DE3836147A1 - Reinraumdecke - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Reinraumdecke gemäß dem Obergriff des Anspruches 1.

Unter einem Tragprofilwerk (auch Profiltragwerk genannt) ist ein ebenes horizontales Gitterwerk aus Profilträgern, bspw. aus T-Profilstählen, oder im einfachsten Fall nur ein eine rechteckförmige Öffnung bildender horizontaler rechteckiger Rahmen aus Profil­ trägern, bspw. T-Profilträgern, verstanden. Die Profilträger, die man auch als Profilstäbe, Profil­ stangen usw. bezeichnen kann, weisen über ihre Länge oder im wesentlichen über ihre Länge konstantes Profil oder im wesentlichen konstantes Profil auf. Das Gitterwerk hat eine Mehrzahl von rechteckförmigen Öffnungen oder in manchen Fällen auch nur eine einzige rechteckförmige Öffnung, die von den Profilträgern begrenzt werden bzw. wird.

Die in einen Reinraum eingeführte Reinluft muß extrem rein sein, wie sie bspw. durch Filterung mit HEPA- Filtern erreicht werden kann. Und zwar darf die in den Reinraum eingeleitete Reinluft nur relativ wenig Par­ tikel geringer Größen enthalten. Die Reinluft unter­ teilt man in Reinheitsklassen.

Üblicherweise wird in einen Reinraum nur von der Reinraumdecke aus durch das oder die an ihr angeord­ neten Reinluft-Filter hindurch Luft in den Reinraum eingeblasen, wobei diese Luft dann in dem Reinraum entstehende, in die Luft gelangende Verunreinigungen wieder abführt, da sie aus dem Reinraum fortlaufend als Abluft abgesaugt wird, bspw. durch einen Loch- oder Gitterboden des betreffenden Reinraumes hindurch. Die Abluft kann wieder wie üblich zum Teil als Umluft zurückgeführt und zum Teil als Fortluft nach außen aus dem Gebäude herausgeführt werden.

Eine Reinraumdecke, auf die sich die Erfindung be­ zieht, weist mindestens ein Reinluft-Filter auf, durch das Reinluft in den Reinraum einströmt. Im allgemeinen weist die Reinraumdecke eine Mehrzahl von Reinluft- Filtern auf, vorzugweise eine relativ große Anzahl von Reinluft-Filtern, zum Beispiel zweckmässig mindestens zehn Reinluft-Filter, oft auch mehr als hundert Reinluft-Filter. Dabei können sämtliche durch die Profilträger gebildeten rechteckförmigen Öffnungen des Tragprofilwerkes mit je einem ein- oder mehrteiligen Reinluft-Filter besetzt sein oder es kann auch nur vorgesehen sein, daß nicht alle diese Öffnungen mit je einem Reinluft-Filter besetzt sind. Die nicht mit Reinluft-Filtern besetzten rechteckförmigen Öffnungen des Tragprofilwerkes sind oder können mit sie über­ deckenden luftdichten Verschlüssen, bspw. Paneelen, Abdeckblechen oder dergl. versehen bzw. versehen sein, durch die hindurch keine Luft in den Reinraum ein­ strömen kann.

Es war bisher üblich, die Luft, die die Reinluft- Filter einer solchen Reinraumdecke durchströmt und in den Reinraum als Reinluft einströmt, ausschließlich mittels eines außerhalb des betreffenden Gebäuderaumes angeordneten großen Ventilators zu fördern, wobei diese Luft über Leitungen zu den Reinluft-Filtern zugeordneten Hauben geleitet wird, die im Zwischenraum zwischen der Reinluftdecke und der Massivdecke des betreffenden Gebäuderaumes angeordnet sind, wobei pro Reinluft-Filter je eine Haube vorgesehen ist. Bei einer bekannten Reinraumdecke dieser Art (DE-OS 34 22 900) werden die einzelnen Reinluft-Filter mittels Klemmprofilen getragen und jedes Filter kann dadurch entfernt und ersetzt werden, indem es außer Eingriff mit dem Klemmprofil gebracht und mit oder ohne Klemm­ profil aus der Öffnung des Tragprofilwerkes nach unten herausgenommen wird. Nachteilig ist u.a., daß die in die Hauben einzuleitende Luft bis zu ihnen von einer außerhalb des Gebäuderaumes befindlichen zentralen Luftfördereinrichtung über ein umfangreiches Luft­ leitungssystem zugeleitet werden muß, was baulich aufwendig ist und auch die Wartung der Gesamtanlage erschwert, weil erforderliche Wartungsarbeiten, die in dem Zwischenraum (Plenum) zwischen der Massivdecke des Gebäuderaumes und der Reinraumdecke ausgeführt werden müssen, infolge der Vielzahl von verlegten Luft­ leitungen nur unter äußerst ungünstig engen Platzver­ hältnissen vorgenommen werden können.

Es ist auch eine Reinraumkabine bekannt (DE-OS 35 13 902), deren Reinraumdecke durch eine ein Reinraum- Filter und einen Radiallüfter aufweisendes Luftreini­ gungsgerät gebildet ist, das nur von oben her auf die Kabine aufsetzbar ist. Dieses Luftreinigungsgerät ist jedoch zumindest in vielen Fällen schwierig zu mon­ tieren, zu reparieren und zu warten. Auch ist die Grundfläche einer solchen Kabine beschränkt.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, eine Reinraumdecke der im Oberbegriff genannten Art zu schaffen, die auch für Reinräume mit größeren und praktisch beliebig großen Grundflächen geeignet ist. Sie soll dabei keine schwierigen Montageprobleme aufwerfen, wartungsfreund­ lich und reparaturfreundlich sein.

