DE3843369A1 - Geraet fuer die horizontale ueberfuehrung von siliziumplaettchen insbesondere - Google Patents

Description

Der Gegenstand der Erfindung gehört in den technischen Bereich der Überführungsmittel.

Es ist bekannt, bei der Behandlung von Siliziumplättchen Körbe zu verwenden, die innen so eingerichtet sind, daß sie eine Vielzahl von Plättchen auf gleichmäßige und geordnete Weise in seitlichen Einschnitten in den Seiten des Korbes aufnehmen und vertikal anordnen können. Im Hinblick auf die chemischen und sonstigen Behandlungen, die die Plättchen erfahren müssen, ist es manchmal erforderlich, im Verlauf des Behandlungszyklus die Aufnahmekörbe zu wechseln, weil die Art des Werkstoffes, aus dem sie hergestellt sind, mit der Behandlung nicht mehr verträglich ist.

Daher nimmt man eine Überführung aller in einem Korb enthaltenen Plättchen in einen anderen Korb vor.

Diese Überführung erfolgt sehr häufig von Hand durch Umkehren der Körbe. Es ist klar, daß dieses Verfahren Partikel erzeugt und die Plättchen erheblich versprödet. Außerdem ist es angesichts der Größe der Körbe schwierig, diese auf diese Weise zu handhaben.

Es wurden Geräte zur Erleichterung dieser Überführung vorgeschlagen. Allerdings stellen diese Geräte aufgrund ihrer Bauweise nicht voll zufrieden. Im allgemeinen wird einer der Körbe in Richtung auf den anderen bewegt, wodurch der Bediener ihn von Hand halten muß, da keinerlei Führungsmittel vorgesehen ist. Außerdem gibt es ein Problem der Überführung, wenn es zwischen den Körben einen Unterschied in der Höhe gibt.

Ziel der Erfindung ist, diesen Nachteilen abzuhelfen und das Problem der Gewährleistung der Überführung der Plättchen von einem Korb in den anderen auf rationelle und sichere Weise zu lösen unter Ausschaltung jeglicher Gefahr der Verunreinigung der Plättchen, da die Körbe während des Überführungsvorgangs unbeweglich bleiben.

Erfindungsgemäß umfaßt das Gerät eine Auflage-Fußfläche, die mit Mitteln ausgebildet ist, die die Zentrierung und das Positionieren von zwei gegenüber, in der gleichen axialen Ausrichtung angeordneten Körben gewährleisten können, wobei diese Fußfläche axial mit einem beweglichen Arm ausgestattet ist, der ein Überführungsorgan aufweist, welches gleichzeitig mit der Kante jedes einzelnen Plättchens zusammenwirken kann, um in horizontaler Ebene die Überführung aller Plättchen von einem Korb in den anderen zu gewährleisten.

Das gestellte Problem und auch weitere werden auf vorteilhafte Weise durch folgende Merkmale gelöst:

Der bewegliche Arm ist Mitteln zugeteilt, die so ausgebildet sind, daß sie einerseits die Rückkehr dieses Arms nach hinten während des Vorgangs der Überführung der Plättchen verhindern, und andererseits seine Rückkehr in die Ausgangsstellung erst nach erfolgter Überführung gestatten.

Die Mittel für das Positionieren und Zentrieren des Korbes werden gebildet durch parallele Längsrippen, die in vorbestimmten Abständen Einschnitte aufweisen, um in Verbindung die Zentrierung einer H-förmigen Profilrippe zu ermöglichen, welche auf bekannte Weise eine der Vorderseiten der Körbe aufweist.

Die Rippen sind auf der Fußfläche in zwei, geringfügig in Richtung der Höhe verschobenen Ebenen ausgebildet, wobei jede Ebene einen Korb aufnimmt zur Gewährleistung der Überführung der Plättchen ohne jegliche Gefahr von Reibung.

Das Überführungsorgan des beweglichen Arms besteht aus einem Kamm, dessen Zahnung entsprechend des Abstandes zwischen den einzelnen Plättchen im Korb.

