DE3940619A1 - Elektrostriktive stellantriebe - Google Patents

Elektrostriktive stellantriebe

Info

Publication number
DE3940619A1
DE3940619A1 DE3940619A DE3940619A DE3940619A1 DE 3940619 A1 DE3940619 A1 DE 3940619A1 DE 3940619 A DE3940619 A DE 3940619A DE 3940619 A DE3940619 A DE 3940619A DE 3940619 A1 DE3940619 A1 DE 3940619A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
edges
stack
ink
pseudo
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE3940619A
Other languages
English (en)
Inventor
John Galvagni
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Avx Components Corp
Original Assignee
AVX Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AVX Corp filed Critical AVX Corp
Publication of DE3940619A1 publication Critical patent/DE3940619A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/05Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes
    • H10N30/053Manufacture of multilayered piezoelectric or electrostrictive devices, or parts thereof, e.g. by stacking piezoelectric bodies and electrodes by integrally sintering piezoelectric or electrostrictive bodies and electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/06Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/067Forming single-layered electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/508Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure adapted for alleviating internal stress, e.g. cracking control layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/08Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies
    • H10N30/085Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining
    • H10N30/088Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining by cutting or dicing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/43Electric condenser making
    • Y10T29/435Solid dielectric type

Description

Die Erfindung betrifft das Gebiet keramischer Stellantriebe und Kondensatoren und bezieht sich insbesondere auf einen Keramikkondensator oder -stellantrieb mit verbesserten mechanischen Eigenschaften und bei Verwendung als Stellantrieb mit verbesserten Dehnungseigenschaften und verbessertem Bruchwiderstand nach wiederholten Verwendungszyklen. Noch genauer ist die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zur Herstellung eines Stellantriebs oder Kondensators des beschriebenen Typs gerichtet. Bequemlichkeitshalber wird auf das Verfahren und den Gegenstand der vorliegenden Erfindung als Keramikstellantrieb oder -antriebe Bezug genommen. Dieser Ausdruck, wie er hier verwendet wird, soll Keramikkondensatoren umfassen.
Stellantriebe, die aus elektrostriktiven Elementen bestehen, sind in der Industrie wohlbekannt und werden u.a. in Druckerköpfen von Impaktdruckern, den krafterzeugenden Elementen von Relais und als Mittel zur Biegung oder Bildung optischer Oberflächen verwendet, um deren Charakteristiken zu ändern. Solche Stellantriebe können die Form von zwei oder mehr Keramikschichten und im allgemeinen einer Vielzahl von solchen Schichten annehmen, wobei zwischen den Schichten Elektrodenbereiche vorgesehen sind. Um die Verbindung der Elektroden der gleichen Polarität ohne einen Kurzschluß zwischen den Elektroden benachbarter Schichten zu erleichtern, ist es (für Kondensatoren oder Stellantriebe) allgemein üblich, einen Stapel grüner Keramikfilme zu bilden, in denen die Elektrodenbereiche entgegengesetzter Polaritäten an unterschiedlichen Oberflächen des Stapels austreten. So können im Falle eines rechteckförmigen Stellantriebs Elektroden einer ersten Polarität an der linken Seite des Stapels freiliegen und dazwischenliegende Elektroden entgegengesetzter Polarität können auf der rechten Seite des Stapels austreten. Um die Bildung elektrischer Verbindungen zwischen Elektroden derselben Polarität zu erhohen, ist es allgemein üblich, den den Stapel bildenden Film mit Elektrodenmaterial zu beschichten, so daß der Elektrodenbereich sich bis zu einem Rand des Stapels erstreckt, jedoch kurz vor dem entgegengesetzten Rand des Stapels endet. Da der sich ergebende Stapel Elektroden von nur einer Polarität an jeder der betreffenden beiden Seiten freilegt, ist es möglich, einen leitenden Abschluß auf die Gesamtheit der beiden Seiten aufzubringen, wobei der Abschluß den elektrischen Kontakt zu den freiliegenden Elektroden herstellt, jedoch wegen des Vorhandenseins unelektrodierter Keramikbereiche zwischen freiliegenden Elektroden von den Elektroden entgegengesetzter Polarität isoliert ist.
Während die beschriebene Struktur im wesentlichen für alle von der Industrie verwendeten Keramikmehrschichtkodensatoren typisch ist, haben Geräte des beschriebenen Typs insbesondere da Nachteile ein, wo sie als Stellantriebe, d.h. wegen ihrer elektrostriktiven Eigenschaft, verwendet werden, jedoch auch da, wo sie bei konventionellen Kondensatoranwendungen eingesetzt werden. Der Nachteil ergibt sich insbesondere aus der Tatsache, daß der fertiggestellte Stellantrieb eine Keramik-Keramik-Überbrückungsverbindung zwischen benachbarten dielektrischen Schichten in den Bereichen einschließt, wo kein Elektrodenmaterial zwischen den Schichten vorhanden ist.
Es hat sich herausgestellt, daß die Schicht-Schicht-Keramikbindung die Fähigkeit des Keramikgeräts, sich in einer Richtung senkrecht zur Ebene der dielektrischen Schichten auszudehnen, drastisch einschränkt oder behindert. Zusätzlich haben in Übereinstimmung mit den beschriebenen konventionellen Verfahren hergestellte Stellantriebe eine große Neigung gezeigt, nach längerer Verwendung zu reißen oder sich zu spalten. Die Spalttendenz liegt auch bei nicht als Stellantrieben eingesetzten Keramikkondensatoren vor; eine Tendenz, von der angenommen wird, daß sie aus der Tatsache resultiert, daß im wesentlichen alle Keramikzusammensetzungen in einem gewissen Maße elektrostriktive Eigenschaften haben und daher Maßänderungen unterworfen sind, wenn Spannungen angelegt werden.
