DE4317719C2

DE4317719C2 - Verfahren zur Herstellung eines laminatartigen elektronischen Bauelements

Info

Publication number: DE4317719C2
Application number: DE4317719A
Authority: DE
Inventors: Nagato Omori; Yukio Hamaji; Yoshiaki Mori; Yukio Sakabe
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1992-05-28
Filing date: 1993-05-27
Publication date: 1995-07-06
Anticipated expiration: 2013-05-28
Also published as: FR2691833A1; US5672220A; FR2691833B1; DE4317719A1; JPH05335177A; JP3102139B2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines laminatartigen elektronischen Bauelements nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.

Ein derartiges Verfahren ist z. B. aus der DE 39 24 563 A1 bekannt.

Im allgemeinen hat ein laminatartiger Keramikkondensator eine Struktur, bei der eine bestimmte Anzahl von dielektri schen Keramikschichten und inneren Elektrodenschichten im Wechsel laminiert werden und bei der zwei äußere Elektroden auf beiden gegenüberliegenden Seiten des Laminats geschaffen werden. Eine Kapazität wird zwischen zwei gegenüberliegenden inneren Elektroden erzeugt und die Kapazität wird über die äußeren Elektroden abgegriffen.

Herkömmlicherweise wird als Material für die inneren Elek troden einer solchen Art eines Keramikkondensators ein edles Metall, wie z. B. Palladium, Platin oder ein Gemisch aus Silber und Palladium, verwendet. Die Verwendung dieser teu ren edelen Metalle ist jedoch ein Hindernis für die Reduktion der Kosten.

Um das Problem zu lösen, werden in letzter Zeit preisgünsti ge unedle Metalle für die inneren Elektroden verwendet. Kup fer und Nickel sind typische Beispiele. Diese unedlen Metal le sind ebenfalls nicht-migrierend und es wird erwartet, daß sie weiterverbreitet angewendet werden. In einer Hochtempe ratur-Oxidierungs-Atmosphäre oxidieren die unedlen Metalle, wie z. B. Kupfer und Nickel, jedoch leicht und verlieren ihre Funktion als Elektroden. Folglich muß im Falle der An wendung eines unedlen Metalls als innere Elektroden eines laminatartigen Keramikkondensators das Sintern der inneren Elektroden zusammen mit den dielektrischen Rohkeramik schichten in einer neutralen oder reduzierenden Atmosphäre ausgeführt werden.

Für das Sintern in einer neutralen oder reduzierenden Atmosphäre wird im allgemeinen Stickstoffgas oder ein Misch gas, bestehend aus Wasserstoff und Stickstoff, aus Kohlen monoxid, Kohlendioxid und Stickstoff, aus Wasserstoff, Was serdampf und Stickstoff oder aus Kohlendioxid, Wasserstoff und Stickstoff verwendet.

Beim Sintern unter Verwendung eines solchen Gases muß ein gewünschter Sauerstoffpartialdruck durch Wechselwirkung der Be standteile des Gases erzielt werden. Jedoch dauert es bei diesem Verfahren einige Zeit, um den Sauerstoffpartialdruck in einem Brennofen zu stabilisieren, da es eine bestimmte Zeit dauert, um einen Effekt durch Steuerung der Reaktion der Be standteile herauszubringen. Besonders wenn es erforderlich ist, den Sauerstoffpartialdruck zu erhöhen, muß die Reaktion der Bestandteile, die sehr langsam ist, beschleunigt werden, um mehr Sauerstoff zu erzeugen, und entsprechend nimmt es eine lange Zeit in Anspruch um den gewünschten Sauerstoffpartialdruck zu erzielen.

Der optimale Sauerstoffpartialdruck für das Sintern hängt von den Bedingungen der Wärmebehandlung ab, der die Objekte in den vorherigen Prozessen ausgesetzt waren, und von dem Volumen der Objekte. Aufgrund der obigen Gründe ist es jedoch schwierig, den Sauerstoffpartialdruck in dem Brennofen genau zu regeln. Zusätzlich machen Verunreinigungen, die in dem Gas enthalten sind, das genaue Regeln des Sauerstoffpartialdrucks schwieriger. Folglich ist es auch schwierig den gleichen Sauerstoffpartialdruck in dem Brennofen wiederzugewinnen.

