DE60208503T9

DE60208503T9 - Thermisch stabile und rauscharme magnetische Aufzeichnungsmedien

Info

Publication number: DE60208503T9
Application number: DE60208503T
Authority: DE
Inventors: c/o Fujitsu Limited Chiaki Kawasaki-shi Okuyama; c/o Yamagata Fujitsu Limited Atsushi Higashine-shi Endo; c/o Yamagata Fujitsu Limited Akira Higashine-shi Kikuchi; c/o Yamagata Fujitsu Limited Takashi Higashine-shi Gouke; c/o Yamagata Fujitsu Limited Reiko Higashine-shi Murao
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2001-06-29
Filing date: 2002-06-28
Publication date: 2006-11-16
Also published as: JP3993786B2; KR20030003115A; KR100801564B1; US6830807B2; US7368187B2; KR20070106482A; US20050069734A1; DE60208503T2; JP2003085737A; KR100796334B1; EP1271482A2; EP1271482B1; DE60208503D1; EP1271482A3; US20030039071A1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. GEBIET DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen ein magnetisches Aufzeichnungsmedium und insbesondere ein thermisch stabiles magnetisches Aufzeichnungsmedium mit hoher Dichte, welches wenig Rauschen verursacht.
2. BESCHREIBUNG DES STANDES DER TECHNIK
Entwicklungen in der Informationstechnologie erfordern eine Zunahme in der Aufzeichnungsdichte von magnetischen Aufzeichnungsvorrichtungen, welche für periphere Computerspeichersysteme verwendet werden. Eine der wichtigen Eigenschaften, welche für magnetische Aufzeichnungsmedien erforderlich sind, ist ein hohes S/Nm-Verhältnis (ein Signal zu Medien-Rausch-Verhältnis).
Es ist bekannt, dass die Pulsbreite Pw50 der Kontroll-Lese-Wellenform eines allgemeinen horizontalen magnetischen Aufzeichnungsmediums in Beziehung steht mit einer Koerzitivkraft Hc, einer magnetischen Restflussdichte Br und einer magnetischen Schichtdicke t, und zwar wie folgt: a ∝ (t X Br/Hc)1/2, und Pw50 = (2 × (a + d)2 + (a/2)2)1/2 wobei d ein magnetischer Abstand ist.
Es ist wünschenswert, dass die Pulsbreite bei 50% der Amplitude Pw50 so klein wie möglich ist, um die Auflösung eines Kontroll-Lesesignals zu erhöhen. Demzufolge ist es wünschenswert, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium zu entwerfen, welches eine kleinere magnetische Schichtdicke t und eine größere Koerzitivkraft Hc aufweist.
Um eine Verminderung im Medien-Rauschen zu erreichen, kann die Größe von magnetischen Körnern vermindert werden und die intergranularen magnetischen Wechselwirkungen können abgeschwächt werden. Es wurden einige Verfahren vorgeschlagen, welche die magnetischen Körner klein machen, indem beispielsweise Tantal Ta, Niob Nb, Bor B oder Phosphor P zu einer CoCr-basierten Legierung hinzugefügt werden.
Es ist ferner bekannt, dass die Zugabe von Platin Pt zu einer CoCr-basierten Legierung beispielsweise die Koerzitivkraft Hc einer magnetischen Schicht erhöht.
Ferner wurde berichtet, dass die Zugabe von Cr zu der magnetischen Schicht einer CoCr-basierten Legierung effektiv die intergranularen magnetischen Wechselwirkungen in der magnetischen Schicht vermindert. Es ist jedoch bekannt, dass, falls eine große Menge von nicht-magnetischem Material zu einer Cobasierten Legierung hinzugefügt wird, die Orientierung in der Ebene der sogenannten "easy axis" der Magnetisierung, der hcp-C-Achse, abgeschwächt ist.
Es wurde berichtet, dass die Verwendung einer Zwischenschicht aus einer Co-basierten Legierung mit einer stärkeren Orientierung in der Ebene zwischen der magnetischen Schicht und einer Unterschicht das Problem dadurch löst, dass die Orientierung in der Ebene verstärkt wird (wie beispielsweise durch S. Ohkijima et al, Digests of IEEE-Inter-Mag., AB-03, 1997, berichtet wurde).
Der Stand der Technik in der japanischen offengelegten Patentanmeldung 2000-251237 offenbart, dass die Koerzitivkraft dadurch verbessert wird, dass Metall, wie z. B. Pt, zu einer CoCr-basierten Legierung hinzugefügt wird, welche als eine Zwischenschicht ausgebildet ist.
Das herkömmliche magnetische Aufzeichnungsmedium weist jedoch noch die folgenden zwei Probleme auf.
Das erste Problem bezieht sich auf die Zwischenschicht. Die Zwischenschicht weist Eigenschaften auf, die zu einer Abschwächung der Orientierung in der Ebene führen, wenn die Menge an nicht-magnetischem Material zunimmt. Demzufolge wird die Orientierung in der Ebene dadurch verstärkt, dass eine Zwischenschicht bereitgestellt wird, welche aus einer Cobasierten Legierung hergestellt ist, welche eine kleinere Menge an nicht-magnetischem Material, wie z. B. Cr, Ta, Nb, B, Mn, Re und Pt aufweist.
Falls die Menge an nicht-magnetischem Material vermindert wird, wird jedoch eine magnetische Sättigungsflussdichte Bs der Zwischenschicht erhöht, und die Zwischenflächen-Austausch-Kombination zwischen der Zwischenschicht und der magnetischen Schicht wird verstärkt. Ferner kann die Dicke t der magnetischen Schicht relativ dünn gehalten werden. Ein magnetisches Kristall-Anisotropie-Feld Hk wird demzufolge vermindert. Diese Verminderung in dem magnetischen Kristall-Anisotropie-Feld Hk macht das magnetische Aufzeichnungsmedium thermisch instabil. Die hohe magnetische Sättigungsflussdichte Bs der Zwischenschicht erhöht die intergranularen Wechselwirkungen zwischen magnetischen Körnern und das Medien-Rauschen im Übergangsbereich.
Das zweite Problem betrifft die magnetische Schicht. Wie zuvor erwähnt wurde, ist ein effektiver Ansatz zur Verminderung des Rauschens des Mediums die Verminderung der Größe der magnetischen Körner in der magnetischen Schicht. Jedoch führt die Verminderung der magnetischen Korngröße zu einem weiteren Problem, und zwar zur Zerstörung der Aufzeichnung aufgrund thermischer Instabilität, da das Volumen der Magnetisierung pro Bit auch vermindert wird. Die thermische Instabilität wird gesteuert durch die Erhöhung der Menge an Pt in der magnetischen Schicht, da das magnetische Kristall-Anisotropie-Feld Hk auch erhöht wird. Jedoch erhöht die Zunahme in der Pt-Dichte die intergranulare Wechselwirkung und demzufolge das Medien-Rauschen.