Um die hemmenden Einflüsse der sich von Schicht zu Schicht überbrückenden Keramikbereiche zu verhindern und gleichzeitig Mittel zum Abschließen des Stellantriebs zu schaffen, sind im Stand der Technik Lösungen vorgeschlagen worden, die, obwohl wirksam, in wirtschaftlichem Maßstab schwer zu realisieren sind.
Die US-PS 45 23 121 beschreibt ein elektrostriktives Mehrschichtgerät mit gesteigerten Dehnungseigenschaften, das zum Widerstand gegen wiederholte Impulsgabe fähig ist. Diese Vorveröffentlichung erwähnt den beschränkenden Einfluß von Keramikbrückenbereichen zwischen dielektrischen Schichten und schlägt als Lösung die Bildung eines im wesentlichen konventionellen elektrostriktiven Gerätes vor, das durch Wegschneiden der überbrückenden Keramikbereiche zwischen benachbarten Schichten durch die Verwendung eines Diamantschneiders verändert ist (Spalte 11, Zeilen 3 ff.). Die erwähnte Vorveröffentlichung schägt auch vor, den Stellantriebsbasisblock so zu bilden, daß sich die Elektroden beider Polaritäten bis zu den äußersten Rändern des Blocks erstrecken, danach Isolierbereiche in Übereinstimmung mit den Randteilen von abwechselnden Schichten auf entgegengesetzen Seiten des Blocks aufzubringen und danach einen Abschluß über den Isolierbereichen zu bilden.
Die US-PS 46 81 667 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung eines elektrostriktiven Geräts durch die Bildung eines Monolithen aus abwechselnden Keramik- und Elektrodenschichten. Elektroden einer ersten Polarität werden elektrisch verbunden und das Gerät in ein Bad eingetaucht, das geladene Glasisolierpartikel enthält, die an die freiliegenden Teile der Elektroden, entfernt von der ursprünglichen Verbindung, angezogen werden. Das Verfahren wird mit den Elektroden entgegengesetzter Polarität wiederholt, wodurch auf entgegengesetzten Teilen des Monolithen Oberflächen gebildet werden, in der nur Elektroden einer bestimmten Polarität freiliegen. Danach können Abschlüsse auf den Oberflächen aufgebracht werden, ohne daß zu befürchten wäre, daß Abschlußmaterial Elektroden entgegengesetzter Polarität kurzschließt.
Wie bei einer Überprüfung der erwähnten vorbekannten Geräte offensichtlich wird, sind die vorgeschlagenen Lösungen von zweifelhafter wirtschaftlicher Lebensfähigkeit. In Anbetracht der Tatsache, daß die dielektrischen Schichten weniger als 1 mm dick sein können und daß eine große Anzahl von Schichten in einem einzigen Stellantrieb verwendet werden können, stellt die Fähigkeit, Abschnitte mit einer Diamentsäge zu bilden oder Isolierung genau aufzustreichen oder Isoliermaterialien in genauer Übereinstimmung mit Elektroden auf entgegengesetzten Seiten des Monolithen aufzutragen, offensichtlich einen beträchtlichen Arbeitsaufwand dar und resultiert in einem erheblichen Kostenanstieg.
Andere Vorveröffentlichungen, die bei einer Recherche nach dem Stand der Technik gefunden und von von begrenzter oder keiner Relevanz sind, schließen die folgenden US-Patente ein:
Nr. 46 67 127, 19.05.1987,
Nr. 46 54 546, 31.03.1987,
Nr. 45 27 082, 02.07.1985,
Nr. 39 67 027, 29.06.1976,
Nr. 39 43 614, 16.03.1976,
Nr. 39 40 974, 02.03.1976,
Nr. 32 76 031, 27.09.1966,
Nr. 24 78 223, 09.08.1949.
Die vorliegende Erfindung richtet sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Stellantriebs, der keine Verbindung von Dielektrikum zu Dielektrikum zwischen benachbarten Schichten hat. Das erfindungsgemäße Verfahren schafft ein wirtschaftlich und kaufmännisch ausführbares Mittel zur Bildung eines Stellantriebs des beschriebenen Typs, bei dem Elektroden entgegengesetzter Polarität an entgegengesetzten Flächen des Keramikmonolithen freiliegen, wodurch ein Abschluß auf der Gesamtheit dieser Flächen aufgebracht werden kann, ohne daß ein Kurzschluß von Schichten entgegengesetzter Polarität zu befürchten ist. Das erfindungsgemäße Verfahren beschreibt erstmalig ein praktisches Mittel zur Bildung eines keramischen elektrostriktiven Stellantriebs, worin eine große Anzahl von dünnen dielektrischen Schichten vorhanden ist.
Insbesondere betrifft das erfindungsgemäße Verfahren die Schaffung einer Anzahl von Schichten "grünen" Keramikmaterials, die mit einem Muster von Bereichen von elektrodenbildenden Materialien und anderen Bereichen von "Pseudo-Elektroden"-bildendem Material bedruckt werden. Der Ausdruck "Pseudo-Elektrode", wie er hier verwendet wird, soll sich auf ein Material beziehen, das eine Volumenvergrößerung bringt, um einen Teiler zu schaffen, und das im Laufe der Herstellung des Keramikmonolithen einer Verflüchtigung unterworfen ist. Pseudo-Elektroden-Tinten sind an sich z.B. aus der US-PS 36 79 950 bekannt.
In Übereinstimmung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren ist auf die grünen Keramikträger z.B. durch Seidenrasterdruck o.ä. eine metalliserte Tinte, d.h. eine Platin- oder Palladium-Partikel enthaltende Tinte aufgedruckt. Die metalliserte Tinte erstreckt sich bis zu mindestens einem Rand des Trägers. Der restliche Träger ist mit einer Pseudo-Elektroden bildenden Tinte bedruckt, wobei die Pseudo-Tinte sich bis zu mindestens einem anderen Rand des Trägers erstreckt. Eine Vielzahl der Träger aus grüner bedruckter Keramik wird so gestapelt, daß die Kanten der metallisierten Elektrodenschichten der ungeradzahligen Träger an einer ersten Oberfläche des Stapels und die metallisierten Elektrodenkanten der dazwischenliegenden Schichten an einer zweiten Kantenoberfläche des Stapels freiliegen. Zwischen jedem Paar von freiliegenden Endteilen der metallisierten Elektroden ist ein Teil eines Trägers angeordnet, auf dem Pseudo-Elektroden-Materialien an der Kante freiliegen und sich über eine Strecke nach innen gegen das Innere des Stapels erstrecken.
