes magnetisches Feld an das magneto-optische
Element angelegt wird, einen Impedanzeinsteller, der so funktioniert,
dass die elektrische Impedanz des Hochfrequenzfeld-Generators so eingestellt
wird, dass eine effektive Übertragung
des Signals von einem Hochfrequenz-Generator zu dem Hochfrequenzfeld-Generator
erzielt wird, einen Gleichstromfeld-Generator zum Beaufschlagen
eines vorausrichtenden Gleichstromfelds auf das magneto-optische
Element, eine Lichtleitfaser und einen optischen Empfänger.
-
In
allen in
EP 1 202 105 offenbarten
Ausführungsformen
wird das Hochfrequenzfeld in einer Richtung parallel zu der Ausbreitungsrichtung
des Lichts angelegt. Das vorausrichtende Gleichstromfeld wird in
einer Gleichstromfeld beaufschlagungsrichtung A oder B oder einer
beliebigen Richtung in einer A und B enthaltenen Ebene senkrecht
zu der Lichtausbreitungsrichtung angelegt. Das vorausrichtende Gleichstromfeld
wird senkrecht zu dem Hochfrequenzfeld oder innerhalb eines Bereichs
von 90° ± 30° zu der Richtung
des Anlegens des Hochfrequenzfelds beaufschlagt.
-
US 5 598 492 offenbart eine
optische Vorrichtung mit einem metallisch-ferromagnetischen Wellenleiter-Isolator,
der mit einer einen Wellenleiter enthaltenden optischen Isolatorvorrichtung
und/oder mit einem Diodenlaser oder Diodenlaserverstärker integriert
ist. Der optische Isolator umfasst einen Hauptteil aus einem Halbleitermaterial
mit einem Wellenleiter darin, einem TE Modus-Eingang an einem Ende
des Hauptteils, einem Analysator mit einem Bragg-Ablenkungsgitter,
einem TE-TM Modus-Konverter mit Faraday-Rotator, und einem umgekehrten,
als Kammfilter arbeitenden TE-TM Modus-Konverter, der einen Ausgang
bildet.
-
JP-04-274204
offenbart eine optische Übertragungsvorrichtung
umfassend ein Substrat und ferner einen Halbleiterlaser, der einen
Lichtstrahl ausgibt, einen optischen Modulator zum Modulieren des Lichtstrahls
und eine Lichtleitfaser, in die der modulierte Lichtstrahl eingegeben
wird. Die vorgenannten Elemente werden auf dem Substrat wie folgt
befestigt. Der optische Modulator umfasst einen kugelförmigen Vorsprung
an seiner unteren Oberfläche,
während
das Substrat mindestens eine kugelförmige Vertiefung mit demselben
Radius aufweist, um den kugelförmigen
Vorsprung befestigend aufzunehmen und so den Modulator aufzunehmen.
Diese Druckschrift offenbart nicht, dass ein einziges polarisierendes
Element als ein Analysator einer optischen Isolationseinheit und
als ein Polarisator einer nachfolgenden optischen Modulationseinheit
eingesetzt wird und ebenfalls nicht, dass Elemente in einer Weise
mit Kontakt von Fläche
zu Fläche
angeordnet sind.
-
WO
99/15928 offenbart eine integrierte optische Übertragungsvorrichtung umfassend:
einen Zusammenbau eines optischen Kopfs zum Erzeugen eines optischen
Strahls; einen optischen Modulator zum Bereitstellen von Modulation
für den
Strahl in Antwort auf Modulationssignale; Schnittstellenoptik, beispielsweise
eine GRIN (abgestufter Brechungsindex, Englisch: Graded Refractive
Index) – Linse
zum Zusammenfügen
des optischen Kopfs und des Modulators; und einen Generator zum
Erzeugen eines externen Signals zum Erzeugen des modulierten Signals.
In einer Ausführungsform
umfasst ein Zusammenbau eines Laserkopfs eine Laserdiode zum Erzeugen
eines optischen Strahls, eine erste und zweite asphärische Linse
zum Fokussieren und Kollimieren des Strahls und einen optischen
Isolator zum Verhindern, dass Licht, das von einem beliebigen Punkt abwärts auf
der optischen Verbindung reflektiert wird, in die Laserdiode 20 zurückkehrt.
Der optische Modulator selbst ist ein integrierter optischer Schaltkreis (IOC,
Englisch: Integrated Optical Circuit), der in Lithiumniobat (LiNbO3) hergestellt ist. Der optische Isolator
ist in dem Zusammenbau des optischen Laserkopfs enthalten, der eine
von der optischen Modulatoreinheit getrennte Einheit ist. Auch diese
Druckschrift offenbart nicht, dass ein einzelnes polarisierendes
Element als ein Analysator und eine optische Isolatoreinheit und
als ein Polarisator einer nachfolgenden optischen Modulatoreinheit
eingesetzt wird, und auch nicht, dass die Elemente in einer Weise
mit Kontakt von Fläche
zu Fläche
angeordnet sind.
-
US 3 495 189 offenbart einen
Breitbandmodulator aus magneto-optischem Granat, umfassend: eine
kohärente
Lichtquelle, einen Polarisator, eine Fokussierlinse zum Fokussieren
des kohärenten Lichts
zum Einkoppeln in einen Modulator, wobei der Modulator ein Modulator
aus substituiertem Granat und ein Analysator ist. Der Modulator
aus substituiertem Granat ist so angepasst, dass sich Licht in der kristallographischen
[100] Richtung dadurch hindurch ausbreitet. Ein externes magnetisches
Vorausrichtungsfeld wird angelegt, mit einer Komponente senkrecht
zu der Lichtausbreitungsrichtung, d.h. einer Komponente in der kristallographischen
[110] Richtung, so dass der Modulator magnetisch gesättigt bleibt.
Der Modulator weist im Wesentlichen eine zylindrische Form auf und
die Zylinderachse ist im Wesentlichen parallel zu der Lichtausbreitungsrichtung.
Um die Zylinderoberfläche
wir eine Wicklung bereitgestellt und ein Modulationsstrom wird da
hindurch geleitet, um so ein modulierendes magnetisches Feld in
der Lichtausbreitungsrichtung anzulegen. Die kreisförmigen Lichttransmissionsoberflächen können teilweise
reflektierend sein.
-
In
einem Zweiwegesystem wird der Modulator mit einem reflektierenden
Ende versehen, so dass bewirkt wird, dass der Strahl den kristallinen
Modulator erneut durchläuft,
wobei durch dieses erneute Durchqueren ein gleicher Grad der Modulation
hinzugefügt
wird. Das Zweiwegesystem umfasst eine kohärente Lichtquelle, die einen
Strahl erzeugt, einen ebenen Polarisator zum Durchleiten eines polarisierten
Strahls, ein Wollaston Prisma zum Abbiegen und Übertragen des Strahls, ein
statischer 45° Rotator zum
Drehen der Ebene der Polarisation und der Modulator weist ein reflektierendes
Ende auf. Ein Strahl, der durch das Wollaston Prisma, den 45° Rotator
und den Modulator hindurchgelaufen ist, und der an dem reflektierenden
Ende reflektiert worden ist, läuft
auf seinem Rückweg
noch einmal durch den 45° Rotator, und
beim Erreichen des Wollaston Prismas ist er um insgesamt 90° gedreht,
wo er dann aus dem Lichtpfad von der Lichtquelle zu dem Modulator
abgelenkt wird.
-
Ein
elektrooptischer Modulator, wie etwa eine Pockels-Zelle, ist in herkömmlichen
optischen Kommunikationssystemen weit verbreitet eingesetzt worden.
Insbesondere ist ein optischer Wellenleiter-Modulator, der einen
elektro-optischen
Effekt des LiNbO3 Kristalls einsetzt, ein
typischer Vertreter (Nishihara et al., Optical Integrated Circuit,
Seiten 298-304, 1985, Ohm.sha). Jedoch weist der den elektrooptischen
Kristall einsetzende optische Modulator einen Nachteil dahingehend
auf, dass er unter der Gleichstrom-Drift leidet (J.Appl.Phys., Ausgabe 76,
Nr. 3, Seiten 1405-1408, 1994) und dem optischen Verlust (Englisch:
Optical Damage) leidet. Daher ist es schwierig, diesen für eine längere Zeitdauer zu
betreiben oder es kostet viel, um die Beeinträchtigung seiner Eigenschaften
zu verhindern.
