DE4335987C2

DE4335987C2 - Spülvorrichtung für eine Funkenerosionsmaschine

Info

Publication number: DE4335987C2
Application number: DE4335987A
Authority: DE
Inventors: Yoshinori Onishi
Original assignee: Sodick Co Ltd
Current assignee: Sodick Co Ltd
Priority date: 1992-10-26
Filing date: 1993-10-21
Publication date: 1998-09-24
Anticipated expiration: 2013-10-22
Also published as: DE4335987A1; JPH06134625A; US5408063A; JP3382982B2; DE4335987C5

Description

Die Erfindung betrifft eine Spülvorrichtung für eine Fun kenerosionsmaschine gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Eine derartige Spülvorrichtung ist aus der JP 63-312 023 A bekannt. Dort erfolgt die Spülung des Arbeitsspalts durch eine dielektrische Flüssigkeit, die sich in stationären Ar beitsbehältern befindet. Der Transport der zu bearbeitenden Werkstücke zu den Arbeitsbehältern erfolgt durch einen mit Spannvorrichtungen versehenen Rundtakttisch, der unter den Arbeitsbehältern angeordnet ist. Eine Spülleitung über den Werkstückträger und eine Aufnahmeeinrichtung direkt zum Ar beitsspalt ist allerdings nicht vorgesehen.

Aus der JP 04-164 515 A ist eine Funkenerosionsmaschine be kannt, bei der zum Werkstückwechsel die gesamten Arbeitsbe hälter ausgetauscht werden. Der Arbeitsbehälter enthält an seiner Unterseite einen Verschlußstopfen, der beim Absenken des Arbeitsbehälters auf das Maschinenbett geöffnet wird und dabei eine Verbindung zu einer externen Fluidversorgung herstellt. Das Arbeitsfluid kann somit in den Arbeitsbehäl ter einströmen bzw. aus diesem abgelassen werden. Aller dings ist auch bei dieser bekannten Funkenerosionsmaschine keine über den Werkstückträger direkt zum Arbeitsspalt füh rende Spülleitung vorhanden.

Bei einer aus der DE 39 24 014 A1 bekannten Elektroerosi onsmaschine ist in dem Bearbeitungsbehälter ein Bearbei tungstisch fest installiert, der mit seinen Seitenwänden einen Hohlraum an der Unterseite begrenzt. An der Oberseite des Bearbeitungstisches befindet sich eine Bohrung, die in den Hohlraum mündet. Dieser ist über ein Rohr mit einer Öffnung im Arbeitsbehälter verbunden, an die eine Fluidver sorgung angeschlossen ist.

In der DE 37 16 737 C1 ist ein Werkzeughalter für Funken erosionsmaschinen offenbart, der im Inneren einen Kanal für die Spülflüssigkeit aufweist. Dort erfolgt die Zufuhr des Spülfluids allerdings über den Werkzeughalter und nicht über die Werkstückhalterung.

Bei einer Spülvorrichtung gemäß JP 60-259 322 A wird eine an eine Leitung angeschlossene Sprühdüse mit Hilfe eines Magnethalters derart auf dem Werkstück festgeklemmt, daß das Spülfluid zum Arbeitsspalt gefördert werden kann.

In Fig. 7 sind eine weitere herkömmliche Einrichtung für die Elektroerosivbearbeitung sowie ein automatischer Werk stückträger-Wechsler 80 gezeigt. Die Einrichtung für die Elektroerosivbearbeitung umfaßt einen Maschinenkörper 70 und einen Leistungsgenerator 60, der Spannungsimpulse lie fert. Der Maschinenkörper 70 enthält ein Bett 71, auf dem ein (nicht gezeigter) Kreuztisch vorgesehen ist. Auf den Kreuztisch ist ein Arbeitsbehälter 56 gestellt, der in ei ner horizontalen Ebene beweglich ist, welche die einander im rechten Winkel sich kreuzenden X- und Y-Achsen enthält. In dem Arbeitsbehälter 56 sind auf einem (nicht gezeigten) Arbeitstisch eine Positionierungsaufspannvorrichtung 3 und ein Höheneinstellstift 4 befestigt. Der Maschinenkörper enthält ferner eine Säule 72, die an der Rückseite des Bet tes 71 vorgesehen ist. Von der Säule 72 wird ein Kopfteil 74 getragen. Am Kopfteil 74 ist mittels einer Werkzeughal terung 75 eine Werkzeugelektrode 31 befestigt. Im Kopfteil 74 ist außerdem ein Motor vorgesehen, der die Werkzeugelek trode 31 in der zur genannten horizontalen Ebene senkrech ten Z-Achsenrichtung bewegt.

