DE69303447T2

DE69303447T2 - Vakuumpumpgerät

Info

Publication number: DE69303447T2
Application number: DE1993603447
Authority: DE
Inventors: Katsuhiko Murata; Kazuaki Nakamori; Minoru Taniyama
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1992-09-21
Filing date: 1993-09-16
Publication date: 1996-10-31
Anticipated expiration: 2013-09-17
Also published as: DE69303447D1; JP2978339B2; JPH06101699A; EP0589362A1; EP0589362B1

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpenvorrichtung
- mit einem Pumpenmechanismusabschnitt, der ein Pumpengehäuse, bei welchem eine Ansaugöffnung und eine Förderöffnung ausgebildet sind, und einen Pumpenrotor und -stator aufweist, die beide in dem Pumpengehäuse aufgenommen sind,
- mit einem Pumpenantriebsabschnitt der ein mit einer Stirnseite des Pumpengehäuses verbundenes Motorgehäuse und einen Antriebsmotor aufweist, der in dem Motorgehäuse aufgenommen ist und eine Antriebswelle hat, die sich von dem Motorgehäuse durch die Stirnseite des Pumpengehäuses in das Pumpengehäuse erstreckt und für einen Antrieb mit dem Pumpenrotor so verbunden ist, daß der Pumpenrotor durch den Antriebsmotor in Drehung versetzt wird, wodurch ein Gas durch die Ansaugöffnung in das Pumpengehäuse angesaugt und das so angesaugte Gas aus dem Pumpengehäuse durch die Förderöffnung abgeführt wird,
- mit Lagereinrichtungen, die die Antriebswelle an der Stirnseite des Pumpengehäuses drehbar lagern,
- mit Einrichtungen zum Einführen eines Reinigungsgases in das Pumpengehäuse und das Motorgehäuse und zur Schaffung einer Dichtung zwischen dem Pumpengehäuse und dem Motorgehäuse,
- wobei das Motorgehäuse einen Speicher für den Lagereinrichtungen zuzuführendes Schmieröl hat,
- wobei in dem Motorgehäuse eine Abführöffnung ausgebildet ist, durch welche ein Teil des Reinigungsgases und Nebel des Schmieröls, welches die Lagereinrichtungen geschmiert hat, aus dem Motorgehäuse abgeführt werden können,
- mit einer Abführleitung, deren stromaufseitiges Ende mit der Abführöffnung verbunden ist, und
- mit einer Ölnebelfiltereinrichtung, die in der Abführleitung angeordnet ist, um den Teil des Reinigungsgases von dem aus dem Motorgehäuse abgeführten Schmieröl zu trennen, um dadurch das so separierte Schmieröl zu sammeln, wobei die Ölnebelfiltereinrichtung einen Gasauslaß für den Teil des Reinigungsgases, der von dem aus dem Motorgehäuse abgeführten Schmieröl abgetrennt worden ist, sowie eine Ablaufleitung für das so gesammelte Schmieröl hat.
Die Vakuumpumpe der gattungsgemäßen Art ist in der JP-A-1- 130093 geoffenbart und so aufgebaut, daß durch eine Abführöffnung eines Pumpenantriebsabschnitts abgeführtes Schmieröl von einem Ölnebelfilter gesammelt und von dem Filter direkt in einen Ölspeicher zurückgeführt wird, der in dem Pumpenantriebsabschnitt vorgesehen ist.
Fig. 5 ist eine schematische Darstellung der Vakuumpumpe der JP-A-1-130093, welche die Fluidströme der Vakuumpumpe zeigt.