-
Obwohl
andererseits ein magneto-optischer Modulator seit langem untersucht
worden ist (Appl.Phys.Lett., Ausgabe 21 Nr. 8, Seiten 394-396, 1972),
ist dessen Entwicklung nicht weit vorangeschritten, weil seine Antwortgeschwindigkeit
langsamer als die eines elektrooptischen Modulators ist. Der in
JP 7-199137A offenbarte, herkömmliche
magneto-optische Modulator, der in einem optischen Kommunikationssystem
eingesetzt wird, reagiert auf nicht höher als einige zehn kHz.
-
Vor
kurzem wurde ein magneto-optischer Modulator untersucht, bei dem
ein vorausrichtendes magnetisches Gleich stromfeld an einem magneto-optischen
Kristall beaufschlagt wird, um einen elektrischen Strom in einem
Halbleitersubstrat mit elektronischem Schaltkreis zu messen (Appl.
Phys. Lett., Ausgabe 68, Nr. 25, Seiten 3546-3548, 1996, und 61st
JJAP Transaction, Lecture No. 4p-Q-4, 2000). Des Weiteren wird ein
optischer Isolator als ein magneto-optischer Modulator benutzt (US
Patent Nr. 6,141,140 oder JP 3-144417A). Des Weiteren kann sowohl
eine Funktion der optischen Modulation als auch eine Funktion der
optischen Isolation erzielt werden, indem ein einziges, magneto-optisches
Element mit magnetostatischen Wellen eingesetzt wird (JP2001-272639A).
-
In
nahezu allen der herkömmlichen
optischen Kommunikationssysteme wird jedoch in dem Halbleiterlaser
eine direkte Modulation des elektrischen Stroms mit hoher Geschwindigkeit
und ein als Wellenleiter ausgebildeter wellenleitender optischer Modulator,
der den elektrooptischen Effekt (Pockels-Effekt) einsetzt, eingesetzt.
Obwohl die direkte Modulation des Halbleiterlasers einen Vorteil
dahingehend aufweist, dass das optische Kommunikationssystem keine
anderen Modulatoren benötigt
und dass daher sein Aufbau einfach wird, ist die Modulationsfrequenz
allgemein nicht höher
als einige GHz. Wenn ferner ein Halbleiterlaser mit dem Hochfrequenzsignal
betrieben wird, wird der Treiberschaltkreis hoch entwickelt und
ein Übertragungsabstand des
optischen Signals durch die Lichtleitfaser ist begrenzt durch das
Chirping der Wellenlängen.
-
Andererseits
weist der elektrooptische Modulator, insbesondere der den Pockels-Effekt
verwendende, optische Modulator mit Wellenleiter Vorteile dahingehend
auf, dass er für
eine Hochgeschwindigkeitsmodulation eines Laser- oder LED Lichts geeignet ist, und dass
er frei von einer Wellenlängenvariation
oder dem Chirpen der Wellenlängen ist,
was durch eine direkte Modulation eines Halbleiterlasers verursacht
wird. Jedoch weist der elektrooptische Modulator einen Nachteil
dahingehend auf, dass er eine Gleichstrom-Drift und optische Verluste aufweist,
was die Herstellungskosten mit Gegenmaßnahmen zu diesen Nachteilen
vergrößert.
-
Weiterhin
gibt es einen magneto-optischen Modulator zum Überwachen einer Wellenform
eines elektrischen Stroms in einer Mikrostreifenleitung, wobei der
magneto-optischen Kristall direkt auf einem Halbleitersubstrat oder
einer Mikrostreifenleitung angeordnet ist und ein vorausrichtendes
magnetisches Gleichstromfeld an den magnetooptischen Kristall angelegt
wird (Appl. Phys. Lett., Ausgabe 68, Nr. 25, Seiten 3546-3548, 1996).
Jedoch weist die oben genannte Stromüberwachung einen Nachteil dahingehend
auf, dass die Stromwellenform aufgrund der Impedanz-Fehlanpassung
zwischen der Leitung und dem Modulationssignalgenerator durch ein
Klingeln bzw. Rauschen (Englisch: Ringing) gestört wird, und dass die oben
genannte Stromüberwachungsvorrichtung
(Monitor für
elektrische Stromwellen) enthält Lichtleitfasern
keine und daher nicht für
die optischen Kommunikationssysteme geeignet ist.
-
Andererseits
gibt es noch einen anderen magneto-optischen Modulator zum Überwachen
der Wellenform von Strömen
auf der Mikrostreifenleitung, wobei ein Analysator nach dem Durchlaufen
einer kurzen, beispielsweise kürzer
als etwa 1 m, Lichtleitfaser angeordnet ist (61st JJAP Transaction,
Lecture Nr. 4p-Q-4, 2000). Jedoch wird eine lineare Polarisation
durch eine lange Lichtleitfaser allgemein zu einer zufällig verteilten
Polarisation. Daher kann die Intensitätsmodulation von Licht, das
durch eine lange Lichtleitfaser hindurch läuft, selbst bei Verwendung des
Analysators nicht erzielt werden. Weiterhin ist in dem oben genannten
anderen magneto-optischen Modulator das vorausrichtende magnetische
Gleichstromfeld nahezu parallel zu dem magnetischen Hochfrequenzfeld.
Daher weist der oben genannte andere magneto-optische Modulator
einen Nachteil dahingehend auf, dass der magneto-optische Modulator
unter einem starken vorausrichtenden magnetischen Feld zum Erzielen
einer einzigen magnetischen Domäne
magnetisch gesättigt
wird und die magnetische Sättigung
das modulierte Signal stark verringert oder dieses vollständig auslöscht.
-
Darüber hinaus
gibt es ein signifikantes Problem dahingegehend, dass Licht in der
Richtung auf die Lichtquelle zurückkehrt,
wobei die Lichtausbreitung durch den optischen Isolator abgeblockt
werden muss, wenn ein optischer Isolator als ein optischer Modulator
eingesetzt wird, und dass die Polarisation des Lichts sich mit dem
magnetooptischen Effekt (Faraday-Effekt), der durch ein externes
magnetisches Feld erzeugt wird, dreht. In diesem Fall funktioniert
der optische Modulator überhaupt
nicht als ein optischer Isolator. Das oben genannte Problem wird mit
Verweis auf die 7A, 7B und 8 in
Einzelheiten beschrieben. Das einfallende Licht läuft von der
Seite der Lichtquelle her durch einen Polarisator 202,
wie in 7A gezeigt, und nur das Licht,
das der Polarisationsebene des Polarisators 202 entspricht,
dringt hindurch. Und dann wird das durch den Polarisator 202 übertragene
Licht in ein magneto-optisches Element 204 eingegeben und
die Polarisationsebene dreht sich während des Durchlaufens da hindurch
um 45°.
Der Analysator 210 kann das Licht vollständig zu
der Systemseite übertragen,
weil die Polarisationsebene, die der Analysator übertragen kann, gleich wie
die durch den Polarisator 202 gedrehte Polarisationsebene
ist. Daher kann sich das eintreffende Licht in der Vorwärtsrichtung
in idealer Weise ohne Verlust ausbreiten, bzw. da hindurchtreten,
wenn die Orientierung der Polarisation sowohl von dem Polarisator 202 als
auch dem Analysator 210 geeignet eingestellt wird.
-
Wenn
andererseits Licht in der umgekehrten Richtung von der Systemseite
her eingegeben wird, überträgt der Analysator 210 das
Licht mit genau der gleichen Polarisationsebene wie die Orientierung
der Polarisation des Analysators 210. Und dann wird das durch
den Analysator 210 übertragene
Licht in ein magneto-optisches Element 204 eingegeben und
die Polarisationsebene dreht sich während des Durchlaufens da hindurch
um 45°.
