KR100874406B1

KR100874406B1 - 공기-스프링 제진장치

Info

Publication number: KR100874406B1
Application number: KR1020050000884A
Authority: KR
Inventors: 하야시아키히로; 다마키게이지; 가이누마마사구니
Original assignee: 후지쿠라 고무 코교 가부시끼가이샤
Priority date: 2004-01-22
Filing date: 2005-01-05
Publication date: 2008-12-17
Also published as: US7125008B2; EP1557585B1; TWI318671B; US20050161870A1; KR20050076738A; TW200535350A; JP4463573B2; EP1557585A1; DE602005002149D1; JP2005207504A; DE602005002149T2

Abstract

제진장치는 고정하우징; 이 고정하우징 위에 수평으로 배치된 가동상판; 가동상판 및 고정하우징 사이에 공기기밀압력실을 형성하기 위한 공기기밀유연체; 재치판부를 구비한 제진가동대; 및 가동상판 및 재치판부의 대향하는 표면들 사이에 제공된 돔형상접촉부를 포함하고 있다. 가동상판은 공기기밀압력실의 내부압력을 변화함에 의해 상하로 이동한다. 제진가동대는 돔형상접촉부를 통해 상하로 이동한다. 이 제진장치는, 공기기밀압력실 내부에 위치되고, 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값 보다 적을 때 서로 접촉하고 있는 가동상판 및 재치판부의 평면중심들을 보지하기 위한, 부세장치를 포함하고 있다.

제진장치

Description

공기-스프링 제진장치{Air-Spring Vibration Isolation Device}

도 1은 우측 절반부분이 단면도로 보여진, 공기-스프링 제진장치의 실시예에 대한 정면도;

도 2는 제진장치의 동작 상태에 있어서, 공기기밀압력실 및 그 주변부를 보여주는 도 1에 도시된 제진장치의 부분에 대한 확대 단면도;

도 3은 공기기밀압력실의 내부압력이 압축코일스프링이 가동상판과 접촉할 정도로 떨어진 상태에 있어서의 도 2에 도시된 제진장치와 동일한 부분을 보여주는, 도 2와 유사한 도면;

도 4는 공기기밀압력실의 내부압력이 더 떨어진 상태에 있어서의 도 3에 도시된 제진장치와 동일한 부분을 보여주고, 압축코일스프링은 가동상판 및 제진가동대(vibration-free movable base)가 가동상판 및 제진가동대 사이에 장착된 돔형상접촉부를 통해 서로 접촉한 상태를 유지하도록 압축되어져 있는, 도 3과 유사한 도면;

도 5는 도 1에 도시된 공기-스프링제진장치의 분해사시도; 및

도 6은 도 4에 도시된 제진장치의 상태에 대응하는 상태에 있어서 비교상의 제진장치의 일부에 대한 확대단면도이다.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

100 : 제진장치 10 : 고정하우징

10a : 정지표면 11 : 마루

12 : 수평판 13 : 리테이너판

14 : 공기통로 15 : 압축공기원

16 : 조정기 17 : 압력조정기

18 : 위치돌기 19 : 제2스프링안착판

20 : 제진가동대 21 : 재치판부

22 : 공동원통부 30 : 가동상판

31 : 리테이너판 32 : 돔형상접촉부

34 : 제1스프링안착판 40 : 상자

43 : 공기기밀압력실 50 : 압축코일스프링

본 발명은 목적물을 마루(floor)로부터 전송된 진동으로부터 격리하면서, 정밀기기 등과 같은 목적물을 진동으로부터 고립되도록 지지하기 위한 공기-스프링제진장치에 관한 것이다.

종래의 공기-스프링제진장치에 있어서, 마루로부터 제진장치의 고정하우징으로 전송된 진동은 조정된 공기압을 공기기밀압력실로 도입하면서 공기기밀압력실(공기기밀 유연체)을 통해 고정하우징 상의 제진가동대를 지지함에 의해 제진장치의 제진가동대에 전달되는 것으로부터 방지된다.

