DE3880368T2

DE3880368T2 - Computerunterstuetztes diskretes bewegungssystem fuer integrierte steuerung.

Info

Publication number: DE3880368T2
Application number: DE8888304451T
Authority: DE
Inventors: Anthony Charles Bonora; Michael D Brain; George Allen Maney; Mihir Parikh
Original assignee: ASYST TECHNOLOGIES; Asyst Technologies Inc
Current assignee: ASYST TECHNOLOGIES; Asyst Technologies Inc
Priority date: 1987-05-18
Filing date: 1988-05-17
Publication date: 1993-08-19
Anticipated expiration: 2008-05-18
Also published as: JPH0367304A; EP0292236A2; EP0292236B1; US5097421A; DE3880368D1; JP2664725B2; EP0292236A3

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein genormtes, mechanisches Schnittstellensystem zum Verringern von Teilchenverunreinigungen von Halbleiterwafern während der Halbleiterverarbeitung. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zur Informationsverarbeitung bei genormten, mechanischen Schnittstellensystemen.
Es ist ein genormtes, mechanisches Schnittstellensystem vorgeschlagen worden, um eine Teilchenverunreinigung zu verringern, indem der Teilchenfluß auf die Wafer beträchtlich verringert wird. Dies wird dadurch erzielt, daß mechanisch während des Transports, des Lagerns und der Verarbeitung der Wafer sichergestellt wird, daß die die Wafer umgebenden, gasförmigen Medien (wie Luft oder Stickstoff) im wesentlichen ortsfest relativ zu den Wafern sind und daß sichergestellt wird, daß Teilchen von der Außenumgebung nicht in die unmittelbare Innenumgebung der Wafer eintreten.
Dem genormten, mechanischen Schnittstellensystem liegt die Verwirklichung zugrunde, daß ein kleines Volumen ruhiger, teilchenfreier Luft ohne innere Teilchenquelle die sauberste mögliche Umgebung für Wafer ist. Weitere Einzelheiten über das vorgeschlagene System sind beschrieben in dem Artikel "SMIF: A Technology for Wafer Cassette Transfer and VLSI Manufacturing", by Mihir Parikh und Ulrich Kaemph, Solid State Technology, July 1984, S. 111-115 und in den oben Bezug genommenen Anmeldungen.
Das vorgeschlagene genormte, mechanische Schnittstellensystem besitzt drei Hauptkomponenten, nämlich
(1) staubdichte, transportable Behälter oder Kästen mit minimalem Volumen werden zum Lagern und Transportieren von Waferkassetten verwendet;
(2) Abdeckungen sind über den Kassettentüren der Verarbeitungsvorrichtung angeordnet, so daß die Umgebung innerhalb der Kästen und Abdeckung kleinste, saubere Räume werden; und
(3) Türen an den Kästen sind ausgelegt, zu Türen an den Schnittstellenöffnungen an den Vorrichtungsabdeckungen zu passen, und zwei Türen sind gleichzeitig geöffnet, so daß Teilchen, die auf den äußeren Türoberflächen vorhanden gewesen sind, zwischen den Türen (sandwichartig) eingefangen werden.
Bei dem vorgeschlagenen, genormten, mechanischen Schnittstellensystem wird ein Kasten an der Schnittstellenöffnung oben auf der Abdeckung an einer erwünschten Verarbeitungsstation angeordnet. Verriegelungen geben die Kastentür und die Schnittstellentür gleichzeitig frei. Eine mechanische Hebeeinrichtung senkt die zwei Türen, wobei die Kassette obenauf in den von der Abdeckung überdeckten Raum gleitet. Eine Handhabungseinrichtung nimmt die Kassette auf und ordnet sie in der Kassettenöffnung/Hebeeinrichtung der Vorrichtung an. Nach der Verarbeitung findet der umgekehrte Vorgang statt.
In typischen Verarbeitungsumgebungen werden heute "Sauberräume" eingerichtet, in denen durch Filtern und andere Techniken Versuche unternommen werden, Teilchen zu entfernen, die eine Verunreinigung auf den Halbleiterwaferoberflächen bewirken können. Das genormte, mechanische Schnittstellensystem ist eine Möglichkeit, die zur Verbesserung der Verarbeitungsumgebung gegenüber den zur Verfügung stehenden Sauberräumen in Betracht gezogen worden ist.
Die vorgeschlagenen, genormten, mechanischen Schnittstellensysteme umfassen das Transportieren von Kassetten mit Wafern von Verarbeitungsstation zu Verarbeitungsstation innerhalb der Kästen. Eine bestimmte Verarbeitungsstation kann große Strecken von der vorhergehenden Station entfernt angeordnet sein. Ferner kann die Verarbeitung komplex sein, was eine große Anzahl unterschiedlicher Verarbeitungsschritte zu unterschiedlichen Verarbeitungszeiten beinhaltet, was erfordert, die die Waferkassetten einschließenden Kästen zwischen den Verarbeitungsstationen zu lagern. Somit besteht eine Notwendigkeit, die die Wafer enthaltenden Kästen zu identifizieren, so daß eine Information über die Wafer in den Kästen verarbeitet werden kann.
Die vorgeschlagenen, genormten, mechanischen Schnittstellensysteme jedoch sind nicht voll zufriedenstellend gewesen. Die genormten, mechanischen Schnittstellensysteme, die vorgeschlagen worden sind, schließen Kästen ein, die mit optisch erkennbaren "OCR" oder Strichcoden markiert sind. Diese vorgeschlagene Markierungsart identifiziert den besonderen Kasten, jedoch kann der Benutzer nicht wirkungsvoll Informationen über die den Kasten betreffenden Wafer innerhalb des Kastens einschließen. Dem gemäß besteht ein Bedürfnis für eine verbesserte Vorrichtung zur Informationsverarbeitung bei genormten, mechanischen Schnittstellensystemen.
Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen zwischen Arbeitsstationen umfassend:
wenigstens einen transportablen Behälter für die Gegenstände, wobei der genannte Behälter an wenigstens einer der genannten Arbeitsstationen anbringbar ist;
eine erste Zweiweg-Übertragungseinrichtung, die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter angebracht ist;
wenigstens eine entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung, die einer entsprechenden der genannten Arbeitsstationen zugeordnet und an dieser angebracht ist, wobei die genannte wenigstens eine entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung zur Zweiweg-Übertragung mit einer weiteren Vorrichtung geeignet ist, die mit der entsprechenden einen der genannten Arbeitsstationen verbunden ist;
wobei die genannte erste und die genannte wenigstens eine entsprechende, zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung zur Zweiweg-Digitalübertragung zwischeneinander geeignet sind, wenn der genannte wenigstens eine transportable Behälter an der wenigstens einen der genannten Arbeitsstationen angebracht ist;
eine Mikrocomputereinrichtung, die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zum Empfangen und Verarbeiten von digitalen Informationen angebracht ist, die an die genannte erste Zweiweg-Übertragungseinrichtung durch die genannte wenigstens eine ensprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung übertragen worden sind; und
eine Speichereinrichtung, die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zur Speicherung digitaler Informationen angebracht ist, die von der genannten Mikrocomputereinrichtung verarbeitet worden sind.
Die Erfindung betrifft ferner eine Verarbeitungsvorrichtung gemäß Anspruch 2.