Die Drehrichtung der Polarisation ist immer die gleiche, unabhängig von
der Vorwärts-
oder Rückwärtsrichtung.
Weil die Polarisation des durch das magneto-optische Element 204 hindurch
tretenden Licht absolut senkrecht zu der Orientierung der Polarisation
des Analysators 202 ist, kann das reflektierte Rückkopplungslicht überhaupt nicht
zu der Lichtquelle zurückkehren.
Dieser Aufbau kann als eine optische Diode bezeichnet werden, weil sich
Licht nur in der einen Richtung (der Vorwärtsrichtung) ausbreiten kann.
Der oben genannte Betrieb wird jedoch erzielt, wenn der Drehwinkel
der Polarisation aufgrund des Faraday-Effekts an dem magneto-optischen
Element 204 genau 45° beträgt. Das
bedeutet, dass, wenn sich dessen Drehwinkel ein wenig von 45° weg verschiebt,
dann ist die Polarisation des reflektierten Rückkopplungslichts durch das
magneto-optische Element 204 nicht absolut senkrecht auf der
Polarisationsebene des Analysators 202, und das reflektierte
Rückkopplungslicht
kehrt in geringem Maße
zu der Lichtquelle zurück.
In dem besonderen Fall, dass ein optischer Modu lator als ein optischer Isolator
eingesetzt wird, ist es erforderlich, dass sich der Faraday-Drehwinkel
an dem magneto-optischen Element 204 von 45° verschiebt,
weil das magneto-optische Element 204 die Lichtmodulation
ausführen
muss. Je größer die
Winkelverschiebung ist, desto mehr reflektiertes Rückkopplungslicht
kehrt zu der Lichtquelle zurück.
-
8 zeigt
ein Schaubild der Beziehung zwischen der Modulationstiefe und dem
Transmissionsgrad des reflektierten Rückkopplungslichts, wenn ein optischer
Isolator als ein optischer Modulator verwendet wird. Ein gewöhnlicher
optischer Isolator sollte so funktionieren, dass die Lichtübertragbarkeit
in der Rückwärtsrichtung
0,1% oder weniger (0,001% oder weniger je nach dem Einsatz) wird.
Es ist jedoch bekannt, dass das reflektierte Rückkopplungslicht näherungsweise
zu soviel wie etwa 10% bis 20% zu der Lichtquelle zurückkehrt,
selbst wenn die Modulationstiefe einige Prozente wird, wie in 8 gezeigt, und
der optische Isolator die Funktion als optischer Isolator überhaupt
nicht ausführt.
Bisher wurde überhaupt
nicht berücksichtigt,
dass die Funktion als optischer Isolator, wie beschrieben, ansehnlich
verschlechtern wurde, wenn der optische Isolator als optischer Modulator
eingesetzt wird. Darüber
hinaus kann der optische Isolator mit einem Metallgehäuse abgedeckt
sein, und der Magnet aus einem Selten-Erd-Metall kann in einem optischen
Isolator eingesetzt werden. Daher besteht auch das Problem, dass
das magnetische Hochfrequenzfeld für die Modulation nicht effektiv
an dem magneto-optischen Element angelegt werden kann aufgrund des
Einflusses von Wirbelströmen,
wenn das magnetische Hochfrequenzfeld dem optischen Isolator von
extern beaufschlagt wird.
-
Des
weiteren besteht ein Problem dahingehend, dass wenn der magneto-optische
Modulator, der die magnetostatische Welle und den optischen Isolator
einsetzt, aus einem einzelnen Element aufgebaut ist (JP2001-272639A);
dann kann keine Breitband-Kommunikation, wie etwa eine optische
Kommunikation, erzielt werden, weil dann die magnetostatische Welle
nur durch eine schmale Frequenzbandbreite angeregt wird. In demselben
Fall gibt es auch ein anderes Problem dahingehend, dass der optische
Isolator das reflektierte Rückkopplungslicht nicht
effizient abblocken kann und das reflektierte Rückkopplungslicht in stärkerem Maße zu der
Lichtquelle zurückkehrt,
wenn die Modulationstiefe in dem optischen Modulator größer wird.
-
Die
vorliegende Erfindung ist gemacht worden, um die oben genannten
Probleme zu lösen. Eine
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen integrierten magneto-optischen
Modulator mit optischem Isolator bereitzustellen, der in einem breiten
Frequenzbereich funktioniert und eine Modulation mit hoher Geschwindigkeit
ausführt.
-
Wie
beansprucht, wird eine integrierte magneto-optische Modulatorvorrichtung
bereitgestellt, die folgendes umfasst: ein erstes polarisierendes Element;
ein erstes magneto-optisches Element; ein zweites polarisierendes
Element; ein zweites magneto-optisches Element; wobei jedes der
Elemente eine erste und eine zweite Lichttransmissionsoberfläche aufweist;
Mittel zum Erzeugen eines vorausrichtenden (Englisch: Bias) Magnetfelds
in dem ersten und zweiten magneto-optischen Element, Mittel zum
Erzeugen eines hochfrequenten Magnetfelds in dem zweiten magneto-optischen
Element und verbindbar mit einem Treiberschaltkreis zum Erzeugen
eines Hochfrequenzsignals.
-
Nach
der Erfindung umfasst die integrierte magneto-optische Modulatorvorrichtung
ferner ein drittes polarisierendes Element, das ebenfalls eine erste
und eine zweite Lichttransmissionsoberfläche aufweist; einen mit den
das hochfrequente Magnetfeld erzeugenden Mitteln verbundenen Impedanzabgleicher
zum effektiven Abstimmen einer Impedanz zwischen dem Treiberschaltkreis
und den das hochfrequente Magnetfeld erzeugenden Mitteln. Das erste
polarisierende Element, das erste magneto-optische Element, das
zweite polarisierende Element, das zweite magneto-optische Element
und das dritte polarisierende Element sind in dieser Reihenfolge entlang
einer eine Lichttransmissionsrichtung definierenden Achse angeordnet
und so orientiert, dass die erste und zweite Lichttransmissionsoberfläche der
Elemente unter einem Winkel ist, der im Bereich von 90°±10° in Bezug
auf die Lufttransmissionsrichtung liegt und in einer solchen Weise,
dass die Lichttransmissionsoberflächen von benachbarten Elementen
in Kontakt miteinander sind. Ebenfalls nach der Erfindung ist eine
der folgenden Bedingungen (i) oder (ii) erfüllt:
- (i)
Die das vorausrichtende Magnetfeld erzeugenden Mittel sind so angeordnet,
dass ein erstes vorausrichtendes Magnetfeld an dem ersten magneto-optischen
Element angelegt wird, wobei das erste vorausrichtende magnetische
Feld unter einem Winkel von 0°±30° in Bezug
auf die Achse orientiert ist, und dass ein zweites vorausrichtendes
Magnetfeld an das zweite magneto-optische Element angelegt wird,
wobei das zweite vorausrichtende Magnetfeld unter einem Winkel von 90°±30° in Bezug
auf die Achse orientiert ist;
- (ii) Die das vorausrichtende Magnetfeld erzeugenden Mittel sind
so angeordnet, dass ein vorausrichtendes Magnet feld unter einem
Winkel von 45°±30° in Bezug
auf die Achse orientiert ist.
-
Immer
noch nach der Erfindung bilden das erste polarisierende Element,
das erste magneto-optische Element und das zweite polarisierende
Element eine optische Isolatoreinheit aus, wobei der Winkel zwischen
den Polarisationsachsen des ersten und zweiten polarisierenden Elements
und der Faraday-Rotationswinkel des ersten magneto-optischen Elements
so eingestellt sind, dass Licht, das sich entlang der Achse in einer
Einwegrichtung von dem ersten polarisierenden Element in Richtung
auf das zweite polarisierende Element ausbreitet, von dem zweiten
polarisierenden Element übertragen
wird, wohingegen Licht, dass das erste magneto-optische Element
durchquert hat, entlang der Achse in der umgekehrten Richtung von
dem zweiten polarisierenden Element in Richtung auf das erste polarisierende
Element eine Polarisation aufweist, die senkrecht zu der Polarisationsorientierung
des ersten polarisierenden Elements ist.
