DE4017191A1 - Verfahren zur oelversorgung einer zweistufigen drehschiebervakuumpumpe und fuer die durchfuehrung dieses verfahrens geeignete drehschiebervakuumpumpe - Google Patents
Verfahren zur oelversorgung einer zweistufigen drehschiebervakuumpumpe und fuer die durchfuehrung dieses verfahrens geeignete drehschiebervakuumpumpeInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Ölversorgung
einer zweistufigen Drehschiebervakuumpumpe mit Schöpfräumen und
weiteren mit Öl zu versorgenden Stellen sowie mit einem Ölsumpf.
Außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine für die Durchführung
dieses Verfahrens geeignete zweistufige Drehschiebervakuumpumpe.
Bei mit Öl betriebenen Drehschiebervakuumpumpen hat das Öl
zunächst die Aufgabe, in den Schöpfräumen eine ausreichende
Abdichtung zwischen den Saugseiten und den Druckseiten herbeizu
führen. Gleichzeitig dient das Öl der Schmierung der in den
Schöpfräumen befindlichen Rotoren sowie der darin geführten
Schieber. Weiterhin bewirkt im Kreislauf geführtes Öl eine
Kühlung vor allem der im Vakuum rotierenden Bauteile. Außerdem
sollen Schmutzteilchen vom Öl in den Ölsumpf gefördert werden.
Schließlich sollen auch die weiteren Lagerstellen der Vakuumpumpe
(Rotorlagerungen, Lagerung der Antriebswelle usw.) mit Hilfe des
in der Pumpe befindlichen Öls geschmiert werden.
Es ist bekannt, Drehschiebervakuumpumpen mit einer separaten
Druckölpumpe auszurüsten und das mit Hilfe dieser Pumpe geför
derte Drucköl den jeweils mit Öl zu versorgenden Stellen der
Vakuumpumpe zuzuführen. Eine ausreichende Ölzufuhr der verschie
denen, mit Öl zu versorgenden Stellen ist dadurch zwar sicherge
stellt; wegen der separaten Druckölpumpe ist diese Lösung jedoch
technisch aufwendig.
Weiterhin ist es bekannt, den von der Pumpe erzeugten Unterdruck
zur Förderung des Öls auszunutzen. Dabei ist jedoch die Schmie
rung von Stellen, die sich nicht unmittelbar am Schöpfraum
befinden oder aufgrund der gewünschten Pumpleistung nicht mit dem
Schöpfraum verbunden sein dürfen, problematisch.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben sowie eine für die
Durchführung dieses Verfahrens geeignete zweistufige Drehschie
berpumpe zu schaffen, welche ohne separate Druckölpumpe auskommen
und dennoch eine ausreichende Ölversorgung aller Öl benötigenden
Stellen sichergestellt ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Betriebsverfahren
der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß das Öl aus dem
Ölsumpf mit Hilfe der Vorvakuumstufe der Pumpe in einen oberhalb
der Lagerstellen angeordneten Zwischensumpf gefördert wird, daß
es aus diesem Zwischensumpf durch Schwerkraft zu weiteren mit Öl
zu versorgenden Stellen geführt wird und daß es von diesen
Stellen in den Ölsumpf zurückfließt. Dadurch, daß das Öl mit
Hilfe der Vorvakuumstufe der Pumpe gefördert wird, ist zunächst
die Ölversorgung dieser Stufe der Vorvakuumstufe sichergestellt.
Von dort aus gelangt das Öl in den Zwischensumpf, der eine
größere geodätische Höhe hat als die anschließend mit Öl zu
versorgenden Schmierstellen. Die Abflüsse aus dem Zwischensumpf
können durch Rinnen im Guß, Bohrungen mit relativ großen Durch
messern oder durch Leitbleche gebildet werden, so daß sie gegen
Schmutz völlig unempfindlich sind. Die Gefahr, daß verschmutztes
Öl zur Zerstörung der Pumpe führt, ist also beseitigt. Werden
darüber hinaus besonders empfindliche Lager so ausgebildet, daß
das Schmiermittel niemals völlig abfließen kann, dann werden
Notlaufeigenschaften erreicht, die im Falle fehlender Ölversor
gung einen Totalschaden vermeiden.
Eine für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
geeignete zweistufige Drehschiebervakuumpumpe weist zweckmäßig
eine vom Ölsumpf zum Schöpfraum der Vorvakuumstufe führende
Ölleitung auf, deren Eintrittsöffnung unterhalb des Ölspiegels im
Ölsumpf liegt. Durch diese Leitung gelangt Öl in die Vorvakuum
stufe und wird von dieser in den oberhalb des Auslaßventiles der
Vorvakuumstufe gelegenen Ölzwischensumpf gefördert. Der Zwi
schensumpf ist zweckmäßig über Ölleitungen mit den tiefergele
genen Lagerstellen verbunden, von denen das Öl in den Ölsumpf
zurückfließt.