Die Erfindung schafft auch eine Lagerdispositionsvorrichtung umfassend:
wenigstens einen transportablen Behälter zum Transportieren von Gegenständen;
eine erste Zweiweg-Übertragungseinrichtung, die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter angebracht ist;
eine Mikrocomputereinrichtung, die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zum Empfangen und Verarbeiten digitaler Informationen angebracht ist, die zu der genannten ersten Zweiweg-Übertragungseinrichtung übertragen worden sind; und
eine Speichereinrichtung, die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zum Speichern digitaler Informationen angebracht ist, die von der genannten Mikrocomputereinrichtung verarbeitet worden ist;
eine Mehrzahl jeweiliger Erfassungseinrichtungen, von denen jede geeignet ist, daß der genannte wenigstens eine transportable Behälter daran entfernbar angbringbar ist, um das Vorhandensein des wenigstens einen transportablen Behälters zu erfassen, wobei jede entsprechende Erfassungseinrichtung eine damit verbundene entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung aufweist, die zur Zweiweg-Übertragung mit der genannten ersten Zweiweg-Übertragungseinrichtung geeignet ist, wenn ein transportabler Behälter daran angebracht ist;
eine Auswähleinrichtung zum Auswählen zwischen jeweiligen Erfassungseinrichtungen aus der genannten Mehrzahl; und
eine zentrale Prozessoreinrichtung, die mit der genannten Auswähleinrichtung zum Empfangen digitaler Informationen von einer entsprechenden Zweiweg-Übertragungseinrichtung der entsprechenden Erfassungseinrichtung der genannten Mehrzahl und zum Liefern digitaler Informationen an jene Einrichtung gekoppelt ist.
Die Erfindung stellt vorzugsweise auch eine Stromversorgung bereit, die an dem transportablen Behälter angebracht ist. Die Stromversorgung kann eine Batterie oder einen transformatorgekoppelten Kreis einschließen, der Energie von einem Transformator erhält, der der Eingriffseinrichtung benachbart angeordnet ist, oder eine Kombination von beidem.
Eine Anzeige ist bei einem Gesichtspunkt der Erfindung bei dem transportablen Behälter oder an der Verarbeitungsstation eingeschlossen, so daß sich eine Betriebsperson mit der Vorrichtung austauschen kann. Der transportable Behälter kann auch Sensoren zur Anzeige von Zuständen umfassen, wie das sich in Eingriff- oder außer Eingriffbefinden des Behälters mit der Eingriffseinrichtung, ob sich eine Kassette mit Wafern innerhalb des Behälters befindet oder nicht, ob der Behälter in einem offenen oder geschlossenen Zustand ist, und andere Zustände, die für die besondere Verarbeitungsfolge, die durchgeführt werden soll, von Bedeutung sind.
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines genormten, mechanischen Schnittstellensystems, das einer Verarbeitungsvorrichtung benachbart angeordnet ist.
Fig. 2 ist eine schematische Darstellung eines genormten, mechanischen Schnittstellensystems, das die vorliegende Erfindung verwendet.
Fig. 3A u. 3B sind Schaltkreisdiagramme einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 4 ist eine alternative Ausführungsform einer Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung.
Fig. 5 ist ein schematisches Diagramm einer Stromversorgung nach der vorliegenden Erfindung.
Fig. 6 ist eine schematische Darstellung der Befestigungsbeziehung der Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung.
Fig. 7 ist ein Blockdiagramm eines Systems, das an dem transportablen Behälter bei einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung eingeschlossen ist.
Fig. 8 ist eine graphische Darstellung, die zur Erläuterung des Teils des Schaltkreises der Fig. 5 verwendet wird.
Fig. 9 ist ein Flußdiagramm, das zur Erläuterung des Verarbeitungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
Fig. 10 ist ein alternatives Flußdiagramm zum Ersetzen eines Abschnittes des Flußdiagramms der Fig. 9.
Fig. 11 ist ein Flußdiagramm, das zur Erläuterung des Verarbeitungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird.
Fig. 12 ist eine perspektivische Ansicht eines Tabletts und eines transportablen Behälters des Lagerdispositionssystems gemäß der vorliegenden Erfindung.
Fig. 13 ist ein Blockdiagramm eines Lagerdispositionssystems gemäß der Erfindung.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wird eine ins einzelne gehende Beschreibung der vorliegenden Erfindung gegeben.
In Fig. 1 ist eine Halbleiterwafer-Verarbeitungsstation 100 gezeigt. Ein bestimmter Halbleiterherstellungsvorgang kann irgendeine Anzahl von Verarbeitungsstationen umfassen, wie die Station 100, die in Fig. 1 gezeigt ist. Die Stationen sind konstruiert, Verarbeitungsstufen durchzuführen, wie das Aufbringen von Resistmaterialien, die Maskenausrichtung zur Belichtung der Resistmaterialien, die Ablagerung von Materialien auf den Halbleiterwafern usf.
Fig. 1 zeigt einen transportablen Behälter 10 für Halbleiterwafer oder andere zu verarbeitenden Gegenstände, der an der Verarbeitungsstation 100 angebracht ist. Der transportable Behälter 10 steht entfernbar mit der Abdeckung 30 der Verarbeitungsstation 100 durch eine Eingriffseinrichtung 60 in Eingriff, die unter Bezug auf Fig. 2 beschrieben wird.
Der transportable Behälter 10 kann eine Kassette 31 zum Halten einer Mehrzahl von Halbleiterwafern 32 enthalten. Die Kassette 31 wird in die Verarbeitungsstation 100 abgesenkt, ohne der Außenluft ausgesetzt zu werden.
Gemäß der Erfindung ist eine intelligente Datenkarte 40 an dem transportablen Behälter 10 angebracht. Der Ausdruck "Datenkarte", der hier verwendet wird, bezieht sich auf den Bereich der vorliegenden Erfindung, der an dem transportablen Behälter 10 angebracht ist, und zumindest Datenspeichermittel einschließt, wie es unten beschrieben ist. Ferner ist an der Verarbeitungsstation 100 eine Einrichtung 50 zum Informationsaustausch mit einer elektronischen Karte 40 an einem transportablen Behälter 10 angebracht, der mit der Verarbeitungsstation 100 in Eingriff steht. Die Einrichtung 50 zum Informationsaustausch mit der Datenkarte 40 ist mit einem Datenprozessor 20 an der Verarbeitungsstation 100 verbunden. Der Datenprozessor 20 kann eine Anzeige 21, wie eine Leuchtdioden- oder Flüssigkristall-Anzeige einschließen. Der Datenprozessor 20 kann auch eine Tastatur 22 zur Eingabe von Daten umfassen, die beispielsweise die Steuerung der Verarbeitung betreffen.
Beim Betrieb trägt eine Betriebsperson den transportablen Behälter 10 von der Verarbeitungsstation 100 zu einer Verarbeitungsstation, wobei die Datenkarte 40 an dem Behälter 10 angebracht ist. Die auf der Datenkarte 40 gespeicherten Daten werden an die Einrichtung 50 an der Verarbeitungsstation 100 zur Kommunikation mit der Datenkarte 40 übertragen, wenn sich der transportable Behälter 10 in Eingriff befindet. Die Daten von der Datenkarte 40 an dem transportablen Behälter 10 werden durch die Einrichtung 50 an den Datenprozessor 20 übertragen. Bei bevorzugten Ausführungsformen, wie es im einzelnen weiter unten beschrieben wird, kann der Datenprozessor 20 auch durch die Einrichtung 50 auf die Datenkarte 40 übertragen.