진동격리의 이행에 있어서 더욱 개선점을 얻기 위하여, 제진가동대가 공기기밀압력실에 의해 직접 지지되지 않고 가동상판이 공기기밀압력실에 의해 상하로 움직이도록 구성되고, 가동상판 및 재치판부의 대향하는 표면들의 사이의 평면중심에 위치하는 돔형상의 접촉부를 통해 서로 점상으로 접촉할 수 있도록 가동상판 및 제진가동대의 재치판부가 서로 마주보도록 구성된 구조에 의해 제진가동대가 가동상판에 대하여 요동운동이 가능하게 한, 공기압을 이용하는 이런 형태의 공기-스프링제진장치가 이 기술분야에 잘 알려져 있다.

이러한 돔형상의 접촉부를 사용하는 특수형태의 공기-스프링제진장치에 있어서, 만약 공기기밀압력실에 인가된 공기압력이 제거된다면, 즉, 제진장치가 비동작상태에 있는 시간 동안, 가동상판은 돔형상접촉부를 통해 가동상판과 재치판부의 점접촉결합을 해체하기 위하여 고정하우징을 향하여 하강한다. 그 후, 제진장치가 작동한다고 가정할 때, 공기압은 다시 돔형상접촉부를 통해 가동상판을 이동하기 위하여 공기기밀압력실로 도입된다. 비록 고정하우징에 대하여 제진가동대의 2차원적 위치가 미리 정밀하게 설정되어 있지만, 고정하우징에 대한 제진가동대의 이 정밀한 2차원적위치는 가동상판과 제진가동대의 재치판부의 점접촉결합이 해체되는 즉시 상실되고, 이것은 원래의 제진성능을 재현할 수 없다는 문제점을 갖는다.

본 발명은 공기기밀압력실의 내부압력이 해소되어질 때 조차도 가동상판 및 재치판부 사이에 제공된 돔형상접촉부를 통해 가동상판 및 재치판부가 서로 접촉상태로 남아 있는 공기-스프링제진장치를 제공하는 것이다. 따라서, 원래의 제진성능이 공기기밀압력실의 내부압이 해소된 후에 있어서 제진장치의 동작시에도 변하지 않고 그대로 남아 있게 된다.

본 발명의 관점에 따르면, 제진장치는 고정하우징; 상기 고정하우징 위에 수평으로 배치된 가동상판; 가동상판 및 고정하우징 사이에 공기기밀압력실을 형성하기 위한 공기기밀유연체; 진동으로부터 고립되어지도록 목적물이 탑재되는 재치판부를 구비하고, 상기 가동상판과 마주하면서 수평으로 배치되며, 상기 고정하우징에 대하여 상하로 가동할 수 있는 제진가동대; 및 가동상판 및 재치판부의 평면중심이 서로 점접촉할 수 있도록 가동상판 및 재치판부의 대향하는 표면들 사이에 제공된 돔형상접촉부를 포함하고 있다. 가동상판은 공기기밀압력실의 내부압력을 변화함에 의해 상하로 이동한다. 제진가동대는 돔형상접촉부를 통해 상하로 이동한다. 이 제진장치는, 공기기밀압력실 내부에 위치되고, 고정하우징에 대하여 가동상판의 하향이동의 한계를 정의하기 위한, 그리고 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값보다 적을 때 서로 접촉하고 있는 가동상판 및 재치판부의 평면중심들을 보지하기 위한, 부세장치를 포함하고 있다.

이 부세장치는 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값과 동일하거나 그 이상인 상태에서 제진장치가 제진동작을 수행할 때 가동상판에 부세력을 가하지 않도록 공기기밀압력실의 내부에 위치되는 것이 바람직하다.

이 부세장치는 가동상판 및 고정하우징 사이에 설치된 다수의 스프링들을 포 함하고 있다.

이 다수의 스프링들은 등-각간격으로 배치되는 것이 바람직하다.

다수의 스프링들의 각각은 압축코일스프링인 것이 바람직하다.

각 압축코일스프링은 그 일측단부가 가동상판 및 고정하우징의 하나에 고정될 수 있다.