Die Vakuumpumpe von Fig. 5 hat einen Pumpenmechanismusabschnitt 9, der von einem Pumpenantriebsabschnitt 10 durch einen Wellendichtungsabschnitt 6 getrennt ist. Der Pumpenmechanismusabschnitt 9 arbeitet in einem Zustand bei erzeugtem Vakuum, während der Pumpenantriebsabschnitt 10 unter Atmosphärendruck steht. Der Wellendichtungsabschnitt 6 wird mit einem Reinigungsgas versorgt und teilt den Strom 15 des Reinigungsgases in zwei Zweige 19 und 20, die in den Pumpenmechanismusabschnitt 9 bzw. in den Pumpenantriebsabschnitt 10 münden. Der Pumpenantriebsabschnitt 10 hat Kugellager (nicht gezeigt), die mit Schmieröl durch eine Ölpumpe 12 versorgt werden, die außerhalb der Vakuumpumpe angeordnet ist. Das in den Pumpenmechanismusabschnitt eingeführte Reinigungsgas wird daraus durch eine Förderöffnung 2 abgeführt, während das in den Pumpenantriebsabschnitt 10 eingeführte Reinigungsgas daraus durch eine Abführöffnung 18 abgeführt wird. In einer Abführleitung 21a, die mit der Abführöffnung 18 verbunden ist und sich von ihr aus erstreckt, ist ein Ölnebelfilter 21 vorgesehen. Der Ölnebelfilter 21 hat eine Ablaufleitung 17, die mit einem Ölspeicher (nicht gezeigt) verbunden ist, der in dem Pumpenantriebsabschnitt 10 so angeordnet ist, daß aus dem Pumpenantriebsabschnitt abgeführtes Schmieröl durch den Filter gesammelt und zu der Pumpe zurückgeführt wird.
Zur Vermeidung eines übermäßigen Druckanstiegs in dem Pumpenantriebsabschnitt 10 und zur Unterbindung eines Ausblasens von gesammeltem Schmieröl aus der Ablaufleitung 17 des Ölnebelfilters mußte der Ölnebelfilter so gebaut sein, daß er einen extrem niedrigen Druckverlust hatte. Aus diesem Grund konnte das Schmieröl, das aus dem Pumpenantriebsabschnitt zusammen mit dem ebenfalls daraus abgeführten Reinigungsgas abgeführt wurde, nur bis zu begrenzten Prozentsätzen gesammelt werden, was die Nachteile zur Folge hatte, daß die Menge des abgeführten und aus Ölnebelfilter in die Atmosphäre freigesetzten Schmieröls erhöht wurde und daß der Ölspeicher in kurzen Zeitabständen oder Zyklen mit frischem Schmieröl versorgt werden mußte.
Wenn darüberhinaus die Vakuumpumpe bei einer Halbleiter erzeugenden Vorrichtung oder dergleichen zum Einsatz kommt, die in einem Reinraum arbeiten muß, muß die Pumpe ebenfalls in dem Reinraum installiert werden. In diesem Fall ergibt sich dadurch das Problem, daß das aus dem Pumpenantriebsabschnitt der Vakuumpumpe abgeführte Gas so behandelt werden muß, daß es den Reinraum nicht verunreinigt. Die Pumpe muß deshalb mit zwei verschiedenen Förderleitungen ausgerüstet werden, von denen die eine mit der Förderöffnung des Pumpenmechanismusabschnitts verbunden ist und von denen die andere eine Abführleitung für das Reinigungsgas und den Nebel des Schmieröls ist, die aus dem Pumpenantriebsabschnitt abgeführt werden.
Die US-A-4 231 307 zeigt einen Zentrifugalkompressor für ein Kältemittel, der einen Kompressorabschnitt in einem Gehäuse, einen dazwischenliegenden Getriebe- und Lagerabschnitt in einem Gehäuse und einen Motorabschnitt in einem Gehäuse aufweist. Der Kompressor ist mit einem Öltrenn- und -rückführsystem verbunden, das eine Öl- und Kältemittelgasleitung, die sich von dem Getriebe- und Lagergehäuse zu einem Filtergehäuse erstreckt und eine Kältemittelgasrückführleitung aufweist, die sich von dem Filtergehäuse zu einem Ansaugraum in dem Kompressorabschnittsgehäuse erstreckt. Das Filtergehäuse hat einen Ölauslaß, mit dem eine Ölrückführleitung verbunden ist. Der Kompressor ist ferner mit einer Ölpumpe versehen, die innerhalb des Getriebe- und Lagergehäuses vorgesehen ist und eine Förderöffnung aufweist, von der aus sich eine Ölzuführleitung zu einer zweiten Ölpumpe erstreckt, die die Form einer Strahlpumpe hat, mit der die Ölrückführleitung aus dem Ölfiltergehäuse verbunden ist. Die Strahlpumpe arbeitet so, daß Öl aus dem Ölauslaß des Filtergehäuses angesaugt wird, so daß das Öl aus dem Ölauslaß des Filtergehäuses mit dem Öl aus der Ölpumpe kombiniert oder diesem zugesetzt wird und das gemischte Öl den Lagern und Getrieben in dem Getriebe- und Lagergehäuse zugeführt wird.
