DE8710286U1

DE8710286U1 - Filterwand/-decke für reinraumtechnische Anlagen

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Publication number: DE8710286U1
Application number: DE8710286U
Authority: DE
Original assignee: Kessler and Luch GmbH
Current assignee: Kessler and Luch GmbH
Priority date: 1987-07-28
Filing date: 1987-07-28
Publication date: 1988-08-25
Also published as: EP0301129B1; ES2025607T3; DE3772569D1; GR3003091T3; EP0301129A3; EP0301129A2; ATE66733T1

Description

-i . . Uli III··· tit til

Patentanwälte 4epGütereioh1₍Vennetrae· 9, Postfach 24

telefon: (0 52 41) &Iacgr; 30 84

Dipwnö. G.Meldau o^m

DfpL-Phys.Di<. H,-J.StraUß Uns.rZolchen K 1137 -

; 5 Firma

i Kessler + Luch GmbH

. Rathenaustr. 8

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Fi1terwand/-decke für reinraumtechnische Anlagen

25 Die Erfindung betrifft eine Filterwand/-decke für rein-

raumtechnische Anlagen, mit in ein aus Trägerprofilen zusammengefügtes Rahmenwerk eingesetzten Filterzellen, wobei jeder der Filterzellen mit einem umlaufenden Filterzellenrahmen versehen ist, in den jeweils ein Filter-

30 . pack mit Vergußmasse abgedichtet eingefügt ist, wobei die

Trägerprofile des Rahmenwerks im wesentlichen als T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen als Dichtflansche die Auflager für die Filterzeilen bilden und die über an deren insbesondere als Hohlkammerprofile

³⁵ ausgebildeten Stegen Steh- bzw. Hängebolzen fest mit

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Wand bzw. Decke eines Reiriraumes verbindbar sind, Wobei an den Bolzen gegen diese abgestutzte Spannmittel vorgesehen sind, deren freie Enden auf den Filterzelienrahmen wirkend die Filterzellen gegen die Dichtflanschen · anpressen und wobei zwischen den Dichtflanschen und den

Zellenfilterrahmen Dichtmittel angeordnet sind.

In der Reinraumtechnik wird in vielen Fällen mit turbülenzarmer Verdrängungsströmung gearbeitet. Dabei wird

iö der gesamte Querschnitt eines Raumes von der Luftströmung

mit gleichförmiger Geschwindigkeitsverteilung durchsetzt. Unmittelbar vor Eintritt in den reinen Bereich des Reirraumes wird die Luft in Filtern gereinigt, die in ein Rahmenwerk eingesetzt sind, das zuluftsei tig den gesamten

Raumquerschnitt überdeckt. Dieses Rahmenwerk kann vor

eine Wand gesetzt sein, der Luftstrom durchsetzt dann den reinen Bereich als Querströmung horizontal, es kann auch unter der Decke vorgesehen sein, der Luftstrom durchsetzt dann den reinen Bereich als Fall strömung vertikal. Wesentliehe Voraussetzung für das Erreichen der für eine Fer

tigung in diesem reinen Raum notwendigen Luftqualitat ist neben der entsprechenden Filterung die Gleichförmigkeit der Geschwindigkeitsverteilung. Dabei bilden die zwischen den Filterzellen liegenden Profi labschnitte des Fi<>er- # zellen tragenden Rahmenwerks ein wesentliches Problem,

da die Filterzellen im allgemeinen einen umlaufenden Stehfiansch aufweisen, der in eine mit flüssigen oder elastiscnen Dichtmitteln gefüllte Rinne am Rand der Profi labschnitte eintaucht und so die Dichtheit herstellt.

Bei dieser Konstruktion bildet sich eine Hohl kammer, in

die Luft unkontrolliert ein- und ausströmt, wobei diese Luft aus dem Luftvorrat der strömungstoten Zone können sich nun im Arbeitsbereich des Reinraumes frei^ese^te Teilchen anreichern, so daß über die dichtungsbedingte

Strömungsstörung eine gewisse Wahrscheinlichkeit dafür

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besteht, daß störende Teilchen in den Luftstrom gelangen.

Davon ausgehend liegt der Erfinduny die Aufgabe zugrunde die Konstruktion so weiter zu bilden, daß derartige

Hohlräume vermieden und der Anschluß der Filterzellen an |

den Arbeitsbereich des Reinraumes "stoßfrei" ausgebildet ist.

Diese Aufgabe wird durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst; vorteilhafte Weiterbil

dungen und Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 12 beschrieben.