Das Verhältnis eines isolierten Pulssignals zu dem Medien-Rauschen (Siso/Nm) wird auf einen erwünschten Pegel herabgesetzt, indem die Cr-Dichte erhöht wird. Falls die Pt-Dichte anstatt der Cr-Dichte erhöht wird, um das magnetische Kristall-Anisotropie-Feld Hk zu erhöhen, kann das Siso/Nm nicht ausreichend vermindert werden.
1 zeigt einen Graphen der Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht von Co_βCr_αPt₈B₃ (α = 20-25 at%, β = 100 – (8 + 3 + α)) als eine Funktion der Cr-Dichte der magnetischen Schicht. 1 zeigt, dass die Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht von der Cr-Dichte in der magnetischen Schicht abhängt.
Da die Cr-Dichte zunimmt, wird das Medien-Rauschen vermindert. Jedoch zeigt 1 auch, dass die Koerzitivkraft Hc abnimmt. Die Abnahme in der Koerzitivkraft Hc wird verursacht durch die Abnahme in der Abnahme in dem magnetischen Kristall-Anisotropie-Feld Hk. Dies bedeutet, dass das magnetische Aufzeichnungsmedium thermisch instabil wird. Bezüglich der herkömmlichen Technik ist es schwierig, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit geringem Rauschen und hoher thermischer Stabilität herzustellen.
WESEN DER ERFINDUNG
Demzufolge ist es eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein neues und nützliches magnetisches Aufzeichnungsmedium bereitzustellen, in dem ein oder mehrere der oben beschriebenen Probleme beseitigt sind.
Eine andere und speziellere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, erstens ein magnetisches Aufzeichnungsmedium bereitzustellen, welches durch eine Zwischenschicht charakterisiert ist, welche bereitgestellt ist zwischen einer Unterschicht und einer magnetischen Schicht, wobei das Medium sowohl geringe Rauscheigenschaften als auch thermische Stabilität erreicht, und zweitens ein magnetisches Aufzeichnungsmedium bereitzustellen, welches durch eine magnetische Schicht charakterisiert ist, wobei das Medium sowohl geringes Rauschen als auch thermische Stabilität erreicht.
Um wenigstens eine der obigen Aufgaben zu erreichen, umfasst ein magnetisches Aufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung ein Substrat; eine Unterschicht, welche auf dem Substrat gebildet ist; eine erste Zwischenschicht, welche auf der Unterschicht gebildet ist; eine zweite Zwischenschicht, welche direkt auf der ersten Zwischenschicht gebildet ist; und eine magnetische Schicht, welche direkt auf der zweiten Zwischenschicht gebildet ist, wobei die erste Zwischenschicht hergestellt ist aus einer auf Kobalt basierenden Legierung, welche Chrom mit ungefähr 7 at% oder mehr und mit ungefähr 28 at% oder we niger enthält, wobei die Dicke der ersten Zwischenschicht im Wesentlichen zwischen 1 nm und 5 nm liegt; wobei die zweite Zwischenschicht hergestellt ist aus einer auf Kobalt basierenden Legierung, welche Chrom mit ungefähr 29 at% oder mehr und mit 45 at% oder weniger enthält; und wobei die magnetische Schicht eine auf Kobalt basierende Legierung beinhaltet.
Durch das Bereitstellen einer Vielzahl von Zwischenschichten, welche aus einer CoCr-Legierung hergestellt sind, deren magnetische Sättigungsflussdichten innerhalb eines vorbestimmten Bereichs gesteuert werden, erreicht das magnetische Aufzeichnungsmedium gleichzeitig ein hohes S/Nm und thermische Stabilität.
Andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung in Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen ersichtlich.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist ein Graph einer Koerzitivkraft Hc als eine Funktion einer Cr-Dichte gemäß dem Stand der Technik;
2 ist eine schematische Darstellung der Schichtstruktur eines magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
3 ist eine schematische Darstellung der Schichtstruktur eines magnetischen Aufzeichnungsmediums, welches keine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
4 ist ein Graph einer Koerzitivkraft Hc als eine Funktion einer Zwischenschichtdicke einer magne tischen Schicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
5 ist ein Graph eines magnetischen Kristall-Anisotropie-Feldes Hk als eine Funktion der ersten Zwischenschichtdicke der magnetischen Schicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
6 ist ein Graph eines Wiedergabesignalabfalls von zwei magnetischen Aufzeichnungsmedien, wobei eines ein Beispiel zum Vergleich ist und eines die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist;
7 ist ein Graph des Verhältnisses des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen Siso/Nm als eine Funktion der ersten Zwischenschichtdicke des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
8 ist ein Graph des Verhältnisses des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen als eine Funktion der zweiten Zwischenschichtdicke des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
9 ist ein Graph des Verhältnisses S/Nm eines Wiedergabesignals zum Medien-Rauschen als eine Funktion der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
10 ist ein Graph der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs als eine Funktion der Cr-Dichte;
11 ist ein Graph des Verhältnisses des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen Siso/Nm als eine Funktion der Cr-Dichte des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform;
12 ist ein Graph einer magnetischen Sättigungsflussdichte Bs als eine Funktion der Cr-Dichte einer magnetischen Schicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform;
13 ist ein Graph einer Koerzitivkraft Hc einer magnetischen Schicht als eine Funktion der Pt-Dichte in der magnetischen Schicht der ersten Ausführungsform;
14 ist ein Graph einer Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht eines magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten Ausführungsform als eine Funktion der Dichte von Bor B in der magnetischen Schicht;
15 ist ein Graph des Orientierungs-Verhältnisses O.R. als eine Funktion der Gesamtdicke der Unterschicht;
16 ist eine schematische Darstellung einer Schichtstruktur eines magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
17 ist ein Graph des Verhältnisses des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen Siso/Nm als eine Funktion der ersten Zwischenschichtdicke des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der zweiten Ausführungsform;
18 ist ein Graph des gesamten S/N als eine Funktion der zweiten Zwischenschichtdicke des magnetischen Aufzeichnungsmediums;
19 ist ein Graph des Verhältnisses S/Nm eines Wiedergabesignals zum Medien-Rauschen als eine Funktion der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der zweiten Ausführungsform;
20 ist ein Graph, der das Verhältnis zwischen der Cr- oder Cr + M-Dichte und der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs zeigt;
21 ist eine schematische Schnittansicht eines Festplattenantriebs gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und
22 ist eine Draufsicht auf den Festplattenantrieb gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
Die erste und zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung werden nun mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Diese Ausführungsformen betreffen ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einer laminierten Zwischenschicht zwischen einer Unterschicht und einer magnetischen Schicht.