Der Boden des Abstandes zwischen den einzelnen Zähnen des Kamms, der mit der Kante eines entsprechenden Plättchens zusammenwirken kann, ist mit einer Silikondichtung versehen.

Die Mittel, denen der Arm zugewiesen ist, bestehen aus einem Block, der verschiebbar in der Dicke des Fußteils montiert und mit einem Teil des Arms verbunden ist, wobei dieser Block einen beweglichen Körper aufweist, der mit der Zahnung eines als Zahnstange dienenden Elements zusammenwirkt, wobei der Finger durch ein elastisches Rückholmittel gesteuert wird.

Die Erfindung ist in der Folge anhand der angehängten, als Beispiel dienenden Zeichnungen ausführlicher beschrieben, wobei:

Fig. 1 eine Perspektivzeichnung des Geräts und eines die Plättchen aufnehmenden Korbs ist; die

Fig. 2 ein Längsschnitt des Geräts ist. Es ist die Position der Körbe dargestellt; die

Fig. 3 ein Grundriß und Querschnitt nach der Linie 3-3 aus Fig. 2 ist; die

Fig. 4 ein Querschnitt nach der Linie 4-4 aus Fig. 2 ist; die

Fig. 5 ein Detail des Überführungsorgans zeigt; die

Fig. 6 eine Teilansicht ist, welche einen Teil des Systems zur Verriegelung des beweglichen Arms in einer Richtung ist; die

Fig. 7 und 8 rein schematische Darstellungen des Prinzip der Überführung der Plättchen sind.

Zur konkreteren Darstellung des Gegenstands der Erfindung wird dieser nun auf nicht beschränkende Weise unter Bezugnahme auf die Ausführungsbeispiele aus den Figuren der Zeichnungen beschrieben.

Wie die Fig. 1 zeigt, umfaßt das Gerät hauptsächlich eine Auflage-Fläche (1), die so ausgebildet ist, daß sie die Zentrierung und das Positionieren von zwei Körben (P) und (P 1) auf unbewegliche Weise in gleicher axialer Ausrichtung gewährleisten, dermaßen, daß ihre offenen Einführungsflächen einander gegenüber stehen.

Hierzu weist die obere Fläche der Fußfläche (1) über ihre gesamte Länge zwei parallele Rippen (1 a) und (1 b) auf, deren Abstand mit Rücksicht auf eine H-förmige Profilrippe (Pa) bestimmt werden, die eine der Flächen der Körbe auf bekannte Weise aufweist, und deren Abmessungen standardisiert sind. Außerdem sind an jeder Rippe (1 a) und (1 b) in gleichmäßigem Abstand Einschnitte (1 a 1) (1 b 1) ausgebildet, die paarweise das Einfügen des Querstabes des H (Pa) ermöglichen.

Sind die beiden Beine des H (Pa) beiderseits der beiden Rippen (1 a) und (1 b) zentriert und der Querstab in die entsprechenden Einschnitte (1 a 1) (1 b 1) eingefügt, so ist der Korb (P) mit fester Axialposition gleichzeitig in Verschiebung und seitlich positioniert.

Die Rippen (1 a) und (1 b) sind an der Fußfläche bevorzugt in zwei verschiedenen, geringfügig in Richtung der Höhe verschobenen Ebenen (1 c) und (1 d) ausgebildet. Jede dieser Ebenen bildet einen Bereich für die Aufnahme eines Korbes. Auf die gleiche Weise wie die Ebenen (1 c) und (1 d) sind die Längsrippen (1 a) und (1 b) in Richtung der Höhe verschoben. Diese Höhenverschiebung ermöglicht die Berücksichtigung eventueller Maßunterschiede zwischen den Körben und somit das Vermeiden jeglicher Gefahr von Reiben, wodurch die Zuverlässigkeit der Überführung gewährleistet wird, da die Plättchen in der Mitte der Einschnitte des Aufnahmekorbs anlangen.