Nach dem Ausbrennen und Sintern des Stapels wird das Pseudo-Elektroden-Material ausgetrieben mit dem Ergebnis, daß die beiden erwähnten Oberflächen des Stapels aus freiliegenden Elektroden derselben Polarität mit sich dazwischen befindlichen Hohlräumen in dem Bereich, der vorher durch das Pseudo-Elektroden-Material eingenommen wurde, bestehen. Als Ergebnis kann ein leitender Abschluß auf den erwähnten Oberflächen aufgebracht werden, wobei der Abschluß nur mit Elektroden einer bestimmten Polarität Kontakt herstellt. Da das Abschlußmaterial nicht in den Bereichen der Hohlräume in das Innere des Stapels eindringt, kann das Abschlußmaterial mit Elektroden entgegengesetzter Polarität nicht kurzschließen. Da das Pseudo-Elektroden-Material zusätzlich einen Hohlraum im Bereich zwischen benachbarten dielektrischen Trägern läßt, besteht keine bedeutende Bindung zwischen den Trägern, wodurch die benachbarten dielektrischen Schichten sich ohne Behinderung ausdehnen können.
Der sich ergebende Stellantrieb wird sich mit einem Faktor von 20% oder mehr des Ausdehnungsbetrages ausdehnen, der verfügbar wäre, wenn die benachbarten Schichten in Keramik-Keramik-Verbindung sein würden.
Ein wesentlicher Vorteil eines nach dem erwähnten Verfahren hergestellten Stellantriebs oder Kondensators ist, daß das Gerät an den Spaltlinien zwischen Schichten viel stärker bruchbeständig ist. Das beruht darauf, daß die unverbundenen Schichten frei von der Tendenz sind, sich zu biegen oder zu krümmen, wenn sie angelegten Spannungen ausgesetzt werden, wie es der Fall bei konventionellen Stellantrieben oder Kondensatoren ist, bei denen die Kantenteile fest verbunden sind und die mittleren Teile, worin die Elektroden fluchten, expandieren können.
Die Erfindung ist weiterhin auf einen Herstellungsgegenstand aus einem in Übereinstimmung mit dem vorstehend beschriebenen Verfahren gebildeten grünen Keramikstapel gerichtet.
Es ist demnach ein Ziel der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung von Mehrschichtkeramikstellantrieben und -kondensatoren zu schaffen, die im wesentlichen frei von Keramik-Keramik-Verbindungen in benachbarten Schichten sind und die einfach durch konventionelle Abschlußtechniken abgeschlossen werden können. Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung eines Verfahrens der beschriebenen Art, das einfach in wirtschaftlichem Maßstab realisiert werden kann.
Fig. 1 stellt eine schematische Ansicht im Grundriß eines Paars grüner, erfindungsgemäß mit einer Kombination aus elektrodenbildender Tinte und Pseudo-Elektroden-Tinte beschichteter Keramikträger dar;
Fig. 2 ist ein schematischer Schnitt durch einen Stapel der Träger, wie sie in Fig. 1 dargestellt sind;
Fig. 3 ist ein ähnlicher Schnitt wie Fig. 2 und zeigt den Stapel der Fig. 2 nach dem Ausbrennen und Sintern;
Fig. 4 ist ein ähnlicher Schnitt wie Fig. 2 und 3 nach dem Aufbringen von Abschlüssen.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen, die schematischer Natur sind, wird in Fig. 1 ein Paar von grünen Keramikträgern 10, 11 gezeigt, die im wesentlichen gleiche Abmessungen haben. Der Fachmann wird erkennen, daß die Träger 10, 11 in der kaufmännischen Praxis aus Segmenten eines größeren Trägers oder Bands aus grüner Keramik bestehen, wobei der Träger oder das Band gleichzeitig mit einer Vielzahl von Druckbereichen bedruckt worden ist, aus denen Träger, wie die Träger 10 und 11, ausgestanzt und nachfolgend gestapelt werden.
In Übereinstimmung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren werden die Träger mit einem Elektrodenmuster bedruckt, wobei der Bereich 12 der Träger mit einer im nachstehenden genauer beschriebenen konventionellen Elektrodentinte bedruckt ist, die jedoch im Grunde aus einem Lösungsmittel, einem Bindemittel und aus reinem Metall, wie Platin, Gold oder Palladium, besteht, das die hohen Sintertemperaturen aushält.
Es ist augenscheinlich, daß die Träger 10, 11 identisch, jedoch zueinander spiegelbildlich sind. Die elektrodenbildende Tintenkomponente 12 erstreckt sich bis zu einem Kantenrand 13 des Trägers 10 und bis zum entgegengesetzten Kantenrand 14 des Trägers 11. Wie in Fig. 1 dargestellt, ist der restliche, die Elektrodenbereiche 12 umgebende Bereich der Träger 10 und 11 im allgemeinen U-förmig, wie bei 15 gezeigt, wobei die U-förmigen Bereiche 15 mit einer Pseudo-Elektroden bildenden Tintenzusammensetzung 16 beschichtet sind. Geeignete Pseudo-Tinten-Rezepturen sind aus Patentschriften, wie der US-PS 36 79 950, bekannt, die die Bildung eines Kondensators mittels eines Verfahrens behandelt, durch das Hohlräume innerhalb eines Keramikmonolithen unter Verwendung von Pseudotinte gebildet und danach die Hohlräume mit geschmolzenem Blei gefüllt werden, um Elektroden zu definieren. Die Pseudo-Elektroden-Tinte, die im allgemeinen aus organischen Materialien besteht, die in einer erhitzten Umgebung ausbrennen, gewährleistet, daß Hohlräume zwischen den Keramikschichten nach dem Sintern vorhanden sind.
