JP2014231875A - 気体ばね式除振装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被支持体を水平方向に支持する気体ばねが前後左右に配設された除振装置において、装置サイズを維持しつつ、構成部品を装置内に収容する。【解決手段】水平方向の空気ばね７〜１０は、サポートプレート６と上段の気体ばねとの間に４つ配置され、そのうち２つは前後方向に対向配置される一方、他の２つは左右方向に対向配置され、各々サポートプレート６の外周から上方に立ち上がるサイドプレート１１を有し、左右方向に対向配置された２つの空気ばね７，８のサポートプレート１１，１１が互いに離間して配置されるとともに、前後方向に対向配置された２つの気体ばね９，１０のサポートプレート１１，１１が互いに離間して配置され、４つのサポートプレート１１，１１，…の内側に形成された中空部１３にサーボ弁３３〜３５等が配設される。【選択図】図４

Description

本発明は、精密機器等を気体ばねにより支持して、基礎側からの振動の伝達を抑制するようにした除振装置に関し、上下方向及び水平方向の気体ばねが設けられたものに関する。

従来より、電子顕微鏡等の精密機器を空気ばねにより支持して、基礎側からの振動の伝達を抑制する除振装置があり、特許文献１にはその一例が開示されている。

特許文献１の除振装置は、被支持体を上下方向に支持する上段及び下段の空気ばねの他に、被支持体を水平方向に支持する空気ばねを備えている。水平方向の空気ばねは、上段及び下段の空気ばねの間に２つ配設され、左右方向に対向配置されている。一方、下段の空気ばねは、基礎側（即ち、ばね下）の底板部と、該底板部に対向配置された、被支持体側（即ち、ばね上）の天板部とを備えている。この天板部には貫通孔が形成されており、底板部の内周寄りから上方に延びる支柱がこの貫通孔を通過している。当該支柱の上端部には、上段の空気ばねのばね下である底板部を下方から支持するセンタブロックが形成されている。このセンタブロックは、左右方向に張り出しており、その左右両端部が左右方向に対向配置された空気ばね（以下、左右の水平空気ばねという）のばね下となっている。そして、このセンタブロックの前側面には、左右の水平空気ばねに空気を給排するサーボ弁、及び上段及び下段の空気ばねに空気を給排するサーボ弁が取り付けられている。

特開２００８−０８２３８９号公報（段落００１９欄〜００３３欄、図４）

ところで、上記の除振装置を使用する際、最少３つの除振装置で被支持体の支持面が定まるため、除振装置を３つ使用することがある。その場合、少なくとも１つの除振装置は、左右に対向配置された空気ばねだけでなく、前後に対向配置された空気ばねを備えたものが用いられる。

そこで、特許文献１の除振装置において、左右の水平空気ばねの他に、前後方向に配置された水平方向の空気ばね（以下、前後の水平空気ばねという）を設けた場合、前後の水平空気ばねのばね下を形成するために、センタブロックを前後方向に張り出させることとなる。しかしながら、そうすると、除振装置の内部がセンタブロックによって占有され、サーボ弁やセンサ等の構成部品を設置するスペースを確保することができない。そこで、除振装置サイズを大型化して構成部品の設置スペースを確保することが考えられるが、そうすると、精密機器等の装置側での設置スペースが大きくなることや、製造コスト抑制の観点から好ましくない。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被支持体を水平方向に支持する気体ばねが前後左右に配設された除振装置において、装置サイズを維持しつつ、構成部品を装置内に収容することにある。

上記の目的を達成するために、本発明は、除振装置の基礎側（ばね下）の構造を工夫したものである。

具体的には、本発明は、基礎に対して被支持体を上下方向に支持する上下気体ばねが設けられるとともに、上記被支持体を水平方向に支持する水平気体ばねが設けられた気体ばね式除振装置を対象とし、次のような解決手段を講じた。

