DE602004003347T2

DE602004003347T2 - Optische röntgenstrahlungsvorrichtung mit verstellbarer konvergenz

Info

Publication number: DE602004003347T2
Application number: DE602004003347T
Authority: DE
Inventors: Boris Bloomfield VERMAN; Licai Rochester Hills JIANG
Original assignee: Osmic Inc
Current assignee: Osmic Inc
Priority date: 2003-02-28
Filing date: 2004-02-26
Publication date: 2007-06-21
Anticipated expiration: 2024-02-27
Also published as: JP2006519393A; EP1597737B1; WO2004079754A1; JP4532478B2; US7245699B2; US20040170250A1; DE602004003347D1; EP1597737A1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Röntgenstrahlsystem. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein optisches Röntgenstrahlsystem zum Konditionieren eines Röntgenstrahls.
Forscher haben über eine lange Zeit das Fokussieren der Röntgenstrahloptiken in Röntgenstrahlbeugungsexperimenten eingesetzt, um den Fluss zu vergrößern, der auf der Probe auftritt, und um damit das Signal-/Rauschverhältnis zu erhöhen. Eine fokussierende Optik vergrößert den Fluss durch Schicken einer großen Anzahl von Photonen durch die Probe. Durch Positionieren eines Detektors in der Nähe des Brennpunkts der Optik kann ferner die Auflösung des Systems deutlich verbessert werden. Für fokussierende Multischichtoptiken führt jedoch der Konvergenzwinkel dieser Optiken zu einer Beschränkung ihrer Anwendbarkeit auf zahlreiche Anwendungen, weil für eine Anwendung ein anderer Konvergenzwinkel und damit eine unterschiedliche Optik häufig für unterschiedliche Arten von Proben benötigt wird. Eine Anzahl von Optiken mit unterschiedlichen Brennweiten wird außerdem verwendet, um den Bedürfnissen unterschiedlicher Anwendungen zu entsprechen. Eine unterschiedliche Fokussieroptik wird häufig für dieselbe Messung unterschiedlicher Proben herangezogen, oder für unterschiedliche Messungen derselben Probe. Die Verwendung unterschiedlicher Optiken ist ineffizient und unwirtschaftlich, weil ein Austausch der optischen Elemente für Forschung, insbesondere in der Industrie, kosten- und zeitaufwändig ist.
Optiken mit einstellbaren Brennweiten sind vorgeschlagen worden. Ein Beispiel einer derartigen Optik ist ein herkömmlicher, biegungsverstellbarer Totalreflexionsspiegel. Die Ausrichtung und Einstellung dieser Spiegel sind jedoch sehr zeitaufwändig und schwierig durchführbar, und jegliche Imperfektion bezüglich Ausrichtung und Einstellung der Optiken führt zu einer Verschlechterung des Leistungsvermögens des Systems. Dieser Ansatz ist nicht geeignet, Mehrschichtoptiken zu verwenden, und zwar aufgrund der Unfähigkeit der biegungsverstellbaren Totalreflexionsspiegel, sowohl die Bragg-Bedingung wie die geometrische Bedingung zu erfüllen, die beide gleichzeitig erfüllt werden müssen.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Angesichts des vorstehend Angeführten stellt die vorliegende Erfindung eine optische Röntgenstrahlvorrichtung und eine Fokussieroptik und einstellbare Konvergenzwinkel bereit, wie im Anspruch 1 festgelegt. Die Fokussieroptik besitzt einen Konvergenzwinkel, der ist für jede spezielle interessierende Anwendung ausreichend groß. Eine einstellbare Apertur reduziert den Konvergenzwinkel durch selektives Ausschließen eines Teils der Röntgenstrahlen. Der auf der Probe auftreffende Röntgenstrahl rührt von einer Optik mit adaptierbarer Konvergenz her, jedoch auch mit dem erforderlichen Fluss und der erforderlichen Auflösung, um Qualität und Wirkungsgrad des Röntgenstrahlbeugungsprozesses zu verbessern.