Wenn aus diesen Gründen eine optimale Atmosphäre für das Sintern nicht erzielt werden kann, dann können durch das Sintern Produkte mit hoher Qualität nicht garantiert werden. Wenn der Sauerstoffpartialdruck zu hoch ist, oxidieren die inneren Elektroden, was den Widerstand erhöht und/oder das Material der inneren Elektroden diffundiert in die dielek trische Keramik, was die Qualität der dielektrischen Keramik verschlechtert. Wenn der Sauerstoffpartialdruck zu niedrig ist, wird die dielektrische Keramik reduziert, was den Isola tionswiderstand erniedrigt.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfah ren zur Herstellung eines laminatartigen elektronischen Bau elements zu schaffen, das verhindert, daß ein unedles Metall oder eine unedle Metallegierung, die das Material der inne ren Elektroden ist, oxidiert und in die Keramik diffundiert, d. h. es verhindert eine Zunahme des Widerstandes der inne ren Elektroden und verhindert entsprechend Änderungen der Kapazität derart, daß das fertige elektronische Bauelement zuverlässig sein wird und eine hohe Qualität haben wird.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zur Herstellung eines laminatartigen elektronischen Bauelements gemäß Anspruch 1 gelöst. Das Verfahren zur Herstellung eines laminatartigen elektronischen Bauelements umfaßt einen Schritt des Sinterns innerer Elektroden, die aus einem unedlen Metall oder einer unedlen Metallegierung bestehen, mit Rohkeramikschichten in einem Mischgas, das entweder beides, Kohlendioxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr und Kohlenmonoxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr, oder eines der beiden als Hauptbestandteil enthält und ferner Wasserstoff und Sauerstoff enthält, deren Partialdrücke geregelt sind.

Der Schritt des Sinterns wird nach der Zersetzung und Verflüchtigung eines Bindemittels durch Wärme ausgeführt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Mischgas, das Was serstoff und Sauerstoff einschließt, als eine Atmosphäre in einem Brennofen derart verwendet, daß der Wasserstoffpartialdruck in dem Brennofen geregelt werden kann. Dadurch kann der Was serstoffpartialdruck durch Änderung der an den Brennofen zugeführ ten Menge von Wasserstoff und Sauerstoff prompt gesteuert werden. Wird z. B. der Wasserstoffpartialdruck in dem Brennofen höher als ein optimaler Wert, dann kann der Partialdruck durch Verringerung der Menge an Wasserstoff oder Erhöhung der Menge an Sauerstoff, die dem Brennofen zugeführt wird, prompt auf den optimalen Wert abgesenkt werden.

Der Hauptbestandteil der Atmosphäre in dem Brennofen ist Kohlenmonoxidgas oder Kohlendioxidgas und die Atmosphäre in dem Brennofen wird durch Halten des Gleichgewichts zwischen Kohlenmonoxid, Kohlendioxid, Wasserstoff und Sauerstoff sta bilisiert. In einem bekannten Verfahren wird auf der anderen Seite ein Mischgas, das Stickstoff als sein Hauptbestandteil und ferner Wasserstoff und- Sauerstoff enthält, verwendet und die Atmosphäre in dem Brennofen wird durch Halten des Gleichgewichts zwischen Wasserstoff und Sauerstoff stabi lisiert. Verglichen mit einem solchen bekannten Verfahren hat die Atmosphäre in dem Brennofen bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung eine gute Stabilität und Gleich mäßigkeit.

Ferner beträgt die Reinheit des Kohlenmonoxids oder des Koh lendioxids 99,9% oder mehr. Nachdem üblicherweise Verunrei nigungen, wie z. B. Wasserdampf und Sauerstoff, in der At mosphäre des Brennofens mit einem nicht kleinen Prozentsatz enthalten sind, ist es unmöglich, den Wasserstoffpartialdruck ge nau zu erfassen. Aus diesem Grund ist es üblicherweise schwierig, die optimale Atmosphäre zum Sintern bei Tempera turen von 600°C oder weniger beizubehalten. Jedoch kann gemäß der vorliegenden Erfindung aufgrund der sehr geringen Verunreinigungen die optimale Atmosphäre sogar für Sintern bei Temperaturen von 600°C oder weniger beibehalten werden, was Stabilität und hohe Qualität der fertigen Produkte garantiert. Ebenso kann für das Sintern bei einer Temperatur von mehr als 600°C eine optimale Atmosphäre durch Steuerung des Gases, das an den Brennofen zugeführt wird, ohne Verunreinigungen in Betracht zu ziehen, im besonderen durch Änderungen der Menge von Wasserstoff und/oder Sauerstoff, der an dem Brennofen zugeführt wird, erhalten werden.

