DE3921672C2 - Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen - Google Patents

Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen

Info

Publication number
DE3921672C2
DE3921672C2 DE3921672A DE3921672A DE3921672C2 DE 3921672 C2 DE3921672 C2 DE 3921672C2 DE 3921672 A DE3921672 A DE 3921672A DE 3921672 A DE3921672 A DE 3921672A DE 3921672 C2 DE3921672 C2 DE 3921672C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rake
substrate holder
lenses
ring
held
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE3921672A
Other languages
English (en)
Other versions
DE3921672A1 (de
Inventor
Georg Kunkel
Dieter Klingenstein
Heinz Mahr
Michael Fliedner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Buehler Alzenau GmbH
Original Assignee
Leybold AG
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG, Balzers und Leybold Deutschland Holding AG filed Critical Leybold AG
Priority to DE3921672A priority Critical patent/DE3921672C2/de
Priority to ES198989122628T priority patent/ES2041954T3/es
Priority to DE8989122628T priority patent/DE58904747D1/de
Priority to EP89122628A priority patent/EP0406483B1/de
Priority to US07/456,474 priority patent/US5026469A/en
Priority to KR1019900006658A priority patent/KR0180219B1/ko
Priority to KR1019900006850A priority patent/KR0180220B1/ko
Priority to JP2170377A priority patent/JP2935543B2/ja
Publication of DE3921672A1 publication Critical patent/DE3921672A1/de
Priority to SG37994A priority patent/SG37994G/en
Application granted granted Critical
Publication of DE3921672C2 publication Critical patent/DE3921672C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02C—SPECTACLES; SUNGLASSES OR GOGGLES INSOFAR AS THEY HAVE THE SAME FEATURES AS SPECTACLES; CONTACT LENSES
    • G02C13/00—Assembling; Repairing; Cleaning
    • G02C13/001—Assembling; Repairing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders
    • C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00865—Applying coatings; tinting; colouring

