JP2637482B2 - 放射線像拡大観察装置 - Google Patents
放射線像拡大観察装置Info
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- JP2637482B2 JP2637482B2 JP17224588A JP17224588A JP2637482B2 JP 2637482 B2 JP2637482 B2 JP 2637482B2 JP 17224588 A JP17224588 A JP 17224588A JP 17224588 A JP17224588 A JP 17224588A JP 2637482 B2 JP2637482 B2 JP 2637482B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は紫外線、Ｘ線などの放射線によって試料を拡
大観察する装置に係り、特に明瞭な試料拡大像を得るこ
とが可能な放射線像拡大観察装置に関する。
大観察する装置に係り、特に明瞭な試料拡大像を得るこ
とが可能な放射線像拡大観察装置に関する。
従来の放射線像拡大観察装置を第４図に示す。これ
は、所定波長領域の放射線を出射する放射線源１と、試
料２が試料セット位置に取り付けられる試料セット部材
３と、入射窓４が開口され試料セット位置を通過した放
射線が入射され放射線像拡大部５を備えている。放射線
源１は例えばシンクロトロン放射光（SOR光）を出射す
るシンクロトロン放射難の光源が使用され、このSOR光
は可視光からＸ線に至る波長分布を有しており、紫外
線、Ｘ線などの特定波長領域の放射線のみを選択透過さ
せる必要がある場合には、放射線源１の出射端に適宜の
光フィルタ（図示せず）などが設けられる。この放射線
源１から出射した放射線は試料セット位置に設けられた
試料２に照射され、放射線が試料２を透過すると放射線
像が形成されて放射線像拡大部５に入射する。放射線像
拡大部５は真空状態を維持されたケース６内に斜入射反
射鏡７と、ストッパ８と、フィルム９とが放射線の光路
上に順に配設されて構成される。この放射線像拡大部５
に入射した放射線は斜入射反射鏡７で反射され、これに
よって放射線の波長領域にかかわりなく放射線像は拡大
される。そして不要な放射線がストッパ８でカットされ
たのち、拡大放射線像がフィルム９に結像される。
は、所定波長領域の放射線を出射する放射線源１と、試
料２が試料セット位置に取り付けられる試料セット部材
３と、入射窓４が開口され試料セット位置を通過した放
射線が入射され放射線像拡大部５を備えている。放射線
源１は例えばシンクロトロン放射光（SOR光）を出射す
るシンクロトロン放射難の光源が使用され、このSOR光
は可視光からＸ線に至る波長分布を有しており、紫外
線、Ｘ線などの特定波長領域の放射線のみを選択透過さ
せる必要がある場合には、放射線源１の出射端に適宜の
光フィルタ（図示せず）などが設けられる。この放射線
源１から出射した放射線は試料セット位置に設けられた
試料２に照射され、放射線が試料２を透過すると放射線
像が形成されて放射線像拡大部５に入射する。放射線像
拡大部５は真空状態を維持されたケース６内に斜入射反
射鏡７と、ストッパ８と、フィルム９とが放射線の光路
上に順に配設されて構成される。この放射線像拡大部５
に入射した放射線は斜入射反射鏡７で反射され、これに
よって放射線の波長領域にかかわりなく放射線像は拡大
される。そして不要な放射線がストッパ８でカットされ
たのち、拡大放射線像がフィルム９に結像される。
このような観察装置によれば、放射線によって感光し
たフィルム９をケース６から取り出して、試料２の拡大
像を観察することができる。しかし、この装置ではフィ
ルム９を介して試料の拡大像を観察するものであり、試
料の拡大像を直接、目で見ることができず、観察が不便
となっている。
たフィルム９をケース６から取り出して、試料２の拡大
像を観察することができる。しかし、この装置ではフィ
ルム９を介して試料の拡大像を観察するものであり、試
料の拡大像を直接、目で見ることができず、観察が不便
となっている。
そこで出願人は試料の拡大像の直接、観察を可能とし
た放射線像拡大観察装置を開発して、先に提案した（特
願昭62−274863号；未公開）。第５図はこの観察装置を
示し、放射線像拡大部５に電子像拡大部10が付設された
構造となっている。そして、放射線像拡大部５における
放射線の結像位置には光電面11が設けられると共に、電
