JPH04231696A - ２段式回転滑り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法とこの方法を実施するのに適した回転滑り弁形真空ポンプ - Google Patents

２段式回転滑り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法とこの方法を実施するのに適した回転滑り弁形真空ポンプ

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JPH04231696A
JPH04231696A JP3120781A JP12078191A JPH04231696A JP H04231696 A JPH04231696 A JP H04231696A JP 3120781 A JP3120781 A JP 3120781A JP 12078191 A JP12078191 A JP 12078191A JP H04231696 A JPH04231696 A JP H04231696A
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JP
Japan
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oil
pump
stage
conduit
supplied
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JP3120781A
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English (en)
Inventor
Thomas Abelen
アベレン トーマス
Lutz Arndt
アルント ルッツ
Winfried Kaiser
ヴィンフリート　カイザー
Peter Mueller
ミュラー ペーター
Dieter Vorberg
ディーター　フォアベルク
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
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    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は汲上げ室、潤滑オイルを
供給すべきその他の箇所並びにオイルパンを備えた２段
式回転滑り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法とこ
の方法を実施するのに適した２段式回転滑り弁形真空ポ
ンプとに関する。
【０００２】オイルによって運転される回転滑り弁形真
空ポンプでは、オイルの役目はまず、汲上げ室内で吸込
み側と吐出し側との間を十分にシールすることにある。 それと同時にオイルは汲上げ室内に存在するロータとこ
のロータ内に案内されたスライダとを潤滑するのにも役
立てられる。さらに、循環回路内に案内されたオイルは
特に真空中で回転する部品を冷却する。さらに、オイル
は汚れをオイルパンに搬送しなければならない。さらに
、真空ポンプの別の軸受け箇所（ロータ軸受け、駆動軸
軸受けなど）もポンプ内に存在するオイルによって潤滑
されなければならない。
【０００３】
【従来の技術】回転滑り弁形真空ポンプに別体の圧力オ
イルポンプを装着し、この圧力オイルポンプによって搬
送された圧力オイルを、真空ポンプのオイルを供給すべ
き箇所（以下潤滑箇所という）に供給することは公知で
ある。これによれば、種々の潤滑箇所に十分なオイル供
給が確実に実施されるが、しかし、別体の圧力オイルポ
ンプを使用するため、この手段は技術的に不経済である
。
【０００４】さらに、ポンプによって生じた負圧をオイ
ルの吐出しのために利用することが公知である。しかし
その場合、汲上げ室内に直接存在しない箇所、又は所望
のポンプ出力ゆえに汲上げ室に接続できない箇所の潤滑
が問題となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に述べた形式の方法並びにこの方法を実施するのに適し
た２段式回転滑り弁形真空ポンプを改良して、別体の圧
力オイルポンプを省くことができると共に、オイルを必
要とするすべての箇所に十分なオイルを確実に供給でき
るようにすることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決した本発
明の方法の要旨はポンプの前真空段によってオイルパン
から、オイルを供給すべき箇所より上方に配置された中