Fig. 2 zeigt schematisch den transportablen Behälter 10, der mit der Abedeckung 30 einer Verarbeitungsstation in Eingriff steht. Eine Eingriffseinrichtung 60 zum Eingriff des transportablen Behälters 10 an der Abdeckung 30 der Verarbeitungsstation ist dargestellt. Die Eingriffseinrichtung 60 schließt eine Führung 61 an der Abdeckung ein. Auch ist an dem transportablen Behälter 10 ein Streifen 62 ausgebildet. Wenn der transportable Behälter 10 an der Führung 61 angebracht ist und voll eingreift, ist die Öffnung 70 auf der Abedeckung 30, durch die die Kassette mit Halbleiterwafern abgesenkt wird, zu dem transportablen Behälter 10 ausgerichtet. Die Datenkarte 40 ist an dem transportablen Behälter 10 entlang wenigstens einer Seite des transportablen Behälters 10 angebracht. Die Informationsaustauscheinrichtung 50 ist der Eingriffseinrichtung 60 in Beziehung zu der Karte 40 benachbart befestigt. Die Informationsaustauscheinrichtung 50 ist über eine Übertragungsleitung 51 mit der Prozeßsteuerungsvorrichtung 20 an der Verarbeitungsstation 100 verbunden.
Fig. 3A zeigt einen Schaltkreis zur Befestigung an der Datenkarte 40 bei einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Fig. 3B zeigt eine Informationsaustauscheinrichtung 50 zum Datenempfang von der Karte 40, wie sie in Fig. 3A gezeigt ist. Der Schaltkreis der Fig. 3A schließt einen Zeitgeber/Zähler 41 und eine Speichereinrichtung 42 ein, wie einen programmierbaren Nur-Lesespeicher (PROM) oder eine andere stabile Speichereinrichtung. Der Zeitgeber/Zähler 41 ist mit der Speichereinrichtung 42 über einen Übertragungsbus 43 verbunden. Der Zeitgeber/Zähler erzeugt, wenn Spannung angelegt wird, Adressen der Reihe nach für die Speichereinrichtung 41, die über die Leuchtdiode 44 oder eine andere optische Übertragungseinrichtung Daten ausgibt. Bei der Ausführungsform der Fig. 3A ist eine einzige Leuchtdiode an der Datenkarte 40 angebracht. Auf diese Weise geht der Zeitgeber/Zähler der Reihe nach Datenplätze in der Speichereinrichtung 41 durch und bewirkt, daß Daten seriell durch die Leuchtdiode 44 ausgegeben werden.
Die Informationsaustauscheinrichtung 50 der Fig. 3B schließt einen lichtempfindlichen Transistor 52 oder eine andere Photoerfassungseinrichtung ein, die auf die durch die Leuchtdiode 44 übertragenen Daten anspricht, um ein Signal auf der Steuerleitung 51 zur Übertragung an die Verarbeitungssteuerungsvorrichtung an der Verarbeitungsstation 100 zu erzeugen. Wenn sich der transportable Behälter 10 an der Eingriffseinrichtung 60 in Eingriff befindet, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, sind die Leuchtdiode 44 und der lichtempfindliche Transistor 52 zur optimalen Übertragung ausgerichtet.
Die Datenkarte 40 schließt eine Stromversorgung 45, wie eine Batterie, ein. Die Stromversorgung wird an den Zeitgeber/Zähler durch einen Schalter 46 gelegt, der sich nur in Eingriff befindet, wenn sich der transportable Behälter 10 vollständig mit der Eingriffseinrichtung 60 in Eingriff befindet.
Eine alternative Ausführungsform eines Schaltkreises auf der Datenkarte 40 ist in Fig. 4 gezeigt. Die Ausführungsform der Fig. 4 schließt einen Mikrocomputer 101 oder eine andere Datenverarbeitungseinrichtung und eine statische Speichereinrichtung, wie einen Speicher 102 mit wahlfreiem Zugriff (RAM), ein. Der Mikrocomputer 101 steht mit der Speichereinrichtung 102 über dem Bus 103 im Übertragungsaustausch. Der Mikrocomputer 101 steht mit einem Sender 104, wie der Leuchtdiode 105, in Verbindung. Der Mirkocomputer 101 steht auch mit einem Empfänger 106, wie dem lichtempfindlichen Transistor 107 in Verbindung. Der Mikrocomputer erhält Strom von der Stromversorgung (unten beschrieben) von +5 Volt über die Leitung 108. Die Speichereinrichtung 102 erhält von einer Batterie über die Leitung 109 Strom. Die Speichereinrichtung 102 empfängt ebenfalls ein Freigabesignal auf der Leitung 110, wenn die Stromversorgung, die dem Mikrocomputer 101 Strom liefert, in Betrieb ist.
Die Erzeugung der Stromversorgungsspannung auf der Leitung 108, der Batteriespannung auf der Leitung 109 und des Freigabesignals auf der Leitung 110 wird durch den in Fig. 5 gezeigten Schaltkreis durchgeführt.
Fig. 5 zeigt eine Stromversorgung 120 zur Befestigung auf der Datenkarte 40, die in Verbindung mit dem in Fig. 4 gezeigten Schaltkreis verwendet wird. Die Stromversorgung 120 kann Strom über eine Transformatorkopplungseinrichtung 121 empfangen, wenn sich der transportable Behälter 10 durch die Eingriffseinrichtung 60 an der Verarbeitungsstation 100 in Eingriff befindet. Die Beziehung der Transformatorkopplung wird mehr im einzelnen unter Bezugnahme auf die Fig. 6 beschrieben. Ein Wechselstromsignal wird von der Transformatorkopplungseinrichtung 121 empfangen und in einem Wechselstrom/Gleichstrom-Umwandler 122, wie die in Fig. 5 gezeigte Brücke, in Gleichstrom umgewandelt. Ein Spannungsregler 123 kann eingeschlossen werden, um zum Betrieb der Bauteile auf der Datenkarte 40 eine stabile Spannung zu liefern. Der Ausgang des Spannungsreglers 123 wird als Stromversorgungsspannung dem Mikrocomputer 101 über die Leitung 108 in der Ausführungsform der Fig. 4 zugeführt. Auf der Datenkarte 40 ist eine Batterie 125 eingeschlossen. Die Batteriespannung ist etwas niederer als der Ausgang des Spannungsreglers 123 auf der Leitung 108. Sie ist über die Shottkey-Diode 126 mit dem Knoten 127 verbunden, der ebenfalls über eine Shottkey-Diode 126 mit dem Stromversorgungsausgang auf der Leitung 108 verbunden ist. Der Knoten 127 wird als die Batteriespannung auf der Leitung 109 der Speichereinrichtung 102 zugeführt.
Das Speicherfreigabesignal arbeitet, die Speichereinrichtung 102 nur dann freizugeben, wenn der Strom von der transformatorgekoppelten Stromversorgung 121 eingeschaltet ist. Bei der in Fig. 5 gezeigten Ausführungform, die den gleichrichtende Optokoppler 141 und den R1 und C1 und die Diode 142 umfassenden Schaltkreis einschließt, wird der Speicherfreigabeschaltkreis erzeugt, wie es unter Bezugnahme auf die Fig. 8 beschrieben wird.
Der gleichrichtende Optokoppler 141 ist eine Einrichtung zum Erzeugen einer Spannung auf der Leitung 143 von der Stromversorgung, wie der Batterie 125, wenn die Versorgung von der Stromkopplungseinrichtung ausgeschaltet ist. Wenn der Strom von der Stromkopplungseinrichtung eingeschaltet wird, wie es am Punkt 201 durch die Linie 200 in Fig. 8 angegeben ist, neigt der Ausgang auf der Leitung 143 dazu, abzufallen, was am besten beim Punkt 301 der Linie 300 in Fig. 8 zu sehen ist. Jedoch ist die Geschwindigkeit, mit der die Spannung auf der Leitung 143, das Speicherfreigabesignal, abfallen kann, durch die durch R1 und C1 festgelegte Zeitkonstante bestimmt. Somit erreicht die Versorung auf der Leitung 108 die zum Betreiben des Mikrocomputers 101 erforderliche Spannung, bevor das Freigabesignal auf der Leitung 110 einen Pegel erreicht, die Speichereinrichtung 102 freizugeben. Dieses verhindert, daß eine Unterbrechung der in der Speichereinrichtung gespeicherten Daten hervorgerufen wird, bevor die Stromversorgung in der Datenkarte 40 vollkommen angestiegen ist.