Die Ausbildung des Filterzellenrahmens aus einzelnen Profi labschnitten mit wannenförrriger Vertiefung und beid-

seits davon angeordneten Fortsätzen stellt sicher, daß das Filterpack mit Vergußmasse einwandfrei am Filterzellenrahmen befestigt ist, so daß seitliche Leckagen vermieden werden. Die dichtmittelseitige Außenseite der rechtwinklig zum Seitenprofi labschnitt verlaufenden, die

wannenförmige Vertiefung bildenden Wand bildet dabei den Gegen^flansch für den Dichtflansch des Trä'gerprofi 1 s des Rahmenwerks. Zwischen beiden ist ein umlaufendes Dichtprofil angeordnet, entweder auf dem Dichtflansch oder auf dem den Gegenflansch bildenden Teil des Zellenrahmens.

Es versteht sich von selbst, daß dieses umlaufende Dichtungsprofil dort festgelegt sein kann. Durch den dichtmittelseitigen überstand an den Profi labschnitten des Filterzellenrahmens wird der Spalt zwischen Filterzelle und Trägerprofilen des die Filterzelle aufnehmen

den Gitterwerks Überbrückt, da dipser Überstand höchstens gleich der Dirke des Dichtprofils sein soll wird darüber hinaus sichergestellt, daß das Dichtprofil beidseits anliegt und somit abdichtet. Ein geringfügiges

Untermaß dieses Fortsatzes erlaubt ein Anpressen des

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Dichtprofiles, wobei die Größe des Untermaßes von der Steifigkeit der elastischen Verformbarkeit des Dichtungsmaterial abhängt.

Um die Luftzufuhr zu den einzelnen Filterzellen auch

dann sicher zu stellen, wenn der Deckenraum selbst als Luftkammer benutzt werden kann, werden Lufteintritts-. und Verteilungshaben benutzt, wobei die spannmittel seitigen Profilfortsätzungen mit Auflageleisten für diese versehen sind. Auf diese Weise gelingt es Fi lter zelle

und Luftzuführungs- und Verteilungshaube zu einer Einheit zusammen zu fassen, wobei die Luftverteilungshaube einen Flansch aufweist, der mit dem Steg verschraubt wird und wobei zur besseren Abdichtung noch Verguß- oder

Dichtmasse aufgebracht sein kann. Durch diese Haube ist

es auch möglich innerhalb des Arbeitsbereichs des Reinraumes unterschiedliche Klimazonen zu schaffen, oder andere lüftungstechnische Bedingungen einzuhalten, wobei die diesen Sonderbereichen zugeordneten Hauben mit dementsprechend besonders aufbereiteter Luft versorgt

werden, die - etwa über flexible Rohre - den Lufteintrittsstutzen dieser Hauben zugeleitet wird.

Zum Anpressen der Filterzellen dienen Schraubenfedern, die auf den Steh- bzw. Hängebolzen die zur Befestigung

des Rahmenwerks an der Wand bzw. der Decke des Reinraumes dienen vorgesehen sind. Die als Gewindebolzen ausgeführten Bolzen tragen eine Mutter mit Widerlagerscheibe, die einer Schraubenfeder als Widerlager dient, wobei das andere Ende der Schraubenfeder auf eine Spannbrücke

wirkt, die ihrerseits auf die Stehkanten der spannmittelseitigen Fortsätzungen der Filter7ellen drückt. Durch diese Spannbrücke wird eine gleichmäßige Krafteinleitung in jeweils zwei nebeneinander liegende Filterzellen er-^3E" reicht» wobei diese Spannmittel auf den Schmal« und auf

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den Langseiten in unterschiedlicher Anzahl vorgesehen sein können; im allgemeinen reichen für die Schmalseite einer Filterzelle zwei Spannelemente aus. Es versteht sich von selbst, daß für die am Rand der Filterwand/-decke angeordneten Filterzellen eine entsprechende Unterfütterung für die Spannbrücke vorzusehen ist, so daß die Spannbrücke auch in dieser Position beidseits ein Widerlager findet.

Zum sauberen Einbringen der Filterzelle ist es vorteilhaft, wenn an den Stegen der Trägerprofile in Verbindung mit den Spannmitteln Führungs- und Klemmeinsätze vorgesehen sind, deren Breite dem Abstand der Außenflächen der sp&nnmittelseitigen Fortsätzungen irweier benachbarten FiIterzelien entspricht. Dadurch wird ein Verkanten von vornherein vermieden und ein einwandfreies Aufsetzen des Gegenflansches zum Dichtflansch des Trägerprofils auf das umlaufende Dichtprofil (oder umgekehrt !) sichergestellt. Eine an den freien Enden des Führungs- und Klemm-20

einsatzes vorgesehene Umbiegung erleichtert das Einführen

der Filterzelle, wenn der Führungs- und Klemm»insatz als Federeinsatz aus entsprechendem Federstahl ausgebildet ist, der im Ruhezustand etwas weiter nach außen übersteht und

erst beim Einsetzen der Filterzelle auf das Abstandsmaß 25

zusammengedruckt wird.