間オイルだめ内へオイルを供給し、この中間オイルだめ
から重力により、オイルを供給すべき別の箇所へオイル
を案内し、かつ、この箇所からオイルパン内へオイルを
戻すことにある。ポンプの前真空段によってオイルを搬
送することによって、まずこの真空段へのオイルの供給
が確実に行われる。オイルは前真空段から、測地学的に
、潤滑箇所より高い場所に位置する中間オイルだめに達
する。中間オイルだめからの流出部は鋳物内のトラフ、
比較的大径の孔又は案内薄板によって形成されることが
でき、従って、この流出部は汚れに対して著しく鈍感で
ある。それゆえ、汚れたオイルがポンプの破損を生じる
という危険が排除される。さらに潤滑オイルが完全には
流出できないように特別に敏感な軸受けが形成されてい
れば、オイル供給に欠陥が生じた場合にポンフ全体の損
傷を回避する非常運転特性が得られる。
【０００７】本発明方法を実施するのに適した２段式回
転滑り弁形真空ポンプは効果的に、オイルパンからポン
プの前真空段へ通じたオイル導管を備える。このオイル
導管の入口はオイルパンのオイルレベルより下方に位置
している。このオイル導管を通ってオイルは前真空段に
達し、この前真空段から、これの出口弁より上方に位置
する中間オイルだめに搬送される。この中間オイルだめ
は効果的にオイル導管を介して、より低い場所に位置す
る軸受け箇所に連通しており、オイルはこの軸受け箇所
からオイルパンに戻される。
【０００８】
【実施例】図面に実施例として示された２段式回転滑り
弁形真空ポンプ（以下ポンプという）１はポンプケーシ
ング２、このポンプケーシングを取り囲むオイルボック
ス３、駆動モータ４、外側のケーシング若しくはフード
５を備えている。ポンプケーシング２及び駆動モータ４
はシールド６に固定されており、このシールド６は基板
７を介して底部に支持されている。
【０００９】ポンプケーシング２は一体に形成されたポ
ンプリング８を備えており、その開口は種々異なって形
成された３つの領域１１，１２，１３を有している。ポ
ンプリング８内には同様に一体に形成されたロータ機構
１４が位置しており、このロータ機構は３つの部分１４
ａ，１４ｂ，１４ｃを備えている。外側の両部分１４ａ
，１４ｃは端面側からアクセス可能なスライダスリット
１５，１６を備えて高真空段若しくは前真空段の可動子
を形成している。
【００１０】ロータ機構１４の中央の部分１４ｂはその
長さ及び直径の点でポンプリング８の開口の中央の領域
１２に相応しており、これによりこの領域はロータ機構
１４のための滑り支承の機能を有している。ポンプリン
グ８の、領域１２に比して大きな領域１３は、シールド
６と共にポンプ１の高真空段（以下ＨＶ段ともいう）の
汲上げ室１７を形成している。ＨＶ段のスライダは符号
１８で示されている。ポンプリング８の領域１１はフロ
ント板１９と共に前真空段（以下ＶＶ段ともいう）の汲
上げ室２１を形成している。ＶＶ段のスライダは符号２
２によって示されている。
【００１１】ＨＶ段の入口通路は符号２３で示されてい
る。ＨＶ段の出口からＶＶ段の入口へ通じる通路は図２
にのみ符号２４で示されている。ＶＶ段の出口通路２５
（図２参照）には出口弁２６が対置されている。この出
口弁２６はチェック弁として形成されており、かつポン
プの故障時に、真空に保つべき容器の真空に対する安全
機能を受け持っている。出口弁２６はポンプケーシング
２の上部範囲に配置されている。底部に凹所２７が形成
されており、この凹所は真空ポンプの運転中に中間オイ
ルだめを形成する。
【００１２】図示のポンプの入口接続部３１はシールド
６に固定されている。入口接続部３１はシールドに設け
た孔３２を介してＨＶ段の入口通路２３に連通している
。シールド６には出口接続部３３も設けられている。 出口接続部３３は孔３２に対応する孔を介してオイルボ
ックス３の内室に連通している。
【００１３】オイルボックス３はさらに端面でオイルボ
ックスに配置されたドーム３５を備えている。その中央
の部分３６は透明であり、オイルボックス３内のオイル
レベル７１の監視に役立つ。ドーム３５はほぼ半円形の
横断面を有しており、その広幅側はオイルボックス３に
面している。ドームはオイルボックス３の全高にわたっ
て延びており、その結果、オイル充填口３７及びオイル
排出口３８を備えることができる。
【００１４】駆動モータ４はその自由な端面にファン４
１を備えている。このファンによって生じた冷却空気流
は駆動モータの冷却だけでなく、オイルボックス３の冷
却にも役立つ。モータケーシングならびにオイルボック
ス３は軸方向若しくは水平方向に延びる冷却ひれ４２，
４３を備えている。
【００１５】シールド６はさらにカップリングケーシン