Ebenso kann das Vorhandensein von Partikeln unter einem der Körbe der Qualität und der Zuverlässigkeit der Überführung nicht schaden, wie dies in der Folge der Beschreibung angegeben ist.

Im dargestellten Beispiel weist einer der so definierten Bereiche (1 c) an jeder Rippe einen Einschnitt auf, während der andere Bereich (1 d) an jeder Rippe zwei Einschnitte aufweist zur Entsprechung in bezug auf zwei verschiedene Positionierungen der Körbe in Abhängigkeit von ihren Maßen.

Die so definierte Fußfläche ist mit einem axial beweglichen Arm (2) ausgestattet, der ein Überführungsorgan (2 a) aufweist, das gleichzeitig mit der Kante jedes einzelnen Plättchens zusammenwirken kann, um die horizontale Überführung der Plättchen von einem Korb in den anderen zu gewährleisten. Dieser Arm (2) setzt sich in der Hauptsache aus einem Stab (2 b) zusammen, der frei gleitend in der Dicke der Fußfläche (1) montiert ist, wobei dieser Stab an seinem Ende, außerhalb der Fußfläche (1) ein Tragelement (2 c) aufnimmt, dessen eines Ende das Überführungsorgan (2 b) trägt. Das Tragelement (2 c) ist mit einem Betätigungsgriff (2 d) ausgestattet.

Auf bedeutende Weise ist dieser Stab (2) an seinem freien Ende, welches dem das Tragelement (2 a) aufnehmenden Ende fest mit einem Block (3) verbunden, der bewegbar in einem Schlitz (1 e) in einem Teil der Dicke der Fußfläche angebracht ist. Dieser Block (3) weist eine Ausnehmung (3 a) auf, die einen beweglichen, um eine Achse (5) frei drehend angebrachten Finger (4) aufnimmt. Dieser Finger (4) weist eine über die Ausnehmung (3 a) überstehende, um rund 45° geneigte Fläche (4 a) auf, die mit einem als Zahnstange dienenden Element (6) zusammenwirken kann.

Das Element (6) ist an einer der Längskanten des Schlitzes (1 e) so befestigt, daß seine Zahnung (6 a) mit dem Ende der geneigten Fläche (4 a) zusammenwirkt. Der Finger (4) wird außerdem durch ein elastisches Rückholorgan (7) gesteuert, das so ausgebildet ist, um das Festhalten in einer bestimmten Winkelstellung zu gewährleisten, gemäß welcher die geneigte Fläche des Fingers mit der Zahnung (6 a) in Richtung des Schubs des Arms (2) zusammenwirkt und dabei seine Rückbewegung nach hinten unterbindet, wobei diese Phase dem Vorgang der Überführung entspricht. Ist der Vorgang der Überführung beendet, löst sich der Finger (4) aus der Zahnstange (6) aus und schwenkt automatisch unter der Rückholwirkung des Organs (7) winklig, wobei die Innenfläche (4 a) in einer der vorherigen Richtung entgegengesetzten Richtung angeordnet wird, die die Rückkehr der Einheit des Überführungsarms nach hinten ermöglichen kann.

In dem insbesondere in Fig. 6 dargestellten Beispiel besteht das Rückholorgan (7) aus einer Schnappfeder, deren eines Ende in der Dicke des Blocks (3) eingefügt ist, während das andere Ende in der Dicke des Fingers (4) eingefügt ist, seitens seiner geneigten Fläche.

Es wird ebenfalls vorgesehen, den Block (3) einem Querstab (8) zuzuweisen, der in einem Schlitz (1 f) in einer Seite seitlich an der Fußfläche montiert ist. Dieser Stab (8) ist an seinem Ende mit einem Greifmittel ausgerüstet, damit er von außerhalb der Fußfläche leicht betätigt werden kann. Dadurch ergibt sich, daß ein Einwirken auf diesen Stab (8) das Verstellen der Einheit des Überführungsarms (2) bewirkt.