또한, 제진장치는 가동상판에 고정되고 다수의 제1홈들을 갖는 제1스프링안착판; 및 상기 제1스프링안착판과 마주하는 재치판부에 고정되고 다수의 제2홈들을 갖는 제2스프링안착판을 포함하는 것이 더 바람직하다. 다수의 압축코일스프링들은 다수의 압축코일스프링들의 각각의 일단부가 다수의 제2홈들의 각 대응하는 하나에 안착되도록, 그리고 다수의 압축코일스프링들의 각각의 타단부가 다수의 제1홈들의 각 대응하는 하나에 체결 및 분리되어질 수 있도록 제1스프링안착판 및 제2스프링안착판 사이에 위치된다.

돔형상접촉부는 상부로 돌출하기 위하여 가동상판의 상부표면 상에 형성된 돔형상부재; 및 돔형상부재가 접촉할 수 있는 재치판부의 평면저부표면을 포함하는 것이 바람직하다.

제진가동대는 재치판부의 주변 가장자리로부터 아래로 뻗어 있는 공동원통부를 포함하는 것이 바람직하다. 제진가동대의 하향이동한계는 고정하우징상에 형성된 정지표면과 공동원통부의 저단부 표면이 접촉함에 의해 결정된다.

또한, 제진장치는 고정하우징의 상단부에 고정된 수평판을 포함하고, 그 속 에는 공기기밀유연체가 고리모양상자를 구비하며, 그 양 단부들은 각각 수평판 및 가동상판에 고정되어 있다.

실시예에 있어서, 제진장치는 고정하우징; 상기 고정하우징의 상단부에 고정된 수평판; 상기 수평판 위에 수평으로 배치된 가동상판; 진동으로부터 고립되어지도록 목적물이 탑재되고, 고정하우징에 대하여 상하로 가동할 수 있는 방법으로 상기 가동상판과 마주하면서 수평으로 배치되어 있는 재치판; 상기 가동상판 및 상기 수평판 사이에 설치되고 그 사이에서 공기기밀압력실을 형성하는 상자; 상기 재치판의 저부표면을 향하여 상부로 돌출하는 가동상판의 상부표면에 고정된 돔형상부재; 및 공기기밀압력실 내부에 위치되고, 고정하우징에 대하여 가동상판의 하향이동의 한계를 정의하기 위한, 그리고 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값보다 적을 때 서로 접촉하고 있는 가동상판 및 재치판의 평면중심들을 보지하기 위한, 부세장치를 포함하고 있다.

본 발명에 따르면, 돔형상접촉부를 사용하는 공기-스프링제진장치에 있어서, 가동상판 및 재치판부는 공기기밀압력실의 내부압이 해제될 때 조차 가동상판 및 재치판부 사이에 제공되는 돔형상접촉부를 통해 서로 접촉하고 있는 상태로 남아 있다. 따라서, 원래의 제진성능이 공기기밀압력실의 내부압이 해소된 후에 있어서 제진장치의 동작시에도 변하지 않고 그대로 남아 있게 된다.

이하에서, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1및 도 5에 명백히 도시된 바와 같이, 제진장치(100)의 실시예는 기둥형상의 고정하우징(10), 제진가동대(20), 가동상판(30), 및 고리모양 상자(공기기밀유연체)(40)가 구성되어 있다. 고정하우징(10)은 마루(11)상에 배치된다.

제진장치(100)는 고정된 수평판(12)을 구비하고, 이 수평판은 제진장치(100)가 옳바르게 장착된 상태에 있어서 수평면을 이루도록(수평위치로 장착) 고정하우징(10)의 상부단부에 고정된다. 상자(40)는 그 고리모양 가장자리를 따라 고정된 수평판(12)의 외부가장자리와 고정된 수평판(12)의 상부표면에 고정된 저부리테이너판(13) 사이를 밀착 유지하는 저부구슬선부(41)를 구비하고 있다.

가동상판(30)은 고정된 수평판(12)에 유사하게 수평면을 정의하는 수평판 내에 형성된다. 상자(40)는 그 상부 고리모양 가장자리를 따라 가동상판(30)의 외부가장자리와 가동상판(30)의 저부표면에 고정된 상부리테이너판(31) 사이를 밀착 유지하는 상부구슬선부(42)를 구비하고 있다. 이 가동상판(30)(상부리테이너판(31)과 함께), 상자(40) 및 고정된 수평판(12)(저부리테이너판(13)과 함께)은 공기기밀압력실(43)을 형성한다.

고정하우징(10)은 그 축을 따라 공기기밀압력실(43)과 연통하는 공기통로(14)를 구성하고 있다. 압축공기원(15), 조정기(16), 및 압력조정기(17)에 의해 압력이 조정된 압축공기는 이 공기통로(14)를 통해 공기기밀압력실(43)로 공급된다.

돔형상(반구형의)부재(32)는 그 평면중심이 가동상판(30)의 상부표면에 고정된다. 돔형상부재(32)의 평면중심(축중심)은 상자(40) 및 고정된 수평판(12)의 평면중심(축중심)과 일치한다. 한편, 제진가동대(20)는 재치판부(21) 및 공동원통부(22)를 구비하고 있다. 재치판부(21)는 재치판부(21)의 평면상부표면이 수평면으로 뻗어 있도록 가동상판(30)의 위에 배치된다. 공동원통부(22)는 재치판부(21)의 주변 가장자리로부터 아래로 뻗어 있다. 재치판부(21)의 저부표면(21a) 및 돔형상부재(32)는 서로 점접촉이 가능하다. 즉, 재치판부(21)의 저부표면(21a) 및 돔형상부재(32)는 가동상판(30) 및 재치판부(21) 사이에 제공되는 돔형상접촉부를 구성한다.

제진가동대(20)의 하향이동의 한계는 공동원통부(22)의 저부단부에 형성된 정지면(22a)이 정지면(22a)과 마주하는 고정하우징(10) 상에 형성된 정지면(10a)과의 접촉에 의해 결정된다. 제진가동대(20)가 그것의 최하단 위치에 있을 때, 고정하우징(10)에 대한 제진가동대(20)의 2차 위치는 대략 공동원통부(22)가 고정하우징(10)에 고정된 네 개의 위치돌기들(18)(그들 중 세 개만이 도 5에 도시되어 있다)과 접촉함에 의해 설정된다. 공동원통부(22)는 상자(40)의 대응하는 부분들을 통해 밖으로 돌출하는 개구들(22b)을 구성하고 있다. 공동원통부(22)에 그러한 개구들(22b)을 구성하는 것은 선택적이다.

제진장치(100)는 고정된 수평판(12)(가동상판(30))의 평면중심에 대하여 원형으로 등-각 간격으로 배치된 다수의 압축코일스프링들(부세장치)과 함께 공기기밀압력실 내부에 구성된다. 이 특정의 실시예에 있어서는, 여섯 개의 압축코일스프링들(50)(단지 그것들 중 하나만이 도 1 내지 도 5에 도시됨)이 공기기밀압력실(43) 내부에 배치되어 있다. 제2스프링안착판(19)은 고정된 수평판(12)의 상부표면에 고정되어 있고, 제1스프링안착판(34)은 리테이너판(31)의 저부표면에 고정되어 있다. 다수의 압축코일스프링들(50)의 저부단부들이 각각 안착되어져 있는 다수의 제2홈들(19a)은 제2스프링안착판(19)의 상부표면상에 형성되어 있고, 다수의 제1홈들(34a)은 다수의 제2홈들(19a)과 마주하는 제1스프링안착판(34)의 저부표면상에 각각 형성되어 있다.

각 압축코일스프링(50)은 하나의 제2홈(19a) 내에 제2스프링안착판(19) 상에 단순히 위치되고, 각 압축코일스프링(50)의 상단부는 공기기밀압력실(43)의 내부압력에 의존하여 관련 제1홈(34a)으로부터 착탈되어진다. 즉, 각 압축코일스프링(50)의 길이는 압축코일스프링(50)의 상단부가 제1스프링안착판(34)의 관련 제1홈(34a)과 접촉하도록 그리고 만약 공기기밀압력실(43)의 내부압력이 가동상판(30)을 고정하우징(10)을 향하여 하향이동을 하도록 사전설정된 값 이하로 떨어지는 경우에 돔형상부재(32)가 제진가동대(20)의 재치판부(21)의 저부표면(21a)과 접촉을 유지 하도록(도 3및 도 4참조) 사전 결정되어 진다. 한편, 제진동작이 공기기밀압력실(43)의 내부압력을 사전설정된 값 이상으로 증가함에 의해 수행될 때, 각 압축코일스프링(50)의 상단부는 가동상판(30)상에 어떠한 스프링력(부세력)도 가하지 않도록 제1스프링안착판(34)의 관련된 제1홈(34a)으로부터 이탈된다(도 2참조).

따라서, 이 제진장치(100)에 있어서, 가동상판(30)에 고정되어 있는 돔형상부재(32), 및 재치판부(21)의 저부표면(21a)은 부하를 지탱하는데 충분한 진동고립압력이 공기기밀압력실(43) 내에 공급되지 않는 상태(즉, 공기기밀압력실(43)의 내부압력이 대기압에 동일하게 만들어지는 상태)에 있어서 조차 서로 접촉을 유지할 수가 있다. 도 1 및 도 2에 도시된 제진장치(100)의 상태가 사전설정된 압력으로 압력조정된 압축공기가 공기기밀압력실(43) 내로 유입되어진 상태라고 가정하면, 이 상태에서 각 압축코일스프링(50)의 상단부는 각 압축코일스프링(50)의 상단부와 관련된 제1홈(34a) 사이에 틈(S)을 형성하도록 제1스프링안착판(34)으로부터 이탈되어 진다. 그러므로, 이 상태에서, 다수의 압축코일스프링(50)의 존재는 압력조정기(17)로 수행된 압력조정동작에 어떠한 영향도 주지 못한다.

역으로, 만약 공기기밀압력실(43)의 내부압이 제진장치(100)가 비동작상태에 있는 때로 떨어진다면, 각 압축코일스프링(50)의 상단부는 도 3에 도시된 바와 같이 관련된 제1홈(34a)과 접촉되어 진다. 동시에, 제진가동대(20)는 그 자체의 무게 및 재치판부(21) 상에 탑재된 목적물의 무게에 의해 하향 이동한다. 이 제진가동대(20)의 하향이동의 한계는 정지면(22a)과 정지면(10a)의 맞닿음에 의해 결정된다. 제진가동대(20)가 그 이동의 저부한계에 물리적으로 위치될 때, 각 압축코일스프링(50)은 제진가동대(20) 및 가동상판(30)에 의해 압축되어 진다. 도 4는 제진가동대(20)가 가동상판(30)에 대하여 그 저부이동한계에 위치되어 있는 상태를 보여주고 있다. 도 4에 도시된 이 상태에 있어서, 각 압축코일스프링(50)은 량 t 만큼 압축되어지고, 한편 돔형상부재(32) 및 재치판부(21)의 저부표면(21a)은 서로 접촉상태를 유지한다. 따라서, 제진장치(100)의 본 실시예에 있어서, 돔형상부재(32) 및 재치판부(21)의 저부표면(21a)은 공기기밀압력실의 내부압이 대기압과 같게 될 때 조차도 서로 접촉을 유지할 수가 있다. 그러므로, 제진장치(100)의 본 실시예에 있어서, 가동상판(30)의 중심평면 및 재치판부(21)의 중심평면은 제진장치(100)가 비동작상태에 있을 때 서로로부터 편향하지 않고, 이것은 제진장치(100)가 비동작상태로부터 작동상태가 될 때 용이하게 제진장치(100)의 이전상태를 복구할 수가 있도록 한다.

도 6은 압축코일스프링들(다수의 압축코일스프링들(50)에 대응하는)이나 상부 및 하부의 스프링안착판들(제1 및 제2스프링안착판들(19 및 34)에 대응하는)이 장착되지 않은 비교대상의 제진장치의 비동작상태를 보여주고 있다. 공기기밀압력실(43)의 내부압의 감소는 가동상판(30)을 그 자체의 무게에 의해 하향이동시키며 상자(40)를 휘게 하고 그것에 의해 돔형상접촉부(32) 및 재치판부(21)의 저부표면(21a)이 서로 이탈하게 된다(도 6에 도시된 바와 같이 간격 U를 발생한다). 그러나, 돔형상접촉부(32) 및 재치판부(21)의 저부표면(21a) 사이의 점접촉은 제진압력이 다시 가동상판(30)을 상향이동 하기 위하여 도입될 때 그 사이의 이전의 점접촉으로부터 편향하고, 이것은 제진장치(100)가 비동작상태로부터 작동상태가 될 때 제진장치(100)의 이전상태를 정밀하게 복구는 것이 불가능하게 한다.

비록 각 압축코일스프링(50)이 제진장치의 상술한 실시예에 있어서 하나의 제2홈(19a) 내에 제2스프링안착판(19)상에(고정하우징 상에) 단순히 위치된다 하더라도, 각 압축코일스프링(50)의 저부 단부는 압축코일스프링(50)의 위치변화를 방지하기 위하여 리테이너(예를들면, 고정 스크류)에 의해 제2스프링안착판(19)에 고정될 수 있다. 또한, 가동상판(30)에 대하여 각 압축코일스프링(50)의 상부단부에 고정할 수도 있다. 압축코일스프링(50)의 수는 선택적이다. 각 압축코일스프링(50)은 겹판스프링과 같은 것으로 대체될 수가 있고, 그 일측단부는 고정된 수평판(12) 또는 가동상판(30)에 대하여 고정되어 진다. 제진장치의 상술한 실시예에 있어서, 압축코일스프링(50)과 같은 부세장치는, 만약 공기기밀압력실(43)의 내부압이 감소될 때 즉, 제진장치(100)가 비동작상태에 있을 때 돔형상부재(32)(가동상판(30) 상에 있는) 및 재치판부(21)가 서로 접촉상태를 유지할 수 있다면, 그리고 만약 제진장치(100)의 제진활동 동안 그 상에 어떤 영향도 끼치지 않도록 부세력이 가동상판(30)에 미치지 않는다면, 부세장치의 위치에 있어서 충분한 자유도를 갖는다면 어떤 다른 부세장치일 수도 있다.

비록 제진장치에 대한 상술의 실시예에 있어서 돔형상부재(32)가 가동상판(30) 상에 장착되고 가동상판(30)과 접촉하게 되는 재치판부(21)의 부분이 돔형상접촉부를 구성하는 평판표면으로서 형성되어 있고, 그것을 통해 제진가동대(20)의 재치판부(21) 및 가동상판(30)이 서로 점접촉할 수 있도록 되어 있지만, 돔형상부재(32)가 가동상판(30)을 향하여 아래로 돌출하도록 재치판부에 고정될 수도 있고 돔형상부재(32)와 접촉할 수 있는 가동상판(30)의 부분이 돔형상접촉부를 구성하는 평판표면으로서 형성될 수도 있다.

비록 상자(40)가 제진장치의 상술한 실시예에 있어서 단일주름을 갖고 있지만, 단일 이상의 주름을 갖는 형태일 수도 있다.

본 발명은 상기의 특정예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 특허청구의 범위 및 정신을 벗어나지 않는 범위내에서 변경도 가능하다. 상세한 설명에서 설명된 사항들은 본 발명을 설명하기 위한 예시에 불과하고 본 발명의 범위를 한정하는 것은 아니다.

본 발명은 공기기밀압력실의 내부압력이 해소되어질 때 조차도 가동상판 및 재치판부 사이에 제공된 돔형상접촉부를 통해 가동상판 및 재치판부가 서로 접촉상태로 남아 있는 공기-스프링제진장치를 제공하고 있다. 따라서, 원래의 제진성능이 공기기밀압력실의 내부압이 해소된 후에 있어서 제진장치의 동작시에도 변하지 않고 그대로 남아 있게 된다.

Claims

제진장치에 있어서,

고정하우징;

상기 고정하우징 위에 수평으로 배치된 가동상판;

상기 가동상판 및 상기 고정하우징 사이에 공기기밀압력실을 형성하기 위한 공기기밀유연체;

진동으로부터 고립되어지도록 목적물이 탑재되는 재치판부를 구비하고, 상기 가동상판과 마주하면서 수평으로 배치되며, 상기 고정하우징에 대하여 상하로 가동할 수 있는 제진가동대; 및

상기 가동상판 및 상기 재치판부의 평면중심이 서로 점접촉할 수 있도록 상기 가동상판 및 상기 재치판부의 대향하는 표면들 사이에 제공된 돔형상접촉부를 포함하고,

상기 가동상판은 상기 공기기밀압력실의 내부압력을 변화함에 의해 상하로 이동하며,

상기 제진가동대는 상기 돔형상접촉부를 통해 상하로 이동하고,

상기 제진장치는 상기 공기기밀압력실 내부에 부세장치를 포함하고, 상기 부세장치는 상기 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값보다 적을 때, 상기 가동기판과 결합하여 상기 가동상판에 대해 부세력을 가해 서로 점접촉하고 있는 상기 가동상판 및 상기 재치판부의 평면중심을 보지하는 제진장치.
제 1항에 있어서, 상기 부세장치는 상기 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값과 동일하거나 그 이상인 상태에서 제진장치가 제진동작을 수행할 때 상기 가동상판에 부세력을 가하지 않도록 상기 가동상판으로부터 이탈되어 상기 공기기밀압력실의 내부에 위치되는 제진장치.
제 1항에 있어서, 상기 부세장치는 상기 가동상판 및 상기 고정하우징 사이에 설치된 다수의 스프링들을 포함하는 제진장치.
제 3항에 있어서, 상기 다수의 스프링들은 등-각간격으로 배치되는 제진장치.
제 3항에 있어서, 상기 다수의 스프링들의 각각은 압축코일스프링인 제진장치.
제 5항에 있어서, 상기 각 압축코일스프링은 그 일측단부가 상기 가동상판 및 상기 고정하우징의 하나에 고정되어 있는 제진장치.
제 5항에 있어서, 상기 가동상판에 고정되고, 다수의 제1홈들을 갖는 제1스프링안착판; 및

상기 제1스프링안착판과 마주하는 상기 고정하우징에 고정되고, 다수의 제2홈들을 갖는 제2스프링안착판을 더 포함하고,

상기 다수의 압축코일스프링들은 다수의 압축코일스프링들의 각각의 일단부가 상기 다수의 제2홈들의 각 대응하는 하나에 안착되도록, 그리고 상기 다수의 압축코일스프링들의 각각의 타단부가 상기 다수의 제1홈들의 각 대응하는 하나에 체결 및 분리되어질 수 있도록 제1스프링안착판 및 제2스프링안착판 사이에 위치되는 제진장치.
제 1항에 있어서, 상기 돔형상접촉부는 상부로 돌출하도록 가동상판의 상부표면 상에 형성된 돔형상부재; 및

상기 돔형상부재가 접촉할 수 있는 상기 재치판부의 평면저부표면을 포함하는 제진장치.
제 1항에 있어서, 상기 제진가동대는 상기 재치판부의 주변 가장자리로부터 아래로 뻗어 있는 공동원통부를 포함하고,

상기 제진가동대의 하향이동한계는 상기 고정하우징상에 형성된 정지표면과 상기 공동원통부의 저단부 표면이 접촉함에 의해 결정되는 제진장치.
제 9항에 있어서, 상기 고정하우징의 상단부에 고정된 수평판을 더 포함하고,

상기 공기기밀유연체가 고리모양상자를 구비하며, 그 양 단부들은 각각 상기 수평판 및 상기 가동상판에 고정되어 있는 제진장치.
제진장치에 있어서,

고정하우징;

상기 고정하우징의 상단부에 고정된 수평판;

상기 수평판 위에 수평으로 배치된 가동상판;

진동으로부터 고립되어지도록 목적물이 탑재되고, 상기 고정하우징에 대하여 상하로 가동할 수 있는 방법으로 상기 가동상판과 마주하면서 수평으로 배치되어 있는 재치판;

상기 가동상판 및 상기 수평판 사이에 설치되고 그 사이에서 공기기밀압력실을 형성하는 상자;

상기 재치판의 저부표면을 향하여 상부로 돌출하는 상기 가동상판의 상부표면에 고정된 돔형상부재; 및

상기 공기기밀압력실 내부에 위치되고, 상기 공기기밀압력실의 내부압이 사전설정된 값보다 적을 때, 상기 가동기판과 결합하여 상기 가동상판에 대해 부세력을 가해 서로 점접촉하고 있는 상기 가동상판 및 상기 재치판부의 평면중심을 보지하는 제진장치.