子像拡大部10内にはマイクロチャンネルプレート12およ
び蛍光面13が設けられ、さらに電子像拡大部10の外側に
コイル14,15が巻装されている。このような構成では拡
大放射線像が光電面11に結像され、これに対応した光電
子が光電面11から電子像拡大部10に放出される。この電
子像はコイル14,15によって拡大され、拡大された電子
像はマイクロチャンネルプレート12で増倍された後、蛍
光面13に結像されて光学像を形成する。従って、蛍光面
13上の光学像をCRTなどのモニタを介して直接、観察す
ることができる。
た放射線像拡大観察装置を開発して、先に提案した（特
願昭62−274863号；未公開）。第５図はこの観察装置を
示し、放射線像拡大部５に電子像拡大部10が付設された
構造となっている。そして、放射線像拡大部５における
放射線の結像位置には光電面11が設けられると共に、電
子像拡大部10内にはマイクロチャンネルプレート12およ
び蛍光面13が設けられ、さらに電子像拡大部10の外側に
コイル14,15が巻装されている。このような構成では拡
大放射線像が光電面11に結像され、これに対応した光電
子が光電面11から電子像拡大部10に放出される。この電
子像はコイル14,15によって拡大され、拡大された電子
像はマイクロチャンネルプレート12で増倍された後、蛍
光面13に結像されて光学像を形成する。従って、蛍光面
13上の光学像をCRTなどのモニタを介して直接、観察す
ることができる。
しかし第５図の観察装置では、光学像が明瞭に得られ
ない不都合がある。これは、光電面11には拡大放射線像
が結像するだけでなく、放射線像拡大部５内で反射した
散乱放射線が入射し、この入射によって不要な光電子が
放出されるためである。また、光電面11における放射線
像の視野が大きいと、光電面11の中心から離れた位置で
生成した光電子が電子像拡大部10の内部で散乱電子とな
り、像を不鮮明にすることもある。
ない不都合がある。これは、光電面11には拡大放射線像
が結像するだけでなく、放射線像拡大部５内で反射した
散乱放射線が入射し、この入射によって不要な光電子が
放出されるためである。また、光電面11における放射線
像の視野が大きいと、光電面11の中心から離れた位置で
生成した光電子が電子像拡大部10の内部で散乱電子とな
り、像を不鮮明にすることもある。
そこで本発明は、再現性が良好で、明瞭な光学像を得
ることのできる放射線像拡大観察装置を提供することを
目的とする。
ることのできる放射線像拡大観察装置を提供することを
目的とする。
本発明に明る放射線像拡大観察装置は、放射線を資料
セット位置に向けて出射する放射線源と、資料セット位
置を通過することにより形成された放射線像を拡大する
放射線像拡大部と、拡大された放射線像の結像位置に配
設されて電子像を形成する光電交換手段とを備える放射
線像拡大観察装置において、光電変換手段の前面に、絞
り窓の開口調整によって光電変換手段に入射する放射線
の絞りを行なう絞り手段が設けられていることを特徴と
する。
セット位置に向けて出射する放射線源と、資料セット位
置を通過することにより形成された放射線像を拡大する
放射線像拡大部と、拡大された放射線像の結像位置に配
設されて電子像を形成する光電交換手段とを備える放射
線像拡大観察装置において、光電変換手段の前面に、絞
り窓の開口調整によって光電変換手段に入射する放射線
の絞りを行なう絞り手段が設けられていることを特徴と
する。
ここで絞り手段の絞り調整は、装置外部から操作可能
となっているのが好ましく、これにより操作性が向上す
る。
となっているのが好ましく、これにより操作性が向上す
る。
上記構成によれば、絞り窓の開口の大きさを調整する
ことにより、散乱放射線が遮断され、光電面には試料か
らの拡大放射線のみが入射する。
ことにより、散乱放射線が遮断され、光電面には試料か
らの拡大放射線のみが入射する。
以下、添付図面により本発明の実施例を説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る放射線像拡大観察装
置を示し、従来例と同一の要素には同一の符号を付して
ある。すなわち、この装置は紫外線、Ｘ線などの放射線
を出射する放射線源１と、試料２が試料セット位置に取
り付けられる試料セット部材３と、射入反射鏡７、スト
ッパ８が内部には配設された放射像拡大部５と、放射線
像拡大部５の結像位置に設けられた光電変換手段として