2 ist eine schematische Darstellung der Schichtstruktur eines magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 in Bezug auf die erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Ein in 2 gezeigtes Substrat 11 ist beispielsweise ein nicht-magnetisches Al-Substrat, welches mit einem NiP-Film durch stromlose Plattierung und Texturverarbeitung beschichtet ist. Das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 umfasst in der Reihenfolge vom Boden aus eine aus Cr hergestellte Unterschicht 12, eine aus CrMo hergestellte Unterschicht 13, eine erste aus Co (Cr, Pt, Ta, B) hergestellte Zwischenschicht 14, eine zweite aus CoCr hergestellte Zwischenschicht 15, eine aus CoCrPtB hergestellte Zwischenschicht 16 und einen auf Kohlen stoff basierenden Überzug 17, der auf das Substrat 11 laminiert ist.
Der obige Ausdruck Co (Cr, Pt, Ta, B) bedeutet, dass die erste Zwischenschicht 14 aus einer Co-Legierung hergestellt ist, welche wenigstens ein Element aus Cr, Pt, Ta und B umfasst.
3 ist eine schematische Darstellung einer Schichtstruktur eines magnetischen Aufzeichnungsmediums als ein Vergleichsbeispiel, welches keine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist. Ein magnetisches Aufzeichnungsmedium 100 umfasst in der Reihenfolge vom Boden aus eine aus einer Cr-Legierung hergestellte Unterschicht 102, eine aus einer CrMo-Legierung hergestellte Unterschicht 103, eine aus CoCrTa hergestellte Zwischenschicht 104, eine aus CoCrPtB hergestellte magnetische Schicht 105 und einen auf Kohlenstoff basierenden Überzug 107, welche auf ein Substrat 101 laminiert sind, welches ähnlich zu dem Substrat 11 des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 ausgebildet ist.
Die zwei oben beschriebenen magnetischen Aufzeichnungsmedien unterscheiden sich darin, dass das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 in Bezug auf die Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die zwei Zwischenschichten 14 und 15 beinhaltet, wohingegen das als ein Vergleichsbeispiel gezeigte magnetische Aufzeichnungsmedium 100 nur eine Zwischenschicht 104 beinhaltet.
Eine Beschreibung des Herstellungsprozesses des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10, das in 2 gezeigt ist, wird nun beispielhaft gegeben. Das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 wird durch Laminieren von jeder Schicht der Reihe nach unter der Verwendung eines Sputter-Verfahrens hergestellt. Die Luft in einer Sputter-Kammer wird unterhalb von 9,0 × 10^–5Pa ausgepumpt, bevor die Unterschichten 12 und 13 gesputtert werden, und das Substrat 11 wird bis auf 210°C erhitzt. Nach dem Erhitzen wird Ar-Gas zugeführt, um den Druck in der Kammer bei ungefähr 0,67Pa zu halten. Eine 5 nm dicke Cr-Schicht als die erste Unterschicht 12, eine 2 nm dicke CrMo-Schicht als die zweite Unterschicht 13, eine 2 nm dicke CoCrTa-Schicht als die erste Zwischenschicht 14, eine 3 nm dicke CoCr-Schicht als die zweite Zwischenschicht 15, eine 15 nm dicke CoCrPtB-Schicht als die magnetische Schicht 16 und eine 5 nm dicke, auf Kohlenstoff basierende Schicht als der Überzug 17 werden der Reihe nach auf das NiP-Al-Substrat gesputtert, um das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 herzustellen.
Das magnetische Aufzeichnungsmedium 100, welches als ein Vergleichsbeispiel beschrieben wird, wird auf die gleiche Art und Weise hergestellt, außer dass eine Zwischenschicht 104 anstatt von zwei Zwischenschichten erzeugt wird.
Das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 wird im Weiteren als die bevorzugte Ausführungsform im Vergleich zu dem magnetischen Aufzeichnungsmedium 100 beschrieben. Es wird in dieser Beschreibung des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 angenommen, dass die erste Zwischenschicht 14 aus Co₈₀Cr₁₈Ta₂ hergestellt ist (im Folgenden bedeuten tiefgestellte Zeichen den mittleren Prozentsatz der Zusammensetzung) und die zweite Zwischenschicht 14 aus Co₅₈Cr₄₂ hergestellt ist, sofern nichts anderes spezifiziert wird. Die einzelne Zwischenschicht 104 des magnetischen Aufzeichnungsmediums 100 ist aus Co₈₀Cr₁₈Ta₂ hergestellt.
4 ist ein Graph einer Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 16 des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 als eine Funktion einer Dicke der Zwischenschicht. Es ist aus 4 ersichtlich, dass die Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 16 von der Zwischenschichtdicke abhängt.
In dieser Messung der Koerzitivkraft Hc des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 ist die Dicke der ersten Zwischenschicht (Co₈₀Cr₁₈Ta₂) eine unabhängige Variable, wohingegen die Dicke der zweiten Zwischenschicht (Co₅₈Cr₄₂) auf 3 nm fixiert ist. Um die Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 105 des magnetischen Aufzeichnungsmediums 100 zu messen, wird die Dicke der einzelnen Zwischenschicht 104 (Co₈₀Cr₁₈Ta₂) verändert.
Für beide magnetische Aufzeichnungsmedien 10 und 100 wird das Produkt (nachfolgend bezeichnet als "tBr") der magnetischen Zwischenschichtdicke t und einer magnetischen Restflussdichte Br auf 5,0 nTm eingestellt.
Wie in 4 gezeigt ist, nimmt die Koerzitivkraft Hc des magnetischen Aufzeichnungsmediums 100 mit der einzelnen Zwischenschicht 104 schnell ab, wenn die Dicke der einzelnen Zwischenschicht 104 auf über 1 nm anwächst.
Jedoch wird die Koerzitivkraft Hc des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 mit den zwei Zwischenschichten 14 und 15 auf einem hohen Niveau gehalten, selbst wenn die Dicke der ersten Zwischenschicht (Co₈₀Cr₁₈Ta₂) mehr als 1 nm beträgt.
Die magnetischen Sättigungsflussdichten Bs der 15 nm dicken ersten Zwischenschicht (Co₈₀Cr₁₈Ta₂) und der 15 nm dicken zweiten Zwischenschicht (Co₅₈Cr₄₂), welche mit einem Vibrations-Magnetometer (VSM) bei Raumtemperatur gemessen werden, sind 0,6 T bzw. ungefähr 0 T.