Diese Aufgabe wird ausgehend von einer Reinraumdecke nach der DE-OS 34 22 900 durch die im Kennzeichen des Anspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Indem bei der erfindungsgemäßen Reinraumdecke dem oder jedem der ein- oder mehrteiligen Reinluft-Filter, wobei jedes solches Reinluft-Filter einer nur ihm zugeordneten Öffnung des Tragprofilwerkes der Rein­ raumdecke zugeordnet ist, je ein gesondertes Ventila­ tormodul zugeordnet ist, das nur die Luft fördert, die das ihm zugeordnete Reinluft-Filter durchströmt, kön­ nen die bisher im Plenum oberhalb der die Reinraum­ decke bildenden oder aufweisenden Zwischendecke erforderlichen umfangreichen Luftleitungen, die zu dem oder den einzelnen Reinluft-Filtern führten, entfal­ len. Auch kann ein zentraler Ventilator ganz in Fort­ fall kommen oder durch einen leistungsschwächeren ersetzt werden. Und zwar kann die Reinraumdecke die Decke oder Zwischendecke einer Reinraumkabine oder eine Zwischendecke eines Gebäuderaumes sein oder einen Bereich einer solchen Zwischendecke bilden, die im Abstand unterhalb der Massivdecke des Gebäuderaumes angeordnet ist und jedes Ventilatormodul kann direkt aus dem Plenum zwischen der Massiv- und der Zwischen­ decke die von ihm zu fördernde Luft ansaugen. Dabei ist es auch möglich, daß die Ventilatormodule selbst die Luft in das Plenum einsaugen oder es kann auch vorgesehen sein, konditionierte oder unkonditionierte Luft in das Plenum durch mindestens einen außerhalb des betreffenden Gebäuderaumes angeordneten Ventilator zu fördern, Beispielsweise kann oft zweckmäßig vorge­ sehen sein, in das Plenum Luft durch den Ventilator einer Klimazentrale zu fördern. Es entfallen dabei ebenfalls Luftleitungen innerhalb des Plenums zu dem oder den Ventilatormodulen. Die erfindungsgemäße Reinraumdecke ist dabei, gleichgültig, ob sie ein Ventilatormodul oder eine mehr oder weniger große Anzahl von an dem Tragprofilwerk angeordneten Venti­ latormodulen aufweist, leicht zu montieren und und die Wartung und Reparatur des oder der Ventilatormodule und der Reinraum-Filter sind problemlos und einfach durchzuführen.

Die bei Reinraumdecken bisher üblichen Hauben und die zu ihnen führenden Luftleitungen können entfallen. Da­ mit wird das zwischen der Reinraumdecke und der Mas­ sivdecke vorhandene Plenum nunmehr nicht mehr durch Luftleitungen verstopft und ist so leichter zugäng­ lich. Auch sind außer dem oder den Reinluft-Filtern auch das oder die Ventilatormodule von der Reinraum­ decke nach unten in den Reinraum hinein abnehmbar. Man kann das oder die Ventilatormodule also einfach vom Reinraum aus an die Reinraumdecke ansetzen und wieder in den Reinraum hinein abnehmen. Die Haltemittel für das oder die Ventilatormodule und auch für das oder die Reinluft-Filter können dabei so ausgebildet sein, daß sie ebenfalls vom Reinraum aus gelöst und ge­ gebenenfalls abgenommen werden können oder daß man sie von dem Plenum zwischen der Reinraumdecke und der Massivdecke auslöst. Und zwar ist dies immer dann möglich, wenn, was normalerweise der Fall ist, das Plenum zwischen der Massivdecke und der Reinraumdecke so groß ist, daß es von Personen betreten werden kann und sie in ihm Arbeiten ausführen können, welche Arbeiten in diesem Falle dann ohne weiteres dem Lösen der Haltemittel des oder der Ventilatormodule bzw. deren Anziehen wie auch gegebenenfallls von Halte­ mitteln des oder der Reinluft-Filter dienen können. Dagegen wäre es, wenn überhaupt möglich, sehr schwie­ rig, von diesem Plenum aus Wartungs- und Reparatur­ arbeiten an dem oder den Ventilatormodulen vorzunehmen oder sogar ein ausgefallenes Ventilatormodul gegen ein neues auszutauschen.

Durch die Erfindung ist also eine Reinraumdecke ge­ schaffen, die besonders einfach und kostensparend gewartet und repariert werden kann. Auch ist sie leicht zu montieren und es entfallen auch die umfang­ reichen Luftleitungen, die bisher erforderlich waren, um die von einem außerhalb des Gebäuderaumes befind­ lichen Ventilator geförderte Luft zu den Reinluft-Fil­ tern zu leiten.

Das Reinluft-Filter kann bei der Erfindung von irgendeiner geeigneten Art sein, bspw. ein HEPA-Filter sein, das die gewünschte Reinheitsklasse ergibt, bspw. die Reinheitsklasse 100.

Die Öffnung oder Öffnungen des Tragprofilwerkes sind rechteckförmig. Hierunter ist sowohl quadratisch als auch andere Rechteckform verstanden.

Das einem Ventilatormodul zugeordnete Reinluft-Filter kann in vielen Fällen zweckmäßig am Gehäuse, vorzugs­ weise ganz oder teilweise innerhalb des Gehäuses des Ventilatormoduls lösbar befestigt sein. Es ist jedoch in vielen Fällen auch zweckmäßig, vorzusehen, daß das einem Ventilatormodul zugeordnete Reinluft-Filter am Tragprofilwerk angeordnet ist, vorzugsweise unterhalb des Ventilatormoduls.

Dabei kann in vielen Fällen zweckmäßig vorgesehen sein, daß das Reinluft-Filter unabhängig von dem zuge­ ordneten Ventilatormodul von der Reinraumdecke abge­ nommen werden kann oder es kann in vielen Fällen auch zweckmäßig vorgesehen sein, daß das Reinluft-Filter jeweils nur zusammen mit dem Ventilatormodul von der Reinraumdecke abgenommen werden kann.

Die Haltemittel, die dem Halten des oder der Venti­ latormodule und des oder der Reinluft-Filter dienen, können irgendwelche geeigneten Ausbildungen haben. Besonders günstig sind Schraubenverbindungen und/oder die Halterung mittels Spannbügeln und Spannschrauben.

In der Zeichnung sind Ausführungsbeispiele der Erfin­ dung dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 einen gebrochenen Teilschnitt durch einen Gebäuderaum mit einer Reinraumdecke gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 2 eine auschnittsweise Untenansicht der Reinraumdecke nach Fig. 1,

Fig. 3 eine Variante einer Einzelheit der Reinraumdecke nach Fig. 1 in vergrößerter Darstellung,

Fig. 4 einen auschnittsweise und gebrochen darge­ stellten Teilschnitt durch einen Gebäuderaum mit einer Reinraumdecke gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung,

Fig. 5 bis 7 drei unterschiedliche Befestigungs­ arten des Gehäuses eines Ventilatormoduls an einem Profilträger in teilweise geschnittenen Darstellungen,

Fig. 8 in ausschnittsweise geschnittener Darstellung eine Befestigungsmöglichkeit von Ventilator­ modulen und Filtern, wobei die Filter unab­ hängig von den Ventilatormodulgehäusen von dem Tragprofilwerk nach unten abnehmbar sind,

Fig. 9 einen Längsschnitt durch einen Gebäuderaum mit Zwischendecke und mehreren Reinraumkabinen.

