DE4032864A1 - Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination - Google Patents
Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombinationInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein saures Bad zur galvanischen Abscheidung
glänzender und eingeebneter Kupferüberzüge und Verfahren unter Verwendung
dieser Kombination.
Es ist seit langem bekannt, daß sauren, insbesondere den am meisten
verbreiteten schwefelsauren Kupferelektrolyten bestimmte organische
Substanzen in geringen Mengen zugesetzt werden können, um statt einer
kristallin-matten Abscheidung glänzende Kupferüberzüge zu erhalten.
Für diesen Zweck werden zum Beispiel Polyäthylenglycol, Thioharnstoff,
Gelatine, Melasse, Kaffee-Extrakt, "basische" Farbstoffe und Thiophosphorsäureester
verwendet. Solche Bäder besitzen jedoch keinerlei praktische
Bedeutung mehr, da die Qualität der erhaltenen Kupferüberzüge
nicht den heutigen Anforderungen entspricht. So sind die Überzüge entweder
zu spröde oder sie besitzen einen zu geringen Glanz bzw. fallen
in bestimmten Stromdichtebereichen reliefartig aus.
Bekannt ist der Zusatz von Polyalkyliminen in Verbindung mit organischen
Thioverbindungen (DE-PS 12 46 347) und Polyvinylverbindungen
in Mischung mit sauerstoffhaltigen hochmolekularen Verbindungen und
organischen, insbesondere aromatischen Thioverbindungen (DE-AS
15 21 062). Derartige Kupferelektrolyte erlauben aber nicht den Einsatz
höherer kathodischer Stromdichten, und die abgeschiedenen Kupferüberzüge
können außerdem nur nach einer vorausgegangenen Zwischenbehandlung
vernickelt werden. In der genannten DE-AS 15 21 062 wird außerdem
ein saures Kupferbad beschrieben, das neben einer polymeren sauerstoffhaltigen
Verbindung mit hydrophiler Gruppe noch mindestens eine
substituierte Phenazoniumverbindung gelöst enthält.
Bei diesen monomeren Phenazoniumverbindungen ist die anwendbare
Stromdichte sowie das Alterungsverhalten verbesserungswürdig. Weiter
sind Kombinationen von organischen Thioverbindungen und nichtionogenen
Netzmitteln mit anderen Farbstoffen wie zum Beispiel Kristall-
Violett (EU-PS 71 512), Amiden (DE-PS 27 46 938), Phthalocyanin-Derivaten
mit Apo-Safranin (DE-PS 34 20 999) bekannt.
Anstelle des Farbstoffes wurden auch undefinierte Umsetzungsprodukte
von Polyaminen mit Benzylchlorid (DE-PS 25 41 897) bzw. Epichlorhydrin
(EU-PS 68 807) oder solche mit Thioverbindungen und Acrylamid
(EU-PS 1 07 109) verwendet.
Die bisher bekannten Bäder ergeben alle ungleichmäßige Abscheidungen;
insbesondere die Kombination mit stickstoffhaltigen Thioverbindungen.
Einen Fortschritt erbrachten Bäder, die polymere Phenazoniumverbindungen
(DE-PS 20 39 831) enthalten; diese finden hauptsächlich in Kombination
mit nichtionogenen Netzmitteln und organischen Schwefelverbindungen
Anwendung.
Zwar ist es Stand der Technik, nichtionogene Netzmittel den sauren
Kupferbädern zuzusetzen, die Entfernung der feinen Rauhheit gelang
damit jedoch nicht.
Die Verwendung von β-Naphthol-Polyglycoläther als Komponente eines
Kupferbades wird in der DE-OS 37 21 985 (Beispiel 2) offenbart, jedoch
nicht in der Kombination mit stickstoffhaltigen Thioverbindungen
und/oder polymeren Phenazoniumverbindungen.
In der DE-PS 31 04 108 wird ein Fluorboratbad beschrieben, das β-Naphtholäthoxylat
in Kombination mit einem Phthalocyanin-Farbstoff enthält.
Der Elektrolyt selbst zeigt nur eine mäßige Einebnung im Vergleich
zu polymeren Phenazoniumverbindungen.