すなわち、請求項１の発明は、上記上下気体ばねは、上記基礎上に設置される底板部と、該底板部の上方に対向配置され、貫通孔が上下方向に貫通形成された天板部と、上記底板部から上方に延びる支柱とを有し、上記支柱は、上記貫通孔を通過して上方に延びていて、その外周と該貫通孔の周縁との間が可撓性部材によって気密に封止されるとともに、その上端には、上記天板部の上方において水平方向に張り出す支持板部が形成され、上記水平方向の気体ばねは、上記支持板部上に４つ配置され、そのうち２つは前後方向に対向配置される前後気体ばねである一方、他の２つは左右方向に対向配置される左右気体ばねであり、各々上記支持板部の外周から上方に立ち上がる底板部を有し、上記前後気体ばねの底板部が互いに離間して配置されるとともに、上記左右気体ばねの底板部が互いに離間して配置されて、上記４つの水平方向の気体ばねにおける底板部の内側に中空部が形成されていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、除振装置のばね下を、４つの水平気体ばねの底板部と、上下気体ばねの底板部に繋がる支持板部とによってカゴ状とし、その内部に形成された中空部にサーボ弁等の構成部品を収容することにより、除振装置のサイズを維持しつつ、除振装置内に構成部品を収容することができる。

請求項２の発明は、請求項１の発明において、上記左右気体ばねは、気体室容積が互いに略同じであり、上記前後気体ばねの底板部の一方には、上記左右気体ばねに気体を給排する左右方向用サーボ弁が上記中空部に臨むように設けられ、該左右方向用サーボ弁と上記左右気体ばねとを繋ぐ２本の配管は、略同一経路長を有することを特徴とする。

請求項２の発明によれば、左右気体ばねは空気室容積が互いに略同じであり、そこに空気を給排する２本の配管の経路長も互いに略同じなので、それら２つの左右気体ばねに対する圧縮空気の給排量を共通の左右方向用サーボ弁によって制御すると、各気体ばねの圧力は略同じように変化することになり、整定時間が短く、制御性を高くすることができる。

請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において、上記前後気体ばねは、気体室容積が互いに略同じであり、上記左右気体ばねの底板部の一方には、上記前後気体ばねに気体を給排する前後方向用サーボ弁が上記中空部に臨むように設けられ、該前後方向用サーボ弁と上記前後気体ばねとを繋ぐ２本の配管は、略同一経路長を有することを特徴とする。

請求項３の発明によれば、前後気体ばねは空気室容積が互いに略同じであり、そこに空気を給排する２本の配管の経路長も互いに略同じなので、それら２つの左右気体ばねに対する圧縮空気の給排量を共通の前後方向用サーボ弁によって制御すると、各気体ばねの圧力は略同じように変化することになり、整定時間が短く、制御性を高くすることができる。特に、請求項２の発明においては、前後方向だけでなく左右方向においても各気体ばねの圧力が略同じように変化することになるので、２方向において整定時間が短く、制御性を高くすることができる。

以上、本発明によれば、除振装置のばね下を、４つの水平気体ばねの底板部と、上下気体ばねの底板部に繋がる支持板部とによってカゴ状とし、その内部に形成された中空部にサーボ弁等の構成部品を収容することにより、除振装置のサイズを維持しつつ、除振装置内に構成部品を収容することができる。

本発明の実施形態に係る気体ばね式除振装置の全体斜視図である。 気体ばね式除振装置の分解斜視図である。 気体ばね式除振装置の内部構造を示す斜視図である。 気体ばね式除振装置の内部構造を示す平面図である。 図４のV-V線断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものでない。

図１は、本発明に係る気体ばね式除振装置の実施形態であるエアマウントＡを示す。このエアマウントＡは、図示しない半導体関連装置等の精密機器（被支持体）を、床振動から殆ど絶縁した状態で設置するために用いられ、通常は３〜５個のエアマウントＡ，Ａ，…によって被支持体を支持するものである。

この実施形態のエアマウントＡは、図５にその要部を断面にて示すように、床面（基礎）Ｆ上に設置される矩形状のボトムプレート１と、精密機器等を直接に、或いは図示しない定盤等（被支持体）を介して間接に支持する矩形状のトッププレート２とを備え、該トッププレート２を天板部として被支持体の荷重を支持する上段の空気ばね（気体ばね）３が構成されるとともに、同様に前記ボトムプレート１を底板部とする下段の空気ばね４が設けられた上下２段式のものである。この例では２つの空気ばね３，４は略同じ容積の空気室を有している。

上記ボトムプレート１及びトッププレート２は、いずれもアルミ合金材を鍛造してなる矩形状の厚肉の板部材であり、鋼製のものに比べて軽量でありながら高い剛性を有している。そして、図５にのみ示すが、上記ボトムプレート１の上面略中央部から上方に向かって延びるように円柱状の軸部材５が配設され、その上端には水平なサポートプレート（支持板部）６が配設され、その上に図３に示すように上記精密機器等を水平方向に支持する４つの水平方向の空気ばね（以下、水平空気ばねという）７〜１０が配設され、さらにその上に上記上段の空気ばね３が配設されている。

