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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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1. Gebiet der Erfindung
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine schwingungsdämpfende Luftfedervorrichtung
zum Tragen eines gegen Schwingungen zu isolierenden Objekts wie
eines Präzisionsinstruments,
wobei das Objekt gegen Schwingungen zu isolieren ist, die vom Boden
auf die schwingungsdämpfende
Vorrichtung übertragen
werden.
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2. Beschreibung des Standes
der Technik
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Bei
einer typischen schwingungsdämpfenden
Luftfedervorrichtung wird das Übertragen
von Schwingungen, die von dem Boden auf ein stationäres Gehäuse der
schwingungsdämpfenden
Vorrichtung übergehen,
auf eine schwingungsfrei bewegliche Basis der schwingungsdämpfenden
Vorrichtung verhindert, indem die schwingungsfrei bewegliche Basis
an dem stationären
Gehäuse über eine
luftdichte Druckkammer (luftdichtes flexibles Element) gehalten
ist und geregelter Luftdruck in die luftdichte Druckkammer eingeführt wird.
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Zur
weiteren Verbesserung der Schwingungsdämpfung ist es bekannt, bei
dieser Art der schwingungsdämpfenden
Luftfedervorrichtung unter Verwendung von Luftdruck eine bewegliche
Deckplatte vorzusehen, die mittels der luftdichten Druckkammer aufwärts und
abwärts
bewegt wird, ohne dass die schwingungsfrei bewegliche Basis direkt von
der luftdichten Druckkammer getragen wird. Dabei kann die vibrationsfrei
bewegliche Basis relativ zur beweglichen Deckplatte durch eine Struktur schwingen
(oszillieren), bei der die bewegliche Deckplatte und ein Montageplattenteil
der vibrationsfrei beweglichen Basis einander gegenüberstehen
und miteinander über
ein kuppelartig geformtes (halbkugeliges) Kontaktglied miteinander
in Punktberührung stehen,
das zwischen den einander gegenüberstehenden
Flächen
der beweglichen Deckplatte und des Montageplattenteils an deren
Flächenzentren
angeordnet ist.
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Bei
dieser Art der schwingungsdämpfenden Luftfedervorrichtung
mit einem derartigen kuppelartig geformten Kontaktglied bewegt sich
die bewegliche Deckplatte zum stationären Gehäuse hin abwärts, um die Punktberührung mit
dem Montageplattenteil über
das kuppelartig geformte Kontaktglied freizugeben, wenn der Luftdruck
an der luftdichten Druckkammer ausgeglichen wird, d.h. während die
schwingungsdämpfende
Vorrichtung nicht in Betrieb ist. Danach wird bei erneutem Betrieb
Druckluft wieder der luftdichten Druckkammer zugeführt, um
die bewegliche Deckplatte über
das kuppelartig geformte Kontaktglied aufwärts zu bewegen. Es ist zwar
selbstverständlich,
dass die zweidimensionale Positionierung der schwingungsfrei beweglichen
Basis relativ zu dem stationären
Gehäuse
zuvor genau vorzunehmen ist, jedoch geht diese genaue zweidimensionale Positionierung
der schwingungsfrei beweglichen Basis relativ zu dem stationären Gehäuse verloren, wenn
die Punktberührung
der beweglichen Deckplatte mit dem Montageplattenteil der schwingungsfrei beweglichen
Basis freigegeben wird. Somit ist es unmöglich, die ursprüngliche
schwingungsdämpfende Leistung
zu reproduzieren.
