-
Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Herstellung von integrierten
Schaltungen. Insbesondere bezieht sich die Erfindung auf ein Verfahren zum
Abscheiden von dielektrischen Schichten auf einem Substrat.
-
Seit
Halbleitervorrichtungen vor mehreren Dekaden erstmals eingeführt wurden,
haben sich ihre Geometrien in der Größe dramatisch verringert. Seit
damals folgten die integrierten Schaltungen insgesamt der Regel
zwei Jahre/halbe Größe (häufig als Mooresches
Gesetz bezeichnet), was bedeutet, dass die Anzahl der Vorrichtungen,
die auf einen Chip passen, sich alle zwei Jahre verdoppelt. Die
heutigen Herstellungsanlagen erzeugen routinemäßig Vorrichtungen mit Elementgrößen von
0,35 μm
und sogar 0,18 μm,
und die Anlagen von morgen werden bald Vorrichtungen mit noch kleineren
Geometrien herstellen.
-
Um
die Größe der Vorrichtungen
auf integrierten Schaltungen weiter zu reduzieren, wurde es erforderlich,
leitende Materialien mit einem niedrigen spezifischen Widerstand
und Isolatoren mit niedrigen Dielektrizitätskonstanten (k, wobei k < 4,0) zu verwenden,
um die kapazitive Koppelung zwischen benachbarten Metallleitern
zu verringern. Dielektrika mit niedrigem k-Wert wurden sowohl durch
Glasaufschleuderverfahren als auch durch chemische Gasphasenabscheidungs-(CVD-)Techniken
abgeschieden, was in der Internationalen Veröffentlichung WO 99/41423 beschrieben
ist. Angrenzend an dielektrische Schichten mit niedrigem k-Wert
hat man Einlage-/Sperrschichten einschließlich Deckschichten abgeschieden,
um eine Diffusion von Nebenprodukten, wie Feuchte, aus der dielektrischen
Schicht mit niedrigem k-Wert auf das leitende Material, wie es in
der Internationalen Veröffentlichung
WO 99/41423 beschrieben ist, sowie aus der Umgebung in das Dielektrikum
mit niedrigem k-Wert
zu verhindern.
-
Beispielsweise
diffundiert Feuchte, die während
der Bildung eines Isolators mit niedrigem k-Wert erzeugt wird, leicht
auf die Oberfläche
des leitenden Metalls und erhöht
den spezifischen Widerstand der angrenzenden leitenden Metalloberfläche. Zur
Verhinderung einer Zwischenschichtdiffusion werden Sperr-/Einlageschichten
zwischen den Schichten abgeschieden, die gewöhnlich aus herkömmlichen
Materialien auf Siliciumbasis bestehen, beispielsweise Siliciumnitrid,
die die Diffusion von Nebenprodukten blockieren und/oder die Diffusion
von Metallschichten in das Material mit niedrigem k-Wert verhindern.
Die Sperr- /Einlageschichten
haben jedoch gewöhnlich Dielektrizitätskonstanten,
die merklich größer als
4,0 sind, beispielsweise hat Siliciumnitrid eine Dielektrizitätskonstante
von etwa 7, und die hohe Dielektrizitätskonstanten können zu
einer kombinierten Isolatorschicht führen, die die Dielektrizitätskonstante nicht
merklich verringert.
-
Ein
Versuch zur Bildung von Schichten mit niedrigem k-Wert besteht darin,
einen Film mit hoher Porosität
und niedriger Dichte abzuscheiden, um die Dielektrizitätskonstanten
zu erhalten, die sich der Dielektrizitätskonstante von Luft nähern, d.h.
k~1. Ein Beispiel für
ein Verfahren zum Abscheiden eines porösen Films mit niedrigem k-Wert
ist in dem US-Patent 5,858,457, erteilt für Brinker et al., beschrieben. Brinker
et al. offenbaren ein Verfahren zur Bildung von Filmen mit niedriger
Dielektrizitätskonstante
mit einer hohen Filmporosität
durch Abscheiden eines Sol-Gel-Präkursors auf einem Substrat,
worauf eine selektive Verdampfung von Komponenten des Sol-Gel-Präkursors
folgt, um Assoziate zu bilden. Die Assoziate werden dann in strukturierte
poröse
Filme durch oxidative Pyrolyse in supramolekulare reaktionsdirigierende
Matrizes bei etwa 400°C
geformt. Bei dem Patent von Brinker et al. erfordert jedoch der
Pyrolyseschritt etwa vier Stunden, um das Sol-Gel zu einem porösen Film
auszuglühen.
Derart lange Zeiten sind mit dem zunehmenden Bedürfnis für hohe Verfahrensgeschwindigkeiten
bei der modernen Halbleiterfertigung nicht vereinbar.
-
Filme
auf Siliciumdioxidbasis mit hoher Porosität, beispielsweise Siliciumdioxidfilme,
wie sie in dem obigen Patent von Brinker et al. beschrieben sind,
haben gegenüber
geladenen mobilen Ionen, insbesondere Alkaliionen, beispielsweise
Natrium oder Kalium, das in den Sol-Gel-Präkursoren gebildet wird, einen
zu geringen Diffusionswiderstand. Diese Ladungsionen diffundieren
leicht in und durch den Film unter dem Einfluss von angelegten elektrischen
Feldern und erhöhen
die Leitfähigkeit
des Films und führen
zu einer Polarisierung des Films sowie zu einer Erhöhung der
Dielektrizitätskonstanten des
Films. Deshalb ist der Transport von geladenen beweglichen Ionen
für die
Isolatorfilme mit niedriger Dielektrizitätskonstante schädlich, die
für integrierte Schaltungen
mit Multiniveau-Zwischenverbindungen verwendet werden.
-
Außerdem sind
poröse
Filme auf Siliciumdioxidbasis häufig
hydrophil und absorbieren aggressiv Feuchte aus der Umgebung. Wenn
Wasser, das eine Dielektrizitätskonstante
(k) von etwa 78 hat, von dem porösen
Film absorbiert wird, können
die dielektrischen Eigenschaften – niedriger k-Wert – des porösen Films
nachteilig beeinflusst werden. Diese hydrophilen Filme werden häufig glühbehandelt,
um Feuchte zu entfernen, was jedoch nur eine vorübergehende Lösung bei
einem Abscheidungsprozess ist, da die Filme gegenüber auf
dieses Vorgehenden folgende Feuchteverunreinigung empfindlich sind. Zusätzlich ist
das Glühen
häufig
ein zeitraubender Prozess, der der Behandlungszeit des Substrats
hinzuzufügen
ist und zu geringeren Durchsatzraten führt. Zur Begrenzung der Feuchteverunreinigung
in hydrophilen Filmen wird im Allgemeinen der Film von einem hydrophilen
Film in einen hydrophen Film durch einen Silylierungsprozess und
durch Abscheiden einer Deck- oder Passivierungsschicht umgewandelt,
um die Feuchteverunreinigung in dem porösen Film zu unterbinden.
-
Ein
Problem bei der Abscheidung von Deckschichten auf porösen Filmen
besteht darin, dass poröse
Filme, beispielsweise poröse
Schleuderbeschichtungs- und Sprühbeschichtungsfilme,
bei Atmosphärendruck
abgelegt werden, beispielsweise bei mehr als etwa 300 Torr, und
dass die Deckschicht gewöhnlich
durch ein plasmaverstärktes
chemisches Gasphasenabscheidungs-(PECVD-)Verfahren abgeschieden
wird, das unter Vakuumdrucken ausgeführt wird, d.h. bei weniger
als etwa 100 Torr. Solche Vakuumprozesse und Atmosphärenprozesse
werden gewöhnlich
in gesonderten Vakuum- und Atmosphärenbehandlungssystemen oder
Gerätegruppenanordnungen
durchgeführt,
bei denen die Überführung von einem
Behandlungssystem oder einer Behandlungsvorrichtung zur anderen
den porösen
Film der Verunreinigung aussetzt. Gruppenvorrichtungen sind modulare
integrierte Mehrkammer-Behandlungssysteme, die ein zentrales Substrathandhabungsmodul und
eine Anzahl von peripheren Behandlungskammern aufweisen, wo eingebrachte
Substrate einer Reihe von Behandlungsschritten nacheinander in verschiedenen
Behandlungskammern zur Bildung von integrierten Schaltungen unterliegen.
Gruppenanordnungen wurden insgesamt als effektive und effiziente
Ausrüstung
zur Fertigung von modernen mikroelektronischen Vorrichtungen akzeptiert.
-
1 zeigt
eine Vakuumgruppenanordnung 10 mit einer Vielzahl von Einzelsubstratbehandlungskammern 12,
die an einer zentralisierten Vakuumkammer angebracht sind, die als Überführungskammer 18 bezeichnet
wird und zum Überführen von Substraten
von einer Substratkassette, die sich in einer oder mehreren Ladeschleuskammern 20 befindet,
zu einer oder mehreren Behandlungskammern dient. Diese spezielle
Vorrichtung ist für
die Aufnahme von vier (4) Einzelsubstrat-Behandlungskammern 12 gezeigt,
die radial um die Überführungskammer
angeordnet sind. Eine zu der in 1 gezeigten ähnliche
Gruppenanordnung ist durch Applied Materials, Inc., Santa Clara,
Kalifornien, lieferbar. Die Überführung der
Substrate zwischen den Behandlungskammern 12 wird gewöhnlich durch
ein Substrathandhabungsmodul 16 ausgeführt, das sich in einer zentralen Überführungskammer 12 befindet. Nachdem
die Substrate behandelt sind, werden sie durch die Ladeschleusekammer 20 zurück und in Substratkassetten
bewegt, wo die Substrate zum nächsten
System für
eine Behandlung bewegt werden. In den Behandlungskammern 12 können verschiedene
Prozes se ausgeführt
werden, beispielsweise eine physikalische Gasphasenabscheidung (PVD),
eine chemische Gasphasenabscheidung (CVD), oder ein Ätzen.
-
Typischerweise
hat man Atmosphären-Behandlungsgruppenvorrichtungen
und Vakuum-Behandlungsgruppenvorrichtungen nicht integriert. Vakuumbehandlungsvorrichtungen
erfordern die Aufrechterhaltung eines Vakuums oder die Wiederherstellung
eines Vakuums durch Vakuumpumpen während verschiedener Behandlungsschritte
in einem Prozesszyklus. Diese Vakuumforderung bedingt längere Behandlungszeiten
und niedrigere Durchsatzgeschwindigkeiten verglichen mit Atmosphärenbehandlungsvorrichtungen,
was die Integrierung solcher Systeme wenig anziehend macht. Die Überführung von
Substraten zwischen den Gruppenvorrichtungen kann jedoch zu einer
Verunreinigung der Prozesssubstrate führen, was äußerst problematisch beim Überführen von
Filmen ist, die für
eine Verunreinigung empfindlich sind, beispielsweise poröse Filme.
Derzeit gibt es in der Industrie keine Gruppenvorrichtungen, die
die Abscheidung von dielektrischen Materialien mit niedrigem k-Wert
und von Hüllmaterialien
sowohl unter Atmosphärendruck
als auch nahe bei Vakuumbehandlungsbedingungen kombinieren.
-
Deshalb
bleibt ein Bedürfnis
nach einem Verfahren zur Abscheidung von diffusionsresistenten dielektrischen
Materialien mit niedrigem k-Wert bei einem hohen Substratdurchsatz.
-
Die
vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Abscheidung einer mesoporösen
Siliciumoxidschicht mit niedriger Dielektrizitätskonstante bereit. Gemäß einem
Aspekt der Erfindung stellt diese ein Verfahren zur Abscheidung
einer Phosphor enthaltenden und eine niedrige Dielektrizitätskonstante
aufweisenden mesoporösen
Oxidschicht bereit. Der mesoporöse
Film hat vorzugsweise eine Phosphorkonzentration an einer Phosphorverbindung
wie Phosphorpentoxid (P2O5)
von ca. 2 bis ca. 8 Gew.-%. Die mesoporöse Siliciumoxidschicht wird
durch Abscheiden und Härten
eines phosphorhaltigen Sol-Gel-Präkursors unter Bildung eines
Oxidfilms, der miteinander in Verbindung stehende Poren von gleichem
Durchmesser, vorzugsweise von kubischer Struktur, aufweist, nachfolgendes
Glühen
des Films bei einer Temperatur von ca. 200 bis ca. 450EC unter Inertgasatmosphäre oder Einwirkenlassen
einer oxidierenden Atmosphäre,
die eine reaktionsfähige
Sauerstoffverbindung enthält, bei
einer Temperatur von ca. 200 bis ca. 400EC und Entfernung des Tensids
unter Bildung eines mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms
erzeugt. Der mesoporöse
Oxidfilm hat vorzugsweise eine Porosität von wenigstens ca. 50% und
eine Dielektrizitätskonstante
zwischen ca. 1,6 und ca. 2,2. Der mesoporöse Film kann auch als intermetallische
dielektrische Schicht verwendet werden.
-
Der
phosphorhaltige Sol-Gel-Präkursor
umfasst vorzugsweise eine Silicium-Sauerstoff-Verbindung, eine phosphorhaltige
Säurelösung, ein
organisches Lösungsmittel,
Wasser und ein Tensid. Der Phosphor kann in den Sol-Gel-Präkursor durch
Addition oder Substitution eines Phosphonsäureliganden (-PO(OH)2) auf einem Silicium enthaltenden chemischen
Präkursor,
durch eine Säurelösung auf
der Basis von Phosphor, die eine Säure auf Phosphorbasis umfasst
und ferner noch flüchtige
anorganische Säuren
und/oder organische Säuren
enthalten kann, und durch eine Komponente eines Tensids auf Phosphorbasis,
vorzugsweise ein Phosphat eines Tensids mit einem endständigen Alkohol,
ausgewählt
aus der Gruppe, die p-(CH3)3CCH2C6H4CH2(OCH2CH2)N-OH, p-(CH3)3COC6H4CH2(OCH2CH2)N-OH, (CH3)3CCH2C(CH3)2C6H4(OCH2CH2)N-OH, CH3(CH2)K-OH, CH3(CH2)I(CH2CH2O)J-OH, HO(CH2CH2O)M(CH2C(CH3)HO)L(CH2CH2O)MH und fluorierte Derivate davon sowie Gemische
davon umfasst, wobei N eine ganze Zahl von 6 bis 12, vorzugsweise
8, K eine ganze Zahl von 13 bis 17, I eine ganze Zahl von 6 bis
15, J eine ganze Zahl von 20 bis 106 und L eine ganze Zahl von 20
bis 80 bedeuten, eingeführt
werden.
-
Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung kann ein mesoporöser Oxidfilm auf einem Substrat
durch Bildung eines ersten Sol-Gel-Präkursors, der eine erste Silicium-Sauerstoff-Verbindung,
eine organische Säure,
ein erstes organisches Lösungsmittel,
Wasser und ein erstes Tensid umfasst, Bildung eines zweiten Sol-Gel-Präkursors,
der eine zweite Silicium-Sauerstoff-Verbindung, eine Säure auf
Phosphorbasis, ein zweites organisches Lösungsmittel, Wasser und ein
zweites Tensid aufweist, Mischen des ersten und zweiten Sol-Gel-Präkursors
unter Bildung eines gemischten Sol-Gel-Präkursors, Abscheidung des gemischten
Sol-Gel-Präkursors
auf dem Substrat, Härtung
des abgeschiedenen gemischten Sol-Gel-Präkursors unter Bildung eines
Oxidfilms und Entfernung des Tensids unter Bildung eines mesoporösen Oxidfilms
gebildet werden. Vorzugsweise wird das erste und zweite Sol-Gel
zur Erzielung eines Verhältnisses
des ersten Sol-Gel-Präkursors
zum zweiten Sol-Gel-Präkursor
von ca. 1:1 bis ca. 10:1 gemischt. Vorzugsweise weist der mesoporöse Oxidfilm
eine Phosphorkonzentration an einer Phosphorverbindung, wie z.B.
Phosphorpentoxid (P2O5),
von ca. 2 bis ca. 8 Gew.-% auf.
-
Gemäß einem
anderen Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Bildung einer
dualen Damascenastruktur bereitgestellt, das die Abscheidung einer
ersten Ätztrennwand
auf einem Substrat, die Abscheidung eines ersten mit Phosphor gedopten
mesoporösen
Oxidfilms auf der ersten Ätztrennwand, die
Abscheidung einer zweiten Ätztrennwand
auf dem ersten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilm, die Abscheidung
eines zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms auf der zweiten Ätztrennwand,
die Abscheidung einer dritten Ätztrennwand
auf dem zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilm, das Ätzen einer
dritten Ätztrennwand
und des zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms zur Begrenzung
einer vertikalen Verbindungsöffnung,
das Ätzen
der zweiten Ätztrennwand,
des ersten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms und der ersten Ätztrennwand durch
die vertikale Verbindungsöffnung
zur weiteren Begrenzung der vertikalen Verbindung, wodurch das Substrat
freigelegt wird, und das Ätzen
der dritten Ätztrennwand
und des zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms zur Begrenzung
einer horizontalen Verbindung und die Bildung eines dualen Damascenamerkmals
aufweist. Der mesoporöse Oxidfilm
hat vorzugsweise eine Phosphorkonzentration an einer Phosphorverbindung
wie Phosphorpentoxid (P2O5)
von ca. 2 bis ca. 8 Gew.-%.
-
Damit
die Art und Weise, in der die oben erwähnten Merkmale, Vorteile und
Ziele der vorliegenden Erfindung erreicht und im Einzelnen verstanden werden
können,
wird die Erfindung; wie sie vorstehend kurz zusammengefasst ist,
insbesondere unter Bezug auf ihre Ausführungsformen beschrieben, die in
den beiliegenden Zeichnungen beispielsweise dargestellt sind.
-
Anzumerken
ist jedoch, dass die beiliegenden Zeichnungen nur typische Ausführungsformen dieser
Erfindung veranschaulichen und deshalb nicht in Betracht kommen,
ihren Rahmen zu begrenzen, da die Erfindung auch andere gleich wirksame
Ausführungsformen
erlauben kann.
-
1 ist
eine schematische Draufsicht auf eine radiale Gruppenanordnung für eine Chargenbehandlung
von Halbleitersubstraten.
-
2 ist eine schematische Draufsicht auf eine
Ausführungsform
einer Vorrichtung, die ein Deckschichtmodul und ein Hochdruckabscheidemodul
der vorliegenden Erfindung aufweist.
-
3 ist eine schematische Draufsicht auf eine
Ausführungsform
eines Deckschichtmoduls der vorliegenden Erfindung.
-
4 ist
eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer Ladeschleusenkammer
der vorliegenden Erfindung.
-
5 ist
eine Draufsicht auf eine Überführungskammer
und eine Behandlungskammer und zeigt ein Substrathandhabungselement
nach der vorliegenden Erfindung, das in der Überführungskammer und in einer zurückgezogenen
Position bereit für eine
Drehung in der Überführungskammer
oder für ein
Ausfahren in eine andere Kammer angeordnet ist.
-
6 ist
eine Draufsicht auf eine Überführungskammer
und eine Behandlungskammer und zeigt ein Substrathandhabungselement
der vorliegenden Erfindung, das in der Überführungskammer angeordnet ist
und sich in einer ausgefahrenen Position befindet, wobei in der
Behandlungskammer Blätter
angeordnet sind.
-
7 ist
eine Schnittansicht einer schnellen Glühbehandlungskammer.
-
8 ist
eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer PECVD-Kammer,
die zu dem Deckschichtmodul der vorliegenden Erfindung gehört.
-
9 ist
eine Schnittansicht der PECVD-Kammer der vorliegenden Erfindung.
-
10 ist
eine auseinander gezogene Ansicht der Gasverteilungsanordnung für die PECVD-Kammer.
-
11 ist
eine Draufsicht auf eine PECVD-Kammer der vorliegenden Erfindung
bei entferntem Deckel.
-
12 ist
ein veranschaulichendes Blockdiagramm des hierarchischen Steueraufbaus
eines Rechnerprogramms für
die Prozesssteuerung.
-
13 ist
eine veranschaulichende Ansicht des Verfahrens zur Herstellung eines
mesoporösen Films,
wobei eine kubische Phasenstruktur und ein mesoporöser Filmaufbau
gezeigt sind.
