JP5238657B2 - ワーク反転ユニット - Google Patents
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Description
12 チャンバ(真空チャンバ)
13,153 垂直軸
14 傾斜面
15 ドーム(ワーク保持盤)
16,156 装着孔(装着部)
18 載置リング
19 3本の支持アーム
21 減速ギヤ装置(変速手段)
22 モータ
24,24A,24B,24C,24D 成膜物質
25,155 成膜物質発生源
30,110,160,190 ワーク反転ユニット
31 ガラス板(ワーク)
32 ワークホルダ
33,34,118,198,201 回転軸
35,115,195 支持枠
36 取付アーム
37 取付孔
40,112,162,191 反転機構
41,113,163,193 ウエイト
45,46 被成膜面
50 ホルダベース
51 ホルダカバー
55,56 開口
57,58,202 軸支持孔
60 位置決め突起
61 第1ストッパ
62 第2ストッパ
66 支持部
68 支持板
70,192 駆動ギヤユニット
71 従動ギヤ
73 駆動ギヤ
83,205 アーム部材
116 レール部
120 ピニオンギヤ
125 ラックギヤ
126,170 ガイドケース
128 鋼球
130,166 長溝
131,167 穴部
132,168 底面
137,171,200 取付部
138,172 取付孔
140,173 収容部
141,174 下面
142,175 平面部
143,176 傾斜面
151 筒状ドラム(ワーク保持盤)
152 装着面
157 載置台
158 台座
194 傘歯駆動ギヤ
196 傘歯従動ギヤ
Claims (6)
- 成膜物質発生源から飛翔する成膜物質を堆積させる被成膜面が表裏に設けられたワークを着脱自在に保持するワークホルダと、
真空チャンバ内で回転するワーク保持盤に固定されるとともに、前記ワークホルダを前記被成膜面の一方が成膜物質発生源に向けられる初期位置と他方の被成膜面が成膜物質発生源に向けられる反転位置とに回転自在に支持する支持枠と、
前記ワーク保持盤の回転方向と平行な方向に移動自在に支持されて前記ワーク保持盤の加速又は減速に伴う慣性によって移動するウエイトを有し、前記ウエイトの移動によって前記ワークホルダを前記初期位置と前記反転位置とに切り替える反転機構と、
を備えたことを特徴とするワーク反転ユニット。 - 前記支持枠は、前記ワークホルダに形成された位置決め突起と当接して前記ワークホルダを前記初期位置に保持する第1ストッパと、前記位置決め突起と当接して前記ワークホルダを前記反転位置に保持する第2ストッパとを有することを特徴とする請求項1記載のワーク反転ユニット。
- 前記ウエイトは、自身の重力によって前記位置決め突起を前記第1ストッパに押圧する第1位置と、前記第2ストッパに押圧する第2位置とに移動自在とされたことを特徴とする請求項2記載のワーク反転ユニット。
- 前記反転機構は、前記ワークホルダを回転自在に軸支する一対の回転軸の一方に固定され前記ワークホルダと一体に回転する従動ギヤと、前記支持枠に回転自在に軸支されるとともに前記従動ギヤと噛合して前記ワークホルダを回転させる駆動ギヤと、一端側に前記駆動ギヤが固定され、他端側に前記ウエイトが固定されるアーム部材と、を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のワーク反転ユニット。
- 前記反転機構は、前記ワークホルダを回転自在に軸支する一対の回転軸の一方に固定され前記ワークホルダと一体に回転するピニオンギヤと、前記ウエイトに設けられ前記ピニオンギヤと噛合して前記ワークホルダを回転させるラックギヤと、を備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のワーク反転ユニット。
- 前記反転機構は、前記ワークの表裏に多層に堆積される複数の成膜物質が交互に堆積されるように、前記ワーク保持盤の回転速度の急激な変化に応答して前記ワークホルダの反転を複数回繰り返すことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のワーク反転ユニット。
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