-
Weiters
nach der Erfindung bilden das zweite polarisierende Element, das
zweite magneto-optische Element und das dritte polarisierende Element eine
magneto-optische Modulatoreinheit aus, bereitgestellt zum Übertragen
von Licht, das die optische Isolatoreinheit durchquert hat und das
sich entlang der Achse durch das zweite polarisierende Element, das
zweite magneto-optische Element und das dritte polarisierende Element
in der Richtung von dem zweiten polarisierenden Element zu dem dritten
polarisierenden Element hin ausbreitet, und zum Modulieren der Intensität von Licht,
so dass das dritte polarisierende Element Licht ausgibt, das auf
eine gewünschte
Signalin tensität
moduliert ist entsprechend dem in dem zweiten magneto-optischen
Element erzeugten magnetischen Feld.
-
Das
erste magneto-optische Element und das zweite magneto-optische Element
können
auf einem gleichen Substrat angeordnet sein.
-
Wie
ferner beansprucht wird, wird ein Verfahren bereitgestellt zum Herstellen
einer integrierten magneto-optischen Modulatorvorrichtung nach der ersten
der oben genannten Ausführungsformen.
Dieses Verfahren umfasst die Schritte des Herstellens eines Selten-Erd-Eisengranat-Kristalls, der auf
einem nicht-magnetischen Granatsubstrat aufgewachsen ist; Ausbilden
einer Furche in dem Granat-Kristall, zum Unterteilen des Granatkristalls
in ein erstes Teil, dass das erste magneto-optische Element ausbildet,
und ein zweites Teil, dass das zweite magnetooptische Element ausbildet,
so dass die Furche beinahe senkrecht auf einer beabsichtigten Lichttransmissionsrichtung
der integrierten magneto-optischen Modulatorvorrichtung ist; und
Einfügen
des zweiten polarisierenden Elements in die Furche.
-
Das
Verfahren kann ferner folgendes umfassen: Anpassen des ersten Teils
des ersten magneto-optischen Elements zur Verwendung als einen optischen
Isolator und des zweiten Teils des zweiten magneto-optischen Elements
als eine magneto-optische Modulatoreinheit durch Befestigen des
ersten und dritten polarisierenden Elements an der Position, bei
der eintreffendes Licht und ausgehendes Licht übertragen werden.
-
Wie
immer noch weiters beansprucht wird, wird ein optisches Kommunikationssystem
bereitgestellt, das umfasst:
eine integrierte magneto-optische
Modulatorvorrichtung nach der oben beschriebenen Ausführungsform;
eine Lichtquelle zum Eingeben eines Lichts in den optischen Isolator
des integrierten magneto-optischen Modulators; einen Lichtquellen-Treiberschaltkreis
zum Betreiben der Lichtquelle; eine Lichtleitfaser zum Weiterleiten
bzw. Ausbreiten eines ausgegebenen Lichts aus der magnetooptischen
Modulatoreinheit der integrierten magnetooptischen Modulatorvorrichtung;
einen Photodetektor zum Detektieren des sich durch die Lichtleitfaser
ausbreitenden Lichts; und einen Signalverarbeitungsschaltkreis zum
Ausführen
eines Signaldekodierungsvorgangs, um aus dem optischen Signal des
von dem Photodetektor empfangenen Lichts die gewünschte Information heraus zu
nehmen.
-
Die
vorliegende Erfindung wird ausführlich
in der folgenden, nicht beschränkenden
Beschreibung mit Verweis auf die beigefügten Figuren erläutert, wobei
gilt:
-
1 ist
eine teilweise im Querschnitt gehaltene Ansicht des gesamten integrierten
magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator nach der vorliegenden
Erfindung.
-
2 ist
eine perspektivische Ansicht eines Hauptteils einschließlich der
optischen Isolatoreinheit und der magneto-optischen Modulatoreinheit
nach der ersten Ausführungsform
des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischen Isolator.
-
3 ist
eine perspektivische Ansicht eines Hauptteils einschließlich der
optischen Isolatoreinheit und der magneto-optischen Modulatoreinheit
nach der zweiten Ausführungsform
des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator.
-
4A ist
eine schematische Ansicht zum Beschreiben des ersten Schritts des
Herstellungsverfahrens des integrier ten magneto-optischen Modulators
mit optischem Isolator, der den optischen Isolator und den magneto-optischen
Modulator auf dem gleichen Substrat umfasst.
-
4B ist
eine schematische Ansicht zum Beschreiben des zweiten Schritts des
Herstellungsverfahrens des integrierten magneto-optischen Modulators
mit optischem Isolator, der den optischen Isolator und den magneto-optischen
Modulator auf dem gleichen Substrat umfasst.
-
4C ist
eine schematische Ansicht zum Beschreiben des dritten Schritts des
Herstellungsverfahrens des integrierten magneto-optischen Modulators
mit optischem Isolator, der den optischen Isolator und den magneto-optischen
Modulator auf dem gleichen Substrat umfasst.
-
4D ist
eine schematische Ansicht zum Beschreiben des vierten Schritts des
Herstellungsverfahrens des integrierten magneto-optischen Modulators
mit optischem Isolator, der den optischen Isolator und den magneto-optischen
Modulator auf dem gleichen Substrat umfasst.
-
4E sind
schematische Ansichten zum Beschreiben des fünften Schritts des Herstellungsverfahrens
des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator,
der den optischen Isolator und den magneto-optischen Modulator auf dem
gleichen Substrat umfasst.
-
5 ist
eine perspektivische Ansicht, die die Lichtquelle, die optische
Isolatoreinheit und den magnetooptischen Modulator in dem gleichen
Gehäuse
enthaltend zeigt.
-
6 ist
eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau des optischen Kommunikationssystems nach
der vorliegenden Erfindung zeigt.
-
7A ist
eine perspektivische Ansicht, die die Lichtausbreitung von der Seite
der Lichtquelle in Richtung auf die Systemseite zeigt.
-
7B ist
eine perspektivische Ansicht, die die Lichtausbreitung von der Systemseite
in Richtung auf die Seite der Lichtquelle zeigt.
-
8 zeigt
ein Schaubild der Beziehung zwischen der Modulationstiefe und dem
Transmissionsgrad des reflektierten Rückkopplungslichts, wenn ein optischer
Isolator als ein optischer Modulator verwendet wird.
-
Im
Folgenden werden Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung mit Verweis auf die beigefügten Zeichnungen
beschrieben. Der integrierte magneto-optische Modulator mit optischem
Isolator nach der vorliegenden Erfindung enthält einen magneto-optischen
Modulator für
mögliche
Modulation mit hoher Geschwindigkeit und einen optischen Isolator,
die vorzugsweise [zusammen] in einem einzigen Gehäuse enthalten
sind. Der magneto-optische Modulator mit möglicher Hochgeschwindigkeitsmodulation
und der optische Isolator sind in einer Weise mit Kontakt von Fläche zu Fläche angeordnet.
-
Der
magneto-optische Modulator antwortet möglicherweise auf das Niveau
der Frequenzen der ferromagnetischen Resonanz (FMR), d.h. 10 GHz-100
GHz oder mehr, durch Beaufschlagen des vorausrichtenden magnetischen
Felds (Englisch: Bias Magnetic Field) auf das magneto-optische Material
und dadurch dafür
zu sorgen, dass dieses die einzelne [einzige] ferromagnetische Domäne aufweist,
wie beispielsweise in Appl.Phys.Lett. Ausgabe 68, Nr. 25 Seiten
3546-3548, 1996 dargestellt. Andererseits bewirkt eine Intensitätsfluktuation
der Lichtquelle in dem optischen Kommunikationssystem mit der optischen
Modulation in Hochgeschwindigkeit im Allgemeinen ein Rauschen aufgrund
des von den verschiedenen optischen Komponenten reflektierten Rückkopplungslichts,
die auf der optischen Übertragungslinie
angeordnet sind, wie etwa Verbindungselemente, Koppler und Filter
für die
Lichtquelle. Es ist leicht, den magneto-optischen Modulator und
den optischen Isolator in einem einzelnen Gehäuse unterzubringen, weil sie
jeweils auf einem ähnlichen magneto-optischen
Element hergestellt werden können.