グの機能をも備えている。シールドは軸受け孔５１を備
えており、この軸受け孔内にロータ機構１４に配置され
たロータ軸ジャーナル５２と駆動モータ４の軸ジャーナ
ル５３とが突入して滑り支承されている。両方の軸ジャ
ーナル５２，５３は端面側でピンカップリング５４によ
ってカップリングされている。ピンカップリングの代わ
りに互いに内外に係合する突起を軸ジャーナル５２，５
３の端面の領域に設けてもよい。
【００１６】各軸ジャーナル５２，５３にはそれぞれ軸
パッキンリング５５，５６が対置されており、その座着
は同様にカップリングケーシング内でおこなわれている
。これら軸パッキンリングはカップリングを含む潤滑媒
体室５７を形成しており、この潤滑媒体室はオイル孔５
８を介して完全潤滑で運転されることができる。ロータ
側の軸パッキンリング５５がＨＶ段の近傍に位置するた
めに、不完全潤滑で運転されるこのＨＶ段の出力は潤滑
オイルによって悪影響を受けない。
【００１７】本発明のオイル循環回路が図３に示されて
いる。ＶＶ段１１，１４ａの汲上げ室２１内に通じたオ
イル通路７４の入口７３はオイルパン７２のオイルレベ
ル７１より下方に位置している。
【００１８】図示の実施例ではオイル通路７４はシール
ド６並びにポンプケーシング８に設けた複数の孔から成
っており、それにより、このオイル通路７４内にマグネ
ット弁７５を挿入することができる。無通電状態でマグ
ネット弁が閉じ、その結果、出口弁２６によって真空を
確保されている容器内にオイルが到達できない。
【００１９】ＶＶ段の汲上げ室２１内へのオイル通路の
開口がノズル７６として形成されていると（図３参照）
効果的である。その場合、吸込側（入口通路２４）への
直接的な接続はＶＶ段のスライダ２２によつて常時遮断
される。このノズル７６はＶＶ段内の真空によつて吸い
込まれるオイル量を調整することを可能にする。
【００２０】オイル通路７４からは分岐導管７７が直に
中間軸受け１２へ通じており、中間軸受けでは、ポンプ
の稼働中にＨＶ段の圧力とＶＶ段の圧力との中間の圧力
が調整される。中間軸受け内に到達したオイルはＨＶ段
並びにＶＶ段内へ流れる。ＨＶ段内に達したオイルはＨ
Ｖ段を所望の不完全潤滑するのに十分である。このオイ
ルは接続通路２４（図２，図３参照）を介してＶＶ段１
１，１４ａ内に達する。
【００２１】ＶＶ段内に流入したオイルは吐出された気
体と一緒に出口弁２６を通過し、凹所２７内で中間オイ
ルだめを形成する。この中間オイルだめはオイル導管７
８（図１及び図２で破線で示す）に連通しており、この
オイル導管はオイルを供給すべき別の潤滑箇所に通じて
いる。
【００２２】図示の実施例では、オイル通路７８はまず
側方向でポンプケーシング内で案内されたほぼ軸方向に
向いた孔７９から成り、この孔はシールド６まで延びて
いる。オイルは側方向に案内されたトラフによってもシ
ールドへ案内されることができる。軸方向の孔７９に続
いて横孔８１が設けられており、この横孔はカップリン
グ並びに軸ジャーナル５２，５３の支承部より上方で延
びている。この横孔８１はオイルがオイルパンへ戻るこ
とができる領域内で終わっている。孔７９，８１はオイ
ルが中間オイルだめから重力によって別の潤滑箇所へ達
することができるように傾斜している。図３に示す循環
回路図では軸受けケーシング及びカップリングケーシン
グが略示的にブロック８３，８４で示されている。横孔
８１の位置は図２では破線で示されている。この横孔８
１は有利には傾斜してポンプケーシングを横切って軸ジ
ャーナル５２，５３より上方で潤滑媒体室５７と交差し
ている。効果的にはこの領域内にもう１つの軸方向溝８
２が軸受け・カップリングケーシング６に設けられる。
【００２３】オイルは横孔８１を通って潤滑媒体室５７
内に達する。過剰のオイルはさらに横孔８１を通って、
より低いところに位置するオイルパン内に流れる。オイ
ルは潤滑媒体室５７から決して完全には流出せず、従っ
て本発明軸受け及びカップリングはとくに良好な非常運
転特性を有している。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例の縦断面図である。
【図２】本発明の１実施例の横断面図である。
【図３】本発明に基づくオイル循環回路の略示図である
。
【符号の説明】

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　汲上げ室（１７，２１）、潤滑オイル
    を供給すべきその他の箇所並びにオイルパンを備えた２
    段式回転滑り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法に