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Lens Barrels (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Eyeglasses (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen, mit einem die zu halten­ de Linse tragenden Ringpaar, das seinerseits mit einem Substrathalter verbindbar ist, der in der Prozeßkammer der Hochvakuumanlage gehalten ist.
Bekannt ist eine Vakuum-Beschichtungsanlage zum Aufdampfen von Vergütungsschichten auf optische Substrate (DE-OS 37 15 831), wie Kunststoff-Brillenglä­ ser, welche auf Trägermittel aufspannbar sind, die in einem evakuierbaren Rezipienten oberhalb von Ver­ dampfungsquellen umlaufen, wobei die Trägermittel ei­ ne Mehrzahl wenigstens angenähert kreissegmentför­ mige, flächige Trägerplatten umfassen, welche zueinan­ der kalottenförmig sowie je um 180° wendbar an einer gemeinsamen Drehachse abgestützt sind, wobei jede Trägerplatte in Öffnungsbereichen eine Mehrzahl mit mindestens einer Haltefeder versehene Substrathalte­ rungen aufweist, von denen mindestens eine nach bei­ den Seiten aus der Trägerplattenebene bis zu einem vorgegebenen Winkel heraus frei kippbar ist.
Jede frei kippbare Substrathalterung weist dabei eine das aufzunehmende Substrat teilweise umgreifende Fassung auf, in welcher das Substrat unter der Wirkung der Haltefeder steht und welche frei nach beiden Seiten hin kippbar über eine Kippachse an der Trägerplatte befestigt ist.
Weiterhin ist eine Linsenhalterung, insbesondere Hal­ terung für zu reinigende und nachfolgend zu beschich­ tende Brillenglaslinsen bekannt (EU-PS 02 15 261), wel­ che als ein an seiner Innenseite Gabeln zur Aufnahme der zu haltenden Linsen tragender Ring ausgebildet ist, wobei der Ring elastisch verformbar ist und die Gabeln an zwei einander gegenüberliegenden Abschnitten der Ringinnenseite angeordnet sind.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen zu schaffen, die für kreisschalenförmig bzw. schirmförmig ausgeformte Substratträger geeignet ist bzw. bei der die Anordnung einer Vielzahl von Linsen auf einem derart ausgebildeten Substratträger möglich ist, die ein rasches Wenden der Linsen gegenüber der Beschichtungsquelle erlaubt, wobei die jeweils der Quelle zugekehrte eine Außenfläche der Linse den glei­ chen Abstand und Lage zur Quelle haben soll wie die jeweils andere Außenfläche der Linse nach dem Wen­ den.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das schirmartig bzw. halbschalenartig ausgeformte Blechteil, das den Substrathalter bildet, zumindest teil­ weise von einem sichelförmigen, einen Schieber oder Rechen bildenden Blechzuschnitt oder Profilelement übergriffen ist, wobei die dem Substrathalter zugewand­ te Kante des Rechens in einem geringen Abstand zur Außenfläche des Substrathalters von einem in der Pro­ zeßkammer angeordneten Gleitstück oder Gelenkarm gehalten ist, wobei der Rechen in der Lage gegenüber der Oberseite des Substrathalters um die Rotationsach­ se des Substrathalters bewegbar ist.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist das schirmartig bzw. halbschaltenartig ausgeformte Blech­ teil, das den um eine vertikale Achse drehbaren Sub­ strathalter bildet, zumindest teilweise von einem sichel­ förmigen, einen Schieber oder Rechen bildenden Blech­ zuschnitt oder Profilelement übergriffen, der seinerseits von einem in Richtung der Rotationsachse verschiebba­ ren Gelenkarm, Gleitstück oder Buchse und vom Hub­ glied einer an der Wand der Prozeßkammer bzw. des Rezipienten befestigten Hubvorrichtung, beispielsweise einem Hubmotor, gehalten und geführt ist, wobei die dem Substratträger zugewandte Unterkante der einzel­ nen Zinken zumindest zeitweise in Eingriff mit den Rit­ zeln oder Zahnrädern der auf den Zapfen gelagerten Ringe gelangen und diese um einen Winkel von etwa 180° drehen.
Mit Vorteil weist der Schieber oder Rechen eine Viel­ zahl von Nasen oder Zinken auf, die sich etwa lotrecht zur Außenfläche des Substratträgers und bis in den Be­ reich der Ritzel oder Zahnräder der jeweiligen Ringe erstrecken.
Zweckmäßigerweise ist der sich in einer zur Rota­ tionsachse des Substratträgers erstreckende Rechen mit seinem einen Ende an einen Hubring angelenkt und mit seinem anderen Ende mit einem den Substratträger um­ schließenden, in einer Ebene quer zur Rotationsachse vorgesehenen Koppelring verbunden, wobei der Kop­ pelring seinerseits über ein Hubglied, beispielsweise der Kolbenstange eines Hubmotors, mit der Wand des Rezi­ pienten in Verbindung steht und von diesem Hubmotor in Längsrichtung der Rotationsachse bewegbar ist.
Bei einer alternativen Ausführungsform sind die Zin­ ken bewegbar am Rechen angelenkt, so daß sie beim Auflaufen auf eine Rampe einer blockierten bzw. dreh­ festen Kulisse in Richtung auf den Rechen zu eine Aus­ weichbewegung ausführen.