Nachteilig bei diesen Bädern ist bei hoher Einebnung eine feine Rauhheit
(Pittings, Nodules) auf der Schicht, welche das dekorative Aussehen
besonders großflächiger Teile empfindlich stört. Diese Rauhheit
rührt nicht von Schwebeteilchen im Elektrolyten her, sondern beruht
auf einer gestörten Abscheidung in der kathodischen Doppelschicht.
Diese tritt besonders bei stickstoffhaltigen Schwefelverbindungen
(sog. Thioharnstoffderivaten) und bei Phenazoniumverbindungen auf.
Aufgabe dieser Erfindung ist es, diese beschriebenen Nachteile zu
vermeiden und darüber hinaus die vorteilhafte Einebnung nicht zu
verschlechtern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein saures Bad gelöst, das
β-Naphtholaloxylate der allgemeinen Formel I
enthält, in der n = 0-50, vorzugsweise 10-25, und m = 0-50,
vorzugsweise 0-10, bedeuten, wobei n+m3 ist.
Als β-Naphtholalkoxylate der allgemeinen Formel I eignen sich besonders
Verbindungen der
Als stickstoffhaltige Thioverbindungen finden Thioharnstoff und
Thioharnstoffderivate sowie S- und N-haltige heterozyklische Verbindungen
Anwendung.
Tabelle 2 enthält Beispiele für stickstoffhaltige Thioverbindungen
(sog. Thioharnstoffderivate) und Tabelle 3 für polymere Phenazoniumverbindungen.
Thioharnstoff
N-Acetylthioharnstoff
N-Trifluoroacetylthioharnstoff
N-Äthylthioharnstoff
N-Cyanoacetylthioharnstoff
N-Allylthioharnstoff
o-Tolylthioharnstoff
N,N′-Butylenthioharnstoff
Thiazolidinthiol(2)
4-Thiazolinthiol(2)
Imidazolidinthiol(2)(N,N′-äthylenthioharnstoff)
4-Methyl-2-pyrimidinthiol
2-Thiouracil
N-Acetylthioharnstoff
N-Trifluoroacetylthioharnstoff
N-Äthylthioharnstoff
N-Cyanoacetylthioharnstoff
N-Allylthioharnstoff
o-Tolylthioharnstoff
N,N′-Butylenthioharnstoff
Thiazolidinthiol(2)
4-Thiazolinthiol(2)
Imidazolidinthiol(2)(N,N′-äthylenthioharnstoff)
4-Methyl-2-pyrimidinthiol
2-Thiouracil
Poly(6-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-diäthylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(5-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumacetat)
Poly(2-methyl-7-anilino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(7-methylamino-5-phenyl-phenazoniumacetat)
Poly(7-äthylamino-2,5-diphenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,8-dimethyl-7-diäthylamino-5-p-tolyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,5,8-triphenyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(2,8-dimethyl-7-amino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(7-Dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-diäthylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(5-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumacetat)
Poly(2-methyl-7-anilino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(7-methylamino-5-phenyl-phenazoniumacetat)
Poly(7-äthylamino-2,5-diphenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,8-dimethyl-7-diäthylamino-5-p-tolyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,5,8-triphenyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(2,8-dimethyl-7-amino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(7-Dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Für die erfindungsgemäßen Lösungen lassen sich auch Gemische der
in den Tabellen 1, 2 und 3 aufgeführten Verbindungen einsetzen.
Die bevorzugte Menge, in der das β-Naphtholalkoxylat zugegeben werden
muß, um eine deutliche Verbesserung der Kupferabscheidung zu erzielen,
beträgt etwa 0,005 bis 3 g/Liter, vorzugsweise 0,01 bis 0,25 g/Liter.
Die β-Naphtholalkoxylate sind bekannt oder können nach an sich
bekannten Verfahren durch Umsetzen von β-Naphthol mit Äthylenoxyd
und/oder Propylenoxyd hergestellt werden.