In Fig. 1 ist ein Auschnitt aus einem Gebäuderaum 60 dargestellt, welcher eine Massivdecke 10 hat, an welcher eine Mehrzahl von vertikalen, längenver­ stellbaren Tragstangen 11 angeordnet sind, die in größerem Abstand unterhalb der Massivdecke 10, bspw. im Abstand von 1,5 bis 2 m, eine Reinraumdecke 12 tragen, die eine Zwischendecke dieses Gebäuderaumes 60 bildet, also die Größe des Grundrisses dieses Gebäude­ raumes 60 aufweist und in diesem Fall ist die Zwischendecke dann durchgehend eine Reinraumdecke 12. Es kann jedoch auch vorgesehen sein, daß die Zwischen­ decke die Reinraumdecken mehrerer Reinräume bildet oder nur bereichsweise eine oder mehrere Reinraum­ decken bildet.

Die Reinraumdecke 12 weist ein sich horizontal er­ streckendes Tragprofilwerk 13 auf, das aus an den Tragstangen 11 in gleicher Höhe aufgehängten horizon­ talen starren Profilträgern 14 ungefähr T-förmigen Profils zusammengesetzt ist und auch als Gitterwerk bezeichnet werden kann. Diese gleiche Profile auf­ weisenden Profilträger 14 sind zum Teil sich senkrecht zur Bildebene erstreckende, durchgehende Längsträger, die in Fig 1 und 2 zusätzlich mit L bezeichnet sind, und im übrigen kürzere Querprofilträger, die in Fig. 1 und 2 zusätzlich mit Q bezeichnet sind. Jeder Quer­ profilträger Q erstreckt sich zwischen zwei Längs­ profilträgern L senkrecht zu ihnen und ist an den Stoßstellen mit ihnen bspw. unter Zwischenfügung von Dichtungen oder Dichtungsmasse luftdicht verbunden. Die Profilträger 14 bilden so eine Mehrzahl von gleich großen, in vorbestimmtem Raster angeordneten recht­ eckförmigen Öffnungen 15, die quadratisch sein können oder nicht. In Fig. 2 sind diese Öffnungen nicht qua­ dratisch. Alle Öffnungen 15 können gleich groß sein und gleiche Gestalt aufweisen oder in manchen Fällen können auch mindestens zwei Öffnungen unterschiedlich groß sein. Jeder dieser Öffnungen 15 kann ein Rein­ luft-Filter 16 zugeordnet sein. Wenn nur einer Teil­ anzahl oder einer einzigen dieser Öffnungen 15 je ein Reinluft-Filter 16 zugeordnet ist, dann werden die anderen Öffnungen bspw. durch Platten oder dgl. luft­ dicht verschlossen.

Es sei angenommen, daß in diesem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 und 2 die Reinraumdecke 12 eine Zwischen­ decke des betreffenden Gebäuderaumes sei. Diese Rein­ raumdecke 12 unterteilt dann den Gebäuderaum 60 in den Zwischenraum (nachfolgende Plenum 24 genannt) zwischen ihr und der Massivdecke 10 und in den unterhalb ihr befindlichen Reinraum 17, der dem Daueraufenthalt von hier in Reinluft arbeitenden Personen und sonstigen Zwecken, für die Reinluft nötig ist, dient.

Die Reinraumdecke 12 darf nur von Luft durchströmt werden, die in den Reinluft-Filtern 16 gemäß der gewünschten Reinheitsklasse gefiltert wird, so daß diese Luft als Reinluft in den an die Reinraumdecke 12 nach unten anschließenden Reinraum 17 einströmt. Diese durch die Reinraumdecke 12 hindurch in diesen Reinraum 17 einströmende Reinluft ist zweckmäßig die einzige Zuluft dieses Reinraumes, da in ihn ausser Reinluft keine andere Luft einströmen soll.

In jede Öffnung des Tragprofilwerkes 13, an welche ein Reinluft-Filter 16 angesetzt ist, ist über dem Filter 16 ein eine Baueinheit bildendes Ventilatormodul 19 von unten her eingesetzt. Das einzelne, jeweils einen Bestandteil der Reinraumdecke 12 bildende Ventilator­ modul 19 weist ein Gehäuse 20 auf, in welchem ein durch einen Motor 21 angetriebenes Laufrad 22 ange­ ordnet ist, das hier zweckmäßig ein Radiallaufrad ist. Dieses Radiallaufrad 22 saugt durch einen im Ge­ häuse 20 angeordneten Kanal 23 hindurch Luft aus dem Plenum 24 zwischen der Massivdecke 10 und der Rein­ raumdecke 12 an, welche Luft durch eine oder mehrere nicht dargestellte Einlässe in dieses Plenum 24 ein­ strömen kann, welche zweckmäßig konditionierte Luft sein kann, die auf gewünschte Feuchtigkeit und/oder Temperatur eingestellt ist.

Das in dem Ventilatormodul 19 angeordnete Laufrad 22 fördert die Luft durch einen Kanal 25 hindurch in einen dem Reinluft-Filter 16 vorgeordneten ausgangs­ seitigen kurzen Schacht 26 des Ventilatormoduls 19, wo sie sich gleichmäßig verteilt und dann das Reinluft- Filter 16 durchströmt und aus ihm in vorzugsweise laminarer Strömung senkrecht nach unten in den Rein­ raum 17 einströmt.

Im Innenraum des Gehäuses 20 sind die Luftkanäle be­ grenzende schalldämmende Leitwände 27 angeordnet. Das Laufrad 22 kann, aber braucht nicht in einer Spiral­ kammer angeordnet zu sein. Es ist im Gehäuse 20 au­ ßermittig angeordnet.