-
14 ist
eine Schnittansicht, die eine duale Damaszenastruktur mit mit Phosphor
dotierten, mesoporösen
Oxidschichten der vorliegenden Erfindung zeigt.
-
15A–H
sind Schnittansichten, die eine duale Damaszenaabscheidungssequenz
unter Verwendung von mit Phosphor dotierten, mesoporösen dielektrischen
Oxidschichten der vorliegenden Erfindung zeigen.
-
Die
vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur Abscheidung einer mesoporösen
Siliciumoxidschicht mit einer niedrigen Dielektrizitätskonstante
bereit. Gemäß einem
Aspekt der Erfindung stellt diese ein Verfahren zur Abscheidung
einer mesoporösen
Oxidschicht mit niedriger Dielektrizitätskonstante und hohem Phosphorgehalt bereit.
Der mesoporöse
Film hat vorzugsweise eine Phosphorkonzentration an einer Phosphorverbindung
wie Phosphorpentoxid (P2O5)
von ca. 2 bis ca. 8 Gew.-% und insbesondere von ca. 4%. Die mesoporöse Oxidschicht
umfasst Siliciumoxid und wird durch Abscheiden und Härten eines
phosphorhaltigen Sol-Gel-Präkursors
zur Bildung eines Oxidfilms mit miteinander in Verbindung stehenden
Poren gleichen Durchmessers, vorzugsweise von kubischer Struktur,
und nachfolgendes Einwirken einer oxidierenden Atmosphäre auf den
Film, die eine reaktionsfähige
Sauerstoffverbindung enthält,
bei einer Temperatur von ca. 200 bis ca. 400EC zur Entfernung des Tensids
unter Bildung eines mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms
erzeugt. Der dem Siliciumoxidfilm zugeführte Phosphor bildet gewöhnlich Phosphoroxide
wie Phosphorpentoxid. Der mesoporöse Oxidfilm weist eine Porosität von mindestens
50% und eine Dielektrizitätskonstante
von ca. 1,6 bis ca. 2,2 auf. Der mesoporöse Film kann auch als intermetallische
dielektrische Schicht verwendet werden. Man nimmt an, dass das Dopen
mit Phosphor in vorteilhafter Weise die Vorzüge der Ionenmobilisierung, die
Beschleunigung des Abschlusses der Hydrolyse und der nachfolgenden
Kondensation während
der Abscheidung sowie verbesserte Filmfestigkeit gewährleistet.
-
Der
Sol-Gel-Präkursor
umfasst vorzugsweise eine Silicium-Sauerstoff-Verbindung, eine Phosphor
enthaltende Säurelösung, ein
organisches Lösungsmittel,
Wasser und ein Tensid. Der Präkursor auf
der Basis der Silicium-Sauerstoff-Verbindung stellt vorzugsweise
Tetraethylorthosilylat, Methyltriethoxysilan, Phenyltriethoxysilan,
p-Bis(triethoxysilyl)benzol, Bis(triethoxysilyl)methan, Hexaethoxydisiloxan
und Gemische daraus dar. Außerdem
kann der Phosphor dem Sol-Gel-Präkursor
durch Addition oder Substitution eines Phosphonsäureliganden (-PO(OH)2) auf einem Si enthaltenden chemischen Präkursor eingeführt werden.
Bevorzugte phosphorhaltige Silicium-Sauerstoff-Präkursorverbindungen umfassen
o-Phosphotriethoxylsilan, (CH3CH2O)3SiOPO(OH)2, o-Phosphoethyltriethoxylsilan (CH3CH2O)3SiCH2CH2OPO(OH)2, Phosphorylethyltriethoxylsilan (CH3CH2O)3SiCH2CH2PO(OH)2, p-Phosphorylphenyltriethoxylsilan (CH3CH2O)3Si(C6H4)PO(OH)2, Phosphonotriethoxylsilylketon (CH3CH2O)SiC(O)PO(OH)2, Phosphonotriethoxylsilan, (CH3CH2O)3SiPO(OH)2 und Gemische daraus.
-
Vorzugsweise
wird der phosphorhaltige Sol-Gel-Präkursor mit einer Säurelösung auf
Phosphorbasis gebildet. Die Säurelösung wirkt
als Katalysator im Sinne einer Beschleunigung der Hydrolyse des
Sol-Gel-Präkursors
durch Verminderung der Energie der Hydrolyseaktivierung und Katalyse
der nachfolgenden Kondensationsreaktion während der Filmbildung. Die
phosphorhalige Säurelösung ist
vorzugsweise eine Säure
auf Phosphorbasis, ausgewählt
aus der Gruppe Orthophosphorsäure
(H3PO4), Ammoniumdihydrogenphosphat,
Tetramethylammoniumdihydrogenphosphat, Phosphatester langkettiger
Alkohole, Alkoxysilylphosphonate, substituierte Derivate sowie Gemische
davon. Die phosphorhaltige Säurelösung kann
außerdem
noch flüchtige
anorganische Säuren,
vorzugsweise Salpeter-, Salz-, Perchlorsäure und Gemische davon und/oder
organische Säuren,
vorzugsweise Oxal-, Glyoxylsäure
und Gemische davon enthalten.
-
Der
Phosphor kann in den Sol-Gel-Präkursor durch
eine auf Phosphor basierende Komponente eines Tensids, vorzugsweise
ein Phosphat eines Tensids mit endständigem Alkohol, ausgewählt aus
der Gruppe p-(CH3)3CCH2C6H4CH2(OCH2CH2)N-OH, p-(CH3)3COC6H4CH2(OCH2CH2)N-OH, CH3(CH2)K-OH, CH3(CH2)I(CH2CH2O)J-OH, HO(CH2CH2O)M(CH2C(CH3)HO)L(CH2CH2O)MH, (CH3)3CCH2C(CH3)2C6H4(OCH2CH2)N-OH und fluorierte Derivate davon sowie
Gemische daraus eingeführt
werden. N ist eine ganze Zahl von 6 bis 12 und vorzugsweise 8, K
ist eine ganze Zahl von 13 bis 17, I ist eine ganze Zahl von 6 bis
15, J ist eine ganze Zahl von 20 bis 106 und L ist eine ganze Zahl
von 20 bis 80. Vorzugsweise können
zur Bildung des Sol-Gel-Präkursors
ein keinen Phosphor enthaltendes Tensid, ausgewählt aus der Gruppe p-(CH3)3C-CH2-C6H4-CH2-(OCH2CH2)8OH, p-(CH3)3COC6H4CH2(OCH2CH2)8-OH und weitere Polyethylenoxid-Copolymer-Derivate,
Polyethylenoxid-Polypropylenoxid-Polyethylenoxid-Dreiblockcopolymer-Derivate
und Gemische daraus verwendet werden.
-
Gemäß einem
weiteren Aspekt der Erfindung kann ein mesoporöser Oxidfilm auf einem Substrat
durch Bildung eines ersten Sol-Gel-Präkursors, der eine erste Silicium-Sauerstoff-Verbindung,
eine organische Säure,
ein organisches Lösungsmittel, Wasser
und ein erstes Tensid umfasst, Bildung eines zweiten Sol-Gel-Präkursors,
der eine zweite Silicium-Sauerstoff-Verbindung, eine Säure auf
Phosphorbasis, ein organisches Lösungsmittel,
Wasser und ein zweites Tensid umfasst, Mischen des ersten Sol-Gel-Präkursors
mit dem zweiten Sol-Gel-Präkursor
unter Bildung eines gemischten Sol-Gel-Präkursors,
Abscheidung des gemischten Sol-Gel-Präkursors auf dem Substrat, Härten des
abgeschiedenen gemischten Sol-Gel-Präkursors unter Bildung eines Oxidfilms
und Entfernung des Tensids aus dem mesoporösen Oxidfilm unter Bildung
eines mesoporösen
Oxidfilms gebildet werden. Vorzugsweise hat der mesoporöse Oxidfilm
eine Phosphorkonzentration an einer Phosphorverbindung wie Phosphorpentoxid (P2O5) von ca. 2 bis
ca. 8 Gew.-% und insbesondere von ca. 4 Gew.-%.
-
Ferner
stellt die Erfindung ein Verfahren zur Bildung einer dualen Damascenastruktur
bereit, das das Abscheiden einer ersten Ätztrennwand auf ein Substrat,
das Abscheiden eines ersten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms
auf der ersten Ätztrennwand,
das Abscheiden einer zweiten Ätztrennwand
auf dem ersten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilm, das Ätzen des
ersten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms zur Begrenzung einer
vertikalen Verbindungsöffnung,
das Abscheiden eines zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms
auf der zweiten Ätztrennwand,
das Abscheiden einer dritten Ätztrennwand
auf dem zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilm, das Abscheiden
eines Hartmaskenfilms auf der dritten Ätztrennwand und das Ätzen des
zweiten mit Phosphor gedopten mesoporösen Oxidfilms durch die vertikale
Verbindungsöffnung
zur weiteren Begrenzung der vertikalen Verbindung umfasst, wodurch
das Substrat freigelegt und der zweite mit Phosphor gedopte mesoporöse Oxidfilm
zur Begrenzung einer horizontalen Verbindung geätzt wird. Vorzugsweise hat
der mesoporöse
Oxidfilm eine Phosphorkonzentration an einer Phosphorverbindung
wie Phosphorpentoxid (P2O5)
von ca. 2 bis ca. 8 Gew.-% und insbesondere von ca. 4 Gew.-%.
-
2A und 3A zeigen
schematisch eine Ausführungsform
eines Deckschichtmoduls 120, bei dem die oben beschriebenen
Prozesse der Erfindung ausgeführt
werden können.
Das Deckschichtmodul 120 ist ein nahe dem Vakuumdruck behandelndes
Modul zum Abscheiden von Filmen, insbesondere Deckfilmen, die durch
plasmaverstärkte chemische
Gasphasenabscheidung (PECVD) abgeschieden werden. Nahe-Vakuum-Drucke
sind hier definiert als Drucke von etwa 100 Torr und weniger, und
vorzugsweise ist der Druck des Deckmoduls ähnlich dem Arbeitsdruck der
PECVD-Kammer von etwa 0,5 Torr bis etwa 10 Torr. Das Modul 120 ist
ein in sich geschlossenes System mit den notwendigen Behandlungseinrichtungen,
die an einem Rahmenaufbau 210 gehalten sind, der leicht
installierbar ist und einen schnellen Betriebsanlauf ermöglicht.
Das Modul 120 hat insgesamt vier Bereiche, nämlich eine Betriebsschnittstelle 122,
wo Substrate in das Modul 120 eingeführt sind, eine oder mehrere Überführungskammern 126,
von denen jede eine Substrathandhabungseinrichtung 127 aufnimmt,
wobei die Substrathandhabungseinrichtung 127 vorzugsweise in
Verbindung mit einer Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 steht,
die in der Betriebsschnittstelle 122 angeordnet ist, eine
oder mehrere, jedoch vorzugsweise zwei Tandem- oder Doppelbehandlungskammern 130,
die an der Überführungskammer 126 und
in Verbindung mit ihr angeordnet sind, sowie ein rückwärtiges Ende 140,
das die Trägereinrichtungen
aufnimmt, die für
den Betrieb des Moduls 120 benötigt werden, beispielsweise
eine Gasschalttafel 134, eine Energieverteilungsschalttafel 136 und
einen Computersteuer- Einschubschrank 138,
wie es in 2B und 3B gezeigt
ist. Das System kann für
die Anpassung an verschiedene Prozesse und tragende Kammer-Hardware
ausgelegt werden, beispielsweise die plasmaverstärkte chemische Gasphasenabscheidung
(PECVD). Die nachstehend beschriebene Ausführungsform richtet sich auf
ein System, das einen PECVD-Prozess
verwendet, beispielsweise einen Abscheidprozess für ein mesoporöses Oxiddielektrikum.
Jedoch kommen natürlich
für die
vorliegende Erfindung neben diesen auch andere Prozesse in Frage.
-
2B zeigt
schematisch eine weitere Ausführungsform
eines Abdeckschichtmodus 120 der Erfindung. Das Abdeckmodul 120 hat
ebenfalls vier Bereiche, nämlich
eine Betriebsschnittstelle 122, bei der das Substrat in
das Modul 120 eingeführt
wird, ein oder mehrere Überführungskammern 126A, 126B, von
denen jede eine Substrathandhabungseinrichtung 127A, 127B aufnimmt,
wobei die Substrathandhabungseinrichtungen 127A, 127B vorzugsweise
in Verbindung mit einer Doppelstapel-Kühlladeschleusenkammer 127 stehen,
die in der Betriebsschnittstelle 122 angeordnet ist und
in Verbindung mit einer Substratvorheizstation 125 steht,
eine oder mehrere, jedoch vorzugsweise zwei Tandem- oder Doppelprozesskammern 130,
die an der Überführungskammer 126A, 126B angebracht
und in Verbindung mit ihr stehen, sowie ein rückseitiges Ende 140 aufweist, das
die Trägereinrichtungen
aufnimmt, die für
den Betrieb des Moduls 120 erforderlich sind, beispielsweise
eine Gasschalttafel 134, eine Leistungsverteilungstafel 136 und
den Rechnersteuerungseinschub 138, wie es in 2B und 3B gezeigt
ist. Die Substratvorheizstation 125 hat insgesamt eine
Vielzahl von vertikal angeordneten Substrathaltern und sorgt für das Erhitzen
der Substrate. Die Substrathalterausrichtung und die Substratheizprozesse
sind im Einzelnen in der nachstehenden Beschreibung für die Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 offenbart, wobei
die Erfindung jedoch auch andere Vorheizstationen in Betracht zieht.
-
Überführungskammer
-
2A zeigt
eine schematische Draufsicht auf eine Ausführungsform des Behandlungsmoduls 120 der
vorliegenden Erfindung. Das Behandlungsmodul 120 hat eine Überführungskammer 126 innerhalb
einer Kammerseitenwand 133. Die Überführungskammern haben Seitenwände 133 und
einen Boden 135 und sind vorzugsweise durch spanabhebende
Bearbeitung oder auf andere Weise aus einem Materialstück hergestellt,
beispielsweise aus Aluminium. An den Seitenwänden 133 wird während des Betriebs
zur Bildung eines Vakuumraums ein Deckel (nicht gezeigt) für die Vakuumkammer 126 gehalten. Die
Seitenwand 133 der Überführungskammer 126 trägt die Behandlungskammern 130 und
sorgt für eine
Befestigung der Betriebsschnittstelle 122, die ein oder
mehrere Kühl-/Vorheiz- Ladeschleusenkammern 124 (gezeigt
nachstehend in 4) enthalten kann, die einen
Zugang über
ein Schlitzventil 121 zu den Überführungskammern bereitstellen
oder als eine Substrateinführstelle
für ihre
Behandlungen in Behandlungskammern 130 wirken. Die Seitenwand 133 für die Überführungskammer 126 bilden
einen Durchgang 128 und 132 auf jeder Seite, durch
den ein Zugang zu den anderen Kammern in dem System gebildet wird.
Die Durchgänge 128 und 132,
die durch die Seitenwände 133 hindurch
angeordnet sind, können
geöffnet
und geschlossen werden, wofür
zwei einzelne Schlitzventile oder eine Tandem-Schlitzventilanordnung
verwendet werden/wird. Die Durchgänge 128 bilden einen
Zugang für
die Betriebsschnittstelle oder den Substratbereitstellbereich 122,
wo die Substrate in die Überführungskammern 126 eingeführt werden
können.
Die Durchgänge 132 passen
mit Substratdurchgängen 610 in
Behandlungsbereichen 618, 620 (in 9 gezeigt)
zusammen, um den Eintritt von Substraten in die Behandlungsbereiche 618, 620 in
der Behandlungskammer 130 zur Positionierung auf dem Substratheizsockel 628 zu
ermöglichen.
-
Die
Behandlungskammer 130 und ein Substratbereitstellungsbereich 122 haben
eine Schlitzventilöffnung
und Schlitzventile 128, 132, die die Verbindung
zwischen der Behandlungskammer 130, einem Substratbereitstellungsbereich 122 und
der Überführungskammer 126 ermöglichen,
während
sie auch eine Vakuumisolierung der Umgebungen in jeder dieser Kammer
bilden, um ein abgestuftes Vakuum in dem System zu ermöglichen.
Schlitzventile und Verfahren zum Steuern von Schlitzventilen sind
in dem US-Patent 5,226,632 von Tepam et al. und in dem US-Patent
5,363,872 von Lerimer offenbart, die hier beide als Referenz eingeschlossen
sind. Der Boden 135 der Überführungskammer 126 bildet
einen zentralen Durchgang (nicht gezeigt), in den sich eine Substrathandhabungseinrichtung 127,
beispielsweise eine Substrathandhabungsanordnung, erstreckt und
die am Boden 135 der Überführungskammern 126 angebracht
ist. Durch den Boden 135 der Überführungskammer 126 ist
ein Gasreinigungskanal (nicht gezeigt) angeordnet, um ein Reinigungsgas während des
Abpumpens bereitzustellen.
-
2B zeigt
eine schematische Draufsicht auf eine weitere Ausführungsform
des Behandlungsmoduls 120 der vorliegenden Erfindung. Die
zweite Ausführungsform
des Behandlungsmoduls 120 hat zwei Überführungskammern 126A, 126B innerhalb einer
Kammerseitenwand 133. Die Überführungskammern 126A, 126B sind
voneinander getrennt und stehen in Verbindung sowohl mit der Betriebsschnittstelle 122,
die vorzugsweise eine oder mehrere Kühlkammern enthält, als
auch mit einer oder mehreren Vorheiz-Ladeschleusenkammern 124, die
senkrecht zur Betriebsschnittstelle 122 angeordnet sind,
sowie mit einer oder mehreren Behandlungskammern 130 oder
einer oder mehreren Behandlungsbereichen 618, 620.
Die Seitenwand 133 für
die Überführungskammern 126A, 126B bildet
Durchgänge 128 und 132 auf
jeder Seite, durch die ein Zugang zu den anderen Kammern des Systems
bereitgestellt wird.
-
Substrathandhabungseinrichtung
in der Überführungskammer
des Deckmoduls
-
Gemäß 2A werden
die Substrate, die dem Deckschichtmodul 120 durch den Vorderenden-Bereitstellungsbereich 122 bereitgestellt
werden, von dem Deckschichtmodul 120 wie folgt gehandhabt.
Wenn der Frontenden-Bereitstellungsbereich 122 geladen
ist, schließen
die Überführungskammer-Frontvakuumtore 128 zu
dem Bereitstellungsbereich 122 hin, und die Überführungskammer 126 wird
auf die Vakuumsbehandlungszustände
abgepumpt. Die Überführungskammer 126 wird
durch eine einzige oder zwei Bordvakuumpumpen (nicht gezeigt) abgepumpt,
die an dem Deckmodul 120 angebracht sind. Nach dem Vakuumpumpen
auf einen ausreichend niedrigen Druck und dem nachfolgenden Substratvorerhitzen
in der Ladeschleuse 124, vorzugsweise in einer Vorheizkammer 244 (in 4 unten
gezeigt), öffnen
die pneumatisch betätigten Frontvakuumtore 128 der Überführungskammer 126 und
erlauben gleichzeitig den Zugang zwischen den Überführungskammern 126 und
dem Frontenden-Bereitstellungsbereich 122. Das Substrathandhabungselement 127 registriert
die Substrate, die in der Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 gehalten
sind, die sich in dem Substratbereitstellungsbereich 122 befindet.
Dann nehmen die Substrathandhabungselemente in der Überführungskammer 126,
nämlich
die Doppelblatt-Überführungskammer-Substrathandhabungselemente 127,
gleichzeitig ein Substrat von jedem Stapel der Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124,
die sich in dem Frontenden-Bereitstellungsbereich 122 befindet,
und überführen die
Substrate gleichzeitig in Behandlungsbereich 618, 620 einer
Zwillingsbehandlungskammer 130 oder überführen das jeweilige Substrat
in Einzelbehandlungskammern 130 abhängig von der Auslegung des
Deckmoduls 120. Alternativ können die Substrate vor den
Schlitzventilen 132 zu der Behandlungskammer 130 während des
Vakuumpumpens vorpositioniert werden.