Bei dem Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung sind Mi schung und Reaktion der Bestandteile der Atmosphäre in einem Brennofen schnell und die Regelung der Atmosphäre ist ein fach und genau. Folglich kann der Sauerstoffpartialdruck in dem Brennofen immer auf einen optimalen Wert gesetzt werden, der von den Bedingungen der Wärmebehandlung, der die Objekte in den vorherigen Prozessen ausgesetzt waren und von dem Volu men der Objekte abhängt.

Folglich kann sogar dann, wenn ein preisgünstiges unedles Metall als Material der inneren Elektroden verwendet wird, ein Anstieg des Widerstandes der inneren Elektroden und die Diffusion des Materials der inneren Elektroden in die Kera mik mit der Oxidation des Materials verhindert werden, und als fertige Produkte können laminatartige elektronische Bau elemente mit hoher Qualität und einer festen Kapazität er halten werden.

Mit anderen Worten kehren laminatartige elektronische Bau elemente, die innere Elektroden, die aus einem unedlen Me tall oder einer unedlen Metallegierung hergestellt sind und durch das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung herge stellt sind, die Vorteile der Nicht-Migration und der gerin gen Kosten heraus.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nach folgend unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine Schnittdarstellung eines laminatartigen Kera mikkondensators, der durch ein Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung hergestellt wurde;

Fig. 2 einen Graph, der ein Temperaturprofil bei einem Bin demittelentfernungsschritt zeigt; und

Fig. 3 einen Graph, der ein Temperaturprofil bei einem Schritt des Sinterns zeigt.

Ein exemplarisches Verfahren zur Herstellung eines laminat artigen elektronischen Bauelements wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung beschrieben. In dem folgenden Ausführungsbeispiel wird die vorliegende Er findung auf einen laminatartigen Keramikkondensator ange wendet.

In Fig. 1 wird die Struktur eines laminatartigen Keramikkon densators beschrieben. Der Keramikkondensator umfaßt eine Mehrzahl von dielektrischen Keramikschichten 2, eine Mehr zahl von inneren Elektroden 1 und ein Paar äußerer Elektro den 3. Die keramischen Schichten 2 und die inneren Elektro den 1 sind abwechselnd derart laminiert, daß eine Kapazität zwischen zwei benachbarten inneren Elektroden 1 erzeugt wird. Die äußeren Elektroden 3 sind mit einer bestimmten der inneren Elektroden 1 derart verbunden, um die Kapazität von diesen abzugreifen. Die dielektrischen Keramikschichten 2 bestehen aus einem nicht reduzierenden dielektrischen Mate rial. Die inneren Elektroden 1 bestehen aus einem preisgün stigen unedlen Metall oder alternativ aus einer unedlen Me tallegierung. Die äußeren Elektroden 3 bestehen aus Nickel, Kupfer, einer Legierung aus Nickel und Kupfer, Kupfer mit Glasfritten, einer Kupferlegierung, Silber, Palladium, einer Legierung aus Silber und Palladium oder aus ähnlichem. Das Material für die äußeren Elektroden 3 wird abhängig von der Anwendung des Keramikkondensators festgelegt.

Es wurde ein Experiment durchgeführt, um herauszufinden, welche Art von Gasen als Atmosphäre für das Sintern der Laminate bestehend aus den oben beschriebenen Materialien verwendet werden sollten, um einen Keramikkondensator mit feinen Charakteristika zu erhalten. Im folgenden wird das Verfahren und die Ergebnisse des Experiments beschrieben.

Als erstes werden Laminate, die dem Sintern in verschiedenen Zuständen ausgesetzt werden, wie folgt hergestellt.

PbO, MgCO₃, Nb₂O₅, TiO₂ und ZnO werden in geeigneten Verhältnissen gemischt, um ein dielektrisches Pulver zu erhalten, das sich aus 92mol% von Pb(Mg_1/3Nb_1/3)O₃, 2mol% von Pb(Zn_1/2Nb_1/2)O₃ und 6mol% von PbTiO₃ zusammensetzt. Diese Bestandteile werden in einer Kugelmühle für die Dauer von 16 Stunden naßvermischt, eingedampft und zu Pulver getrocknet. Das Pulver wird in einen Zirkoniumtopf gelegt und bei einer Temperatur von 680°C bis 730°C für zwei Stunden gesintert. Das Sintern läßt das Pulver fest werden und nach dem Sintern wird der Festkörper gemahlen, um durch ein 200-mesh-Sieb gesiebt zu werden. Folglich wird ein dielektrisches Pulver, das Bleioxid enthält, erhalten.