Das Öltrenn- und -rückführsystem, das in der US-A-4 213 307 gezeigt ist, erfordert zum Ansaugen des Öls aus dem Ölfiltergehäuse eine Strahlpumpe. Der Grund dafür besteht darin, daß der Ölauslaß des Filtergehäuses mit der Ölzuführleitung verbunden ist, die sich von der Förderöffnung der ersten Ölpumpe aus erstreckt.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, das von dem Pumpenantriebsabschnitt einer Vakuumpumpenvorrichtung abgeführte Schmieröl zuverlässig zu sammeln und die Menge des aus der Pumpe abgeführten Schmieröls erheblich zu verringern, um dadurch den Zeitraum für eine Zuführung von frischem Schmieröl in den Ölspeicher zu verlängern, wobei nur eine einzige Pumpenförderleitung eingesetzt wird.
Diese Aufgabe wird mit der Vakuumpumpe der gattungsgemäßen Art dadurch gelöst,
- daß außerhalb des Pumpengehäuses und des Motorgehäuses eine Ölpumpe angeordnet ist, die so arbeitet, daß das Schmieröl aus dem Speicher angesaugt und das so angesaugte Schmieröl den Lagereinrichtungen zugeführt wird, und
- daß die Ablaufleitung mit ihrem stromabseitigen Ende mit einer Ansaugöffnung der Ölpumpe verbunden ist, so daß das über die Ölnebelfiltereinrichtung gesammelte Schmieröl von der Ölpumpe angesaugt wird und durch die Ablaufleitung zur Ölpumpe strömt, wo es mit dem von der Ölpumpe aus dem Speicher angesaugten Schmieröl vermischt oder ihm zugegeben wird.
Wie sich aus dem Aufbau der vorstehend beschriebenen erfindungsgemäßen Vakuumpumpe ergibt, ist die Ablaufleitung des Ölnebelfilters mit ihrem stromabseitigen Ende mit der Ansaugöffnung der Ölpumpe verbunden. Da der Ölnebelfilter einem durch die Ölpumpe erzeugten Vakuum ausgesetzt ist, übt der Ölnebelfilter deshalb keinen Widerstand bezüglich der Abführung von Reinigungsgas und Nebel des Schmieröls aus dem Pumpenantriebsabschnitt der Vakuumpumpe aus. Deshalb kann der Ölnebelfilter einen hohen Ölsammelwirkungsgrad haben, aufgrund dessen er in der Lage ist, im wesentlichen alle Teile des Schmieröls zu sammeln, das aus dem Pumpenantriebsabschnitt der Vakuumpumpe abgeführt wird. Darüberhinaus wirkt ein Ölnebelfilter mit einem solchen hohen Ölsammelwirkungsgrad so, daß die Menge des Gases reduziert wird, das zusammen mit dem so gesammelten Schmieröl von dem Filter durch die Ablaufleitung in die Ölpumpe und durch sie hindurch strömt. Durch den Einsatz eines Ölnebelfilters mit einem derart hohen Ölsammelwirkungsgrad kann vermieden werden, daß eine Leistungsreduzierung der Ölpumpe eintritt, die sich sonst bei Einsatz eines solchen Ölnebelfilters ergeben würde.
Auch beim Stand der Technik wäre es möglich, einen Ölnebelfilter mit hohem Ölsammelwirkungsgrad vorzusehen. Da jedoch ein hoher Ölsammelwirkungsgrad einen hohen Druckverlust einschließt, würde ein Ölnebelfilter mit einem derart hohen Ölsammelwirkungsgrad, wenn er in einer Abführleitung einer zum Stand der Technik gehörenden Vakuumpumpenvorrichtung einfach vorgesehen würde, einen Widerstand gegenüber dem Strom des Gas-Öl-Gemisches ausüben, der aus dem Pumpenantriebsabschnitt der Pumpenvorrichtung abgeführt wird, so daß der Druck in dem Pumpenantriebsabschnitt erhöht würde und das Schmieröl in dem Ölspeicher mit Druck beaufschlagen würde, wodurch das Schmieröl zwangsweise aus der Ablaufleitung des Ölnebelfilters ausgeblasen würde.