の光電面11と、マイクロチャンネルプレート12および蛍
光面13を有して放射線拡大部に連設された電子像拡大部
10とを備える。また、電子像拡大部10の外側にはコイル
14,15が巻装されている。このような構成では、放射線
源１から出射した放射線は試料２を透過し、その拡大像
が放射線像拡大部５の光電面11に結像し、これにより光
電面11から放出された光電子（e-）が電子像拡大部10で
拡大されて蛍光面13で結像する。
置を示し、従来例と同一の要素には同一の符号を付して
ある。すなわち、この装置は紫外線、Ｘ線などの放射線
を出射する放射線源１と、試料２が試料セット位置に取
り付けられる試料セット部材３と、射入反射鏡７、スト
ッパ８が内部には配設された放射像拡大部５と、放射線
像拡大部５の結像位置に設けられた光電変換手段として
の光電面11と、マイクロチャンネルプレート12および蛍
光面13を有して放射線拡大部に連設された電子像拡大部
10とを備える。また、電子像拡大部10の外側にはコイル
14,15が巻装されている。このような構成では、放射線
源１から出射した放射線は試料２を透過し、その拡大像
が放射線像拡大部５の光電面11に結像し、これにより光
電面11から放出された光電子（e-）が電子像拡大部10で
拡大されて蛍光面13で結像する。
このような構成に加えて、本実施例では絞り手段20が
設けられている。絞り手段20は試料２の放射線拡大像が
結蔵する光電面11の前面側に位置するように設けられ
る。この絞り手段20は放射線が通過する絞り窓21を有す
ると共に、絞り窓21は、その開口の大きさが調整可能と
なって、光電面11へ入射する放射線の絞り調整が可能と
なっている。この絞り窓21の開口調整により、放射線像
拡大部５内で散乱して結像に関与しない放射線が遮断さ
れるため、光電面11には結像のための放射線のみが入射
する。従って、光電面11から法出される光電子（e-）は
試料２の拡大像に対応した電子だけとなるため、鮮明な
光学像を蛍光面13に形成することができる。また、光電
面11における放射線の視野が必要な範囲に制限できるの
で、いわゆる散乱電子の発生をも防止できる。なお、絞
り窓21の開口調整は後述する操作部材30の回転操作によ
って行なわれる。
設けられている。絞り手段20は試料２の放射線拡大像が
結蔵する光電面11の前面側に位置するように設けられ
る。この絞り手段20は放射線が通過する絞り窓21を有す
ると共に、絞り窓21は、その開口の大きさが調整可能と
なって、光電面11へ入射する放射線の絞り調整が可能と
なっている。この絞り窓21の開口調整により、放射線像
拡大部５内で散乱して結像に関与しない放射線が遮断さ
れるため、光電面11には結像のための放射線のみが入射
する。従って、光電面11から法出される光電子（e-）は
試料２の拡大像に対応した電子だけとなるため、鮮明な
光学像を蛍光面13に形成することができる。また、光電
面11における放射線の視野が必要な範囲に制限できるの
で、いわゆる散乱電子の発生をも防止できる。なお、絞
り窓21の開口調整は後述する操作部材30の回転操作によ
って行なわれる。
第２図及び第３図は上記の絞り手段20の一例を示す。
絞り手段20は回転部材22（第２図（ａ））、絞り部材
23（同図（ｂ））および固定部材24（同図（ｃ））の３
部材からなり、これら３部材22,23,24が上記絞り窓21を
連通形成するように組み付けられる。回転部材22は全体
が円環状をなし、その外周縁の一部分に調整用ギア25が
形成されている。また、回転部材22は絞り部材23の各絞
り羽根26が回動可能に取り付けられる支持体となってお
り、絞り羽根26に回動力を伝達するスリット22aが斜め
方向に放射状に形成されている。
23（同図（ｂ））および固定部材24（同図（ｃ））の３
部材からなり、これら３部材22,23,24が上記絞り窓21を
連通形成するように組み付けられる。回転部材22は全体
が円環状をなし、その外周縁の一部分に調整用ギア25が
形成されている。また、回転部材22は絞り部材23の各絞
り羽根26が回動可能に取り付けられる支持体となってお
り、絞り羽根26に回動力を伝達するスリット22aが斜め
方向に放射状に形成されている。
絞り部材23は複数の絞り羽根26をリング状に組み付け
ることで構成される。各絞り羽根26は絞り窓21方向に向
かって弯曲されており、その内側の弯曲面の連設によっ
て絞り窓21が形成される。また、このように組み付けら
れる各絞り羽根26の内側の端部には、回転部材22のスリ
ット22a内に挿入される受ピン26aが突出形成されると共
に、外側の端部には固定部材24の穴24aに挿入される支
ピン26bが突出形成されている。固定部材24はリング嬢
をなし、絞り羽根26の支ピン26bが挿入される穴24aが所
定間隔で形成されている。固定部材24は適宜ブラケット
（図示せず）を介して放射線像拡大部５内に固定される
ものであり、この固定によって絞り手段20の取り付けが
行なわれる。
ることで構成される。各絞り羽根26は絞り窓21方向に向
かって弯曲されており、その内側の弯曲面の連設によっ
て絞り窓21が形成される。また、このように組み付けら
れる各絞り羽根26の内側の端部には、回転部材22のスリ
ット22a内に挿入される受ピン26aが突出形成されると共
に、外側の端部には固定部材24の穴24aに挿入される支
ピン26bが突出形成されている。固定部材24はリング嬢
をなし、絞り羽根26の支ピン26bが挿入される穴24aが所
定間隔で形成されている。固定部材24は適宜ブラケット
（図示せず）を介して放射線像拡大部５内に固定される
ものであり、この固定によって絞り手段20の取り付けが
行なわれる。
ここで、回転部材22の調整用ギア25には駆動ギア32が
噛合されるようになっている。この駆動ギア32は第３図
に示すように操作部材30のロッド31の先端に取り付けら
れており、調整用ギア25との噛合状態でロッド31を回転
させると、回転部材22が時計方向または反時計方向に回
転する。このような構成では回転部材22のスリット22a
に絞り羽根26の受ピン26aが挿入されており、回転部材2
2が回転するとスリット22aにより受ピン26aは内方また
は外方への移動力が作用する。これに対して、絞り羽根
26の支ピン26bが固定部材24の穴24aに挿入されて枢支さ
れているため、絞り羽根26は支ピン26bを枢支点として
回動する。この回動によって絞り羽根26は全体で絞り窓
21の開口を大きくしたり、小さくするように作用し、絞
り窓21の開口調整が行なわれる。このように、外部から
の操作部材30の操作によって絞り窓21の開口調整を行な
う構造では、操作性が容易となる。従って、蛍光面13に
結像される光学像の鮮明化を簡単に行なうことができ
る。
噛合されるようになっている。この駆動ギア32は第３図
に示すように操作部材30のロッド31の先端に取り付けら
れており、調整用ギア25との噛合状態でロッド31を回転
させると、回転部材22が時計方向または反時計方向に回
転する。このような構成では回転部材22のスリット22a
に絞り羽根26の受ピン26aが挿入されており、回転部材2
2が回転するとスリット22aにより受ピン26aは内方また
は外方への移動力が作用する。これに対して、絞り羽根
26の支ピン26bが固定部材24の穴24aに挿入されて枢支さ
れているため、絞り羽根26は支ピン26bを枢支点として
回動する。この回動によって絞り羽根26は全体で絞り窓
21の開口を大きくしたり、小さくするように作用し、絞
り窓21の開口調整が行なわれる。このように、外部から
の操作部材30の操作によって絞り窓21の開口調整を行な
う構造では、操作性が容易となる。従って、蛍光面13に
結像される光学像の鮮明化を簡単に行なうことができ
る。
本発明は上記実施例に限られず、種々の変形が可能で
ある。
ある。
例えば、回転板に開口の大きさの異なる絞り窓を複数
形成して絞り手段を形成し、回転板を回転して最適な大
きさの絞り窓を放射線の光路上で切り換えるようにして
も良い。また、絞り窓の開口調整操作を放射線像拡大部
分内で行なうようにしても良い。
形成して絞り手段を形成し、回転板を回転して最適な大
きさの絞り窓を放射線の光路上で切り換えるようにして
も良い。また、絞り窓の開口調整操作を放射線像拡大部
分内で行なうようにしても良い。
以上、詳細に説明したように本発明では、放射線が結
像する光電変換手段の前面に、絞り窓の開口調整が可能
な絞り手段を設けて放射線の絞りを行なうようにしたの
で、結像の支障となる散乱放射線を遮断することがで
き、また散乱電子の発生をも防止でき、従って鮮明な拡
大像を得ることができる。
像する光電変換手段の前面に、絞り窓の開口調整が可能
な絞り手段を設けて放射線の絞りを行なうようにしたの
で、結像の支障となる散乱放射線を遮断することがで
き、また散乱電子の発生をも防止でき、従って鮮明な拡
大像を得ることができる。