Ein Promotor zum Sintern der aus 7mol% von Li₂O, 42mol% von BaO, 22mol% von B₂O₃ und 29mol% von SiO₂ (siehe japanisches Patent, Offenlegungsschrift Nr. 63-151658), wird dem dielektrischen Pulver in einem Verhältnis 1,0wt% hinzu gefügt. Ferner werden ein Acryl-organisches Bindemittel, ein Weichmacher und ein organisches Lösungsmittel hinzuge fügt und das Pulver und diese Mittel werden in einer Kugel mühle für die Dauer von 16 Stunden naßgemischt. Auf diese Weise erhält man einen Schlicker. Der Schlicker wird dann durch das Streichmesserverfahren in grüne Schichten mit einer Dicke von 35 µm verteilt.

Die inneren Elektroden 1 werden aus Leiterpaste, deren Hauptbestandteil Kupfer (zusammengesetzt aus Körnern mit einem durchschnittlichen Durchmesser von 1 µm) ist. Die Leiterpaste wird durch Hinzufügen eines organischen Binde mittels und durch Durchkneten durch Verwendung von drei Wal zen vorbereitet, um eine geeignete Viskosität zu haben.

Die Leiterpaste wird im Siebdruckverfahren auf die rohen Schichten, die in der oben beschriebenen Art und Weise her gestellt werden, aufgedruckt und auf diese Weise werden die Struktur der inneren Elektroden auf den rohen Schichten aus gebildet. Eine erforderliche Anzahl von rohen Schichten mit den Strukturen der inneren Elektroden darauf werden derart laminiert, daß die inneren Elektroden gegenüber liegen und die laminierten rohen Schichten werden durch thermisches Pressen miteinander verbunden. Auf diese Weise wird ein Laminat erhalten und das Laminat wird in Teile mit einer bestimmten Größe geschnitten. Auf diese Art wird ein Laminat von rohen Schichten wie es in Fig. 1 gezeigt ist herge stellt.

Als nächstes werden die so hergestellten Laminate auf eine Magnesium-Platte ohne Überlappungen gestellt und werden der Hitze in einem rohrförmigen Brennofen derart ausgesetzt, um das organische Bindemittel, das in den Laminaten enthalten ist, zu entfernen. Zur thermischen Auflösung des Bindemit tels werden die Laminate einer Atmosphäre mit einem geringen Sauerstoffpartialdruck bei einer Temperatur von 400°C für zehn Stunden ausgesetzt. Die Geschwindigkeit der Erhöhung der Temperatur beträgt 50°C pro Stunde. Die Temperatur der At mosphäre muß mindestens die Temperatur sein, bei der sich das Bindemittel zersetzt. Wenn jedoch die Temperatur zu hoch ist, wird das in der Leiterpaste enthaltene Kupfer oxidie ren, um zu Kupferoxid oder zu Cuprioxid zu werden, und wird in die Keramik diffundieren. Um diese Panne zu verhindern, wird eine thermische Analyse des Bindungsmittels im voraus gemacht und ein Temperaturprofil wird entsprechend der Analyse gemacht. Fig. 2 zeigt das Profil.

Laminate, die durch alle obigen Schritte hergestellt wurden, werden in sechs Stücke geteilt und dem Sintern in verschiedenen Zuständen ausgesetzt.

Zustände A, B und C entsprechen der vorliegenden Erfindung.

Im Zustand A werden die Laminate beim Sintern bei einer Temperatur von 1000°C für zwei Stunden in einem Mischgas, das Kohlendioxid mit einer Reinheit von 99,99% als seinen Hauptbestandteil und wenig Wasserstoff und Sauerstoff enthielt, ausgesetzt. Der Sauerstoffpartialdruck in dem Brennofen wird durch einen Zirkonium-Sauerstoff-Sensor gemessen und der Sauerstoffpartialdruck wird geregelt, um ihn bei 10^-7 at zu halten während die Temperatur innerhalb des Brennofens 1000°C beträgt. Fig. 3 zeigt ein Temperaturprofil während des Sinterns.