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Das
Dokument
JP-A-8-170689 beschreibt eine
vibrationsfeste Vorrichtung mit einer Luftfeder, die durch ein stationäres Gehäuse, eine
in einer Öffnung
an der Oberseite des Gehäuses
vorgesehene Membran und einen Kolben gebildet ist, der einen an der
Oberseite der Membran befestigten zylindrischen Vorsprung hat und
nach unten in das Gehäuse
ragt. Eine Strebe ragt von einer Lastscheibe abwärts und ist schwenkbar mit
dem zylindrischen Vorsprung verbunden. Ein kugeliges Teil ist an
der Oberseite der Lastscheibe befestigt und steht in Punktberührung mit
einer lasttragenden Platte. Die horizontale Verlagerung der Last
wird in eine Hin- und Herbewegung des Kolbens umgesetzt und ergibt
eine horizontale natürliche
Frequenz von 1 Hz oder weniger.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung führt
zu einer schwingungsdämpfenden
Luftfedervorrichtung, bei der die bewegliche Deckplatte und das
Montageplattenteil miteinander über
das kuppelartig geformte Kontaktglied zwischen ihnen in Berührung bleiben, auch
wenn der Innendruck der luftdichten Druckkammer verringert wird,
und entsprechend bleibt die ursprüngliche Schwingungsdämpfungsleistung
beim Betrieb der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
unverändert,
nachdem der Innendruck der luftdichten Druckkammer ausgeglichen
wurde.
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Gemäß einem
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine schwingungsdämpfende
Vorrichtung vorgesehen, umfassend ein stationäres Gehäuse; eine horizontal über dem
stationären
Gehäuse
angeordnete bewegliche Deckplatte; ein luftdichtes flexibles Element
zum Bilden einer luftdichten Druckkammer zwischen der beweglichen
Deckplatte und dem stationären
Gehäuse;
eine schwingungsfrei bewegliche Basis mit einem Montageplattenteil,
auf dem ein von Schwingungen zu entkoppelndes Objekt montiert ist,
wobei die schwingungsfrei bewegliche Basis horizontal der beweglichen
Deckplatte gegenüberstehend
angeordnet ist und relativ zu dem stationären Gehäuse aufwärts und abwärts bewegbar ist; und ein kuppelartig
geformtes Kontaktglied zwischen den einander gegenüberstehenden
Flächen
der beweglichen Deckplatte und des Montageplattenteils, über das
die Flächenzentren
der beweglichen Deckplatte und des Montageplattenteils in Punktberührung miteinander
kommen. Die bewegliche Deckplatte wird durch Verändern des Innendrucks in der
luftdichten Druckkammer aufwärts
und abwärts
bewegt. Die schwingungsfrei bewegbare Basis wird über das
kuppelartig geformte Kontaktglied aufwärts und abwärts bewegt. Die schwingungsdämpfende
Vorrichtung enthält
in der luftdichten Druckkammer eine Spannvorrichtung, die eine Abwärtsbewegungsgrenze
der beweglichen Deckplatte relativ zu dem stationären Gehäuse definiert
und die Flächenzentren
der beweglichen Deckplatte und des Montageplattenteils miteinander
in Kontakt hält,
wenn der Innendruck in der luftdichten Druckkammer unter einem vorbestimmten
Wert liegt.
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Die
Spannvorrichtung sollte in der luftdichten Druckkammer so angeordnet
sein, dass sie keine Spannung auf die bewegliche Deckplatte ausübt, wenn
die schwingungsdämpfende
Vorrichtung eine Schwingungsdämpfung
erzeugt und der Innendruck in der luftdichten Druckkammer gleich
oder größer als
der vorbestimmte Wert ist.
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Die
Spannvorrichtung sollte mehrere Federn zwischen der beweglichen
Deckplatte und dem stationären
Gehäuse
enthalten.
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Die
Federn können
in regelmäßigen Abständen angeordnet
sein.
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Jede
Feder kann eine Schraubendruckfeder sein.
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Jede
Schraubendruckfeder kann mit einem Ende an der beweglichen Deckplatte
oder an dem stationären
Gehäuse
befestigt sein.