5 ist ein Graph eines magnetischen Kristall-Anisotropie-Feldes Hk der magnetischen Schicht 16 des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 als eine Funktion einer Dicke der ersten Zwischenschicht. Es ist aus 5 ersichtlich, dass das magnetische Kristall-Anisotropie-Feld Hk von der Dicke der ersten Zwischenschicht abhängt.
Das magnetische Kristall-Anisotropie-Feld Hk wird basierend auf einem dynamischen Hc-Wert berechnet, der mit der DC-Lösch-Methode gemessen wird. Das magnetische Kristall-Anisotropie-Feld Hk wird offensichtlich verbessert, wenn die Dicke der ersten Zwischenschicht 14 (Co₈₀Cr₁₈Ta₂) des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 auf über 1 nm erhöht wird.
6 ist ein Graph eines auf Alterung basierenden Abfalls des 350 kFCI Wiedergabesignals von sowohl dem magnetischen Aufzeichnungsmedium 10 als auch dem magnetischen Aufzeichnungsmedium 100. 6 zeigt, dass der auf Alterung basierende Abfall des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 geringer ist, als derjenige des magnetischen Aufzeichnungsmediums 100, da das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 eine höhere thermische Stabilität als das magnetische Aufzeichnungsmedium 100 aufweist.
Das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 gemäß der Ausführungsform ist thermisch stabil genug für die praktische Verwendung, selbst im Falle, dass das tBr der magnetischen Schicht 16 weniger als 7,0 nTm ist. Diese thermische Stabilität wird erreicht, da eine Vielzahl von Zwischenschichten bereitgestellt ist und das magnetische Kristall-Anisotropie-Feld Hk folglich erhöht wird.
7 ist ein Graph eines Verhältnisses des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen (Siso/Nm) des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 als eine Funktion der Dicke der ersten Zwischenschicht 14. Es ist aus 7 ersichtlich, dass das Siso/Nm von der ersten Schichtdicke abhängt. Falls die Dicke der ersten Zwischenschicht auf 1-5 nm festgelegt ist, überschreitet das Siso/Nm einen erwünschten Wert, beispielsweise 25 dB.
8 ist ein Graph, der das funktionale Verhältnis zwischen dem Siso/Nm und der Dicke der zweiten Zwischenschicht 15 des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 zeigt. Die Dicke der ersten Zwischenschicht 14 soll 1 nm betragen. Der funktionale Zusammenhang zwischen Siso/Nm und der Dicke der Zwischenschicht 104 des in 3 gezeigten magnetischen Aufzeichnungsmediums 100, welches keine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist, ist zum Vergleich in 8 gezeigt.
Es ist mit Bezug auf 8 verständlich, dass Siso/Nm abnimmt, wenn die Dicke der zweiten Zwischenschicht 15 zunimmt, und dass, wenn die Dicke der zweiten Zwischenschicht 15 1-5 nm beträgt, Siso/Nm 25 dB überschreitet, was wünschenswert ist.
9 ist ein Graph des Verhältnisses S/Nm eines Wiedergabesignals zum Medien-Rauschen des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10, und zwar gemessen durch das Aufzeichnen und Wiedergeben von Daten mit einer Geschwindigkeit von 200 kFCI, als eine Funktion einer magnetischen Sättigungsflussdichte Bs. Die magnetische Sättigungsflussdichte Bs kann gesteuert werden, indem die Zusammensetzung der ersten Zwischenschicht 14 verändert wird.
9 zeigt, dass im Falle, wenn ein Signal von 200 kFCI auf das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 aufgezeichnet und von diesem wiedergegeben wird, S/Nm von der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs der ersten Zwischenschicht 14 abhängt. Die magnetische Sättigungsflussdichte Bs der ersten Zwischenschicht 14 wurde mit einer VSM-Methode bei Raumtemperatur gemessen, und zwar unter der Verwendung einer Probe, in der jedes Material der Zwischenschicht auf einer 15 nm dicken einzelnen Schicht auf der Cr-Unterschicht gebildet ist.
9 zeigt ferner, dass das beste S/Nm bei einer magnetischen Sättigungsflussdichte Bs von ungefähr 0,6 T erreicht wird. Falls ein S/Nm-Verhältnis von 21 dB oder mehr erwünscht ist, muss die magnetische Sättigungsflussdichte Bs der ersten Zwischenschicht zwischen 0,4 T und 0,9 T eingestellt werden.
10 ist ein Graph einer magnetischen Sättigungsflussdichte Bs als einer Funktion einer Cr-Dichte in der ersten Zwischenschicht 14. 10 zeigt, dass im Falle, dass die erste Zwischenschicht 14 aus einer CoCr-basierten dualen Legierung hergestellt ist, die Cr-Dichte innerhalb eines Bereichs von 7-28 at% eingestellt werden kann, falls die magnetische Sättigungsflussdichte Bs innerhalb eines Bereichs von 0,4 bis 0,9 T gehalten werden soll.
In dieser Ausführungsform des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 schwächt die zweite Zwischen schicht 15 über der ersten Zwischenschicht 14 die ferromagnetische Wechselwirkung (Austausch-Wechselwirkung) zwischen der ersten Zwischenschicht 14 und der magnetischen Schicht 16 ab. Demzufolge soll die magnetische Sättigungsflussdichte Bs der zweiten Zwischenschicht niedriger sein als diejenige der ersten Zwischenschicht. Folglich ist die zweite Zwischenschicht mit einer magnetischen Sättigungsflussdichte Bs von 0-0,4 T erforderlich, um das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 herzustellen, weiches einige wünschenswerte Bedingungen von magnetischen Aufzeichnungsmedien erfüllt, das heißt eine gute Orientierung in der Ebene, ein hohes magnetisches Kristall-Anisotropie-Feld Hk, eine hohe thermische Stabilität und ein hohes S/Nm.
In dem Fall, dass die zweite Zwischenschicht beispielsweise aus einer dualen CoCr-basierten Legierung hergestellt ist, ist es in Bezug auf 10 bekannt, dass die Cr-Dichte vorzugsweise in einem Bereich von 29-45 at% liegt, um die magnetische Sättigungsflussdichte Bs von 0-0,4 T zu erhalten.