Wenn jedoch die Stromversorgung an dem Punkt 202 in Fig. 8 abgeschaltet wird, liefert der gleichrichtende Optokoppler 141 einen Ladestrom über die Leitung 143, der schnell den Kondensator C1 auflädt, wie man am Punkt 302 auf der Linie in Fig. 8 sieht. Somit wird der statische Speicher mit wahlfreiem Zugriff (RAM) sehr schnell unwirksam gemacht, wenn die Versorgung von der Transformatorkopplungseinrichtung 121 abgeschaltet wird.
Eine Vielfalt anderer Schaltkreise zum Schutz der in der Speichereinrichtung 102 gespeicherten Daten kann eingesetzt werden, wie es für die besondere Ausführungsform der von dem Benutzer gewählten Datenkarte 40 geeignet ist.
Fig. 6 zeigt eine Ausgestaltung zur Befestigung der Datenkarte 40, wie eine solche unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 5 beschriebene, zur Übertragung mit der Übertragungseinrichtung 50 zum Empfang von Daten von der Datenkarte 40 und zum Übertragen von Daten auf die Datenkarte 40. Wenn sich der transportable Behälter 10 in vollem Eingriff an der Eingriffseinrichtung 60 befindet und an der Abdeckung 30 der Verarbeitungsstation befestigt ist, sind die Datenkarte 40 und die Übertragungseinrichtung 50 zur Übertragung ausgerichtet.
Wie es unter Bezugnahme auf die Fig. 5 erwähnt worden ist, ist eine Transformatorkopplungseinrichtung 21 an der Datenkarte 40 angebracht. Ähnlich ist eine passende Transformatorkopplungseinrichtung 131 an der Übertragungseinrichtung 50 angebracht. Wenn sich der transportable Behälter 10 an der Eingriffseinrichtung 60 vollkommen in Eingriff befindet, sind die Transformatorkopplungseinrichtung 121 und die dazu passende 131 so ausgerichtet, daß Leistung von der Übertragungseinrichtung 50 auf die Datenkarte 40 an dem transportablen Behälter 10 übertragen wird.
In Fig. 6 sind auch schematisch eine Sendeeinrichtung 104 und die Empfangseinrichtung 106 auf der Karte 40 dargestellt. Der Sendeeinrichtung 104 an der Übertragungseinrichtung 50 benachbart befindet sich, wenn sich der transportable Behälter 10 voll in Eingriff befindet, eine passende Empfangseinrichtung 134 zum Empfangen von Daten von der Datenkarte 40. Auch ist eine Sendeeinrichtung 136 an der Übertragungseinrichtung 50 so angebracht, daß sie sich der Empfangseinrichtung 106 an dem transportablen Behälter 10 benachbart befindet, wenn der transportable Behälter 10 voll an der Eingriffseinrichtung 60 eingreift. Die Übertragungseinrichtung 50 steht über die Übertragungsleitung 51 mit der Datenverarbeitungseinrichtung 20 an der Verarbeitungsstation 100 in Verbindung.
Eine bevorzugte Ausführungsform des auf der Datenkarte 40 angebrachten Schaltkreises ist in Fig. 7 gezeigt. Die in Fig. 7 schematisch dargestellte Datenkarte 40 schließt ein Datenverarbeitungssystem 151 in Verbindung mit einer Mehrzahl 153 von Eingabe/Ausgabe-Einrichtungen über einen Bus 152 ein.
Das Datenverarbeitungssystem schließt eine zentrale Recheneinheit (CPU) 154, eine nicht flüchtige Speichereinrichtung, wie einen Nur-Lesespeicher (ROM) 155, eine Speichereinrichtung 156 (RAM) mit wahlfreiem Zugriff zum Lesen und Speichern von Daten und eine Stromversorgung 157 ein, wie die in Fig. 5 gezeigte Stromversorgung.
Die Mehrzahl der Eingabe/Ausgabe-Einrichtungen schließt irgendeine der folgenden Einrichtungen ein. Zunächst kann eine Anzeige 160, wie eine Leuchtdioden- oder Flüssigkristallanzeige, auf der Datenkarte 40 angebracht sein, um einer Betriebsperson Daten zu liefern. Auch kann eine Tastatur 161 auf der Datenkarte 40 mit dem transportablen Behälter 10 angebracht sein, so daß eine Betriebsperson in der Datenkarte 40 gespeicherte Daten überprüfen kann.
Eine Sensoreinrichtung 162 kann an der Datenkarte 40 vorgesehen sein, die mit einer Mehrzahl von Sensoren an dem transportablen Behälter 10 in Verbindung steht. Diese Sensoren können Informationen in Bezug auf Zustände liefern, wie der Eingriff oder der Nichteingriff des transportablen Behälters 10 an der Eingriffseinrichtung 60, das Öffnen oder Schließen der Öffnung in dem transportablen Behälter 10, um Zugang zu den in einem Behälter untergebrachten Gegenständen zu ermöglichen, oder andere Zustände. Ferner kann ein Sensor eingeschlossen sein, der anzeigt, ob eine Zurückhalteeinrichtung mit den in dem Behälter untergebrachten Gegenständen in Eingriff steht. Viele andere Sensoren können in Abhängigkeit von den besonderen Verarbeitungsschritten, die durchgeführt werden sollen, und den Eigenschaften der in dem transportablen Behälter 10 transportierten Gegenständen eingeschlossen werden.
Die Mehrzahl der Eingabe/Ausgabe-Einrichtungen 153 schließt einen Sender 163 und einen Empfänger 164 ein, wie die Leuchtdiode 44 und der lichtempfindliche Transistor 52, die unter Bezugnahme auf die Fig. 4 und 6 erörtert worden sind. Der Sender 163 und der Empfänger 164 können andere Ausgestaltungen von Phototransistor und Photoempfänger sein, wie es für die besondere benötigte Verwendung geeignet ist. Ferner können der Sender und der Empfänger aus einem Magnetband und einem magnetischen Lesekopf gebildet sein. Andere akkustische, induktive oder optische Einrichtungen zur Durchführung einer Datenübertragung zwischen der elektronischen Datenkarte 40 und der Übertragungseinrichtung 50 können eingebaut werden, wie es zu den besonderen Erfordernissen der Einrichtung paßt.
Ferner kann die Datenkarte 40 einen Echtzeittaktgeber 165 zum Erzeugen von Echtzeit betreffenden Daten einschließen. Daten von dem Taktgeber 165 können für die Verarbeitungsstationen nützlich sein, um Verarbeitungsparameter und ähnliches zu bestimmen. Auch kann der Taktgeber 165 zum Bestimmen der Länge einer Speicherzeit für die in dem transportablen Behälter 10 enthaltenen Gegenstände verwendet werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann der transportable Behälter 10 mit der an ihm angebrachten Datenkarte 40 in Verbindung mit einer Mehrzahl von Arbeitsstationen verwendet werden, so wie die in Fig. 1 dargestellte Arbeitsstation 100, um ein neues, verteiltes Verarbeitungssystem zu bilden. Ein solches verteiltes Verarbeitungssystem wird verwendet, um halbleiterintegrierte Schaltkreise herzustellen. Die Herstellung von halbleiterintegrierten Schaltkreisen schließt typischerweise die Verarbeitung von Halbleiterwafern ein, wobei eine Vielfältigkeit einzelner Arbeitsvorgänge verwendet wird, die eine entsprechende Vielfältigkeit von Arbeitsstationen verwenden.