Um eine gleichmäßige Schwenkbewegung der Ring­ paare zu gewährleisten, sind die am Rechen angelenk­ ten Zinken mit Vorteil im Bereich ihrer mit den Kulissen zusammenwirkenden freien Enden forken- oder kamm­ artig oder aber als Zahnsegmente ausgebildet, wobei die einzelnen Zinkenenden oder Zähne gemeinsam die Schwenkbewegung der Kulisse bzw. des Ringpaares be­ wirken, wenn sie in Eingriff mit der Kulisse gelangen.
Die Erfindung läßt die verschiedensten Ausführungs­ möglichkeiten zu. Eine davon ist in den anhängenden Zeichnungen schematisch näher dargestellt, und zwar zeigen:
Fig. 1 eine Hochvakuum-Aufdampfanlage, teilweise im Schnitt,
Fig. 2 den kalottenförmig gebogenen Substratträger mit motorischem Antrieb gemäß Fig. 1 im vergrößerten Maßstab, jedoch ohne die in jede ihrer Öffnungen ein­ setzbaren Ringpaare,
Fig. 3 und 4 die beiden Ringe zur Halterung der Bril­ lenglaslinse in perspektivischer Darstellung,
Fig. 5 die beiden miteinander verbundenen Ringe ge­ mäß den Fig. 3 und 4 und deren Lagerung auf dem Substratträger,
Fig. 6 den Teillängsschnitt durch die beiden Ringe nach Fig. 5 mit eingelegter Brillenglaslinse,
Fig. 7 die Seitenansicht eines Rechens und die Sub­ strathalterung im Teilschnitt und
Fig. 8 die perspektivische Teildarstellung eines Re­ chens mit beweglich gelagerten Zinken und einem Ring­ paar, dessen erster Ring mit einer Kulisse besonderer Konfiguration ausgestattet ist, wobei in der Zeichnung der Substrathalter nicht weiter dargestellt ist.
Die in Fig. 1 dargestellte Hochvakuum-Aufdampfan­ lage besteht im wesentlichen aus einem Rezipienten 3 mit einer in diesem angeordneten, jedoch nicht näher dargestellten Verdampferquelle, einer kalottenförmig gebogenen Substrathalterung 4 aus einem mit einer Vielzahl von Öffnungen 5, 5′, . . . versehenen Blechzu­ schnitt, aus einer aus einem Motor 6 mit Getriebe 7 bestehenden Antriebseinheit 8, einem um eine vertikale Achse drehbaren, oberhalb der Substrathalterung 4 ge­ lagerten Schieber oder Rechen 9 mit Hubmotor 10, ei­ nem Vorpumpsatz 11, einer Diffusionspumpe 12 und einem Vakuumventil 13.
Die aus Fig. 2 ersichtlichen Öffnungen 5, 5′, . . . in der Substrathalterung dienen der Aufnahme von Ringpaa­ ren 14, 15, die mit Hilfe von Drahtfedern 16, 17 miteinan­ der verbunden sind und über Zapfen 18, 19 in Lagerga­ beln 20, 21 einsetzbar sind, die sich jeweils paarweise in den Randbereichen der Öffnungen 5, 5′, . . . der Substrat­ halterung 4 befinden (in Fig. 2 jedoch der besseren Übersichtlichkeit wegen nicht näher eingezeichnet sind). Gemäß den Fig. 3 und 5 ist der erste der beiden Ringe 14 an seiner radial äußeren Mantelfläche 22 mit den beiden einander diametral gegenüberliegenden Zapfen 18, 19 versehen, wobei die Längsachse 24, 24′ bzw. die Rotationsachse der beiden Ringe etwa in der Berührungsebene dieser beiden Ringe 14, 15 verläuft.
Um die Brillenglaslinse 25 in die Ringe 14, 15 einlegen und diese anschließend miteinander verbinden zu kön­ nen, wird die Brillenglaslinse 25 in einem ersten Arbeits­ schritt auf die entsprechend bemessene Fase bzw. flanschförmige Stufe 26 des zweiten Rings 15 aufgelegt, dann wird in einem zweiten Arbeitsschritt der erste Ring 15 von oben her auf den zweiten Ring 15 so aufge­ legt, daß die Rotationsachsen 27, 27′ der beiden Ringe 14, 15 fluchten bzw. zusammenfallen; in einem dritten Arbeitsschritt wird der erste Ring 14 gegenüber dem zweiten Ring 15 in Pfeilrichtung A (Fig. 3) gedreht, und zwar so lange, bis die buchtenförmigen, federnden En­ den 16′, 17′ der Drahtfedern 16, 17 in die beiden Nuten 28, 29 hineingleiten, die in die radial äußere Mantelflä­ che 22 des ersten Rings 14 einander diametral gegen­ überliegend eingeschnitten sind. Die buchtenförmigen Enden 16′, 17′ rutschen bei dieser Drehbewegung die Rampen 30, 31 der Nuten 28, 29 entlang, bis sie auf der Oberseite 32 des ersten Rings 14 aufliegen und so beide Ringe 14, 15 mit der dazwischenliegenden Brillenglaslin­ se 25 zusammenhalten (siehe Fig. 5).
Die beiden miteinander verklippten Ringe 14, 15 wer­ den nun mit ihren Zapfen 18, 19 in Pfeilrichtung B in die beiden gabelförmigen bzw. U-förmigen Lagergabeln 20, 21 eingelegt, die sich paarweise jeweils an jeder Öffnung 5, 5′, . . . der Substrathalterung 4 befinden. Der Außen­ durchmesser der beiden Ringe 14, 15 bzw. der Innen­ durchmesser der Öffnungen 5, 5′, . . . ist dabei so bemes­ sen, daß sich die beiden miteinander verklippten Ringe 14, 15, die zusammen ein Ringpaar bilden, in Pfeilrich­ tung C oder D um die Längsachse 24, 24′ drehen lassen (Pfeilrichtung C, D in Fig. 5). Diese Dreh- oder Schwenkbewegung ist mit Hilfe von im Rezipienten gelagerten Rechen 9 bei geschlossener Prozeßkammer 34 durchführbar. Die Rechen 9, 9′ die als halbkreis­ förmige Blechzuschnitte mit an ihnen angeformten Zin­ ken 43, 43′, . . . ausgebildet sind und bei