Aus dem gleichen Grund ist es auch leicht, dafür zu sorgen, dass die magneto-optische
Modulatoreinheit und die optische Isolatoreinheit in einer Weise mit
Kontakt von Fläche
zu Fläche
angeordnet werden können.
Darüber
hinaus kann unter Verwendung eines einzelnen oder eines Paares von
Magnetfeldgeneratoren für
ein vorausrichtendes magnetisches Feld, eine geeignete Stärke des
vorausrichtenden magnetischen Felds sowohl an die optische Isolatoreinheit
als auch an die magnetooptische Modulatoreinheit angelegt werden.
Darüber
hinaus tritt eine Niedrigfrequenzresonanz auf bei 100 MHz – 1000 MHz
aufgrund des Wanderns der magnetischen Domänen, wenn das magneto-optische
Element mit mehreren magnetischen Domänen ohne das vorausausrichtende
Magnetfeld eingesetzt wird, und daher kann, wenn das vorausrichtende
magnetische Feld nicht angelegt wird, das magneto-optische Element nicht
auf die höheren
Frequenzen oberhalb der Resonanzfrequenz antworten und die Hochgeschwindigkeitsmodulation
von Licht nicht ausführen.
Daher muss das vorausrichtende Magnetfeld an dieses magneto-optische
Element angelegt werden. Weiters wird die integrierte magnetooptische
Modulatoreinheit mit optischem Isolator nach der vorliegenden Erfindung
im Folgenden beschrieben.
-
<Erste Ausführungsform>
-
Im
Folgenden wird die erste Ausführungsform
der vorliegenden mit Verweis auf die 1 und 2 beschrieben. 1 ist
eine teilweise im Querschnitt gehaltene An sicht des gesamten integrierten magneto-optischen
Modulators mit optischem Isolator nach der vorliegenden Erfindung. 1 zeigt
ein Querschnittschema einer Aufsicht des integrierten magneto-optischen
Modulators mit optischem Isolator. 2 ist eine
perspektivische Ansicht des Hauptteils einschließlich der optischen Isolatoreinheit
und der magneto-optischen Modulatoreinheit nach der ersten Ausführungsform
des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator.
-
Mit
Verweis auf 2 wird der Betrieb des integrierten
magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator beschrieben.
Der Lichtstrahl Pein wird durch den Polarisator 2 linear
polarisiert. Das eintreffende Licht Pin wird durch eine bestimmte
Linse ein wenig bzw. lose (Englisch; Loosely) fokussiert, so dass
der Strahldurchmesser bei einer in dem letzteren Teil des magneto-optischen
Elements 8 ausgebildeten Spule 12 nahezu minimiert
werden kann. Nur die lineare Polarisationskomponente des Lichtstrahls Pein wird aus dem Polarisator 2 zu
dem magnetooptischen Element 4 hin ausgegeben zur optischen
Isolation. Das magneto-optische Element 4 kann aus einem
beliebigen, den Faraday-Effekt aufweisenden, ferromagnetischen Material
ausgebildet werden, wie etwa ein YIG (Y3Fe5O12) – Volumenkristall
und Bi-substituiertes Granat, das als dicke Schicht ausgebildet
ist. Insbesondere kann ein Bi-substituierter Granatkristall
wegen des effektiveren Faraday-Effekts pro Einheitslänge einen
dünneren
Kristallfilm des magneto-optischen Elements 4 verwirklichen.
-
Die
Polarisation des Lichtstrahls wird aufgrund des Faraday-Effekts
um einen vorbestimmten Winkel während
der Ausbreitung durch das Innere der magneto-optischen Elements 4 gedreht.
Die Lichtausbreitungslänge
und die Stär ke
des angelegten Magnetfelds innerhalb des magnetooptischen Elements 4 werden
so eingestellt und auch das magneto-optische Element 4 wird
so eingestellt, dass es die Lichtpolarisation um den gewünschten
Winkel dreht. Das aus dem magneto-optischen Element 4 ausgegebene
Licht wird in einen Analysator und Polarisator 6 eingegeben,
der die Funktionen sowohl eines Analysators des optischen Isolators
als auch eines Polarisators des magnetooptischen Modulators aufweist.
Es ist möglich,
dual- bzw. zweistufige Anordnungen bereitzustellen (eine Anordnung
bestehend aus einem Polarisator 2, einem magnetooptischen Element 4 und
einem Analysator und Polarisator 6), um das Isolationsverhältnis der
optischen Isolatoreinheit zu verbessern. Der Polarisationsstrahlteiler
kann für
den Analysator und Polarisator 6 verwendet werden, entsprechend
des Magneten für
das vorausrichtende Magnetfeld. Ferner kann das magneto-optische
Element 8 ein Bi-substituierter
Granatkristall sein, der einen dünneren
Kristallfilm verwirklichen kann.
-
Der
Lichtstrahl wird durch den Analysator und Polarisator 6 und
das magneto-optische Element 8 in der magneto-optischen
Modulatoreinheit, den mittleren Teil der Spule 12, d.h.
den Hochfrequenz-Magnetfeldgenerator, und den Analysator 10 übertragen,
und dann gibt der Analysator 10 das auf die gewünschte Signalintensität modulierte
ausgegebene Licht Paus aus.
-
Zum
Anlegen des Hochfrequenz-Magnetfelds kann das Spulenmuster auf der
Oberfläche
des magneto-optischen Elements 8 angeordnet sein. Das Spulenmuster
der Spule 12 ist gezeigt als ein Wirbelwindungsmuster (Englisch:
Whirlpool Winding Pattern) des Quadrats in 2 gezeigt,
während
es ein gewöhnliches
Helixmuster sein kann. Die Spule 12 wird nur auf der einen
Seite des magneto-optischen Elements 8 in 2 angeordnet,
während
sie auch auf beiden Seiten angeordnet sein kann. In dem Fall des
Einsatzes einer der Spulen auf beiden Seiten ist es möglich, die
Stärke
des an das magneto-optische Element 8 angelegten Hochfrequenz-Magnetfelds auf
zweimal oder mehr zu vergrößern. Der
Durchmesser einer Innersten der Spule 12 sollte so klein wie
möglich
sein und ein wenig größer als
der Durchmesser des übertragenen
Strahls, um die Stärke
des Hochfrequenz-Magnetfelds zu vergrößern. Der Durchmesser der innersten
der Spulen 12 hängt
ab von dem Strahldurchmesser des Übertragungslichts durch das
magneto-optische Element 8 (in Abhängigkeit von dem verwendeten
optischen System). Beispielsweise ist es angemessen, dass sein Wert
eingestellt wird auf einen Bereich von 10 bis zu einigen 100 Mikrometern,
wenn dieser integrierte magneto-optische Modulator mit optischem
Isolator für
die Kommunikation eingesetzt wird.
-
Das
vorausrichtende Magnetfeld Hdc1 in der optischen Isolatoreinheit
wird im Wesentlichen parallel zu der Lichtausbreitungsrichtung (nahezu
entlang der Richtung der Z Achse in 2) mittels
eines Permanentmagneten angelegt. Andererseits wird das vorausrichtende
Magnetfeld Hdc2 in der magneto-optischen Modulatoreinheit entlang
der in Bezug auf die Lichtausbreitungsrichtung nahezu senkrechten
Richtung (nahezu entlang der Richtung der X Achse in 2)
mittels eines Permanentmagneten angelegt. In 2 sind die
die vorausrichtenden Magnetfelder erzeugenden Permanentmagnete nicht gezeigt,
um die Zeichnung verständlicher
zu machen.
-
1 zeigt,
dass ein einzelnes Gehäuse
sowohl die optische Isolatoreinheit als auch die magneto-optische
Modu latoreinheit enthält.
In 1 sind die optische Isolatoreinheit und die magneto-optische
Modulatoreinheit in der Weise eines Kontakts von Fläche zu Fläche angeordnet,
und sie sind in einem einzelnen Gehäuse 70 enthalten.
