DE60124377T2 - Einrichtung zum transferieren eines musters auf ein objekt - Google Patents

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Description

  • Bereich der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf ein Übertragen eines Musters von einem Prägestempel auf einen Gegenstand. Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf die Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen.
  • Stand der Technik
  • Eine viel versprechende Technik zum Herstellen von Nanostrukturen, d.h., Strukturen mit einer Größe von 100 nm und kleiner, ist eine sogenannte Nanoabdrucklithographie. Diese Technik wird in dem Dokument US-A-5772905 beschrieben, die hiermit als Referenz eingeschlossen ist. Bei einer derartigen Lithographie, deren Hauptschritte in den 1a–d schematisch gezeigt werden, wird ein Muster von Nanostrukturen von einem Prägestempel 1 auf einen Gegenstand 2 übertragen. Der Gegenstand 2 besteht aus einem Substrat 2a und einem darauf aufgetragenen Film 2b aus einem Polymer-Material (Schutzmasse). Nach Erwärmen des Films 2b auf eine geeignete Temperatur wird der Prägestempel 1 in den Film gepresst (1b). Der Prägestempel 1 wird dann von dem Gegenstand 2 gelöst, wenn Eintiefungen 3 einer gewünschten Tiefe in der Schicht 2b (1c) gebildet worden sind. Anschließend wird jeglicher verbleibender Film in den Eintiefungen 3 entfernt, z.B. durch Ätzen, wodurch das Substrat 2a freigelegt wird. In nachfolgenden Verfahrensschritten (nicht gezeigt) wird das Muster in dem Film in einem Substrat oder in irgendeinem anderen Material, das auf das Substrat aufgetragen ist, reproduziert.
  • Eine Vorrichtung gemäß dem oben erwähnten US-Patent zur Ausführung des oben dargestellten lithographischen Verfahrens enthält eine erste Kontaktherstellungseinrichtung mit einer Aufnahmefläche für den Prägestempel, eine zweite Kontaktherstellungseinrichtung mit einer Aufnahmefläche für den Gegenstand und eine Presseinrichtung zum Kontaktherstellen oder Verbinden der ersten und zweiten Aufnahmefläche miteinander.
  • Der auf dem Substrat aufgetragene Film ist sehr dünn, typischerweise 50–200 nm. Selbst für ein Strukturieren des Gegenstands müssen der Prägestempel und der Gegenstand somit gegenseitig parallel mit einer Genauigkeit von wenigen Nanometern sein. Bei industriellen Anwendungen kann der Gegenstand einen Durchmesser von etwa 15–30 cm haben, was bedeutet, dass die sich gegenseitig berührenden Oberflächen einen maximalen Neigungswinkel von etwa 10–7 rad haben können. Eine größere Neigung zwischen dem Prägestempel und dem Gegenstand kann zusätzlich zu einer unebenen Strukturierung des Gegenstands auch dazu führen, dass letzterer zerstört wird. Tatsächlich ist das Substrat üblicherweise aus einem spröden Material, z.B. Si/SiO2, GaAs oder InP, hergestellt und der auf das Substrat während eines Kontaktes ausgeübte Druck ist hoch, typischerweise 4–10 MPa.
  • Eine denkbare Lösung für die oben dargestellten Probleme läge darin, die Aufnahmeflächen der Vorrichtung in einer gegenseitig vollständig parallelen Beziehung ein für allemal zu fixieren. Dies verlangt jedoch, dass alle Gegenstände perfekte planparallele flache Seiten aufweisen. Wegen der Herstellung ist das nicht möglich, und deshalb muss die Vorrichtung für jeden einzelnen Gegenstand angepasst werden.
  • Gemäß einer früher vorgeschlagenen Lösung hinsichtlich dieses Problems sind eine Vielzahl von Kraft- oder Drucksensoren auf der Aufnahmefläche des Prägestempels oder des Gegenstands angebracht. Eine Steuereinheit ist so eingerichtet, dass sie die gegenseitige Winkelstellung der Kontaktherstellungseinrichtung auf Basis der so gemessenen Druckverteilung steuern kann. Jedoch ist dies eine teuere und komplizierte Lösung, die auch schwierig auf ein Strukturieren von großen Objekten zu übertragen ist.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Es ist Ziel der Erfindung, ganz oder teilweise die oben beschriebenen Probleme des Standes der Technik zu überwinden. Genauer gesagt ist es ein Ziel, eine einfache Vorrichtung zum Übertragen eines Musters von einem Prägestempel auf einen Gegenstand mit einem hohen Grad an gegenseitiger Parallelität zwischen dem Prägestempel und dem Gegenstand zu schaffen.
  • Es ist auch ein Ziel der Erfindung, eine solche Vorrichtung zu schaffen, die eine Kontaktherstellung des Prägestempels mit dem Gegenstand unter hohem Druck ermöglicht.
  • Es ist ein spezielles Ziel der Erfindung, eine Vorrichtung zu schaffen, die für ein Übertragen der Mikro- oder Nanostrukturen auf einen Gegenstand geeignet ist.
  • Diese oder andere Ziele, die aus der nun folgenden Beschreibung deutlich werden, werden nun mittels einer Vorrichtung gemäß Anspruch 1 erreicht. Bevorzugte Ausführungen sind in den Unteransprüchen definiert.
  • In der erfindungsgemäßen Vorrichtung können die Aufnahmeflächen und der Prägestempel und der Gegenstand, welche von den Aufnahmeflächen aufgenommen werden, in eine nicht parallele Stellung zusammengebracht werden. Wenn der Prägestempel mit dem Gegenstand in Kontakt gebracht wird, werden diese automatisch in eine gegenseitig parallele Position durch die Kraft gebracht, die zwischen ihnen auftritt, wobei eine Aufnahmefläche relativ zu der anderen Aufnahmefläche schwenkt. Die Vorrichtung stellt eine einfache Konstruktion dar und kann ausgebildet sein, um eine Kontaktherstellung des Prägestempels mit dem Gegenstand unter hohem Druck zu ermöglichen. Die Vorrichtung kann auch leicht auf Strukturieren von Gegenständen übertragen werden, die einen größeren Durchmesser oder Dicke aufweisen.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführung ist die Haltevorrichtung schwenkbar mit dem Körper über zusammenwirkende Außen- und Innenteile verbunden, die zwischen sich einen Zwischenraum zur Aufnahme eines Fluids, vorzugsweise eines hydraulischen Fluids, definieren. Eine derartige Vorrichtung ermöglicht ein sanftes graduelles Kontaktherstellen des Prägestempels mit dem Gegenstand aufgrund der Tatsache, dass das Fluid in der Lage ist, einen gewissen Betrag an Trägheit an die Schwenkbewegung der Haltevorrichtung zu geben. Das Fluid in dem Zwischenraum zwischen dem Außenteil und dem Innenteil kann auch plötzliche Druckveränderungen absorbieren, die während der Kontaktherstellung auftreten können, was auch eine sanfte und allmähliche Kontaktherstellung unterstützt. Ein weiterer Vorteil dieser Ausführung beruht auf der Möglichkeit, über einen Drucksensor den in der Kammer vorherrschenden Druck zu erfassen, der in einen beinahe genauen Wert des vorherrschenden Kontaktdruckes zwischen dem Prägestempel und dem Gegenstand umgewandelt werden kann. Auf Basis des durch den Drucksensor erfassten Druckes kann die Presseinrichtung somit dazu veranlasst werden, einen genau definierten Druck zwischen dem Prägestempel und dem Gegenstand herzustellen.
  • Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführung ist das Außenteil in dem Innenteil derart eingesetzt, dass der Zwischenraum den in dem Innenteil angeordneten Außenteil umschließt. Das führt dazu, dass der mechanische Kontakt zwischen den Außen- und Innenteilen minimiert ist.
  • Wenn der Prägestempel und der Gegenstand während einer Kontaktherstellung in eine gegenseitig parallele Stellung geschwenkt werden, wird der größte Betrag der Kräfte auf die Umfangskanten des Gegenstandes ausgeübt. Diese Kräfte werden in einer bevorzugten Ausführung durch das einen Mündungsabschnitt bildende Innenteil, das mit einem Umfangsabschnitt des Außenteils in dichtendem Kontakt steht, und durch den Umfangsabschnitt minimiert, der einen Durchmesser aufweist, der gleich dem Durchmesser oder kleiner als der Durchmesser der aufnehmenden Fläche der Halteeinrichtung ist.
  • Um eine optimale, gleichmäßige Kontaktherstellung des Prägestempels mit dem Gegenstand zu erreichen, wird bevorzugt, dass das Innen- oder Außenteil an der Haltevorrichtung angeordnet ist, um koaxial mit der Aufnahmefläche der Haltevorrichtung angeordnet zu sein.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung und ihre Vorteile werden nun im Folgenden mit Bezug auf die angehängten schematischen Zeichnungen genauer beschrieben, die anhand eines Beispiels gegenwärtig bevorzugte Ausführungen der Erfindung darstellen.
  • 1a–1d veranschaulichen eine Übertragung eines Musters von einem Prägestempel auf ein Substrat mittels Nanoabdrucklithographie gemäß einem bekannten Verfahren.
  • 2 stellt ein Grundkonzept einer Vorrichtung gemäß der ersten Ausführung der Erfindung dar.
  • 3a stellt eine Seitenansicht in einem größeren Maßstab des in 2 dargestellten Anschlags, wobei innere Teile durch gestrichelte Linien angedeutet werden, dar und
  • 3b stellt eine Querschnittsansicht durch die Mittelebene des Anschlags in 3a dar.
  • 4–7 stellen Querschnittsansichten durch die mittlere Ebene der Anschläge gemäß alternativen Ausführungen der Erfindung dar.
  • Beschreibung bevorzugter Ausführungen
  • 2 stellt eine schematische Ansicht einer Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführung der Erfindung dar. Die Vorrichtung, die dazu vorgesehen ist, ein Muster von einem Prägestempel 1 auf ein Objekt 2 zu übertragen, weist eine Presseinrichtung 10 und ein Widerlager 20 auf, das mit der Presseinrichtung in Kontakt kommt. Die Presse 10, die ein Typ aus dem Stand der Technik sein kann, wie z.B. eine hydraulisch betriebene Presse, weist ein Kolbenglied 11 auf, das rückwärts und vorwärts in einer eindeutig definierten Richtung relativ zu einem fest angeordneten Körper 12 der Presseinrichtung 10 bewegbar ist. Das Kolbenglied 11 hat an seinen Seiten, die von dem Körper 12 fortweisen, eine Fläche 13 zur Aufnahme des Prägestempels 1.
  • Die Vorrichtung weist des weiteren ein Widerlager 20 auf, das eine fest angeordnete Basis 21 und eine Haltevorrichtung 22 aufweist, die auf ihrer von der Basis 21 wegweisenden Seite eine Fläche 23 zur Aufnahme des Gegenstands 2 hat. Die Fläche 23 hat im wesentlichen dieselbe Größe wie der darauf aufzunehmende Gegenstand 2. Eine Verschlusseinrichtung (nicht gezeigt) zur Sicherung des Gegenstands 2 ist auf der Fläche 23 angeordnet. Diese Verschlusseinrichtung kann von einer beliebigen Art sein, jedoch wird für eine automatische Herstellung bevorzugt, darin einen unter Atmosphärendruck liegenden Druck zur Sicherung des Gegenstands zu verwenden. Die Haltevorrichtung 22 ist relativ zur Unterlage 21 schwenkbar, wie dies noch detaillierter mit Bezug auf 3a–3b beschrieben wird.
  • In der Ausführung gemäß der 3a–3b weist die Unterlage 21 eine vertikale Stützplatte 24 und ein Innenteil in der Form eines Ansatzes 25 auf, der hülsenförmig ist und somit einen Hohlraum 26 bildet. Die Haltevorrichtung 22 weist eine Grundplatte 27 auf, die auf einer Seite die Oberfläche 23 bildet und auf ihrer anderen Seite ein Außenteil in der Form eines vorragenden Schaftes 28 hat, der koaxial mit der Aufnahmefläche 23 angeordnet ist. Das distale Ende des Schaftes 28 ist in den Hohlraum 26 eingesetzt und bildet zusammen mit diesem eine geschlossene Kammer 29. Beide, Schaft 28 und die Kammer 26, sind im Querschnitt kreisrund. Eine Dichtung in der Form eines O-Ringes 30, ist in einer umlaufenden Nut 31 am Mündungsabschnitt 32 des Hohlraums 26 angeordnet. Der O-Ring 30 liegt gegen die Umfangsfläche des Schaftes 28 an, um die Kammer 29 gegen die umgebende Luft abzudichten. Die Kammer 29 ist mit einer geeigneten Hydraulikflüssigkeit niedriger Kompressibilität, wie z. B. Bremsflüssigkeit für Fahrzeuge, gefüllt.
  • Wenn der Prägestempel 1 gegen den Gegenstand 2 gepresst wird, wird in der Kammer 29 ein erhöhter Druck erzeugt und strebt danach, den O-Ring 30 aus der Nut 31 zu drücken. Um dem entgegenzuwirken, hat der Mündungsabschnitt 32 eine umlaufende Führungsnase 33, die mit der Nut 31 in Verbindung steht. Um eine Flüssigkeitsleckage aus der Kammer 29 über den O-Ring 30 zu minimieren, kann ein flexibler Stoff 38, z.B. aus gummiartigem Material, gemäß einer alternativen Ausbildung, wie in 7 gezeigt, dichtend an den inneren Wänden der Kammer befestigt sein, wodurch eine flüssigkeitsbegrenzende Membran 38 in der Kammer 29 gebildet wird. Die Flüssigkeit ist in dem Raum zwischen dem Membran 38 und den inneren Wänden der Kammer 29 gehalten und absorbiert Kräfte des distalen Endes des Schaftes 28, dessen distales Ende gegen die Membran anstößt, wenn der Prägestempel 1 gegen den Gegenstand 2 gepresst wird. Wenn es einen O-Ring gibt, wie in 3a–b gezeigt, hat dies auf das distale Ende des Schaftes im Falle größerer Neigungswinkel desselben einen Einfluss. Ohne einen O-Ring in dieser alternativen Ausführung wird sich die Verteilung von Kräften gleichmäßiger über die gesamte Fläche des Prägestempels sich einstellen, während dieser gegen den Gegenstand drückt.
  • Ein Drucksensor 34 erstreckt sich durch eine Bohrung 35 in der Stützplatte 24, bis sie mit der Flüssigkeit in der Kammer 29 in Kontakt kommt, entweder direkt oder über eine Abtrennung (nicht gezeigt). Gemäß 1 ist der Drucksensor 34 mit einer Steuereinheit 36, wie z.B. einem Computer, verbunden. Die Steuereinheit 36 ist mit der Presseinrichtung 10 verbunden und steuert die Kontaktherstellung des Prägestempels 1 mit dem Gegenstand 2 über eine Drucksteuereinrichtung 37, z. B. eine Pump-/Ventileinrichtung, die den hydraulischen Druck steuert, der auf das Kolbenglied 11 wirkt.
  • In einer bevorzugten Ausführung weist die Haltevorrichtung 22 eine Heizeinrichtung (nicht gezeigt) zur Erwärmung des Gegenstands 2 auf. Des weiteren hat die Haltevorrichtung 22 in geeigneter Weise eine Kühleinrichtung in der Form einer Kühlschleife K, die durch ein Kühlmedium (3a) hindurchläuft. Dies ermöglicht zusätzlich zu einer Kühlung des Gegenstands 2 eine Temperaturstabilisierung des Schaftes 28, um Veränderungen hinsichtlich dessen Form zu verhindern.
  • Der Betriebsmodus der Vorrichtung wird im Folgenden unter Bezugnahme auf 1 kurz beschrieben. Die Steuereinheit 36 betätigt die Drucksteuereinrichtung 37, um das Kolbenglied 11 in Richtung auf das unbewegliche Widerlager 20 zur Kontaktherstellung mit demselben zu bewegen. Normalerweise ist der an dem Kolbenglied 11 montierte Prägestempel 1 nicht vollständig parallel zu dem an dem Widerlager 20 befestigten Gegenstand 2. Bei der Kontaktherstellung mit dem Gegenstand 2 wird jeglicher Neigungswinkel zwischen dem Prägestempel 1 und dem Gegenstand 2 automatisch durch die Wirkung von Kräften zwischen ihnen eliminiert, indem die Haltevorrichtung 22 dazu gebracht wird, relativ zu der Unterlage 21 um einen Schwenkpunkt zu schwenken, der sich in dem Zentrum des Mündungsabschnitt 32 befindet. Die Flüssigkeit in der Kammer 29 dämpft die Bewegung der Haltevorrichtung 22 während der Parallelausrichtung, wodurch die Kontaktherstellung sanft erfolgen kann. Anschließend werden die parallelen Aufnahmeflächen 13, 23 gegeneinander gepresst, bis der Drucksensor 34 einen gewünschten Kontaktdruck feststellt, nachdem die Regeleinheit 36 veranlasst, dass die Presseinrichtung 10 das Kolbenglied 11 während einer vorgegebenen Zeitspanne verriegelt. Anschließend betätigt die Steuereinheit 36 die Drucksteuereinrichtung 37, um das Kolbenglied 11 von dem Widerlager 20 wegzubewegen, so dass der mit einer Struktur versehene Gegenstand 2 von der Aufnahmefläche 23 wegbewegt werden kann.
  • Im höchsten Maße zufriedenstellende Ergebnisse wurden mit der in 2 – 3 dargestellten Vorrichtung bei der Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen erzielt. Ein Substrat aus Si/SiO2 wurde mit einer 300 nm dicken Schicht von 950 K PNMA versehen. Dieser Gegenstand wurde bei 180°C über 24 h gebacken. Anschließend wurde der Gegenstand an der Vorrichtung befestigt, nachdem die PNMA-Schicht auf etwa 170°C erwärmt worden war. Bei dieser Temperatur wurde die Erwärmung beendet und ein Prägestempel mit einem Muster von 300 nm tiefen Strukturen wurde gegen den Gegenstand mit einem Druck von etwa 60 bar während etwa einer Minute gepresst. Gleichzeitig wurde der Gegenstand auf etwa 80°C gekühlt. Der somit mit einer Struktur versehene Gegenstand hatte eine Tiefe des Musters von ungefähr 200 nm mit guter Gleichmäßigkeit über das gesamte Substrat, dessen Durchmesser in diesem Fall etwa 5 cm betrug.
  • 4–6 sind schematische Ansichten von unterschiedlichen alternativen Ausführungen des Widerlagers 20, wobei äquivalente Teile im Hinblick auf solche in 2–3 dieselben Bezugsziffern zeigen.
  • In 4 sind die zusammenwirkenden Innen- und Außenteile 25, 28 der Unterlage 21 und der Haltevorrichtung 22 von komplimentärer Form, genauer gesagt, von einer teilsphärischen Form. Diese Ausführung wird wahrscheinlich zu einer etwas flexibleren Kontaktherstellung des Prägestempels 1 mit dem Gegenstand 2 führen.
  • In 5 hat die Aufnahmefläche 23 der Haltevorrichtung 22 prinzipiell denselben Durchmesser wie die Umfangsfläche des Außenteils 28 in dem Mündungsabschnitt.
  • In 6 ist die Unterlage 21 mit einem vorragenden Außenteil 28' versehen, das mit einem auf der Haltevorrichtung 22 gebildeten Innenteil 25' zusammenwirkt.
  • Es sollte jedoch betont werden, dass die Erfindung nicht auf die oben aufgeführten Ausführungen beschränkt ist und dass mehrere Modifikationen innerhalb des Umfangs der angehängten Ansprüche durchführbar sind. Zum Beispiel können der Prägestempel 1 und der Gegenstand 2 die Plätze in den beigefügten Zeichnungen wechseln. In einer anderen Alternative ist die Haltevorrichtung 22 schwenkbar an dem Kolbenglied 11 anstatt an der Unterlage 21 des Widerlagers 20 angeordnet. Gemäß einer weiteren Alternative ist das Widerlager 20 so angeordnet, dass es sich in Richtung auf das Kolbenglied 11 bewegt. Es sollte auch zur Kenntnis genommen werden, dass die Haltevorrichtung 22 in einer denkbaren Ausführung schwenkbar mit der Unterlage 21 über eine mechanische Verbindung anstatt über die hydromechanische oben beschriebene Kupplung verbunden ist.

Claims (18)

  1. Vorrichtung zum Übertragen eines Musters von einem Prägestempel (1) auf einen Gegenstand (2), umfassend eine erste Kontaktherstellungseinrichtung (11) mit einer Aufnahmefläche (13) für den Prägestempel (1), eine zweite Kontaktherstellungseinrichtung (20) mit einer Aufnahmefläche (23) für den Gegenstand (2) und eine Presseinrichtung (10), die zur Betätigung von zumindest einer der Kontaktherstellungseinrichtungen (11, 20) ausgeführt ist, um einen Kontakt des Prägestempels (1) mit dem Gegenstand (2) herzustellen, dadurch gekennzeichnet, dass eine der ersten und der zweiten Kontaktherstellungseinrichtungen (11, 20) eine Unterlage (21) und eine Haltevorrichtung (22) umfasst, wobei die Haltevorrichtung (22) ein erstes Ende, das eine der Kontaktflächen (23) definiert, und ein zweites gegenüber liegendes Ende aufweist, das drehbar mit der Unterlage (21) verbunden ist, derart, dass der Prägestempel (1) und der Gegenstand (2) automatisch in eine wechselseitig parallele Position gelegt werden, wenn sie miteinander in Kontakt gebracht sind.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Haltevorrichtung (22) mit der Unterlage (21) drehbar verbunden ist über zusammenwirkende Außen- und Innenteile (28, 25; 28', 25'), die zwischen sich eine Kammer (29) zur Aufnahme eines Fluides, vorzugsweise eine Hydraulikflüssigkeit, bilden.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der das Außenteil (28; 28') in das Innenteil (25; 25') eingesetzt ist, derart, dass die Kammer (29) das in dem Innenteil (25; 25') angeordnete Außenteil (28; 28') umfasst.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der die Kammer (29) an dem gegenüber liegenden Ende der Haftevorrichtung (22) ausgebildet ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei der eines der Außen- und Innenteile (28, 25; 28', 25') an der Haltevorrichtung (22), vorzugsweise koaxial mit der Aufnahmefläche (23) der Haltevorrichtung (22), angeordnet ist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, bei der das Innenteil (25; 25') einen Mündungsabschnitt (32) bildet, der sich mit einem Umfangsabschnitt des Außenteils (28; 28') in abdichtendem Kontakt befindet.
  7. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der der Mündungsabschnitt (32) ein Dichtungselement (30) aufweist, das aus einem flexiblen Material hergestellt ist und an den Umfangsabschnitt des Außenteils (28; 28') anstößt.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, bei der der Umfangsabschnitt im Wesentlichen kreisförmig ist.
  9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, bei der der Umfangsabschnitt einen Durchmesser aufweist, der gleich dem oder kleiner als der Durchmesser der Aufnahmefläche (23) der Haltevorrichtung (22) ist.
  10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 9, bei der das Außenteil (28) an dem gegenüber liegenden Ende der Haltevorrichtung (22) ausgebildet ist und das Innenteil (25) in der Unterlage (21) ausgebildet ist.
  11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 9, bei der das Innenteil (25') an dem gegenüber liegenden Ende der Haltevorrichtung (22) ausgebildet ist und das Außenteil (28') in der Unterlage (21) ausgebildet ist.
  12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11, bei der ein Drucksensor (34) den Druck des in der Kammer (29) aufgenommenen Fluides delektieren soll.
  13. Vorrichtung nach Anspruch 12, bei der der Drucksensor (34) in der Unterlage (21) angeordnet ist.
  14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, bei der eine Steuereinheit (36) basierend auf dem durch den Drucksensor (34) delektierten Druck bewirken soll, dass die Presseinrichtung (10) zwischen dem Prägestempel (1) und dem Gegenstand (2) einen vorgegebenen Druck aufbaut.
  15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Haltevorrichtung (22) einen Kühlkreislauf (K) enthält, der von einem Kühlmedium durchflossen wird.
  16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der der Prägestempel (1) ein Muster von Mikro- oder Nanostrukturen besitzt.
  17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der der Gegenstand (2) ein Substrat (2a) und eine Schicht (2b) aus einem darauf aufgebrachten Polymer umfasst.
  18. Vorrichtung zum Übertragen eines Musters von einem Prägestempel (1) auf einen Gegenstand (2), umfassend eine erste Kontaktherstellungseinrichtung (11) mit einer Aufnahmefläche (13) für den Prägestempel (1), eine zweite Kontaktherstellungseinrichtung (20) mit einer Aufnahmefläche (23) für den Gegenstand (2) und eine Presseinrichtung (10), die zur Betätigung von zumindest einer der Kontaktherstellungseinrichtungen (11, 20) ausgeführt ist, um einen Kontakt des Prägestempels (1) mit dem Gegenstand (2) herzustellen, dadurch gekennzeichnet, dass eine der ersten und zweiten Kontaktherstellungseinrichtungen (11, 20) eine Unterlage (21) und eine Haltevorrichtung (22) umfasst, wobei die Haltevorrichtung (22) ein erstes Ende, das eine der Aufnahmeflächen (23) bildet, und ein zweites gegenüber liegendes Ende aufweist, das mit der Unterlage (21) drehbar verbunden ist über zusammenwirkende Außen- und Innenteile (28, 25; 28', 25'), die zwischen sich eine Kammer (29) zur Aufnahme eines Fluides, vorzugsweise eine Hydraulikflüssigkeit, bilden, derart, dass der Prägestempel (1) und der Gegenstand (2) automatisch in eine wechselseitig parallele Position gelegt werden, wenn sie miteinander in Kontakt gebracht sind.
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