Die Einzelkomponenten des erfindungsgemäßen Kupferbades können im
allgemeinen vorteilhaft innerhalb folgender Grenzkonzentrationen im
anwendungsfertigen Bad enthalten sein:
Übliche sauerstoffhaltige, hochmolekulare Verbindungen | |
0,005-20 g/Liter | |
vorzugsweise | 0,01-5 g/Liter |
Übliche organische Thioverbindungen mit hydrophilen Gruppen | 0,0005-0,2 g/Liter |
vorzugsweise | 0,001-0,03 g/Liter |
Übliche stickstoffhaltige Thioverbindungen (sog. Thioharnstoffderivate) und/oder polymere Phenazoniumverbindungen | 0,0001-0,50 g/Liter |
vorzugsweise | 0,0005-0,04 g/Liter |
Die Grundzusammensetzung des erfindungsgemäßen Bades kann in weiten
Grenzen schwanken. Im allgemeinen wird eine wäßrige Lösung folgender
Zusammensetzung benutzt:
Kupfersulfat (CuSO₄ · 5 H₂O) | |
20-250 g/Liter | |
vorzugsweise | 20-80 g/Liter oder |
180-220 g/Liter | |
Schwefelsäure | 50-350 g/Liter |
vorzugsweise | 180-220 g/Liter oder |
50-90 g/Liter | |
Natriumchlorid | 0,02-0,25 g/Liter |
vorzugsweise | 0,05-0,12 g/Liter |
Anstelle von Kupfersulfat können zumindest teilweise auch andere
Kupfersalze benutzt werden. Auch die Schwefelsäure kann teilweise
oder ganz durch Fluoroborsäure, Methansulfonsäure oder andere Säuren
ersetzt werden. Die Zugabe von Natriumchlorid kann ganz oder teilweise
entfallen, wenn in den Zusätzen bereits Halogenionen enthalten sind.
Außerdem können im Bad auch zusätzlich übliche Glanzbildner, Einebner
oder Netzmittel enthalten sein.
Zur Herstellung des erfindungsgemäßen Bades werden die Einzelkomponenten
der Grundzusammensetzung hinzugefügt.
Dei Arbeitsbedingungen des Bades sind wie folgt:
pH-Wert: | |
<1 | |
Temperatur: | 15°C-45°C, vorzugsweise 20°C-30°C |
kath. Stromdichte: | 0,5-12 A/dm², vorzugsweise 2-4 A/dm² |
Die Elektrolytbewegung wird durch Einblasen von Luft erreicht.
Als Anode wird Kupfer mit einem Gehalt von 0,02 bis 0,067% Phosphor
verwendet.
Die Erfindung beinhaltet auch Verfahren unter Verwendung der erfindungsgemäßen
Bäder gemäß den Patentansprüchen.
Die folgenden Beispiele dienen zur Erläuterung der Erfindung:
Einem Kupferbad der Zusammensetzung
200,0 g/Liter Kupfersulfat (CuSO₄ · 5 H₂O)
65,0 g/Liter Schwefelsäure
0,2 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,2 g/Liter Polyäthylenglycol,
0,01 g/Liter Bis-(w-sulfopropyl)-disulfid, Dinatriumsalz
und
0,02 g/Liter polymeres 7-Dimethylamino-5-phenyl- phenazonium-chlorid
65,0 g/Liter Schwefelsäure
0,2 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,2 g/Liter Polyäthylenglycol,
0,01 g/Liter Bis-(w-sulfopropyl)-disulfid, Dinatriumsalz
und
0,02 g/Liter polymeres 7-Dimethylamino-5-phenyl- phenazonium-chlorid
zugegeben. Bei einer Elektrolyttemperatur von 27°C erhält man bei
einer Stromdichte von 4 A/dm² und Lufteinblasung einen gut eingeebneten
glänzenden Kupferüberzug, der auf poliertem Messingblech
beim genauen Hinsehen feine Rauhigkeiten (Pittings) zeigt.
Gibt man dem Bad zusätzlich 0,025 g/Liter der erfindungsgemäßen
Substanz der allgemeinen Formel I mit n = 12 und m = 0 zu, so ist
die Abscheidung spiegelglänzend und gut eingeebnet. Man erkennt keine
Fehlstellen.
Einem Kupferbad der Zusammensetzung
80 g/Liter Kupfersulfat (CuSO₄ · 5 H₂O)
180 g/Liter Schwefelsäure konz.
0,08 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,6 g/Liter Polypropylenglycol und
0,02 g/Liter 3-Mercaptopropan-1-sulfonsäure, Natriumsalz und
0,003 g/Liter N-Acetylthioharnstoff
180 g/Liter Schwefelsäure konz.
0,08 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,6 g/Liter Polypropylenglycol und
0,02 g/Liter 3-Mercaptopropan-1-sulfonsäure, Natriumsalz und
0,003 g/Liter N-Acetylthioharnstoff
zugegeben. Bei einer Elektrolyttemperatur von 30°C erhält man auf
gekratztem Kupferlaminat bei einer Stromdichte von 2 A/dm² glänzende
Abscheidungen, bei denen feine Rauhigkeiten (Pittings) sichtbar sind.
Setzt man dem Bad 0,05 g/Liter der erfindungsgemäßen Substanz der
allgemeinen Formel I mit n = 24 und m = 0 zu, so ist der Kupferüberzug
blank und enthält keine Störungen.
Claims (16)
1. Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung glänzender und
eingeebneter Kupferüberzüge, stickstoffhaltige Thioverbindungen
(sog. Thioharnstoffderivate) und/oder polymere Phenazoniumverbindungen
enthaltend, gekennzeichnet durch einen Gehalt
an β-Naphtholalkoxylat der allgemeinen Formel I
in der n = 0-50 und m = 0-50 bedeuten, wobei n+m3 ist.
2. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 1, enthaltend β-Naphtholalkoxylat
der allgemeinen Formel I in Konzentrationen
von 0,005 bis 3 g/Liter.
3. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet
durch einen Gehalt an mindestens einer stickstoffhaltigen
Thioverbindung (sog. Thioharnstoffderivat).
4. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 3, enthaltend
Thioharnstoff
N-Acetylthioharnstoff
N-Trifluoroacetylthioharnstoff
N-Äthylthioharnstoff
N-Cyanoacetylthioharnstoff
N-Allylthioharnstoff
o-Tolylthioharnstoff
N,N′-Butylenthioharnstoff
Thiazolidinthiol(2)
4-Thiazolinthiol(2)
Imidazolidinthiol(2)(N,N′-Äthylenthioharnstoff)
4-Methyl-2-pyrimidinthiol
2-Thiouracil
oder Gemische dieser Verbindungen.
Thioharnstoff
N-Acetylthioharnstoff
N-Trifluoroacetylthioharnstoff
N-Äthylthioharnstoff
N-Cyanoacetylthioharnstoff
N-Allylthioharnstoff
o-Tolylthioharnstoff
N,N′-Butylenthioharnstoff
Thiazolidinthiol(2)
4-Thiazolinthiol(2)
Imidazolidinthiol(2)(N,N′-Äthylenthioharnstoff)
4-Methyl-2-pyrimidinthiol
2-Thiouracil
oder Gemische dieser Verbindungen.
5. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 3 und 4, enthaltend
stickstoffhaltige Thioverbindungen (sog. Thioharnstoffderivate)
in Konzentrationen von 0,0001 bis 0,5 g/Liter.
6. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet
durch einen Gehalt an mindestens einer polymeren Phenazoniumverbindung.
7. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 6 enthaltend
Poly(6-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-diäthylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(5-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumacetat)
Poly(2-methyl-7-anilino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(7-methylamino-5-phenyl-phenazoniumacetat)
Poly(7-äthylamino-2,5-diphenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,8-dimethyl-7-diäthylamino-5-p-tolyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,5,8-triphenyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(2,8-dimethyl-7-amino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(7-Dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
oder Gemische dieser Verbindungen.
Poly(6-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-diäthylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(5-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumacetat)
Poly(2-methyl-7-anilino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(7-methylamino-5-phenyl-phenazoniumacetat)
Poly(7-äthylamino-2,5-diphenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,8-dimethyl-7-diäthylamino-5-p-tolyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,5,8-triphenyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(2,8-dimethyl-7-amino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(7-Dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
oder Gemische dieser Verbindungen.
8. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 6 und 7, enthaltend
polymere Phenazoniumverbindungen in Konzentrationen von
0,0001 bis 0,5 g/Liter.
9. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet
durch einen zusätzlichen Gehalt an mindestens einer sauerstoffhaltigen
hochmolekularen Verbindung.
10. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 9, enthaltend
Polyvinylalkohol
Carboxymethylcellulose
Polyäthylenglycol
Polypropylenglycol
Stearinsäure-Polyglycolester
Ölsäure-Polyglycolester
Stearylalkohol-Polyglycoläther
Nonylphenol-Polyglycoläther Oktanolpolyalkylenglycoläther Oktandiol-bis(polyalkylenglycoläther)
Polyoxypropylenglycol
Polyäthylen-propylenglycol
oder Gemische dieser Verbindungen.
Polyvinylalkohol
Carboxymethylcellulose
Polyäthylenglycol
Polypropylenglycol
Stearinsäure-Polyglycolester
Ölsäure-Polyglycolester
Stearylalkohol-Polyglycoläther
Nonylphenol-Polyglycoläther Oktanolpolyalkylenglycoläther Oktandiol-bis(polyalkylenglycoläther)
Polyoxypropylenglycol
Polyäthylen-propylenglycol
oder Gemische dieser Verbindungen.
11. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 9 und 10, enthaltend
die sauerstoffhaltigen hochmolekularen Verbindungen in Konzentrationen
von 0,005 bis 20 g/Liter.
12. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet
durch einen zusätzlichen Gehalt an einer organischen stickstofffreien
Thioverbindung mit wasserlöslichen hydrophilen
Gruppen.
13. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 12, enthaltend
3-Mercaptopropan-1-sulfonsäure, Natriumsalz,
Thiophosphorsäure-O-äthyl-bis-(w-sulfopropyl)-ester, Dinatriumsalz, Thiophosphorsäure-tris-(w-sulfopropyl)-ester, Trinatriumsalz,
Äthylendithiodipropylsulfonsäure, Natriumsalz,
Di-n-propylthioäther-di-w-sulfonsäure, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfopropyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfohydroxypropyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfobutyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Methyl-(w-sulfopropyl)disulfid, Natriumsalz,
Methyl-(w-sulfobutyl)trisulfid, Natriumsalz
oder Gemische dieser Verbindungen.
3-Mercaptopropan-1-sulfonsäure, Natriumsalz,
Thiophosphorsäure-O-äthyl-bis-(w-sulfopropyl)-ester, Dinatriumsalz, Thiophosphorsäure-tris-(w-sulfopropyl)-ester, Trinatriumsalz,
Äthylendithiodipropylsulfonsäure, Natriumsalz,
Di-n-propylthioäther-di-w-sulfonsäure, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfopropyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfohydroxypropyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfobutyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Methyl-(w-sulfopropyl)disulfid, Natriumsalz,
Methyl-(w-sulfobutyl)trisulfid, Natriumsalz
oder Gemische dieser Verbindungen.
14. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 12 und 13, enthaltend
die organischen stickstofffreien Thioverbindungen mit wasserlöslichen
hydrophilen Gruppen in Konzentrationen von 0,0005
bis 0,2 g/Liter.
15. Wäßriges saures Bad, gekennzeichnet durch einen Gehalt an
β-Naphtholalkoxylaten gemäß Ansprüchen 1 bis 2, sauerstoffhaltigen
hochmolekularen Verbindungen gemäß Ansprüchen 9 bis
11 und organischen stickstofffreien Thioverbindungen mit wasserlöslichen
hydrophilen Gruppen gemäß Ansprüchen 12 bis 14.
16. Verfahren zur Kupfergalvanisierung unter Verwendung des Bades
nach mindestens einem Anspruch 1-15.
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CA002093924A CA2093924C (en) | 1990-10-13 | 1991-10-11 | Acid bath for copper plating |
EP91917496A EP0554275B1 (de) | 1990-10-13 | 1991-10-11 | Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination |
ES91917496T ES2066477T3 (es) | 1990-10-13 | 1991-10-11 | Baño acido para la electrodeposicion de recubrimientos de cobre y procedimiento con utilizacion de esta combinacion. |
DE59103933T DE59103933D1 (de) | 1990-10-13 | 1991-10-11 | Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination. |
PCT/DE1991/000811 WO1992007116A1 (de) | 1990-10-13 | 1991-10-11 | Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination |
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JP (1) | JPH06501986A (de) |
AT (1) | ATE115651T1 (de) |
CA (1) | CA2093924C (de) |
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ES (1) | ES2066477T3 (de) |
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