Das Ventilatormodulgehäuse 20 weist an seiner Decke den Lufteinlaß 29 und an seiner Unterseite den Luft­ auslaß auf. An seinem unteren Rand weist es einen umlaufenden Außenflansch 30 konstanter Breite auf. Auf diesem Außenflansch 30 liegt eine Ringdichtung 31 auf. Das Gehäuse 20 ist unter Zwischenschaltung dieser Ringdichtung 31 an die Unterseite der die von ihm durchdrungene Öffnung 15 des Tragprofilwerkes 13 umfassenden Längs- und Querprofilträger 14 angedrückt, so daß zwischen dem Gehäuse 20 und den Profilträgern 14 keine Leckluft hindurchströmen kann. Auch an der Unterseite des Außenflansches 30 liegt eine Ring­ dichtung 33 an, die mittels des Rahmens 32 des betref­ fenden Reinluft-Filters 16 an diesen Außenflansch 30 zur luftdichten Abdichtung angedrückt wird, so daß auch zwischen dem Außenflansch 30 und dem Rahmen 32 keine Leckluft hindurchströmen kann.

Das Andrücken erfolgt dadurch, indem entlang jeder vertikalen Außenseite des Rahmens 32 ein im Quer­ schnitt Z-förmiger starrer Spannbügel 34 sich er­ streckt, der mit seinem unteren horizontalen Schenkel an der Unterseite des betreffenden Rahmenteiles an­ liegt. Jeder solcher Spannbügel 34 wird mittels Schrauben 35, die von unten her in Sackbohrungen bildende Gewindebohrungen des jeweils zugeordneten Profilträgers 14 eingeschraubt sind, soweit nach oben bewegt, daß die Anordnung aus dem betreffenden Rein­ luft-Filter 16, den beiden Dichtungen 31 und 33 und dem Ventilatormodul 19 an die Unterseite der die be­ treffende Öffnung 15 umfassenden Profilträger 14 ange­ drückt wird. Die Ringdichtungen 31, 33 aller Bau­ gruppen 16, 19 bewirken, daß keine Luft aus dem Zwischenraum (Plenum) 24 zwischen der Reinraum­ decke 12 und der Massivdecke 10 in den Reinraum 17 außerhalb der Reinluft-Filter 16 überströmen kann.

Die gesamte von allen Ventilatormodulen 19 geför­ derte Luft muß so die den Ventilatormodulen zuge­ ordneten Reinluft-Filter 16 durchströmen und strömt als Reinluft in den Reinraum 17 ein. Leckluft ist nicht möglich.

Anstelle je eines langen Spannbügels 34 pro Seite des Reinluft-Filters 16 können an jeder Seite auch jeweils mehrere kürzere Spannbügel in Abständen nebeneinander angeordnet sein.

Die Ventilatormodule 19 kann man auch als Ventilator- Baueinheiten bezeichnen.

Im Betrieb saugen die Ventilatorlaufräder 22 aller Ventilatormodule 19 Luft aus dem Plenum 24 an. Die gesamte von ihnen geförderte Luft wird durch die Reinluft-Filter 16 in den Reinraum 17 eingeblasen. Es können hohe Luftwechselzahlen vorgesehen sein, vor­ zugsweise 50 bis 600, ggfs. auch noch mehr oder weniger.

Während im Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 die Zug- oder Spannschrauben 35 in Gewindesackbohrungen der Profilträger 14 eingeschraubt sind, ist in Fig. 3 dargestellt, daß die Profilträger 14 anstelle solcher Sackbohrungen auch im Querschnitt T-förmige Schlitze 37 aufweisen können. In diese Schlitze sind Nuten­ steine 39, d.h. Muttern rechteckförmiger Umrisse eingesetzt, die auf den Schultern 40 der Schlitze aufliegen und sich in den Schlitzen 37 nicht drehen können, jedoch längs verschieben lassen und in diese Nutensteine 39 sind die die Spannbügel 34 tragenden Spannschrauben 35 eingeschraubt. Dies vereinfacht die Montage, da in den Profilträgern 14, die auch hier als T-Träger ausgebildet sind, keine mit den Bohrungen in den Spannbügeln 34 fluchtende Gewindesackbohrungen an­ geordnet sein müssen. Jede Gewindebohrung eines Nuten­ steines 39 kommt bei der Montage von selbst in die Fluchtung mit der ihr zugeordneten Bohrung des Spann­ bügels 34 für die Spannschraube 35, die mit ihrem Kopf von unten her an dem oberen auswärts gerichteten Arm des Spannbügels 34 anliegt und in diesen Nuten­ stein 39 eingeschraubt ist. Im übrigen entspricht diese Halterung des jeweiligen Reinluft-Filters 16 der nach Fig. 1.

Bei der Reinraumdecke 12 nach Fig. 1 und 2, wie auch nach Fig. 3, wird beim Lösen der Halte- oder Spann­ mittel 34, 35, die dem Halten eines Reinluft-Filters 16 dienen, auch das zugeordnete kompakte Ventilator­ modul 19 mit gelöst. Dieses Lösen kann vom Reinraum 17 aus durch Herausschrauben der Spannschrauben 35 aus den Profilträgern 14 erfolgen. Es wird dabei nicht nur das Reinluft-Filter 16 frei, sondern auch das zuge­ ordnete Ventilatormodul 19.

Man kann jedoch auch vorsehen, daß jedes Ventilator­ modul 19 am Tragprofilwerk 13 unabhängig vom Filter 16 gehalten wird. Ein Ausführungsbeispiel dieser Art ist in Fig. 8 dargestellt.

In Fig. 6 ist das jeweilige Reinluft-Filter 16 mittels Spannschrauben 35 und im Querschnitt Z-förmigen Spann­ bügeln 34 für sich an den betreffenden Profilträgern 14 gehalten, indem die Spannbügel 34 seinen Rahmen 32 mit der auf ihm aufliegenden Ringdichtung 33 nach oben drücken, die hierdurch an die Unterseite eines unteren Außenflansches 30 des Gehäuses 20 des betreffenden Ventilatormoduls 19 zur Abdichtung angedrückt wird. Hierdurch wird auch der Flansch 30 des Ventilatormo­ dulgehäuses 20 nach oben gedrückt, und zwar unter Zwischenfügung einer ringförmigen Dichtung 31, und so an die Unterseiten der betreffenden Profilträger 14 abgedichtet angedrückt.