Weitere Vorteile und Einzelheiten sollen anhand der Fig. 1 bis
3 erläutert werden. Es zeigen
Fig. 1 und Fig. 2 Schnitte durch eine erfindungsgemäß
gestaltete Drehschiebervakuumpumpe und
Fig. 3 ein Ölkreislaufschema nach der Erfindung.
Die in den Figuren als Ausführungsbeispiel dargestellte, zwei
stufige Vakuumpumpe 1 umfaßt das eigentliche Pumpengehäuse 2, den
das Pumpengehäuse umgebenden Ölkasten 3, den Antriebsmotor 4 und
das äußere Gehäuse bzw. die Haube 5. Das Pumpengehäuse 2 und der
Antriebsmotor 4 sind an einem Schild 6 befestigt, der sich über
eine Grundplatte 7 auf dem Boden abstützt.
Bestandteil des Pumpengehäuses 2 ist der einstückig ausgebildete
Pumpenring 8, dessen Öffnung drei Bereiche 11, 12, 13 mit unter
schiedlicher Gestaltung aufweist. Innerhalb des Pumpenringes 8
befindet sich das ebenfalls einstückig ausgebildete Rotorensystem
14 mit den Abschnitten 14a, 14b und 14c. Die beiden äußeren
Abschnitte 14a und 14c sind mit von den Stirnseiten her zugäng
lichen Schieberschlitzen 15, 16 ausgerüstet und bilden die Anker
der Hochvakuum- bzw. Vorvakuumstufe.
Der mittlere Abschnitt 14b des Rotorensystems 14 entspricht in
seiner Länge und seinem Durchmesser derart dem mittleren Bereich
12 der Öffnung des Pumpenringes 8, daß dieser Bereich die Funk
tion einer Gleitlagerung für das Rotorensystem 14 hat. Der
gegenüber dem Bereich 12 vergrößerte Bereich 13 des Pumpenringes
8 bildet gemeinsam mit dem Schild 6 den Schöpfraum 17 der Hoch
vakuum( HV)-Stufe der Pumpe 1. Der Schieber der HV-Stufe ist mit
18 bezeichnet. Der Bereich 11 des Pumpenringes 8 bildet gemeinsam
mit der Frontplatte 19 den Schöpfraum 21 der Vorvakuum(VV)-Stufe.
Der Schieber der VV-Stufe ist mit 22 bezeichnet.
Der Einlaßkanal der HV-Stufe ist mit 23 bezeichnet. Der vom
Auslaß der HV-Stufe zum Einlaß der VV-Stufe führende Kanal ist
nur in Fig. 2 eingezeichnet und mit 24 bezeichnet. Dem Auslaß
kanal 25 (Fig. 2) der VV-Stufe ist das Auslaßventil 26 zugeord
net. Das Auslaßventil 26 ist als Rückschlagventil ausgebildet und
übernimmt die Vakuumsicherung des Rezipienten bei Ausfall der
Pumpe. Das Ventil 26 ist im oberen Bereich des Pumpengehäuses 2
angeordnet. Es befindet sich am Boden einer Vertiefung 27, die
während des Betriebs der Vakuumpumpe einen Ölzwischensumpf
bildet.
Der Einlaßstutzen 31 der dargestellten Vakuumpumpe ist am Zwi
schenschild 6 befestigt. Über eine Bohrung 32 im Schild 6 ist er
an den Eintrittskanal 23 der HV-Stufe angeschlossen. Auch der
Auslaßstutzen 33 ist am Schild 6 vorgesehen. Über eine der
Bohrung 32 entsprechende Bohrung steht er mit dem Innenraum des
Ölkastens 3 in Verbindung.
Bestandteil des Ölkastens 3 ist noch ein stirnseitig am Ölkasten
angeordneter Dom 35. Sein mittlerer Abschnitt 36 ist durchsichtig
und dient der Kontrolle des Ölstandes im Ölkasten 3. Der Dom 35
hat einen etwa halbrunden Querschnitt, dessen Breitseite dem
Ölkasten 3 zugewandt ist. Er erstreckt sich über die gesamte Höhe
des Ölkastens 3, so daß er mit der Öleinfüllöffnung 37 und der
Ölablaßöffnung 38 ausgerüstet werden kann.
Der Motor 4 ist auf seiner freien Stirnseite mit einem Gebläse 41
ausgerüstet. Der von diesem Gebläse erzeugte Kühlluftstrom dient
nicht nur der Kühlung des Motors, sondern auch der Kühlung des
Ölkastens 3. Sowohl das Motorgehäuse als auch der Ölkasten 3 sind
mit axial bzw. horizontal verlaufenden Kühlrippen 42 bzw. 43
ausgerüstet.
Der Zwischenschild 32 hat außerdem noch die Funktion eines
Kupplungsgehäuses. Er ist mit einer Lagerbohrung 51 versehen, in
die ein am Rotorsystem 14 angeordneter Rotorwellenzapfen 52 und
der Wellenzapfen 53 des Antriebsmotors 4 hineinragen und dort
gleitend gelagert sind. Mit Hilfe einer Stiftkupplung 54 sind die
beiden Wellenzapfen 52, 53 stirnseitig gekuppelt. Anstelle der
Stiftkupplung könnten auch ineinandergreifende Vorsprünge im
Bereich der Stirnseiten der Wellenzapfen 52, 53 vorgesehen sein.
Jedem der Wellenzapfen 52, 53 ist ein Wellendichtring 55, 56
zugeordnet, deren Sitz sich ebenfalls im Kupplungsgehäuse befin
det. Diese bilden einen Schmiermittelraum 57, der die Kupplung
enthält und über die Öl-Bohrung 58 mit Vollschmierung betrieben
werden kann. Da sich der rotorseitige Wellendichtring 55 in
unmittelbarer Nähe der HV-Stufe befindet, ist die Leistungs
fähigkeit dieser mit Mangelschmierung betriebenen Stufe durch
Schmieröl nicht beeinträchtigt.
Bei der Beschreibung des erfindungsgemäßen Ölkreislaufs wird auf
die Fig. 1 und 3 Bezug genommen. Unterhalb des Ölstandes 71
des Ölsumpfes 72 befindet sich die Eintrittsöffnung 73 einer
Ölleitung 74, der in den Schöpfraum 21 der VV-Stufe 11, 14a
führt.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel besteht der Ölkanal 74 aus
mehreren Bohrungen sowohl im Zwischenschild 6 als auch im Pumpen
gehäuse 8, die die Einschaltung eines Magnetventiles 75 in den
Ölkanal 74 ermöglichen. Bei einem Stromausfall schließt das
Ventil 75, so daß kein Öl in den Rezipienten, dessen Vakuum
infolge des Auslaßventils 26 gesichert ist, gelangen kann.
Die Mündung des Ölkanals 74 in den Schöpfraum 21 der VV-Stufe ist
zweckmäßig als Düse 76 ausgebildet (vgl. auch Fig. 3) und so
gelegen, daß eine direkte Verbindung zur Saugseite (Einlaßkanal
24) durch den Schieber 22 der VV-Stufe stets versperrt ist. Die
Düse 76 erlaubt es, die Menge des vom Vakuum in der VV-Stufe
angesaugten Öles einzustellen.
Vom Ölkanal 74 führt eine Abzweigung 77 unmittelbar zum Zwi
schenlager 12, 14b, wo sich während des Betriebs der Pumpe ein
zwischen den Drücken der HV-Stufe und der VV-Stufe liegender
Druck einstellt. Das in das Zwischenlager gelangende Öl strömt
sowohl in die HV-Stufe als auch in die VV-Stufe. Die in die
HV-Stufe gelangende Ölmenge reicht aus, um diese mit der ge
wünschten Mangelschmierung zu versorgen. Über den Verbindungs
kanal 24 gelangt dieses Öl in die VV-Stufe 11, 14a.
Das in die VV-Stufe einströmende Öl tritt gemeinsam mit dem
abgepumpten Gas durch das Auslaßventil 26 und bildet in der
Vertiefung 27 den Ölzwischensumpf. Dieser steht mit einer Öllei
tung 78 (in den Fig. 1 und 2 gestrichelt angedeutet) in
Verbindung, der zu den weiteren Stellen der Pumpe führt, die mit
Öl zu versorgen sind.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel besteht der Ölkanal 78
zunächst aus einer etwa axial gerichteten, seitlich im Pumpenge
häuse geführten Bohrung 79, die sich bis zum Zwischenschild 6
erstreckt. Auch durch eine seitlich geführte Rinne könnte das Öl
bis zum Zwischenschild 6 geführt werden. An die axiale Bohrung 79
schließt sich eine Querbohrung 81 an, die oberhalb der Kupplung
und der Lagerung der Zapfen (52, 53) verläuft. Diese Bohrung 81
endet in einem Bereich, von dem aus das Öl in den Sumpf 72
zurückfließen kann. Die Bohrungen 79, 81 sind derart geneigt
angeordnet, daß das Öl aus dem Zwischensumpf infolge der Schwer
kraft zu den weiteren zu schmierenden Stellen gelangt. In dem
Kreislaufschema nach Fig. 3 sind ein Lagergehäuse und ein
Kupplungsgehäuse schematisch als Block 83 und 84 dargestellt. Die
Lage der Ölbohrung 81 ist in Fig. 2 durch eine gestrichelte
Linie dargestellt. Sie durchsetzt - vorzugsweise geneigt - das
Pumpengehäuse 2 und schneidet den mit Öl zu versorgenden Schmier
mittelraum 57 oberhalb der Wellenzapfen 52, 53 bzw. der Kupplung
54. Zweckmäßig ist in diesem Bereich noch eine Axialnut 82 im
Lager- und Kupplungsgehäuse 6 vorgesehen.