einer Drehbewe­ gung der Substrathalterung 4 um ihre Achse 33, 33′ nach Art eines Kammes über die Oberseite der Substrathal­ terung 4 streichen, geraten dabei in Kontakt mit den Zähnen der auf jeweils einem Zapfen 18 des jeweils ersten Ringes 14 drehfest angeordneten Zahnräder 35, 35′, . . . und nehmen diese so lange mit, bis die Ringpaare 14, 15 jeweils eine 180° Schwenkbewegung um ihre Längsachsen 24, 24′ vollführt haben. Ein an jedem Zap­ fen 18 vorgesehener Finger 36 legt sich dabei auf die Oberseite der Substrathalterung 4 auf und verhindert eine weitere Drehbewegung bzw. wird in dieser Posi­ tion von einem der Magnete 39, 39′ gehalten, die im Bereich der Finger 36, 36′, . . . jeweils im Abstand zuein­ ander auf der Oberseite der Substrathalterung 4 fest angeordnet sind. Die beiden Magnete 39, 39′ eines Ma­ gnetpaares tragen dafür Sorge, daß das zugeordnete Ringpaar 14, 15 während des Wendevorgangs nicht in einer Zwischenposition bzw. in einer instabilen Position stehenbleibt oder nach dem Wendevorgang in diese zu­ rückschwingt. Der in die Zahnräder 35 der jeweiligen Ringpaare 14, 15 eingreifende Rechen 9, 9′, . . . ermög­ licht also eine Schwenkbewegung der einzelnen Ring­ paare bzw. der in diese eingelegten Brillenglaslinsen 25 während des laufenden Beschichtungsvorgangs, d. h. bei geschlossenem Rezipienten 3, wozu besondere Hubmo­ tore 10 mit Hubgliedern 41 und Gelenken 37 vorgese­ hen sind, die dazu an einen Koppelring 38 angelenkt sind, der mehrere Rechen 9, 9′ miteinander verbindet, wobei die Rechen 9, 9′ außerdem über einen Hubring 40 aneinander gekoppelt sind, der auf dem Lagerrohr 42 der Antriebseinheit 8 verschiebbar gehalten und geführt ist.
Werden die Hubmotore 10 (von denen in den Fig. 1 und 7 nur jeweils einer dargestellt ist) aktiviert, dann bewegen sich die Rechen 9, 9′, . . . zusammen mit dem Koppelring 38 in Pfeilrichtung F aus der in Fig. 7 ge­ zeigten unteren Position in eine obere Position, in der die einzelnen Zinken 43, 43′, . . . der Rechen 9, 9′, . . . außer Eingriff mit den zugehörigen Zahnrädern 35, 35′ . . . gelangen, so daß der Substratträger 4 nun frei rotie­ ren kann und die Ringpaare 14, 15 bzw. 14′, 15′ bzw. 14′′, 15′′ bzw. 14′′′, 15′′′ in ihrer Ruhestellung verbleiben.
Es sei noch erwähnt, daß der schirmartig bzw. halb­ schalenförmig ausgebildete Substratträger an seinem unteren kreisringförmigen Rand mit einem Verstei­ fungsring 44 versehen ist, der eine zuverlässige Füh­ rungsfläche für den in Pfeilrichtung F bewegbaren Kop­ pelring 38 bildet. Da bei dem in den Zeichnungen darge­ stellten Ausführungsbeispiel drei Rechen 9 jeweils zwi­ schen Hubring 40 und Koppelring 38 eingespannt sind, lassen sich auch alle drei Rechen 9 in Pfeilrichtung F wie eine geschlossene Haube anheben, so daß die zahlrei­ chen Zinken 43, 43′, . . . gleichzeitig außer Eingriff mit den Zahnrädern 35, 35′, . . . gelangen.
Bei der Ausführungsform der Vorrichtung gemäß Fig. 8 sind an den Rechen 47 Zinken 48 angelenkt, die forkenförmig ausgeformt sind, d. h. der im Eingriff mit der Kulisse 49 gelangende Teil der Zinken 48 ist hier jeweils mit drei Zinkenenden 48a, 48b, 48c versehen, so daß die Drehbewegung der Kulisse 49, die jeweils mit mehreren Zähnen 52a, 52b, 52c, 52d ausgestattet ist, besonders gleichförmig und leicht vonstatten geht. Jede Kulisse 49 ist außerdem mit Rampen 51 versehen, die ein Blockieren der Vorrichtung verhindern, wenn bei­ spielsweise die Drehbewegung bereits erfolgt ist und das Ringpaar 45, 46 durch das Aufliegen des Fingers 53 auf der Substrathalterung 4 an einer Drehbewegung gehindert ist. In einem solchen Falle läuft der Zinken 48 auf die jeweilige Rampe 51 auf und wird von dieser nach oben gedrückt, so daß durch die Schwenkbewegung in Pfeilrichtung K die Zinkenenden 48a, 48b, 48c außer Eingriff sind. Wie die Zeichnung zeigt, ist der Zinken 48 an einem Schwenkarm 54 befestigt, der seinerseits mit einem Bolzen 55 an dem Rechen 47 angelenkt ist.
Bezugszeichenliste
3 Rezipient
4 Substrathalterung
5, 5′, . . . Öffnung
6 Motor
7 Getriebe
8 Antriebseinheit
9, 9′, . . . Rechen
10 Hubmotor
11 Vorpumpsatz
12 Diffusionspumpe
13 Vakuumventil
14 erster Ring
15 zweiter Ring
16, 16′ Drahtfeder
17, 17′ Drahtfeder
18 Zapfen
19 Zapfen
20 Lagergabel
21 Lagergabel
22 radial äußere Mantelfläche
23 radial äußere Mantelfläche
24, 24′ Längsachse
25 Brillenglaslinse
26 flanschförmige Stufe
27, 27′ Rotationsachse
28 Nut
29 Nut
30 Rampe
31 Rampe
32 Ringoberseite
33 Drehachse
34 Prozeßkammer
35, 35′ Zahnrad
36 Finger
37 Gelenk
38 Koppelring
39, 39′ Magnet
40 Hubring, Gleitstück
41 Hubglied
42 Lagerrohr
43, 43′, . . . Nase, Zinken
44 Versteifungsring
45 erster Ring
46 zweiter Ring
47 Rechen
48, 48a, 48b, 48c Zinken
49 Kulisse
50 Zapfen
51, 51′ Rampe
52a, 52b, 52c, 52d Zahn
53 Finger
54 Schwenkarm
55 Bolzen

Claims (6)

1. Vorrichtung zum Halten und Wenden von Lin­ sen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Auf­ dampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen, mit einem die zu haltende Linse tragenden Ringpaar, das seinerseits mit einem Sub­ strathalter verbindbar ist, der in der Prozeßkam­ mer der Hochvakuumanlage gehalten ist, dadurch gekennzeichnet, daß das schirmartig bzw. halb­ schalenartig ausgeformte Blechteil, das den Sub­ strathalter bildet, zumindest teilweise von einem sichelförmigen, einen Schieber oder Rechen bilden­ den Blechzuschnitt oder Profilelement übergriffen ist, wobei die dem Substrathalter zu gewandte Kan­ te des Rechens in einem geringen Abstand zur Au­ ßenfläche des Substrathalters von einem in der Prozeßkammer angeordneten Gleitstück oder Ge­ lenkarm gehalten ist, wobei der Rechen in dieser Lage gegenüber der Oberseite des Substrathalters um die Rotationsachse des Substrathalters beweg­ bar ist.
2. Vorrichtung zum Halten und Wenden von Lin­ sen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Auf­ dampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen (25), mit einem die zu haltende Linse (25) tragenden Ringpaar (14, 15 bzw. 45, 46), das seinerseits mit einem Substrathalter (4) ver­ bindbar ist, der in der Prozeßkammer (34) der Hochvakuumanlage gehalten ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das schirmartig bzw. halbschalenartig ausgeformte Blechteil, das den um eine vertikale Achse (33, 33′) drehbaren Substrathalter (4) bildet, zumindest teilweise von einem sichelförmigen, ei­ nen Schieber oder Rechen (9 bzw. 47) bildenden Blechzuschnitt oder Profilelement übergriffen ist, der seinerseits von einem in Richtung der Rota­ tionsachse (33, 33′) verschiebbaren Gelenkarm, Gleitstück oder Buchse (40) und vom Hubglied (41) einer an der Wand der Prozeßkammer (34) bzw. des Rezipienten (3) befestigten Hubvorrichtung, beispielsweise einem Hubmotor (10), gehalten und geführt ist, wobei die dem Substratträger (4) zuge­ wandte Unterkante der einzelnen Zinken (43, 43′, . . . bzw. 48) zumindest zeitweise in Eingriff mit den Ritzeln, Zahnrädern (35, 35′, . . .) oder Kulissen (49) der auf den Zapfen (18, 19 bzw. 18′, 19′, . . . bzw. 50) gelagerten Ringe (14, 14′, . . . bzw. 45, 46) gelangen und diese drehen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Schieber oder Rechen (9, 9′, . . . bzw. 47) eine Vielzahl von Nasen oder Zinken (43, 43′, . . . bzw. 48) aufweist, die sich etwa lotrecht zur Außenfläche des Substratträgers (4) und bis in den Bereich der Ritzel, Zahnräder (35, 35′, . . .) oder Ku­ lissen (49) der jeweiligen Ringe (14, 14′, . . . bzw. 45, 46) erstrecken.
4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 2 und 3, da­ durch gekennzeichnet, daß der sich in einer zur Rotationsachse (33, 33′) des Substratträgers (4) er­ streckende Rechen (9, 9′, . . . bzw. 47) mit seinem einen Ende an einen Hubring (40) angelenkt ist und mit seinem anderen Ende mit einem den Substrat­ träger (4) umschließenden, in einer Ebene quer zur Rotationsachse (33, 33′) vorgesehenen Koppelring (38) verbunden ist, wobei der Koppelring (38) sei­ nerseits über ein Hubglied (41), beispielsweise der Kolbenstange eines Hubmotors (10), mit der Wand des Rezipienten (3) in Verbindung steht und von diesem Hubmotor (10) in Längsrichtung der Rota­ tionsachse (33, 33′) bewegbar ist (Pfeilrichtung F).
5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der vor­ hergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zinken (48) bewegbar am Rechen (47) an­ gelenkt sind und beim Auflaufen auf eine Rampe (51) einer blockierten bzw. rotationsfesten Kulisse (49) in Richtung auf den Rechen (47) zu eine Aus­ weichbewegung (Pfeilrichtung K) ausführen und die Kulisse (49) überratschen (überspringen).
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die am Rechen (47) angelenkten Zin­ ken (48) im Bereich ihrer mit den Kulissen (49) zu­ sammenwirkenden freien Enden forkenförmig oder kammartig oder aber als Zahnsegmente ausgebil­ det sind, wobei die einzelnen Zinkenenden (48a, 48b, 48c) oder Zähne gemeinsam die Schwenkbe­ wegung der Kulisse (49) bzw. des mit ihr verbun­ denen Ringpaares (45, 46) bewirken.
DE3921672A 1989-07-01 1989-07-01 Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen Expired - Fee Related DE3921672C2 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3921672A DE3921672C2 (de) 1989-07-01 1989-07-01 Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen
DE8989122628T DE58904747D1 (de) 1989-07-01 1989-12-08 Vorrichtung zum halten und wenden von linsen, insbesondere fuer in einer hochvakuum-aufdampfanlage oder -sputteranlage zu beschichtende brillenglaslinsen.
EP89122628A EP0406483B1 (de) 1989-07-01 1989-12-08 Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen
ES198989122628T ES2041954T3 (es) 1989-07-01 1989-12-08 Dispositivo para sujetar y voltear lentes, especialmente para lentes de gafas que han de ser recubiertas en instalaciones de metalizacion o pulverizacion catodica de alto vacio.
US07/456,474 US5026469A (en) 1989-07-01 1989-12-26 Apparatus for holding and turning eyeglass lenses in a high-vacuum vapor deposition or sputtering system
KR1019900006658A KR0180219B1 (ko) 1989-07-01 1990-05-10 고진공증착 또는 스퍼터링 장치의 렌즈지지회전장치
KR1019900006850A KR0180220B1 (ko) 1989-07-01 1990-05-14 고진공 증착 스퍼터링 장치에서 사용하기 위한 렌즈 지지장치
JP2170377A JP2935543B2 (ja) 1989-07-01 1990-06-29 レンズを保持し、かつ反転させるための装置
SG37994A SG37994G (en) 1989-07-01 1994-03-15 Apparatus for supporting and turning lenses, particularly for spectacle lenses to be coated in a high vacuum sputtering or evaporation plant

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3921672A DE3921672C2 (de) 1989-07-01 1989-07-01 Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3921672A1 DE3921672A1 (de) 1991-01-10
DE3921672C2 true DE3921672C2 (de) 1996-12-05

Family

ID=6384097

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3921672A Expired - Fee Related DE3921672C2 (de) 1989-07-01 1989-07-01 Vorrichtung zum Halten und Wenden von Linsen, insbesondere für in einer Hochvakuum-Aufdampfanlage oder -Sputteranlage zu beschichtende Brillenglaslinsen
DE8989122628T Expired - Fee Related DE58904747D1 (de) 1989-07-01 1989-12-08 Vorrichtung zum halten und wenden von linsen, insbesondere fuer in einer hochvakuum-aufdampfanlage oder -sputteranlage zu beschichtende brillenglaslinsen.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8989122628T Expired - Fee Related DE58904747D1 (de) 1989-07-01 1989-12-08 Vorrichtung zum halten und wenden von linsen, insbesondere fuer in einer hochvakuum-aufdampfanlage oder -sputteranlage zu beschichtende brillenglaslinsen.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5026469A (de)
EP (1) EP0406483B1 (de)
JP (1) JP2935543B2 (de)
KR (2) KR0180219B1 (de)
DE (2) DE3921672C2 (de)
ES (1) ES2041954T3 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20116824U1 (de) 2001-09-21 2002-01-31 Henrich, Dieter, 63329 Egelsbach Vorrichtung zur Handhabung von Gegenständen, wie Linsen
WO2008025519A1 (de) * 2006-09-01 2008-03-06 Carl Zeiss Vision Gmbh Vorrichtung zum wenden eines gegenstands in einer vakuumbeschichtungsanlage, verfahren zum wenden eines gegenstands in einer vakuumbeschichtungsanlage sowie deren verwendung

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH681308A5 (de) * 1990-05-22 1993-02-26 Satis Vacuum Ag
EP0550003B1 (de) * 1991-12-27 1996-01-17 Balzers Aktiengesellschaft Vakuumbehandlungsanlage und deren Verwendungen
US5808721A (en) * 1996-03-22 1998-09-15 Gerber Optical. Inc. Ophthalmic lens wafers and receiver for registering such wafers
DE19822064A1 (de) * 1998-05-16 1999-11-18 Leybold Ag Vorrichtung zum Halten von Linsen, insbesondere für in einer Vakuum-Aufdampfanlage oder Sputteranlage zu beschichtender Brillengläser
GB9821752D0 (en) * 1998-10-07 1998-12-02 Applied Vision Ltd Substrate holder
US6090444A (en) * 1999-02-08 2000-07-18 Saunders & Associates, Inc. Base plater or vacuum deposition apparatus with individually and selectively controlled work holders and capacitively coupled crystal monitor
CH693747A5 (de) * 1999-05-04 2004-01-15 Satis Vacuum Ind Vetriebs Ag Vakuum-Beschichtungsanlage zum Aufdampfen von Verguetungsschichten auf optische Substrate.
US6609877B1 (en) * 2000-10-04 2003-08-26 The Boc Group, Inc. Vacuum chamber load lock structure and article transport mechanism
KR20040041992A (ko) * 2002-11-12 2004-05-20 이희신 렌즈코팅용 진공증착기의 렌즈이면코팅방지 구조
US6972136B2 (en) * 2003-05-23 2005-12-06 Optima, Inc. Ultra low residual reflection, low stress lens coating and vacuum deposition method for making the same
DE10324928A1 (de) * 2003-06-03 2005-07-14 Leybold Optics Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage
FR2859487B1 (fr) * 2003-09-04 2006-12-15 Essilor Int Procede de depot d'une couche amorphe contenant majoritairement du fluor et du carbone et dispositif convenant a sa mise en oeuvre
TWI280986B (en) * 2004-04-30 2007-05-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Vacuum vapor deposition apparatus
DE102005063312B4 (de) 2005-01-27 2007-08-23 Carl Zeiss Vision Gmbh Transportvorrichtung zum Handhaben von Linsen und Haltevorrichtung für diese
DE102006012747B4 (de) * 2006-03-17 2010-07-01 Carl Zeiss Ag Kalotte mit einer Mehrzahl an Vorrichtungen zum Halten sowie zum Drehen und/oder Wenden eines Gegenstands bei dessen Beschichtung in einer Vakuumbeschichtungsanlage sowie Verfahren zum Halten sowie zum Drehen und/oder Wenden von Gegenständen bei deren Beschichtung in einer Vakuumbeschichtungsanlage
DE102007062618B4 (de) 2007-12-22 2009-11-05 Carl Zeiss Vision Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Gläsern
CN101575699B (zh) * 2008-05-06 2012-12-19 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜支架
CN101603169B (zh) * 2008-06-11 2012-01-25 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜装置
CN101648175B (zh) * 2008-08-11 2012-06-13 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 涂敷装置
JP5238657B2 (ja) * 2009-09-17 2013-07-17 富士フイルム株式会社 ワーク反転ユニット
US20120186522A1 (en) * 2009-07-30 2012-07-26 Hoya Corporation Vapor deposition apparatus for optical lens
KR101084268B1 (ko) 2009-09-25 2011-11-16 삼성모바일디스플레이주식회사 기판 센터링 장치 및 이를 구비한 유기물 증착 시스템
US10550474B1 (en) 2010-02-26 2020-02-04 Quantum Innovations, Inc. Vapor deposition system
US10808319B1 (en) 2010-02-26 2020-10-20 Quantum Innovations, Inc. System and method for vapor deposition of substrates with circular substrate frame that rotates in a planetary motion and curved lens support arms
EP2418545B1 (de) 2010-08-12 2018-10-10 Applied Materials, Inc. Maskenhandhabungsmodul
US8951350B2 (en) * 2011-05-03 2015-02-10 United Technologies Corporation Coating methods and apparatus
US20130135741A1 (en) * 2011-11-30 2013-05-30 Christopher Morton Lee Optical coating method, apparatus and product
US10077207B2 (en) 2011-11-30 2018-09-18 Corning Incorporated Optical coating method, apparatus and product
US9957609B2 (en) 2011-11-30 2018-05-01 Corning Incorporated Process for making of glass articles with optical and easy-to-clean coatings
PT3689543T (pt) * 2019-01-30 2022-12-07 Zeiss Carl Vision Int Gmbh Dispositivo e método para introduzir uma lente óptica num dispositivo giratório
CN111596472A (zh) * 2020-06-17 2020-08-28 游璟枝 便于固定的眼镜镜片装配装置
CN115386852B (zh) * 2022-07-22 2023-12-15 广东旭业光电科技股份有限公司 一种光学镜片镀膜系统
DE102023200603A1 (de) * 2023-01-26 2024-08-01 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Spiegelanordnung, sowie Beschichtungsanlage
EP4455358A1 (de) * 2023-04-28 2024-10-30 Carl Zeiss Vision International GmbH Vorrichtung zum wenden von linsen in einer beschichtungsvorrichtung und verfahren zur herstellung eines brillenglases

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2410720A (en) * 1943-11-22 1946-11-05 Rca Corp Lens coating apparatus
US3396696A (en) * 1966-10-06 1968-08-13 Ralph F. Becker Lens turner for high vacuum evaporators
US3859956A (en) * 1974-01-10 1975-01-14 Bell Telephone Labor Inc Multiworkpiece condensation coating apparatus
US4329938A (en) * 1980-10-03 1982-05-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Evaporator tool with remote substrate reorientation mechanism
US4344383A (en) * 1980-12-10 1982-08-17 Rca Corporation Retainer ring for securing substrates in a vacuum deposition system
JPS58128724A (ja) * 1982-01-27 1983-08-01 Hitachi Ltd ウエハ反転装置
US4485759A (en) * 1983-01-19 1984-12-04 Multi-Arc Vacuum Systems Inc. Planetary substrate support apparatus for vapor vacuum deposition coating
EP0215261A3 (de) * 1985-09-10 1989-07-05 Balzers Aktiengesellschaft Linsenhalterung, insbesondere Halterung für zu reinigende und nachfolgend zu beschichtende Brillenglaslinsen
CH668430A5 (de) * 1986-07-31 1988-12-30 Satis Vacuum Ag Vakuum-beschichtungsanlage fuer optische substrate.

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE20116824U1 (de) 2001-09-21 2002-01-31 Henrich, Dieter, 63329 Egelsbach Vorrichtung zur Handhabung von Gegenständen, wie Linsen
WO2008025519A1 (de) * 2006-09-01 2008-03-06 Carl Zeiss Vision Gmbh Vorrichtung zum wenden eines gegenstands in einer vakuumbeschichtungsanlage, verfahren zum wenden eines gegenstands in einer vakuumbeschichtungsanlage sowie deren verwendung

Also Published As

Publication number Publication date
EP0406483B1 (de) 1993-06-16
ES2041954T3 (es) 1993-12-01
KR0180219B1 (ko) 1999-02-18
DE58904747D1 (de) 1993-07-22
KR910003143A (ko) 1991-02-27
DE3921672A1 (de) 1991-01-10
JPH0344607A (ja) 1991-02-26
US5026469A (en) 1991-06-25
EP0406483A3 (en) 1991-06-05
KR910003142A (ko) 1991-02-27
KR0180220B1 (ko) 1999-02-18
EP0406483A2 (de) 1991-01-09
JP2935543B2 (ja) 1999-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3921672A1 (de) Vorrichtung zum halten und wenden von linsen, insbesondere fuer in einer hochvakuum-aufdampfanlage oder -sputteranlage zu beschichtende brillenglaslinsen
DE3921671A1 (de) Linsenhalterung, insbesondere halterung fuer in einer hochvakuum-aufdampfanlage oder -sputteranlage zu beschichtende brillenglaslinsen
DE2556459C2 (de) Schwenkvorrichtung
DE19819839A1 (de) Verbesserungen an Mähern
CH661091A5 (de) Verschlussmechanismus an einer mit einem deckel versehene kassette.
DE60019579T2 (de) Dosiervorrichtung
DE2301473A1 (de) Dia-rundmagazin und dia-projektor fuer die verwendung dieses magazins
DE1507338C3 (de) Kupplung zum Verbinden des Weltenendes der querliegenden Antriebswelle eines Mähdrescher-Mähtisches mit dem Wellenende der parallelen Antriebswelle des Elevatorteils
DE2948807A1 (de) Mit einem schluessel betriebene betaetigungseinrichtung
DE7237970U (de) Scharniervorrichtung fuer eine tuer
DE10336829B4 (de) Staubsauger mit einem Schwenkgriff
DE1449160C3 (de) Gefachautomat
DE10113336A1 (de) Münzpfandschloß
EP0005236B1 (de) Vorrichtung für den Diapositivtransport durch einen Projektor
DE1231112B (de) Filmprojektor mit einer Einrichtung zur automatischen Korrektur des Bildstriches
DE1753151B1 (de) Vorrichtung zum Ausgeben von Bechern oder aehnlichen Gegenstaenden
DE728688C (de) Drehverschluss fuer selbsttaetige oder halbselbsttaetige Feuerwaffen
DE943914C (de) Anlass-Dekompressionsvorrichtung
EP0489368A1 (de) Trennbares Doppelventil
DE507639C (de) Matrizensetz- und Zeilengiessmaschine, bei welcher die Ausloesevorrichtungen in und ausser Eingriff mit dem Magazin gebracht werden koennen
DE1906918C3 (de) Dosenöffner
DE4310490A1 (de) Schrittschaltwerk
DE102006022936A1 (de) Vorrichtung zum Wechseln optischer Elemente in Strahlengängen optischer Geräte
DE535214C (de) Verblockungs- und Zaehlwerkseinschaltvorrichtung nach Patent 515651 an einer Mess- und Zapfvorrichtung mit mehreren Fluessigkeitsbehaeltern
DE3711782A1 (de) Typenrad fuer einen drucker

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8110 Request for examination paragraph 44
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH, 63450 HANAU, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: LEYBOLD OPTICS GMBH, 63755 ALZENAU, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee