DE4232636A1 - Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, Elektrolytkondensatoren - Google Patents
Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, ElektrolytkondensatorenInfo
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- C25F3/02—Etching
- C25F3/04—Etching of light metals
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von
Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, Elektrolyt
kondensatoren, indem thermisch behandelte Aluminiumfolien
elektrolytisch und/oder chemisch aufgerauht werden.
Derartige Verfahren werden zur Erhöhung der Volumenkapazi
tät bei der Herstellung von aufgerauhten Aluminiumfolien
für Elektrolytkondensatoren eingesetzt. Als vorteilhafte
Rauhstruktur hat sich bei Hochvolt-Anodenfolien die so
genannte Langtunnelstruktur erwiesen. Hierbei werden hohe
Aufrauhgrade mit thermisch behandelten (geglühten) Alumi
niumfolien der Reinheit 99,99% mit einem hohen Anteil
kubischer Textur (≧ 80% bei 100-µm-Folien) erreicht.
Die Ätzung erfolgt meistens in mehreren Stufen in chlorid
haltigen Ätzelektrolyten. Bei manchen Verfahren hat es
sich als vorteilhaft erwiesen, die Folienoberfläche in
einer ersten Stufe in HCl- oder AlCl3-Elektrolyten che
misch vorzuätzen oder einer elektrochemischen Vorbehand
lung zu unterziehen, wie es in der DE 39 17 425 A1 be
schrieben ist. Anschließend folgt in einer oder zwei Stu
fen die eigentliche elektrolytische Tunnelätzung in chlo
ridhaltigen Elektrolyten. Das Ausweiten der gebildeten
Tunnel auf den optimalen Durchmesser erfolgt elektroly
tisch in chloridhaltigen Elektrolyten oder chemisch in z. B.
HNO3-Lösungen. Auch eine Kombination beider Erweite
rungsverfahren ist bekannt.
Die Oxidschicht auf der Aluminiumoberfläche hat hierbei
einen entscheidenden Einfluß auf den erzielbaren Aufrauh
grad. Bei der Hochvolt-Langtunnelätzung starten die Tun
nel, ausgehend von Keimen in der Oxidschicht. Bei diesem
punktuellen Angriff wird der Rest der Oberfläche durch die
Oxidschicht geschützt. Wird dieser Schutz durch den Elek
trolyten abgebaut, endet die neue Bildung von Tunneln.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Herstellen
von Elektrodenfolien für Elektrolytkondensatoren anzuge
ben, bei dem während des Ätzprozesses die Oxidschicht weit
gehend geschützt wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die
Folien in einem Chlorid-Ionen enthaltenden Ätzbad aufge
rauht werden, das passivierende Komponenten enthält und
in dem die Ätztunnel gebildet werden, und daß nach einer
Zwischenspülung die gebildeten Ätztunnel in einem weiteren
Ätzbad elektrolytisch und/oder chemisch erweitert werden.
Vorteilhafterweise wird ein Ätzbad verwendet, das eine
oder mehrere passivierende Komponenten der Konzentration <
0,5 N enthält, wobei die passivierende Komponente schicht
bildend am anodisch geschalteten Aluminium wirkt.
Als passivierende Komponenten können z. B. Schwefel-,
Oxal-, Wein- oder Phosphorsäure verwendet werden, wobei
bei einer Verwendung von Schwefelsäure mit einer Konzen
tration von 2 bis 10 N gearbeitet wird.
Ferner ist es möglich, die Folien vor der Behandlung in
dem ersten Bad in einem Chlorid-Ionen-enthaltenden Bad
ohne passivierende Zusätze zu behandeln.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Ausführungsbeispie
le erläutert, bei denen als Ausgangsmaterial 100-µm-Alumi
niumfolien der Reinheit 99,99% (entfettet und geglüht)
verwendet wurden.
Die Folien werden zunächst in einer Tunnelbildungsstufe
mit passivierenden Komponenten behandelt. Hierzu ist in
einem HCl/AlCl3-haltigen Elektrolyten eine passivierende
Komponente mit mehr als 0,5 N enthalten. Bevorzugterweise
ist dies Schwefelsäure mit 2 N bis 10 N. Als passivierende
Komponenten können aber auch Oxal-, Wein-, bzw. Phosphor
säure verwendet werden.