Durch die Bohrung 81 gelangt Öl in den Schmiermittelraum 57.
Überschüssiges Öl strömt weiter durch die Bohrung 81 und fließt
in den tiefer gelegenen Ölsumpf ab. Aus dem Schmiermittelraum 57
kann das Schmieröl niemals völlig abfließen, so daß die erfin
dungsgemäße Lagerung und Kupplung besonders gute Notlaufeigen
schaften hat.
Claims (9)
1. Verfahren zur Ölversorung einer zweistufigen
Drehschieberpumpe (1) mit Schöpfräumen (17, 21) und weiteren
mit Schmieröl zu versorgenden Stellen (12, 51, 54) sowie mit
einem Ölsumpf (72), dadurch gekennzeichnet, daß Öl aus dem
Ölsumpf (72) mit Hilfe der Vorvakuumstufe (11, 14a) der
Pumpe (1) in einen oberhalb der weiteren mit Öl zu versor
genden Stellen angeordneten Zwischensumpf (27) gefördert
wird, daß es aus diesem Zwischensumpf durch Schwerkraft zu
weiteren mit Öl zu versorgenden Stellen (51, 54) geführt
wird und daß es von diesen Stellen in den Ölsumpf (72)
zurückfließt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Öl
über eine mit dem Ölsumpf (72) verbundene Leitung (74) in
die Vorvakuumstufe (11, 14a) gesaugt wird, daß es mit den
von der Vorvakuumstufe geförderten Gas in den oberhalb eines
Auslaßventiles (26) und der weiteren mit Öl zu versorgenden
Stellen (52, 54) gelegenen Zwischensumpf (27) gelangt.
3. Zweistufige Drehschiebervakuumpumpe zur Durchführung der
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß eine vom Ölsumpf (72) zum Schöpfraum (21) der Vorvakuum
stufe (11, 14a) führende Ölleitung (74) vorgesehen ist,
deren Eintrittsöffnung (73) unterhalb des Ölspiegels (71) im
Ölsumpf (72) liegt, daß oberhalb des Auslaßventiles (26) der
Vorvakuumstufe und der weiteren mit Öl zu versorgenden
Stellen (51, 54) ein Ölzwischensumpf (27) angeordnet ist und
daß der Zwischensumpf über eine Ölleitung (78) mit den
tiefer gelegenen Stellen (51, 54) verbunden ist.
4. Pumpe nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in die
Ölleitung (74) ein Magnetventil eingeschaltet ist.
5. Pumpe nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß
die Ölleitung (74) mit einer zu einem Zwischenlager (12)
führenden Abzweigung (77) versehen ist.
6. Pumpe nach Anspruch 3, 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die Eintrittsöffnung der Ölleitung (74) in den Schöpfraum
(21) der Vorvakuumstufe (11, 14a) als Düse (76) ausgebildet
ist.
7. Pumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet , daß geneigt angeordnete Bohrungen vom Zwischen
sumpf (27) zu den weiteren mit Öl zu versorgenden Stellen
(83, 84 bzw. 51, 54) führen.
8. Pumpe nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekenn
zeichnet , daß ein Zwischenschild (6) ein gemeinsames Lager
und Kupplungsgehäuse bildet, daß zwei einen Schmiermittel
raum (57) bildende Wellendichtringe (55, 56) aufweist und
daß die mit dem Schmiermittelraum (57) in Verbindung ste
hende Ölleitung (78) oberhalb des Lager- und Kupplungs
gehäuses verläuft.
9. Pumpe nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die
Lagerbohrung (51) im Lager- und Kupplungsgehäuse (6) in
seinem oberen Bereich mit einer Axialnut (82) ausgerüstet
ist und daß die Bohrung (78) die Axialnut (82) schneidet.
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH04231696A (ja) | 1992-08-20 |
EP0459107B1 (de) | 1994-09-21 |
DE59103001D1 (de) | 1994-10-27 |
EP0459107A1 (de) | 1991-12-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 |
|
8141 | Disposal/no request for examination |