具体的には、上記サポートプレート６は、図３に示すように、略矩形状をなし、上記軸部材５の上端から外側に張り出す正方形状のサポートプレート本体６ａと、該サポートプレート本体６ａの前後左右各辺から外側に張り出す矩形状のサポート片６ｂ，６ｂ，…とを有し、各サポート片６ｃ上に厚肉な矩形板状のサイドプレート１１，１１，…が上方に立ち上がっている。左右方向に対向配置されたサイドプレート１１，１１同士が互いに離間して配置され、また、前後方向に対向配置されたサイドプレート１１，１１同士が互いに離間して配置されている。これにより、４つのサイドプレート１１，１１，…の内側には、上記水平空気ばね７〜１０に空気を給排する後述のサーボ弁３３等が設置される中空部１３が形成されている。上記サイドプレート１１，１１，…の上部には、アッパプレート１４が上記中空部１３を上方から覆うように固定されている。具体的には、各サイドプレート１１上端の内側に切欠部１１ａが形成されている。一方、アッパプレート１４の下面には、アルミ合金製の板部材からなる取付プレート１２が取り付けられている。この取付プレート１２は、この実施形態では矩形板状の部材の四隅部を切り欠いて略十字形状をなしている。そして、この取付プレート１２の前後左右に突き出た突出部が上記切欠部１１ａ，１１ａ，…の底面上に載置され、サイドプレート１１，１１，…に取付固定されている。

上記アッパプレート１４の外周部と上記トッププレート２の外周部との間には、ゴム材料からなる環状のダイヤフラム１５が配設され、該トッププレート２を上記アッパプレート１４に対し上下動可能に連結している。上記ダイヤフラム１５によって上記トッププレート２及びアッパプレート１４の間に区画された容積可変の密閉空間を空気室として、上記上段空気ばね３が構成されており、上記アッパプレート１４はその底板部となっている。

上記上段空気ばね３においてトッププレート２の下面には、空気室内に向かう断面円形の凸部２ａが形成され、これと対向する上記アッパプレート１４の上面には断面円形の凸部１４ａが形成されており、これら凸部２ａ，１４ａは、該トッププレート２のアッパプレート１４に対する下方への変位を規制するストッパ部として機能する。また、図５において符号１６は、ダイヤフラム１５の外周部をトッププレート２の下面外周部との間に挟んで固定する締付リングを示し、同様に符号１７は、ダイヤフラム１５の内周部をアッパプレート１４の上面外周部との間に挟んで固定する締付リングを示している。上記締付リング１６は、図２に示すように、その外周が４隅を切り欠いて平面視で八角形状をなしている。なお、図２では、エアマウントＡの内部を見やすくするために、後述する外周壁２６を省略している。

上記の如き構成の上段空気ばね３と同様に、下段の空気ばね４は、ボトムプレート１とその上方に対向配置されたロワプレート１８とを環状のダイヤフラム１９によって連結してなる。上記ロワプレート１８は、下段の空気ばね４の天板部であって、上記ボトムプレート１やトッププレート２と同様のアルミ合金製の板部材からなり、この実施形態では略矩形状に形成している。

そして、図５にのみ示すが、上記ロワプレート１８の略中央部には断面円形の貫通孔１８ａが上下方向に貫通形成され、そこにボトムプレート１から上方に延びる軸部材５が挿通されている。この軸部材５の外周面と貫通孔１８ａの内周面との間には隙間が形成されていて、この隙間を気密に封止するようにゴム材料からなる環状のダイヤフラム２０（可撓性部材）が配設されている。軸部材５の下半部は上半部に比べて小径とされていて、ダイヤフラム２０の内周部を軸部材５の大径部下面との間に挟んで固定する締付リング２１が外挿されている。また、ダイヤフラム２０の外周部をロワプレート１８の貫通孔１８ａ外周りの下面との間に挟んで固定する締付リング２２がロワプレート１８の下側に固定されている。