In dieser Stufe wird bei 40 bis 95°C mit einer Stromdich
te von 50 bis 500 mA/cm2 eine Ladung von 10 bis 70 C/cm2
umgesetzt.
Nach einer Spülstufe zur Entfernung der passivierenden
Zusätze erfolgt das Aufweiten der gebildeten Tunnel auf
den optimalen Durchmesser elektrolytisch in chloridhal
tigen Elektrolyten und/oder chemisch in HNO3-Lösungen.
Speziell wurde zur Tunnelbildung in einer Lösung von
HCl-/AlCl3 und 6 N H2SO4 bei 80°C mit 1300 A/m2 eine
Ladung von 48 As/cm2-Folie umgesetzt. Die Tunnelerwei
terung erfolgte in einem chloridhaltigen Elektrolyten
mit einem elektrischen Ladungsumsatz von 60 As/cm2-Folie.
Hiermit wurde bei einer Formierspannung von 400 V ein
mittlerer Kapazitätswert von 0,86 µF/cm2 erreicht.
Es wurde vor die Behandlung nach Ausführungsbeispiel 1
eine Behandlung in einem HCl/AlCl3-haltigen Elektrolyten
bei 60 bis 90°C, einer Stromdichte von 100 bis 500 mA/cm2
und einem Ladungsumsatz von 6 bis 20 C/cm2 vorgeschaltet.
Speziell erfolgte die Tunnelätzung in einer Lösung von
HCl/AlCl3 in entionisiertem Wasser bei 80°C während 35 s
mit einer Stromdichte von 1800 A/m2.
Mit diesem Verfahren wurde ein Mittelwert der Kapazität
von 0,87 µF/cm2 erreicht.
Bei dem Verfahren nach Ausführungsbeispiel 2 wurde zuerst
eine Vorbehandlung in einem wäßrigen halogenidfreien
Elektrolyten mit einer Leitfähigkeit von 1 µS/cm bis 50
inS/cm vorgeschaltet, bei dem die geglühte Aluminiumfolie
als Anode geschaltet war.
Speziell wurde die Vorbehandlung in 0,002 M H3PO4 bei 60°C
mit einer angelegten Spannung von 1,9 V während 30 s
durchgeführt.
Mit diesem Verfahren ergab sich ein Mittelwert der
Kapazität von 0,90 µF/cm2.
Als Vergleichswerte können die gemäß DE 39 17 425 A1 er
reichbaren Kapazitätswerte dienen, bei denen ein Mittel
wert von 0,77 µF/cm2 erreicht wurde.
Gegenüber diesem Stand der Technik ergibt sich somit bei
den Ausführungsbeispielen 1 bis 3 ein Kapazitätsgewinn von
12%, 13% und 17%.
Claims (6)
1. Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für,
insbesondere Hochvolt-, Elektrolytkondensatoren, indem
thermisch behandelte Aluminiumfolien elektrolytisch
und/oder chemisch aufgerauht werden,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Folien in einem Chlorid-Ionen enthaltenden Ätzbad
aufgerauht werden, das passivierende Komponenten enthält
und in dem Ätztunnel gebildet werden, und daß nach einer
Zwischenspülung die gebildeten Ätztunnel in einem weiteren
Ätzbad elektrolytisch und/oder chemisch erweitert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch die Verwendung
eines Ätzbades mit einer oder mehreren passivierenden
Komponenten der Konzentration < 0,5 N.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
gekennzeichnet durch die Verwendung
einer passivierenden Komponente aus Schwefel-, Oxal-,
Wein- oder Phosphorsäure.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
gekennzeichnet durch die Verwendung
einer passivierenden Komponente aus Schwefelsäure in einer
Konzentration von 2 N bis 10 N.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Folien vor der Behandlung in dem ersten Bad in
einem Chlorid-Ionen enthaltenden Bad ohne passivierende
Komponenten behandelt werden.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Folien vor der Behandlung in Chlorid-Ionen ent
haltenden Bädern in einem wäßrigen, halogenidfreien Bad,
als Anode geschaltet, elektrolytisch vorbehandelt werden.
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