-
Wenn
das Substrat angeordnet ist, ziehen sich die Überführungskammer-Substrathandhabungseinrichtungen 127 aus
der Behandlungskammer 130 zurück, und die Schlitzventil 132 werden
geschlossen. Das Substrat, auf dem bereits eine dielektrische Schicht
in einem Hochdruckabscheidemodul 101 abgeschieden worden
ist, wird dann in der Behandlungskammer 130 durch Abscheidung
mit einer Deckschicht durch PECVD versehen. Nach Abschluss der Behandlung
werden die Schlitzventile 132 geöffnet und die Überführungskammer-Substrathandhabungseinrichtung 127 entfernt
die Substrate aus den Behandlungsbereichen 618, 620 und
legen die Substrate in der Kühlkammer 242 der
Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 ab. Nach
der Ablage eines Substrats in den Vor heizmodulen 124 holt
die Substrathandhabungseinrichtung das nächste Paar von Substraten aus
der Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 ab, die
in der Bezifferungssequenz angezeigt ist. Dieses Substrat wird dann überführt, behandelt
und an der Überführungskammer-Substrathandhabungseinrichtung 127 als
das vorhergehende Substrat abgeholt. Dieses Verfahren setzt sich
fort, bis alle Substrate der Vorheizkammer 244 in der PECVD-Behandlungskammer 130 behandelt
und in der Kühlkammer 244 abgelegt
sind. Wenn das letzte Substrat behandelt worden ist, werden die
Schlitzventile 132 zur Behandlungskammer 130 geschlossen.
-
Dann
wird die Überführungskammer 126 auf Atmosphärendruck
unter Verwendung eines Inertgases, wie Argon, belüftet, und
die Frontvakuumtore 128 werden geöffnet. Die Überführungskammerbelüftung kann
fakultativ beginnen, sobald die Schlitzventile 132 geschlossen
haben, nachdem das letzte Paar von Substraten behandelt worden ist.
Dies ermöglicht
die Belüftung
der Überführungskammer 126,
wenn der letzte Satz von Substraten zu der Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 zurückgeführt wird,
was die Behandlungszeit in dem Abdeckmodul 120 verringert.
Wenn die Belüftung
abgeschlossen ist, holt die Überführungskammer-Substrathandhabungseinrichtung 112 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 das Substrat aus der Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 ab und
entlädt
gleichzeitig alle behandelten Substrate in die Substratkassetten 104,
die sich in dem Frontenden-Bereitstellungsbereich 102 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 befinden.
-
Nachdem
das letzte Paar von Substraten in jeder Charge behandelt und aus
der Behandlungskammer 130 entfernt worden ist und die Schlitzventile 132 geschlossen
worden sind, kann der Behandlungskammer-Reinigungsprozess einsetzen,
durch den die Behandlungskammer für die nächste Charge von Substraten
vorbereitet wird. Dies ermöglicht
es, dass der Reinigungsprozess im Hintergrund weitergeht, während die Überführungskammer 126 belüftet wird
und die Substrate ausgetauscht werden.
-
Hochdruckabscheidungsmodul
-
Gemäß 3A ist
bei einer anderen Ausgestaltung der Erfindung das Deckschichtmodul 120 mit einem
Hochdruckabscheidungsmodul 101 über einen Substratbereitstellungsbereich 122 verbunden. Das
Hochdruckabscheidungsmodul 101 scheidet vorzugsweise dielektrische
Materialien ab, beispielsweise die nachstehend erörterten
mesoporösen Oxidfilme,
und es wird häufig
darauf als Hochdruckabscheidungsmodul Bezug genommen. Das Hochdruckabscheidungsmodul 101 ist
ein in der Nähe
des Atmosphärendruck
behandelndes Mo dul zum Abscheiden von Filmen, wobei Hochdruck oder Druck
in der Nähe
des Atmosphärendrucks
hier als Drucke von etwa 300 Torr und mehr und vorzugsweise als
Drucke von mehr als 500 Torr definiert werden.
-
Das
Deckschichtmodul 120 und das Hochdruckabscheidemodul 101,
die miteinander verbunden sind, bilden das Behandlungssystem 100 der vorliegenden
Erfindung. Der Substratbereitstellungsbereich 122 verwendet
die Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 zur Überführung von
Substraten zwischen dem Deckschichtmodul 120 und dem Hochdruckabscheidemodul 101.
Das Hochdruckabscheidemodul 101 ist vorzugsweise ein in
Schritte unterteiltes Atmosphärensystem,
zu dem eine oder mehrere Substratschleuderbeschichtungskammern 114 mit
entsprechenden Schlitzventilen 113, eine oder mehrere Härtungskammern 116 mit entsprechenden
Schlitzventilen 115, eine oder mehrere Substrataustreibkammern 118 mit
entsprechenden Schlitzventilen 117, eine oder mehrere Silylierabscheidekammern 123 mit
entsprechenden Schlitzventilen 119, Doppelstapel-Kühlstationen 110 in
der Kühlstation 111 sowie
ein Substrathandhabungselement 112 gehören, das in der Überführungskammer 108 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 angeordnet ist. Vorzugsweise
sind jeweils eine Schleuder-Beschichtungskammer 114, Härtungskammer 116,
Austreibkammer 118 und Silylierkammer 123 vorhanden,
wobei jede Kammerart in einem vertikal beabstandeten Stapel mit
der Überführungskammer 108 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 angeordnet ist.
-
Wie
in 3B gezeigt ist, können die Kammern, beispielsweise
die eine oder mehrere Substrathärtungskammern 116,
an oder in einer Ladeschleuse 124 für eine effiziente Raumeinsparung
angebracht werden. Das Substrathandhabungselement 112 ist
insgesamt ein zweiarmiges Substrathandhabungsgerät 112, das vorzugsweise
zwei Arme mit unabhängiger
Drehbewegung hat, wobei jeder Arm einen Zugang zu den verschiedenen
Kammern in der Überführungskammer 108 des
Moduls 101 hat. Alternativ kann die zweiarmige Handhabungseinrichtung 112 sich
bewegende Tandemarme haben, die vorzugsweise das gleiche Modell
sind wie die Substrathandhabungseinrichtung 127 des Deckschichtmoduls 120.
-
Der
Frontenden-Bereitstellungsbereich 102 des Hochdruckabscheidungsmoduls 101 des
Behandlungssystems 100 hat gewöhnlich eine oder mehrere Substratkassetten 106,
die in einer Beziehung mit horizontalem Abstand voneinander auf
einer Bereitstellungsplattform 102 gebracht sind, die mit
der Überführungskammer 108 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 verbunden ist. Die Substratkassetten 106 sind
so ausgelegt, dass sie eine Vielzahl von Substraten halten, die
in einer im Abstand vertikalen Anordnung angeordnet sind. Die Substratkassetten 106 haben
vorzugsweise zwei oder mehrere Kassettenplatten (nicht gezeigt)
oder andere Substratträger,
die in einer vertikalen Abstandsbeziehung angeordnet sind, um die
darin angeordneten Substrate in einer vertikalen Stapelanordnung
zu halten. Zwischen Doppelstapel-Kühlstationen 110 in
der Kühlstation 111 und
den Ladeschleusen 106 kann eine Substratablage 103 angeordnet
werden, um eine Kühlablage
für Substrate
während
des Substrataustausches zwischen der Kühlstation 111 und
den Ladeschleusen 106 bereitzustellen. Alternativ kann die
Substratablage 103 eine Vorheizstation für Substrate
aufweisen, die in das Modul 101 für die Behandlung geführt werden.
-
In
dem Frontenden-Bereitstellungsbereich 102 ist ein Paar
von Substrathandhabungseinrichtungen oder Bereitstellungs-Substrathandhabungseinrichtungen 104 angeordnet.
Die Bereitstellungs-Substrathandhabungseinrichtungen 104 sind
so ausgelegt, dass sie ein Substrat in das Hochdruckabscheidungsmodul 101 oder
in die Substratkassetten 106 des Hochdruckabscheidungsmoduls 101 laden
und daraus entfernen, wobei die Bereitstellungs-Substrathandhabungseinrichtung 104 vorzugsweise
zwischen den Substratkassetten 106 und den Doppelstapel-Kühlstationen 110 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 angeordnet ist. Die Bereitstellungs-Substrathandhabungseinrichtung 104 hat
vorzugsweise ein Substratregistriersystem zum Registrieren der Substrate
in jeder Substratkassette 106 für die Vorbereitung zum Laden
der Substrate in das Hochdruckabscheidungsmodul 101. Eine
Substrathandhabungseinrichtung mit einem Substratkartiersystem,
das vorteilhafterweise bei dem vorliegenden System verwendet wird,
ist von Equippe Technologies, Sunnyvale, Kalifornien, als Modell
Nr. ATM 105 oder 107 erhältlich. Der Substratkartiersensor überprüft die Anzahl
von Substraten und die Ausrichtung der Substrate in der Kassette 106,
bevor die Substrate in die Überführungskammer 108 des
Hochdruckabscheidungsmoduls 101 für die Abscheidung der dielektrischen
Schicht überführt werden.
-
Das
in 3A gezeigte Hochdruckabscheidungsmodul 101 enthält zwei
vertikal gestapelte Doppel-Substratschleuderbeschichtungskammern 114,
zwei Säulen
von vier vertikal gestapelten Substrathärtungskammern 116,
vier vertikal gestapelte Doppelsubstrataustreibkammern 118 und
Silylierabscheidungskammern 123. Alle vertikal gestapelten Kammern
sind einer Substrathandhabungseinrichtung 112 zugewandt,
die zentral zu den Kammern 114, 116, 118, 123 angeordnet
ist.
-
Substrathandhabung
in dem Hochruckabscheidungsmodul
-
Der
Dielektrikums-Substrathandhabungsprozess beginnt damit, dass die
Bereitstellungs-Substrathandhabungseinrichtungen 104 die
Substrate in jeder Substratkassette 106 registrieren. Nach
der Registrierung werden die Substrate zu den Bereitstellungs-Substrathandhabungseinrichtungen 104 der
Doppelstapel-Kühlstationen 110 in
der Kühlstation 111 überführt. Die
Substrathandhabungseinrichtung 112 des Hochdruckabscheidungsmoduls
holt ein Substrat aus den Doppelstapel-Kühlstationen 110 ab
und überführt das
Substrat zu der Dielektrikums-Substratschleuderbeschichtungskammer 114 zum
Abscheiden einer Sol-Gel-Präkursorschicht.
Die Substrathandhabungseinrichtung 112 des Moduls kann
die Substratschleuderbeschichtungskammer 114 auffüllen, bevor
die Behandlung erfolgt, oder kann für Mehrfach-Schleuderbeschichtungskammern
für das
Absetzen von Substraten in den Substratschleuderbeschichtungsmodulen 114 programmiert
werden, während
ein oder mehrere Schleuderbeschichtungsmodule 114 ein Substrat
behandeln. Wenn der Sol-Gel-Präkursor abgeschieden worden
ist, holt die Substrathandhabungseinrichtung 112 des Moduls
das Substrat ab und überführt das Substrat
zu einer Härtungs-
oder Wärmebehandlungskammer 116.
Aufgrund der relativen Länge
der Härtung
verglichen mit einem anderen Behandlungsschritt bei der Abscheidungssequenz
der dielektrischen Schicht wird eine proportional größere Anzahl von
Härtungskammern 116,
vorzugsweise etwa 8 Härtungskammern
pro zwei Doppel-Substratschleuderbeschichtungskammern 114,
in der Überführungskammer 108 des
Moduls 101 angeordnet. Die Substrathandhabungseinrichtung 112 des
Moduls kann so programmiert sein, dass sie die Härtungskammern 116 mit
schleuderbeschichteten Substraten vor der Behandlung füllt, oder
kann so programmiert sein, dass sie die Substrate wie gewünscht in die
Härtungskammern 116 lädt und daraus
entlädt. Nachdem
der gewünschte
Grad der Härtung
erreicht worden ist, wird das Substrat zu einer Substrataustreibkammer 118 überführt. Das
Substrat wird in der Substrataustreibkolonne zum Entfernen von oberflächenaktivem
Stoff angeordnet, der in dem gehärteten Sol-Gel-Präkursor zurückgeblieben
ist. Obwohl es nicht gezeigt ist, kann eine fakultative Wärmebehandlungskammer
in der Überführungskammer 108 des
Moduls 103 für
eine Wärmebehandlung
des Substrats zum Entfernen von Feuchte, Lösungsmitteln oder oberflächenaktiven
Stoffen aus dem Substrat angeordnet werden, um entweder das Substrat
für das
Ozonaustreiben vorzubereiten oder um ein alternatives Verfahren
zur Bildung des mesoporösen Films
abgesehen durch Ozonaustreibung bereitzustellen.
-
Wenn
der abgeschiedene dielektrische Film silyliert werden soll, wird
dann das Substrat aus der Substrataustreibkammer 118 abgeholt
und in die Silylierkammer 123 überführt. Alternativ wird für die Abscheidung
der Deckschicht das Substrat in den Substratbereitstellungsbereich 122 für das Abdeckschichtmodul 120 überführt. Wenn
die Behandlung entweder durch die Silylierkammer 123 oder
das Deckmodul 120 erfolgt ist, holt die Substrathandhabungseinrichtung 112 das
Substrat ab und überführt das
Substrat zu den Substratkassetten 106 über die Doppelstapel-Kühlstationen 110.
-
Frontenden-Bereitstellungsbereich
-
Gemäß 2 und 3 ist
die Betriebsschnittstelle oder der Substratbereitstellungsbereich 122 eine
Atmosphärendruckvorrichtung,
die eine schnelle Überführung aus
dem Substratbereitstellungsbereich in die Kammern, beispielsweise
das Hochdruckabscheidungsmodul 101, vor dem Vakuumabpumpen erlaubt,
das gewöhnlich
bei oder nahe dem Atmosphärendruck
arbeitet. 3A zeigt den Frontenden-Bereitstellungsbereich 102 des
Moduls 101, der vorzugsweise eine Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 aufweist,
die ein oder mehrere Substratkassetten hat, die in der Doppelstapel-Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 für die Behandlung
angeordnet sind. Die Substratkassetten sind so ausgelegt, dass sie
eine Vielzahl von Substraten in einer vertikalen Abstandsbeziehung
halten, wobei die Substrathandhabungselemente 112, 127 die
Substrate von gegenüberliegenden
Seiten der Substratkassetten aus ablegen und abholen können. Bei
der in 2A gezeigten alternativen Ausgestaltung
wirkt die Ladeschleusenkammer 124 auch als Kühlstation
für einen
Substrattransport zwischen den Modulen 101 und 120 und
der Vorheizung, die in einer gesonderten Kammer ausgeführt wird.
-
In
der Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 vor
oder nach der Behandlung aufgenommene Substrate werden in das Modul 120 durch
ein oder mehrere Überführungskammertore 128 (in 2A gezeigt)
geladen, die durch die Überführungskammerseitenwand 133 durchgehend
angeordnet sind. Angrenzend an die Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 und
die Überführungskammertore 128 ist
eine Substrathandhabungseinrichtung 127 in der Überführungskammer 126 angeordnet.
Vorzugsweise hat die Substrathandhabungseinrichtung 127 ein Substratkartierungssystem
zum Registrieren der Substrate in jeder Substratkassette für die Vorbereitung
des Beladens und Entladens von Substraten in die Behandlungskammern 130,
die an der Überführungskammer 126 angebracht
sind.
-
Die
Substrathandhabungseinrichtung 127 kann in die Ladeschleusenkammer 124 gleichzeitig wie
die andere Substrathandhabungseinrichtung 112 (in 3A gezeigt)
eintreten, da die Ladeschleuse sich für die Überführung der Substrate zu der
Ladeschleusenkammer 124 von dem Hochdruckabscheidungsmodul 101 aus
auf Atmosphärendruck
befindet. Die Öffnung
in der Seite 128 der Überführungskammer 126 wird
vor dem Vakuumabpumpen der Überführungskammer 126 geschlossen,
das erfolgt, bevor die Substrate in die Behandlungskammer 130 für das Abscheiden
der Deckschicht überführt werden.
-
Doppelpositions-Ladeschleusenkammer
-
4 zeigt
eine aufgeschnittene perspektivische Ansicht der Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 der
vorliegenden Erfindung. Die Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 hat
Kammerwände 202,
einen Boden 204 und einen Deckel 206. Die Kammer 124 hat
zwei gesonderte Umgebungen oder Abteile 242, 244 und
einen Überführungsbereich 246.
Die Abteile 242, 244 haben eine Substratkassette
in jedem Abteil 242, 244 zum Halten von Substraten
in ihnen. Jedes Abteil 242, 244 hat eine Tragplattform 249 und
eine obere Plattform 250 zur Bildung des Bodens und der
Oberseite der Abteile 242, 244. In den Abteilen 242, 244 kann
vertikal eine Tragwand 252 angeordnet werden, um die Plattformen 248, 250 in
einer Abstandsbeziehung zu halten. Der Überführungsbereich 246 hat
einen oder mehrere Durchgänge 121 für einen
Zugang aus der Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 in
die Überführungskammern 108, 126.
Die Durchgänge 121 werden
vorzugsweise durch Verwendung von Schlitzventilen und Schlitzventil-Betätigungseinrichtungen
geöffnet
und geschlossen.
-
Das
Abteil 242 hat eine Kühlstation
für Substrate,
folgend auf die Behandlung in den Behandlungskammern der Überführungskammer 108 oder
in dem Abdeckmodul 120. Bei der in 2A gezeigten alternativen
Ausgestaltung können
beide Abteile 242, 244 Kühlstationen für Substrate
folgend auf die Behandlung in den Behandlungskammern der Überführungskammer 108 oder
in dem Deckmodul 120 bereitstellen.
-
Das
Abteil 244 wird bezüglich
des Abteils 242 selektiv erhitzt und wirkt dadurch als
Vorheizmodul vor der Behandlung der Substrate in den Behandlungskammern 130 des
Deckmoduls 120. Das Heizabteil 244 hat vorzugsweise
ein Heizelement, beispielsweise eine Heizlampe, einen Fluidwärmetauscher
oder ein Widerstandsheizelement, um darin die Substrate einzeln
zu erwärmen,
oder kann alternativ ein Heizelement zum gleichzeitigen Erwärmen aller Substrate
in dem Abteil 244 haben. Bei einer anderen Ausgestaltung
der Ladeschleuse 124 können
die Härtungsmodule 116 in
dem Vorheizabteil 244 angeordnet werden, wodurch eine Härtung des
abgeschiedenen Films oder eine Vorheizung des Substrats vor der
Behandlung in dem Modul 120 bereitgestellt wird und wirksam
Raum eingespart wird.
-
Die
Abteile 242, 244 sind jeweils mit einem Hubschaft 224 verbunden,
von denen jeder mit einem Motor verbunden ist, beispielsweise einem Schrittmotor
oder dergleichen, um die Abteile nach oben oder nach unten in der
Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 zu
bewegen. Am Umfang ist in der Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 ein Dichtungsflansch 256 vorgesehen,
um eine Dichtungsfläche
für die
Tragplattform 248 des Abteils 242 zu bilden. Ähnlich ist
ein Dichtungsflansch 258 angeordnet, um eine Dichtungsfläche für die Tragplattform 250 des
Abteils 244 zu bilden. Die Abteile 242, 244 sind
voneinander durch die Dichtungsflansche 256, 258 getrennt,
wodurch ein unabhängiges
gestuftes Vakuum der Abteile 242, 244 in der Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124 bereitgestellt
wird.
-
In
Räumen 260, 262 wird über eine
darin angeordnete Vakuumöffnung
ein Rückseitendruck
aufrechterhalten. In den Räumen 260, 262 ist über Abführleitungen 264 eine
Vakuumpumpe so verbunden, dass in den Räumen 260, 262 ein
hohes Vakuum gebildet werden kann, um die Abdichtung der Plattformen 248, 250 an
den Dichtungsflanschen 256, 258 zu unterstützen.
-
In
Betrieb können
die Abteile 242, 244 der in 4 gezeigten
Position beladen oder entladen werden. Durch die Frontwand (nicht
gezeigt) an den oberen und unteren Grenzen der Kühl-/Vorheiz-Ladeschleusenkammer 124,
die mit den Abteilen 242, 244 übereinstimmen, sind Ladetore
und Betätigungseinrichtungen
(nicht gezeigt) vorgesehen. Der Druck in einem gewählten Abteil
wird, nachdem die Substrate in das Abteil geladen worden sind, über Abführleitungen 287, 289 durch
Abpumpen erreicht, und das gewählte
Abteil wird in den Überführungsbereich 246 bewegt.