Das umlaufende Dichtprofil kann ei.ie Rundschnurdichtung sein, es ist jedoch auch vorteilhaft zwei im Abstand

voneinander angeordnete Rundschnurdichtungen vorzusehen. 30

Alternativ dazu kann ein U-Profil vorgesehen sein, mit

zum gegenüberliegenden Flansch offenem U. In beiden letzteren Fällen ist zwischen den beiden Rundschnurdichtungen bzw. zwischen den beiden Schenkeln des U ein umlaufender Raum, der als PrUfrille genutzt werden kann. ■ Derartige ansich bekannte Prüfrillen dienen zur Uber-

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prüfung der Dichtheit eines Dichtsitzes, wobei der Raum der umlaufenden Rille unter Über- oder Unterdruck ge3etzt wird und die Veränderung des Druckes als Haß für die Undichtheit beobachtet wird. Eine Verbindung nach außen ermöglicht diese Drucküberwachung.

Um Beleuchtungseinrichtungen, Versorgungseinrichtungen o.dgl. im Arbeitsbereich des Reinraumes vorsehen zu können, können bei allen oder einigen Trägerprofilen des Rahmenwerks die Querschenkel des T-Profils :m Bereich des Steres dichtmittelseitig einen Schlitzaufweisen, der die unterste Hohl kammer des Steges nach außen öffnet. Dadurch bildet sich eine "T-Nut", in die entsprechende, mit Gewindebolzen oder Gewindebohrungen versehene Muttersteine eingeführt werden können zum Festschraub von Lichtleisten, Steckerleisten o.dgl.. Es versteht sich von selbst, daß derartige Anordnungen im Hinblick auf die von innen bedingten Strömungsstörungen bei der Organisation des Arbeitsablaufs im Arbeitsbereich des Rein-

raumes berücksichtigt werden müssen. Die Strömungsstörungen können dabei minimiert werden, wenn abstrwnseitige Strömungsleitkörper vorgesehen sind, z.B. als überfanghauben bei Leuchtstoffröhren. Nicht benötigte

Schlitze können mit einer Abdeckung versehen sei^, um

zum reinen Arbeitsbereich hin offene Hohlräume zu vermeiden. Auch hier kann der Einsatz mit einer in den Strömungsbereich weisenden Profilierung vjrsehpn sein, die dreieckförmig, oval, vortei'haft spitz-oval ausgebildet die Todwassergebiete der Rahmenprofile ausfüllt.

Die in den Reinraur«be»*eich hineinreichende Länge dieser

Strömungsleitprofile wird dabe-v vorteilhaft im Streich des Dreifachen der Basisbreit? gehalten. Diese Länge entspricht bei den üblichen Störm;ngsbedinungen im reinen Raum der Länge der sich hinter den Trägerprofilen des Rahmenwerks ausbildenden Todwasserbereidhs.

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Das Wesen der Neuerung wird anhand der Fig. 1 bis 9 beispielhaft näher erläutert; dabei zeigen

Fig. 1: Ansicht der Filterwand/-decke von der Abströmseite (Eck-Absöhnitt; schemätisch),

Fig. 2: Ansicht der Filterwand/-decke von der Anström

seite (Eck-Abschnitt; schematisch), Fig. 3: Querschnitt durch Filterwand/-decke (Ausschnitt; schemätisch),

Fig. 4: Querschnitt durch FilterwandAdecke, Filterzellen mit Lufteintritts- und Verteilhauben

(Ausschnitt; schematisch),

Fig. 5: Einzelheit Filterzellenbefestigung am Träger- f

profil (schematisch), |

Fig. 6: Einzelheit Abdichtung Filterzelle gegen I Dichtflansch des Trägerprofils mit Doppel- I Rundschnurdvchtung, \

Fig. 7: Einzelheit wie Fig. 6 jedoch mit Profildichtung,

Fig. 8: Einzelheit Trägerprofil mit Führungs- und Klemmeinsatz (schematisch),

Fig. 9: Einzelheit Trägerprofil mit angesetztem Strömungs1 ei tkörper.

Die Figuren 1 und 2 zeigen einei Eckausschnitt der Decke in Aufsicht, wobei die Fig. 1 die Luftaustrittsseite als

Abströmseite, und die Fig. 2 die Lufteintrittsseite als ^f Anströmseite darstellen. Ein Rahmenwerk (10), mit der Größe der Filterzellen (20) entsprechenden Öffnungen, is^ aus Abschnitten der Trägerprofile (11) gebildet, die mit

Verbindungsstücken (11.1) (zweiarmig für die Eckverbinder.

drei armig für die Randverbinder und vierarmig für innere Verbindungsstücke) zusammengefügt ist. In die so entstandenen rechteckigen Räume sind die Filterzellen (20) eingefügt. Die Trägerprofile (11) werden als T-Profile ausgebildet, wobei vorteilhafterweise der Steg (12)