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Vakuumpumpenvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Ablaufleitung des Ölnebelfilters mit Einrichtungen zur Erhöhung eines Widerstands der Ablaufleitung gegenüber dem hindurchgehenden Fluidstrom versehen. Die den Widerstand erhöhende Einrichtung kann vorzugsweise wenigstens eine Drosselöffnung aufweisen, die in der Ablaufleitung vorgesehen ist. Die Drosselöffnung erhöht den Widerstand der Ablaufleitung gegenüber dem durchgehenden Fluidstrom und verringert so die Gasmenge, die in die Ölpumpe gesaugt wird, wodurch eine Reduzierung der Ölpumpleistung der Ölpumpe vermieden wird, die sich sonst einstellen würde, wenn eine große Gasmenge in die Ölpumpe gesaugt würde.
Die Anordnung des Ölnebelfilters mit hohem Ölsammelwirkungsgrad wirkt dahingehend, daß die Menge des Schmieröls, die aus dem Ölnebelfilter durch dessen Gasauslaß abgeführt wird, stark reduziert werden kann. Als Folge kann eine Abführleitung, die mit dem Gasauslaß des Ölnebelfilters verbunden ist und von dem Gasauslaß ausgeht, mit einer Pumpenförderleitung verbunden werden oder in sie übergehen, wobei sich die Pumpenförderleitung von der Förderöffnung des Pumpenmechanismusabschnitts der Vakuumpumpe aus erstreckt, wodurch der Gesamtaufbau der Pumpe wesentlich vereinfacht wird.
Wie sich aus der vorstehenden Beschreibung ergibt, hat die vorliegende Erfindung viele vorteilhafte Eigenschaften, die wie folgt zusammengefaßt werden können.
Die Menge des aus dem Pumpenantriebsabschnitt der Vakuumpumpe in die Atmosphäre abgeführten Schmieröls kann extrem verringert werden, wodurch das Zeitintervall für die Zuführung von frischem Öl zum Ölspeicher verlängert wird.
Da das abgeführte Schmieröl aus dem abgeführten Gas separiert und mit hohem Anteil gesammelt werden kann, kann das so separierte Gas in die Atmosphäre freigegeben werden, wobei der Effekt einer Ölverunreinigung der Umgebung reduziert und zusätzlich eine verringerte Pflege der Abführleitung erforderlich ist.
Die Verbesserung durch die Erfindung kann erreicht werden, indem einfache Teilkomponenten der herkömmlichen Vakuumpumpe hinzugefügt werden, und ergibt wesentliche vorteilhafte Ergebnisse.
Das Sammeln des abgeführten Schmieröls in hohem Anteil ermöglicht es, daß die Abführleitung mit der Pumpenförderleitung verbunden wird, und macht es somit möglich, die Pumpenförderleitung und die Gasabführleitung zu einer einzigen Leitung zu vereinigen.
Die von der Ölnebelfiltereinrichtung ausgehende Ablaufleitung ist mit ihrem stromabseitigen Ende mit der Ansaugöffnung der Ölpumpe verbunden. Das Ölabtrenn- und -rückführsystem der anmeldungsgemäßen Vakuumpumpenvorrichtung erfordert somit keine Bereitstellung einer Pumpe zusätzlich zu der Ölpumpe
Anhand von zeichnungen wird die Erfindung in der nachstehenden Beschreibung näher erläutert, in denen
Fig. 1 ein Axialteilschnitt und eine teilweise schematische Darstellung einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vakuumpumpenvorrichtung ist,
Fig. 2 eine vergrößerte Seitenansicht einer Ausführungsform der Ablaufleitung der in Fig. 1 gezeigten Vakuumpumpenvorrichtung ist,
