DE4232636A1 - Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, Elektrolytkondensatoren - Google Patents

Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, Elektrolytkondensatoren

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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
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    • C23F1/20Acidic compositions for etching aluminium or alloys thereof
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    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25FPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
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    • C25F3/02Etching
    • C25F3/04Etching of light metals

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, Elektrolyt­ kondensatoren, indem thermisch behandelte Aluminiumfolien elektrolytisch und/oder chemisch aufgerauht werden.
Derartige Verfahren werden zur Erhöhung der Volumenkapazi­ tät bei der Herstellung von aufgerauhten Aluminiumfolien für Elektrolytkondensatoren eingesetzt. Als vorteilhafte Rauhstruktur hat sich bei Hochvolt-Anodenfolien die so­ genannte Langtunnelstruktur erwiesen. Hierbei werden hohe Aufrauhgrade mit thermisch behandelten (geglühten) Alumi­ niumfolien der Reinheit 99,99% mit einem hohen Anteil kubischer Textur (≧ 80% bei 100-µm-Folien) erreicht.
Die Ätzung erfolgt meistens in mehreren Stufen in chlorid­ haltigen Ätzelektrolyten. Bei manchen Verfahren hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die Folienoberfläche in einer ersten Stufe in HCl- oder AlCl3-Elektrolyten che­ misch vorzuätzen oder einer elektrochemischen Vorbehand­ lung zu unterziehen, wie es in der DE 39 17 425 A1 be­ schrieben ist. Anschließend folgt in einer oder zwei Stu­ fen die eigentliche elektrolytische Tunnelätzung in chlo­ ridhaltigen Elektrolyten. Das Ausweiten der gebildeten Tunnel auf den optimalen Durchmesser erfolgt elektroly­ tisch in chloridhaltigen Elektrolyten oder chemisch in z. B. HNO3-Lösungen. Auch eine Kombination beider Erweite­ rungsverfahren ist bekannt.
Die Oxidschicht auf der Aluminiumoberfläche hat hierbei einen entscheidenden Einfluß auf den erzielbaren Aufrauh­ grad. Bei der Hochvolt-Langtunnelätzung starten die Tun­ nel, ausgehend von Keimen in der Oxidschicht. Bei diesem punktuellen Angriff wird der Rest der Oberfläche durch die Oxidschicht geschützt. Wird dieser Schutz durch den Elek­ trolyten abgebaut, endet die neue Bildung von Tunneln.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für Elektrolytkondensatoren anzuge­ ben, bei dem während des Ätzprozesses die Oxidschicht weit­ gehend geschützt wird.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Folien in einem Chlorid-Ionen enthaltenden Ätzbad aufge­ rauht werden, das passivierende Komponenten enthält und in dem die Ätztunnel gebildet werden, und daß nach einer Zwischenspülung die gebildeten Ätztunnel in einem weiteren Ätzbad elektrolytisch und/oder chemisch erweitert werden.
Vorteilhafterweise wird ein Ätzbad verwendet, das eine oder mehrere passivierende Komponenten der Konzentration < 0,5 N enthält, wobei die passivierende Komponente schicht­ bildend am anodisch geschalteten Aluminium wirkt.
Als passivierende Komponenten können z. B. Schwefel-, Oxal-, Wein- oder Phosphorsäure verwendet werden, wobei bei einer Verwendung von Schwefelsäure mit einer Konzen­ tration von 2 bis 10 N gearbeitet wird.
Ferner ist es möglich, die Folien vor der Behandlung in dem ersten Bad in einem Chlorid-Ionen-enthaltenden Bad ohne passivierende Zusätze zu behandeln.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Ausführungsbeispie­ le erläutert, bei denen als Ausgangsmaterial 100-µm-Alumi­ niumfolien der Reinheit 99,99% (entfettet und geglüht) verwendet wurden.
Ausführungsbeispiel 1
Die Folien werden zunächst in einer Tunnelbildungsstufe mit passivierenden Komponenten behandelt. Hierzu ist in einem HCl/AlCl3-haltigen Elektrolyten eine passivierende Komponente mit mehr als 0,5 N enthalten. Bevorzugterweise ist dies Schwefelsäure mit 2 N bis 10 N. Als passivierende Komponenten können aber auch Oxal-, Wein-, bzw. Phosphor­ säure verwendet werden.
In dieser Stufe wird bei 40 bis 95°C mit einer Stromdich­ te von 50 bis 500 mA/cm2 eine Ladung von 10 bis 70 C/cm2 umgesetzt.
Nach einer Spülstufe zur Entfernung der passivierenden Zusätze erfolgt das Aufweiten der gebildeten Tunnel auf den optimalen Durchmesser elektrolytisch in chloridhal­ tigen Elektrolyten und/oder chemisch in HNO3-Lösungen.
Speziell wurde zur Tunnelbildung in einer Lösung von HCl-/AlCl3 und 6 N H2SO4 bei 80°C mit 1300 A/m2 eine Ladung von 48 As/cm2-Folie umgesetzt. Die Tunnelerwei­ terung erfolgte in einem chloridhaltigen Elektrolyten mit einem elektrischen Ladungsumsatz von 60 As/cm2-Folie.
Hiermit wurde bei einer Formierspannung von 400 V ein mittlerer Kapazitätswert von 0,86 µF/cm2 erreicht.
Ausführungsbeispiel 2
Es wurde vor die Behandlung nach Ausführungsbeispiel 1 eine Behandlung in einem HCl/AlCl3-haltigen Elektrolyten bei 60 bis 90°C, einer Stromdichte von 100 bis 500 mA/cm2 und einem Ladungsumsatz von 6 bis 20 C/cm2 vorgeschaltet.
Speziell erfolgte die Tunnelätzung in einer Lösung von HCl/AlCl3 in entionisiertem Wasser bei 80°C während 35 s mit einer Stromdichte von 1800 A/m2.
Mit diesem Verfahren wurde ein Mittelwert der Kapazität von 0,87 µF/cm2 erreicht.
Ausführungsbeispiel 3
Bei dem Verfahren nach Ausführungsbeispiel 2 wurde zuerst eine Vorbehandlung in einem wäßrigen halogenidfreien Elektrolyten mit einer Leitfähigkeit von 1 µS/cm bis 50 inS/cm vorgeschaltet, bei dem die geglühte Aluminiumfolie als Anode geschaltet war.
Speziell wurde die Vorbehandlung in 0,002 M H3PO4 bei 60°C mit einer angelegten Spannung von 1,9 V während 30 s durchgeführt.
Mit diesem Verfahren ergab sich ein Mittelwert der Kapazität von 0,90 µF/cm2.
Als Vergleichswerte können die gemäß DE 39 17 425 A1 er­ reichbaren Kapazitätswerte dienen, bei denen ein Mittel­ wert von 0,77 µF/cm2 erreicht wurde.
Gegenüber diesem Stand der Technik ergibt sich somit bei den Ausführungsbeispielen 1 bis 3 ein Kapazitätsgewinn von 12%, 13% und 17%.