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Es
ist wünschenswert,
wenn die schwingungsdämpfende
Vorrichtung ferner eine erste, an der beweglichen Deckplatte befestigte
Federsitzplatte mit einer ersten Anzahl Vertiefungen und eine zweite,
an dem stationären
Gehäuse
befestigte Federsitzplatte mit einer zweiten Anzahl Vertiefungen, die
der ersten Federsitzplatte gegenübersteht,
umfasst. Die Schraubendruckfedern sind dann zwischen der ersten
Federsitzplatte und der zweiten Federsitzplatte so angeordnet, dass
ein Ende einer jeden Schraubendruckfeder jeweils in einer zweiten
Vertiefung sitzt und das anderer Ende einer jeden Schraubendruckfeder
mit jeder ersten Vertiefung in Eingriff oder außer Eingriff kommen kann.
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Vorteilhaft
umfasst das kuppelartig geformte Kontaktglied ein kuppelartig geformtes
Element, das an der Oberseite der beweglichen Deckplatte aufwärts ragend
ausgebildet ist, und eine ebene Unterseite des Montageplattenteils,
mit der das kuppelartig geformte Element in Kontakt kommen kann.
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Es
ist wünschenswert,
wenn die schwingungsfrei bewegbare Basis einen von einer Umfangskante
des Montageplattenteils abwärts
ragenden hohlzylindrischen Teil hat. Eine Abwärtsbewegungsgrenze der schwingungsfrei
beweglichen Basis ist dann durch das Anliegen einer Unterseite des hohlzylindrischen
Teils an einer Anschlagfläche
des stationären
Gehäuses
bestimmt.
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Vorteilhaft
umfasst die schwingungsdämpfende
Vorrichtung ferner eine an der Oberseite des stationären Gehäuses befestigte
horizontale Platte, wobei das luftdichte flexible Element ein ringförmiger Balgen
ist, dessen Enden an der horizontalen Platte bzw. an der beweglichen
Deckplatte befestigt sind.
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Vorteilhaft
ist eine horizontale Platte an der Oberseite des stationären Gehäuses befestigt,
wobei die bewegliche Deckplatte horizontal über der horizontalen Platte
angeordnet ist und das luftdichte flexible Element ein Balgen ist,
der zwischen die bewegliche Deckplatte und die horizontale Platte
eingesetzt ist.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung bleiben bei der schwingungsdämpfenden Luftfedervorrichtung
mit dem kuppelartig geformten Kontaktglied die bewegliche Deckplatte
und der Montageplattenteil über
das kuppelartig geformte Kontaktglied miteinander in Kontakt, das
zwischen der beweglichen Deckplatte und dem Montageplattenteil angeordnet
ist, auch wenn der Innendruck der luftdichten Druckkammer ausgeglichen
wird. Entsprechend bleibt die ursprüngliche Schwingungsdämpfungsleistung
beim Betrieb der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
unverändert,
nachdem der Innendruck der luftdichten Druckkammer ausgeglichen
wurde.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Die
vorliegende Erfindung wird nun eingehend unter Bezugnahme auf die
beigefügten
Zeichnungen beschrieben. Darin zeigen:
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1 eine
Vorderansicht eines Ausführungsbeispiels
einer schwingungsdämpfenden
Luftfedervorrichtung, deren rechte Hälfte als Querschnitt dargestellt
ist;
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2 einen
vergrößerten Querschnitt
eines Teils der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
nach 1 im Betriebszustand, wobei eine luftdichte Druckkammer
und ein Umfangsteil der Druckkammer gezeigt sind;
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3 eine
Darstellung ähnlich 2,
die denselben Teil der Schwingungsdämpfungsvorrichtung wie in 2 in
einem Zustand zeigt, bei dem der Innendruck der luftdichten Druckkammer
so weit abfällt,
dass eine Schraubendruckfeder in Kontakt mit einer beweglichen Deckplatte
kommt;
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4 eine
Darstellung ähnlich 3,
die denselben Teil der Schwingungsdämpfungsvorrichtung wie in 3 in
einem Zustand zeigt, bei dem der Innendruck der luftdichten Druckkammer
weiter abfällt,
wobei die Schraubendruckfeder so zusammengedrückt ist, dass die bewegliche
Deckplatte und eine schwingungsfrei bewegliche Basis über ein
kuppelartig geformtes Kontaktelement zwischen der beweglichen Deckplatte
und der schwingungsfrei beweglichen Basis miteinander in Kontakt
bleiben;
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5 eine
perspektivische Teilansicht der schwingungsdämpfenden Luftfedervorrichtung
nach 1; und
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6 einen
vergrößerten Querschnitt
eines Teils einer vergleichsweisen Schwingungsdämpfungsvorrichtung in einem
Zustand, der dem in 4 gezeigten Zustand entspricht.