Diese erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Beispiel, das zwei Zwischenschichten 14 und 15 aufweist, jedoch ist auch ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit drei oder mehr Zwischenschichten eine Variation oder eine Modifikation der vorliegenden Erfindung. Es ist wünschenswert, dass Zwischenschichten, welche auf der ersten Zwischenschicht aufliegen, eine geringere magnetische Sättigungsflussdichte Bs als die erste Zwischenschicht aufweisen. Ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit drei oder mehr Zwischenschichten, welches eine gute Orientierung in der Ebene, ein hohes magnetisches Kristall-Anisotropie-Feld Hk, eine hohe thermische Stabilität und ein hohes S/Nm aufweist, kann dadurch hergestellt werden, dass die magnetische Sättigungsflussdichte Bs der zweiten Zwischenschicht oder jeder zusätzlichen Zwischenschicht, die nach der zweiten Zwischenschicht ausgebildet wird, auf 0-0,4 T eingestellt wird.
11 ist ein Graph des Verhältnisses (Siso/Nm) des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 als eine Funktion der Cr-Dichte in der magnetischen Schicht 16. Es ist aus 11 ersichtlich, dass das Siso/Nm des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 von der Cr-Dichte der magnetischen Schicht 16 abhängt.
11 zeigt, dass das Medien-Rauschen des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 vermindert wird, wenn eine Cr-Dichte in der magnetischen Schicht 16 erhöht wird. Ein erwünschtes Siso/Nm von beispielsweise 25 dB wird unter der Bedingung erhalten, dass die Cr-Dichte der magnetischen Schicht 16 17 at% oder mehr ist.
12 ist ein Graph einer magnetischen Sättigungsflussdichte Bs der magnetischen Schicht 16 als eine Funktion einer Cr-Dichte in der magnetischen Schicht 16. 12 zeigt eine offensichtliche Abhängigkeit der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs von der Cr-Dichte. Die magnetische Sättigungsflussdichte Bs fällt ab, wenn die Cr-Dichte in der magnetischen Schicht 16 zunimmt. 12 zeigt, dass die Cr-Dichte vorzugsweise unterhalb 27 at% liegt, um eine praktikable magnetische Sättigungsflussdichte Bs von 0,25 T oder mehr zu erhalten.
Demzufolge ist der bevorzugte Bereich der Cr-Dichte in der magnetischen Schicht 16 17 ≤ Cr ≤ 27 at% und besonders bevorzugt 20 ≤ Cr ≤ 26 at%.
13 ist ein Graph einer Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 16 als eine Funktion einer Pt-Dichte in dem magnetischen Feld. Die magnetische Schicht 16 ist hergestellt aus Co_αCr₂₄Pt_βB₆, wobei α = (100 – (24 + 6 + β)) (at%) ist. 13 zeigt eine offensichtliche Abhängigkeit der Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 16 von der Pt-Dichte. Die Koerzitivkraft Hc wächst linear an, wenn die Pt-Dichte bis zu 12 at% anwächst.
13 zeigt, dass die Pt-Dichte vorzugsweise 6 at% oder mehr beträgt, falls eine Koerzitivkraft von Hc = 2000 (× 4/π kA/m) erwünscht ist. Andererseits zeigt das Phasendiagramm (nicht gezeigt) einer dualen Co-Pt-Legierung an, dass die Pt-Dichte von 20 at% oder weniger erforderlich ist, um eine εCo-(hcp)-Phase zu erhalten. Deshalb ist die Pt-Dichte der magnetischen Schicht 16 vorzugsweise innerhalb eines Bereichs von 6 ≤ Pt ≤ 20 at%, um eine hohe Koerzitivkraft Hc einer ferromagnetischen Phase zu erhalten.
14 ist ein Graph der Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 16 als eine Funktion der Bor-Dichte (B) in der magnetischen Schicht 16. 14 zeigt, dass falls die B-Dichte ungefähr 1 ≤ B ≤ 7 at% ist, die Koerzitivkraft Hc der magnetischen Schicht 16 2000 (× 4/π kA/m) überschreitet.
Diesbezüglich ist es zu bevorzugen, das Missverhältnis zwischen dem Gitter der magnetischen Schicht mit einer relativ hohen Pt-Dichte (6 ≤ Pt ≤ 20 at%) und dem Gitter der aus Cr hergestellten Unterschicht zu vermindern. Um dieses Ziel zu erreichen, ist es emp fehlenswert, 1 at% oder mehr von wenigstens einem Element von Molybdän Mo, Tantal Ta, Titan Ti, Wolfram W und Vanadium V zu der Unterschicht des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 in Bezug auf diese Ausführungsform hinzuzufügen, wobei das Hauptelement der Unterschicht Cr ist. Dieses zusätzliche Element macht die Orientierung in der Ebene stärker.
Ferner hat das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 in Bezug auf diese Ausführungsform, welche beinhaltet ein texturiertes Substrat 11, auf welchem zwei Unterschichten 12 und 13 laminiert sind, die erste Cr-basierte Unterschicht und die zweite CrMo-basierte Unterschicht, ein höheres Orientierungsverhältnis (O.R.), welches das Verhältnis der Sättigungsrechtwinkligkeit entlang der Umfangsrichtung der Scheibe zu derjenigen in Radialrichtung ist, sowie eine starke Orientierung in der Ebene. 15 zeigt die Verbesserung in dem Orientierungsverhältnis.
15 zeigt, wie im Falle des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 gemäß der Ausführungsform, bei der zwei Unterschichten durch Cr₈₀Mo₂₀ (4 nm) bzw. Cr gebildet sind, das Orientierungsverhältnis (O.R.) von der Gesamtdicke der Unterschichten abhängt, und zwar im Vergleich zu dem Fall, bei dem eine einzelne Unterschicht durch Cr ausgebildet ist, und zu dem Fall, bei dem eine einzelne Unterschicht durch Cr₈₀Mo₂₀ ausgebildet ist. Der Graph zeigt, dass im Falle von zwei Unterschichten von Cr₈₀Mo₂₀/Cr, das Orientierungsverhältnis (O.R.) im Vergleich zu dem Fall von einer durch Cr₈₀Mo₂₀ gebildeten Unterschicht verbessert wird. Durch die Messung der Koerzitivkraft Hc in der Richtung senkrecht zu dem Film und in einer Richtung in der Ebene des Films kann bestätigt wer den, dass, falls die untere Unterschicht aus Cr und die obere Unterschicht aus einer CrMo-Legierung gebildet ist, das magnetische Aufzeichnungsmedium eine bessere Orientierung in der Ebene aufweist.