Claims (6)

1. Verfahren zum Herstellen von Elektrodenfolien für, insbesondere Hochvolt-, Elektrolytkondensatoren, indem thermisch behandelte Aluminiumfolien elektrolytisch und/oder chemisch aufgerauht werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien in einem Chlorid-Ionen enthaltenden Ätzbad aufgerauht werden, das passivierende Komponenten enthält und in dem Ätztunnel gebildet werden, und daß nach einer Zwischenspülung die gebildeten Ätztunnel in einem weiteren Ätzbad elektrolytisch und/oder chemisch erweitert werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung eines Ätzbades mit einer oder mehreren passivierenden Komponenten der Konzentration < 0,5 N.
3. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung einer passivierenden Komponente aus Schwefel-, Oxal-, Wein- oder Phosphorsäure.
4. Verfahren nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch die Verwendung einer passivierenden Komponente aus Schwefelsäure in einer Konzentration von 2 N bis 10 N.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien vor der Behandlung in dem ersten Bad in einem Chlorid-Ionen enthaltenden Bad ohne passivierende Komponenten behandelt werden.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Folien vor der Behandlung in Chlorid-Ionen ent­ haltenden Bädern in einem wäßrigen, halogenidfreien Bad, als Anode geschaltet, elektrolytisch vorbehandelt werden.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19812873A1 (de) * 1998-03-17 1999-09-23 Biotronik Mess & Therapieg Elektrolytkondensator
CN106653373A (zh) * 2016-11-30 2017-05-10 乳源瑶族自治县东阳光化成箔有限公司 一种铝电解电容器用化成箔及其生产工艺