上記ロワプレート１８の下面において、上記締付リング２２の外側には、上記ダイヤフラム１９の内周部を固定するための締付リング２３が固定されており、上記ダイヤフラム１９の内周部をこの締付リング２３下面の外周部との間に挟んで固定する締付リング２４が取り付けられている。上記ボトムプレート１の外周部には、溝１ａが全周に亘って形成され、この溝１ａ内に上記締付リング２４が配設されている。そして、この締付リング２４が溝１ａの底面に当接することにより、ボトムプレート１とロワプレート１との相対的な近接方向への変位が規制されるようになっている。また、ボトムプレート１とロワプレート１８との相対的な離遠方向への変位は、該ロワプレート１８の上面がその上方にあるサポートプレート６の下面に当接することで、規制されるようになっている。また、符号２５は、ボトムプレート１の外周部上面との間でダイヤフラム１９外周部を挟んで固定する締付リングを示している。

斯くして、この実施形態のエアマウントＡでは、下段空気ばね４の底板部であるボトムプレート１の略中央部から上方に延びる軸部材５が、下段空気ばね４の天板部であるロワプレート１８の貫通孔１８ａを通過していて、その上に連続するサポートプレート６及びそれから立ち上がるサイドプレート１１，１１，…と共に、上段空気ばね３（アッパプレート７）を下方から支持している。つまり、上段及び下段の２つの空気ばね３，４は、それぞれの基礎側、即ちばね下である底板部（ボトムプレート１、アッパプレート１４）同士が、軸部材５、サポートプレート６及びサイドプレート１１，１１，…によって連結されている。

そうして底板部（アッパプレート１４）を下方から支持されている上段の気体ばね３において、図１及び図５に示すように、その天板部であるトッププレート２の外周の前後左右各辺中央部には、下方に延びる外周壁２６が取り付けられている。外周壁２６は、各々アルミ合金材によって塊状に形成された４つの分厚い壁部材２７，２７，…からなり、これらがエアマウントＡの前後左右に対応して各水平ばね７〜１０に対向配置されて、周方向に隣り合うもの同士が断面Ｌ字状の接続プレート２８によって互いの側縁を接合して組み合わされている。すなわち、外周壁２６の上端は上記のようにトッププレート２に締結され、一方、下端はロワプレート１８の上面外周部に締結されており、それらは一体的にボックス状に構成されている。

つまり、上段及び下段の２つの各空気ばね３，４における被支持体側、即ちばね上である天板部（トッププレート２、ロワプレート１８）同士は、分厚い壁部材２７，２７，…からなる外周壁２６によって連結されてボックス状になっており、これにより、それら全体の剛性が十分に高くなっている。

上記外周壁２６を構成する壁部材２７の内面には、円盤部材２９が内側に向かって突設されている。そして、円盤部材２９の内面と対向する上記サイドプレート１１には、断面円形の凹部１１ａが形成され、各円盤部材２９内面が凹部１１ａの開口付近まで延びている。それらの間の隙間はゴム材料からなるダイヤフラム３０によって封止されて空気室が形成され、これにより、左右の水平空気ばね７，８が構成されている。左右の水平空気ばね７，８は、空気室容積が略同じであり、この空気室に突出するように各円盤部材２９の内面に凸部２９ａが突設されている。そして、この凸部２９ａが凹部１１ａの底面に当接することにより、サイドプレート１１と壁部材２７との相対的な近接方向への変位が規制されるようになっている。尚、図示の符号３１，３２は、それぞれ、ダイヤフラム３０の外周部及び内周部を固定するための締付リングである。

前後方向に対向配置された水平方向の空気ばね（以下、前後の水平空気ばねという）９，１０も、図示しないが上記左右の水平空気ばね７，８と同様の構成を備えており、前後の水平空気ばね９，１０は、空気室容積が略同じである。

そして、上記左右の水平空気ばね７，８を互いに逆位相で作動させることで、サイドプレート１１（ばね下）から外周壁２６（ばね上）に対し略同じ大きさで同じ向きに左右方向の力を作用させることができる。また、上記前後の水平空気ばね９，１０も同様に、両者を互いに逆位相で作動させることで、サイドプレート１１（ばね下）から外周壁２６（ばね上）に対し略同じ大きさで同じ向きに前後方向の力を作用させることができる。このことは、被支持体側に水平方向の力を安定的に作用させる上で有利であり、また、その力による振動制御の応答性を高める上でも有利である。

また、前後左右の水平空気ばね７〜１０は、上段空気ばね３と下段空気ばね４との中間に配置されており、上記のようにサイドプレート１１，１１，…から外周壁２６に作用する水平方向の力は、エアマウントＡにおける荷重の支持点付近に作用することになる。このことは、その水平方向の力によって荷重支持点周りに作用するモーメントが小さくなることを意味し、このようなモーメントによってトッププレート２が傾斜して、被支持体側に無理な力がかかることを阻止する上で有利である。

上記サポートプレート６及びサイドプレート１１，１１，…は、上述したように上段及び下段の空気ばね３，４同士を連結し、そして、これらサポートプレート６及びサイドプレート１１，１１，…で囲まれた上記中空部１３は、各空気ばね３，４，７〜１０との間で空気の給排を行うための給排制御系を設置するためのスペースとして利用される。

具体的には、図３，４に示すように、サポートプレート６中央部、左側のサイドプレート１１の内面、及び前側のサイドプレート１１の内面には、サーボ弁３３〜３５が中空部１３に臨むように配設されている。

サポートプレート６に配設されたサーボ弁３３は、アッパプレート１４に形成された空気通路３６と、軸部材５及びサポートプレート６に形成された空気通路３７とを通じて上段及び下段の空気ばね３，４に対し空気を給排するようになっている。

また、左側のサイドプレート１１に配設されたサーボ弁３４は、図４に示すように、同一経路長の２本の配管３８，３９を通じて前後の水平空気ばね９，１０に対し空気を給排するようになっている。また、前側のサイドプレート１１に配設されたサーボ弁３５は、図４に示すように、同一経路長の２本の配管４０，４１を通じて左右の水平空気ばね７，８に対し空気を給排するようになっている。尚、図４において配管３８〜４１を一点鎖線で簡略して図示し、そして、図４，５において、これら配管３８〜４１の両端が接続する管継手を簡略図示している。

さらに、上記サーボ弁３３〜３５は、それぞれ、前側のサイドプレート１１の左右両端面に固定具４２を介して左右に３個ずつ固定された管継手４３，４３，…に図示しない配管を通じて接続され、この管継手４３，４３，…を通じて、図外の空気圧源から圧縮空気の供給等を受けるようになっている。

そのようなサーボ弁３３〜３５の作動の制御は、マイクロコンピュータやＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えた周知の図示しないコントローラによって行われる。すなわち、サポートプレート６に固定された水平方向の加速度センサ４４や図示しないがボトムプレート１に対するトッププレート２の相対的な位置等を検出するためのセンサが配設されており、これらセンサから入力される信号に基づいて、上記コントローラがサーボ弁３３〜３５の作動を制御し、各空気ばね３，４，７〜１０の圧力を制御するようになっている。

−本発明に係る実施形態の効果−
上記実施形態によれば、エアマウントＡのばね下を、上段の空気ばね３と、４つの水平空気ばね７〜１０の底板部１１，１１，…と、下段の空気ばね４のボトムプレート１に繋がるサポートプレート６とによってボックス状とし、その内部に形成された中空部１３にサーボ弁３３〜３５等の構成部品を収容することにより、エアマウントＡの装置サイズを維持しつつ、構成部品をエアマウントＡ内に収容することができる。

また、上記実施形態によれば、上段の空気ばね３の底板部であるアッパプレート１５が４つのサイドプレート１１，１１，…によって４辺に亘って支持され、これらサイドプレート１１，１１，…がサポートプレート６及び軸部材５を介してボトムプレート１に支持されているので、上段の空気ばね３の支持剛性を従来のセンタブロックによる支持と同様に確保することができる。

さらに、上記実施形態によれば、２つの左右の水平空気ばね７，８は空気室容積が互いに略同じであり、そこに空気を給排する２本の配管４０，４１の経路長も互いに略同じなので、それら２つの空気ばね７，８に対する圧縮空気の給排量を共通のサーボ弁３５によって制御すると、各空気ばね７，８の圧力は略同じように変化することになり、整定時間が短く、制御性を高くすることができる。この効果は、２つの前後の水平気体ばね９，１０についても言える。

《その他の実施形態》
上記実施形態では、各々の空気ばね３，４，７〜１０において空気室を画成するためにダイヤフラム１５，１９，…を用いているが、これらに代えて例えばベローズを用いることもできる。また、いずれの空気ばね３，４，７〜１０も例えば窒素ガス等を充填した気体ばねとすることができる。