Während die entsprechenden, wie in Fig. 1 offenbarten Beschichtungen gezeigt worden sind, als enthielten sie einen mittleren Bereich 12, der mit elektrodenbildender Tinte beschichtet ist, und einen im allgemeinen U-förmigen Umgebungsbereich 15, der mit Pseudotinte 16 beschichtet ist, sollte eingesehen werden, daß die Geometrie der Beschichtungen geändert werden kann. Insbesondere kann sich der Elektrodentintenbereich 12 über die Gesamtheit des Trägers erstrecken, anstatt durch einen im Grundriß U-förmigen Pseudoelektrodenbereich umgeben zu sein. Alles was für die zufriedenstellende Nutzung des Verfahrens erforderlich ist, ist, daß der Elektrodenbereich 12 sich bis zu einem Rand 13 der Träger und der Pseudoelektrodenbereich sich bis zu einem separaten Rand, d.h. 17, der Träger erstreckt. Alternative geometrische Anordnungen der Elektrodentinte und Pseudoelektrodentinte bieten sich dem Fachmann ohne weiteres an. Beispielsweise und ohne Beschränkung wäre es möglich, einen Stellantrieb in Zylinderform mit einer durchgehenden mittleren Öffnung zu gestalten. In dieser Ausgestaltung können die ungeradzahligen Träger Elektrodentinte aufweisen, die sich von der mittleren Öffnung gegen den Umfang erstrecken, jedoch kurz vor dem Umfang enden, wohingegen die geradzahligen Träger Elektrodenbereiche haben würden, die sich vom Umfang gegen die mittlere Öffnung erstrecken, jedoch kurz davor enden. In allen Fällen sind die nicht durch Elektrodentinte bedeckten Träger mit Pseudoelektrodentinte bedeckt.
Zurückkehrend zur Geometrie des dargestellten Ausführungsbeispiels, wird in Fig. 2 ein Stapel von Trägern 10 und 11 gezeigt, die so angeordnet sind, daß die Ränder 13 abwechselnder Schichten sich bis zu einer Endoberfläche 18 und der Rand 14 des sich zwischen den abwechselnden Trägern befindlichen Trägers sich bis zu einer entgegengesetzten Oberfläche (19) des Stapels erstreckt. Es wird weiterhin bemerkt werden, daß der sich ergebende Stapel Ränder 17 mit freiliegender Pseudo-Tinte einschließt, die zwischen jedem der Ränder 13 oder 14 angeordnet sind, und Elektrodenmaterialien an den jeweiligen Seiten 18 und 19 des Stapels freiliegen.
In Fig. 3 wird die Ausgestaltung eines fertiggestellten, als Ergebnis des Sinterns des grünen Keramikstapels der Fig. 2 gebildeten Stellantriebs offenbart. Wie aus Fig. 3 ersichtlich, liegen Kantenteile 20 der ungeradzahligen Elektroden 21 am Ende 18 des Stellantriebs und Kantenteile 22 der geradzahligen Elektroden 23 an den Enden 19 des Monolithen frei. Infolge der Verdampfung der Pseudo-Tinten-Komponenten ergeben sich Hohlräume 24 an den Enden des Monolithen zwischen den freiliegenden Enden 20 und 22 der Elektroden.
Wie in Fig. 4 gezeigt, können danach leitende Abschlüsse 25, 26 über den jeweiligen Enden 18, 19 des Monolithen aufgebracht werden, wobei die Abschlüsse mit den Elektroden nur einer einzigen Polarität Kontakt herstellen. Der Abschluß 25 verbindet folglich die ungeradzahligen Elektroden 21, wohingegen der Abschluß 26 mit den geradzahligen Elektroden 23 verbunden ist.
Wahlweise können die jeweiligen Seiten 18 und 19 des Monolithen bearbeitet werden, um vor Aufbringung des Abschlusses Isoliermaterialien 27 in die Hohlräume 24 zu injizieren. Normalerweise ist jedoch die Verwendung von Isoliermaterial, wie z.B. Elastomere oder Expoxide, wegen der Tiefe der Hohlräume 24 nicht erforderlich.
Ein wesentliches Merkmal der Erfindung liegt in der Tatsache, daß infolge der Verdampfung der Pseudo-Elektroden bildenden Tinte sich kein erwähnenswerter Keramik-Keramik-Kontakt zwischen benachbarten dielektrischen Schichten ergibt. Das Fehlen eines solchen überbrückenden Keramikkontaktes zwischen Schichten erlaubt es dem fertiggestellten Stellantrieb, ohne Behinderung in einer Richtung senkrecht zur Ebene des Dielektrikums und der Elektroden zu expandieren. Im Versuch hat sich herausgestellt, daß das Fehlen von überbrückenden Keramikbereichen zwischen benachbarten dielektrischen Oberflächen eine Expansion des Stellantriebs mit einem Faktor von 20% oder noch größer mit der gleichen Eingangsspannung erlaubt, als es der Fall bei konventionellen Stellantrieben ist. Ein weiterer Vorteil der in Übereinstimmung mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Stellantriebe liegt in der größeren Bruchfestigkeit nach wiederholter Impulsgabe. Es wird angenommen, daß die erhöhte Lebensdauer der in Übereinstimmung mit der Erfindung gefertigten Stellantriebe aus der Tatsache herleitbar ist, daß die dielektrischen Schichten im Gegensatz zu konventionellen Stellantrieben, bei denen die Kantenteile durch einen Keramik-Keramik-Kontakt behindert werden und die mittleren Teile nach der Anlegung von Spannungen expandieren, einer minimalen Biegung oder Krümmung unterworfen sind. Es sollte angemerkt werden, daß es beim Sintervorgang der inneren Natur entspricht, daß ein gelegentlicher Stiel oder ein Korn sogar in den Bereichen, die vorher von der Pseudo-Elektroden-Tinte eingenommen wurde, von einer Schicht zur nächsten durchwächst. Das Vorhandensein solcher gelegentlicher Stiele beeinträchtigt jedoch nicht wesentlich die Fähigkeit der dielektrischen Schichten, sich relativ zueinander in einer Richtung senkrecht zur Ebene solcher Schichten zu verschieben, und die durch solche gelegentlichen Stiele verursachte Behinderung einer solchen Expansion ist minimal.
Nachfolgend werden Einzelheiten der bei der Herstellung der erfindungsgemäßen Stellantriebe verwendeten Rezepturen und Behandlungsschritte beschrieben. Es sollte jedoch angemerkt werden, daß das Verfahren unter Verwendung von Materialien durchgeführt wird, die alle im Stand der Technik bekannt sind, einschließlich insbesondere die dielektrischen Rezepturen und Verfahren zu ihrer Herstellung, die Pseudo-Tinten-Rezepturen, die Elektroden-Tinten-Rezepturen und die Abschlußrezepturen und Aufbringungsweise. Als Beispiel und ohne Einschränkung wird eine bevorzugte Verfahrensweise wie folgt durchgeführt:
A. DIELEKTRISCHES MATERIAL
Eine Dielektrikummaterialmasse wurde wie folgt zusammengesetzt (alle angegebenen Werte als Gewichtsprozente):
68,2% Bleioxid (PbO),
27,4% Kolumbit (MgNb2O6),
1,2% Bariumkarbonat (BaCO₃) (Bindemittel),
3,4% Titan (TiO2) (Bindemittel).
Die Ingredienzien werden gemischt und auf eine Durchschnittspartikelgröße von 1 µ gemahlen und mit einer Lösungsmittel- und einer Bindemittelrezeptur der folgenden Zusammensetzung gemischt:
1,75% Fischöl,
12,93% Xylol,
8,24% Äthanol,
2,44% Polyvinylbutyrol,
2,71% UCON-2000 (Union Carbide),
2,25% PX-316 (Aristec).
Das vorbeschriebene organische Trägersystem ist nur repräsentativ und kann, wie im Stand der Technik bekannt, variiert werden. Die Partikelmaterialien und das Bindemittel werden gemischt, um eine viskose Flüssigkeitszusammensetzung zu bilden, deren Viskosität in Übereinstimmung mit der Dicke des zu gießenden Bandes variiert werden kann. Auf einen Riemen, der unter einer Rakel oder Rakeln durchläuft, wird ein Band mit/bis zu einer Dicke von im wesentlichen 203 µ gegossen. Nachdem überschüssige Lösungsmittel verdampft sind, wird das Band unter Verwendung von Elektrodentinten und Pseudotinten mit den beschriebenen Mustern bedruckt. Die Zusammensetzung der jeweiligen Tinten ist nicht kritisch; eine geeignete Elektrodentinte ist Nr. RW301 der Johnson-Matthey Corporation.
Eine geeignete Pseudotinte oder unbeständige Tinte wird in der vorerwähnten US-PS 36 79 950 angegeben. Eine geeignete Pseudotinte kann aus einem Medium durch Mischung von 80 ml Pinienöl, 14 g Acrylharz und 1,5 g Lecithin hergestellt werden. 16 g dieser Mischung werden mit 12 g der vorstehend angegebenen kalzinierten Keramikrezeptur (Durchschnittspartikelgröße ca. 4 µ), 4 g Druckerschwärze und 1,5 g Äthylzellulose vermengt.
Cap-Stoddard-Lösungsmittel oder ein vergleichbares Lösungsmittel wird zugefügt, bis eine zum Drucken geeignete Viskosität erreicht ist.
Die Herstellungsverfahren sind konventionell und schließen die Auftragung von Elektrodentinte durch ein Maschenraster ein, das in Übereinstimmung mit der Größe und Positionierung der mehrfachen Elektrodenbereiche gemustert ist. Die Elektrodentinte kann dann trocknen, und der Träger wird unter Verwendung einer Maske überdruckt, die ein Negativ der Maske ist, die verwendet wurde, um die Elektrodentinte aufzubringen.
Eine Anzahl Träger, jeder mit einer Vielzahl von bedruckten Bereichen, wird fluchtend gestapelt, und der Stapel wird bei ca. 65°C und ca. 1500 pounds per square inch (10.547×10-2 kp/cm2) laminiert. Der Stapel wird aus der Presse genommen, und er kann abkühlen. Danach wird der Stapel in Würfel geschnitten, um aus den gestapelten Reihen großer Träger eine Vielzahl von einzelnen grünenen Stellantrieben, wie in Fig. 2 dargestellt, zu bilden. Die einzelnen Einheiten werden getrennt und einem Ausbrennvorgang unterworfen, bei dem sie 24 Stunden lang einer sich zunehmend erhöhenden Temperatur ausgesetzt werden, wobei die Höchsttemperatur 500°C ist. Die Teile werden bei einer Höchsttemperatur von 1150°C 3 Stunden lang in einem Sinterofen gebrannt.
Die Endoberflächen der Teile werden nach dem Abkühlen mit irgendeiner aus einer Reihe konventioneller Silber-Glasfritte-Zusammensetzungen bekannter Zusammensetzung abgeschlossen. Eine repräsentative geeignete Zusammensetzung ist Dupont 6134. Danach wird die Fritte in einem Ofen während eines ca. halbstündigen Arbeitsgangs, wovon drei Minuten bei der Höchsttemperatur von 750°C, gebrannt. Auf die fertiggestellten Stellantriebe wird danach Blei aufgelötet oder eine Lötbeschichtung aufgetragen in Abhängigkeit von dem beabsichtigten Endverwendungszweck und der Ausgestaltung. Die Stellantriebe können, wieder in Abhängigkeit davon, ob das Endprodukt als Kondensator oder Stellantrieb verwendet werden soll, z.B. durch Einkapseln in eine Epoxy- oder Elastomer-Matrix weiterbehandelt werden.
Alternative Abschlüsse, wie z.B. leitende Polymere oder Elastomere, können dort verwendet werden, wo eine extreme Expansion oder häufiges Schwingen zu erwarten ist.
Wie aus der vorhergehenden detaillierten Beschreibung eines besonderen Ausführungsbeispiels ersichtlich, sind die Auswahl der Rezepturen fur das Dielektrikum, die Elektrodentinte oder -paste, die unbeständige "Pseudo-Elektroden"-Tinte und die Abschlußmaterialien sowie die Art und Weise ihrer Herstellung im Stand der Technik wohlbekannt. Die vorliegende Erfindung liegt in der Idee der Verwendung der Kombination einer Elektrodentinte und einer Pseudo-Elektrodentinte in der Art und Weise, ein monolithisches Gerät zu schaffen, bei dem Elektroden entgegengesetzer Polarität von unterschiedlichen Oberflächen des Monolithen ausgehen, bei dem Hohlräume zwischen Elektroden gleicher Polarität vorhanden sind und bei dem die dielektrischen Schichten im wesentlichen nicht miteinander verbunden sind, wobei die einzige bedeutsame Verbindung zwischen solchen Schichten ist, die durch die Elektroden verbundene Bereiche darstellen.
Wie aus der vorhergehenden Beschreibung ersichtlich, werden dem mit der vorliegenden Offenbarung vertraut gemachten Fachmann zahlreiche Variationen in Geometrie-, Rezeptur- und Aufbaueinzelheiten einfallen. Daher ist die Erfindung innerhalb des Umfangs der beigefügten Ansprüche weit auszulegen.

Claims (6)

1. Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtkeramikstellantriebs oder -kondensators, umfassend die Schritte
  • - eine Vielzahl von grünen Keramikträgern gleicher Größe zu schaffen,
  • - eine Oberfläche der Träger mit einer Beschichtung zu versehen, die diskrete Bereiche elektrodenbildender und Pseudo-Elektroden-Tinte enthält, wobei die Elektrodentintenbereiche sich bis zumindest einem ersten Rand der Träger und die Pseudoelektrodentintenbereiche sich bis zumindest einem zweiten Rand der Träger erstrecken,
  • - einen Stapel aus einer Vielzahl der Träger zu bilden, so daß die ersten Ränder abwechselnder Schichten an einer ersten Oberfläche des Stapels und die ersten Ränder der sich zwischen den abwechselnden Schichten befindlichen Schichten an einer zweiten Oberfläche des Stapels freiliegen, wobei die zweiten Ränder sich an den Oberflächen zwischen den ersten Rändern befinden,
  • - danach den Stapel zu erwärmen und zu sintern
  • - und danach leitende Abschlüsse jeweils auf den ersten und zweiten Oberflächen anzubringen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung von Pseudotinte aus Materialien, die in Reaktion auf den Erwärmungsschritt verdampfen, um dadurch im wesentlichen leere Räume zwischen den Schichten in den früher durch die Pseudotintenbereiche eingenommenen Bereichen zu schaffen.
3. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch den Schritt, Isoliermaterial in die den ersten und zweiten Oberflächen benachbarten Hohlräume einzuführen, bevor die leitenden Abschlüsse auf die Oberflächen aufgebracht werden.
4. Verfahren nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch die Verwendung von Trägern, die im allgemeinen rechteckig im Grundriß sind, wobei die Bereiche der Pseudo-Elektroden-Tinte sich bis zu drei Rändern der Träger erstrecken.
5. Stellantrieb oder Kondensator, hergestellt aus einer Vorform nach einem Verfahren gemäß mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch einen Stapel aus einer Vielzahl von gleichgroßen grünen Keramikträgern, wobei ein erster Oberflächenbereich der Träger mit elektrodenbildendem Material beschichtet wird, das sich bis zu einem ersten Rand der Träger erstreckt, und restliche Bereiche der Oberfläche mit Pseudoelektrodentinte beschichtet werden, wobei die Pseudotintenbereiche sich bis zumindest einem zweiten Rand der Träger erstrecken und wobei die Träger im Stapel so angeordnet sind, daß die ersten Ränder abwechselnder Träger an einer ersten Oberfläche des Stapels freiliegen und die ersten Ränder der sich zwischen den abwechselnden Schichten befindlichen Schichten an einer zweiten Oberfläche des Stapels freiliegen, wobei die zweiten Ränder sich zwischen den ersten Rändern der Oberflächen befinden.
6. Artikel nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Pseudo-Tinten-Bereiche bis zu allen Rändern der Träger, ausgenommen die ersten Ränder, erstrecken.
DE3940619A 1989-06-09 1989-12-08 Elektrostriktive stellantriebe Ceased DE3940619A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/363,770 US4903166A (en) 1989-06-09 1989-06-09 Electrostrictive actuators

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE3940619A1 true DE3940619A1 (de) 1990-12-13

Family

ID=23431654

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3940619A Ceased DE3940619A1 (de) 1989-06-09 1989-12-08 Elektrostriktive stellantriebe

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4903166A (de)
JP (1) JPH0311980A (de)
CA (1) CA2001435C (de)
DE (1) DE3940619A1 (de)
FR (1) FR2648288B1 (de)
GB (1) GB2232532B (de)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19860001A1 (de) * 1998-12-23 2000-07-06 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung eines derartigen Bauelements
EP1204152A2 (de) * 2000-11-06 2002-05-08 CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering Aussenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren
DE10234787C1 (de) * 2002-06-07 2003-10-30 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material
WO2007048756A1 (de) 2005-10-26 2007-05-03 Continental Automotive Gmbh Piezoaktor und verfahren zur herstellung desselben
DE102006022600A1 (de) * 2006-05-15 2007-11-22 Siemens Ag Herstellungsverfahren eines Piezoaktors

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2965602B2 (ja) * 1990-02-26 1999-10-18 日立金属株式会社 積層型変位素子
US5629578A (en) * 1995-03-20 1997-05-13 Martin Marietta Corp. Integrated composite acoustic transducer array
US5655209A (en) * 1995-03-28 1997-08-05 International Business Machines Corporation Multilayer ceramic substrates having internal capacitor, and process for producing same
DE602005027914D1 (de) * 2005-09-16 2011-06-16 Delphi Tech Holding Sarl Piezoelektrischer Aktor
EP2082444B1 (de) * 2006-10-20 2012-05-23 Kyocera Corporation Piezoelektrische aktoreinheit und verfahren zu ihrer herstellung
CH706635A1 (de) * 2012-06-20 2013-12-31 Kistler Holding Ag Messelement, Messkörper und Messanordnung zum Messen einer Kraft und Verwendung eines solchen Messkörpers.
DE102012107341B4 (de) * 2012-08-09 2020-07-09 Tdk Electronics Ag Verfahren zum Befüllen von mindestens einer Kavität eines Vielschichtbauelements mit einem Füllmaterial
DE102012111023A1 (de) * 2012-11-15 2014-05-15 Epcos Ag Vielschichtkondensator und Verfahren zur Herstellung eines Vielschichtkondensators
DE102013102278A1 (de) 2013-03-07 2014-09-11 Epcos Ag Kondensatoranordnung

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2437212A (en) * 1942-12-23 1948-03-02 Frederic D Schottland Electric condenser and method for making the same
US3679950A (en) * 1971-04-16 1972-07-25 Nl Industries Inc Ceramic capacitors
US4523121A (en) * 1982-05-11 1985-06-11 Nec Corporation Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses
DE3434729A1 (de) * 1984-09-21 1986-04-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Biegeelement aus piezokeramik und verfahren zu seiner herstellung
EP0391419A2 (de) * 1989-04-07 1990-10-10 Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. Geschichtete Keramikanordnung und Verfahren zu deren Herstellung

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3322267A (en) * 1964-06-12 1967-05-30 Pantasote Company Of New York Multiple-cavity cookie container
GB2029360A (en) * 1978-07-11 1980-03-19 Sharp Interpack Ltd Packaging
NO793003L (no) * 1978-09-22 1980-03-25 Torben Bredal Salgspakning av reklametypen.
DD151529A1 (de) * 1980-06-17 1981-10-21 Renate Gesemann Keramischer kondensator und verfahren zu dessen herstellung
US4471256A (en) * 1982-06-14 1984-09-11 Nippon Soken, Inc. Piezoelectric actuator, and valve apparatus having actuator
JPS60500616A (ja) * 1983-02-14 1985-05-02 オスカ−・メイヤ−・フッヅ・コ−ポレ−ション 食品パッケ−ジおよびその方法
JPS59218784A (ja) * 1983-05-26 1984-12-10 Nippon Soken Inc 積層セラミツク圧電体
JPS59231884A (ja) * 1983-06-15 1984-12-26 Nippon Soken Inc 積層形圧電体
JPS6066882A (ja) * 1983-09-22 1985-04-17 Murata Mfg Co Ltd 圧電変位素子およびその分極方法
JPS60176282A (ja) * 1984-02-22 1985-09-10 Toyota Motor Corp 積層型圧電磁器およびその製造方法
US4685197A (en) * 1986-01-07 1987-08-11 Texas Instruments Incorporated Fabricating a stacked capacitor
JPS63174380A (ja) * 1987-01-13 1988-07-18 Nagai Denshi Kogyo Kyodo Kumiai 積層セラミツク圧電素子の製造方法
US4742912A (en) * 1987-04-24 1988-05-10 Noel Lee Package assembly

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2437212A (en) * 1942-12-23 1948-03-02 Frederic D Schottland Electric condenser and method for making the same
US3679950A (en) * 1971-04-16 1972-07-25 Nl Industries Inc Ceramic capacitors
US4523121A (en) * 1982-05-11 1985-06-11 Nec Corporation Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses
DE3434729A1 (de) * 1984-09-21 1986-04-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Biegeelement aus piezokeramik und verfahren zu seiner herstellung
EP0391419A2 (de) * 1989-04-07 1990-10-10 Mitsui Petrochemical Industries, Ltd. Geschichtete Keramikanordnung und Verfahren zu deren Herstellung

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19860001A1 (de) * 1998-12-23 2000-07-06 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung eines derartigen Bauelements
US6232701B1 (en) 1998-12-23 2001-05-15 Siemens Aktiengesellschaft Piezoelectric component and method for the manufacture thereof
DE19860001C2 (de) * 1998-12-23 2001-10-04 Epcos Ag Piezoelektrisches Bauelement, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung eines derartigen Bauelements
EP1204152A3 (de) * 2000-11-06 2004-06-02 CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering Aussenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren
EP1204152A2 (de) * 2000-11-06 2002-05-08 CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering Aussenelektroden an piezokeramischen Vielschichtaktoren
DE10234787C1 (de) * 2002-06-07 2003-10-30 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material
WO2003105246A2 (de) * 2002-06-07 2003-12-18 Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente Verfahren zur herstellung eines monolithischen vielschichtaktors sowie, monolithischer vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven material sowie elektrische aussenkontaktierung für einen monolithischen vielschichtaktor
WO2003105246A3 (de) * 2002-06-07 2004-06-10 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Monolithischer vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven material sowie herstellungsverfahren und elektrische aussenkontaktierung
US7449077B2 (en) 2002-06-07 2008-11-11 Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente Method for the production of monolithic multilayer actuator monolithic multilayer actuator made of a piezoceramic or electrostrictive material and external electrical contact for a monolithic multilayer actuator
WO2007048756A1 (de) 2005-10-26 2007-05-03 Continental Automotive Gmbh Piezoaktor und verfahren zur herstellung desselben
DE102005051289B3 (de) * 2005-10-26 2007-05-16 Siemens Ag Piezoaktor und Verfahren zur Herstellung desselben
US8132304B2 (en) 2005-10-26 2012-03-13 Continental Automotive Gmbh Method of manufacturing a piezoelectric actuator
DE102006022600A1 (de) * 2006-05-15 2007-11-22 Siemens Ag Herstellungsverfahren eines Piezoaktors
DE102006022600B4 (de) * 2006-05-15 2008-02-14 Siemens Ag Herstellungsverfahren eines Piezoaktors

Also Published As

Publication number Publication date
GB8924636D0 (en) 1989-12-20
JPH0311980A (ja) 1991-01-21
FR2648288B1 (fr) 1997-12-12
CA2001435C (en) 1993-09-21
GB2232532A (en) 1990-12-12
GB2232532B (en) 1994-03-16
CA2001435A1 (en) 1990-12-09
FR2648288A1 (fr) 1990-12-14
US4903166A (en) 1990-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3738343C2 (de)
EP2118912B1 (de) Vielschicht-bauelement und verfahren zur herstellung eines vielschicht-bauelements
DE19927046B4 (de) Keramik-Metall-Substrat als Mehrfachsubstrat
DE3940619A1 (de) Elektrostriktive stellantriebe
DE1464417A1 (de) Keramikkondensator und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10307825A1 (de) Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel
DE3414808A1 (de) Verfahren zur herstellung eines preiswerten duennfilmkondensators und danach hergestellter kondensator
DE4091418C2 (de) Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtkondensators
DE3509593A1 (de) Verfahren zur herstellung eines keramikkondensators und danach hergestellter kondensator
DE2442898A1 (de) Mehrschichtiger monolithischer keramik-kondensator und verfahren zur justierung und einstellung desselben
DE19757877A1 (de) Verfahren zur Herstellung piezoelektrischer Aktoren und piezoelektrischer Aktor
DE3223736A1 (de) Keramisches dielektrikum und keramischer kondensator mit einem solchen dielektrikum
EP0302294B1 (de) Füllschichtbauteil mit einem gesinterten, monolithischen Keramikkörper und Verfahren zu dessen Herstellung
DE2628327A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum herstellen von mehrschichtkondensatoren
DE102012105287B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauelements und Elektrisches Bauelement
DE3226623A1 (de) Verfahren zur herstellung von vielschicht-keramik-kondensatoren
DE4005505A1 (de) Monolithischer keramischer kondensator
DE3441668A1 (de) Entkopplungskondensator und verfahren zu dessen herstellung
DE2445087A1 (de) Fuer die herstellung eines kondensators geeigneter keramikkoerper und verfahren zu seiner herstellung
DE3528906A1 (de) Monolithischer keramikkondensator
DE3235772A1 (de) Mehrschichtkondensator
DE2461995C3 (de) Mehrschichtige Schaltkreisstruktur und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP2530690B1 (de) Elektrisches Vielschichtbauelement sowie Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Vielschichtbauelements
DE1272406B (de) Elektronische Miniaturkombinationseinheit
DE1901452A1 (de) Elektronisches Bauteil

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8128 New person/name/address of the agent

Representative=s name: BAUER & BAUER, 52080 AACHEN

8131 Rejection