Beispielsweise können die Verarbeitungsvorgänge und die entsprechenden Arbeitsstationen, die bei der Herstellung eines halbleiterintegrierten Schaltkreises von einem Halbleiterwafer umfaßt sind, die folgenden Vorgänge und Arbeitsstationen einschließen. Ein Resist wird in einer ersten Arbeitsstation auf den Wafer aufgebracht. Die Dicke des Resist wird in einer zweiten Arbeitsstation gemessen. Ein Schaltkreismuster wird auf den Resist in einer dritten Arbeitsstation belichtet. Das Schaltkreismuster wird in einer vierten Arbeitsstation entwickelt. Die Weite von einer oder mehreren Schaltkreisbahnen wird in einer fünften Arbeitsstation gemessen. Das Ätzen des belichteten Resist wird in einer sechsten Arbeitsstation durchgeführt. Der Durchschnittsfachmann sieht, daß die beispielhaft gerade beschriebenen, wenigen Verarbeitungsschritte und Arbeitsstationen nur für eine große Vielfalt von möglichen Arbeitsschritten und Arbeitsstationen repräsentativ ist.
Bei einem gegebenen Verarbeitungsumfeld für halbleiterintegrierte Schaltkreise kann es eine Vielzahl von Losen von Wafern geben, die gleichzeitig hergestellt werden. Jedes Los kann in einem unterschiedlichen, transportablen Behälter 10 oder einer Gruppe von Behältern eingeschlossen sein, von denen jeder mit seiner eigenen Karte 40 verbunden ist. Ferner können unterschiedliche Lose von Wafern unterschiedlichen Arbeitsvorgängen an unterschiedlichen Arbeitsstationen unterworfen werden, damit letztendlich unterschiedliche Arten von halbleiterintegrierten Schaltkreisen erzeugt werden. Andererseits können unterschiedliche Lose von Halbleiterwafern dieselben Arbeitsstationen verwenden, wobei sie jedoch durch die Arbeitsstationen etwas unterschiedlich verarbeitet werden, damit letztendlich unterschiedliche Arten von halbleiterintegrierten Schaltkreisen hergestellt werden. Beispielsweise kann der Resist von zwei Lose von Wafern in der sechsten Arbeitsstation geätzt werden, wobei ein Los während einer längeren Zeitdauer als der andere geätzt wird.
Ferner kann die Art der Verarbeitungsvorgänge, die im Laufe der Herstellung von integrierten Schaltkreisen an einem Los von Wafern durchgeführt wird, von dem Ergebnis der früheren Verarbeitungsschritte abhängen. Beispielsweise kann der Ätzschritt des belichteten Resist in der sechsten Arbeitsstation eine Ätzzeit haben, die von der Weite von einer oder mehreren Schaltkreisbahnen abhängt, die in der fünften Arbeitsstation gemessen wurden. Deshalb wird das Ergebnis der Schaltkreisbahnmessung verwendet, die Ätzdauer zu bestimmen.
Infolgedessen besteht ein Bedürfnis nach einem Verarbeitungssystem, wie ein solches der vorliegenden Erfindung, um komplexe Verarbeitungsvorgänge zu steuern, wie die Herstellung halbleiterintegrierter Schaltungen.
Unter Bezugnahme auf die Zeichnung der Fig. 1 wird man zu würdigen wissen, daß die Arbeitsstation 100 nur für eine Vielfalt von Arbeitsstationen repräsentativ ist, die einen Teil eines Verarbeitungssystems gemäß der vorliegenden Erfindung bilden kann. Obgleich somit das Verarbeitungssystem unter Bezugnahme auf die in Fig. 1 gezeigte Arbeitsstation 100 beschrieben wird, wird man zu würdigen wissen, daß das tatsächliche Verarbeitungssystem eine Vielzahl von Arbeitsstationen einschließt, um eine Vielfalt von Verarbeitungsvorgängen durchzuführen, wie die obenerörterten: Auftragen eines Resist, Messen der Resistdicke, Belichten des Resists, Messen der Weite von Schaltkreisbahnen und Ätzen des Resists.
Unter erneuter Bezugnahme auf die erläuternden Zeichnungen der Fig. 2 kann man sehen, daß mit dem örtlichen Steuerungsprozessor 20 (im folgenden "Örtliche" 20 genannt) ein örtlicher Übertragungssteuerungsprozessor 300 und ein örtlicher Betriebssteuerungsprozessor 302 gekoppelt ist. Beim Betrieb ist der Örtliche 20 an der Arbeitsstation 100 in elektronischer Verbindung mit der Einrichtung 50 angebracht, die als eine Zweiweg-Übertragungseinrichtung mit der Datenkarte 40 dient. Es wird auf die Fig. 4 Bezug genommen; der Mikrocomputer 100 der Datenkarte 40 kann in einer Zweiweg-Übertragung über den Sender 104 und den Empfänger 106 an der Einrichtung 50 eingreifen. Es wird wieder auf die Fig. 9 Bezug genommen; der Örtliche 20 steht in elektronischem Übertragungsaustausch mit dem örtlichen Übertragungssteuerungprozessor 300 und dem örtlichen Betriebssteuerungsprozessor 302.
Der örtliche Übertragungssteuerungsprozessor 300 steuert den Betrieb der Überführungseinrichtung 304, die Arme 306 zum Überführen einer Kassette 31, die Wafer 32 enthält, zwischen der Arbeitsstation 100 und dem transportablen Behälter 40 aufweist. Eine Ausführungsform der bevorzugten Überführungseinrichtung 304 ist in der gemeinsam übertragenen, zugelassenen und parallel anhängigen Patentanmeldung, Anmeldungs-Nr. 769,709, eingereicht am 26. August 1985, beschrieben, die den Titel trägt "LONG ARM MANIPULATOR FOR SEALED STANDARD INTERFACE APPARATUS". Eine andere Ausführungsform der Überführungseinrichtung 304 ist in der gemeinsam übertragenen, zugelassenen und parallel anhängigen Patentanmeldung Nr. 769,850, die am 26. August 1985 eingereicht worden ist, unter dem Titel beschrieben "SHORT ARM MANIPULATOR FOR SEALED STANDARD MECHANICAL INTERFACE APPARATUS". Diese zwei Patentanmeldungen werden hier durch Bezugnahme auf sie eingegliedert.
Der örtliche Betriebssteuerungsprozessor 302 steuert den Betrieb der Arbeitsstation 100. Wie oben beschrieben worden ist, ist die Arbeitsstation 100 nur zum Zweck eines Beispiels gezeigt. Irgendeine Anzahl einer Vielfalt unterschiedlicher Arten von Arbeitsstationen, die eine entsprechende Vielfalt von Verarbeitungsvorgängen durchführen, kann in das Verarbeitungssystem eingeschlossen werden.
Das System wird unter Bezugnahme auf einen beispielhaften Herstellungsvorgang und unter besonderer Bezugnahme auf die Herstellung von halbleiterintegrierten Schaltkreisen beschrieben, wobei aber zu würdigen ist, daß das System bei anderen Vorgängen ebenfalls angewendet werden kann. Die Flußdiagramme der Fig. 9 und 10 zeigen die neuen Verteilungssteuerungsgesichtspunkte des Systems. Die verteilte Steuerung ist ein besonderes Merkmal des Systems der vorliegenden Erfindung, das ausreichend flexibel sein muß, um wirkungsvoll unter einer Vielfalt von Verarbeitungsstufen und Arbeitsstationen auszuwählen.
Wie oben unter Bezugnahme auf die Fig. 1 beschrieben worden ist, ist ein transportabler Behälter 10 mit seiner an ihm befestigten Datenkarte 40 in einer Arbeitsstation transportiert worden, beispielsweise durch eine Betriebsperson. Es wird nun auf die Figuren 1 und 9 Bezug genommen. Nachdem sich der Behälter 10 in der Arbeitsstation 100 in Eingriff befindet, wie es durch den Schritt 402 in dem Flußdiagramm der Fig. 9 angegeben ist, befragt der Örtliche 20 die Datenkarte 40, ob sie zum Austausch digitaler Informationen beim Schritt 404 bereit ist. Die Datenkarte 40 antwortet beim Schritt 406 mit einer digitalen Botschaft, die von ihrem Mikrocomputer 101 (siehe Fig. 4) erzeugt worden ist, daß sie zum Austausch digitaler Informationen eingestellt ist.