Zu bemerken ist, daß die Zahnung (6 a) des Elements (6) axial an ihrem mittleren Teil und bevorzugt über ihre gesamte Länge eine Nut aufweist, die eine Silikondichtung (9) zur Schalldämpfung während des Durchlaufs des beweglichen Fingers (4) auf der Zahnung (6 a), ohne daß dadurch seine Funktion beeinträchtigt wird.

Laut einer weiteren Kennzeichnung besteht das Überführungsorgan (2 b) aus einem Kamm, dessen Zahnung in Abhängigkeit vom Abstand zwischen den einzelnen Plättchen im Korb festgelegt ist. Wie die Fig. 5 zeigt, weist der Boden des Abstands zwischen jedem einzelnen Zahn des Kamms (2 b 1) eine Silikondichtung (10) auf, um jegliche Gefahr einer Beschädigung der Kanten der Plättchen zu vermeiden.

Die Arbeitsweise und die Handhabung des Geräts für die Überführung der Plättchen ist äußerst einfach:

• - Jeder Korb wird mittels seiner H-förmigen Rippe in Verbindung mit den Rippen und Einschnitten der Fußfläche positioniert. Die offenen Seiten der Körbe für die Einführung der Plättchen liegen einander gegenüber, der Korb (P), der sich seitens des Überführungsorgans befindet, ist mit Plättchen gefüllt.
• - Zur Gewährleistung der Überführung der Plättchen (PL) aus dem Korb (P) in den Korb (P 1) betätigt der Bediener den beweglichen Arm mittels des Stabs (8) oder des Griffs (2 d). Die Verstellung dieses Arms bewirkt die gleichzeitige Verstellung des Kamms (2 b) quer durch den Korb (P), der somit eine Schubwirkung auf die Kante der Plättchen ausübt, um die in horizontaler Ebene in den anderen Korb (P 1) zu überführen. Wie angegeben kann der Bediener während des Vorgangs der Überführung den beweglichen Arm (2) nicht wieder nach hinten führen aufgrund der Position der geneigten Fläche (4 a) des Fingers auf der Zahnung, wodurch jegliche Gefahr des Bruchs der Plättchen, die sonst nicht mehr festgehalten würden, ausgeschaltet wird.
• - Nach erfolgter Überführung aller Plättchen (PL) in den Korb (P 1) kann der Arm (2) wieder nach hinten geführt werden, da der Finger (4) unter Einwirkung der Rückholfeder winklig geschwenkt hat, so daß die Position der geneigten Fläche (4 a) in bezug auf die Zahnung (6 a) umgekehrt ist.

Zu bemerken ist, daß der Ausgabekorb (P) auf bevorzugte Weise in bezug auf den Aufnahmekorb um ca. 1 mm angehoben ist, da die Gesamtheit des Bereichs (1 d) in höherer Ebene liegt als die des Bereichs (1 c). Selbstverständlich kann eine umgekehrte Bauweise der Fußfläche (1) vorgesehen werden, wie dies aus den Figuren der Zeichnungen hervorgeht.

Es ist vorgesehen, eine der Serien der zwei seitens der Ebene (1 d) ausgebildeten Einschnitte zeitweilig einziehen zu können, um jegliche Gefahr einer unsachgemäßen Positionierung des Korbes durch den Bediener zu vermeiden.

Zur Positionierung von Metallkörben ist vorgesehen, die seitlichen Kanten der Fußfläche (1) mit Zentrierstiften (11) zu versehen.

Die Vorteile gehen aus der Beschreibung klar hervor.

Claims (11)

1. Gerät für die horizontale Überführung von Siliziumplättchen von einem Korb in einen anderen, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Auflage-Fußfläche (1) mit Mitteln zur Gewährleistung der Zentrierung und Positionierung von zwei Körben umfaßt, die in gleicher axialer Ausrichtung einander gegenüber angebracht sind, wobei diese Fußfläche axial mit einem beweglichen Arm (2) ausgestattet ist, der ein Überführungsorgan aufweist, welches gleichzeitig mit der Kante jedes einzelnen Plättchens zusammenwirken kann, um die Überführung aller Plättchen von einem Korb in den anderen Korb in einer horizontalen Ebene zu gewährleisten.