Bei Zustand B werden die Laminate zum Sintern in einem Mischgas, dessen Hauptbestandteil Kohlendioxid mit einer Reinheit von 99,90% ist, ausgesetzt.

Bei Zustand C werden die Laminate beim Sintern einem Mischgas, dessen Hauptbestandteil Kohlenmonoxid mit einer Reinheit von 99,99% ist, ausgesetzt.

Zustände D, E und F, die nicht der vorliegenden Erfindung entsprechen, werden zum Vergleich eingestellt.

Bei Zustand D wird das Sintern in einem Mischgas, dessen Hauptbestandteil Kohlendioxid mit einer geringen Reinheit von 99,50% ist, ausgeführt.

Bei Zustand E wird das Sintern in einem Mischgas, dessen Hauptbestandteil Stickstoff mit einer Reinheit von 99,999% ist, durchgeführt.

Bei Zustand F, gemäß einem bekannten Verfahren, wird das Sintern in einem Mischgas, das Kohlendioxid in einer Reinheit von 99,50% und Kohlenmonoxid mit einer Reinheit von 99,50% als seine Hauptbestandteile enthält, ausgeführt.

Tabelle 1 zeigt die Einzelheiten der Zustände.

Tabelle 1

Nach dem Sintern in jedem Zustand werden beide Seiten jedes Laminats mit Kupferpaste beschichtet und bei einer Temperatur von 650°C für zwei Stunden in Stickstoffgas gebacken. Auf diese Weise werden die äußeren Elektroden gebildet.

Auf diese Art werden laminatartige Keramikkondensatoren mit den folgenden Größen und Strukturen erhalten:

Messungen:
Länge: 3,2 mm
Breite: 1,6 mm
Dicke: 1,2 mm
effektive Dicke einer dielektrischen Schicht: 20 µm
Anzahl der aktiven dielektrischen Schichten: 19
effektive Dicke einer inneren Elektrode: 3 µm
effektive Fläche einer inneren Elektrode: 2,88 mm²

Die Charakteristika der laminatartigen Keramikkondensatoren, die in den verschiedenen Zuständen gesintert wurden, werden ausgewertet. Insbesondere wird die Kapazität, der dielektri scher Verlust, der Isolationswiderstand im Ausgangszustand und nach der Alterung gemessen. Die Alterung der Keramik kondensatoren wird durch Anlegen eines Gleichstroms mit 50 V an die Keramikkondensatoren in einer Atmosphäre bei einer Temperatur von 70°C und einer relativen Feuchtigkeit von 85% für die Dauer von 1000 Stunden durchgeführt. Tabelle 2 zeigt das Ergebnis der Auswertung. Die Auswertung wird in Verbindung mit 20 Beispielen, die in jedem Zustand zusam mengesintert werden, durchgeführt. In Tabelle 2 wird ein Durchschnitt der gemessenen Werte in Verbindung mit den 20 Beispielen angegeben. Bei der Berechnung des Durchschnitts werden Beispiele die kurzgeschlossen waren, nicht berück sichtigt.

Wie aus Tabelle 2 ersichtlich ist, haben die Keramikkonden satoren, die durch das Verfahren gemäß der vorliegenden Er findung (Zustände A, B und C) hergestellt wurden, feine Charakteristika und ihr Verhalten ist praktisch ausreichend. Sogar nach einer Alterung sind die Charakteristika fast die selben wie die im Anfangsstatus und deshalb können diese Keramikkondensatoren als besonders zuverlässig betrachtet werden. Diese Keramikkondensatoren haben bessere Charakteri stika als die Keramikkondensatoren, die durch die verglei chenden Verfahren (Zustände D, E und F) hergestellt wurden, sowohl in dem Anfangsstatus als auch nach einer Alterung.

Nach dem Ergebnis ist es offensichtlich, daß es sehr effek tiv ist, feine Charakteristika und Zuverlässigkeit der lami natartigen Keramikkondensatoren zu erzielen, wenn das Sintern von Laminaten in einem Mischgas, das Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr als sein Hauptbestandteil und etwas Wasserstoff und Sauer stoff hat, ausgeführt wird.