Der Örtliche 20 befiehlt der Datenkarte 40 beim Schritt 408 ihren Status anzugeben. In Antwort führt der Mikrocomputer 101 der Datenkarte 40 beim Schritt 410 einen Selbsttest durch. Der Selbsttest kann beispielsweise einen Test einschließen, um zu bestimmen, ob die Batterie 125 der Karte und der Speicher 102 mit wahlfreiem Zugriff (RAM) in richtiger Arbeitsbereitschaft sind. Wenn der Selbsttest festlegt, daß sich die Karte nicht im richtigen Arbeitszustand befindet, dann bewirkt der Mikrocomputer 101, daß beim Schritt 411 ein Signal auf der Kartenanzeige 21 erscheint, das anzeigt, daß die Karte 40 nicht richtig arbeitet, und eine digitale Übertragung zwischen der Karte 40 und dem Örlichen 20 wird typischerweise angehalten. Wenn der Selbsttest jedoch zeigt, daß die Karte 40 richtig arbeitet, dann gibt die Karte 40 beim Schritt 412 an, daß der Vorgang fortgesetzt werden kann.
Der Örtliche 20 verlangt dann beim Schritt 414, daß sich die Karte 40 selbst identifiziert und die gegenwärtigen Verarbeitungsdaten liefert. In Antwort darauf liefert die Karte 40 einen Kennzeichnungscode. Bei einem halbleiterintegrierten Schaltkreis-Herstellungsverarbeitungssystem kann die Karte auch die Losnummer der Halbleiterwafer, die verarbeitet werden sollen, sowie die Identität der Arbeitsstation angegeben, die den nächsten Verarbeitungsschritt ausführen soll, und eine Angabe darüber, welcher Verarbeitungsschritt als nächstes durchgeführt werden soll. Beispielsweise kann der nächste Verarbeitungsschritt die Belichtung des Schaltkreismusters auf einen Resist in der dritten Arbeitsstation sein. Der Örtliche 20 bestimmt beim Schritt 418, ob der Behälter 10 mit seinem Inhalt und seiner Karte 40 an der richtigen Arbeitsstation ist, um den nächsten Verarbeitungsschritt durchzuführen. Wenn dies nicht der Fall ist, dann unterrichtet die Datenkarte 40, die über die Anzeige 21 beim Schritt 420 berichtet, daß der Behälter 10 an der falschen Arbeitsstation ist, und typischerweise wird die Übertragung zwischen der Karte 40 und dem Örtlichen 20 angehalten. Wenn der Örtliche 20 bestimmt, daß die Karte 40 an der richtigen Arbeitsstation ist, dann wird die digitale Übertragung zwischen der Karte 40 und dem Örtlichen 20 fortgesetzt.
Der Örtliche 20 antwortet, indem er dem örtlichen Übertragungssteuerungsprozessor 300 beim Schritt 422 befiehlt, die Überführung von zu verarbeitenden Gegenständen aus dem transportablen Behälter 10 zu der Arbeitsstation 100 zu bewirken. Beispielsweise wird bei der Herstellung von halbleiterintegrierten Schaltkreisen eine Kassette 31, die zu verarbeitende Wafer 32 enthält, von dem Behälter 10 zu der Arbeitsstation 100 über die Arme 306 abgesenkt.
Als nächstes befiehlt der Örtliche 20 dem örtlichen Betriebssteuerungsprozessor 302 beim Schritt 424 mit dem Verarbeitungsbetrieb zu beginnen. Beispielsweise kann der von der Arbeitsstation durchzuführende Verarbeitungsvorgang sein, ein Schaltkreismuster auf einen Resist aufzubelichten, der auf einen Halbleiterwafer aufgetragen worden war.
Der Örtliche 20 teilt beim Schritt 426 der Karte mit, daß die Überführung abgeschlossen und mit dem Verarbeitungsvorgang begonnen worden ist. Der Örtliche 20 stellt eine erste, geschichtliche Aufzeichnung beim Schritt 428 zusammen, die die Arbeitsstation identifiziert und angibt, daß die Überführung aufgetreten und mit dem Verarbeitungsvorgang begonnen worden ist. Der Örtliche 20 überträgt beim Schritt 430 die erste, geschichtliche Aufzeichnung auf die Karte 40. Die Karte 40 speichert beim Schritt 432 die erste, geschichtliche Aufzeichnung. Der Örtliche 20 befiehlt der Karte 40, die erste geschichtliche Aufzeichnung datumsmäßig und zeitmäßig zu markieren, wobei ihr Mikrocomputer 101 und der Echtzeittaktgeber 165 (Fig. 7) verwendet werden; die Karte 40 folgt dem Befehl und zeichnet eine Datums- und Zeitaufzeichnung beim Schritt 434 für die erste, geschichtliche Aufzeichnung auf.
Bei Beendigung des Verarbeitungsvorgangs informiert der örtliche Betriebssteuerungsprozessor 302 beim Schritt 436 den Örtlichen 20 über seinen Abschluß. Der Örtliche 20 befiehlt beim Schritt 438 dem örtlichen Überführungssteuerungsprozessor 300, mit einer Überführung von verarbeiteten Gegenständen, beispielsweise Halbleiterwafern 32 von der Arbeitsstation 100 zurück zu dem transportablen Behälter 10 zu beginnen.
Der Örtliche stellt eine zweite, geschichtliche Aufzeichnung beim Schritt 440 zusammen. Die zweite, geschichtliche Aufzeichnung liefert beispielsweise eine Aufzeichnung des Belichtungsbetriebs eines Schaltungsmusters auf einem auf einen Halbleiterwafer aufgetragenen Resist. Der Örtliche 20 überträgt beim Schritt 442 die zweite, geschichtliche Aufzeichnung auf die Karte 40 und befiehlt der Karte 40 beim Schritt 444 Datum und Zeit zu markieren und die zweite, geschichtliche Aufzeichnung zu speichern.
Der Örtliche 20 befiehlt der Karte 40 beim Schritt 446 zu dem nächsten Verarbeitungsschritt fortzuschreiten. In Antwort darauf bereitet sich die Karte 40 beim Schritt 448 auf den nächsten Verarbeitungsschritt vor, beispielsweise durch Ändern der Kennzeichnung der Arbeitsstation und des Arbeitsvorgangs, der beim Schritt 416 an der nächsten Arbeitsstation identifiziert werden soll. Schließlich bewirkt die Karte 40 beim Schritt 450, daß ihre Anzeige 21 für die Betriebsperson die nächste Arbeitsstation identifiziert, die von dem transportablen Behälter aufgesucht werden soll.
Zwei Beispiele, die folgen, erläutern die Bedeutung, einen Mikrocomputer 101 auf der Karte 40 einzuschließen.
Das erste Beispiel wird unter Bezugnahme auf die Fig. 10 beschrieben, in der ein alternatives Flußdiagramm gezeigt ist, daß die Schritte 408 bis 420 des Flußdiagramms der Fig. 9 ersetzen kann. Bei dem alternativen Flußdiagramm veranlaßt nach dem Schritt 406, wie es oben beschrieben wurde, die Karte 40 selbst beim Schritt 500 den Selbsttest und führt ihn durch, der oben im Bezug auf den Schritt 410 beschrieben worden ist. Wenn die Karte 40 feststellt, daß er nicht richtig arbeitet, dann veranlaßt sie ihre Anzeige 21, beim Schritt 502 ihr Arbeitsunvermögen mitzuteilen und der Übertragungsaustausch mit dem Örtlichen 20 wird typischerweise angehalten. Andererseits verlangt die Karte 40 beim Schritt 504, wenn die Karte 40 feststellt, daß sie richtig arbeitet, daß der Örtliche 20 seine Kennzeichnung mitteilt. In Antwort darauf identifiziert sich beim Schritt 506 der Örtliche 20 selbst gegenüber der Karte 40. Die Karte 40 stellt dann fest, ob sie sich an der richtigen Arbeitsstation befindet. Wenn dies nicht zutrifft, bewirkt sie, daß die Anzeige 21 beim Schritt 508 eine geeignete Botschaft anzeigt und die Übertragung mit dem Örtlichen 20 wird typischerweise angehalten. Wenn die Karte 40 bestimmt, daß es sich tatsächlich um die richtige Arbeitsstation handelt, dann befiehlt die Karte beim Schritt 510 dem Örtlichen 20, die erste Materialüberführung zu veranlassen.
Das zweite Beispiel wird unter Bezugnahme auf das Flußdiagramm der Fig. 11 beschrieben, in der eine repräsentative Folge von Kartenarbeitsvorgängen und Arbeitsstationsvorgängen bei einem beispielhaften Herstellungsverfahren von halbleiterintegrierten Schaltkreisen gezeigt ist. Zum Zwecke dieses Beispiels wird angenommen, daß die Karte 40 in ihrem Speicher mit wahlfreiem Zugriff 102 (RAM) eine Formel zur Berechnung der Ätzzeit gespeichert hat; der Schritt 600 stellt die Speicherung der Formel dar. Die Formel kann beispielsweise sein: K - A (spezifizierte Weite - gemessene Weite) - B (Resistdicke). Wobei K, A und B konstante Werte sind und sich die "spezifizierte Weite" auf die spezifizierte Weite einer Schaltkreisbahn bezieht und sich die "gemessene Weite" auf die Meßweite der Schaltkreisbahn bezieht, und die "Resistdicke" eines auf einen Halbleiterwafer aufgetragenen Resist ist.
Der erste Verarbeitungsschritt besteht darin, beim Schritt 602 einen Resist auf Halbleiterwafer aufzutragen, die verarbeitet werden. Dieser Schritt wird beispielsweise in der ersten Arbeitsstation durchgeführt. Die Dicke des Resist wird in einer zweiten Arbeitsstation beim Schritt 604 gemessen, und die gemessene Dicke wird in dem Speicher mit wahlfreiem Zugriff 102 (RAM) der Karte beim Schritt 606 gespeichert. Ein Schaltkreismuster wird in einer dritten Arbeitsstation beim Schritt 608 auf den Resist aufbelichtet. Das Schaltkreismuster wird in einer vierten Arbeitsstatin beim Schritt 610 entwickelt. Die Weite von einem oder mehreren Schaltkreisbahnen wird in einer fünften Arbeitsstation beim Schritt 612 gemessen, und die gemessene Weite wird in dem Speicher mit wahlfreiem Zugriff 102 (RAM) der Karte beim Schritt 614 gespeichert. Die Karte 40 berechnet unter Verwendung ihres Mikrocomputers 101 beim Schritt 616 die Ätzzeit, wobei die beim Schritt 600 gespeicherte Formel und die bei den Schritten 606 und 614 gespeicherten Messungen verwendet werden. Der belichtete Resist wird beim Schritt 618 während der berechneten Ätzzeit geätzt.
Aus den vorhergehenden beiden Beispielen erkennt man, daß die Karte 40 in vorteilhafter Weise als Teil eines verteilten Verarbeitungssystems verwendet werden kann, das keine zentralisierte Steuerung benötigt. Stattdessen kann eine Karte 10, die mit einem transportablen Behälter 10 verbunden ist, der zu verarbeitende Gegenstände enthält, Verarbeitungsdaten speichern, die sich auf die besonderen Gegenstände beziehen, und kann Berechnungen durchführen, die für die richtige Verarbeitung der Gegenstände erforderlich sind.
Die vorliegende Erfindung schafft auch ein neues Lagerdispositionssystem, das vorteilhafter Weise den Zustand von Gegenständen, wie beispielsweise Halbleiterwafer, zwischen Verarbeitungsvorgängen überwachen kann.
Es wird auf die erläuternde Zeichnung der Fig. 12 Bezug genommen, in der ein Tablett 630 gezeigt ist, das einen vertieften Bereich 632 mit einer Größe aufweist, einen transportablen Behälter 10 aufzunehmen, an dem eine Datenkarte 40 in der gezeigten Weise angebracht ist. Das Tablett 630 schließt eine Zweiweg-Übertragungseinrichtung 50-1 wie die Zweiweg-Übertragungseinrichtung 50 ein, die oben beschrieben und an der Arbeitsstation 100 angebracht ist.
Wie durch die unterbrochenen Linien 634 dargestellt ist, kann der Basisbaschnitt 636 des transportablen Behälters 10 eng in den vertieften Bereich 632 eingepaßt werden. Wenn der transportable Behälter 10 in dem vertieften Bereich 632 aufgenommen worden ist, ist die Karte 40 zu der Zweiweg-Übertragungseinrichtung 50-1 so ausgerichtet, daß die Karte 40 und die Einrichtung 50-1 miteinander in eine Zweiweg-Übertragung gelangen können.
Es wird nun auf die erläuternde Zeichnung der Fig. 13 Bezug genommen, in der in der Form eines Blockdiagramms ein Lagerdispositionssystem 637 gezeigt ist, das eine Vielzahl von Tabletts einschließt, die in jeweiligen Gruppen von 630-1 bis 630-N unterteilt sind. Jedes jeweilige einzelne Tablett ist so, wie das unter Bezugnahme auf die Fig. 12 beschriebene. Jedes Tablett in den entsprechenden Tablettgruppen 630-1 bis 630-N ist mit einer entsprechenden Steuerungsleitung 639-1 bis 639-N mit einem Multiplexerkreis 640-1 bis 640-N gekoppelt. Die jeweiligen Multiplexer 640-1 bis 640-N sind über eine Steuerungsleitung 642, die beispielsweise eine RS232 C-Leitung sein kann, mit einem zentralen Steuerungsprozessor 644 gekoppelt.
Bei der gegenwärtig bevorzugten Ausführungsform umfaßt der zentrale Steuerungsprozessor 644 einen IBM verträglichen Personal-Computer. Die Multiplexer 630-1 bis 630-N sind miteinander in geketteter Weise gekoppelt, so daß auf der Steuerungsleitung 642 ausgebreitete Signale in serieller Weise von einem Muliplexerkreis zum anderen fortschreiten. Obgleich nur zwei Tablettgruppen 630-1 und 630-N zusammen mit den verbundenen Multiplexerkreisen 640-1 bis 640-N gezeigt sind, erkennt man, daß eine Vielzahl von Tablettgruppen und eine entsprechende Vielzahl von Multiplexergruppen in dem Lagerdispositionssystem 637 eingeschlossen sein kann.
Beim Betrieb kann eine Mehrzahl von transportablen Behältern 10 in den entsprechenden Tabletts 630-1 bis 630-N des Lagerdispositionssystems 637 angeordnet werden. Eine Betriebsperson kann den zentralen Steuerungsprozessor verwenden, um beispielsweise den Verarbeitungszustand des Inhalts von irgendeinem Behälter 10 festzustellen, der in irgendeinem der Tabletts des Systems 637 aufgenommen ist.
Insbesondere befiehlt, beispielsweise um eine Information über den Inhalt des Behälters 10, der in Figur 12 gezeigt ist, zu erhalten, der zentrale Steuerungsprozessor 644 dem entsprechenden Multiplexerkreis (nicht gezeigt), der mit diesem Tablett 630 gekoppelt ist, dieses Tablett 630 auszuwählen und es mit dem Prozessor 644 zu koppeln. Der zentrale Steuerungsprozessor 644 sendet digitale Signale zu dem ausgewählten Tablett 630, die eine Zweiweg-Übertragung zwischen der an dem Tablett angebrachten Zweiweg-Übertragungseinrichtung 50-1 und der Karte 40 bewirkt. Durch die Zweiweg-Übertragung kann beispielsweise der zentrale Steuerungsprozessor 644 den Inhalt des Behälters 10, die an diesem Inhalt bereits durchgeführten Verarbeitungsschritte und die Verarbeitungsschritte feststellen, die zur zukünftigen Durchführung festgelegt sind. Zusätzlich kann durch eine solche Zweiweg-Übertragung der zentrale Steuerungsprozessor 644 verwendet werden, den Mikrocomputer 101 der Karte 40 erneut zu programmieren, um beispielsweise Verarbeitungsbefehle, die in dem Speicher mit wahlfreiem Zugriff 102 (RAM) der Karte gespeichert sind, abzuändern oder den Echtzeittaktgeber zu aktualisieren oder zu korrigieren.
Man sieht somit, daß das vorliegende Lagerdispositionssystem 637 in vorteilhafter Weise die Aufgabe verteilen kann, eine Entwicklung der Verarbeitungsschritte und einen Zeitplan der zukünftigen Verarbeitungsschritte für die Gegenstände in dem jeweiligen transportablen Behälter 10 aufrechtzuerhalten. Infolgedessen ist der zentrale Steuerungsprozessor vom Aufrechterhalten und Verwalten solcher Informationen frei.