Die Abteile 242, 244 bewegen sich unabhängig in
den Überführungsbereich 246 durch
den Schrittmotor. Der Vorteil, ein oberes und ein unteres Abteil 242 bzw. 244 zu
haben, besteht darin, dass das Behandeln eines Satzes von Substraten
erfolgen kann, während
ein zweiter Satz von Substraten in das andere Abteil geladen wird,
und dass das Abteil auf den geeigneten Druck abgepumpt wird, so
dass das Abteil in den Überführungsbereich 246 bewegt und
in Verbindung mit den Überführungskammern 108, 126 gebracht
werden kann.
-
Überführungskammer-Substrathandhabungseinrichtung
-
5 zeigt
eine schematische Draufsicht auf eine Ausführungsform einer magnetisch
gekoppelten Substrathandhabungseinrichtung 500 der vorliegenden
Erfindung in einer zurückgezogenen
Stellung für
ein freies Drehen in der Überführungskammer 126 (und
alternativ in der Überführungskammer 108,
wie im Einzelnen oben beschrieben ist). Die Substrathandhabungseinrichtung
mit Doppel-Substrathandhabungsblättern 520, 522 befindet
sich in der Überführungskammer 126,
um die Substrate 502 von einer Kammer zur anderen zu überführen. Eine
Substrathandhabungseinrichtung mit "sehr hoher Produktivität" (VHP), die für die Vorteile
der vorliegenden Erfindung modifiziert und verwendet werden kann,
ist Gegenstand des US-Patents 5,469,035, ausgegeben am 21. November
1995 mit dem Titel "Zweiachsige magnetisch
gekoppelte Substrathandhabungseinrichtung", und wird hier als Referenz eingeschlossen.
-
Die
magnetisch gekoppelte Substrathandhabungseinrichtung 500 hat
eine froschschenkelartige Anordnung, die zwischen zwei Vakuumseitennaben (auf
die auch als Magnetklemmen Bezug genommen wird) und die Doppelsubstratblätter 520, 522 geschaltet
sind, um innerhalb einer festgelegten Ebene sowohl eine Radial-
als auch eine Drehbewegung der Substrathandhabungsblätter bereitzustellen.
Die Radial- und Drehbewegung kann koordiniert oder kombiniert werden,
um zwei Substrate aufzunehmen, zu überführen und von einer Stelle in
dem System 100 zu einer anderen zu befördern, beispielsweise von einer
Behandlungskammer 130 zu einer anderen Kammer, beispielsweise
der Ladeschleuse 124. Bei der in 2B gezeigten
Ausführungsform
ist ein Einarm-Robot in den Überführungskammern 126A, 126B angeordnet.
-
Die
Substrathandhabungseinrichtung hat eine erste Strebe 504,
die starr an einer ersten Magnetklemme 524 an einer Stelle 525 befestigt
ist, sowie eine zweite Strebe 506, die starr an einer zweiten Magnetklemme 526 (konzentrisch
unter der ersten Magnetklemme 524 angeordnet) an einer
Stelle 527 festgelegt ist. Durch einen Schwenkzapfen 510 ist eine
dritte Strebe 508 an der Strebe 504 und durch einen
Schwenkzapfen 512 an der Substratblattanordnung 540 befestigt.
Durch einen Schwenkzapfen 516 ist eine vierte Strebe 514 an
der Strebe 506 und durch einen Schwenkzapfen 518 an
der Substratblattanordnung 540 befestigt. Der Aufbau der
Streben 504, 508, 506, 514 und
der Schwenkzapfen 510, 512, 516, 618 bilden
eine "froschschenkel"-artige Verbindung
zwischen der Substratblattanordnung 540 und den Magnetklemmen 524, 526.
-
Wenn
sich die Magnetklammern 524, 526 in der gleichen
Richtung mit der gleichen Winkelgeschwindigkeit drehen, dreht sich
auch die Substrathandhabungseinrichtung 500 um eine Achse A in der gleichen
Richtung mit der gleichen Geschwindigkeit. Wenn sich die Magnetklammern 524, 526 in
entgegengesetzte Richtungen mit der gleichen absoluten Winkelgeschwindigkeit
drehen, gibt es keine Drehung der Anordnung 500, jedoch
stattdessen eine lineare Radialbewegung der Substratblattanordnung 540 in
eine in 6 gezeigte Position.
-
Es
sind zwei Substrate 502 auf die Substratblattanordnung 540 geladen
gezeigt, um zu veranschaulichen, dass die einzelnen Substratblätter 520, 522 durch
einzelne Substratdurchgänge 132 in
der Seitenwand 133 der Überführungskammer 126 ausgefahren
werden können,
um die Substrate 502 in die Behandlungsbereiche 618, 620 der
Kammer 130 oder aus ihnen heraus zu überführen. Die magnetisch gekoppelte
Substrathandhabungseinrichtung 500 wird durch die relative
Drehbewegung der Magnetklammern 524, 526 entsprechend
der Relativgeschwindigkeit der beiden Motore gesteuert. Es ist ein erster
Betriebsmodus vorgesehen, bei dem beide Motoren die Magnetklammern 524, 526 zum
Drehen in der gleichen Richtung mit der gleichen Geschwindigkeit
veranlassen. Da dieser Modus eine Relativbewegung der Magnetklammern
herbeiführt,
dreht sich die Substrathandhabungseinrichtung lediglich um eine
zentrale Achse A, gewöhnlich
aus einer Position, die für
den Substrataustausch mit einem Paar von Behandlungsbereich 618, 620 geeignet
ist, in eine Position, die für
den Substrataustausch mit einem weiteren Paar von Behandlungsbereichen
geeignet ist.
-
Wenn
die voll eingezogene Substrathandhabungsvorrichtung um die zentrale
Achse A gedreht wird, bilden außerdem
die äußersten
radialen Punkte 548 längs
des Randes des Substrats einen minimalen Kreisbereich 550,
der zum Drehen der Substrathandhabungseinrichtung erforderlich ist.
Die magnetisch gekoppelte Substrathandhabungseinrichtung hat auch
einen zweiten Modus, in welchem beide Motoren die Magnetklammern 524, 526 zum
Drehen in entgegengesetzte Richtungen mit der gleichen Geschwindigkeit
bringen. Dieser zweite Modus wird dazu verwendet, Substratblätter 520, 522 der
Substratblattanordnung 540 durch die Durchgänge 132 und
in die Behandlungsbereiche 618, 620 auszuführen oder
umgekehrt die Blätter
davon zurückzuziehen.
Es können
andere Kombinationen der Motordrehung benutzt werden, um ein gleichzeitiges
Ausfahren oder Zurückziehen
der Substratblattanordnung 540 bereitzustellen, wenn die
Substrathandhabungseinrichtung 500 um die Achse A gedreht
wird.
-
Um
die Substratblätter 520, 522 der
Substratblattanordnung 540 radial von der Drehachse A weggerichtet
zu halten, wird zwischen den Schwingzapfen oder Nocken 512, 518 ein
Verriegelungsmechanismus verwendet, um eine gleiche oder entgegengesetzte
Winkeldrehung eines jeden Schwenkzapfens zu gewährleisten. Der Verriegelungsmechanismus
kann viele Auslegungen haben, einschließlich ineinander greifende
Zahnräder
oder um die Schwenkzapfen achterförmig gezogene Bänder oder Äquivalente.
Ein bevorzugter Arretiermechanismus ist ein Paar von Metallbändern 542 und 544,
die mit den Schwenkzapfen 512, 518 der Substratblattanordnung 540 gekoppelt
sind und sich zwischen sie erstrecken. Die Bänder 542, 544 verbinden
die Schwenkzapfen 512, 518. Bevorzugt wird, dass
die Bänder 542, 544 individuell
einstellbar sind und eines über
dem anderen angeordnet ist. In 5 und 6 sind
die Bänder
auch so gezeigt, dass sie um eine Stange 546 an der Basis
des U-förmigen Doppelblatts
herumgehen. Wenn eine Doppelblatt-Tandem-Substrathandhabungseinrichtung
in der Überführungskammer 126 verwendet
wird, wird vorzugsweise die oben beschriebene Handhabungseinrichtung
verwendet.
-
6 zeigt
die Substrathandhabungseinrichtungsarme und die Blattanordnung von 5 in einer
ausgefahrenen Stellung. Dieses Ausfahren wird durch gleichzeitiges
und gleiches Drehen der Magnetklammer 526 im Uhrzeigersinn
und der Magnetklammer 524 im Gegenuhrzeigersinn erreicht.
Die einzelnen Blätter 520, 522 der
Substratblattanordnung 540 sind ausreichend lang, dass
sie sich durch die Durchgänge 132 erstrecken
und die Substrate 502 über
den Sockeln 628 (siehe 8) zentrieren. Wenn
die Substrate 502 einmal von den Blättern durch ein Paar von Hubstiftanordnungen
abgehoben worden sind, werden die Blätter zurückgezogen und die Durchgänge 132 durch
ein Schlitzventil und eine Betätigungseinrichtung,
wie oben beschrieben, geschlossen.
-
Austreibkammer
-
7 ist
eine Schnittansicht einer beispielsweisen Substrataustreibkammer
nach der Erfindung. Insbesondere ist 7 eine schnelle
Wärmbehandlungskammer,
die in der Lage ist, sowohl ein nicht reaktives Gas wärmezubehandeln
als auch ein oxidierendes Gas aus einem abgeschiedenen Film auszutreiben.
Die Substrataustreibkammer oder die schnelle Glühbehandlungskammer 118 (RTA
= Rapid Thermal Anneal) ist vorzugsweise mit der Überführungskammer 108 verbunden.
Das Hochdruckabscheidungsmodul 101, wie es in 2 und 3 gezeigt ist,
hat vorzugsweise zwei RTA-Kammern 118, die vorzugsweise
auf gegenüberliegenden
Seiten der Überführungskammer 108 von
dem Deckmodul 120 aus angeordnet sind, wobei die Substrate
in die RTA-Kammer 118 durch die Substrathandhabungseinrichtung 112 und
aus ihr heraus überführt werden.
-
Glühbehandlungskammern
sind insgesamt im Stand der Technik bekannt und werden gewöhnlich bei
Substratbehandlungssystemen verwendet, um die Eigenschaften der
abgeschiedenen Materialien zu modifizieren. Erfindungsgemäß werden
die Glühbehandlungskammern 118 dazu
verwendet, um ein Austreiben von Tensiden durch ein Hochtemperaturglühen bei
Vorhandensein eines Reaktionsteilnehmergases oder eine Oxidation
des freiliegenden Films zum Entfernen des Tensids auszuführen. Eine spezielle
Glühbehandlungskammer,
die für
die vorliegende Erfindung geeignet ist, ist die WxZ-Kammer, die
von Applied Materials, Inc., Santa Clara, Kalifornien, vertrieben
wird. Obwohl die Erfindung unter Verwendung einer Glühbehandlungskammer
mit einer heißen
Platte beschrieben wird, lässt
die Erfindung auch Verwendungen anderer Wärmbehandlungskammern zu, die
zur Durchführung
der Prozesse der Erfindung geeignet sind.
-
Die
RTA-Kammer 118 hat insgesamt einen Mantel 902,
eine Heizplatte 904, eine Heizeinrichtung 907 und
eine Vielzahl von Substratträgerstiften 906.
Der Mantel 902 hat eine Basis 908, eine Seitenwand 910 und
eine Oberseite 912. Unter der Oberseite 912 des
Mantels ist vorzugsweise eine kalte Platte 913 angeordnet.
Alternativ ist die kalte Platte in einem Stück als Teil der Oberseite 912 des
Mantels ausgeführt.
Vorzugsweise ist in dem Mantel 902 auf der Basis 908 eine
Reflektor-Isolator-Scheibe 913 angeordnet. Die Reflektor-Isolator-Scheibe 914 ist gewöhnlich aus
einem Material, wie Quarz, Aluminiumoxid oder einem anderen Material
hergestellt, das hohe Temperaturen (d.h. mehr als etwa 500°C) aushält und als
Wärmeisolator
zwischen der Heizeinrichtung 907 und dem Mantel 902 wirkt.
Die Scheibe 914 kann auch mit einem reflektierenden Material,
wie Gold, beschichtet sein, um Wärme
zurück
zur Heizplatte 906 zu leiten.
-
Die
Heizplatte 904 hat vorzugsweise eine große Masse
verglichen mit dem in dem System zu behandelnden Substrat und ist
vorzugsweise aus einem Material, wie Siliciumcarbid, Quarz oder
anderen Materialien hergestellt, die mit Umgebungsgasen in der RTA-Kammer 118 oder
mit dem Substratmaterial nicht reagieren. Die Heizeinrichtung 907 weist
gewöhnlich
ein Widerstandsheizelement oder eine leitende/strahlende Wärmequelle
auf und ist zwischen der Heizplatte 906 und der Reflektor-Isolator-Scheibe 914 angeordnet.
Die Heizeinrichtung 907 ist mit einer Leistungsquelle 916 verbunden,
die die Energie einspeist, die benötigt wird, um die Heizeinrichtung 907 zu
erhitzen. Vorzugsweise ist in einer Leitung 922, die durch
die Basis 908 und die Scheibe 914 hindurchgehend
angeordnet ist und sich in die Heizplatte 904 erstreckt,
ein Thermoelement 920 angeordnet. Das Thermoelement 920 ist
mit einer Steuerung 921 verbunden und liefert der Steuerung 921 Temperaturmessungen.
Die Steuerung 921 erhöht oder
verringert dann die Wärme,
die der Heizeinrichtung 907 zugeführt wird, entsprechend den
Temperaturmessungen und der gewünschten
Wärmebehandlungstemperatur.
-
Der
Mantel 902 hat vorzugsweise ein Kühlelement 918, das
außerhalb
des Mantels 902 in thermischem Kontakt mit der Seitenwand 910 angeordnet
ist, um den Mantel 902 zu kühlen. Alternativ werden ein
oder mehrere Kühlkanäle (nicht
gezeigt) in der Seitenwand 910 zur Steuerung der Temperatur des
Mantels 902 ausgebildet. Die auf der Innenfläche der
Oberseite 912 angeordnete kalte Platte 913 kühlt ein
Substrat, das in unmittelbarer Nähe
zu der kalten Platte 913 angeordnet ist.
-
Die
RTA-Kammer 118 hat ein Schlitzventil 992, das
an der Seitenwand 910 des Mantels 902 angeordnet
ist, um die Überführungen
von Substraten in die RTA-Kammer 118 und aus ihr heraus
zu erleichtern. Das Schlitzventil 922 dichtet eine Öffnung 924 an
der Seiten wand 910 des Mantels selektiv ab, die mit der Überführungskammer 108 in
Verbindung steht. Die Substrathandhabungseinrichtung 112 überführt Substrate
durch die Öffnung 924 in
die RTA-Kammer und aus ihr heraus.
-
Die
Substratträgerstifte 906 haben
vorzugsweise distal verjüngte
Elemente, die aus Quarz, Aluminiumoxid, Siliciumcarbid oder aus
anderen temperaturfesten Materialien hergestellt sind. Jeder Substratträgerstift 906 ist
in einer rohrförmigen
Leitung 926 angeordnet, die vorzugsweise aus einem wärme- und
oxidationsbeständigen
Material hergestellt ist und sich durch die Heizplatte 904 erstreckt.
Die Substratträgerstifte 906 sind
mit einer Hubplatte 928 zum Bewegen der Substratträgerstifte 906 auf
gleichförmige
Weise verbunden. Die Hubplatte 928 ist an einer Betätigungseinrichtung 930,
beispielsweise einen Schrittmotor, über einen Hubschaft 932 befestigt, der
die Hubplatte 928 bewegt, um die Positionierung eines Substrats
auf verschiedenen vertikalen Positionen innerhalb der RTA-Kammer
zu erleichtern. Der Hubschaft 932 erstreckt sich durch
die Basis 908 des Mantels 902 und wird durch einen
Dichtungsflansch 934 abgedichtet, der um den Schaft herum
angeordnet ist.
-
Für eine Überführung eines
Substrats in die RTA-Kammer 118 wird das Schlitzventil 922 geöffnet und
die Ladestation-Überführungs-Substrathandhabungseinrichtung 228 fährt ihr
Substrathandhabungsblatt mit einem darauf positionierten Substrat durch
die Öffnung 924 in
die RTA-Kammer aus. Das Substrathandhabungsblatt der Ladestations-Überführungs-Substrathandhabungseinrichtung 228 positioniert
das Substrat in der RTA-Kammer über
der Heizplatte 904, und die Substratträgerstifte 906 werden
nach oben ausgefahren, um das Substrat über das Substrathandhabungseinrichtungsblatt
anzuheben. Das Substrathandhabungseinrichtungsblatt zieht sich dann
aus der RTA-Kammer zurück,
und das Schlitzventil 922 verschließt die Öffnung. Die Substratträgerstifte 906 werden
dann zurückgezogen,
um das Substrat auf eine gewünschte
Entfernung von der Heizplatte 904 abzusenken. Fakultativ können die
Substratträgerstifte 906 sich
voll zurückziehen,
um das Substrat in direktem Kontakt mit der Heizplatte anzuordnen.
-
Vorzugsweise
ist ein Gaseinlass 936 durch die Seitenwand 910 des
Mantels 902 hindurch angeordnet, um den Strom eines ausgewählten Gases
in die RTA-Kammer 118 während
des Wärmebehandlungsprozesses
zu ermöglichen.
Der Gaseinlass 936 ist mit einer Gasquelle 938 über ein
Ventil 940 zum Steuern des Gasstroms in die RTA-Kammer 118 verbunden.
Die Gasquelle 931 kann ein nicht reaktives Gas für die Hochtemperatur-Wärmebehandlung bereitstellen
oder kann eine entfernt liegende Einheit sein, die ein oxidierendes
Gas, vorzugsweise ein Ozonplasma, für die Glühbehandlungskammer 118 zur
Oxidation eines freiliegenden Substratfilms bereitstellt. Vorzugsweise
ist an einem unteren Ab schnitt der Seitenwand 910 des Mantels 902 ein
Gasauslass 942 zum Abführen
von Gasen in der RTA-Kammer angeordnet und vorzugsweise mit einem
Sicherheits-/Rückschlagventil 944 verbunden, um
ein Zurückströmen der
Atmosphäre
von außerhalb
der Kammer zu verhindern. Fakultativ ist der Gasauslass 942 mit
einer Vakuumpumpe (nicht gezeigt) verbunden, um die RTA-Kammer auf
einen gewünschten
Vakuumwert während
einer Wärmbehandlung
zu leeren.
-
Erfindungsgemäß wird ein
Substrat in der RTA-Kammer 118 nach dem Abscheiden eines
Oxidfilms wärmebehandelt.
Vorzugsweise wird für
eine Glühbehandlung
bei hoher Temperatur und mit einem nicht reaktiven Gas die RTA-Kammer 118 auf etwa
Atmosphärendruck
gehalten, und der Sauerstoffgehalt innerhalb der RTA-Kammer 118 wird
so gesteuert, dass er weniger als etwa 100 ppm während des Glühbehandlungsprozesses
beträgt.
Vorzugsweise weist die Umgebung in der RTA-Kammer 118 Stickstoff
(N2) oder eine Kombination von Stickstoff
(N2) und weniger als etwa 4% Wasserstoff
(N2) auf, während der Umgebungsgasstrom
in die RTA-Kammer 118 bei mehr als 20 l/min gehalten wird,
um den Sauerstoffgehalt auf weniger als 100 ppm einzustellen. Das
Substrat wird bei einer Temperatur zwischen etwa 200°C und etwa
450°C für zwischen
etwa 30 s und 30 min, und vorzugsweise zwischen etwa 400°C und etwa
450°C zwischen
etwa 30 s und 5 min glühbehandelt.
Die schnelle Glühbehandlung
erfordert gewöhnlich
einen Temperaturanstieg von wenigstens 50°C pro Sekunde. Um die gewünschte Geschwindigkeit
des Temperaturanstiegs für
das Substrat während
der Glühbehandlung
bereitzustellen, wird die Heizplatte vorzugsweise auf zwischen etwa
350°C und
etwa 450°C
gehalten, während
das Substrat vorzugsweise zwischen etwa 0 mm (d.h. im Kontakt mit
der Heizplatte) und bei etwa 20 mm von der Heizplatte weg für die Dauer
des Glühbehandlungsprozesses
positioniert wird.
-
Für eine Oxidationsaustreibung
des Substrat wird die RTA-Kammer 118 auf einen Druck von
etwa 1 Torr bis etwa 10 Torr gehalten, wobei sich die Oxidationsgase
aus Sauerstoff oder Ozon bei hohen Temperaturen oder aus einem Sauerstoff
enthaltenden Plasma zusammensetzen. Vorzugsweise wird die Oxidation
an Substratflächen
ausgeführt,
die Materialien enthalten, die nicht empfindlich gegenüber Sauerstoff
sind oder mit Sauerstoff reagieren. Vorzugsweise wird der oxidierende
Gasstrom in die RTA-Kammer 118 auf einem hohen Mengenstrom gehalten,
beispielsweise auf mehr als 20 l/min, um für ein inniges Sauerstoffaustreiben
aus dem freiliegenden Film des Substrats zu sorgen. Während des
Sauerstoffaustreibprozesses wird das Substrat auf eine Temperatur
zwischen etwa 200°C
und etwa 450°C zwischen
etwa 30 s und 30 min, und vorzugsweise zwischen etwa 350°C und etwa
400°C zwischen etwa
30 s und 5 min erhitzt. Das oxidierende Gas wird aus einer Sauerstoffquelle
(nicht gezeigt) erhalten, die auch das Gas zur Bereitstellung einer
Sauerstoffspezies aus einem entfernt liegenden Plasmagenerator RF
oder aus einem entfernt liegenden Mikrowellengenerator (nicht gezeigt)
behandeln kann.
-
Wenn
der Austreibprozess abgeschlossen ist, heben die Substratträgerstifte 906 das
Substrat in eine Position für
das Abführen
aus der RTA-Kammer 118. Das Schlitzventil 922 öffnet, und
die Substrathandhabungseinrichtung 112 der Überführungskammer 108 fährt in die
RTA-Kammer aus und positioniert sich unter dem Substrat. Die Substratträgerstifte 906 ziehen
sich zurück,
um das Substrat auf das Substrathandhabungseinrichtungsblatt abzusenken, und
das Substrathandhabungseinrichtungsblatt zieht sich dann aus der
RTA-Kammer zurück.
-
Behandlungskammern
-
8 zeigt
eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform einer Tandem-Behandlungskammer 139.
Das Kammergehäuse 602 ist
an der Überführungskammer 126 angebracht
oder auf andere Weise mit ihr verbunden und hat zwei Behandlungsbereiche,
in denen einzelne Substrate gleichzeitig behandelt werden. Das Kammergehäuse 602 trägt einen
Deckel 604, der mit einem Scharnier an dem Kammergehäuse 602 befestigt
ist und ein oder mehrere Gasverteilungssysteme 608 aufweist,
die durch ihn hindurchgehend für
die Förderung
von Reaktionsteilnehmergasen und Reinigungsgasen in die Mehrfachbehandlungsbereiche
angeordnet sind.
-
9 zeigt
eine schematische Schnittansicht der Kammer 126, die zwei
Behandlungsbereiche 618, 620 bildet. Das Kammergehäuse 602 hat eine
Seitenwand 612, einen Innenwand 614 und eine Bodenwand 616,
die die beiden Behandlungsbereiche 618, 620 bilden.
Die Bodenwand 616 in jedem Behandlungsbereich 618, 620 bildet
wenigstens zwei Durchlässe 622, 624,
durch welche ein Schaft 626 einer Sockelheizeinrichtung 628 und
eine Stange 630 einer Substrathubstiftanordnung jeweils
hindurchgehend angeordnet sind. Eine Sockelhubanordnung und der
Substrathub werden nachstehend im Einzelnen beschrieben.
-
Die
Seitenwand 612 und die Innenwand 614 bilden zwei
zylindrische ringförmige
Behandlungsbereiche 618, 620. In den Kammerwänden ist
ein Umfangspumpkanal 625 ausgebildet, der die zylindrischen
Behandlungsbereiche 618, 620 zum Abführen von
Gasen aus den Behandlungsbereichen 618, 620 und
zum Steuern des Drucks in jedem Bereich 618, 620 bildet.
In jedem Behandlungsbereich 618, 620 ist eine
Kammerauskleidung oder eine Kammereinlage 627, vorzugsweise
aus Keramik oder dergleichen, angeordnet und bildet die seitliche
Grenze jedes Behandlungsbereiches und schützt die Kammerwände 612, 614 vor der
korrosiven Behandlungsumgebung und hält zwischen den Elektroden
eine elektrisch isolierte Plasmaumgebung aufrecht. Die Auskleidung 627 wird
in der Kammer an einer Leiste 629 gehalten, die in den
Wänden 612, 614 eines
jeden Behandlungsbereiches 618, 620 gebildet ist.
Die Auskleidung hat eine Vielzahl von Abführöffnungen 631 oder Umfangschlitzen,
die durchgehend und in Verbindung mit dem in den Kammerwänden ausgebildeten Pumpkanal 625 angeordnet
sind. Vorzugsweise gibt es etwa vierundzwanzig Öffnungen 631, die
durch jede Auskleidung 627 hindurchgehend in einem Abstand
von etwa 15° und
um den Umfang der Behandlungsbereiche 618, 620 herum
angeordnet sind. Obwohl vierundzwanzig Öffnungen bevorzugt werden, kann
jede Anzahl zum Erzielen der gewünschten Pumpgeschwindigkeit
und Pumpgleichförmigkeit
verwendet werden. Zusätzlich
zu der Anzahl der Öffnungen
wird die Höhe
der Öffnungen
bezüglich
der Stirnplatte des Gasverteilungssystems gesteuert, um ein optimales
Gasstrommuster über
dem Substrat während
der Behandlung bereitzustellen.
-
11 zeigt
eine Schnittansicht der Kammer, die das Abführsystem nach der vorliegenden
Erfindung veranschaulicht. Die Pumpkanäle 625 jedes Behandlungsbereichs 618, 620 sind
vorzugsweise mit einer gemeinsamen Abführpumpe über einen gemeinsamen Abführkanal 619 verbunden.
Der Abführkanal 619 ist
mit dem Pumpkanal 625 in jedem Bereich 618, 620 durch
Abführleitungen 621 verbunden. Der
Abführkanal 619 ist
mit einer Abführpumpe
(nicht gezeigt) über
eine Abführleitung
(nicht gezeigt) verbunden. Jeder Bereich wird vorzugsweise auf einen ausgewählten Druck
durch die Pumpe abgepumpt, und das damit verbundene Abführsystem
ermöglicht einen
Ausgleich des Drucks in jedem Bereich. Die Pumpe ist vorzugsweise
eine Hochvakuum-Turbopumpe, die in der Lage ist, Drucke von Millitorr
bei sehr niedriger Vibration zu erzeugen. Eine vorteilhafterweise
verwendete Vakuumquelle ist von Edward High Vacuum verfügbar.
-
Gemäß 9 hat
jeder der Behandlungsbereich 618, 620 auch vorzugsweise
eine Gasverteilungsanordnung 608, die durch den Kammerdeckel 604 hindurchgehend
angeordnet ist, um Gase in die Behandlungsbereiche 618, 620 vorzugsweise
von der gleichen Gasquelle aus zu fördern. Das Gasverteilungssystem 608 eines
jeden Behandlungsbereiches hat einen Gaseinlassdurchgang 640,
der Gas in eine Duschkopfanordnung 642 fördert. Die
Duschkopfanordnung 642 besteht aus einer ringförmigen Basisplatte 648 mit
einer Sperrplatte 644, die zwischen einer Stirnplatte 646 angeordnet
ist. Eine RF-Durchführung
stellt ein Vorspannpotenzial für
die Duschkopfanordnung bereit, um die Erzeugung eines Plasmas zwischen
der Stirnplatte 646 der Duschkopfanordnung und dem Heizsockel 628 zu
erleichtern. In einer Basisplatte 648 eines jeden Gasverteilungssystems 608 ist
ein Kühlkanal 652 ausgebildet, um
die Platte während
des Betriebs zu kühlen.
Ein Einlass 655 fördert
ein Kühlfluid,
beispielsweise Wasser oder dergleichen, in die Kanäle 652,
die miteinander durch eine Kühlleitung 657 verbunden
sind. Das Kühlfluid
tritt aus dem Kanal durch einen Kühlmittelauslass 659 aus.
Alternativ kann das Kühlfluid
durch den Verteiler umgewälzt
werden.
-
Das
Kammergehäuse 602 bildet
eine Vielzahl von vertikalen Gasdurchlässen für jedes für den ausgewählten Prozess
geeignete Reaktionsteilnehmergas und Reinigungsgas und zur Förderung
in die Kammer durch das Gasverteilungssystem. Am Boden der Kammer 126 sind
Gaseinlassanschlüsse 641 angeordnet,
um die Gasdurchlässe,
die in der Kammerwand ausgebildet sind, mit Gaseinlassleitungen 639 zu
verbinden. Um jeden Gasdurchlass, der durch die Kammerwand hindurch
ausgebildet ist, ist ein O-Ring an der oberen Fläche der Kammerwand ausgebildet,
um eine abdichtende Verbindung mit dem Deckel bereitzustellen, wie
es in 11 gezeigt ist. Der Deckel hat
passende Durchgänge
zur Förderung
des Gases aus dem unteren Teil der Kammerwand in den Gaseinlassverteiler 670,
der auf der Oberseite des Kammerdeckels angeordnet ist, wie es in 10 gezeigt
ist. Die Reaktionsteilnehmergase werden durch eine Durchführung 672 mit
Spannungsgradienten in einen Gasauslasssammler 674 gefördert, der
mit einer Gasverteilungsanordnung verbunden ist.
-
Der
Gaseinlasssammler 670 leitet Prozessgase aus den Kammergaszuführungen
in die Gaszuführungen
mit konstanten Spannungsgradienten, die geerdet sind. Gaszuführungsrohre
(nicht gezeigt) fördern
oder leiten die Prozessgase durch die Gaszuführungen 672 mit Spannungsgradient
und in den Auslasssammler 674. Widerstandshülsen umgeben die
Gaszuführungsrohre
und führen
zu einem linearen Spannungsabfall über der Zuführung und verhindern, dass
ein Plasma in der Kammer sich in den Gaszuführungsrohren nach oben bewegt.
Die Gaszuführungsrohre
sind vorzugsweise aus Quarz hergestellt, während die Hülsen vorzugsweise aus einer Verbundkeramik
besteht. Die Gaszuführungsrohre sind
in einem Isolierblock angeordnet, der Kühlmittelkanäle enthält, um die Temperatur zu steuern
und um eine Wärmestrahlung
sowie eine Verflüssigung
der Prozessgase zu verhindern. Vorzugsweise besteht der Isolierblock
aus DelrinTM-Acetalharz. Quarzzuführungsrohre
liefern Gas in einen Gasauslasssammler 674, der die Prozessgase
zu der Sperrplatte 644 und in die Gasverteilerplatte 646 leitet.
-
Der
Gaseinlasssammler 670 (siehe 10) bildet
auch einen Durchgang, der Reinigungsgase aus einer Kammergasdurchführung in
die entfernt liegende Plasmaquelle (nicht gezeigt) fördert. Diese Gase
sind an den Zuführungen
mit Spannungsgradienten vorbeigeführt und werden in eine entfernt
liegende Plasmaquelle transportiert, wo die Gase zu verschiedenen
erregten Spezies aktiviert werden. Die erregten Spezies werden dann
zu der Gasverteilerplatte an einer Stelle gerade unter der Blockierplatte
durch eine Leitung gefördert,
die in einem Gaseinlassdurchlass 640 angeordnet ist.
-
Die
Gasleitungen 639, die Gas in die Verteilungssysteme jedes
Behandlungsbereichs führen, sind
vorzugsweise mit einer einzigen Gasquellenleitung verbunden und
werden deshalb geteilt oder gemeinsam für die Förderung von Gas zu jedem Behandlungsbereich 618, 620 gesteuert.
Die Gasleitung(en), die die Prozessgase zu der Mehrfachzonenkammer
zuführt
(zuführen),
ist (sind) für
die Beschickung der Mehrfachprozessbereiche durch eine Kupplung
in T-Bauweise geteilt. Um die Strömung in die einzelnen Leitungen,
die jeden Behandlungsbereich beschicken, zu erleichtern, ist ein
Filter, beispielsweise ein gesinterter Nickelfilter, in der Gasleitung
stromauf von dem Teiler angeordnet. Der Filter verstärkt die
gleichmäßige Verteilung
und den Strom der Gase in die gesonderten Gaszuführleitungen.
-
Das
Gasverteilungssystem hat eine Basisplatte 648 mit einer
Blockierplatte 644, die angrenzend an ihre untere Fläche angeordnet
ist. Unter der Blockierplatte 644 ist eine Stirnplatte 646 angeordnet,
um Gase in die Behandlungsbereiche 618, 620 zu
fördern.
Bei einer Ausführungsform
begrenzt die Basisplatte 648 eine durch sie hindurchgehende Gaszuführung, um
Prozessgase zu einem Bereich gerade über der Blockierplatte 644 zu
fördern.
Die Blockierplatte 644 verteilt die Prozessgase über ihre obere
Fläche
und fördert
die Gase über
die Stirnplatte 646. Die Löcher in der Blockierplatte 644 können so
bemessen und positioniert werden, dass das Vermischen der Prozessgase
und die Verteilung über der
Stirnplatte 646 verstärkt
werden. Die zur Stirnplatte 646 geförderten Gase werden dann in
die Behandlungsbereiche 618, 620 auf gleichmäßige Weise über ein
Substrat abgegeben, das für
die Behandlung angeordnet ist.
-
In
dem Gasdurchgang ist ein Gasbeschickungsrohr (nicht gezeigt) angeordnet
und mit einem Ende mit einer Auslassleitung aus einer entfernt liegenden
Plasmaquelle verbunden. Ein Ende des Gaszuführrohrs erstreckt sich durch
den Gasauslasssammler zum Fördern
von Gasen aus der entfernt liegenden Plasmaquelle. Das andere Ende
des Gaszuführrohrs
ist durch die Blockierplatte 644 hindurch angeordnet, um
Gase über
die Blockierplatte 644 hinaus in den Bereich gerade über der
Stirnplatte 646 zu fördern.
Die Stirnplatte 646 verteilt die durch das Gaszuführrohr geförderten
Gase und gibt die Gase in die Behandlungsbereiche dann ab.
-
Obwohl
dies ein bevorzugtes Gasverteilungssystem ist, können die Gase aus der entfernt liegenden
Plasmaquelle in die Behandlungsbereiche 618, 620 durch
eine Öffnung
(nicht gezeigt) eingeführt
werden, die durch die Kammerwand hindurch vorgesehen ist. Zu sätzlich können die
Prozessgase durch irgendein Gasverteilungssystem gefördert werden,
das gegenwärtig
zur Verfügung
steht, beispielsweise das Gasverteilungssystem von Applied Materials,
Inc., Santa Clara, Kalifornien.
-
Heizsockel
-
9 zeigt
einen Heizsockel 628, der in jedem Behandlungsbereich 618, 620 durch
einen Schaft 626 beweglich angeordnet ist, der mit der
Unterseite einer Trägerplatte
verbunden ist und sich durch den Boden des Kammergehäuses 602 erstreckt,
wo er mit einem Antriebssystem 603 verbunden ist. Der Schaft 626 ist
vorzugsweise ein kreisförmiges,
rohrförmiges
Aluminiumelement mit einem oberen Ende, das in einem Trägerkontakt
mit der Unterseite des Heizsockels 628 angeordnet ist,
und einem unteren Ende, das mit einer Abdeckplatte abgeschlossen
ist. Das untere Ende des Schafts ist in einer becherförmigen Hülse aufgenommen,
die die Verbindung des Schafts mit dem Antriebssystem bildet. Der
Schaft 626 positioniert den Heizsockel 628 mechanisch
in dem Behandlungsbereich und bildet auch einen Umgebungsdurchgang,
durch den sich eine Vielzahl von Heizplattenverbindungen erstrecken
können.
Jeder Heizsockel 628 kann Heizelemente aufweisen, um ein
auf ihm angeordnetes Substrat auf eine gewünschte Prozesstemperatur zu
erhitzen. Die Heizelemente können
beispielsweise ein Widerstandsheizelement aufweisen. Alternativ
kann der Heizsockel durch ein äußeres Heizelement,
beispielsweise eine Lampe, erhitzt werden. Ein bei der vorliegenden
Erfindung vorteilhafterweise verwendeter Sockel ist durch Applied
Materials, Inc., Santa Clara, Kalifornien, verfügbar. Der Sockel kann auch einen
elektrostatischen Halter, einen Vakuumhalter oder eine andere Haltevorrichtung
aufweisen, um ein Substrat auf ihr während der Behandlung festzulegen.
-
Der
Heizsockel 628 wird angehoben und abgesenkt, indem das Überführungsgehäuse nach oben
und nach unten in eine Behandlungs-, Reinigungs-, Hub- und Freigabeposition
durch ein Antriebssystem 603 bewegt wird, das lineare elektrische
Betätigungseinrichtungen
(nicht gezeigt) aufweist. Das Überführungsgehäuse ist
mit der Betätigungseinrichtung
auf einer Seite und mit einem linearen Schlitten (nicht gezeigt)
auf der anderen über eine
Schlittenplatte (nicht gezeigt) verbunden. Die Verbindung zwischen
der Betätigungseinrichtung und
dem Schlitten erfolgt durch eine flexible (Kugelgelenk-)Verbindung
(nicht gezeigt), um irgendeine Fehlausrichtung zu ermöglichen.
Der lineare Schlitten und die Schlittenplatte sind gegeneinander
vorgespannt, um eine Drehung und Biegung zu unterbinden. Den Schaft 626 des
Heizsockels 628 umgibt ein Balg, der an einem Ende an den
Kammerboden 616 und am anderen Ende an das Überführungsgehäuse anschließt. In einer
Nut 630 in dem Schaft 626 ist ein Dichtungsring
(nicht gezeigt) vorgesehen, um die Außenfläche des unteren Endes des Schaftes
in der Hülse 624 abzudichten.
Eine Nivellierung des Heizsockels 628 bezüglich der
Stirnplatte 646 wird durch Verwendung von drei Schrauben
erreicht.
-
Alternativ
hat das Antriebssystem 603 eine Motor- und Untersetzungsgetriebeanordnung
(nicht gezeigt), die unter der Kammer 130 aufgehängt und mit
einem Antriebsriemen für
eine bequeme Koppelung verbunden ist, sowie eine Leitspindelanordnung. Das Überführungsgehäuse ist
auf der Leitspindelanordnung aufgenommen, die nach oben und unten
geführt
und gegen Drehung durch ein lineares Gleitstück gesichert ist. Der Heizeinrichtungs-Hubmechanismus wird
an der Kammer 130 durch den Antriebsbund erhalten. Der
Heizsockel 628 wird durch eine Leitspindel angehoben und
abgesenkt, die von einem Schrittmotor angetrieben wird. Der Schrittmotor ist
an der Heizeinrichtungs-Hubanordnung durch eine Motorhalterung angebracht.
Der Schrittmotor treibt die Leitspindel in einem Balg. Der Balg
dreht die Leitspindel zum Anheben und Absenken der Heizeinrichtungsanordnung
in die Behandlungs-, Hub- und Freigabestellungen. In einer Nut in
dem Schaft 626 ist ein Dichtungsring vorgesehen, um die
Außenfläche des
unteren Endes des Schafts 626 in der Hülse abzudichten.
-
Substratpositionieranordnung
-
Gemäß 8 und 9 bewegt
sich der Schaft 626 in der Kammer nach oben und nach unten,
um den Heizsockel 628 zu bewegen, damit ein Substrat darauf
für eine
Behandlung positioniert oder davon entfernt wird. Eine Substratpositionieranordnung
hat eine Vielzahl von Haltestiften 651, die sich vertikal
bezüglich
des Heizsockels 628 bewegen und in Bohrungen 653 aufgenommen
sind, die vertikal durch den Sockel angeordnet sind. Jeder Stift 651 hat
einen zylindrischen Schaft 659, der in einem unteren kugeligen
Abschnitt 661 endet, sowie einen oberen kegelstumpfförmigen Kopf 663,
der als Auswärtserstreckung
des Schaftes ausgebildet ist. Die Bohrungen 653 in dem
Heizsockel 628 haben einen oberen Sackbohrungsabschnitt,
der für
eine solche Aufnahme des konischen Kopfes 663 bemessen
ist, dass, wenn der Stift 651 voll in dem Heizsockel 628 aufgenommen
ist, sich der Kopf nicht über
die Oberfläche
des Heizsockels hinaus erstreckt.
-
Die
Hubstifte 651 bewegen sich teilweise in Verbindung mit
und teilweise unabhängig
von dem Heizsockel 628, wenn sich der Sockel in den Behandlungsbereich
bewegt. Die Hubstifte können
sich über
den Sockel 628 hinaus erstrecken, damit das Substrathandhabungseinrichtungsblatt
das Substrat aus dem Prozessbereich entfernen kann, müssen jedoch
auch in den Sockel versinken, um das Substrat auf der oberen Fläche des
Sockels für
die Behandlung anzuordnen. Um die Stifte 651 zu bewegen,
hat die Substratpositionieran ordnung einen ringförmigen Stiftträger 655,
der so gestaltet ist, dass er an den unteren kugeligen Abschnitten 661 der
Hufstifte 651 angreift, sowie ein Antriebselement, welches
den Stiftträger 655 für ein selektives
Angreifen an den Hubstiften 651 abhängig von der Position des Heizsockels 628 in
den Behandlungsbereich positioniert. Der Stiftträger 655, der vorzugsweise
aus Keramik besteht, erstreckt sich um den Schaft 626 unter
dem Heizsockel 628 für
einen selektiven Eingriff mit den unteren kugeligen Abschnitten
der Haltestifte.
-
Eine
Antriebsanordnung hebt und senkt den Schaft 630 und den
damit verbundenen Stiftträger 655,
um die Stifte 651 nach oben und nach unten in jedem Behandlungsbereich 618, 620 zu
bewegen. Das Stiftantriebselement befindet sich vorzugsweise am
Boden der Kammer 130 zur Steuerung der Bewegung der Stiftträgerplattform 655 bezüglich des
Heizsockels 628.
-
Gasbehälter und
Zuführung
-
Gemäß 2 und 3 befindet
sich auf der Außenseite
der Kammer am rückwärtigen Ende
des Systems eine Gaszuführkonsole 219,
die die Gase enthält,
die während
des Abscheidens und Reinigens verwendet werden. Die speziellen Gase,
die verwendet werden, hängen
von den Materialien ab, die auf dem Substrat abgeschieden oder aus
der Kammer 130 entfernt werden sollen. Die Prozessgase
strömen
durch eine Einlassöffnung
in den Gassammler und dann in die Kammer durch ein Gasverteilungssystem
in Duschkopfbauweise. Ein elektronisch betriebenes Ventil und ein
Strömungssteuermechanismus
steuern die Gasströme
von der Gasversorgung in die Kammer.
-
Bei
einer Ausführungsform
der Erfindung werden die Präkursor-Gase
aus dem Gasbehälter 219 zur
Kammer 230 geliefert, wo sich die Gasleitung in zwei gesonderte
Gasleitungen T-förmig
aufzweigt, welche die Gase durch das Kammergehäuse, wie oben beschrieben,
zuführen.
Abhängig
von dem Prozess kann jede beliebige Anzahl von Gasen auf diese Weise
zugeführt
und entweder bevor sie zum Boden der Kammer befördert werden, oder wenn sie
in die Gasverteilungsplatte einmal eingetreten sind, gemischt werden.
-
Leistungseinspeisungen
-
Gemäß 2 und 3 wird
ein fortgeschrittenes kompaktes RF-("CFR"-)
Leistungszuführsystem 136 für jeden
Behandlungsbereich 618, 620 verwendet, wobei ein
System mit jedem Gasverteilungssystem 219 verbunden ist.
Am rückwärtigen Ende
des Systems ist für
jede Kammer ein 13,56 MHz-HF-Generator der Genesis-Serie, hergestellt
von ENI, ange bracht. Dieser Hochfrequenzgenerator ist für die Verwendung
mit einer Festanpassung ausgelegt und reguliert die der Last zugeführte Leistung
und beseitigt Bedenken hinsichtlich Durchlass- und reflektierter Leistung.
Um einen Hochfrequenz-HF-Generator und einen Niederfrequenz-HF-Generator
an eine Behandlungskammer anzuschließen, ist in dem Festanpassungsgehäuse ein
Tiefpassfilter gebaut.
-
Ein
350 kHz-HF-Generator, hergestellt von ENI, befindet sich in einem
HF-Generatoreinschub an
dem rückwärtigen Ende
des Systems und ist mit der HF-Festanpassung
durch ein Koaxialkabel verbunden. Der Niederfrequenz-HF-Generator
hat sowohl Niederfrequenzerzeugungs- und Festanpassungselemente
in einem kompakten Gehäuse.
Der Niederfrequenz-HF-Generator reguliert die Leistung, die der
Last zugeführt
wird, wobei die Bedenken hinsichtlich Durchlassleistung und reflektierter
Leistung reduziert sind.
-
Programmierung
-
Die
in 2 und 3 gezeigte
Systemsteuerung 138 arbeitet unter der Steuerung eines
Rechnerprogramms, das auf dem Festplattenspeicher eines Rechners
gespeichert ist. Das Rechnerprogramm bestimmt die Prozesssequenz
und -zeitsteuerung, das Mischen von Gasen, die Kammerdrucke, die
HF-Leistungspegel, die Suszeptorpositionierung, das Öffnen und
Schließen
der Schlitzventile, die Substraterhitzung sowie andere Parameter
eines speziellen Prozesses. Die Schnittstelle zwischen einem Benutzer
und der Systemsteuerung ist vorzugsweise über einen CRT-Monitor und einen
Lichtschreiber (nicht gezeigt). Bei einer bevorzugten Ausführung werden
zwei Monitore verwendet, wobei der eine Monitor in der Reinraumwand
für die
Bedienungspersonen und der andere Monitor hinter der Wand für die Service-Techniker
angeordnet ist. Beide Monitore zeigen gleichzeitig die gleiche Information
an, es wird jedoch nur ein Lichtschreiber aktiviert. Der Lichtschreiber
erfasst von der CRT-Anzeige
emittiertes Licht mit einem Lichtsensor in der Spitze des Schreibers.
Um einen speziellen Schirm oder eine spezielle Funktion auszuwählen, berührt die
Bedienungsperson einen designierten Bereich des Anzeigeschirms und
drückt
den Knopf an dem Schreiber. Der Anzeigeschirm bestätigt insgesamt
die Verbindung zwischen dem Lichtschreiber und dem berührten Bereich
durch Ändern
seines Aussehens, d.h. durch Erhellen oder Farbe, oder durch Anzeigen
eines neuen Menüs
oder Schirms.
-
Durch
Verwendung eines Computerprogrammprodukts, das beispielsweise auf
der Systemsteuerung 138 läuft, kann eine Vielzahl von
Prozessen ausgeführt
werden. Der Rechnerprogrammcode kann in jeder herkömmlichen
rechnerlesbaren Programmiersprache geschrieben sein, beispielsweise 68000
Assembler-Sprache, C, C++ oder Pascal. Unter Ver wendung eines herkömmlichen
Textaufbereitungsprogramms wird ein geeigneter Programmcode in eine
Einzeldatei oder in Mehrfachdateien eingegeben und in einem rechnernutzbaren
Medium, beispielsweise einem Speichersystem des Rechners, gespeichert
oder zusammengefasst. Wenn der eingegebene Codetext eine höhere Programmsprache ist,
wird der Code übersetzt,
und der erhaltene Compiler-Code wird dann mit einem Maschinenprogrammcode
von vorübersetzten
Bibliotheksroutinen verkettet. Zur Ausführung des verketteten übersetzten
Maschinenprogrammcodes ruft der Systembenutzer den Maschinenprogrammcode
auf und veranlasst das Rechnersystem, den Code in den Speicher zu
laden, von dem die CPU ausliest und den Code ausführt, um
die in dem Programm angegebenen Aufgaben zu erfüllen.
-
12 zeigt
zur Veranschaulichung ein Ablaufdiagramm einer bevorzugten hierarchischen Steuerstruktur
des Rechnerprogramms 1410. Der Benutzer gibt in eine Prozessselektor-Subroutine 1420 ansprechend
auf an dem CRT-Monitor angezeigten Menüs oder Schirmen unter Verwendung
der Lichtschreiberschnittstelle eine Prozessdefinitionszahl und
eine Prozesskammerzahl ein. Die Prozessdefinitionen stellen vorgegebene
Bestimmungen von Prozessparametern bereit, die erforderlich sind,
um spezifizierte Prozesse auszuführen,
und werden durch vorgegebene Definitionsnummern identifiziert. Die
Prozessselektor-Subroutine 1420 identifiziert (i) die gewünschte Prozesskammer
und (ii) die gewünschte
Bestimmung der Prozessparameter, die erforderlich sind, um die Prozesskammer
für die
Ausführung
des gewünschten
Prozesses arbeiten zu lassen. Die Prozessparameter zur Ausführung eines spezifischen
Prozesses beziehen sich auf Prozessbedingungen, wie beispielsweise
Prozessgaszusammensetzung und Durchsätze, Temperatur, Druck, Plasmazustände, beispielsweise
HF-Vorspannleistungswerte und Magnetfeldleistungswerte, Kühlgasdruck
sowie Kammerwandtemperatur, und werden dem Benutzer in Form eines
Rezepts bereitgestellt. Die von dem Rezept spezifizierten Parameter
werden in irgendeiner herkömmlichen
Weise eingegeben, besonders bevorzugt jedoch durch Verwendung der
Lichtschreiber/CRT-Monitor-Schnittstelle.
-
Für den Rechner
werden über
die analogen Eingangsplatten und über die digitalen Eingangsplatten
der Systemsteuerung elektronische Signale bereitgestellt, die von
verschiedenen Geräten
und Vorrichtungen zum Überwachen
des Prozesses geliefert werden. Es kann jedes herkömmliche
Verfahren zum Überwachen
der Prozesskammern verwendet werden, beispielsweise der Sendeaufruf.
Außerdem
werden elektronische Signale zur Betätigung verschiedener Prozesssteuerungen
oder -vorrichtungen durch die analogen und digitalen Ausgabeplatten
der Systemsteuerung abgegeben. Die Menge, Art und Installierung
dieser Überwachungs-
und Steuervorrichtungen kann sich von einem System zum nächsten entsprechend
der speziellen Endnutzung des Systems und dem Grad der gewünschten
Prozesssteuerung ändern.
Die Spezifikation oder Auswahl spezieller Vorrichtungen, wie die
optimale Bauweise eines Thermoelements für eine spezielle Anwendung,
ist dem Fachmann bekannt.
-
Eine
Prozess-Sequencer-Subroutine 1430 weist einen Programmcode
für die
Annahme der identifizierten Prozesskammerzahl und Definition der Prozessparameter
von der Prozessselektor-Subroutine 1420 und zum Steuern
der Funktion der verschiedenen Prozesskammern auf. Mehrfachnutzer können Prozessdefinitionszahlen
und Prozesskammerzahlen eingeben, oder ein Nutzer kann Mehrfachprozesskammerzahlen
eingeben, so dass die Sequencer-Subroutine 1430 so arbeitet,
dass sie die ausgewählten
Prozesse in der gewünschten
Folge festlegt. Vorzugsweise hat die Prozess-Sequencer-Subroutine 1430 einen
Programmcode zur Ausführung
der Schritte (i) Überwachen
der Funktion der Prozesskammern, um zu bestimmen, ob die Kammern
benutzt werden sollen, (ii) Bestimmen, welche Prozesse in den zu
benutzenden Kammern auszuführen
sind, und (iii) Ausführen
des gewünschten Prozesses
basierend auf der Verfügbarkeit
einer Prozesskammer und der Art des auszuführenden Prozesses. Bei der
Festlegung, welcher Prozess auszuführen ist, kann die Sequencer-Subroutine 1430 so ausgelegt
sein, dass sie den vorliegenden Zustand der zu nutzenden Prozesskammer
im Vergleich mit den gewünschten
Prozessbedingungen für
einen ausgewählten
Prozess oder das "Alter" jeder speziellen,
vom Nutzer eingegebenen Anforderung oder jeden anderen relevanten
Faktor, den ein Systemprogrammierer für die Bestimmung der Planungsprioritäten einzuschließen wünscht, in
Betracht zieht.
-
Wenn
die Sequencer-Subroutine 1430 einmal bestimmt, welche Prozesskammer-
und Prozessdefinitionskombination als nächste auszuführen ist,
veranlasst sie die Ausführung
der Prozessdefinition, indem die speziellen Prozessdefinitionsparameter
einer Kammerleiter-Subroutine 1440a–c zugeführt werden,
die Mehrfachprozessaufgaben in einer Prozesskammer 130 entsprechend
der Prozessdefinition steuert, die von der Sequencer-Subroutine 1430 bestimmt
ist. Beispielsweise hat die Kammerleiter-Subroutine 1440a einen
Programmcode zum Steuern der Zerstäubungs- und CVD-Prozessfunktionen
in der Prozesskammer 130. Die Kammerleiter-Subroutine 1440 steuert
auch die Ausführung
verschiedener Kammerkomponenten-Subroutinen, die die Funktion der
Kammerkomponente steuern, die erforderlich ist, um die ausgewählte Prozessdefinition
auszuführen.
Beispiele für
Kammerkomponenten für
Subroutinen sind eine Substratpositionier-Subroutine 1450,
eine Prozessgassteuer-Subroutine 1460, eine Drucksteuer-Subroutine 1470,
eine Heizeinrichtungssteuer-Subroutine 1480 und
eine Plasmasteuer-Subroutine 1490. Der Fachmann erkennt, dass
auch andere Kammersteuer-Subroutinen abhängig davon eingeschlossen werden
können, welche
Prozesse der Prozesskammer 130 ausgeführt werden sollen. In Betrieb
bestimmt oder ruft die Kammerleiter-Subroutine 1440a selektiv
die Prozesskomponenten-Subroutinen entsprechend der auszuführenden
speziellen Prozessdefinitionen. Die Kammerleiter-Subroutine 1440a bestimmt die
Prozesskomponenten-Subroutinen auf ähnliche Weise, wie die Sequencer-Subroutine 1430 plant,
welche Prozesskammer 130 und Prozessdefinition als nächstes auszuführen ist.
Gewöhnlich
schließt
die Kammerleiter-Subroutine 1440a die Schritte ein, die
verschiedenen Kammerkomponenten zu überwachen, zu bestimmen, welche
Komponenten basierend auf den Prozessparametern für die auszuführende Prozessdefinition
betätigt
werden müssen,
und das Veranlassen der Ausführung
einer Kammerkomponenten-Subroutine ansprechend auf die Überwachungs-
und Bestimmungsschritte.
-
Die
Funktion der speziellen Kammerkomponenten-Subroutinen wird nun unter
Bezug auf 12 beschrieben. Die Substratpositionier-Subroutine 1450 hat
einen Programmcode zum Steuern der Kammerkomponenten, die benutzt
werden, um das Substrat auf den Sockel 628 zu laden, und
fakultativ das Substrat auf eine gewünschte Höhe in der Kammer 130 zur
Einstellung des Abstands zwischen dem Substrat und dem Duschkopf 642 anzuheben.
Wenn Substrate in die Kammer 130 geladen werden, wird der
Sockel 628 abgesenkt und die Hubstiftanordnung angehoben,
um das Substrat aufzunehmen, wonach der Sockel 628 auf
die gewünschte
Höhe in
der Kammer angehoben wird, beispielsweise um das Substrat auf einer
ersten Entfernung oder in einem ersten Abstand von dem Gasverteilungssammler
während des
CVD-Prozesses zu halten. In Betrieb steuert die Substratpositionier-Subroutine 1450 die
Bewegung der Hubanordnung und des Sockels 628 ansprechend
auf die Prozessdefinitionsparameter in Bezug auf die Traghöhe, die
von der Kammerleiter-Subroutine 1440a übertragen werden.
-
Die
Prozessgassteuer-Subroutine 1460 hat einen Programmcode
zum Steuern der Prozessgaszusammensetzung und der Durchsätze. Die
Prozessgassteuer-Subroutine 1460 steuert die Offen/Schließ-Stellung
der Sicherheitsabsperrventile und verstellt die Durchsatzsteuerungen
nach oben/nach unten, um einen gewünschten Gasdurchsatz zu erhalten.
Die Prozessgassteuer-Subroutine 1460 wird von der Kammerleiter-Subroutine 1440a aufgerufen,
wie dies für
alle Kammerkomponenten-Subroutinen gilt, und erhält von der Kammerleiter-Subroutine Prozessparameter
bezogen auf den gewünschten
Gasdurchsatz. Gewöhnlich
arbeitet die Prozessgassteuer-Subroutine 1460 so, dass
ein einziges Steuerventil zwischen der Gasquelle und der Gaszuführleitungen
für die
Kammer 130 geöffnet wird,
und wiederholt (i) der Massenstrom gemessen wird, (ii) der tatsächliche
Durchsatz zu dem gewünschten
Durchsatz erhalten aus der Kammerleiter-Subroutine 1440a verglichen
wird, und (iii) Einstellen des Durchsatzes der Hauptgasversorgungsleitung,
wenn erforderlich. Weiterhin schließt die Prozessgassteuer-Subroutine 1460 die
Schritte zum Überwachen
des Gasdurchsatzes für
einen unsicheren Durchsatz und die Aktivierung eines Sicherheitsabsperrventils
ein, wenn ein unsicherer Zustand festgestellt wird.
-
Bei
manchen Prozessen wird ein Inertgas, wie Argon, in die Kammer 130 gefördert, um
den Druck in der Kammer zu stabilisieren, bevor reaktive Prozessgase
in die Kammer eingeführt
werden. Für diese
Prozesse wird die Prozessgassteuer-Subroutine 1460 so programmiert,
dass sie die Schritte einschließt,
dass das Inertgas in die Kammer 130 während eines Zeitraums strömt, der
erforderlich ist, um den Druck in der Kammer zu stabilisieren, und
dass dann die oben beschriebenen Schritte ausgeführt werden. Wenn ein Prozessgas
aus einem flüssigen Präkursor,
beispielsweise Tetraethylorthosilan (TEOS) verdampft werden soll,
würde zusätzlich die Prozesssteuer-Subroutine 1460 so
geschrieben, dass sie die Schritte einschließt, ein Fördergas, wie Helium, durch
den flüssigen
Präkursor
in einer Blasenbildungsanordnung in Form von Blasen durchfließen zu lassen.
Für diese
Prozessart reguliert die Prozessgassteuer-Subroutine 1460 die
Strömung
des Fördergases,
den Druck der Blasenbildungseinrichtung sowie die Blasenbildungseinrichtungstemperatur,
um die gewünschten
Prozessgasdurchsätze
zu erhalten. Wie oben erwähnt,
werden die gewünschten
Prozessgasdurchsätze
zur Prozessgassteuer-Subroutine 1460 als Prozessparameter überführt. Außerdem umfasst
die Prozesssteuer-Subroutine 1460 die Schritte, den erforderlichen
Fördergasdurchsatz,
Blasenbildungsdruck und Blasenbildungstemperatur für den gewünschten
Prozessgasdurchsatz über
einen Zugang zu einer gespeicherten Datentabelle zu erhalten, die
die erforderlichen Werte für
einen gegebenen Prozessgasdurchsatz enthält. Wenn die erforderlichen
Werte einmal erhalten werden, werden der Fördergasdurchsatz, der Blasenbildungsdruck
und die Blasenbildungstemperatur überwacht, mit den erforderlichen
Werten verglichen und entsprechend eingestellt.
-
Die
Drucksteuer-Subroutine 1470 weist einen Programmcode zum
Steuern des Drucks in der Kammer 130 auf, indem die Größe der Öffnung des Drosselventils
in dem Auslasssystem der Kammer reguliert wird. Die Größe der Öffnung des
Drosselventils wird variiert, um den Kammerdruck auf ein gewünschtes
Niveau bezogen auf den gesamten Prozessgasstrom, das Gasvolumen,
das in der Prozesskammer enthalten ist, und den Pumpendefinitionspunktdruck
für das
Abführsystem
zu steuern. Wenn die Drucksteuerungs-Subroutine 1470 aufgerufen
ist, wird der gewünschte
Definitionspunktdruckpegel als Parameter von der Kammerleiter-Subroutine 1440a erhalten.
Die Drucksteuer-Subroutine 1470 arbeitet so, dass der Druck
in der Kammer 130 unter Verwendung von einem oder mehreren
herkömmlichen Druckmanometern
gemessen wird, die mit der Kammer verbunden sind, dass der gemessene
Wert/die gemessenen Werte mit dem Definitionspunktdruck verglichen wird/werden,
dass PID (proportional, integral und differential)-Steuerparameter
von einer gespeicherten Drucktabelle erhalten werden, die dem Definitionspunktdruck
entsprechen, und dass das Drosselventil entsprechend den PID-Werten
eingestellt wird, die aus der Drucktabelle erhalten werden. Alternativ
kann die Drucksteuer-Subroutine 1470 so geschrieben wird,
dass sie das Drosselventil auf eine spezielle Öffnungsgröße öffnet oder schließt, um die Kammer 130 auf
den gewünschten
Druck einzuregulieren.
-
Die
Heizeinrichtungssteuer-Subroutine 1480 hat einen Programmcode
zum Steuern der Temperatur der Lampe oder des Heizmoduls, das zum
Erhitzen des Substrats verwendet wird. Die Heizeinrichtungssteuer-Subroutine 1480 wird
auch von der Kammerleiter-Subroutine 1440a aufgerufen
und erhält
einen gewünschten,
oder Definitionspunkt-, Temperaturparameter. Die Heizeinrichtungssteuer-Subroutine 1480 bestimmt
die Temperatur durch Messen des Spannungsausgangs eines Thermoelements, das
in dem Sockel 628 angeordnet ist, durch Vergleich der gemessenen
Temperatur mit der Definitionspunkttemperatur und durch Erhöhen oder
Verringern des der Heizeinrichtung zugeführten Stroms, um die Definitionspunkttemperatur
zu erhalten. Die Temperatur wird aus der gemessenen Spannung dadurch
erhalten, dass die entsprechende Temperatur in einer gespeicherten
Umwandlungstabelle aufgesucht oder die Temperatur unter Verwendung
eines Polynoms vierter Ordnung berechnet wird. Wenn Strahlungslampen
zur Erhitzen des Sockels 628 verwendet werden, steuert
die Heizeinrichtungssteuer-Subroutine 1480 eine Erhöhung oder
Erniedrigung eines der Lampe zugeführten Stroms graduell. Die graduelle
Steigerung/Verringerung erhöht
die Lebensdauer und Betriebssicherheit der Lampe. Zusätzlich kann
ein Einbaubetriebssicherheitsmodus vorgesehen werden, um eine Betriebssicherheitserfüllung zu
erfassen, wobei dieser Modus den Betrieb der Lampe oder des Heizeinrichtungsmoduls
abschalten kann, wenn die Prozesskammer 130 nicht richtig
versorgt wird.
-
Die
Plasmasteuer-Subroutine 1490 hat einen Programmcode zum
Einstellen des HF-Vorspannungsleistungswerts,
der an die Prozesselektroden in der Kammer 130 angelegt
wird, und fakultativ zur Einstellung des Werts des in der Kammer
erzeugten Magnetfelds. Ähnlich
wie bei den vorstehend beschriebenen Kammerkomponenten-Subroutinen wird
die Plasmasteuer-Subroutine 1490 durch die Kammerleiter-Subroutine 1440a aufgerufen.
-
Obwohl
das System der vorliegenden Erfindung vorstehend unter Bezug auf
eine plasmaverstärkte
CVD-Anwendung beschrieben wurde, kann die Erfindung natürlich auch
die Verwendung von hochdichten (HDP-)CVD- und PVD-Kammern sowie Ätzkammern
umfassen. Beispielsweise kann das System der vorliegenden Erfindung
so angepasst werden, dass es Tandem-HDP-CVD-Kammern für die Plasmabehandlung
einschließt.
Bei einer alter nativen Ausgestaltung kann die Gasverteilungs-/Deckelanordnung
durch einen dielektrischen Dom ersetzt werden, bei dem eine induktive
Spule um den Dom herum angeordnet und eine HF-Leistungszuführung an
die Spule angeschlossen ist, um eine induktive Koppelung eines hochdichten
Plasmas mit der Kammer zu ermöglichen.
In gleicher Weise können
Tandem-PVD-Kammern
mit einer Target-Anordnung ausgestaltet werden, die daran für eine Abscheidungsmaterialquelle
angeordnet ist. An die Target-Anordnungen können zur Bereitstellung der
Zerstäubungsleistung
Gleichstromleistungseinspeisungen angeschlossen werden.
-
Phosphorgedopte
mesoporöse
Oxidfilme
-
13 illustriert
ein Verfahren zur Bildung eines Dielektrikums auf der Basis eines
phosphorgedopten mesoporösen
Oxids auf einem Substrat. Das Verfahren umfasst die Abscheidung
einer ein Tensid enthaltenden phosphorgedopten Sol-Gel-Präkursorlösung auf
ein Substrat, die Härtung
des abgeschiedenen Sol-Gels unter Bildung eines Oxidfilms und das
Einwirkenlassen eines oxidierenden Mediums wie Sauerstoff oder Ozon
auf den Film oder das inerte Glühen
zur Entfernung des Tensids unter Bildung eines phosphorgedopten
mesoporösen
Films als Dielektrikum. Vorzugsweise wird der Phosphor in den Oxidfilm
durch Bildung einer Phosphorverbindung wie Phosphorpentoxid aus
dem in der Sol-Gel-Präkursorlösung enthaltenen
Phosphor eingeführt.
Die Sol-Gel-Präkursorlösung wird
vorzugsweise unter Verwendung eines Säurekatalysators auf Phosphorbasis
gebildet, kann jedoch auch mit einer einen Phosphorsäureliganden
aufweisenden Silicium-Sauerstoff-Verbindung oder einem durch eine
Komponente auf Phosphorbasis modifizierten Tensid gebildet werden
oder diese Verbindung bzw. dieses Tensid umfassen. Weitere Stoffe
auf Phosphorbasis können
auf mehreren Verfahrensstufen eingesetzt werden, um unterschiedliche
Wirkungen zu erzielen, und die Verfahrensparameter wie Zeit, Temperatur,
Druck und die relativen Stoffkonzentrationen können innerhalb eines weiten
Bereichs variiert werden.
-
Das
Verfahren beginnt in einem Abscheidungsmodul unter hohem Druck durch
die Bildung eines Sol-Gel-Präkursors.
Die zur Abscheidung der phosphorgedopten Filme verwendeten Sol-Gel-Präkursorverbindungen
werden durch Mischen einer Silicium-Sauerstoff-Verbindung mit einer Phosphor
enthaltenden Säure
und einem Tensid in einem organischen Lösungsmittel gebildet. Der Sol-Gel-Präkursor wird
dann durch Rotations- oder Sprühbeschichtung, vorzugsweise
jedoch durch Rotationsbeschichtung auf das Substrat aufgebracht.
Während
der Rotationsbeschichtung ermöglicht
es die zentrifugale Trocknung, dass der Film praktisch vollständig das Substrat
in Form einer dünnen
Schicht des Sol-Gel-Präkursors überzieht.
Nach der Beschichtung wird der Sol-Gel-Präkursor auf das Substrat bei allmählich ansteigendem
Temperaturprofil von ca. 80E bis ca. 140EC wärmebehandelt, um die hydrolytische
Kondensation zu Ende zu führen
und das Lösungsmittel
sowie das Wasser aus dem Sol-Gel zu entfernen, wodurch miteinander
in Verbindung stehende Poren von gleichem Durchmesser, vorzugsweise
in einem in der kubischen Phase strukturierten Film, gebildet werden.
-
Danach
wird der Film geglüht,
indem man ihn einem das Tensid entfernenden Medium, wie z.B. einem
Stickstoffglühen
oder einer oxidierenden Atmosphäre
aussetzt, die vorzugsweise bei einer Temperatur von ca. 350 bis
ca. 400EC gehalten wird, wobei das Tensid aus dem Film entfernt
wird und dieser zu einem phosphorgedopten mesoporösen Oxidfilm wird.
Ein bevorzugtes Verhältnis
von Phosphor zu Silicium in einem abgeschiedenen Film liegt vorzugsweise
zwischen ca. 1:60 und ca. 1:8, insbesondere jedoch zwischen 1:30
und 1:20. Dies entspricht einem Gewichtsprozentanteil einer Phosphorverbindung
wie Phosphorpentoxid (P2O5)
im Siliciumoxidfilm von ca. 2 bis ca. 8 Gew.-% und insbesondere
von ca. 4 Gew.-%. Es wird angenommen, dass die bevorzugten Konzentrationen
an Phosphor (Phosphoroxid) im Film eine wirksame Immobilisierung
bzw. Getterung geringer Konzentrationen geladener mobiler Atome
bewirken, wodurch der mobile Ionentransport durch den dielektrischen
Film behindert wird. Man nimmt an, dass das Dopen mit Phosphor in
vorteilhafter Weise die Kombination der Vorteile wie Ionenmobilisierung,
Beschleunigung des Abschlusses der Hydrolyse sowie der nachfolgenden
Kondensation während
der Abscheidung sowie verbesserte Filmfestigkeit bewirkt.
-
Die
Silicium-Sauerstoff-Verbindungen des Sol-Gel-Präkursors entsprechen denen,
wie sie gewöhnlich
zur Abscheidung von siliciumhaltigen Schichten bei der Herstellung
von Halbleitern verwendet werden, wobei besonders bevorzugt Si-Sole verwendet
werden. Die Silicium-Sauerstoff-Präkursorverbindungen Tetraethoxysilan
(TEOS), Phenyltriethoxysilan, p-Bis-(triethoxysilyl)benzol, Bis(triethoxysilyl)methan,
Methyltriethoxysilan, Hexaethoxydisilan und Gemische daraus sind
besonders bevorzugt. Eine Säure
auf Phosphorbasis kann mit der Silicium-Sauerstoff-Verbindung vor
der Bildung des Sol-Gel-Präkursors
unter Bildung einer phosphorgedopten Silicium-Oxid-Verbindung chemisch
umgesetzt werden. Vorzugsweise wird ein Phosphorsäureligand,
-PO(OH)2, mit Silicium-Sauerstoff-Verbindungen
wie einer Triethoxysilangruppe (CH3CH2O)3Si- zu o-Phosphotriethoxysilan, (CH3CH2O)3SiOPO(OH)2 kombiniert werden. Weitere bevorzugte phosphorgedopte
Silicium-Oxid-Verbindungen,
die mit Liganden vom Phosphorsäuretyp
gebildet werden können,
sind:
o-Phosphoethylentriethoxysilan (CH3CH2O)3SiCH2CH2OPO(OH)2,
Phosphorylethylentriethoxysilan (CH3CH2O)3SiCH2CH2PO(OH)2,
p-Phosphorylphenylentriethoxysilan (CH3CH2O)3Si(C6H4)PO(OH)2,
Phosphonotriethoxysilylketon (CH3CH2O)3SiC(O)PO(OH)2 und
Phosphonotriethoxysilan (CH3CH2O)3SiPO(OH)2.
-
Der
phosphorgedopte mesoporöse
Oxidfilm wird vorwiegend durch die Verwendung einer Säure auf
Phosphorbasis oder eines Säurederivats
gedopt. Es wird angenommen, dass der Säureligand auf Phosphorbasis
als Katalysator für
die Hydrolyse des Silicium-Oxid-Präkursors
bzw. die Polymerisation wirkt, gefolgt vom Abschluss der hydrolytischen
Kondensation bei erhöhter
Temperatur unter Bildung von Oxysilanolen, Kieselsäure und
Siloxankondensaten, welche die amphiphilen Gruppen im Sol-Gel-Prozess überziehen.
Der Katalysator beschleunigt die Hydrolyse durch Verminderung der
Energie für
die Hydrolyseaktivierung und die Zunahme der Geschwindigkeit der
nachfolgenden Kondensation, wodurch die Dauer der Filmbehandlung
abnimmt. Ferner wird der Phosphor in diese Verbindungen, die sich über den amphiphilen
Gruppen während
des Trocknungsprozesses bilden, aufgenommen und dopt nachfolgend den
entstehenden Film während
der Nachbehandlung des abgeschiedenen Sol-Gels zur Entfernung der
amphiphilen Template aus dem Film. Bevorzugte Phosphorverbindungen
enthaltende Säuren
sind Orthophosphorsäure
(H3PO4), Ammoniumdihydrogenphosphat,
Tetramethylammoniumdihydrogenphosphat, Phosphatester langkettiger
Alkohole, Alkoxysilylphosphonate, substituierte Derivate davon und
Gemische daraus.
-
Die
Säure auf
Phosphorbasis kann den Säurekatalysator
umfassen, kann aber auch eine Fraktion des Säurekatalysators ausmachen.
Wird die Säure
auf Phosphorbasis zusammen mit zusätzlichen Säuren verwendet, werden vorzugsweise
organische Säuren,
ausgewählt
aus der Gruppe Oxalsäure,
Glyoxylsäure
und Gemische davon und/oder flüchtige anorganische
Säuren,
ausgewählt
aus der Gruppe Salpeter-, Salz-, Perchlorsäure und Gemische davon verwendet.
Von besonderem Interesse für
die Bildung mesoporöser
Oxidfilme ist der Einsatz hochflüchtiger
anorganischer Säuren.
Da die säurekatalysierten
Hydrolysereaktionsgeschwindigkeiten bei einem maximalen pH-Wert
von ca. 2 liegen und die Kondensationsgeschwindigkeiten bei einem
maximalen pH-Wert von ungefähr
6 bis ca. 7, kann ein Gemisch aus einer Säure auf Phosphorbasis, gewöhnlich einer
schwachen Säure
von geringer Flüchtigkeit,
mit einer anorganischen Säure,
gewöhnlich
einer starken Säure
von hoher Flüchtigkeit,
verwendet werden, um die katalytische Reaktion zu maximieren.
-
Insbesondere
wird angenommen, dass die Hydrolysereaktion sowohl durch die Säure auf
Phosphorbasis als auch durch die anorganische Säure, vorzugsweise Salpetersäure, bei
niedrigem pH katalysiert wird, wonach dann das Einwirken einer erhöhten Temperatur,
wie z.B. bei der Härtung,
die Salpetersäurekomponente
verflüchtigt
und einen Gehalt an Säure
auf Phosphorbasis erzielen lässt,
um nachfolgend die Kondensation zu katalysieren und den mesoporösen Oxidfilm
mit Phosphor zu dopen. Durch Einstellung der Konzentrationen der
Säuren
zueinander im Säuregemisch
kann eine bevorzugte, für
das Dopen des Films erforderliche Menge erreicht werden.
-
Für die Sol-Gel-Präkursorverbindungen
werden Tenside verwendet, um eine wirksame Verteilung der Silicium-Sauerstoff-Verbindungen
in der Lösung für eine gleichmäßige Filmabscheidung
auf dem Substrat zu gewährleisten.
Die Tenside können
anionisch, kationisch oder nichtionisch sein. Die Tenside enthalten
hydrophile Bindungsgruppen, wodurch eine sorgfältige Dispergierung in einem
Wasser enthaltenden Lösungsmittel
gewährleistet
wird. Nichtionische Tenside weisen chemische Bindungsgruppen auf,
die ungeladene oder neutrale hydrophile Gruppen darstellen, während anionische
und kationische Tenside Bindungsgruppen aufweisen, die negativ bzw.
positiv geladen sind. Zur Bildung der miteinander in Verbindung
stehenden Poren von gleichem Durchmesser wird vorzugsweise ein in
der erfindungsgemäßen kubischen
Struktur vorliegendes nichtionisches Tensid verwendet, vorzugsweise
ausgewählt
aus der Gruppe p-(CH3)3C-CH2-C6H4-CH2-(OCH2CH2)8OH, p-(CH3)3COC6H4-CH2-(OCH2CH2)8-OH
und andere Polyethylenoxid-Copolymerderivate, Polyethlyenoxid-Polypropylenoxid-Polyethylenoxid-Triblockcopolymerderivate
und Gemische davon.
-
Mit
dem Tensid kann chemisch ein Phosphorsäureligand verbunden sein. So
z.B. können
aus Tensiden mit endständigem
Alkohol, die langkettige hydrophile Kettenstrukturen umfassen, vorzugsweise ausgewählt aus
der Gruppe p-(CH3)3CCH2C6H4CH2(OCH2CH2)N-OH, p-(CH3)3COC6H4CH2(OCH2CH2)N-OH, CH3(CH2)K-OH,
TritonTM-Tenside, wie z.B. (CH3)3CCH2C(CH3)2C6H4(OCH2CH2)N-OH, CH3(CH2)K-OH, HO(CH2CH2O)M(CH2C(CH3)HO)L(CH2CH2O)MH und CH3(CH2)I(CH2CH2O)J-OH, und fluorierten
Derivaten davon sowie Gemischen dieser Verbindungen Phosphatester
gebildet werden. Dabei bedeuten N vorzugsweise eine ganze Zahl von
6–12,
insbesondere 8, K eine ganze Zahl von 13 bis 17, I eine ganze Zahl von
6 bis 15, J eine ganze Zahl von 20 bis 106 und L eine ganze Zahl
von 20 bis 80. Beispiele für
diese Verbindungen sind Tetradecylphosphat und Hexadecyl(cetyl)phosphat.
-
In
der Lösung
wird ein organisches Lösungsmittel
verwendet, um die Dispergierung der Silicium-Sauerstoff-Verbindung
im Sol-Gel zu unterstützen
und das Aufsprühen
bzw. Abscheiden des Sol-Gels auf das Substrat in der Aufschleuderkammer
zu erleichtern. Erfindungsgemäß werden
organische Lösungsmittel,
vorzugsweise Alkohole verwendet, ausgewählt aus der Gruppe Ethanol,
n-Propanol, Isopropanol, n-Butanol, sec.-Butanol, tert.-Butanol, Ethylenglycol
oder Gemische davon, vorzugsweise werden jedoch 1-Propanol, Isopropanol
und 2-Butanol verwendet. Das organische Lösungsmittel im abgeschiedenen
Sol-Gel wird gewöhnlich
durch Wärmebehandlung
oder Härtung
entfernt, wobei dieser Prozess eine oder mehrere Stufen zwischen
ca. 50 und ca. 450EC umfasst, um ein Medium für die Hydrolyse und Kondensation
bei der Bildung des Films zu gewährleisten.
Der Härtungsprozess
wird vorzugsweise während
ca. 1 Minute bis ca. 10 Minuten in einer Härtungs- bzw. Sinterkammer durchgeführt.
-
Während der
Härtungsstufe
führt die
bevorzugte Verdampfung des organischen Lösungsmittels und eine gewisse
Entfernung der Feuchtigkeit im Film zu einer Zunahme der Konzentration
an nichtflüchtigem
Tensid und an Silicium-Sauerstoff-Verbindungen wie Kieselerde. Da
die Tensidkonzentration ansteigt, bilden das Tensid, die Säure auf
Phosphorbasis und die Silicium-Sauerstoff-Verbindung bei zunehmender
Verdünnung
des Films Molekülaggregate.
Fortgesetzte Trocknung führt
zu einer Verfestigung und zum Dopen des Films mit Phosphor, wodurch
die Mikrostruktur des Films, die erfindungsgemäß eine kubische Struktur der
miteinander in Verbindung stehenden Poren von gleichem Durchmesser
darstellt, wie 13 zeigt, mit Gräben durchzogen
wird.
-
Vorzugsweise
kann der phosphorgedopte mesoporöse
Oxidfilm dadurch gebildet werden, dass das Tensid durch Hochtemperaturglühen bei
Temperaturen zwischen ca. 350 und ca. 400EC entfernt wird. Der Glühprozess
kann bei Drücken
durchgeführt
werden, die in einem Bereich von nahe an Vakuum heranreichenden
Drücken
bis zu atmosphärischen
Drücken
durchgeführt
werden. Nach Entfernung der Tenside aus dem Film bilden sich die
Poren, da die Silicium-Sauerstoff-Komponente der Aggregate die Form
des Oxidfilms beibehält,
weisen vorzugsweise kubische Struktur auf und härten unter Bildung eines mesoporösen Films.
Die Poren sind gewöhnlich
miteinander verbunden, viele weisen jedoch endständige Verzweigungen auf oder
können
amorphe Schichten bilden. Die selektive Bildung der mesoporösen Filme
führt zu
einem hochporösen
Film, wobei mehr als ca. 50% eine Dielektrizitätskonstante von unter ca. 2,5
und vorzugsweise von ca. 2,2 bis ca. 1,6 aufweisen.
-
Die
Glühstufe
wird unter ähnlichem
Druck bis hin zum Druck der Abscheidungsstufe, d.h. unter einem
Druck von über
ca. 300 Torr durchgeführt.
Insbesondere wird die Glühstufe
unter einem Druck zwischen ca. 300 und ca. 760 Torr und ganz besonders zwischen
ca. 500 und ca. 700 Torr durchgeführt. Vorzugsweise wird der
Film in einer nichtreaktionsfähigen Atmosphäre geglüht, wobei
als nichtreaktionsfähige
Gase bevorzugt Stickstoff, Inertgase wie Argon und Helium oder Gemische
daraus verwendet werden.
-
Der
Oxidfilm wird vorzugsweise geglüht, wenn
die Präkursorverbindungen
Methyl- oder Phenylgruppen,
wie z.B. im Fall von Phenyltriethoxysilan, p-Bis(triethoxysilyl)benzol,
Bis-(triethoxysilyl)methan und Methyltriethoxysilan enthalten. Das
Glühen
des aus der die Methyl- oder Phenylgruppen enthaltenden Präkursorverbindung
abgeschiedenen Films in nichtreaktionsfähiger Atmosphäre verhindert
die Oxidation und die Abscheidung der Methyl- und Phenylverbindungen. Unter Beibehaltung
der Methyl- und Phenylgruppen zeigt der Film einen höheren C-Gehalt,
was vermutlich einen Film mit geringer Dielektrizitätskonstante
und höherer
Hydrophobizität
gewährleistet.
Die Glühstufe
erzeugt außerdem
einen hochporösen
Film, wobei über
ca. 50% eine Dielektrizitätskonstante
von weniger als ca. 2,5 und vorzugsweise zwischen ca. 2,2 und ca.
1,6 aufweisen.
-
Der
abgeschiedene Film kann auch einer oxidierenden Atmosphäre bei erhöhter Temperatur ausgesetzt
werden. Die Temperatur der oxidierenden Atmosphäre liegt vorzugsweise in einem
Bereich von ca. 200 bis ca. 400EC. Die oxidierende Atmosphäre umfasst
vorzugsweise Sauerstoff, Ozon oder ein Sauerstoffplasma unter Bildung
einer reaktionsfähigen
Sauerstoffverbindung, wobei insbesondere in der Kammer ein Ozonplasma
gebildet wird. Die Bildung des Plasmas erfolgt bei einem Druck von
ca. 0,5 bis ca. 10 Torr. Die Sauerstoffverbindung bombardiert den
Film und reagiert mit dem Tensid, der Restfeuchte und mit dem Lösungsmittel,
wodurch diese Agenzien aus dem Film entfernt werden. Die Ionen sind
hochreaktiv und erfordern nur eine kurze Einwirkdauer von ca. 0,5
bis ca. 5 Minuten für
die Entfernung des Tensids.
-
Gemäß einem
bevorzugten fakultativen Verfahren wird ein Säure-Sol-Gel-Präkursor auf
Phosphorbasis im Gemisch mit einem aus einem organischen Lösungsmittel
zusammengesetzten Sol-Gel-Präkursor
verwendet. Eine vorgemischte primäre chemische Lösungskomponente
kann aus Tetraorthosilicat (TEOS), einem Alkohol wie Ethylalkohol,
Wasser und einer geeigneten organischen Säure wie Oxal- oder Glyoxylsäure in teilweise
hydrolysiertem Zustand gebildet werden. Vor der Aufbringung auf
das Substrat kann die primäre
chemische Lösung mit
einem Alkohol wie Isopropanol, 1-Propanol oder 2-Butanol, einem
geeigneten langkettigen Tensid, das teilweise mit einer Säure auf
Phosphorbasis und Wasser verestert sein kann, und einer Säure auf Phosphorbais
zusätzlich
zu einem ergänzenden
hydrolysierbaren Si-haltigen Präkursor
wie Methyltriethoxysilan, p-Bis(triethoxysilyl)benzol,
Bis(triethoxysilyl)methan oder Phenyltriethoxysilan in entsprechenden
Verhältnissen
gemischt werden, so dass die Tensidkonzentration die kritische Mizellenkonzentration übersteigt,
und es zur Bildung von Ansammlungen, vorzugsweise eines in kubischer
Phase vorliegenden dreidimensionalen Netzwerks kommt. Die Phosphorsäure kann
zusätzlich
oder anstelle des langkettigen Tensidphosphats in Form von Orthophosphorsäure, substituierter
Orthophosphorsäure,
Alkoxysilylphosphonaten oder von chemischen Varianten von Alkoxysilylphosphonaten
und Gemischen daraus vorliegen. Der Sol-Gel-Präkursor auf der Basis einer
Säure auf
Phosphorbasis und der aus einem organischen Lösungsmittel zusammengesetzte
Sol-Gel-Präkursor
werden vorzugsweise in einem Verhältnis von ca. 1:1 bis 10:1
gemischt.
-
Die
phosphorgedopten mesoporösen
Oxidfilme sind hydrophil und empfindlich gegenüber Verunreinigungen durch
Feuchtigkeit, wobei diese (Dielektrizitätskonstante (k) > 78) eine negative
Wirkung auf die Gesamtdielektrizitätskonstante der Filme haben kann.
Dieser wird gewöhnlich
durch Silylierung und/oder Abdeckung mit einer Deckschicht nachbehandelt.
-
Durch
die Silylierung wird Silicium in die Außenfläche eines abgeschiedenen Films
aufgenommen. Bei der chemischen Umsetzung kommt es zur Diffusion
eines reaktiven Organosilans in der Flüssig- oder Dampfphase in einer
Reaktionskammer, wodurch der Wasserstoff der Hydroxylgruppen in
der Außenfläche des
Films durch eine organische Si-Gruppe,
meist eine Trimethylsilylgruppe ersetzt wird. Ein Beispiel für eine solche
chemische Reaktion ist die Aufnahme von Hexamethyldisilazan (HMDS) in
eine dielektrische Schicht auf dem Tensid unter Bildung eines Silylethers.
Der Silylierungsprozess erfolgt durch Diffusion eines Silylierungsmittels
bei einer Temperatur von ca. 25 bis ca. 200EC, wodurch der dieser
Behandlung ausgesetzte phosphorgedopte mesoporöse Oxidfilm hydrophob wird.
Erfindungsgemäß bevorzugte
Silylierungsmittel sind Tetramethyldisilazan (TMDS), Hexamethyldisilazan
(HMDS) und Dimethylaminotrimethylsilan oder Gemische daraus.
-
Eine
auf die phosphorgedopte mesoporöse Oxidschicht
abgeschiedene Deckschicht kann ein beliebiges Material sein, das
eine Sperrschicht gegenüber
der Diffusion von Stoffen wie Feuchtigkeit darstellt uns als Ätztrennwand
bzw. als Hartmaske dient. Vorzugsweise ist die Deckschicht ein Film
von niederer Dielektrizitätskonstante,
der durch eine Kammer für
eine plasmaverstärkte
chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) bei Kammerdrücken von
ca. 0,5 bis ca. 10 Torr abgeschieden wird. Beispiele für geeignete
Stoffe sind Siliciumdioxid, Siliciumnitrid, Siliciumoxynitrid und
amorphes Siliciumcarbid. Ein beispielhaftes Material für die Verwendung als
Einlageschicht ist eine Schicht aus amorphem Siliciumcarbid (BLOkTM), die in der US-Patentanmeldung Nr. 09/165
248 unter dem Titel "A Silicon
Carbide Deposition For Use As A Barrier Layer And An Etch Stop", eingereicht am
1. Oktober 1998, auf die hier Bezug genommen wird, beschrieben wird.
-
Abscheidung
eines dualen Damascenastruktur
-
Eine
bevorzugte duale Damascenastruktur 1500, die erfindungsgemäß hergestellt
wurde, wird in 14 dargestellt, und das Verfahren
zur Herstellung dieser Struktur wird schematisch in den 15A–15H gezeigt, die einen Querschnitt durch ein Substrat
mit den darauf durchgeführten
erfindungsgemäßen Stufen
darstellen.
-
Eine
duale Damascenastruktur 1500, die eine phosphorgedopte
mesoporöse
intermetallische dielektrische Schicht 1510 umfasst, ist
in 14 dargestellt. Die intermetallischen dielektrischen
Schichten 1510 und 1514, die erfindungsgemäß abgeschieden
wurden, zeigen extrem niedrige Dielektrizitätskonstanten (unter 3) und
werden häufig
als dielektrische Schichten mit extremem k-Wert (Elk) bezeichnet.
Eine erste dielektrische Schicht 1510, vorzugsweise die
erfindungsgemäße phosphorgedopte
mesoporöse
Siliciumoxidschicht, wird auf ein Substrat 1502 abgeschieden.
Das strukturierte Leiter 1506 umfassende Substrat wird
in einem Kontaktsubstratmaterial 1504 mit einer ersten
(Substrat-) Ätztrennwand 1508 aus
Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Siliciumoxynitrid oder amorphem hydriertem
Siliciumcarbid (BLOkTM), vorzugsweise Siliciumnitrid,
die darauf abgeschieden ist, gebildet.
-
Auf
die erste dielektrische Schicht 1510 wird eine zweite Ätztrennwand 1512 aus
Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Siliciumoxynitrid oder hydriertem
Siliciumcarbid (BLOkTM), vorzugsweise aus
Siliciumoxynitrid abgeschieden. Auf der zweiten Ätztrennwand 1512 wird
eine zweite dielektrische Schicht 1514, vorzugsweise die
erfindungsgemäße phosphorgedopte
mesoporöse
Siliciumoxidschicht mit einer Passivierungs- bzw. Sperrschicht 1515 abgeschieden, die
vorzugsweise hydriertes Siliciumcarbid (BLOkTM) umfasst
und auf der zweiten dielektrischen Schicht 1514 abgeschieden
ist, und eine dritte Ätztrennwand 1516,
die auf der Passivierungs- oder Sperrschicht 1515 abgeschieden
ist. Die abgeschiedenen Schichten werden unter Bildung eines Kontaktlochs 1520 geätzt, die
nachfolgend mit einem Leitmetall 1524, vorzugsweise Kupfer,
auf einer Sperrschicht 1522, die konform entsprechend dem
Kontaktloch 1520 abgeschieden wurde, gefüllt wird.
Die Struktur wird dann eingeebnet, wonach darauf eine Deckschicht 1518 aus
Siliciumnitrid, Siliciumoxid, Siliciumoxynitrid oder hydriertem
Silsiciumcarbid, vorzugsweise aus Siliciumnitrid, abgeschieden wird.
Die Deckschicht 1518 dient auch als Substratätztrennwand und
entspricht der ersten Ätztrennwand 1508 für die nachfolgenden,
mehrere Niveaus umfassenden dualen Damascenaverbindungen.
-
Wie 15A zeigt, wird eine erste (Substrat-) Ätztrennwand 1508 aus
Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Siliciumoxynitrid oder amorphem hydrierten
Siliciumcarbid, vorzugsweise aus Siliciumnitrid, bis zu einer Dicke
von ca. 1000 Å auf
dem Substrat 1502 abgeschieden. Das Substrat 1502 umfasst
strukturierte leitende Verbindungen bzw. Leitungen 1506, die
in einem Kontaktsubstratmaterial 1504 gebildet sind. Eine
erste phosphorgedopte mesoporöse
dielektrische Schicht 1510 wird erfindungsgemäß auf der
ersten Ätztrennwand 1508 abgeschieden.
Die erste dielektrische Schicht 1510 weist eine Dicke von ca.
5.000 bis ca. 10.000 Å je
nach der Größe der herzustellenden
Struktur auf, hat jedoch eine bevorzugte Dicke von ca. 5.000 Å. Die erste
dielektrische Schicht 1510 kann dann bei einer Temperatur
zwischen ca. 350 und ca. 450EC zur Entfernung der flüchtigen
Verunreinigungen aus der Schicht 1510 geglüht werden. Eine
zweite Ätztrennwand 1512,
wie z.B. aus Siliciumoxynitrid, wird auf der dielektrischen Schicht 1510 bis
zu einer Dicke von ca. 200 bis ca. 1000 Å, vorzugsweise von ca. 500 Å, abgeschieden.
Eine zweite phosphorgedopte mesoporöse dielektrische Schicht 1514 wird
dann erfindungsgemäß auf der
ersten Ätztrennwand 1508 bei
einer Dicke von ca. 5.000 bis ca. 10.000 Å, vorzugsweise von ca. 5.000 Å, abgeschieden.
Die zweite phosphorgedopte mesoporöse dielektrische Schicht 1514 kann
dann bei einer Temperatur von ca. 350 bis ca. 450EC geglüht werden.
-
Eine
Passivierungs- bzw. Sperrschicht 1515 aus hydriertem Siliciumcarbid
(BLOkTM) wird dann auf die zweite phosphorgedopte
mesoporöse
dielektrische Schicht 1514 abgeschieden. Eine dritte Ätztrennwand 1516 aus
Siliciumoxid, Siliciumnitrid, Siliciumoxynitrid oder amorphem hydriertem
Siliciumcarbid (BLOkTM), vorzugsweise Siliciumnitrid,
wird dann auf die Passivierungs- bzw. Sperrschicht 1515 bis
zu einer Dicke von ca. 500 bis ca. 1.000 Å, vorzugsweise von ca. 1000 Å abgeschieden.
Eine Siliciumoxidschicht 1517 mit einer Dicke von ca. 2.000 Å wird dann
auf die dritte Ätztrennwand 1516 abgeschieden,
die sowohl als Hartätzmaske
als auch der künftigen
Verwendung auf der Stufe des chemisch-mechanischen Polierens (CMP) dient.
Eine Antireflexschicht (ARC) 1519 und eine eine Photoresistschicht 1521 umfassende
Grabenphotomaske werden dann jeweils auf die Siliciumoxidschicht 1517 abgeschieden.
Die Photoresistschicht 1521 wird dann mit aus dem Stand
der Technik bekannten üblichen
photolithographischen Methoden strukturiert.
-
Die
Siliciumoxidschicht 1517 wird dann mit aus dem Stand der
Technik bekannten üblichen
Methoden geätzt,
vorzugsweise mit Fluorkohlenstoffchemikalien, um die dritte Ätzung 1516,
wie in 15B dargestellt, freizulegen.
Durch die erste Ätzung
der Siliciumoxidschicht 1517 wird die Öffnungsbreite bzw. Grabenbreite
der dualen Damascenastruktur 1500 festgelegt. Die in der
Siliciumoxidschicht 1517 gebildete Öffnungsbreite begrenzt die horizontale
Verbindung der auf der zweiten Ätztrennwand 1514 gebildeten
dualen Damascenastruktur 1500. Das restliche Photoresist 1521 wird
dann für die
Vorbereitung der Kontaktlochätzung
verascht bzw. in der Trockene entfernt. Zur Bildung der Kontakt-
bzw. Kontaktlochbreite der dualen Damascenastruktur werden dann
eine weitere Antireflexschicht 1519 und eine Photoresistschicht 1521 jeweils
auf die dünne
Siliciumoxidschicht 1517 aufgebracht und durch Photolithographie
strukturiert, um die dritte Ätzschicht 1516 durch
die Kontaktlochbreite der Struktur, wie in 15C dargestellt,
freizulegen.
-
Gemäß 15D werden die dritte Ätztrennwand 1516,
die Passivierungs- bzw. Sperrschicht 1515 und die zweite
dielektrische Schicht 1514 grabengeätzt, um die zweite Ätztrennwand 1512 freizulegen.
Danach wird das Kontaktloch 1520 durch Kontaktlochätzen der
zweiten dielektrischen Schicht 1514 bis zur zweiten Ätztrennwand 1512 unter
Einsatz anisotroper Ätztechniken
gebildet, um die Metallisierungsstruktur, (d.h. die Verbindung und
Kontakt/Kontaktloch) bei der von der Siliciumoxidschicht 1517 festgelegten
Breite und durch Ätzen
der ersten dielektrischen Schicht 1510 bis zur ersten Ätztrennwand 1508 bei
der Kontaktlochbreite, wie sie während
des Ätzens
der dritten Ätztrennwand 1516,
der zweiten dielektrischen Schicht 1514 und der zweiten Ätztrennwand 1512,
wie in 15E dargestellt, festgelegt
wurde, zu definieren. Das gesamte Photoresist bzw. das gesamte ARC-Material,
das zum Strukturieren der zweiten Ätztrennwand 1512 bzw.
der zweiten dielektrischen Schicht 1514 verwendet wird, wird
dann unter Sauerstoffabstrippen oder nach einer anderen geeigneten
Methode entfernt. 15F zeigt das Ätzen der
ersten Ätztrennwand 1508,
die das Substrat 1502 schützt und die darunter liegenden Strukturmetallleiter 1506 im
Substratmaterial 1504 des Kontaktniveaus freilegt. Die
Strukturmetallleiter 1506 weisen gewöhnlich vorzugsweise ein leitendes Metall
wie Kupfer auf. Die duale Damascenastruktur 1500 wird dann
mit aus dem Stand der Technik bekannten üblichen Methoden vor der nachfolgenden Beschichtung
einer Vorreinigung unterzogen.
-
Die
Metallisierungsstruktur wird dann mit Hilfe eines leitenden Stoffes
wie Aluminium, Kupfer, Wolfram oder Gemischen daraus gebildet. Derzeit besteht
die Tendenz, Kupfer zu verwenden, um die kleineren Merkmale aufgrund
des niedrigen spezifischen Widerstandes von Kupfer (1,7 mW-cm gegenüber 3,1
mW-cm im Fall von Aluminium) zu bilden. Wie 15G zeigt,
wird zuerst eine geeignete Sperrschicht 1522, wie z.B.
aus Tantalnitrid, entsprechend der Metallisierungsstruktur 1520 abgeschieden,
um ein Einwandern des Kupfers in das umgebende Silicium und/oder
dielektrische Material zu verhindern. Danach wird eine Kupferschicht 1524 unter
Bildung der leitenden Struktur durch chemische oder physikalische
Gasphasenabscheidung oder Elektroplattieren, vorzugsweise jedoch
durch Elektroplattieren, aufgebracht. Ist die Struktur mit Kupfer
oder einem anderen Metall gefüllt, wird
die Oberfläche
durch chemisches mechanisches Polieren eingeebnet und mit einer
Deckschicht 1518, die vorzugsweise Siliciumnitrid und eine
Dicke von ca. 1.000 Å aufweist,
wie in 15H dargestellt, abgedeckt.
Vor der Einebnung der Oberfläche
kann das Metall in einer Wasserstoffatmosphäre zur Umkristallisation der
Kupferfüllung und
zur Entfernung der Hohlräume,
die sich gegebenenfalls in der Struktur 1500 gebildet haben,
geglüht werden.
Obwohl nicht dargestellt, kann vor der Kupferschicht 1524,
wenn diese durch Elektroplattierung abgeschieden wird, eine Kupferimpfkristallschicht abgeschieden
werden. Der Vorgang der doppelten Damaszierung kann dann wiederholt
werden, um weitere Verbindungsschichten abzuscheiden, wobei durch
heutige Mikroprozessoren hergestellte integrierte Schaltungen 5 bzw. 6 Verbindungsniveaus aufweisen.
-
Obwohl
die obigen Ausführungen
eine bevorzugte Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung betreffen, sind auch weitere Ausführungsformen
der Erfindung möglich,
ohne dass diese vom Basisrahmen der Erfindung abweichen, der durch
die nachfolgenden Patentansprüche
festgelegt wird.