Fig. 3 ein Diagramm ist, das die Beziehung zwischen der Länge eines Rohres, das einen Teil der Ablaufleitung bildet, und dem Mengenstrom durch das Rohr in die Ölpumpe zeigt, und
Fig. 4 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Erfindung ist.
Gemäß Fig. 1 hat ein Pumpenmechanismusabschnitt 9 ein Pumpengehäuse 3, in welchem eine Ansaugöffnung 1 und eine Förderöffnung 2 ausgebildet sind, sowie einen Pumpenstator 4 und einen Pumpenrotor 5, die beide in dem Pumpengehäuse 3 aufgenommen und in einer gegenüberliegenden Beziehung angeordnet sind. Ein Pumpenantriebsabschnitt 10 hat ein Motorgehäuse 10a, das mit einer Stirnseite des Pumpengehäuses 3 fest verbunden ist, und einen Motor 8, der in dem Motorgehäuse 10a angeordnet ist und eine Antriebswelle 8a aufweist, die treibend mit dem Pumpenrotor 5 verbunden ist.
Wenn der Pumpenrotor 5 von dem Motor 8 angetrieben wird, arbeitet der Pumpenmechanismusabschnitt 9 so, daß ein Gas in das Pumpengehäuse 3 durch die Ansaugöffnung 1 angesaugt wird, was durch einen Pfeil A in Fig. 1 dargestellt ist, und fördert das so angesaugte Gas aus dem Pumpengehäuse 3 durch die Förderöffnung 2, was durch einen weiteren Pfeil B dargestellt ist, der ebenfalls in Fig. 1 gezeigt ist.
In der Stirnwand des Pumpengehäuses 3, mit der das Motorgehäuse loa verbunden ist, ist ein Kanal 15 zur Einführung von Reinigungsgas, was durch einen weiteren Pfeil C dargestellt ist, zu Wellendichtungen 6 ausgebildet, die so arbeiten, daß sie das Reinigungsgas zu dem Pumpengehäuse 3 und dem Motorgehäuse 10a verteilen, so daß der Pumpenmechanismusabschnitt 9 und der Pumpenantriebsabschnitt 10 jeweils auf vorgegebenen Drucken gehalten werden.
Die Antriebswelle 8a ist drehbar durch ein oberes und ein unteres Lager 7 gelagert. Das obere Lager 7 ist an der Stirnseite des Pumpengehäuses 3 angebracht, mit der das Motorgehäuse 10a verbunden ist. Das andere oder untere Lager 7 ist in dem Motorgehäuse 10a angeordnet. Das Motorgehäuse 10a hat einen unteren Teil, der in sich einen Ölspeicher 11 zum Speichern einer Menge von Schmieröl bildet.
Außerhalb des Pumpengehäuses 3 und des Motorgehäuses 10a ist eine Ölpumpe 12 zum Ansaugen des Schmieröls aus dem Ölspeicher 11 und durch eine Ölansaugleitung 12a und zum zwangsweisen Umwälzen oder Zuführen des so angesaugten Öls durch eine Ölzuführleitung 12b zu den Lagern 7 angeordnet.
In dem Motorgehäuse 10a ist eine Abführöffnung 18 ausgebildet, die mit einer Abführleitung 18a verbunden ist, in der ein Ölnebelfilter 13 mit einem hohen Ölsammelwirkungsgrad angeordnet ist. Der Ölnebelfilter 13 hat einen Gasauslaß 14, der einen Teil der Abführleitung 18a bildet, sowie eine Ablauföffnung, die mit einer Ablaufleitung 17 verbunden ist, welche an ihrem stromabseitigen Ende mit der Ölansaugleitung 12a verbunden ist, so daß der Ölnebelfilter 13 einer Vakuumkraft ausgesetzt ist, die in der Ölpumpe 12 erzeugt wird.
Eine Ausführung der baulichen Einzelheiten der Ablaufleitung 17 wird unter Bezugnahme auf Fig. 2 nachstehend beschrieben. Die Ablaufleitung hat einen Kasten 23 zum Sammeln von feinen Teilchen von Fremdstoffen. Der Teilchensammelkasten 23 hat einen Einlaß, der in seiner oberen Wand ausgebildet ist und mit der Ablauföffnung des Ölnebelfilters 13 über eine kurze Leitung 22 verbunden ist. In der oberen Wand des Kastens 23 ist auch ein Auslaß ausgebildet, der mit einem Ende einer Rohrleitung 24 verbunden ist, die einen kleinen Innendurchmesser hat. Das andere Ende der Rohrleitung 24 ist mit der Ölansaugleitung 12a der Ölpumpe 12 verbunden. In der Rohrleitung 24 ist zur Erhöhung des Widerstandes der Rohrleitung 24 gegenüber dem durchgehenden Fluidstrom eine Vielzahl von Drosselöffnungen 25 vorgesehen.