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BESCHREIBUNG DER VORZUGSWEISEN
AUSFÜHRUNGSFORM
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Wie 1 und 5 zeigen,
ist eine Ausführungsform
einer Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 mit
einem säulenförmigen stationären Gehäuse 10,
einer vibrationsfrei beweglichen Basis 20, einer beweglichen
Deckplatte 30 und einem ringförmigen Balgen (luftdichtes
flexibles Element) 40 vorgesehen. Das stationäre Gehäuse 10 steht
auf einem Boden 11.
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Die
Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 hat
eine feststehende kreisrunde Platte 12, die mit dem oberen
Ende des stationären
Gehäuses 10 verbunden
ist und eine horizontale Ebene (in horizontaler Lage) in einem Zustand
bildet, in dem die Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 geeignet
eingerichtet ist. Der Balgen 40 hat längs einer unteren ringförmigen Kante
einen unteren Rand 41, der zwischen der Außenkante
der feststehenden kreisrunden Platte 12 und einer unteren
Halteplatte 13 gehalten ist, welche an der Oberseite der
feststehenden kreisrunden Platte 12 befestigt ist.
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Die
bewegliche Deckplatte 30 ist als eine kreisrunde Platte
ausgebildet, die eine horizontale Ebene ähnlich der feststehenden kreisrunden
Platte 12 bildet. Der Balgen 40 hat an seiner
oberen ringförmigen
Kante einen oberen Rand 42, der fest zwischen der Außenkante
der beweglichen Deckplatte 30 und einer oberen Halteplatte 31 gehalten
ist, welche an der Unterseite der beweglichen Deckplatte 30 befestigt
ist. Die bewegliche Deckplatte 30 (mit der oberen Halteplatte 31),
der Balgen 40 und die feststehende kreisrunde Platte 12 (mit
der unteren Halteplatte 13) bilden eine luftdichte Druckkammer 43.
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Das
stationäre
Gehäuse 10 hat
längs seiner Achse
einen Luftkanal 14, der mit der luftdichten Druckkammer 43 in
Verbindung steht. Druckluft, deren Druck durch eine Druckluftquelle 15,
einen Regler 16 und einen Druckregler 17 reguliert
wird, gelangt durch den Luftkanal 14 in die luftdichte
Druckkammer 43.
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Ein
kuppelartig (halbkugelig) geformtes Element 32 ist an der
Oberseite der beweglichen Deckplatte 30 in deren Mitte
befestigt. Die Mitte (Achsmitte) des kuppelartig geformten Elements 32 liegt
koaxial mit den Mitten (Achsmitten) des Galgens 40 und der
feststehenden kreisrunden Platte 12. Andererseits hat die
schwingungsfrei bewegliche Basis 20 einen Montageplattenteil 21 und
einen hohlzylindrischen Teil 22. Der Montageplattenteil 21 ist über der beweglichen Deckplatte 30 so
angeordnet, dass die ebene Oberseite des Montageplattenteils 21 in
einer horizontale Ebene liegt. Der hohlzylindrische Teil 22 ragt
von der Umfangskante des Montageplattenteils 21 nach unten.
Die Unterseite 21a des Montageplattenteils 21 und
das kuppelartig geformte Element 32 können miteinander in Punktberührung kommen.
Die Unterseite 21a des Montageplattenteils 21 und
das kuppelartig geformte Element 32 bilden nämlich ein kuppelartig
geformtes Kontaktglied zwischen der beweglichen Deckplatte 30 und
dem Montageplattenteil 21.
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Die
Grenze der Abwärtsbewegung
der schwingungsfrei beweglichen Basis 20 ist bestimmt durch
den Kontakt einer an der Unterseite des hohlzylindrischen Teils 22 vorgesehenen
Anschlagfläche 22a mit
einer an dem stationären
Gehäuse 10 der Anschlagfläche 22a gegenüberstehenden
Anschlagfläche 10a.
Wenn die schwingungsfrei bewegliche Basis 20 ihre unterste
Lage einnimmt, wird die zweidimensionale Positionierung der schwingungsfrei
beweglichen Basis 20 relativ zu dem stationären Gehäuse 10 grob
durch den Eingriff des hohlzylindrischen Teils 22 mit vier
Positionieranschlägen 18 (in 5 sind
nur drei gezeigt) an dem stationären
Gehäuse 10 vorgenommen.
Der hohlzylindrische Teil 22 hat Öffnungen 22b, durch
die die entsprechenden Teile des Galgens 40 nach außen stehen.
Solche Öffnungen 22b an
dem hohlzylindrischen Teil 22 sind wahlweise vorgesehen.
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Die
schwingungsdämpfende
Vorrichtung 100 hat in der luftdichten Druckkammer 43 mehrere Schraubendruckfedern
(Spannvorrichtungen) 50, die gleichen Winkelabständen auf
einem Kreis um die Mitte der feststehenden kreisrunden Platte 12 (der beweglichen
Deckplatte 30) angeordnet sind. In dieser Ausführungsform
sind sechs Schraubendruckfedern 50 (in 1 bis 5 ist
nur eine gezeigt) in der luftdichten Druckkammer 43 angeordnet.
Eine untere Federsitzplatte 19 ist an der Oberseite der
feststehenden kreisrunden Platte 12 befestigt, während eine
obere Federsitzplatte 34 an der Unterseite der Halteplatte 31 befestigt
ist. Mehrere Vertiefungen 19a, in denen die unteren Enden
der Schraubendruckfedern 50 sitzen, sind an der Oberseite
der unteren Feder sitzplatte 19 ausgebildet, während mehrere
Vertiefungen 34a an der Unterseite der oberen Federsitzplatte 34 ausgebildet
sind, die den Vertiefungen 19a jeweils gegenüberstehen.
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Jede
Schraubendruckfeder 50 wird einfach in einer Vertiefung 19a der
unteren Federsitzplatte 19 angeordnet, und ihr oberes Ende
wird in die zugeordnete Vertiefung 34a eingreifen oder
von ihr getrennt, was von dem Innendruck der luftdichten Druckkammer 43 abhängt. Die
Länge einer
jeden Schraubendruckfeder 50 ist nämlich so vorbestimmt, dass
das obere Ende mit der zugeordneten Vertiefung 34a der oberen
Federsitzplatte 34 in Kontakt kommt, sowie derart, dass
das kuppelartig geformte Element 32 mit der Unterseite 21a des
Montageplattenteils 21 der schwingungsfrei beweglichen
Basis in Kontakt bleibt (siehe 3 und 4),
wenn (und nur wenn) der Innendruck der luftdichten Druckkammer 43 unter
einen vorbestimmten Wert abfällt,
so dass die bewegliche Deckplatte 30 zu dem stationären Gehäuse 10 hin
abwärts
bewegt wird. Wenn andererseits eine Schwingungsdämpfungsoperation abläuft, indem
der Innendruck der luftdichten Druckkammer 43 auf einen
vorbestimmten Wert oder darüber
ansteigt, wird das obere Ende einer jeden Schraubendruckfeder 50 aus
der zugeordneten Vertiefung 34a der oberen Federsitzplatte 34 herauskommen,
so dass keine Federkraft (Spannkraft) auf die bewegliche Deckplatte 30 ausgeübt wird
(siehe 2).
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In
der Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 können also
das an der beweglichen Deckplatte 30 befestigte kuppelartig
geformte Element 32 und die Unterseite 21a des
Montageplattenteils 21 auch dann miteinander in Kontakt
gehalten werden, wenn ein Schwingungsdämpfungsdruck, der eine Belastung
aufnehmen kann, in der luftdichten Druckkammer 43 fehlt
(d.h. in einem Zustand, in dem der Innendruck der luftdichten Druckkammer 43 gleich
dem barometrischen Druck ist). Wenn der Zustand der Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 nach 1 und 2 dem
Einpumpen einer druckgeregelten Druckluft mit vorbestimmten Druckwert
in die luftdichte Druckkammer 43 entspricht, so ist in
diesem Zustand das obere Ende einer jeden Schraubendruckfeder 50 aus
der oberen Federsitzplatte 34 herausbewegt, so dass sich
ein Abstand S (siehe 2) zwischen dem oberen Ende
einer jeden Schraubendruckfeder 50 und der zugeordneten
Aussparung 34a ergibt. In diesem Zustand üben die
Schraubendruckfedern 50 keinen Einfluss auf eine Druckregeloperation
mit dem Druckregler 17 aus.
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Wenn
andererseits der Innendruck der luftdichten Druckkammer 43 z.B.
bei stillstehender Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 abfällt, so bewegt
sich die bewegliche Deckplatte 30 abwärts und beseitigt den Abstand
S, so dass das obere Ende einer jeden Schraubendruckfeder 50 mit
der zugeordneten Vertiefung 34a in Kontakt kommt, wie es 3 zeigt.
Gleichzeitig bewegt sich die schwingungsfrei bewegliche Basis 20 durch
ihr Eigengewicht und durch das Gewicht eines auf dem Montageplattenteil 21 befestigten
Objekts abwärts.
Die Grenze dieser Abwärtsbewegung
ist durch den Anschlag der Anschlagfläche 22a an die Anschlagfläche 10a bestimmt.
Befindet sich die schwingungsfrei bewegliche Basis 20 in
dieser physikalisch unteren Grenzstellung ihrer Bewegung, so wird
jede Schraubendruckfeder 50 durch die schwingungsfrei bewegliche
Basis und die bewegliche Deckplatte 30 zusammengedrückt. 4 zeigt
diesen Zustand, in dem sich die schwingungsfrei bewegliche Basis
an der unteren Bewegungsgrenze relativ zur beweglichen Deckplatte 30 befindet.
In diesem in 4 gezeigten Zustand ist jede
Schraubendruckfeder 50 um einen Betrag t zusammengedrückt, während das
kuppelartig geformte Element 32 und die Unterseite 21a des Montageplattenteils 21 in
gegenseitigem Kontakt bleiben. Entsprechend können bei dieser Ausführung der
Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 das kuppelartig
geformte Element 32 und die Unterseite 21a des
Montageplattenteils 21 auch dann in Kontakt gehalten werden,
wenn der Innendruck der luftdichten Druckkammer gleich dem barometrischen
Druck wird. Deshalb weichen bei der vorliegenden Ausführungsform
der Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 die
Mitte der beweglichen Deckplatte 30 und die Mitte des Montageplattenteils 21 nicht
voneinander ab, wenn die Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 außer Betrieb
ist. Dadurch ist es möglich,
den ursprünglichen
Zustand der Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 leicht
zu reproduzieren, wenn sie ihren Betrieb dann wieder aufnimmt.
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6 zeigt
den Ruhezustand einer vergleichsweisen Schwingungsdämpfungsvorrichtung, die
keine Schraubendruckfedern (entsprechend den Schraubendruckfedern 50)
oder eine untere bzw. obere Federsitzplatte (entsprechend der unteren
und der oberen Federsitzplatte 19 und 34) hat.
Eine Verringerung des Innendrucks der luftdichten Druckkammer 43 bewirkt
eine Abwärtsbewegung
der beweglichen Deckplatte 30 durch ihr Eigengewicht und
ein gleichzeitiges Verbiegen des Galgens 40, wodurch das
kuppelartig geformte Element 32 und die Unterseite 21a des
Montageplattenteils 21 voneinander getrennt werden (und
ein Abstand U entsteht, wie 6 zeigt).
Der Kontaktpunkt zwischen dem kuppelartig geformten Element 32 und
der Unterseite 21a des Montageplattenteils 21 weichen
von dem vorherigen Kontaktpunkt ab, wenn ein Schwingungsdämpfungsdruck
wieder der luftdichten Druckkammer 43 zugeführt und
die bewegliche Deckplatte 30 aufwärts bewegt wird. Daher ist
es unmöglich,
den ursprünglichen
Zustand der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
genau zu reproduzieren, wenn diese nach einem Stillstand ihren Betriebszustand
wieder aufnimmt.
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Obwohl
bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel
der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
jede Schraubendruckfeder 50 einfach auf der unteren Federsitzplatte 19 (auf
der Seite des stationären
Gehäuses)
in einer Vertiefung 19a angeordnet wird, kann sie auch
an der unteren Federsitzplatte 19 mit einem Halter (z.B.
Klemmschraube) befestigt werden, um eine Lageänderung der Schraubendruckfeder 50 zu
verhindern. Es ist auch möglich,
das obere Ende einer jeden Schraubendruckfeder 50 relativ
zu der beweglichen Deckplatte 30 zu befestigen. Die Zahl
der Schraubendruckfedern 50 ist beliebig. Jede Schraubendruckfeder 50 kann
durch eine Blattfeder o.ä.
ersetzt werden, deren eines Ende relativ zu der feststehenden kreisrunden
Platte 12 oder zu der beweglichen Deckplatte 30 festgelegt
ist. Bei dem vorstehend dargestellten Ausführungsbeispiel der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
kann die Spannvorrichtung mit den Schraubendruckfedern 50 auch jede
andere Spannvorrichtung sein, die einen ausreichenden Freiheitsgrad
bei der Positionierung hat und das kuppelartig geformte Element 32 (an
der beweglichen Deckplatte 30) und den Montageplattenteil 21 miteinander
in Berührung
halten kann, wenn der Innendruck der luftdichten Druckkammer 30 reduziert wird,
d.h. wenn die Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 im
Ruhezustand ist, und die ferner keine Spannkraft auf die bewegliche
Deckplatte 30 und damit keinen Einfluss auf diese ausübt, wenn
die Schwingungsdämpfungsvorrichtung 100 in
Betrieb ist.
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Obwohl
bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
das kuppelartig geformte Element 32 an der beweglichen
Deckplatte 30 befestigt ist, während ein Teil des Montageplattenteils 21,
der mit der beweglichen Deckplatte 30 in Berührung kommt,
als ebene Fläche
ausgebildet ist und damit das kuppelartig geformte Kontaktglied
gebildet wird, über
das der Montageplattenteil 21 der schwingungsfrei beweglichen
Basis 20 und die bewegliche Deckplatte 30 in Punktberührung miteinander
kommen, kann das kuppelartig geformte Element 32 auch an
dem Montageplattenteil 21 befestigt sein und abwärts zu der
beweglichen Deckplatte 30 ragen, wobei der Teil der beweglichen
Deckplatte 30, der in Kontakt mit dem kuppelartig geformten
Element 32 kommt, als ebene Fläche ausgebildet ist und damit
das kuppelartig geformte Kontaktglied bildet.
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Der
Balgen 40 ist bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel
der Schwingungsdämpfungsvorrichtung
aus einem einzigen Balgenelement gebildet. Er kann aber auch aus
mehr als einem Balgenelement bestehen.