第１図は、本発明の実施例に係る放射線像拡大観察装置
を示す構成図、第２図は、その絞り手段の各部材を示す
構成図、第３図は、絞り手段の分解斜視図、第４図は、
従来装置を示す構成図、第５図は、改良された拡大観察
装置を示す構成図である。 １……放射線源、２……試料、３……試料セット部材、
５……放射線像拡大部、11……光電面（光電変換手
段）、20……絞り手段、21……絞り窓、30……操作部
材。
を示す構成図、第２図は、その絞り手段の各部材を示す
構成図、第３図は、絞り手段の分解斜視図、第４図は、
従来装置を示す構成図、第５図は、改良された拡大観察
装置を示す構成図である。 １……放射線源、２……試料、３……試料セット部材、
５……放射線像拡大部、11……光電面（光電変換手
段）、20……絞り手段、21……絞り窓、30……操作部
材。
Claims (2)
- 【請求項１】放射線を試料セット位置に向けて出射する
放射線源と、 前記試料セット位置を通過することにより形成された放
射線像を拡大する放射線像拡大部と、 拡大された放射線像の結像位置に配設されて電子像を形
成する光電交換手段とを備える放射線像拡大観察装置に
おいて、 前記光電変換手段の前面に、絞り窓の開口調整によって
光電変換手段に入射する放射線の絞りを行なう絞り手段
が設けられていることを特徴とする放射線像拡大観察装
置。 - 【請求項２】前記絞り手段は、前記絞り窓の開口調整が
遠隔操作によって行なわれる請求項１記載の放射線像拡
大観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17224588A JP2637482B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 放射線像拡大観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17224588A JP2637482B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 放射線像拡大観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0222589A JPH0222589A (ja) | 1990-01-25 |
| JP2637482B2 true JP2637482B2 (ja) | 1997-08-06 |
Family
ID=15938310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17224588A Expired - Fee Related JP2637482B2 (ja) | 1988-07-11 | 1988-07-11 | 放射線像拡大観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2637482B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7039157B2 (en) | 2001-08-03 | 2006-05-02 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | X-ray microscope apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1597737B1 (en) * | 2003-02-28 | 2006-11-22 | Osmic, Inc. | X-ray optical system with adjustable convergence |
-
1988
- 1988-07-11 JP JP17224588A patent/JP2637482B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7039157B2 (en) | 2001-08-03 | 2006-05-02 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | X-ray microscope apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0222589A (ja) | 1990-01-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |