JP4625247B2 - マイクロコンタクトプリント方法及び装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 39
- 238000000813 microcontact printing Methods 0.000 title claims description 24
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 18
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 6
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 9
- 125000003396 thiol group Chemical class [H]S* 0.000 description 7
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 6
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 3
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 2
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 2
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N silanamine Chemical compound [SiH3]N FZHAPNGMFPVSLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000002174 soft lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000013518 transcription Methods 0.000 description 1
- 230000035897 transcription Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
図1第2ステーションの最上段に示すように、上記の如くして形成された複製スタンプ
が、移動体側に取り付けられる。これに対面する、スタンプ台ステージには例えば有機分子液より成るインクが配置されており、エアリフト機構で構成された垂直移動部を複製スタンプに向けて上昇させることによりインクの補充を行い(図1の右列の2段目)、次いで垂直移動部を強制的に下降させて剥離する(図1、右列、3段目)。用いられるインクは、例えばチオール、アミノシランなどの、スタンプにセルフアセンブル単分子膜(SAM)を作る分子の溶液である。
12 第2ステーション
13、14 微粗動ダイヤル
15、30 垂直移動部
16 試料台ステージ
17 スタンプ台ステージ
21、22 球面部
23 移動体
24 遷移機構
25 ガイドレール
28、29 球面座
31 顕微鏡
32 光源装置
Claims (2)
- 並置された第1ステーション並びに第2ステーション、それらの間を移動する移動体及び第1ステーションに配置する光源装置を用いて、ナノ構造を構築するためのマイクロコンタクトプリント方法であって、
第1ステーションにて光源装置を用いてスタンプのマスターを作製し、かつまた、マイクロコンタクトプリントを実行するものであり、
スタンプのマスターを作製するときは、マスター用試料に必要な処理を行なった上で光源装置により所定のパターンを露光し、マイクロコンタクトプリントを実行するときには、移動体に、上記スタンプのマスターから複製したスタンプを配置し、第2ステーションにてスタンプをスタンプ台に接離させることによりインクを補充し、第1ステーションに配置された転写用試料に対してスタンプを接離させることにより、スタンプの持つパターンを試料に転写することを特徴とするマイクロコンタクトプリント方法。 - ナノ構造を構築するための、マイクロコンタクトプリント装置であって、基台上に、第1ステーションと第2ステーションとを並設するとともに、第1ステーションと第2ステーションの間を移動可能な移動体を装備し、第1ステーション側に、少なくともマスクパターン又はスタンプのパターンの観察のための顕微鏡と、マスター用試料に対して露光を行う光源装置を配置するとともに、これら顕微鏡と光源装置の各位置を切り替えて第1ステーションに配置可能とし、第1ステーションは、マスター用試料及び転写用試料を保持する機能を持ち、試料表面に対して垂直方向へ移動可能な試料台ステージ及び試料台ステージを強制的に移動させるための垂直移動部と、試料台ステージ上の試料を移動体に配置したマスクに面接触させ、試料台の向きを規定する平行出しのための機構及び必要なアライメント部を具備し、第2ステーションは、インクを供給するために、スタンプを配置する移動体表面に対して垂直方向へ移動可能なスタンプ台ステージ及びスタンプ台ステージを強制的に移動させるための垂直移動部とを具備し、第1ステーションと第2ステーションとの間にて移動体を移動可能にする遷移機構を具備したことを特徴とするマイクロコンタクトプリント装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003364840A JP4625247B2 (ja) | 2003-10-24 | 2003-10-24 | マイクロコンタクトプリント方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003364840A JP4625247B2 (ja) | 2003-10-24 | 2003-10-24 | マイクロコンタクトプリント方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005129791A JP2005129791A (ja) | 2005-05-19 |
JP4625247B2 true JP4625247B2 (ja) | 2011-02-02 |
Family
ID=34643701
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003364840A Expired - Lifetime JP4625247B2 (ja) | 2003-10-24 | 2003-10-24 | マイクロコンタクトプリント方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4625247B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4713102B2 (ja) * | 2004-07-29 | 2011-06-29 | Scivax株式会社 | 傾き調整機能付きプレス装置、傾き調整機能付きパターン形成装置、型の傾き調整方法 |
KR100857521B1 (ko) * | 2006-06-13 | 2008-09-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터 제조용 몰드의 제조방법 및 그 제조장비 |
JP4745177B2 (ja) * | 2006-09-05 | 2011-08-10 | 株式会社ナノテック | マイクロコンタクトプリントにおけるプリント圧力検出方法及び装置 |
KR100824776B1 (ko) | 2007-03-19 | 2008-04-24 | (주) 대진유압기계 | 반도체 웨이퍼 인쇄장치 |
US7781555B2 (en) | 2007-09-03 | 2010-08-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Microcontact printing stamp |
JP5018565B2 (ja) * | 2008-03-06 | 2012-09-05 | ブラザー工業株式会社 | マイクロコンタクトプリント方法及びマイクロコンタクトプリント装置 |
JP5077764B2 (ja) * | 2008-04-22 | 2012-11-21 | 富士電機株式会社 | インプリント方法およびその装置 |
JP5004027B2 (ja) * | 2008-04-22 | 2012-08-22 | 富士電機株式会社 | インプリント方法およびその装置 |
JP5428449B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2014-02-26 | 大日本印刷株式会社 | マイクロコンタクトプリンティング用スタンプ作製用マスター版の製造方法、およびマイクロコンタクトプリンティング用スタンプ作製用マスター版 |
JP5531463B2 (ja) * | 2009-06-26 | 2014-06-25 | 大日本印刷株式会社 | マイクロコンタクトプリント用スタンプの製造に用いるマスター版とその製造方法、マイクロコンタクトプリント用スタンプとその製造方法、および、マイクロコンタクトプリント用スタンプを用いたパターン形成方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59114954U (ja) * | 1983-01-21 | 1984-08-03 | 共栄電工株式会社 | 捺印機 |
JP2002206033A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-07-26 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 親水性表面を有するシリコーン・エラストマー・スタンプおよびそれを製造する方法 |
JP2002353436A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Japan Science & Technology Corp | シリコンナノパーティクルのパターニング方法及びこの方法に用いる有機分子 |
JP2003165266A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | ▲桜▼井精技株式会社 | Tabテープ両面マーキング装置 |
JP2003527248A (ja) * | 2000-03-15 | 2003-09-16 | オブデュキャット、アクチボラグ | 物体へのパターン転写装置 |
JP2005007848A (ja) * | 2002-08-29 | 2005-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成装置及び方法 |
-
2003
- 2003-10-24 JP JP2003364840A patent/JP4625247B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59114954U (ja) * | 1983-01-21 | 1984-08-03 | 共栄電工株式会社 | 捺印機 |
JP2003527248A (ja) * | 2000-03-15 | 2003-09-16 | オブデュキャット、アクチボラグ | 物体へのパターン転写装置 |
JP2002206033A (ja) * | 2000-09-29 | 2002-07-26 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 親水性表面を有するシリコーン・エラストマー・スタンプおよびそれを製造する方法 |
JP2002353436A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-06 | Japan Science & Technology Corp | シリコンナノパーティクルのパターニング方法及びこの方法に用いる有機分子 |
JP2003165266A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-10 | ▲桜▼井精技株式会社 | Tabテープ両面マーキング装置 |
JP2005007848A (ja) * | 2002-08-29 | 2005-01-13 | Toppan Printing Co Ltd | パターン形成装置及び方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005129791A (ja) | 2005-05-19 |
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