また、上記実施形態において、サーボ弁３４，３５がそれぞれ左側の空気ばね７のサイドプレート１１及び前側の空気ばね９のサイドプレート１１に配設されているが、これに限定されず、例えばサーボ弁３４のみが左右の水平空気ばね７，８のいずれか一方のサイドプレート１１に配設されてもよく、または、サーボ弁３５のみが前後の水平空気ばね９，１０のいずれか一方のサイドプレート１１に配設されてもよい。

また、上記実施形態において、被支持体を上下方向に支持する空気ばねとして上段空気ばね３及び下段空気ばね４を備えていたが、これに限定されず、例えば下段空気ばね４のみを備えていてもよい。

さらに、上記実施形態において上段及び下段の空気ばね３，４の中間に、さらに空気ばね（中段の空気ばね）を設けて、上下方向の空気ばねを３段以上とすることもできる。この場合には、図示は省略するが、中段の空気ばねの底板部の略中央部を貫通させた状態で軸部材５を固定するとともに、この軸部材５を、中段空気ばねの天板部に形成した貫通孔を通過させて上方に延ばし、その外周と貫通孔の周縁との間をゴムダイヤフラム等の可撓性部材によって気密に封止する。また、中段空気ばねの天板部の外周部は、上段、下段の空気ばね３，４を連結する周壁２６の内周に固定すればよい。

以上説明したように、本発明に係る気体ばね式除振装置は、装置サイズを維持しつつ、サーボ弁等の構成部品を装置内に収容する用途に適用することができる。

Ａ エアマウント（気体ばね式除振装置）
１ ボトムプレート（上下気体ばねの底板部）
４ 下段空気ばね（上下気体ばね）
５ 軸部材（支柱）
６ サポートプレート（支持板部）
７，８ 空気ばね（左右気体ばね）
９，１０ 空気ばね（前後気体ばね）
１１ サイドプレート（水平方向の気体ばねの底板部）
１３ 中空部
１８ ロワプレート（上下気体ばねの天板部）
１８ａ 貫通孔
２０ ダイヤフラム（可撓性部材）
３４ サーボ弁（前後方向用サーボ弁）
３５ サーボ弁（左右方向用サーボ弁）
３８〜４１ 配管

Claims (3)

1. 基礎に対して被支持体を上下方向に支持する上下気体ばねが設けられるとともに、上記被支持体を水平方向に支持する水平気体ばねが設けられた気体ばね式除振装置であって、
   上記上下気体ばねは、上記基礎上に設置される底板部と、該底板部の上方に対向配置され、貫通孔が上下方向に貫通形成された天板部と、上記底板部から上方に延びる支柱とを有し、
   上記支柱は、上記貫通孔を通過して上方に延びていて、その外周と該貫通孔の周縁との間が可撓性部材によって気密に封止されるとともに、その上端には、上記天板部の上方において水平方向に張り出す支持板部が形成され、
   上記水平方向の気体ばねは、上記支持板部上に４つ配置され、そのうち２つは前後方向に対向配置される前後気体ばねである一方、他の２つは左右方向に対向配置される左右気体ばねであり、各々上記支持板部の外周から上方に立ち上がる底板部を有し、
   上記前後気体ばねの底板部が互いに離間して配置されるとともに、上記左右気体ばねの底板部が互いに離間して配置されて、上記４つの水平方向の気体ばねにおける底板部の内側に中空部が形成されていることを特徴とする気体ばね式除振装置。
2. 請求項１に記載の気体ばね式除振装置において、
   上記左右気体ばねは、気体室容積が互いに略同じであり、
   上記前後気体ばねの底板部の一方には、上記左右気体ばねに気体を給排する左右方向用サーボ弁が上記中空部に臨むように設けられ、
   該左右方向用サーボ弁と上記左右気体ばねとを繋ぐ２本の配管は、略同一経路長を有することを特徴とする気体ばね式除振装置。
3. 請求項１又は２に記載の気体ばね式除振装置において、
   上記前後気体ばねは、気体室容積が互いに略同じであり、
   上記左右気体ばねの底板部の一方には、上記前後気体ばねに気体を給排する前後方向用サーボ弁が上記中空部に臨むように設けられ、
   該前後方向用サーボ弁と上記前後気体ばねとを繋ぐ２本の配管は、略同一経路長を有することを特徴とする気体ばね式除振装置。

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