    おいて、ポンプ（１）の前真空段（１１，１４ａ）によ
    ってオイルパン（７２）から、オイルを供給すべきその
    他の箇所より上方に配置された中間オイルだめ（２７）
    内へオイルを供給し、この中間オイルだめ（２７）から
    重力により、オイルを供給すべき別の箇所（５１，５４
    ）へオイルを案内し、かつ、この箇所からオイルパン（
    ７２）内へオイルを戻すことを特徴とする２段式回転滑
    り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法。
  2. 【請求項２】　　オイルパン（７２）に接続された導管
    （７４）を介して前真空段（１１，１４ａ）内へオイル
    を吸い込み、前真空段によって吐き出された気体によっ
    てオイルを、出口弁（２６）及びオイルを供給すべき別
    の箇所（５１，５４）より上方に配置された中間オイル
    だめ（２７）に案内する請求項１記載の方法。
  3. 【請求項３】　　オイルパン（７２）から前真空段（１
    １，１４ａ）の汲上げ室（２１）へ通じたオイル導管が
    設けられており、このオイル導管の入口（７３）かオイ
    ルパン（７２）内のオイルレベル（７１）より下方に位
    置しており、前真空段の出口弁（２６）及びオイルを供
    給すべき別の箇所（５１，５４）より上方に中間オイル
    だめ（２７）が配置されており、かつ、この中間オイル
    だめがオイル導管（７８）を介して、比較的低い場所に
    位置する前記オイルを供給すべき別の箇所（５１，５４
    ）に連通していることを特徴とする請求項１又は２記載
    の方法を実施する２段式回転滑り弁形真空ポンプ。
  4. 【請求項４】　　オイル導管（７４）内にマグネット弁
    が挿入されている請求項３記載のポンプ。
  5. 【請求項５】　　オイル導管（７４）が中間軸受け（１
    ２）へ通じた分岐導管（７７）を備えている請求項３又
    は４記載のポンプ。
  6. 【請求項６】　　前真空段（１１，１４Ａ）の汲上げ室
    （２１）内へのオイル導管（７４）の開口部がノズル（
    ７６）として形成されている請求項３から５までのいず
    れか１項記載のポンプ。
  7. 【請求項７】　　斜めに配置された孔が中間オイルだめ
    （２７）から、オイルを供給すべき別の箇所（８３，８
    ４若しくは５１，５４４）へ通じている請求項３から６
    までのいずれか１項記載のポンプ。
  8. 【請求項８】　　中間シールド（６）が共通の１つの軸
    受け・カップリングケーシングを形成しており、潤滑媒
    体室（５７）を形成する２つの軸パッキンリング（５５
    ，５６）が設けられており、この潤滑媒体室（５７）に
    連通しているオイル導管（７８）が軸受け・カップリン
    グケーシングの上方に延びている請求項３から７までの
    いずれか１項記載のポンプ。
  9. 【請求項９】　　軸受け・カップリングケーシング（６
    ）内の軸受け孔（５１）がその上方範囲に軸方向溝（８
    ２）を備えており、オイル導管（７８）が軸方向溝（８
    ２）と交差している請求項８記載のポンプ。
JP3120781A 1990-05-29 1991-05-27 ２段式回転滑り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法とこの方法を実施するのに適した回転滑り弁形真空ポンプ Pending JPH04231696A (ja)

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DE4017191A DE4017191A1 (de) 1990-05-29 1990-05-29 Verfahren zur oelversorgung einer zweistufigen drehschiebervakuumpumpe und fuer die durchfuehrung dieses verfahrens geeignete drehschiebervakuumpumpe

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JP3120781A Pending JPH04231696A (ja) 1990-05-29 1991-05-27 ２段式回転滑り弁形真空ポンプにオイルを供給する方法とこの方法を実施するのに適した回転滑り弁形真空ポンプ

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