In 1 sind die Magnete 7 und 9 ebenfalls
gezeigt. Der Magnet 7 ist ein Generator für das vorausrichtende
Magnetfeld, das das vorausrichtende Magnetfeld Hdc1 in der optischen
Isolatoreinheit erzeugt, und der Magnet 9 ist ein Generator
für ein
vorausrichtendes Magnetfeld, der das vorausrichtende Magnetfeld
Hdc2 in der magneto-optischen Modulatoreinheit erzeugt. Die Generatoren
für das
vorausrichtende Magnetfeld können Elektromagnete
oder Permanentmagnete, wie etwa SmCo und NdFeB sein. Hier werden
die vorausrichtenden Magnetfelder mittels Permanentmagneten 7 und 9 angelegt.
Jeder Satz von angelegter Richtung und Stärke des vorausrichtenden Magnetfeldes
ist möglich,
wenn in dem magneto-optischen Element 8 der Faraday-Drehwinkel
nahezu 0° ± 90° × n (n ist eine
ganze Zahl) ist. Das vorausrichtende Magnetfeld Hdc2 kann in einem
Winkel innerhalb eines Bereichs von näherungsweise ± 30° in Bezug
auf die am meisten effektiven Winkel orientiert sein.
-
Der
Impedanzeinsteller bzw. -abgleicher 128 ist zwischen der
Spule 12 und dem Treiberschaltkreis des magnetooptischen
Modulators angeordnet und stellt die Impedanz ein, um das Hochfrequenzsignal für die Lichtmodulation
von dem Treiberschaltkreis in die Spule 12 effektiv einzuführen. Unter
Verwendung des integrierten magnetooptischen Modulators mit optischem
Isolator nach der ersten Ausführungsform könnte das
Isolationsverhältnis
in der optischen Isolatoreinheit ungefähr 30 dB sein (dieser Wert
entspricht einem Transmissionsgrad des umgekehrten Rückkopplungslichts
von 0,1%), die Modulationsfrequenz könnte innerhalb eines Bereichs
von Gleichstrom bis nähe rungsweise
3 GHz sein, und es wird kein reflektiertes Rückkopplungslicht in Richtung
auf die Lichtquelle oder den Halbleiterlaser beobachtet.
-
Des
Weiteren tritt in dem Fall, dass kein vorausrichtendes Magnetfeld
angelegt wird, keine Frequenzresonanz von einhundert MHz bis zu
einigen hundert MHz auf und die Modulationsfrequenz könnte innerhalb
eines Bereichs von Gleichstrom bis zu näherungsweise 3 GHz sein. Der
integrierte magneto-optische Modulator mit optischem Isolator nach der
ersten Ausführungsform
umfasst darüber
hinaus die optische Isolatoreinheit und die magneto-optische Modulatoreinheit,
die in einer Weise mit Kontakt von Fläche zu Fläche ausgebildet sind. In einer
bevorzugten Ausführungsform
sind diese in demselben Gehäuse
enthalten.
-
<Zweite Ausführungsform>
-
Als
nächstes
wird die zweite Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung mit Verweis auf 3 beschrieben. 3 ist
eine perspektivische Ansicht eines Hauptteils einschließlich der
optischen Isolatoreinheit und der magneto-optischen Modulatoreinheit
der zweiten Ausführungsform
des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator.
Die Hauptunterschiede zwischen der ersten Ausführungsform und der zweiten
Ausführungsform sind
die Richtung des Anlegens des vorausrichtenden Magnetfelds und des
Hochfrequenz-Magnetfeld-Generators zum Anlegen des Hochfrequenz-Magnetfelds.
Ferner wird hierin ein dünner
Glaspolarisator als Polarisator 2, Polarisator und Analysator 6 und Analysator 10 verwendet,
um in dem gesamten Element die optische Pfadlänge zu verkürzen (Pfadlänge von dem Einfügungsteil
des eintreffenden Lichts Pein bis zu dem
austretenden Teil des Strahlungslichts Paus).
-
In 3 wird
das vorausrichtende Magnetfeld Hdc an die optische Isolatoreinheit
und die magneto-optische Modulatoreinheit angelegt. Mit einem Permanentmagneten
(in 3 nicht gezeigt) als einem Generator für das vorausrichtende
Magnetfeld wird das vorausrichtende Magnetfeld Hdc angelegt entlang
einer Richtung von 45° in
Bezug auf die optische Ausbreitungsrichtung (entlang der Richtung
von 45° in
Bezug auf die Z Achse in Richtung auf die X Achse in der Z-X Ebene
in 3). Das heißt,
die Generatoren für
das vorausrichtende Magnetfeld, die das vorausrichtende Magnetfeld
in sowohl der optischen Isolatoreinheit als auch der magneto-optischen
Modulatoreinheit erzeugen, sind die gleichen. Die Richtung des vorausrichtenden
Magnetfelds Hdc kann in einem Winkel innerhalb eines Bereichs von näherungsweise
45°±30° in Bezug
auf die optische Ausbreitungsrichtung in der Z-X-Ebene, der Z-Y-Ebene
oder einer beliebigen der die Z Achse enthaltenden Ebenen orientiert
sein. Jedoch sollte die Pfadlänge
der Lichtausbreitung durch das magneto-optische Element 4 so
entworfen sein, dass der Faraday-Drehwinkel auf 45° eingestellt
ist.
-
Das
Hochfrequenzfeld kann auch mit der konstant verteilten Leitung (Englisch:
Distributed Constant Line) als Hochfrequenz-Magnetfeldgenerator 13 angelegt
werden. Die konstant verteilte Leitung enthält die Streifenleitung (die
Mikrostreifenleitung ist ebenfalls enthalten) und die koplanare
Leitung, und die Streifenleitung 13 wird in 3 als
ein Hochfrequenz-Magnetfeldgenerator verwendet. Das durch die Streifenleitung 13 erzeugte
Hochfrequenz-Magnetfeld weist eine Richtungskomponente auf senkrecht
zu der Flussrichtung des Hochfrequenzstroms in der Streifenleitung 13.
Daher ist die Magnetisierung des magneto-optischen Elements 8 in
der magneto-optischen Modulatoreinheit in der Richtung ausgerichtet,
in der das vorausrichtende Magnetfeld Hdc und das Hochfrequenz-Magnetfeld HRF synthetisiert werden (in diesem Fall tritt
die Drehung der Magnetisierung auf) wenn der elektrische Strom in
die Streifenleitung 13 gegeben wird und das Hochfrequenz-Magnetfeld
angelegt wird. Der Faraday-Drehwinkel
könnte
in Abhängigkeit
von der Magnetisierungsrichtung verändert werden und die Variation
der Lichtintensität
könnte
entsprechend der Variation des Hochfrequenz-Magnetfelds erzielt
werden. Darüber hinaus
wird der Hochfrequenzstrom an dem Ende der Streifenleitung 13 durch
ein Abschlusselement (Impedanzeinsteller 129) zur Impedanzanpassung
abgeschlossen, um das Hochfrequenzsignal aus dem Treiberschaltkreis
effizient in die magneto-optischen Modulatoreinheit zu übertragen.
Daher ist der Impedanzeinsteller 129 in diesem Fall mit
der Streifenleitung 13 verbunden und die Impedanzeinstellung
wird durch die Streifenleitung 13 und das Abschlusselement 129 ausgeführt. Um
den Lichtstrahl in der magnetooptischen Modulatoreinheit effizient
zu modulieren, ist es darüber
hinaus in wünschenswerter
Weise bevorzugt, dass der Strahl direkt unter der Streifenleitung 13 bis
auf einige 10 Mikrometer verdünnt
wird und so dicht wie möglich
an der Streifenleitung 13 vorbei läuft.