Der Werkstückträger-Wechsler 80 enthält eine Stütze 81, die angehoben und abgesenkt werden kann. Von der Stütze 81 ist ein Drehtisch 82 getragen. Am Drehtisch 82 ist ein Arman trieb 83 vorgesehen, der einen Arm 84 ausfahren und einfah ren kann.

Bei der Vorbereitung der Bearbeitung liegt ein Werkstück träger 1, auf dem ein Werkstück 14 durch Klemmen festge klemmt ist, auf dem Arm 84. Der Arm 84 wird durch Drehen des Drehtisches 82 dem Arbeitsbehälter 56 zugewandt. Der Werkstückträger 1 wird auf der Positionierungsaufspannvor richtung 3 im Arbeitsbehälter 56 genau angeordnet, indem der Arm 84 ausgefahren, eingefahren und/oder abgesenkt wird. Dann wird der Arbeitsbehälter 56 wie in Fig. 6 ge zeigt mit dem dielektrischen Fluid 55 gefüllt, nachdem Sei tenwände 26 des Arbeitsbehälter 56 angehoben worden sind.

Bei der Elektroerosionsbearbeitung werden in einem zwischen der Werkzeugelektrode 31 und dem Werkstück 14 gebildeten Arbeitsspalt 32 elektrische Entladungen induziert, indem an diesen Spalt 32 Spannungsimpulse angelegt werden. Das di elektrische Fluid 55 in dem Arbeitsspalt 32 wird durch den Entladungsstrom erhitzt, wodurch dissoziierte Gase erzeugt werden. Daher besteht der Bedarf an einer Entgasung und ei ner Kühlung des Arbeitsspaltes 32, indem das dielektrische Fluid durch im Werkstück 14 und in der Werkzeugelektrode 31 vorgesehene Löcher gespült oder durch diese hindurch ange saugt wird, um zu verhindern, daß sich im Arbeitsspalt 32 Bearbeitungspartikel und Gase ansammeln.

Ferner ist am Arbeitstisch 2 mittels einer Magnethalterung 59 ein Spülgerät 57 vorgesehen, wie in Fig. 6 gezeigt ist.

Das Spülgerät 57 enthält einen Rohrleitungsblock 27 mit ei nem darin vorgesehenen Durchlaß 58. Von dem Rohrleitungs block 27 erstreckt sich ein mit einer Düse 29 ausgerüsteter flexibler Schlauch 30 nach oben, der in eine gewünschte Form gebogen ist. Falls notwendig, können in dem Rohrlei tungsblock 27 mehrere Durchlässe 58 vorgesehen sein, so daß am Rohrleitungsblock 27 mehrere flexible Schläuche 30 befe stigt werden können. Der Durchlaß 58 ist über ein Rohr 21 und einen am Arbeitstisch 2 befestigten Koppler 24 mit ei nem Versorgungstank für das dielektrische Fluid verbunden.

In der in Fig. 6 gezeigten Anordnung muß jedoch der flexi ble Schlauch 30 zurückgezogen werden, wenn das Werkstück eingeladen oder ausgeladen wird. Außerdem ist es notwendig, den flexiblen Schlauch 30 erneut von Hand in eine gewünsch te Form zu biegen, nachdem der Werkstückträger 1 auf der Positionierungsaufspannvorrichtung 3 positioniert worden ist. Somit ist es bisher trotz der durch eine NC-Einheit verwirklichten Automatisierung des ED-Bearbeitungsprozesses nicht möglich gewesen, das Einladen des Werkstücks völlig ohne Eingreifen einer Bedienungsperson auszuführen.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine Spülvorrichtung zu schaffen, die nach dem Einbringen und Justieren des Werk stückträgers automatisch an eine Fluidversorgung zum Ansau gen oder Fördern von Arbeitsfluid angeschlossen wird, wobei die Justage der Spülvorrichtung bereits außerhalb des Ar beitsbereichs erfolgen kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Spülvorrich tung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.