2. Gerät gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der bewegliche Arm (2) Mitteln zugewiesen ist, die so ausgebildet sind, daß sie einerseits die Rückführung des Arms nach hinten während des Vorgangs der Überführung der Plättchen unterbinden, und andererseits seine Rückführung in die Ausgangsposition erst dann gestatten, wenn die Überführung beendet ist.

3. Gerät gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Positionierung und Zentrierung des Korbes aus parallelen Längsrippen (1 a) (1 b) bestehen, welche in vorbestimmten Abständen Einschnitte (1 a 1) (1 b) aufweisen, um in Zusammenwirkung die Zentrierung einer H-förmigen Profilrippe zu gewährleisten, welche auf bekannte Weise eine der Vorderflächen der Körbe aufweist.

4. Gerät gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rippen (1 a) und (1 b) gemäß zwei verschiedener, geringfügig in Richtung der Höhe verschobenen Ebenen (1 c) und (1 d) an der Fußfläche (1) ausgebildet sind, wobei jede dieser Ebenen einen Korb aufnimmt, um die Überführung der Plättchen ohne jegliche Gefahr des Reibens zu gewährleisten.

5. Gerät gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Überführungsorgan des beweglichen Arms aus einem Kamm (2 b) besteht, dessen Zahnung (2 b 1) in Abhängigkeit vom Abstand zwischen den Plättchen im Korb bestimmt ist.

6. Gerät gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden des Abstands zwischen den einzelnen Zähnen des Kamms, der in der Lage ist, mit der Kante eines entsprechenden Plättchens zusammenzuwirken, eine Silikondichtung (10) aufweist.

7. Gerät gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel, denen der Arm zugewiesen ist, aus einem Block (3) bestehen, der verschiebbar in der Dicke der Fußfläche montiert ist und gleichzeitig mit einem Teil des Arms verbunden ist, wobei der Block (3) einen beweglichen Finger (4) aufweist, der mit der Zahnung (6 c) eines als Zahnstange dienenden Elements (6) zusammenwirkt, wobei der Finger (4) von einem elastischen Rückholorgan (7) gesteuert wird.

8. Gerät gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Block (4) mit mindestens einem gleitend in der Fußfläche montierten Stab fest verbunden ist, der an seinem Ende ein Tragelement (2 c) aufnimmt, dessen eines Ende das Überführungsorgan trägt, wobei das Tragelement mit einem Bedienungsgriff ausgestattet ist.

9. Gerät gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Finger (4) frei drehend in einer Aufnahme im Block (3) montiert ist und eine geneigte Fläche (4 c) aufweist, die über den Block hervorsteht und mit der Zahnstange zusammenwirken kann.

10. Gerät laut einem beliebigen der Ansprüche 1, 2, 7, 8 und 9, dadurch gekennzeichnet, daß das elastische Rückholorgan (7) so ausgebildet ist, daß es das Festhalten des Fingers (4) in einer bestimmten Winkelstellung festhält, in der die geneigte Fläche (4 c) des Fingers (4) in Richtung der Schubwirkung des Arms mit der Zahnung (6 a) zusammenwirkt und dabei seine Rückführung unterbindet, wogegen sich der Finger (4) nach Beendigung des Vorgangs der Überführung vom Element (6) löst und unter der Einwirkung des Rückholorgans (7) winklig schwenkt, wobei die geneigte Fläche (4 a) in eine der vorigen Richtung entgegengesetzten Richtung angeordnet wird, in der die Rückführung der Einheit des Übertragungsarms ermöglicht wird.

11. Gerät gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Block (3) mit einem Querstab (8) fest verbunden ist, welcher in einem Schlitz in einer Seite seitlich an der Fußfläche montiert ist.