-
Unter
Verwendung des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischem
Isolator nach der ersten Ausführungsform
könnte
das Isolationsverhältnis
näherungsweise
30 dB sein (dieser Wert entspricht dem Transmissionsgrad für umgekehrtes Rückkopplungslicht
von 0,1%), die Modulationsfrequenz könnte innerhalb eines Bereichs
von Gleichstrom bis ungefähr
10 GHz sein. Darüber
hinaus könnte
im Fall des Anlegens eines digitalen Signals an die magnetooptische
Modulatoreinheit die Modulationsgeschwindigkeit innerhalb eines
Bereichs von Gleichstrom bis ungefähr 2,5 Gbps oder 10 Gbps sein.
Das Rauschen des reflektierten Rückkopplungslichts
in Richtung auf die Lichtquelle oder den Halbleiterlaser konnte
nicht beobachtet werden und die Bitfehlerrate vergrößert sich
nicht.
-
<Dritte Ausführungsform>
-
Als
nächstes
wird die dritte Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung mit Verweis auf die 4A bis 4E beschrieben.
Die 4A bis 4E sind
schematische Ansichten zum Beschreiben des ersten Schritts bis zur
fünften
Schritts des Herstellungsverfahrens des integrierten magneto-optischen
Modulators mit optischem Isolator, der den optischen Isolator und
den magneto-optischen Modulator auf dem gleichen Substrat umfasst.
-
Zunächst wird
ein nicht-magnetisches Granatsubstrat 20 hergestellt, wie
in 4A gezeigt. Für das
nicht-magnetische Granatsubstrat 20 ist es bevorzugt, einen
Kristall zu verwenden, dessen Gitterkonstante die des magnetooptischen
Elements (Granatkristall), das auf dem Substrat 20 aufgewachsen wird,
annähert.
Beispielsweise kann GGG (Gd3Ga5O12) oder mit Ca-Mg-Zr substituiertes GGG verwendet
werden.
-
Als
nächstes
wird das magneto-optische Element auf das nicht-magnetische Granatsubstrat 20 durch
ein Epitaxieverfahren aufgewachsen, wie in 4B gezeigt.
Als Epitaxieverfahren ist es beispielsweise möglich, ein Flüssigphasen-epitaxiales Aufwachsverfahren
zu verwenden, bei dem die Wachstumsrate schnell ist. Verschiedene
Granatkristalle 5 können
als ein magneto-optisches Element verwendet werden, jedoch wird
hier ein Bi-substituiertes Selten-Erd-Eisengranat, oder (BiR)3(FeGa)5O12[R ist ein Selten-Erd-Element) verwendet, weil
die Winkelvariation der Faraday-Drehung pro Einheitslänge größer ist.
-
Als
nächstes
wird der Granatkristall zu dem Film mit der gewünschten Dicke aufgewachsen.
Und dann wird der Granatkristall in einer notwendigen Größe als ein
Element unter Verwendung einer exakten Drehblattsäge (im Allgemeinen
wird dies eine Scheibenblattsäge
(Englisch: Dicing Saw) genannt) ausgesägt, wie in 4C gezeigt.
Beispielsweise kann ein #400-#2000 Diamantblatt-Sägeblatt
verwendet werden, und die Schneideraten können 0,5 bis 5,0 mm/sec. sein.
Die Furche wird zur gleichen Zeit ausgebildet wie das oben genannte
Ausschneiden. Diese Furche dient zum Einfügen des Analysators und Polarisators 6 und
unterteilt den Granatkristall 5 in einen Teil des magnetooptischen
Elements 4 und einen Teil des magneto-optischen Elements
B. Es ist im Prinzip bevorzugt, dass die Lichttransmissionsoberflächen des
Polarisators 2, des Polarisators und Analysators 6 und
des Analysators 10 im Wesentlichen unter einem Winkel von
90° in Bezug
auf die Lichttransmissionsrichtung orientiert sind. Jedoch ist es
auch möglich,
dass sie in einem Winkel innerhalb eines Bereichs von 90°±10° in Bezug
auf die Lichttransmissionsrichtung orientiert sind, um den Einfluss
der Lichtreflexion auf diesen Oberflächen zu unterdrücken. Mit
anderen Worten, die Furche 120 kann so ausgebildet werden,
dass die Richtung der Furche 120 unter einem Winkel innerhalb
eines Bereichs von 90°±10° in Bezug
auf die Lichttransmissionsrichtung orientiert ist, und das magneto-optische Element 5 kann
so poliert werden, dass die Richtung der Randoberfläche des
magneto-optischen Elements 5 in einem Winkel innerhalb
eines Bereiches von 90°±10° in Bezug
auf die Lichttransmissionsrichtung orientiert ist. Es wird erinnert,
dass die Lichttransmissionsoberfläche nahezu senkrecht auf der Lichttransmissionsrichtung
steht, wenn die Lichttransmissionsoberfläche in einem Winkel innerhalb eines
Bereichs von 90°±10° in Bezug
auf die Lichttransmissionsrichtung orientiert ist.
-
Als
nächstes
wird der Analysator und Polarisator 6 in die Furche 120 eingefügt und der
Polarisator 2 und der Analysator 10 werden in
die Positionen klebend fixiert, in denen jeweils das einfallende
Licht Pein und das ausgehende Licht Paus übertragen
werden, wie in 4D gezeigt.
-
Als
nächstes
wird der Hochfrequenz-Magnetfeldgenerator (die Streifenleitung 13)
auf der Oberfläche
des angenommenen magneto-optischen Elements 8 ausgebildet,
und die Erdungselektrode wird auf der Oberfläche der Rückseite des Substrats ausgebildet,
wie in 4E gezeigt.
-
Nach
dem oben genannten Herstellungsverfahren kann der integrierte magneto-optische
Modulator mit optischem Isolator durch einfaches Einsetzen des Analysators
und Polarisators 6 in die Furche 120 ausgebildet
werden. Daher wird ein Polieren der Ränder und die verschiedenen
Justierungen, wie etwa Justierung der optischen Achse merklich vereinfacht
werden oder nicht mehr erforderlich sein. Auch wenn hier nur der
Analysator und Polarisator 6 in die Furche 120 in 4D eingefügt wird,
ist es möglich,
Furchen auszubilden, um den Polarisator 2 und den Analysator 10 einzufügen und
diese in jeweils eine der Furchen einzusetzen. Der integrierte magneto-optische
Modulator mit optischem Isolator, bei dem die optische Isolatoreinheit
und die magneto-optische Modulatoreinheit auf dem gleichen Substrat
angeordnet sind, kann leicht ausgeführt werden, indem das oben
Gesagte ausgeführt
wird.
-
Das
vorausrichtende Magnetfeld wird an das Element angelegt, das durch
das vorgenannte Verfahren ausgebildet worden ist. Die Richtung des
vorausrichtenden Magnetfelds ist die gleiche, wie in der zweiten
Ausführungsform
beschrieben. Darüber
hinaus wird das Hochfrequenzsignal von der Hochfrequenzsignalquelle
(in den Zeichnungen nicht gezeigt) an den Hochfrequenz-Magnetfeldgenerator 13 bereitgestellt.
Des Weiteren wird das Abschlusselement am gegenüberliegenden Ende des Hochfrequenz-Magnetfeldgenerators 13 angeordnet,
und alle Impedanzen der Hochfrequenz-Signalquelle, des Hochfrequenz-Magnetfeldgenerators 13 und
des Abschlusselements werden auf den gleichen Wert, beispielsweise
50Ω eingestellt.
Das Abschlusselement ist vom Zeigen in 4E ausgelassen
worden. In dem oben genannten Aufbau ist es möglich, das übertragene Licht zu modulieren,
durch ein Ausdehnen bis auf Breitband (von Gleichstrom bis 10 GHz), indem
die Streifenleitung vom Typ des konstant verteilten Typs als ein
Hochfrequenz-Magnetfeldgenerator verwendet wird. In diesem Fall
hängt die
Frequenzobergrenze von der Frequenzantwort der Hochfrequenz-Signalquelle
oder einer anderen Signalverarbeitungsvorrichtung ab. Bei Verwendung
des integrierten magneto-optischen Modulators mit optischem Isolator
mit dem oben genannten Aufbau könnte
das Isolationsverhältnis
in der optischen Isolatoreinheit näherungsweise 30 dB sein (dieser
Wert entspricht dem Transmissionsgrad des umgekehrten Rückkopplungslichts
von 0,1%), und es wird kein reflektiertes Rückkopplungslicht in Richtung
auf die Lichtquelle oder den Halbleiterlaser beobachtet.