Weitere Besonderheiten und Vorteile der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben, die sich auf bevorzugte Aus führungen der Erfindung beziehen.

Die Erfindung wird im folgenden anhand bevorzugter Ausfüh rungsformen mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer Spülvorrich tung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorlie genden Erfindung;

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht einer Spülvorrich tung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorlie genden Erfindung;

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht einer Spülvorrich tung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorlie genden Erfindung;

Fig. 4 eine schematische Schnittansicht einer Spülvorrich tung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorlie genden Erfindung;

Fig. 5 eine Unteransicht des Werkstückträgers;

Fig. 6 die bereit erwähnte schematische Schnittansicht ei ner Spülvorrichtung des Standes der Technik; und

Fig. 7 die bereits erwähnte Vorderansicht einer Elektro erosivbearbeitungsmaschine und eines automatischen Werkstückträger-Wechslers, auf die die vorliegende Erfindung angewendet wird.

Die Fig. 1 und 5 dienen der Veranschaulichung der Spülvor richtung gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Der Werkstückträger 1 wird durch die Positionie rungsaufspannvorrichtung 3 und den Höheneinstellstift 4, die ihrerseits am Tisch 2 befestigt sind, parallel zum Tisch 2 positioniert. Wie am besten aus Fig. 5 ersichtlich, ist der Werkstückträger 1 an vier Punkten durch je zwei Teile der Positionierungsaufspannvorrichtung 3 und des Hö heneinstellstifts 4 unterstützt. Der Werkstückträger 1 be sitzt eine im allgemeinen plattenähnliche Struktur und ist mit Bohrungen, Rillen und Klemmen zum Festklemmen eines Werkstücks versehen. Ein Hohlhebel 5, der aus dem Werk stückträger 1 nach unten vorsteht, wird unter Verwendung von Einspannkugeln, die ihrerseits durch die Keilwirkung durch Federn betätigt werden, in die Positionierungsauf spannvorrichtung 3 gezogen, so daß Eingriffteile 6 um den Hohlhebel 5 mit der Positionierungsaufspannvorrichtung in festen Eingriff gelangen. Die genaue Beschreibung der Posi tionierungsaufspannvorrichtung 3 wird hier weggelassen, da ihre Konstruktion wohlbekannt ist.

In der erläuterten Ausführungsform sind an der Unterseite des Werkstückträgers 1 in der Nähe der Hebel 5 Führungslö cher 7 vorgesehen. Diese Führungslöcher 7 dienen als Posi tionierungslöcher, wenn der Werkstückträger 1 in einem (nicht gezeigten) Werkstückträger-Lager in Bereitschaft liegt. In die Führungslöcher 7 werden Führungsstifte des Werkstückträger-Lagers eingeschoben, um den Werkstückträger 1 grob zu positionieren. Ferner sind an der Unterseite des Werkstückträgers 1 Gegenplatten 8 befestigt. Die Gegenplat ten 8 gelangen an der Berührungsposition (P) mit dem Höhen ausgleichsstift 4 in Kontakt, wenn der Werkstückträger 1 im Arbeitsbehälter 56 unterstützt ist, während sie mit Träger teilen des Werkstückträger-Lagers an der von der Position (P) verschiedenen Position (Q) in Kontakt gelangen, wenn der Werkstückträger 1 in Bereitschaft liegt.

Außerdem ist in der Mitte des Werkstückträgers 1 die Boh rung 10 gebildet. In der erläuterten Ausführungsform ist der Durchmesser (A) der Bohrung 10 größer als der Durchmes ser (B) der Werkzeugelektrode 31, so daß diese das Werk stück 14 durchdringen kann. Im Werkstück 14 ist eine Fluid bohrung 16 ausgebildet, die mit dem Arbeitsspalt 32 in Ver bindung steht. Das Werkstück 14 ist am Werkstückträger 1 so befestigt, daß die Fluidbohrung 16 zur Bohrung 10 geöffnet ist. In dem Werkstückträger 1 ist der abgezweigte Durchlaß 17 ausgebildet, der die Bohrung 10 mit der Hohlbohrung des Hebels 5 verbindet. Ein Auslaß des abgezweigten Durchlasses 17 ist so ausgebildet, daß er in die Bohrung 10 in der Nähe der Unterseite des Werkstücks 14 mündet, da sich die disso ziierten Gase im oberen Teil der Bohrung 10 ansammeln kön nen, wobei die Möglichkeit besteht, daß die elektrischen Entladungen bei einem fortgeschrittenen Bearbeitungsprozeß die Gase zünden. In einem Fußelement 18 der Positionie rungsaufspannvorrichtung 3 ist eine Versorgungsleitung 19 ausgebildet, die mit der Hohlbohrung des Hebels 5 in Ver bindung steht. Außerdem ist ein Rohr 21 vorgesehen, das die Versorgungsleitung 19 über Solenoidventile 22 bzw. 23 mit einem Spülungskoppler 24 bzw. mit einem Ansaugkoppler 25 verbindet. Die Spülungs- und Ansaugkoppler 27 bzw. 25 sind wie in Fig. 6 gezeigt am Arbeitstisch 2 oder aber in der Nähe des Arbeitsbehälters 56 befestigt.

Bei der Vorbereitung der Bearbeitung mit Saugbetrieb wird das Solenoidventil 23 geöffnet, nachdem der Werkstückträger 1 auf der Positionierungsaufspannvorrichtung 3 positioniert worden ist. Die Werkzeugelektrode 31 wird zum Werkstück 14 vorwärtsbewegt, um die Elektroerosivbearbeitung auszufüh ren, wobei das dielektrische Fluid durch die Fluidbohrung 16, die Bohrung 10, den abgezweigten Durchlaß 17, die Hohl bohrung 5 der Positionierungsaufspannvorrichtung 3, die Versorgungsleitung 19, das Rohr 21 und den Koppler 25 in den Arbeitsspalt 32 gesaugt wird, um dadurch die Bearbei tungspartikel und die dissoziierten Gase zu beseitigen.

Wenn der Bearbeitungsprozeß beendet ist, wird das dielek trische Fluid abgelassen. Nach dem Absenken der Seitenwände des Arbeitsbehälters 56 und dem Hochheben der Werkzeugelek trode 31 entlädt der Werkstückträger-Wechsler das Werkstück 14, um anschließend ein neues Werkstück in die Funkenerosi onsmaschine zu laden.

Bei der Vorbereitung der Bearbeitung mit Spülbetrieb wird das Solenoidventil 22 geöffnet, nachdem die Bohrung 10 mit dem dielektrischen Fluid gefüllt worden ist, indem es wäh rend einer vorgegebenen Dauer angesaugt wird. In dem Bear beitungsprozeß wird dielektrisches Fluid von dem Versor gungstank für dielektrisches Fluid durch den Koppler 25 zum Arbeitsspalt 32 geliefert. In diesem Fall ist es nicht we sentlich, im oberen Teil der Bohrung 10 einen Auslaß des abgezweigten Durchlasses 17 auszubilden, da die dissoziier ten Gase sich dort wahrscheinlich nicht ansammeln.

Wie außerdem in Fig. 1 durch Strichpunktlinien gezeigt ist, ist es möglich, den Rohrleitungsblock 27 auf dem Werkstück träger 1 vorzusehen und von dem abgezweigten Durchlaß 17 einen Strahldurchlaß 28 abzuzweigen. Dann ist der mit der Düse 29 ausgerüstete flexible Schlauch 30 so angeordnet, daß er sich vom Rohrleitungsblock 27 nach oben erstreckt, um dadurch das dielektrische Fluid an einen gewünschten Be reich des Arbeitsspaltes 32 zu liefern. Die Spülrichtung des flexiblen Schlauchs 30 wird im voraus eingestellt, wenn das Werkstück 14 auf dem Werkstückträger angeordnet wird. Es können von einem einzigen Rohrleitungsblock 27 mehrere flexible Schläuche 30 abgezweigt sein.

In Fig. 2 ist eine Spülvorrichtung gemäß einer zweiten Aus führungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. In dieser Ausführungsform besitzt der Werkstückträger 1 eine Durch gangsbohrung 11, so daß die Spülvorrichtung auf eine Ma schine für das funkenerosive Schneiden anwendbar ist, bei der durch diese Durchgangsbohrung 11 eine Drahtelektrode geführt wird. Außerdem ist an dem Arbeitstisch 2 unterhalb der Durchgangsbohrung 11 ein röhrenförmiges Element 12 be festigt. Vorzugsweise besitzt das röhrenförmige Element 12 eine ausreichende Höhe, um mit der Unterseite des Werk stückträgers 1 über eine Dichtung 13 in Kontakt zu gelan gen, wenn der Werkstückträger 1 von der Positionierungsauf spannvorrichtung 3 und von dem Höheneinstellstift 4 unter stützt ist. Die Dichtung 13 kann jedoch weggelassen werden, wenn der Werkstückträger 1 und das röhrenförmige Element 12 in das dielektrische Fluid eingetaucht sind. Im unteren Teil des röhrenförmigen Elementes 12 ist eine Öffnung 15 ausgebildet. In einer Rohrleitung 101, die mit der Öffnung 15 verbunden ist, sowie in einer Rohrleitung 103, die mit der Positionierungsaufspannvorrichtung 3 verbunden ist, sind zusätzliche Solenoidventile 100 bzw. 102 vorgesehen.

Bei der Vorbereitung der Bearbeitung mit Saugbetrieb sind die Solenoidventile 23 und 102 geöffnet, während das So lenoidventil 100 geschlossen ist. Dann wird die Werkzeug elektrode 31 vorwärts zum Werkstück 14 bewegt, um die Elek troerosivbearbeitung auszuführen, wobei das dielektrische Fluid durch die Fluidbohrung 16, die Durchgangsbohrung 11, den abgezweigten Durchlaß 17, die Hohlbohrung der Positio nierungsaufspannvorrichtung 3, die Versorgungsleitung 19, das Rohr 21 und den Koppler 25 in den Arbeitsspalt 32 ange saugt wird, um dadurch die Bearbeitungspartikel und die dissoziierten Gase zu beseitigen. Wenn der Bearbeitungspro zeß beendet ist, wird das dielektrische Fluid abgelassen. Das im röhrenförmigen Element 15 verbleibende Fluid wird ebenfalls abgelassen, indem es bei geschlossenem Solenoid ventil 102 und geöffnetem Solenoidventil 100 durch die Öff nung 15 abgesaugt wird. Nach der Absenkung der Seitenwände des Arbeitsbehälters 56 und dem Hochheben der Werkzeugelek trode 31 entlädt der Werkstückträger-Wechsler das Werkstück 14, um anschließend ein neues Werkstück in die Funkenerosi onsmaschine einzuladen.

Bei der Vorbereitung der Bearbeitung mit Spülbetrieb wird das Solenoidventil 22 geöffnet, nachdem die Durchgangsboh rung 11 und das röhrenförmige Element 12 mit dem dielektri schen Fluid gefüllt worden sind, nachdem es während einer vorgegebenen Dauer angesaugt wurde. Im Bearbeitungsprozeß wird das dielektrische Fluid von dem Versorgungstank für dielektrisches Fluid durch den Koppler 25 zum Arbeitsspalt 32 geliefert. Genauso wie oben ist es in diesem Fall nicht wesentlich, im oberen Teil der Durchgangsbohrung 11 einen Auslaß des abgezweigten Durchlasses 17 auszubilden. Ferner ist es auch möglich, den Rohrleitungsblock 27 auf dem Werk stückträger 1 vorzusehen und vom abgezweigten Durchlaß 17 einen Strahldurchlaß 28 abzuzweigen.

In Fig. 3 ist eine Spülvorrichtung gemäß einer dritten Aus führungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. In dieser Ausführungsform ist am Auslaß des Werkstückträgers 1 an dessen Unterseite ein Einfangkanal 41 ausgebildet. Am Ar beitstisch 2 ist ein Kopplungsblock 46 mit einer darin aus gebildeten Versorgungsleitung 45 befestigt. Ein Ende der Versorgungsleitung 45 ist mit der Rohrleitung 103 verbun den, während das andere Ende derselben zur Oberseite des Kopplungsblocks 46 geöffnet ist, so daß es über eine Dich tung 47 an den Einfangkanal 41 angekoppelt werden kann, wenn der Werkstückträger 1 auf der Positionierungsaufspann vorrichtung 3 und auf dem Höheneinstellstift 4 positioniert ist. Das dielektrische Fluid kann zu dem Arbeitsspalt 32 durch die Rohrleitung 103, die Versorgungsleitung 45, den abgezweigten Durchlaß 17, die Durchgangsbohrung 11 und durch die Bohrung 16 des Werkstücks 14 zugeführt werden. Daher ist es nicht erforderlich, die Versorgungsleitung 19 im Fußelement 18 vorzusehen, wie dies in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist.

In Fig. 4 ist eine Spülvorrichtung gemäß einer vierten Aus führungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. In dieser Ausführungsform sind längs der Seiten des Werkstückträgers 1 mehrere Einfangkanäle 41 vorgesehen, an die entsprechende Versorgungsleitungen 45 des Kopplungsblocks 46 angekoppelt werden können, wenn der Werkstückträger 1 an der Positio nierungsaufspannvorrichtung 3 und am Höheneinstellstift 4 positioniert ist. Die Einfangkanäle 47 erstrecken sich nach oben, wobei an ihren oberen Enden entsprechende flexible Schläuche 30 angeordnet sind, die ihrerseits mit Düsen 29 ausgerüstet sind. Alternativ kann der Einfangkanal 47 in einer Verbindungshalterung 42 ausgebildet sein, die am Werkstückträger 1 mittels eines Schraubbolzens 43 befestigt ist. Die Kopplungblöcke 46 sind mit dem Spülkoppler 24 über entsprechende Rohre 21 und Solenoidventile 51 verbunden. In dem Bearbeitungsprozeß kann das dielektrische Fluid von den wunschgemäß orientierten Düsen 29 durch Steuerung der So lenoidventile 51 zum Arbeitsspalt 32 geschickt werden. Bei dieser Ausführungsform ist es möglich, nacheinander mehrere Werkstücke zu bearbeiten, die auf einem einzigen Werkstück träger 1 unterstützt sind, indem die Solenoidventile 51 ein- und ausgeschaltet werden.

Obwohl beispielsweise in Fig. 4 nur zwei flexible Schläuche gezeigt sind, können flexible Schläuche in jeder gewünsch ten Anzahl vorgesehen sein.

Claims

1. Spülvorrichtung für eine Funkenerosionsmaschine zur Rei nigung eines Arbeitsspaltes (32) zwischen einer Werk zeugelektrode (31) und einem Werkstück (14) mit

1. einem Werkstückträger (1) zum Transport des Werkstücks (14) zwischen einem Arbeitsbehälter (56) und einer Be reitschaftsstellung außerhalb des Arbeitsbereichs und
2. einer Aufnahmeeinrichtung (3, 4, 46) zur Positionie rung des Werkstückträgers (1),

dadurch gekennzeichnet,
daß in dem Werkstückträger (1) eine durch eine Durch gangsbohrung (16) im Werkstück (14) mit dem Arbeitsspalt (32) in Fluidverbindung stehende erste Leitung (17, 28, 41) angeordnet ist und
daß die Aufnahmeeinrichtung (3, 4, 46) eine zweite Lei tung (19, 45) enthält, die mit einem Ende an eine Fluid versorgung (22-25) zum Ansaugen oder Fördern von Ar beitsfluid angeschlossen ist und deren anderes Ende in der Aufnahmestellung des Werkstückträgers (1) auf der Aufnahmeeinrichtung (3, 4, 46) mit der ersten Leitung (17, 28, 41) verbunden ist.

2. Spülvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstückträger (1) einen mit der ersten Leitung (17, 28, 41) und der Durchgangsbohrung (16) in Fluidver bindung stehenden Freiraum (10, 11) aufweist.

3. Spülvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Freiraum eine in dem Werkstückträger (1) ange ordnete Vertiefung (10) ist, über der das Werkstück (14) angeordnet ist.

4. Spülvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Freiraum eine in dem Werkstückträger (1) ange ordnete Durchgangsbohrung (11) ist, auf der das Werk stück (14) angeordnet ist und die an der Unterseite in einen durch ein Begrenzungselement (12) umgebenen Raum mündet.

5. Spülvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der von dem Begrenzungselement (12) umgebene Raum mit der Fluidversorgung (22-25) verbunden ist.

6. Spülvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da durch gekennzeichnet, daß die erste Leitung (17, 28, 41) eine Zweigleitung (28) umfaßt, an die mindestens ein flexibler Schlauch (30) zur Spülung des Arbeitsspalts (32) mit dem Arbeitsfluid angeschlossen ist.