Zusätzlich wird das Innere der gesinterten Keramikkondensa toren in den verschiedenen Zuständen untersucht. Die Kera mikkondensatoren, die durch das Verfahren gemäß der vorlie genden Erfindung hergestellt wurden, hatten hellgelbe di elektrische Schichten, wie sie vorhanden sind, wenn ein Laminat aus dielektrischen Schichten ohne Elektroden darauf gesintert wird. Auf der anderen Seite waren die di elektrischen Schichten der Keramikkondensatoren, die durch die vergleichenden Verfahren hergestellt wurden, gesamtheit lich rötlich gelb und hatten örtliche rötliche Absonderun gen. Offensichtlich wird dieser Farbwechsel durch Diffusion von Kupferoxid in die dielektrischen Schichten verursacht.

Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr werden als Hauptbestandteil der Atmosphäre zum Sintern aus den folgenden Gründen benutzt.

Es ist aus den oben beschriebenen Experimenten offensicht lich, daß laminatartige Keramikkondensatoren, die durch ei nen Schritt des Sinterns, der in einer Atmosphäre, die Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr als ihr Hauptbestandteil enthält, ausgeführt wird, produziert werden, nicht nur in dem Anfangsstatus, sondern auch nach einer Alterung feinere Charakteristika haben. Zusätzlich ist eine Diffusion von Kupferoxid in die Keramik beim Sintern nicht bemerkenswert. Auf der anderen Seite haben laminatartige Keramikkondensatoren die durch eine Schritt des Sinterns, der in einer Atmosphäre, die Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid mit einer Reinheit von weniger als 99,9% als ihr Hauptbestandteil enthält, ausgeführt werden, hergestellt worden sind, haben schlechte Charakteristika. Dies resultiert aus der labilen Atmosphäre beim Sintern. In diesem Fall machen Verunreinigungen, die in dem Kohlenmonoxid- oder Kohlendioxidgas, wie z. B. Sauerstoff und Wasserdampf, enthalten sind, die Atmosphäre labil. Ferner haben laminatartige Keramikkondensatoren, die durch einen Schritt des Sinterns, der in einer Atmosphäre, die Stickstoffgas als ihr Hauptbestandteil enthält, ausgeführt werden, hergestellt werden, schlechte Charakteristika. In diesem Fall wird der Sauerstoffpartialdruck nur durch Steuerung der Wechselwirkung zwischen Wasserstoff und Sauerstoff geregelt und die Regelung durch diese Steuerung ist schwieriger als die Regelung dem Sauerstoffpartialdruck in einem Fall, in dem Kohlenmonoxid oder Kohlendioxid als Hauptbestandteil verwendet wird.

In dem obigen Ausführungsbeispiel wird die vorliegende Er findung auf einen laminatartigen Keramikkondensator angewen det, der eine innere Elektrode aus Kupfer hat. Jedoch ist die vorliegende Erfindung auf irgendein laminatartiges kera misches elektronisches Bauelement anwendbar, z. B. ein lami natartiges CR Schichtkörperbauelement, einen Induktor, einen Varistor, etc., die innere Elektroden, die aus einem unedlen Metall oder einer unedlen Metallegierung hergestellt sind, haben. Nicht alle Keramikschichten aber mindestens Schich ten, die Kontakt mit inneren Elektroden, die aus einem uned len Metall oder einer unedlen Metallegierung hergestellt sind, müssen aus einem nicht-reduzierenden keramischen Mate rial hergestellt sein.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines laminatartigen elektron ischen Bauelements, das keramische Schichten (2), von denen mindestens einige aus einem nicht-reduzierenden keramischen Material hergestellt sind, und innere Elek troden (1), die aus einem unedlem Metall oder alternativ aus einer unedlen Metallegierung hergestellt sind, um faßt, gekennzeichnet durch den folgenden Schritt:
Sintern der Rohkeramikschichten (2) und der inneren Elektroden (1) in einem Mischgas, das entweder Koh lendioxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr, oder Kohlenmonoxid mit einer Reinheit von 99,9% oder mehr oder beides als sein Hauptbestandteil enthält und fer ner Wasserstoff und Sauerstoff, deren Partialdrücke geregelt sind, enthält.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das nicht reduzierende Keramikmaterial eine Mischung aus PbO, MgCO₃, Nb₂O₅, TiO₂ und ZnO ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich net, daß eine Leiterpaste, deren Hauptbestandteil Kupfer ist, in festgelegten Strukturen auf die Rohkeramikschichten (2) gedruckt wird, um die inneren Elektroden (1) auszu bilden.