Um das Ventilatormodul 19 für sich unabhängig von einer evtl. Abnahme des Reinluft-Filters 16 am Trag­ profilwerk zu halten, sind hier an den vier Umfangs­ seiten des Gehäuses 20 des Ventilatormoduls Halte­ winkel 49 lösbar mittels Schrauben 56 gehalten. Die für sie benötigten Durchgangslöcher des Gehäuses 20 sind mittels Dichtungsringen 57 oder Dichtungsmasse abgedichtet. Die Schrauben 56 sind vom Gehäuseinneren aus in Gewindelöcher der vertikalen Schenkel der Hal­ tewinkel 49 eingeschraubt. In den horizontalen Schenkeln der Haltewinkel 49 sind Gewindelöcher ange­ ordnet, in die Druckschrauben 43 von oben her einge­ schraubt sind. Diese Schrauben 43 werden soweit ange­ zogen, bis sie straff sitzen. Wenn man ein beliebiges Reinluft-Filter 16 abnehmen will, löst man die es haltenden Spannschrauben 35 mit Spannbügeln 34 und nimmt dieses Reinluft-Filter 16 nach unten vom Trag­ profilwerk und zugeordneten Ventilatormodul 19 ab, bspw. zum Reinigen oder Auswechseln. Das betreffende Ventilatormodul 19 wird dabei weiterhin mittels der Schrauben 43 am Tragprofilwerk gehalten. Wenn man es auch abnehmen will, löst man vom Plenum 24 aus die es haltenden Druckschrauben 43 und nimmt auch die Halte­ winkel 49 oder eine Mindestanzahl von ihnen ab und man kann dann das Ventilatormodul vom Tragprofilwerk 13 durch die betreffende Öffnung 15 hindurch heraus­ nehmen. In diesem Ausführungsbeispiel sind die Schrau­ ben 35, 43 nur von oben her schraubbar, also vom Plenum 24 aus, was möglich ist, da, wie bereits erwähnt, dieses so groß ist, daß sich in ihm Bedie­ nungspersonen bewegen können, die dann die betref­ fenden Schrauben 35, 43 lösen und eine oder mehrere im Reinraum 17 befindliche Personen können dabei das jeweilige Reinluft-Filter 16 und bei Abnahme eines Ventilatormoduls 19 auch dieses halten und dann nach unten von dem Tragprofilwerk weg führen, also in den Reinraum 17 hinein. Die Montage des Reinluft-Filters 16 und des Ventilatormoduls 19 erfolgt dann in umge­ kehrter Richtung ebenfalls vom Reinraum 17 aus, wobei jedoch die Schrauben 35, 43 vom Plenum 24 aus ange­ zogen werden, wogegen die Schrauben 56 vom Reinraum 17 aus vor Ansetzen des Reinluft-Filters 16 geschraubt werden.

In Fig. 4 ist eine Reinraumdecke 12 ausschnittsweise geschnitten dargestellt, die ebenfalls ein Tragprofil­ werk 13 aufweist, das mittels längenverstellbaren Haltestangen 11 an der Massivdecke 10 des betreffenden Gebäuderaumes im Abstand von dieser Massivdecke 10 gehalten ist und eine Zwischendecke oder ein Bereich einer Zwischendecke des betreffenden Gebäuderaumes sein kann. Das Tragprofilwerk 13 weist wieder eine Mehrzahl von Längsprofilträgern 14 und Querprofil­ trägern 14 von hier exakt T-förmigem Querschnitt auf. Diese Profilträger 14 bilden wiederum eine Mehrzahl von unter sich gleich großen rechteckförmigen - seien es quadratische oder nicht quadratische - Öffnungen 15 und in alle Öffnungen 15 oder in eine Teilanzahl oder in eine einzige dieser Öffnungen ist von unten her jeweils je ein Ventilatormodul 19 eingesetzt, in des­ sen Gehäuse 20 ein Reinluft-Filter 16 eingesetzt ist, das die gesamte von diesem Ventilatormodul 19 geför­ derte Luft filtert und aus ihm strömt dann die hier­ durch erzeugte Reinluft in den Reinraum 17 ein. Hier können wieder alle Öffnungen des Tragprofilwerks 13 mit je einem solchen Ventilatormodul 19 mit einge­ setztem Reinluft-Filter 16 besetzt sein oder nur eine Teilanzahl oder eine einzige dieser Öffnungen. Die anderen Öffnungen 15 können mit Platten oder dgl. luftdicht abgeschlossen sein.

In diesem Ausführungsbeispiel bildet das Ventilator­ modul 19 zusammen mit dem an ihm lösbar angeordneten Reinluft-Filter 16 eine Baueinheit 55, die man als Reinraummodul bezeichnen kann.

Das Tragprofilwerk 13 besteht hier aus streng T-förmigen Profilträgern 14, deren horizontalen Querstege sich wie in allen Ausführungsbeispielen untenseitig befinden. In die beiden horizontalen Schenkel der Querstege der die betreffenden Öffnungen 15 umfassenden Profilträger 14 sind Bohrungen für Befestigungsschrauben 46 angeordnet, die dem direkten Befestigen der Gehäuse 20 der Ventilatormodule 19 und damit auch der Reinraummodule 55 an den betreffenden Profilträgern 14 dienen und vom Reinraum 17 aus ge­ schraubt werden. Und zwar weist jedes Gehäuse 20 eines Ventilatormoduls 19 am unteren Ende einen umlaufenden ebenen Ringflansch 30 auf, der von den Befestigungs­ schrauben 46 durchdrungene Löcher aufweist. Die Be­ festigungsschrauben 46 durchdringen auch Löcher von einer auf dem Außenflansch 30 obenseitig aufliegenden Ringdichtung 31 und sind in Muttern 47 mit Sackge­ windelöchern eingeschraubt, die auf den oberen Seiten der betreffenden Profilträgerschenkel unter Zwischen­ fügung von Dichtungsringen 44 aufliegen. Wenn man wünscht, daß man die Muttern 47 beim Drehen der Schrauben 46 nicht vom Plenum 24 aus durch eine Person gegen Drehen halten muß, dann kann man die Muttern 47 gegen Drehen sichern, bspw. sie an den Dichtungsringen 44 und diese an den Profilträgern 14 festkleben. Auch hier ist absolute luftdichte Verbindung zwischen dem Gehäuse 20 des einzelnen Ventilatormoduls 19 und den es umfassenden Profilträgern 14 vorhanden, so daß auch hier keinerlei Leckluft außerhalb der Gehäuse 20 aus dem Plenum 24 in den Reinraum 17 überströmen kann. Vielmehr muß die gesamte, von allen Ventilatormodulen 19 geförderte Luft die Reinluft-Filter 16 durch­ strömen.

In dem unteren schachtförmigen Bereich (Schacht) 26 des Gehäuses 20 jedes Ventilatormoduls 19 ist je ein Reinluft-Filter 16 mittels Zug- oder Spannschrauben 35 und Spannbügeln 34 gehalten. Der Rahmen 32 des zuge­ ordneten Reinluft-Filters 16 liegt auf den unteren horizontalen Schenkeln der Spannbügel 34 auf, deren oberen horizontalen Schenkel Bohrungen aufweisen, die von den Spannschrauben 35 durchdrungen sind. Im Innen­ raum des Gehäuses 20 ist oberhalb des Reinluft- Filters 16 ein umlaufender Innenflansch 41 vorgesehen, auf welchen Hutmuttern 51 luftdicht aufgeschweißt oder sonstwie luftdicht unbeweglich angeordnet sind, die Sackgewindebohrungen aufweisen, in die diese Spann­ schrauben 35 eingeschraubt sind. Diese Spannschrauben 35 können vom Reinraum 17 aus mit Werkzeugen so ge­ dreht werden, daß hierdurch das betreffende Reinluft- Filter 16 und die auf ihm aufliegende Ringdichtung 33 an die Unterseite des Innenflansches 41 angedrückt wird, wodurch eine sichere Abdichtung gegen Leckluft erreicht wird. Man kann hier also das Reinluft-Filter 16 für sich vom Reinraum aus abnehmen, indem man vom Reinraum aus die es tragenden Spannschrauben 35 ab­ schraubt und dann das Reinluft-Filter 16 nach unten in den Reinraum hinein abnimmt. Man kann es auf umge­ kehrten Weg wieder in das Ventilatormodul 19 ein­ setzen.

Auch das Ventilatormodul 19 kann man vom Reinraum 17 aus abnehmen, indem man vom Reinraum aus zuerst die in auf den Profilträgern 14 aufliegende Hutmuttern 51 eingeschraubte, es haltende Befestigungsschrauben 46 abschraubt und es dann aus der betreffenden Öffnung 15 des Profiltragwerkes nach unten in den Reinraum 17 herausnimmt. Die Montage erfolgt wieder umgekehrt.

Wie man aus Fig. 4 auch ersieht, kann man auch das aus dem Ventilatormodul 19 und dem in ihm lösbar gehalte­ nen Reinluft-Filter 16 bestehende Reinraummodul 55 durch Lösen der Schrauben 46 im Ganzen nach unten von dem Tragprofilwerk 13 abnehmen und es in umgekehrter Richtung wieder in das Tragprofilwerk einsetzen und festschrauben.

In Fig. 5 ist eine der Schraubverbindungen der Rein­ raumdecke 17 der Fig. 4 zwischen dem Gehäuse 20 des Ventilatormoduls 19 und einem T-Profilträger 14 des Tragprofilwerkes vergrößert dargestellt. Die Mutter 47 sitzt mittels eines Bundes auf dem Dichtungsring 44 auf, der auf der Oberseite des betreffenden horizon­ talen Schenkels des Profilträgers 14 aufsitzt. Die Mutter 47 und der Dichtungsring 44 können mit dem Profilträger 14 zur Drehsicherung verklebt sein. Der Außenflansch 30 des betreffenden Ventilatorgehäuses 20 wird durch die Befestigungsschraube 46 zusammen mit der auf ihm aufliegenden, die Seitenwandung des Ge­ häuses 20 vollständig umfassenden Ringdichtung 31 an die Unterseite des Profilträgers 14 angedrückt. Auf dem Kopf der Befestigungsschraube 46 liegt noch eine Unterlagscheibe auf, auf der ein Dichtungsring 45 aufliegt, der durch die Befestigungsschraube 46 an die Unterseite des Außenflansches 30 mit angedrückt wird. Diese Verbindung ist vollkommen luftdicht.

Es ist nicht notwendig, daß die Ringdichtung 31 von den Befestigungsschrauben 46 durchdrungen ist. Gemäß Fig. 6 kann man sie auch seitlich der Befestigungs­ schrauben 46 anordnen, wo sie ihre Dichtungsfunktion in gleicher Weise erfüllt.

Man kann gemäß Fig. 7 das Ventilatormodulgehäuse 20 an den benachbarten Profilträgern 14 auch ohne Bohrungen im unteren Außenflansch 30 des Gehäuses 20 dadurch halten, indem man an der Außenumfangswandung des Ge­ häuses 20 Haltestücke 49′ lösbar anordnet, die Gewin­ debohrungen für in sie eingeschraubte Druckschrauben 43 aufweisen. Diese Schrauben 43 drücken von oben auf die Oberseite der zugeordneten Schenkel der T-Profil­ träger 14 und drücken hierdurch den Außenflansch 30 mit der auf ihm umlaufend angeordneten Ringdichtung 31 an die Unterseite der Profilträger 14 an, wodurch ebenfalls eine absolut luftdichte Abdichtung zwischen dem Gehäuse 20 des Ventilatormoduls 19 und den es um­ fassenden Profilträgern 14 des Tragprofilwerkes ge­ lingt. Die Haltestücke 49′ sind hier mit je einem mit ihnen einstückigen Haken 58 von unten her in eine nach unten offene Umfangsnut 59 des Gehäuses 20 form­ schlüssig eingesetzt und werden durch die Schrauben 43 in dieser Umfangsnut gehalten, wenn das Ventilator­ modul 19 mit diesen Schrauben 43 auf den zugeordneten Tragprofilen 14 aufsitzt. Zum Abnehmen des Ventilator­ moduls 19 löst man die Schrauben 43 vom Plenum zwischen der Reinraumdecke und der Massivdecke aus und eine im Reinraum unterhalb der Reinraumdecke befind­ liche Person oder mehrere hier befindliche Personen können dann das Ventilatormodul 19 nach unten aus der betreffenden Öffnung 15 des Tragprofilwerkes heraus in den Reinraum überführen, wo es bspw. repariert oder gewartet werden kann, oder es kann auf diese Weise gegen ein anderes Ventilatormodul ausgewechselt wer­ den. Auch das erstmalige Einsetzen des Ventilator­ moduls 19 bzw. Reinraummoduls 16, 19 in das Trag­ profilwerk 13 erfolgt zweckmäßig vom Reinraum aus.

Der in Fig. 9 längsgeschnitten und schematisch darge­ stellte Gebäuderaum 60 weist eine im Abstand von sei­ ner Massivdecke 10 angeordnete horizontale Zwischen­ decke 61 auf. Das dadurch gebildete Plenum 24 können Personen zur Wartung und Inspektion betreten, doch dient es nicht dem Daueraufenthalt von Personen. Der unterhalb der Zwischendecke 61 befindliche Raum 62 ist dagegen ein Aufenthaltsraum für Personen, die sich hier beliebig lange aufhalten können, inbesondere hier ihren Beruf ausüben, also die hier Arbeiten ausführen können. Doch ist dieser Raum 62 in diesem Ausführungs­ beispiel in mehrere unterschiedliche Raumbereiche da­ durch unterteilt, indem in diesem Raum 62 zwei Rein­ raumkabinen 75, 75′ angeordnet sind, deren Innenräume Reinräume 17 bilden, wogegen der oder die außerhalb dieser beiden Kabinen 75, 75′ befindlichen restlichen Bereiche 79 dieses Raumes 62 keine Reinräume sind, sondern nur normal klimatisiert.

Der Boden dieses Raumes 62 ist durchgehend ein Loch­ boden 64, in welchem also Löcher angeordnet sind, die in einen obenseitig von dem Lochboden 64 begrenzten Abluftraum 65 münden, der von aus den Reinräumen 17 und den Raumbereichen 79 durch diesen Lochboden 64 hindurch abgeführter Abluft durchströmt wird, die durch einen Abluft-Ventilator 73 angesaugt in einen Kanal 66 einströmt, von dem aus sie zum Teil als Fortluft 67 nach außen und zum Teil als Umluft zu einer im betreffenden Gebäude außerhalb des Gebäude­ raumes 60 angeordneten üblichen Klimazentrale 70 strömt, der auch Außenluft 71 zuströmt.

Die Klimazentrale 70 weist einen großen Zuluft-Venti­ lator 72 und nicht näher dargestellte übliche Luft­ konditioniervorrichtungen auf, wie beispielsweise Vorwärmer, Kühler, Befeuchter, Nachwärmer, Wärmerück­ gewinner oder dergleichen. Die konditionierte Zuluft wird vom Ventilator 72 durch einen Kanal 74 hindurch in das Plenum 24 eingeleitet, in dem keine Luft­ leitungen verlegt sind. Von dem Kanal 74 können noch ein oder mehrere, zu mindestens einem anderen Gebäude­ raum führende Luftkanäle abzweigen.

Im Raum 62 sind die beiden Reinraumkabinen 75, 75′ installiert, deren Reinraumdecken 12 durch Längs- und Quertragprofile 14 gebildete Tragprofilwerke 13 aufweisen, die durch die diesen Kabinen 75, 75′ zuge­ ordneten Bereiche eines der gesamten Zwischen­ decke 61 zugeordneten Gesamttragprofilwerkes 13′ mit­ gebildet sind. Das Gesamttragprofilwerk 13′ ist aus Längs- und Quertragprofilen 14 wie die Tragprofilwerke 13 nach den Fig. 1 und 4 zusammengesetzt. Die hier­ durch gebildeten rechteckförmigen Öffnungen des Ge­ samttragprofilwerkes 13′ sind bei den Reinraumkabinen 75, 75′ wiederum mit 15 und außerhalb dieser Reinraum­ kabinen mit 15′ bezeichnet. Diese Öffnungen 15, 15′ können gleich groß oder es können auch mindestens zwei solche Öffnungen unterschiedlich groß sein.

Die Reinraumdecke 12 der Reinraumkabine 75 weist ein einziges Ventilatormodul 19 und ein ihm zugeordnetes einziges ein- oder mehrteiliges Reinluft-Filter 16 auf. Das Ventilatormodul 19 und das zugeordnete Rein­ luft-Filter 15 können beispielsweise gemäß Fig. 1 oder 4 ausgebildet und am hier nur einen rechteckförmigen Rahmen bildenden Tragprofilwerk 13 der Reinraumdecke 12 der Kabine 75 angeordnet sein, so daß sie beide in den Reinraum 17 der Reinraumkabine 75 hinein abge­ nommen und vom Reinraum 17 aus zu der Reinraumdecke 12 in die an ihr vorgesehenen Stellungen einzeln oder zu­ sammen gebracht werden können.

Die Reinraumkabine 75′ weist eine Reinraumdecke 12 auf, die ein mehrere rechteckförmige Öffnungen 15 aufweisendes Tragprofilwerk 13 aufweist, das ein Be­ reich des Gesamttragprofilwerkes 13′ der Zwischendecke 61 ist. An jeder Öffnung 15 sind auch hier je eine Reinluft-Filter 16 und je ein zugeordnetes Ventilator­ modul 19 bspw. wie in Fig. 1 oder 4 angeordnet.

In die Reinraumkabinen 75, 75′ strömt ausschließlich Luft ein, und zwar nur durch die Reinraumdecken 12 hindurch, die durch die Reinluft-Filter 16 so extrem gefiltert ist, daß sie Reinluft bspw. der Reinheits­ klasse 100 oder einer höheren oder niederen Reinheits­ klasse ist, wobei die Reinheitsklassen für beide Kabinen 75, 75′ auch durch entsprechende unter­ schiedliche Reinluft-Filter 16 unterschiedlich vor­ gesehen sein können, wenn dies aus irgendwelchen Gründen erwünscht sein sollte.

Der Zuluftventilator 72 liefert die Zuluft in das Plenum 24 mit einem Druck, der in keinem Fall aus­ reichend wäre, daß diese Zuluft die Reinluft-Filter 16 mit solch hohen Volumenströmen durchströmen könnte, wie es die notwendigen großen Luftwechselzahlen von bspw. 50 bis 600 für die Reinräume 17 der Kabinen 75, 75′ erfordern. Die für die Reinraumkabinen 75, 75′ erforderlichen hohen Luftwechselzahlen werden deshalb durch die Ventilatoren der Ventilatormodule 19 be­ wirkt.

Der vom Zuluftventilator 72 im Plenum 24 erzeugte Luftdruck ist jedoch ausreichend, um den nicht von den Ventilatormodulen 19 angesaugten Teil der Zuluft in die keine Reinräume bildenden Raumbereiche 79 zu fördern, in die er durch an der Zwischendecke 61 be­ festigte Lochplatten 72 hindurch einströmt, die eine oder mehrere oder alle Öffnungen 15′ des Gesamt­ tragprofilwerkes 13 überdecken. Wenn nicht alle Öffnungen 15′ mit solchen Lochplatten oder dgl. überdeckt sind, können die restlichen Öffnungen 15′ durch luftdichte Absperrplatten, Absperrbleche oder dgl. luftdicht verschlossen sein und/oder in sie Leuchten oder dgl. eingesetzt sein. Die in diese Raumbereiche 79 einströmende Zuluft ist keine Reinluft, da sie nicht die Anforderungen an Reinluft erfüllt. Auch sind die Luftwechselzahlen in diesem Raumbereich 79 wesentlich kleiner als die der Rein­ räume 17 der Reinraumkabinen 75, 75′.

Claims (12)

1. Reinraumdecke, welche ein Tragprofilwerk mit einer Mehrzahl von durch seine Profilträger gebildeten rechteckförmigen, vorzugsweise gleich großen Öffnungen oder eine einzige rechteckförmige Öffnung aufweist, wobei dieser Öffnung oder zumindest einer dieser Öffnungen ein Reinluft- Filter zugeordnet ist und die gesamte in den Reinraum von der Reinraumdecke aus einzuleitende Reinluft aus diesem mindestens einen Reinluft- Filter in den Reinraum einströmt, wobei das mindestens eine Reinluft-Filter an der es auf­ weisenden Reinraumdecke so angeordnet ist, daß es von ihr nach unten in den Reinraum abnehmbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß dem oder jedem Reinluft-Filter (16) je ein Ventilatormodul (19) zugeordnet ist, daß das Ventilatormodul ein Ge­ häuse (20) und ein in ihm angeordnetes Ventilator­ laufrad (22) aufweist, wobei das Ventilatorlaufrad stromaufwärts des diesem Ventilatormodul zugeord­ neten Reinluft-Filters (16) angeordnet ist und das dem Fördern der dieses Reinluft-Filter durch­ strömenden Luft dient, und daß dieses Ventilator­ modul so ausgebildet und an der es aufweisenden Reinraumdecke (12) so angeordnet ist, daß es nach Lösen von es an der Reinraumdecke haltenden Halte­ mitteln in den Reinraum abnehmbar und vom Reinraum aus wieder in seine vorgesehene Stellung an der Reinraumdecke bringbar ist.

2. Reinraumdecke nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das dem Ventilatormodul (19) zuge­ ordnete Reinluft-Filter am Gehäuse des Ventilator­ moduls, vorzugsweise in einem Schacht (26) dieses Gehäuses (20) lösbar befestigt ist.

3. Reinraumdecke nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im Schacht (26) an dessen Umfangs­ wandung innenseitig ein umlaufender Innenflansch (41) angeordnet ist, an den der unterhalb ihm befindliche Rahmen (32) des diesem Ventilatormodul zugeordneten Reinluft-Filters (16) unter Zwischen­ fügung einer Dichtung mittels lösbaren Haltemit­ teln (34, 35) angedrückt ist.

4. Reinraumdecke nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das einem Ventilatormodul (19) zuge­ ordnete Reinluft-Filter (16) am Tragprofilwerk (13) lösbar angeordnet ist, vorzugsweise unterhalb des Ventilatormoduls.

5. Reinraumdecke nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (20) des Ventilatormoduls (19) an seinem unteren Rand einen nach außen gerichteten, umlaufenden unteren Flansch (30) aufweist, der mittels Halte­ mitteln am Tragprofilwerk lösbar gehalten ist.

6. Reinraumdecke nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Rahmen (32) des einem Ventila­ tormodul (19) zugeordneten Reinluft-Filters (16) unterhalb des unteren Flansches (30) des Gehäuses des Ventilatormoduls angeordnet und unter Zwischenfügung einer Dichtung (33) an die Unter­ seite dieses Flansches mittels Haltemitteln (34, 35) angedrückt ist.

7. Reinraumdecke nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Halte­ mittel Spannbügel (34) aufweisen, die an den Rahmen (32) des betreffenden Reinluft-Filters (16) von unten her ansetzbar und mittels an den betref­ fenden Profilträgern (14) oder am Ventilatormodul gehaltenen Schrauben höhenverstellbar sind.

8. Reinraumdecke nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Außenflansch (30) des Gehäuses (20) des Ventilatormoduls (19) unter Zwischenfügung einer Dichtung (31) an die zuge­ ordneten Profilträger (14) des Tragprofilwerkes von unten her mittels Haltemitteln angedrückt ist.

9. Reinraumdecke nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß außenseitig am Gehäuse (20) des Ventilatormoduls (19) oberhalb der benachbarten Profilträger (14) des Tragprofil­ werkes Vorsprünge (49; 49′) vorzugsweise lösbar angeordnet sind, die an den Profilträgern (14) sich obenseitig abstützende Druckschrauben führen, die den Außenflansch (30) des Gehäuses an die Unterseite der betreffenden Profilträger (14) an­ drücken, wobei eine Dichtung (31) zwischen dem Außenflansch (30) und den Profilträgern angeordnet ist.

10. Reinraumdecke nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Profil­ träger (14) nach unten offene Längsschlitze (37) aufweisen, die Schultern (40) aufweisen, auf denen Nutensteine (39) aufliegen, in die dem Halten der Ventilatormodule (19) und/oder der Reinluft-Filter (16) dienende Schrauben (35) eingeschraubt sind, wobei diese Schrauben vorzugsweise Spannbügel (34) tragen.

11. Reinraumdecke nach einem der vorhergehenden An­ sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Zwischendecke eines Gebäuderaumes ist, der einen einzigen Reinraum aufweist.

12. Reinraumdecke nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß sie einen Bereich (13) einer Zwischendecke (61) eines Gebäuderaumes (60) bildet und der ihr zugeordnete Reinraum ein in dem betreffenden Gebäuderaum befindlicher Reinraum ist, der nur einen Teilbereich des von der Zwischendecke obenseitig begrenzten Raumes (62) dieses Gebäuderaumes bildet, wobei in diesem Raum ein einziger Reinraum oder eine Mehrzahl solcher Heinraume vorgesehen sein können.