Von speziellem Interesse für das Gebiet der Röntgenstrahlbeugung und -streuung, wie etwa die Kleinwinkelröntgenstrahlstreuung und Proteinkristallographie, ist die Konditionierung von zweidimensionalen Röntgenstrahlen. Für diese Anwendungen umfassen bestimmte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ein konfokales optisches System mit einstellbarer Apertur, die entweder mit der Optik integriert oder in unmittelbarer Nähe derselben angeordnet ist. Durch Beschränken der Konvergenz des Strahls in bestimmten Anwendungen stellt die Optik der vorliegenden Erfindung einen zweidimensionalen Strahl hoher Intensität mit reinem Spektrum und der erforderlichen Divergenz zum Einsatz bei der Beugungs- und Streuungsanwendung an dem Gerät.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung erschließen sich aus den Zeichnungen, der detaillierten Beschreibung und den Ansprüchen.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
1 zeigt schematisch ein optisches Röntgenstrahlsystem in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt eine perspektivische Ansicht einer einstellbaren Apertur in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
3 zeigt eine Ansicht der einstellbaren Apertur entlang der optischen Achse.
4 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Röntgenstrahloptik mit integrierter einstellbarer Apertur in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung.
5 zeigt eine Ansicht der Röntgenstrahloptik von 4 entlang der optischen Achse.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
In Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen der Erfindung enthält eine verbesserte Röntgenstrahlungsvorrichtung eine einstellbare Apertur, die einen Nutzer in die Lage versetzt, die Konvergenz eines einfallenden Röntgenstrahls effektiv und problemlos einzustellen. Hierbei können Fluss und Auflösung des Röntgenstrahlsystems optimiert werden unter Nutzung einer Optik maximaler Konvergenz, die für sämtliche potentielle Messungen zur Verfügung steht, woraufhin eine Konvergenz für eine spezielle Messung durch Einstellen der Apertur gewählt wird. Fluss und Auflösung lassen sich dadurch problemlos einstellen und optimieren für den Bedarf unterschiedlicher Anwendungen oder Messungen, wodurch der Wirkungsgrad des gesamten optischen Systems erhöht ist.
In 1 ist eine optische Röntgenstrahlvorrichtung 10 mit einer Röntgenstrahlquelle 12, einer Röntgenstrahlreflexionsoptik 14, einer ersten Apertur 15 und einer zweiten Apertur 20 gezeigt. Bei der Röntgenstrahlquelle 12 kann es sich um eine Laborquelle handeln, wie etwa um einen Röntgenstrahlgenerator mit rotierender Anode und hoher Helligkeit oder um eine mikrofokussierende Quelle, und bei der reflektierende Röntgenstrahloptik 14 kann es sich beispielsweise um eine fokussierende Mehrschichtoptik mit einer oder zwei Reflexionsebenen, um eine Totalreflexionsoptik oder um einen Röntgenstrahlreflexionskristall handeln.
Bei der reflektierenden Röntgenstrahloptik 14 handelt es sich um eine Fokussieroptik mit Konvergenzwinkel, der für einen Bereich von Anwendungen groß genug ist. Wenn die Messungen beispielsweise eine bestimmte Brennweite und einen bestimmten Fluss erfordern, wird die Röntgenstrahlreflexionsoptik 14 derart gewählt, dass diese Anforderungen erfüllt sind, und der Konvergenzwinkel wird daraufhin mit den Aperturen 15 und 20 eingestellt. Wenn ein Röntgenstrahl von der Röntgenstrahlquelle 12 zu der Reflexionsoptik 14 übertragen wird, formen die erste Apertur 15 und die zweite Apertur 20 den reflektierten Röntgenstrahl von der Reflexionsoptik 14.
Die erste Apertur 15 enthält einen feststehenden Abschnitt 16 und einen beweglichen Abschnitt 18, der sich relativ zu dem feststehenden Abschnitt 16 zur Änderung von Größe und Form der ersten Apertur 15 bewegt. Die zweite Apertur 20 kommt benachbart zu einer Probe 22 zu liegen, wie etwa einer biologischen Probe oder einem Protein, deren bzw. dessen Bild durch einen Röntgenstrahldetektor 24 eingefangen wird.
Wie gezeigt, handelt es sich bei der ersten Apertur 15 um eine Doppellamellenapertur. Insbesondere bildet der feststehende Abschnitt 16 die feststehende Lamelle und der bewegliche Abschnitt 18 bildet eine bewegliche Lamelle. Bei der ersten Apertur 15 kann es sich jedoch um eine beliebigen Kombination aus einem System aus feststehender und beweglicher Lamelle, aus feststehendem und beweglichem Stiftloch, aus feststehendem und beweglichem Schlitz oder um eine bewegliche Membran handeln. Falls zutreffend, kann es sich außerdem bei der ersten Apertur 15 um ein feststehendes Stiftloch oder einen feststehenden Schlitz und eine bewegliche Lamelle handeln, oder um einen feststehenden Schlitz und ein bewegliches Stiftloch, vorausgesetzt, bei dem beweglichen Abschnitt 18 handelt es sich um solche verschiedene Ausführungsformen, die relativ zum feststehenden Abschnitt 16 beweglich sind.
Die zweite Apertur 20 besitzt eine Form zum Maximieren des auf der Probe 22 einfallenden Flusses und dessen ungeachtet auch zum Blockieren des Röntgenstrahls, der auf der Probe nicht einfallen würden, wenn der Röntgenstrahl durch die zweite Apertur 20 hindurchtreten gelassen werden würde, wodurch die Hintergrundstrahlung um die Probe verringert wird. Bei der zweiten Apertur kann es sich um eine beliebige Kombination aus Schlitz, Stiftloch oder um ein Mehrfachlamellensystem handeln, welches Röntgenstrahlung auf die Probe 22 wirksam durchlässt und dabei einen Teil der Röntgenstrahlung ausschließt, wie etwa fehlerhafte oder divergierende Röntgenstrahlen.
Im Betrieb emittiert die Quelle 12 ein Röntgenstrahlfeld 13 in Richtung der Röntgenstrahlreflexionsoptik 14. Das durch die Optik reflektierte Röntgenstrahlfeld 13 kann allgemein in einen Abschnitt unterteilt werden, der von der nahen Seite der Röntgenstrahlreflexionsoptik 14 reflektiert wird, identifiziert als Nahfeld 13a, und um einen Abschnitt, der von der fernen Seite der Röntgenstrahlreflexionsoptik 14 reflektiert wird, identifiziert als Fernfeld 13b.
Wie gezeigt, wird der Abschnitt des Fernfelds 13b des reflektierten Röntgenstrahlfelds 13 durch den beweglichen Abschnitt 18 ausgeschlossen, wenn die erste Apertur 15 für niedrige Konvergenz gewählt ist. Ausschließlich der Abschnitt des Nahfelds 13a des reflektierten Röntgenstrahlfeld 13 fällt dadurch auf der Probe 22 ein. Das Reflektieren des Nahfelds 13a aus der Position der Röntgenstrahlreflexionsoptik 14 mit dem höchsten Wirkungsgrad maximiert den Fluss, der auf der Probe 22 einfällt. Der bewegliche Abschnitt 18 kann in eine Hochkonvergenzstellung derart bewegt werden, dass er den Fernfeldabschnitt 13b des reflektierten Röntgenstrahlfelds 13 nicht aus schließt. Obwohl 1 die eindimensionale Charakteristik der optischen Röntgenstrahlvorrichtung 10 zeigt, sind die vorstehend erläuterten Prinzipien gleichermaßen anwendbar auf Röntgenstrahloptiken zum reflektieren von Röntgenstrahlfeldern in zwei Dimensionen, wie etwa auf die in 4 und 5 gezeigte Röntgenstrahloptik 31.
In 2 ist eine Relativbewegung und Platzierung der Komponenten einer ersten Apertur 25 gezeigt. In 2 ist ein kartesisches Koordinatensystem bereitgestellt, wobei die z-Achse als Ausbreitungsrichtung der Röntgenstrahlen bezeichnet ist, um die Merkmale der ersten Apertur 25 besser darzustellen.
Die erste Apertur 25 umfasst einen feststehenden Abschnitt 26 allgemeiner L-Form. Ein erster beweglicher Abschnitt 28 ist hinter dem feststehenden Abschnitt 26 längs der z-Achse angeordnet, und ein zweiter beweglicher Abschnitt 30 ist hinter dem ersten beweglichen Abschnitt 28 längs der z-Achse angeordnet. Der erste bewegliche Abschnitt 28 ist in vertikaler Richtung, das heißt, längs der y-Achse beweglich, und der zweite bewegliche Abschnitt 30 ist in horizontaler Richtung, das heißt, längs der x-Achse beweglich. Im Betrieb bewegen sich die ersten und zweiten beweglichen Abschnitte 28 und 30 einzeln oder in Kombination zur Vergrößerung oder Verkleinerung des Durchmessers, welcher durch die erste Apertur 25 gebildet ist.
In 3 ist eine Ansicht der ersten Apertur 25 längs der Ausbreitungsrichtung der Röntgenstrahlen, das heißt, längs der z-Achse gezeigt. Da der feststehende Abschnitt 26 allgemein l-Form besitzt und die ersten und zweiten beweglichen Abschnitte 28 und 30 allgemein rechteckig sind, ist der durch die erste Apertur 25 festgelegt Durchlass ebenfalls allgemein rechteckig bzw. quadratisch. Die Form des feststehenden Abschnitts 26, des ersten beweglichen Abschnitts 28 und/oder des zweiten beweglichen Abschnitts 30 kann modifiziert werden, um eine beliebige gewünschte Form für den resultierenden Durchlass bereitzustellen. Die Bedienperson kann damit die Formen des feststehenden Abschnitts 26, des ersten beweglichen Abschnitts 28 und des zweiten beweglichen Abschnitts 30 derart wählen, dass die erste Apertur 25 einen Strahl beliebiger gewünschter Querschnittsform bildet.
In 4 und 5 ist die vorstehend genannte Röntgenstrahloptik 31 als integrierte einstellbare Apertur in Übereinstimmung mit einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. Ein Satz kartesischer Achsen ist wiederum in jeder dieser Figuren dargestellt, um den Betrieb der Röntgenstrahloptik besser darstellen zu können.
Um die Konvergenz eines Röntgenstrahls in zwei Dimensionen zu variieren bzw. zu verändern, enthält die Röntgenstrahloptik 31 eine Konfokaloptik 40 und eine einstellbare Apertur 42, welche an der Konfokaloptik 40 zum Einstellen des Profilwinkels angebracht wird. Es wird bemerkt, dass die einstellbare Apertur 42 in unmittelbarer Nähe zur Konfokaloptik 40 angeordnet werden kann und deshalb nicht an der Konfokaloptik 40 angebracht werden muss.
Die Konfokaloptik 40 umfasst ein erstes optisches Element 32a, welches in der y-z-Ebene liegt, und ein zweites optisches Element 32b, welches in der x-z-Ebene liegt. Das erste optische Element 32a legt eine erste Reflexionsfläche 33a fest, und das zweite optische Element 32b legt eine zweite reflektierende Fläche 33b fest. In bestimmten Anordnungen kommt der nahe oder proximale Abschnitt 41a der Konfokaloptik 40 nahestmöglich an der Röntgenstrahlquelle zu liegen, und der ferne oder distale Abschnitt 41b kommt deshalb weiter entfernt von der Röntgenstrahlquelle zu liegen und ist somit weniger effizient als der nahe Abschnitt 41a. Wenn die Konfokaloptik 40 genutzt wird, breiten sich Röntgenstrahlen längs der optischen Achse aus, welche im wesentlichen parallel zur z-Achse verläuft.
In einigen Anwendungen handelt es sich bei den ersten und zweiten optischen Elementen 32a, 32b um Mehrschichtreflektoren mit gestuftem d-Abstand. Insbesondere können die ersten und zweiten optischen Elemente 32a, 32b entweder lateral gestufte d-Abstände oder tiefengestufte d-Abstände aufweisen. Abhängig von der Art der Messungen, welche mit der Röntgenstrahloptik 31 durchgeführt werden, können sowohl die erste Reflexionsfläche 33a wie die zweite Reflexionsfläche 33b entweder elliptische Form oder Parabolform aufweisen oder die die Reflexionsflächen 33a und 33b können unterschiedliche Geometrien besitzen. Beispielsweise kann eine Fläche elliptische Form aufweisen und die andere kann Parabolform aufweisen.
Da die einstellbare Apertur 42 in der x-y-Ebene liegt und mit der Konfokaloptik 40 verbunden ist, verläuft die einstellbare Optik 42 beidseitig bzw. wechselseitig orthogonal zu den ersten und zweiten optischen Elementen 32a, 32b. In bestimmten Anordnungen kommt die einstellbare Apertur 42 am fernen Abschnitt 41b der Konfokaloptik 40 oder in dessen Nähe zu liegen. Aufgrund eines Systems höheren Wirkungsgrads kann es vorteilhaft sein, die Optik 40 so nahe wie möglich an der Quelle anzuordnen und die Apertur an der oder in der Nähe der Optik anzuordnen, um den Strahl zu schärfen, weil der Strahl eine Divergenzkomponente aufweist. Alternativ kann die Apertur zwischen Quelle und Optik 40 angeordnet werden. Ein Anordnen der Optik an einer derartigen Stelle kann jedoch einen bestimmten zusätzlichen Raum bzw. Abstand zwischen Optik und Quelle erfordern. Eine derartige Anordnung kann deshalb eingesetzt werden, wenn der Systemwirkungsgrad in nicht akzeptabler Weise an einer vergrößerten Distanz zwischen Optik und Quelle leidet.
Die einstellbare Apertur 42 umfasst, wie gezeigt, einen feststehenden Abschnitt 36 und eine beweglichen Abschnitt 34, der relativ zum feststehenden Abschnitt 36 in der x-y-Ebene beweglich ist, wie durch den Doppelpfeil 44 gezeigt.
Wie vorstehend erläutert, ist die einstellbare Apertur 42 geeignet, die Konvergenz des Röntgenstrahls zu ändern, während der notwendige Fluss aufrecht erhalten wird, der auf der Probe auftrifft. Wenn der bewegliche Abschnitt 34 sich längs des Pfeils 44 in Richtung auf den feststehenden Abschnitt 36 bewegt, schließt die einstellbare Apertur 42 Röntgenstrahlen aus, die vom Fernabschnitt 41b der Konfokaloptik 40 reflektiert werden. Was den nahen Abschnitt oder Nahabschnitt 41a betrifft, der effizienter ist als der ferne Abschnitt bzw. Fernabschnitt 41b, erlaubt die einstellbare Apertur 42 das Konditionieren und Richten eines Röntgenstrahls mit hohem bzw. starkem Fluss und niedriger Konvergenz in Richtung auf eine Probe. Der bewegliche Abschnitt 34 kann andererseits von dem feststehenden Abschnitt 36 in Richtung des Pfeils 44 wegbewegt werden, was es erlaubt, einen Strahl höherer Konvergenz und mit höheren Fluss durch die Apertur 42 zu der Probe zu schicken.
Der feststehende Abschnitt 36 und der bewegliche Abschnitt 24 sind im Wesentlichen L-förmig, wodurch der durch die einstellbare Apertur 42 festgelegte Durchlass rechteckig ist. Wie die Komponenten der Apertur 25 kann die Form der feststehenden beweglichen Abschnitte 36 jedoch in Übereinstimmung mit den Erfordernissen einer speziellen Anwendung festgelegt werden, um einen Strahl gewünschten Querschnitts zu erzeugen. Die feststehenden und die beweglichen Abschnitte 34, 36 können Formen aufweisen, die nicht notwendiger Weise L-Form aufweisen.
Verschiedene Ausführungsformen der Erfindung sind demnach auf eine optische Röntgenstrahlvorrichtung gerichtet, die zumindest eine Apertur aufweist, welche einstellbar ist, um die Strahlkonvergenz sowie den Fluss zu optimieren, der auf einer Probe auftrifft. Insbesondere ist die Apertur in einer Dimension oder in zwei Dimensionen einstellbar und kann in ein zweidimensionales optisches Element integriert werden, was beispielsweise ist für die Kleinwinkelröntgenstrahlstreuung und die Proteinkristallographie speziell geeignet.
Weitere Ausführungsformen liegen im Umgang der nachfolgenden Ansprüchen.

Claims

Röntgenstrahlvorrichtung (31) aufweisend: eine zweidimensionale Optik (40) zum Konditionieren von Röntgenstrahlen von einer Röntgenstrahlquelle, gekennzeichnet durch zumindest eine Apertur (42), welche einen feststehenden Abschnitt (36), der relativ zu der zweidimensionalen Optik (40) feststehend ist, und einen beweglichen Abschnitt (34) umfasst, der relativ zu dem feststehenden Abschnitt (36) beweglich ist, um die Konvergenz der Röntgenstrahlen durch selektives Ausschließen eines Teils der Röntgenstrahlen einzustellen.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem feststehenden Abschnitt (36) um einen Schlitz handelt, und wobei es sich bei dem beweglichen Abschnitt (34) um eine Lamelle handelt, die sich über den Schlitz bewegt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem feststehenden Abschnitt (36) um ein Stiftloch handelt, und wobei es sich bei dem beweglichen Abschnitt (34) um eine Lamelle handelt, die sich über das Stiftloch bewegt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei es sich bei dem feststehenden Abschnitt (36) um eine stationäre Lamelle handelt und wobei es sich bei dem beweglichen Abschnitt (34) um eine bewegliche Lamelle handelt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, außerdem aufweisend eine zweite Apertur (42), die benachbart zur Probe bzw. in der Nähe angeordnet ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die zweite Apertur (42) entweder ein Schlitz oder ein Stiftloch ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die zweite Apertur (42) ein Schlitz ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 5, wobei die zweite Apertur (42) ein Stiftloch ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei der bewegliche Abschnitt (34) zwischen einer Position hoher Konvergenz und einer Position niedriger Konvergenz beweglich ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, außerdem aufweisend einen beweglichen Abschnitt (34), wobei der zweite bewegliche Abschnitt relativ zum ersten beweglichen Abschnitt und dem feststehenden Abschnitt beweglich ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei es sich bei der Optik um eine Mehrschichtoptik handelt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei es sich bei der Optik um einen Röntgenstrahlreflexionskristall handelt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Apertur zwischen der Optik (14) und einer Probe (22) angeordnet ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 13, wobei die Apertur (42) am distalen Abschnitt oder in dessen Nähe der Optik relativ zu der Quelle (12) angeordnet ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Apertur (42) zwischen der Optik (14) und der Quelle (12) angeordnet ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 1, wobei es sich bei der zweidimensionalen Optik (40) um eine Röntgenstrahlreflexionsoptik mit einem ersten optischen Elemente (32a), das eine erste Reflexionsfläche (33a) festlegt, und mit einem zweiten optischen Element (32b) handelt, das eine zweite Reflexionsfläche (33b) festlegt, wobei die ersten und zweiten Reflexionsflächen (33a, 33b) Röntgenstrahlen reflektieren, welche von der Röntgenstrahlquelle ausgesendet werden, wobei die zumindest eine Apertur (42) mit dem ersten optischen Element und dem zweiten optischen Element verbunden ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei die erste Reflexionsfläche (33a) orthogonal zur zweiten Reflexionsfläche verläuft.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei zumindest eine Reflexionsfläche im Wesentlichen elliptische Form besitzt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 18, wobei beide Reflexionsflächen (33a, 33b) im Wesentlichen elliptische Form besitzen.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 18, wobei eine Reflexionsfläche eine im Wesentlichen elliptische Form aufweist, wobei die andere Reflexionsfläche im Wesentlichen Parabolform aufweist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei zumindest eine Reflexionsfläche im Wesentlichen Parabolform aufweist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 21, wobei beide Reflexionsflächen (33a, 33b) im Wesentlichen Parabolform aufweisen.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei der feststehende Abschnitt (36) ein Schlitz ist, und wobei der bewegliche Abschnitt (34) eine Lamelle ist, die sich über den Schlitz bewegt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei der feststehende Abschnitt (36) ein Stiftloch ist, wobei der bewegliche Abschnitt (34) eine Lamelle ist, die sich über das Stiftloch bewegt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei es sich bei dem feststehenden Abschnitt (36) um eine feststehende Lamelle handelt, und wobei es sich bei dem beweglichen Abschnitt (34) um eine bewegliche Lamelle handelt.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 25, wobei die feststehende Lamelle und die bewegliche Lamelle am distalen Abschnitt oder in dessen Nähe der Röntgenstrahlreflexionsabschnitt (40) relativ zu der Quelle angeordnet sind.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 25, wobei die feststehende Lamelle und die bewegliche Lamelle jeweils im Wesentlichen L-förmig sind.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 25, wobei die bewegliche Lamelle aus einer Stellung hoher Konvergenz in eine Stellung niedriger Konvergenz beweglich ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 28, wobei das bewegliche Element in der Stellung niedriger Konvergenz Röntgenstrahlen ausschließt, die von dem fernen Abschnitt der Röntgenstrahlreflexionsoptik reflektiert werden.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei das erste optische Element (32a) eine erste Mehrschichtoptik ist, und wobei das zweite optische Element (32b) eine zweite Mehrschichtoptik ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 30, wobei die erste Mehrschichtoptik und die zweite Mehrschichtoptik einen gestuften d-Abstand aufweisen.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 31, wobei die erste Mehrschichtoptik und die zweite Mehrschichtoptik einen Tiefengestuften d-Abstand aufweisen.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 31, wobei die erste Mehrschichtoptik und die zweite Mehrschichtoptik einen lateral gestuften d-Abstand aufweisen.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei das erste optische Element (32a) ein erster Röntgenstrahlreflexionskristall ist und wobei das zweite optische Element (32b) ein zweiter Röntgenstrahlreflexionskristall ist.
Optische Röntgenstrahlvorrichtung nach Anspruch 16, wobei die Apertur (42) zwischen der Quelle und den ersten und zweiten optischen Elementen angeordnet ist.