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE757309C (de) * 1936-04-28 1954-08-02 Siemens & Halske A G Verfahren zur Behandlung von Elektroden, insbesondere fuer elektrolytische Kondensatoren
DE1496731A1 (de) * 1964-07-18 1969-07-31 Becromal Societa Per Azioni AEtzbad fuer die elektrolytische AEtzung von Aluminiumfolien
DE1614280B2 (de) * 1966-09-27 1975-05-22 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) Verfahren zur Herstellung von Elektrodenfolie aus Aluminium für Elektrolytkondensatoren
SU621796A1 (ru) * 1973-06-08 1978-08-30 Предприятие П/Я Г-4816 Электролит дл травлени алюминиевой фольги
US4319972A (en) * 1980-12-12 1982-03-16 Sprague Electric Company AC Etching of aluminum capacitor foil
DE3127161A1 (de) * 1981-07-09 1983-01-20 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer insbesondere niedervolt-elektrolytkondensatoren
US4381231A (en) * 1981-11-16 1983-04-26 Sprague Electric Company DC Etching of aluminum electrolytic capacitor foil
US4395305A (en) * 1982-08-23 1983-07-26 Sprague Electric Company Chemical etching of aluminum capacitor foil
US4427506A (en) * 1982-09-24 1984-01-24 Sprague Electric Company AC Etching of aluminum capacitor foil
US4432846A (en) * 1982-12-10 1984-02-21 National Steel Corporation Cleaning and treatment of etched cathode aluminum capacitor foil
SU1129661A1 (ru) * 1982-12-30 1984-12-15 Предприятие П/Я Г-4816 Способ обработки алюминиевой фольги дл конденсаторов с оксидным диэлектриком
EP0133714A1 (de) * 1983-07-05 1985-03-06 North American Philips Corporation Verfahren zum elektrolytischen Ätzen von Aluminium-Kondensatorfolie und dabei erhaltene geätzte Folie
US4525249A (en) * 1984-07-16 1985-06-25 North American Philips Corporation Two step electro chemical and chemical etch process for high volt aluminum anode foil
EP0064607B1 (de) * 1981-05-07 1985-09-25 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Ätzen einer rekristallisierten Aluminiumfolie für Elektrolytkondensatoren
GB2171649A (en) * 1985-02-28 1986-09-03 Sprague Electric Co Etching of aluminium electrolytic capacitor foil
DE3503432C2 (de) * 1984-02-03 1989-06-15 Showa Aluminum K.K., Sakai, Osaka, Jp
DE3917425A1 (de) * 1989-05-29 1990-12-06 Siemens Ag Verfahren zum herstellen von elektrodenfolien fuer insbesondere hochvolt-elektrolytkondensatoren

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE757309C (de) * 1936-04-28 1954-08-02 Siemens & Halske A G Verfahren zur Behandlung von Elektroden, insbesondere fuer elektrolytische Kondensatoren
DE1496731A1 (de) * 1964-07-18 1969-07-31 Becromal Societa Per Azioni AEtzbad fuer die elektrolytische AEtzung von Aluminiumfolien
DE1614280B2 (de) * 1966-09-27 1975-05-22 N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) Verfahren zur Herstellung von Elektrodenfolie aus Aluminium für Elektrolytkondensatoren
SU621796A1 (ru) * 1973-06-08 1978-08-30 Предприятие П/Я Г-4816 Электролит дл травлени алюминиевой фольги
US4319972A (en) * 1980-12-12 1982-03-16 Sprague Electric Company AC Etching of aluminum capacitor foil
EP0064607B1 (de) * 1981-05-07 1985-09-25 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zum Ätzen einer rekristallisierten Aluminiumfolie für Elektrolytkondensatoren
DE3127161A1 (de) * 1981-07-09 1983-01-20 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer insbesondere niedervolt-elektrolytkondensatoren
US4381231A (en) * 1981-11-16 1983-04-26 Sprague Electric Company DC Etching of aluminum electrolytic capacitor foil
US4395305A (en) * 1982-08-23 1983-07-26 Sprague Electric Company Chemical etching of aluminum capacitor foil
US4427506A (en) * 1982-09-24 1984-01-24 Sprague Electric Company AC Etching of aluminum capacitor foil
US4432846A (en) * 1982-12-10 1984-02-21 National Steel Corporation Cleaning and treatment of etched cathode aluminum capacitor foil
SU1129661A1 (ru) * 1982-12-30 1984-12-15 Предприятие П/Я Г-4816 Способ обработки алюминиевой фольги дл конденсаторов с оксидным диэлектриком
EP0133714A1 (de) * 1983-07-05 1985-03-06 North American Philips Corporation Verfahren zum elektrolytischen Ätzen von Aluminium-Kondensatorfolie und dabei erhaltene geätzte Folie
DE3503432C2 (de) * 1984-02-03 1989-06-15 Showa Aluminum K.K., Sakai, Osaka, Jp
US4525249A (en) * 1984-07-16 1985-06-25 North American Philips Corporation Two step electro chemical and chemical etch process for high volt aluminum anode foil
GB2171649A (en) * 1985-02-28 1986-09-03 Sprague Electric Co Etching of aluminium electrolytic capacitor foil
DE3917425A1 (de) * 1989-05-29 1990-12-06 Siemens Ag Verfahren zum herstellen von elektrodenfolien fuer insbesondere hochvolt-elektrolytkondensatoren

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1-212428 A. E-849, Nov 21,1989,Vol.13,No.522 *
Patents Abstracts of Japan: 1-319924 A. E-901, Mar 12,1990,Vol.14,No.130 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19812873A1 (de) * 1998-03-17 1999-09-23 Biotronik Mess & Therapieg Elektrolytkondensator
DE19812873B4 (de) * 1998-03-17 2007-01-04 Biotronik Meß- und Therapiegeräte GmbH & Co. Ingenieurbüro Berlin Elektrolytkondensator
CN106653373A (zh) * 2016-11-30 2017-05-10 乳源瑶族自治县东阳光化成箔有限公司 一种铝电解电容器用化成箔及其生产工艺

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