Fig. 3 zeigt graphisch die Ergebnisse von Versuchen bezüglich der Beziehung zwischen der Länge 1 der Rohrleitung 24 und dem Durchsatz g des Fluidstroms durch sie. Die ausgezogene Linie in Fig. 3 zeigt das Ergebnis des Versuchs, bei dem die Rohrleitung 24 mit keiner Drosselöffnung 25 versehen war, während die gestrichelte Linie das Ergebnis des Versuchs zeigt, bei welchem die Rohrleitung 24 mit Drosselöffnungen 25 versehen war. Man sieht aus den in Fig. 3 gezeigten Versuchsergebnissen, daß der Durchsatz Q des Gas-Öl-Gemischstroms durch die Rohrleitung 24 dadurch eingestellt werden kann, daß die Anzahl der in der Rohrleitung 24 zu installierenden Drosselöffnungen 25 und die Länge 1 der Rohrleitung 24 variiert werden. Der Durchsatz Q kann somit so eingestellt werden, daß er in einen Bereich fällt, der es der Ölpumpe 12 ermöglicht, einen Gasstrom in die Pumpe mit einem so übermäßig hohen Wert zu vermeiden, der die Ölpumpleistung der Ölpumpe 12 verschlechtern würde.
Aus den obigen Gründen kann der Ölnebelfilter 13, der in der Abführleitung 18a angeordnet ist, einen hohen Ölsammelwirkungsgrad haben, so daß das Zeitintervall oder der Zyklus, in dem der Ölspeicher in dem Motorgehäuse 10a mit frischem oder zusätzlichem Schmieröl versorgt werden muß, verlängert werden kann, was einen verlängerten wartungsfreien Zeitraum der Pumpe gewährleistet. Zusätzlich kann die Schmierölmenge, die in die Atmosphäre durch den Gasauslaß 14 des Ölnebelfilters 13 freigesetzt wird, verringert werden, wodurch das Problem der Verunreinigung eines Raums, in welchem die Vakuumpumpe installiert ist, auf ein Minimum zurückgeführt wird. Darüberhinaus wirkt der Teilchensammelkasten 23 in der Ablaufleitung 17 gerade stromab von dem Ölnebelfilter 13 so, daß in ihm alle feinen Teilchen von Fremdmaterie gesammelt und gefangen werden, die von dem Filter 13 fallen würden, so daß die Rohrleitung 24 stromab von dem Teuchensammelkasten 23 geschützt ist.
Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung, die auf der vorhergehenden Ausführung basiert, die anhand von Fig. 1 bis 3 beschrieben wurde. Bei der in Fig. 4 gezeigten Ausführungsform hat die mit der Abführöffnung 18 des Pumpenantriebsabschnitts 10 verbundene Abführleitung eine Filterabführleitung 18b, die an einem Ende mit dem Gasauslaß 14 des Ölnebelfilters 13 verbunden ist. Das andere oder stromabseitige Ende der Filterabführleitung 18b ist mit einer Pumpenförderleitung 26 verbunden, die an die Förderöffnung 2 des Pumpenmechanismusabschnitts 9 der Vakuumpumpe angeschlossen ist und von ihr ausgeht. Dieser Aufbau reduziert vorteilhafterweise die Anzahl der Rohrleitungen, die sich von der Vakuumpumpe aus zu einem Punkt entfernt davon erstrecken, vereinfacht so die Anordnung von Rohren und gewährleistet eine vereinfachte Wartung der Vakuumpumpenvorrichtung. Es sei vermerkt, daß diese vorteilhaften Ergebnisse aufgrund der Tatsache erhalten werden können, daß im wesentlichen alle Teile des von dem Pumpenantriebsabschnitt 10 abgeführten Schmieröls aus dem abgeführten Gas durch den Ölnebelfilter 13 entfernt werden können.

Claims

1. Vakuumpumpenvorrichtung

- mit einem Pumpenmechanismusabschnitt (9), der ein Pumpengehäuse (3), bei welchem eine Ansaugöffnung (1) und eine Förderöffnung (2) ausgebildet sind, und einen Pumpenrotor (5) und -stator (4) aufweist, die beide in dem Pumpengehäuse aufgenommen sind,

- mit einem Pumpenantriebsabschnitt (10), der ein mit einer Stirnseite des Pumpengehäuses (3) verbundenes Motorgehäuse (10a) und einen Antriebsmotor (8) aufweist, der in dem Motorgehäuse aufgenommen ist und eine Antriebswelle (8a) hat, die sich von dem Motorgehäuse durch die Stirnseite des Pumpengehäuses (3) in das Pumpengehäuse (3) erstreckt und für einen Antrieb mit dem Pumpenrotor so verbunden ist, daß der Pumpenrotor durch den Antriebsmotor in Drehung versetzt wird, wodurch ein Gas durch die Ansaugöffnung in das Pumpengehäuse angesaugt und das so angesaugte Gas aus dem Pumpengehäuse durch die Förderöffnung (2) abgeführt wird,

- mit Lagereinrichtungen (7), die die Antriebswelle an der Stirnseite des Pumpengehäuses drehbar lagern,

- mit Einrichtungen (15, 6) zum Einführen eines Reinigungsgases in das Pumpengehäuse und das Motorgehäuse und zur Schaffung einer Dichtung zwischen dem Pumpengehäuse und dem Motorgehäuse,

- wobei das Motorgehäuse einen Speicher (11) für den Lagereinrichtungen zuzuführendes Schmieröl hat,

- wobei in dem Motorgehäuse eine Abführöffnung (18) ausgebildet ist, durch welche ein Teil des Reinigungsgases und Nebel des Schmieröls, welches die Lagereinrichtungen geschmiert hat, aus dem Motorgehäuse abgeführt werden können,

- mit einer Abführleitung (18a, 18b), deren stromaufseitiges Ende mit der Abführöffnung verbunden ist, und

- mit einer Ölnebelfiltereinrichtung (13), die in der Abführleitung angeordnet ist, um den Teil des Reinigungsgases von dem aus dem Motorgehäuse abgeführten Schmieröl zu trennen, um dadurch das so separierte Schmieröl zu sammeln, wobei die Ölnebelfiltereinrichtung einen Gas auslaß (14) für den Teil des Reinigungsgases, der von dem aus dem Motorgehäuse abgeführten Schmieröl abgetrennt worden ist, sowie eine Ablaufleitung (17) für das so gesammelte Schmieröl hat,

dadurch gekennzeichnet,

- daß außerhalb des Pumpengehäuses und des Motorgehäuses eine Ölpumpe (12) angeordnet ist, die so arbeitet, daß das Schmieröl aus dem Speicher (11) angesaugt und das so angesaugte Schmieröl den Lagereinrichtungen zugeführt wird, und

- daß die Ablaufleitung mit ihrem stromabseitigen Ende mit einer Ansaugöffnung der Ölpumpe (12) verbunden ist, so daß das über die Ölnebelfiltereinrichtung gesammelte Schmieröl von der Ölpumpe angesaugt wird und durch die Ablaufleitung zur Ölpumpe strömt, wo es mit dem von der Ölpumpe aus dem Speicher (11) angesaugten Schmieröl vermischt oder ihm zugegeben wird.

2. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, welche eine Einrichtung (25) zum Erhöhen des Widerstands der Ablaufleitung (17) für den Fluidstrom durch die Ablaufleitung aufweist, wobei die den Widerstand erhöhende Einrichtung in der Ablaufleitung zwischen der Ölnebelfiltereinrichtung (13) und der Ölpumpe (12) angeordnet ist.

3. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 2, bei welcher die den Widerstand erhöhende Einrichtung wenigstens eine Drosselöffnungseinrichtung (25) aufweist, die in der Ablaufleitung vorgesehen ist.

4. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 2, welche eine Einrichtung (23) aufweist, die in der Ablaufleitung zum Sammeln von feinen Fremdmaterialteilchen angeordnet ist, die durch die Ablaufleitung strömen.

5. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, welche eine Pumpenabführleitung (26) aufweist, die sich von der Förderöffnung (2) des Pumpengehäuses (3) aus erstreckt, wobei die Abführleitung (18a, 18b) einen stromab liegenden Abschnitt (18b) hat, der sich vom Gasauslaß (14) der Ölnebelfiltereinrichtung (13) zur Pumpenabführleitung (26) erstreckt.

6. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 2, welche eine Pumpenabführleitung (26) aufweist, die sich von der Förderöffnung (2) des Pumpengehäuses (3) aus erstreckt, wobei die Abführleitung (18a, 18b) einen stromab liegenden Abschnitt (18b) hat, der sich zwischen dem Gasauslaß (14) der Ölnebelfiltereinrichtung (13) und der Pumpenabführleitung (26) erstreckt.

7. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 4, welche eine Pumpenabführleitung (26) aufweist, die sich von der Förderöffnung (2) des Pumpengehäuses (3) aus erstreckt, wobei die Abführleitung (18a, 18b) einen stromab liegenden Abschnitt (18b) hat, der sich zwischen dem Gasauslaß (14) der Ölnebelfiltereinrichtung (13) und der Pumpenabführleitung (26) erstreckt.