-
<Vierte Ausführungsform>
-
Als
nächstes
wird die vierte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung mit Verweis auf 5 beschrieben. 5 ist
eine perspektivische Ansicht, die zeigt, dass die Lichtquelle, die
optische Isolatoreinheit und der magneto-optische Modulator in demselben
Gehäuse
enthalten sind. In 5 wird ein Halbleiterlaser als
die Lichtquelle 52 benutzt. Das Licht von der Lichtquelle 52 wird
durch die Linse 54 und den integrierten magneto-optischen
Modulator mit optischem Isolator, der die optische Isolatoreinheit
und die magneto-optische Modulatoreinheit aufweist, übertragen.
Als der integrierte magneto-optische Modulator mit optischem Isolator
kann beispielsweise ein beliebiger der in den 2 und 3 gezeigten
Aufbauten eingesetzt werden. Die Linse 54 wird so eingestellt,
dass sie das Licht ein wenig bzw. lose fokussiert, dass der Strahldurchmesser
an einem bestimmten Punkt, beispielsweise direkt unter der Streifenleitung,
nahezu minimiert werden kann. Die Linse 56 ist angeordnet,
um das ausgegebene Licht Paus aus der magneto-optischen
Modulatoreinheit an einem Ende der Lichtleitfaser 60 effizient
einzukoppeln.
-
Der
Photodetektor 50 detektiert das Licht, das von dem Halbleiterlaser 52 zu
der gegenüberliegenden
Seite in der richtigen Lichtrichtung durchleckt, und überwacht
die Lichtsendeleistung des Halbleiterlasers 52. Die Vorrichtung
mit einem einzelnen Gehäuse 70 weist
zuverlässig
einen außergewöhnlichen
Betrieb auf, weil alle der oben genannten Elemente in demselben
Gehäuse 70 durch
Verkleben, Löten
und Schweißen
befestigt sind. Der Magnet zum Anlegen des vorausrichtenden Magnetfelds und
der Impedanzeinsteller sind in 5 nicht
gezeigt, um die Zeichnung besser verständlich zu machen. Die Lichtübertragung
wurde unter Verwendung der oben genannten Vorrichtung mit einem
einzelnen Gehäuse 70 getestet,
und die Modulationsfre quenz könnte
innerhalb eines Bereichs von Gleichstrom bis näherungsweise 10 GHz sein. Darüber hinaus
könnte
im Fall des Beaufschlagens eines digitalen Signals an die magneto-optische
Modulatoreinheit die Modulationsgeschwindigkeit innerhalb eines
Bereiches von Gleichstrom bis näherungsweise
2,5 Gbps oder 10 Gbps sein. Das Rauschen des reflektierten Rückkopplungslichts
in Richtung auf die Lichtquelle oder den Halbleiterlaser konnte
nicht beobachtet werden, und die Bitfehlerrate erhöht sich
nicht.
-
Eine
Leistungsfähigkeit
ziemlich vergleichbar mit der oben genannten, kann auch erzielt
werden, wenn der Treiberschaltkreis der Lichtquelle 52 und
die magnetooptische Modulatoreinheit zusätzlich zu der Lichtquelle,
der optischen Isolatoreinheit und der magneto-optischen Modulatoreinheit
in demselben Gehäuse 70 enthalten
sind. In diesem Fall gibt es einen weiteren Vorteil dahingehend,
dass eine unnötige
Strahlung usw., die vom Beinhalten aller Bauteile einschließlich des
Treiberschaltkreises in demselben Gehäuse 70 herrührt, leicht
abgeschirmt wird. Das Gehäuse 70 kann
auch entweder den Treiberschaltkreis des Halbleiterlasers oder den
Treiberschaltkreis des magneto-optischen Modulators enthalten. Das
Gehäuse 70 kann
auch den Impedanzeinsteller enthalten, um die Impedanz des Treiberschaltkreises
der magnetooptischen Modulatoreinheit einzustellen.
-
<Fünfte
Ausführungsform>
-
Als
nächstes
wird die fünfte
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung mit Verweis auf 6 beschrieben. 6 ist
eine perspektivische Ansicht, die den Aufbau des optischen Kommunikationssystems
nach der vorliegenden Erfindung zeigt. Indem sie durch den Treiberschaltkreis 122 der
Lichtquelle 104 gesteuert wird, funktioniert die Lichtquelle 104 so,
dass eine geeignete Lichtintensität ausgesendet wird. Das von
der Lichtquelle 104 ausgestrahlte Licht wird ein wenig
bzw. lose fokussierter Strahl oder ein paralleler Strahl durch die
Linse 106 sein und dieser Strahl wird in den integrierten
magnetooptischen Modulator mit optischem Isolator 130 eingeführt. Andererseits
wird das Modulationssignal dem magneto-optischen Modulator mit optischem Isolator 130 durch
den Treiberschaltkreis 124 für den magneto-optischen Modulator
zugeführt.
Entsprechend dieses Modulationssignals wird Licht in den magneto-optischen
Modulator mit optischem Isolator 130 moduliert. Licht wird
auf die gewünschte
Intensität
moduliert während
es sich durch den integrierten magneto-optischen Modulator mit optischem
Isolator 130 ausbreitet. Das modulierte Licht wird von
dem integrierten magneto-optischen Modulator mit optischem Isolator 130 ausgegeben,
und das ausgegebene Licht wird durch die Linse 108 so fokussiert, dass
der Lichtstrahl an einem Ende der Lichtleitfaser 110 eingekoppelt
wird.
-
Und
dann breitet sich das Licht durch die Lichtleitfaser 110 aus.
Das an dem anderen Ende der Lichtleitfaser 110 ausgegebene
Licht wird durch die Linse 112 übertragen und wird von dem
Photodetektor 114 detektiert. Der Photodetektor 114 wandelt
das empfangene optische Signal in das elektrische Signal um und
führt dies
dem Signalverarbeitungsschaltkreis 126 zu. Der Signalverarbeitungsschaltkreis 126 führt den
Signaldecodierungsprozess usw. aus und die gewünschte Information wird herausgenommen. Als
der integrierte magneto-optische Modulator mit optischem Isolator
kann beispielsweise ein beliebiger der in den 3 und 4 gezeigten Aufbauten eingesetzt werden.
Daher weist der integrierte magneto-optische Modulator mit optischem
Isolator 130 die Fähigkeit
zur Antwort mit Hochgeschwindigkeit auf. Weil er ja die optische
Isolatoreinheit zwischen der Lichtquelle und der magnetooptischen
Modulatoreinheit aufweist, wird das Rauschen des reflektierten Rückkopplungslichts
in Richtung auf die Lichtquelle nicht beobachtet und das Signal
mit einer Frequenz von mehr als 10 GHz kann durch die Lichtleitfaser 110 über einen
Abstand von 10 oder mehr km übertragen
werden.
-
Ferner
kann beispielsweise das elektrische Signal von einer Antenne oder
das Verstärkungssignal
davon als ein Hochfrequenzsignal verwendet werden, mittels dessen
der Generator für
das Hochfrequenz-Magnetfeld das Hochfrequenz-Magnetfeld erzeugt.
Beispielsweise kann das Kommunikationssystem erzielt werden, das
aufgrund der Antenne die Fähigkeit
zum Empfangen des Radiosignals eines mobilen Kommunikationssystems
erhält,
das Licht entsprechend des empfangenen Signals moduliert und erzeugt
und das Signal zu einer Schaltzentrale über die Lichtleitfaser weiterleitet
bzw. ausbreitet. In diesem Fall, obwohl der integrierte magneto-optische Modulator
mit optischem Isolator nach der vorliegenden Erfindung im Freien
sein kann, weist er nicht die Nachteile auf, wie etwa die Gleichstrom-Drift,
und er wird selbst im Freien, wo die Temperaturvariation groß ist, stabil
betrieben.