Claims

1. Eine Vorrichtung zum Transportieren von Gegenständen zwischen Arbeitsstationen (100) umfasssend:

wenigstens einen transportablen Behälter (10) für die Gegenstände, wobei der genannte Behälter an wenigstens einer der genannten Arbeitsstationen anbringbar ist;

eine erste Zweiweg-Übertragungseinrichtung (40), die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter angebracht ist;

wenigstens eine entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50), die einer entsprechenden der genannten Arbeitsstationen zugeordnet und an dieser angebracht ist, wobei die genannte wenigstens eine entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50) zur Zweiweg-Übertragung mit einer weiteren Vorrichtung geeignet ist, die mit der entsprechenden einen der genannten Arbeitsstationen (100) verbunden ist;

wobei die genannte erste und die genannte wenigstens eine entsprechende, zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50) zur Zweiweg-Digitalübertragung zwischeneinander geeignet sind, wenn der genannte wenigstens eine transportable Behälter (10) an der wenigstens einen der genannten Arbeitsstationen (100) angebracht ist;

eine Mikrocomputereinrichtung (101), die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zum Empfangen und Verarbeiten von digitalen Informationen angebracht ist, die an die genannte erste Zweiweg- Übertragungseinrichtung (40) durch die genannte wenigstens eine ensprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50) übertragen worden sind; und

eine Speichereinrichtung (42, 102), die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zur Speicherung digitaler Informationen angebracht ist, die von der genannten Mikrocomputereinrichtung (101) verarbeitet worden sind.

2. Verarbeitungsvorrichtung, die die Vorrichtung des Anspruches 1 in sich einschließt und eine Mehrzahl von Arbeitsstationen (100) aufweist, von denen jede jeweils geeignet ist, daß der genannte wenigstens eine transportable Behälter (10) an ihr entfernbar anbringbar ist, und jede jeweils an ihr angebracht einschließt

(a) eine entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50), die zur Zweiweg-Übertragung mit dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter (10) geeignet ist, wenn der genannte Behälter an der jeweiligen Arbeitsstation (100) angebracht ist, und

(b) eine jeweilige weitere Mikrocomputereinrichtung (101) zum Empfangen und Verarbeiten digitaler Informationen, die mit der genannten jeweiligen zweiten Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50) übertragen worden ist, die an der entsprechenden Arbeitsstation (100) angebracht ist.

3. Lagerdispositionsvorrichtung umfassend:

wenigstens einen transportablen Behälter (10) zum Transportieren von Gegenständen;

eine Mikrocomputereinrichtung (101), die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zum Empfangen und Verarbeiten digitaler Informationen angebracht ist, die zu der genannten ersten Zweiweg- Übertragungseinrichtung übertragen worden sind; und

eine Speichereinrichtung (42, 102), die an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter zum Speichern digitaler Informationen angebracht ist, die von der genannten Mikrocomputereinrichtung verarbeitet worden ist;

eine Mehrzahl jeweiliger Erfassungseinrichtungen, von denen jede geeignet ist, daß der genannte wenigstens eine transportable Behälter daran entfernbar anbringbar ist, um das Vorhandensein des wenigstens einen transportablen Behälters (10) zu erfassen, wobei jede entsprechende Erfassungseinrichtung eine damit verbundene entsprechende zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung aufweist, die zur Zweiweg-Übertragung mit der genannten ersten Zweiweg-Übertragungseinrichtung (40) geeignet ist, wenn ein transportabler Behälter daran angebracht ist;

eine Auswähleinrichtung zum Auswählen zwischen jeweiligen Erfassungseinrichtungen aus der genannten Mehrzahl; und

eine zentrale Prozessoreinrichtung (644), die mit der genannten Auswähleinrichtung zum Empfangen digitaler Informationen von einer entsprechenden Zweiweg-Übertragungseinrichtung der entsprechenden Erfassungseinrichtung der genannten Mehrzahl und zum Liefern digitaler Informationen an jene Einrichtung gekoppelt ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der jede entsprechende Erfassungseinrichtung der genannten Mehrzahl ferner eine entsprechende Aufnahmeeinrichtung (632) zur Aufnahme des genannten wenigstens einen transportablen Behälter (10) umfaßt; und

bei der eine Zweiweg-Übertragung zwischen der genanten ersten Zweiweg-Übertragungseinrichtung (20) und einer entsprechenden zweiten Zweiweg-Übertragungseinrichtung (30) nur auftreten kann, wenn der genante eine transportable Behälter von der genannten Aufnahmeinrichtung aufgenommen ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der jede entsprechende Aufnahmeeinrichtung wenigstens ein entsprechendes Tablett (632) mit einer Größe umfaßt, den genannten wenigstens einen transportablen Behälter aufzunehmen; und

bei der die jeweilige zweite Zweiweg-Übertragungseinrichtung (50) jeweils an dem jeweiligen Tablett angebracht ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der die genannte Auswähleinrichtung eine Mehrzahl entsprechender Auswählschaltkreise umfaßt, von denen jeder jeweils mit wenigstens einer ensprechenden Gruppe entpsrechender Erfassungseinrichtungen der genannten Mehrzahl gekoppelt ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der jeder entsprechende Auswählschaltkreis geeignet ist, an die genannte zentrale Prozessoreinrichtung (644) irgendeine entsprechende Erfassungseinrichtung einer daran gekoppelten entsprechenden Gruppe selektiv anzukoppeln.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, bei der jeder entsprechende Auswählschaltkreis einen Multiplexerkreis (640) umfaßt.

9. Vorrichtung nach Anspruch 6, bei der die genannten entsprechenden Auswählschaltkreise miteinander und mit der genannten zentralen Prozessoreinrichtung so gekoppelt sind, daß die genannten entsprechenden Auswählschaltkreise eine Hirarchie bilden, in der zwischen dem genannten entsprechenden zentralen Prozessor (644) und den genannten entsprechenden Auswählschaltkreisen übertragene Signale jeweils seriell zwischen den genannten entsprechenden Auswählschaltkreisen fortschreiten.

10. Vorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 9, bei der die genannte erste Zweiweg-Übertragungseinrichtung, die genannte Mikrocomputereinrichtung und die genannte Speichereinrichtung auf einer einzigen Karte (40) angeordnet sind; und

bei der die genannte einzelne Karte an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter angebracht ist.

11. Vorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, bei der:

die genannte erste (40) und jede entsprechende zweite (50) Zweiweg-Übertragungseinrichtung eine Einrichtung zur induktiven Übertragung und zum induktiven Empfang von Daten umfaßt.

12. Vorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, bei der:

die genannte erste (40) und jede entsprechende zweite (50) Zweiweg-Übertragungseinrichtung eine Einrichtung zur akkustischen Übertragung und zum akkustischen Empfang von Daten umfaßt.

13. Vorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, die ferner umfaßt:

einen Taktgeber (165), der an dem genannten wenigstens einen transportablen Behälter (10) zum Erzeugen von Echtzeitdaten angebracht ist.

14. Vorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, die ferner umfaßt:

eine Anzeigeeinrichtung (160), die an dem wenigstens einen transportablen Behälter (10) zum Anzeigen von Daten von der genannten ersten Mikrocomputereinrichtung angebracht ist.

15. Vorrichtung nach irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, die ferner umfaßt:

eine Erfassungseinrichtung, die in Übertragungsverbindung mit der genannten ersten Mikroprozessoreinrichtung angebracht ist, um einen Zustand des genannten wenigstens einen transportablen Behälters (10) zu erfassen.

16. Vorrichtung gemäß irgendeinem der Ansprüche 1 bis 10, bei der:

die genannte erste (40) und jede entsprechende zweite (40) Zweiweg-Übertragungseinrichtung eine Einrichtung zur optischen Übertragung (44, 42) und zum optischen Empfang von Daten umfaßt.

17. Vorrichtung gemäß irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche umfassend:

eine Stromversorgungseinrichtung (120) zum Liefern von Energie an die genannte Mikrocomputereinrichtung.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, bei der:

die genannte Stromversorgungseinrichtung eine Batterie (125) umfaßt.

19. Vorrichtung nach Anspruch 17 bei der:

die genannte Stromversorgungseinrichtung (120) eine mit der genannten wenigstens eine Arbeitsstation oder Erfassungseinrichtung verbundene Einrichtung umfaßt.