Es wird davon ausgegangen, dass das O.R. durch den Unterschied in der Verdrehung des Unterschichtgitters zwischen der Umfangsrichtung und in der radialen Richtung verursacht wird. Tatsächlich ist das O.R. der auf Cr basierenden Legierung größer, da der Unterschied in der Verdrehung des Unterschichtgitters zwischen in der Umfangsrichtung und in der radialen Richtung der auf Cr-basierten Legierung größer als derjenige einer CrMo-basierten Legierung ist. Das magnetische Aufzeichnungsmedium 10 betreffend diese Ausführungsform beinhaltet zwei Unterschichten, die Cr-Unterschicht 12 auf dem Substrat und die CrMo-Unterschicht 13 auf der Cr-Unterschicht, um sowohl das O.R. als auch die Orientierung in der Ebene zu erhöhen, und zwar unter Verwendung einer reinen Cr-Unterschicht bzw. der CrMo-Unterschicht. Es ist bestätigt, dass das S/Nm von der Temperatur der Sputter-Kammer abhängt und dass beim Durchführen des Sputterns mit einer Temperatur von 170 bis 300°C ein hohes S/Nm erreicht wird.
Die zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird im Folgenden beschrieben. Diese zweite Ausführungsform ist ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einer Vielzahl von Zwischenschichten ähnlich zu der ersten Ausführungsform. In der ersten Ausführungsform ist die zweite Zwischenschicht aus CoCr hergestellt. Die zweite Zwischenschicht dieser Ausführungsform ist aus CoCr-M hergestellt. Dieser Buchstabe "M" steht für wenigstens ein Element ausgewählt aus Mn, Re und Mo. Die Struktur des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß dieser Ausführungsform ist ähnlich zu derjenigen des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß der ersten, in 2 gezeigten Ausführungsform. In der Beschreibung des magnetischen Aufzeichnungsmediums 30 gemäß dieser Ausführungsform ist demzufolge der Abschnitt, der dem Abschnitt des magnetischen Aufzeichnungsmediums in 2 entspricht, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, und eine entsprechende Beschreibung wird weggelassen. Im Folgenden wird hauptsächlich das beschrieben, was unterschiedlich ist.
16 ist eine schematische Darstellung der Schichtstruktur eines magnetischen Aufzeichnungsmediums 30 gemäß der zweiten Ausführungsform. Das magnetische Aufzeichnungsmedium 30 umfasst ein Al-Substrat 11, welches mit einem stromlos plattierten NiP-Film bedeckt ist, wobei die Oberfläche des Films durch Texturverarbeitung texturiert ist. Das magnetische Aufzeichnungsmedium 30 beinhaltet ferner eine Cr-Unterschicht 12, eine CrMo-Unterschicht 13, eine erste CoCrTa-Zwischenschicht 14, eine zweite CoCrMn-Zwischenschicht 35, eine magnetische CoCrPtB-Schicht 16 und einen auf Kohlenstoff basierenden Überzug 17, welche alle auf dem Substrat 11 in dieser Reihenfolge laminiert sind.
Das magnetische Aufzeichnungsmedium 30 gemäß dieser Ausführungsform wird durch Laminieren von jeder Schicht der Reihenfolge nach unter der Verwendung des Sputter-Verfahrens hergestellt. Bevor beispielsweise die Cr-Unterschicht 12 laminiert wird, wird die Luft in der Sputter-Kammer unterhalb von 1,0 × 10^–5Pa abgepumpt, und das Substrat 11 wird auf ungefähr 210°C aufgeheizt. Nach dem Aufheizen wird Ar-Gas zugeführt, um den Druck in der Sputter-Kammer auf ungefähr 0,67 Pa zu halten. Dann werden die Cr-Unterschicht (5 nm), die CrMo-Unterschicht (2 nm), die CoCrTa-Zwischenschicht (2 nm), die CoCrMn-Zwischenschicht (2 nm), die magnetische CoCrPtB-Schicht (15 nm) und die auf Kohlenstoff basierende Schutzschicht (5 nm) in dieser Reihenfolge auf dem nicht-magnetischen NiP-Al-Substrat ausgebildet.
17 zeigt die Abhängigkeit des Verhältnisses (Siso/Nm) des isolierten Pulssignals zum Medien-Rauschen von der Dicke der ersten Zwischenschicht 14, welche aus CoCr₁₈Ta₂ hergestellt ist, und zwar im Falle, dass die zweite Zwischenschicht 35 eine 2 nm dicke CoCr₂₅Mn₅-Schicht ist. 17 zeigt, dass, wenn die erste CoCrTa-Zwischenschicht 14 1-5 nm dick ist, das Siso/Nm 25 dB überschreitet, was zu bevorzugen ist.
In 17 wird das Siso/Nm beträchtlich vermindert, falls die Dicke von CoCr₁₈Ta₂ Null ist, das heißt falls die erste Zwischenschicht 14 nicht vorhanden ist. In diesem Fall ist die Struktur die gleiche wie die herkömmliche, bei der nur die zweite Zwischenschicht 35 ausgebildet ist.
18 zeigt im Gegensatz zur 17, dass die Abhängigkeit des Verhältnisses (S/Nt) des Signals zum Gesamtrauschen von der Dicke der zweiten CoCr₂₅Mn₅-Zwischenschicht abhängt, und zwar im Falle, dass die Dicke der ersten CoCr₁₈Ta₂-Zwischenschicht 14 auf 1 nm fixiert ist. 18 zeigt, dass, wenn die zweite CoCr₂₅Mn₅-Zwischenschicht 35 1-5 nm dick ist, das S/Nt verbessert wird und 17,0 dB oder mehr wird, was wünschenswert ist.
Falls zusätzlich die Dicke der zweiten CoCr₂₅Mn₅-Zwischenschicht 0 ist, das heißt falls keine zweite Zwischenschicht vorhanden ist, wird das S/Nt beträchtlich vermindert. In diesem Fall ist nur die erste Zwischenschicht in dem magnetischen Aufzeichnungsmedium bereitgestellt.
19 zeigt die Beziehung zwischen dem Verhältnis S/Nm des Signals zum Medien-Rauschen und der magnetischen Sättigungsflussdichte Bs der ersten Zwischenschicht 14, und zwar im Falle, dass die Zusammensetzung der ersten Zwischenschicht 14 gemäß dieser Ausführungsform verändert wird und dass ein Signal von 200 kFCI aufgezeichnet/wiedergegeben wird. Die in 19 gezeigte Beziehung ist im Wesentlichen identisch zu der in Bezug auf die erste Ausführungsform in 9 gezeigten Beziehung. Zusätzlich wurde in dieser Ausführungsform die magnetische Sättigungsflussdichte Bs von jeder Zwischenschicht durch eine VSM-Methode bei Raumtemperatur gemessen, und zwar unter der Verwendung einer Probe, welche eine 15 nm dicke Schicht von jedem Zwischenschicht-Material auf einer Cr-Unterschicht umfasst. Es ist gesicherte Erkenntnis, dass, wenn die magnetische Sättigungsflussdichte Bs des Materials, welches die erste Zwischenschicht 14 bildet, 0,6 T ist, das S/Nm den Maximalwert erreicht. Da ein S/Nm von 21 dB oder mehr wünschenswert ist, ist die magnetische Sättigungsflussdichte Bs des magnetischen Materials, welches die erste Zwischenschicht 14 bildet, vorzugsweise bei 0,4-0,9 T. Beispielsweise ist durch 20 abgesichert, dass im Falle, dass eine duale CoCr-Legierung für die erste Zwischenschicht 14 verwendet wird, Bs in einen Bereich von 0,4-0,9 T fällt, wenn die Cr- Dichte 7 bis 28 at% ist. 20 ist im Wesentlichen identisch zu 10 gemäß der ersten Ausführungsform.
Wie oben beschrieben wurde, schwächen die Zwischenschichten, welche oberhalb der ersten Zwischenschicht 14 ausgebildet sind, die ferromagnetische Wechselwirkung (Austausch-Wechselwirkung) zwischen der ersten Zwischenschicht 14 und der magnetischen Schicht ab. Dies ist der Grund, warum die Bs des Materials der Zwischenschichten oberhalb der ersten Zwischenschicht vorzugsweise niedriger ist als die Bs der ersten Zwischenschicht. Wenn die Bs des Materials der Zwischenschichten oberhalb der ersten 0-0,4 T ist, hat das magnetische Aufzeichnungsmedium die bevorzugte Orientierung in der Ebene, ein hohes magnetisches Kristall-Anisotropie-Feld Hk, eine hohe thermische Stabilität und ein hohes Signal-zu-Medien-Rauschen.
Darüber hinaus enthält die zweite Zwischenschicht 35 gemäß dieser Ausführungsform ferner das Element M (Mn, Re, Mo). Die vorliegenden Erfinder haben bestätigt, dass die Bs der zweiten Zwischenschicht 35 von (Y + Z) abhängt, wobei "Y" (at%) die Dichte von Cr bedeutet und "Z" (at%) die Dichte von "M" bedeutet.
Deshalb kann aus 20 erkannt werden, dass, falls der bevorzugte Bereich von Bs 0-0,4 T ist, die Dichte von (Cr + Mn) bei ungefähr 29-45 at% liegen muss. Die vorliegenden Erfinder haben ferner bestätigt, dass, wenn Mn durch Mo oder Re ersetzt wird, ein ähnlicher Effekt erreicht wird.
Um das Missverhältnis zwischen der kristallinen Struktur der magnetischen, Pt enthaltenden Schicht bei einer relativ hohen Dichte (6 ≤ Pt ≤ 20 at%) und der kristallinen Struktur der Cr-Unterschicht zusätzlich zu vermindern, ist es wünschenswert, dass die Cr-basierte Unterschicht wenigstens ein Element aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium mit wenigstens 1 at% oder mehr enthält. Man kann hierdurch die Orientierung in der Ebene des magnetischen Aufzeichnungsmediums verbessern.
Wenn ferner zwei Unterschichten auf einem texturierten Substrat gebildet sind, wobei die untere Schicht aus Cr und die obere Schicht aus CrMo hergestellt ist, kann ferner das Orientierungsverhältnis (O.R.) sowie die Orientierung in der Ebene verbessert werden.
Die Abhängigkeit des O.R. von der Gesamtdicke von allen Unterschichten des magnetischen Aufzeichnungsmediums 30 gemäß dieser Ausführungsform ist im Wesentlichen identisch zu derjenigen des magnetischen Aufzeichnungsmediums 10 gemäß der ersten Ausführungsform, in der zwei Unterschichten ausgebildet sind, wie in 15 gezeigt ist.
Eine Beschreibung einer magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung als eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird mit Bezug auf 18 und 19 gegeben. 21 ist eine Schnittansicht, welche den Hauptteil einer magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung 120 als eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt, und 22 ist eine Draufsicht, welche den Hauptteil der magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung 120 zeigt.
Wie in 21 und 22 gezeigt ist, ist die magnetische Aufzeichnungsvorrichtung durch ein Gehäuse 123 abgedeckt. Die magnetische Aufzeichnungsvor richtung 120 enthält in dem Gehäuse 123 einen Motor 124, eine Nabe 125, eine Mehrzahl von magnetischen Aufzeichnungsmedien 126, eine Mehrzahl von Aufzeichnungs-/Wiedergabe-Köpfen 127, eine Mehrzahl von Aufhängungen 128, eine Mehrzahl von Armen 129 und eine Aktuatoreinheit 121. Die magnetischen Aufzeichnungsmedien 126 sind auf der Nabe fixiert, welche durch den Motor 124 gedreht wird. Jeder Aufzeichnungs-/Wiedergabe-Kopf 127 ist ein Aufzeichnungs-/Wiedergabe-Kopf vom Kombinationstyp eines Wiedergabe-Kopfes, wie z. B. eines MR-Kopfes und eines GMR-Kopfes, und eines Aufzeichnungs-Kopfes, wie z. B. eines induktiven Kopfes. Jeder Aufzeichnungs-/Wiedergabe-Kopf 127 ist an dem Punkt eines entsprechenden Armes 129 durch eine Aufhängung 128 befestigt. Der Arm 129 wird durch die Aktuatoreinheit 121 angetrieben. Eine detaillierte Beschreibung der Konfiguration dieser magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung wird weggelassen, da die wesentliche Struktur dieser magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung öffentlich bekannt ist.
Die obige Ausführungsform der magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung 120 ist durch das magnetische Aufzeichnungsmedium 126 gekennzeichnet. Jedes magnetische Aufzeichnungsmedium 126 ist so strukturiert, wie in 2 oder 16 gezeigt ist. Die Anzahl von magnetischen Aufzeichnungsmedien 126 ist nicht auf drei beschränkt, sie kann eins, zwei oder mehr als drei betragen. Die Konfiguration der magnetischen Aufzeichnungsvorrichtung 120 ist nicht auf die in 21 und 22 gezeigten Konfigurationen beschränkt. Die Anwendung des magnetischen Aufzeichnungsmediums 126 ist nicht auf Festplatten beschränkt.

Claims

Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10), umfassend: ein Substrat (11); eine Unterschicht (12, 13), die auf dem Substrat (11) gebildet ist; eine erste Zwischenschicht (14), welche auf der Unterschicht (12, 13) gebildet ist; eine zweite Zwischenschicht (15), welche direkt auf der ersten Zwischenschicht (14) gebildet ist; und eine magnetische Schicht (16), welche direkt auf der zweiten Zwischenschicht (15) gebildet ist, worin die erste Zwischenschicht (14) aus einer auf Kobalt basierenden Legierung hergestellt ist, welche Chrom mit ungefähr 7 at% oder mehr und ungefähr 28 at% oder weniger enthält, wobei die Dicke der ersten Zwischenschicht (14) im Wesentlichen zwischen 1 nm und 5 nm liegt; die zweite Zwischenschicht (15) aus einer auf Kobalt basierenden Legierung hergestellt ist, welche Chrom mit ungefähr 29 at% oder mehr und mit 45 at% oder weniger enthält; und die magnetische Schicht (16) eine auf Kobalt basierende Legierung beinhaltet.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10) nach Anspruch 1, worin die erste Zwischenschicht (14) und die zweite Zwischenschicht (15) ferner wenigstens ein Element aus Platin, Tantal und Bor als eine Komponente der Legierung enthält; die magnetische Sättigungsflussdichte der ersten Zwischenschicht (14) im Wesentlichen zwischen 0,4 T und 0,9 T liegt; und die magnetische Sättigungsflussdichte der zweiten Zwischenschicht (15) im Wesentlichen zwischen 0 T und 0,4 T liegt.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10) nach Anspruch 1, worin die Dicke der zweiten Zwischenschicht (15) im Wesentlichen zwischen 1 nm und 5 nm liegt.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10) nach Anspruch 1, worin die magnetische Schicht (16) wenigstens ein Element aus Chrom, Platin und Bor als eine Komponente oder als Komponenten enthält, und zwar im Wesentlichen in einem Verhältnis von 20 ≤ Cr ≤ 26 (at%), 6 ≤ Pt ≤ 20 (at%), 1 ≤ B ≤ 7 (at%), wobei ein Restbestandteil Kobalt ist; und ein Produkt der Dicke der magnetischen Schicht (16) und einer magnetischen Restflussdichte der magnetischen Schicht (16) im Wesentlichen höchstens 7,0 nTm ist.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10) nach Anspruch 1, worin die Unterschicht (13) aus einer auf Chrom basierenden Legierung hergestellt ist, welche wenigstens ein Element aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium enthält, wobei die Dichte des wenigstens einen Elements aus Molybdän, Tantal, Ti tan, Wolfram und Vanadium im Wesentlichen wenigstens 1 at% der Legierung ist.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10) nach Anspruch 1, worin die Unterschicht (12, 13) ferner eine erste Teilunterschicht (12) umfasst, welche aus Chrom hergestellt ist, sowie eine zweite Teilunterschicht (13), welche aus einer auf Chrom basierenden Legierung hergestellt ist, die wenigstens ein Element aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium beinhaltet, wobei die Dichte des wenigstens einen Elements aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium im Wesentlichen wenigstens 1 at% der auf Chrom basierenden Legierung ist.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (10) nach Anspruch 6, worin die erste Teilunterschicht (12) zwischen dem Substrat (11) und der zweiten Teilunterschicht (13) gebildet ist.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (30), umfassend: ein Substrat (11); eine Unterschicht (12, 13), welche auf dem Substrat (11) gebildet ist; eine erste Zwischenschicht (14), welche auf der Unterschicht (12, 13) gebildet ist; eine zweite Zwischenschicht (35), welche direkt auf der ersten Zwischenschicht (14) gebildet ist; und eine magnetische Schicht (16), welche direkt auf der zweiten Zwischenschicht (35) gebildet ist, worin die erste Zwischenschicht (14) aus einer auf Kobalt basierenden Legierung hergestellt ist, welche Chrom mit ungefähr 7 at% oder mehr und mit ungefähr 28 at% oder weniger enthält, wobei die Dicke der ersten Zwischenschicht (14) im Wesentlichen zwischen 1 nm und 5 nm liegt; die zweite Zwischenschicht (35) aus einer auf Kobalt basierenden Legierung hergestellt ist, welche Chrom und wenigstens ein Element aus Mangan, Rhenium und Molybdän enthält, wobei die Gesamtdichte des Chroms und des wenigstens einen Elements aus Mangan, Rhenium und Molybdän 29 at% oder mehr und 45 at% oder weniger ist; und die magnetische Schicht (16) eine auf Kobalt basierende Legierung beinhaltet.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (30) nach Anspruch 8, worin die erste Zwischenschicht (14) und die zweite Zwischenschicht (35) ferner wenigstens ein Element aus Platin, Tantal und Bor als eine Komponente der Legierung enthalten; die magnetische Sättigungsflussdichte der ersten Zwischenschicht (14) im Wesentlichen zwischen 0,4 T und 0,9 T liegt; und die magnetische Sättigungsflussdichte der zweiten Zwischenschicht (35) im Wesentlichen zwischen 0 T und 0,4 T liegt.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (30) nach Anspruch 8, worin die Dicke der zweiten Zwischenschicht (35) im Wesentlichen zwischen 1 nm und 5 nm liegt.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (30) nach Anspruch 8, worin die magnetische Schicht (16) wenigstens ein Element aus Chrom, Platin und Bor als eine Komponente oder als Komponenten enthält, und zwar im Wesentlichen in einem Verhältnis von 20 ≤ Cr ≤ 26 (at%), 6 ≤ Pt ≤ 20 (at%), 1 ≤ B ≤ 7 (at%), wobei ein Restbestandteil Kobalt ist; und ein Produkt aus der Dicke der magnetischen Schicht (16) und einer magnetischen Restflussdichte der magnetischen Schicht (16) im Wesentlichen höchstens 7,0 nTm ist.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (30) nach Anspruch 8, worin die Unterschicht (13) aus einer auf Chrom basierenden Legierung hergestellt ist, welche wenigstens ein Element aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium enthält, wobei die Dichte des wenigstens einen Elements aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium im Wesentlichen wenigstens 1 at% der Legierung ist.
Magnetisches Aufzeichnungsmedium (30) nach Anspruch 8, worin die Unterschicht (12, 13) ferner eine erste Teilunterschicht (12) umfasst, welche aus Chrom hergestellt ist, sowie eine zweite Teilunterschicht (13), welche aus einer auf Chrom basierenden Legierung hergestellt ist, welche wenigstens ein Element aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium umfasst, wobei die Dichte des wenigstens einen Elements aus Molybdän, Tantal, Titan, Wolfram und Vanadium im Wesentlichen wenigstens 1 at% der auf Chrom basierenden Legierung ist.
Magnetische Aufzeichnungsvorrichtung (120), umfassend: einen magnetischen Kopf (127); und ein magnetisches Aufzeichnungsmedium (126) nach Anspruch 1, auf dem der magnetische Kopf (127) ein Signal schreibt oder ausliest.