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(Fig. 8) der Trägerprofile mit durchgehenden Hohl kammern (12.1, 12.2 und 12.3) (Fig. 8) versehen ist und der Flansch (13) (Fig. 8) der Trägerprofile den Dichtflansch gegenüber der Filterzelle (20) bildet. Dieser Flansch

(13) (Fig. 8) ist mit einem Schlitz (14) versehen, der

sich 1n den Verbindungsstücken (11.l)fortsetzt und der zum Anhängen von Beleuchtungskörpern, Versorgungseinrichtungen für elektrischen Strom, Druckluft oder anderen Medien dient. Dazu werden mit einer Gewindebohrung oder

'° mit einem Bolzen versehene Steine in die durch den Schlitz

(14) geöffnete untere Hohlkammer (12.3) (Fig. 8) eingeführt, was sie z.B. über die Vierung der Schlitze (14) in den vierarmigen Verbindungsstücken (11.1) leicht bewerkstelligen läßt. Das Rahmenwerk (10) ist an Steh- bzw. Hängebolzen (16) mit der das Rahmenwerk (10) tragenden Wand bzw. Decke des Reinraumes verbindbar, wobei diese Bolzen (16), die mit Spannbrücken (19) versehene Spannvorrichtung zum dichten Einsetzen der Filterzellen (20) versehen sind. Die Spannbrücken (19) stützen sich dabei jeweils auf zwei gegenüberliegende Filterzellen (20) ab, es versteht sich von selbst,daß bei randständigen Verbindungsbrücken (19) diese Abstützung durch entsprechende Beilagen (19.1) hergestellt werden muß. Bei der oberen Reihe der Filterzellen (20) - die Filterzellen sind als FaItenfilter dargestellt, wobei die Lage der Falten durch die paralellen Striche verdeutlicht ist - ist ihre Anströmseite frei zugängig, der Raum zwischen Filterwand/-decke und Wand bzw. Decke Jes Reinraumes bildet eine Druckkammer für die Zuluft. Bei der unteren Reihe in der Dar-

^o0 stellung der Fig. 2,sind die Filterzellen mit Luftzu-

führungs- und Verteilungshauber» (27) versehen, die über die Stuten (28) mit einer Lüftungszentrale verbindbar sind (nicht näher dargestellt). Durch den Lufteintrittsstutzen (28) der Hauben (27) sind die Filterfalten der Filterzellen zu erkennen. Bei dieser Art der Luftzuführung können den Filterzellen unterschiedliche Luftmengen pro

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Zeiteinheit und/oder unterschiedlich aufbereitete Luft zugeführt werden. Die Abströmseiten der Filterzellen sind, unabhängig von der Gestaltung und der ZuluftfUhrung auf der Zuströmseite, einheitlich frei und gestatten den Austritt der Zuluft über die gesamte Filterfläche hinweg.

Die Figuren 3 und 4 zeigen einen Querschnitt durch die • Filterwand/-decke im Ausschnitt, wobei Fig. 3 die Aus-

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die einfache Befestigungsmöglichkeit dadurch gegeben ist, daß der Bolzen (16) durch ein in der Stirnwand des Steges (12) vorgesehenes Loch (15) (Fig. 8) geführt und dort mit den beiden Muttern (16.3 und 16.4) festgelegt ist. Die oberste Räumer (12.1) (Fig. 8) des Hohl kammerprofils

nimmt dabei eine der beiden Muttern auf. Eine auf dem Bolzen vorgesehene Feder (17) die zwischen einer Widerlagerplatte (18) und einer Spannbrücke (19) mit Hilfe der Kutter (18.1) gespannt werden kann, wirkt über die Spannbrücke (19) auf die hochstehenden Enden (22.3) des umlaufenden Rahmens (22) der Filterzelle (20). Die dabei

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auf die spannmittelseitige Fortsetzung (22,3) ausgeübte Kraft Überträgt sich und drückt letztendlich die Dichtfläche (22.5) (Fig. 6) der Filterzelle (20) gegen die Dichtungen (32), die hier als Doppel-Rundschnurdichtung ausgebildet dargestellt sind. Ein FUhrungs- und Klemmeinsatz (26) sorgt für die ordnungsgemäße Ausrichtung der eingesetzten Filterzellen (20). Die Filterzellen (20) - sind aus Seltenprofi!-Abschnitten (22) zusammengefügt, wnhpi die $oitennrnf-jie (22) eine umlaufende yännep.ärtiⁿ2 Vertiefung (22.1) (Fig. 6) aufweisen, in die das Filter-

. pack (23) eingesetzt und mit Vergußmasse (24) (Fig. 5) eingekittet und eingedichtet ist. Es ist dabei vorteilhaft die Vergußmasse (24) so einzustellen, daß das Filtermedium des Filterpacks (23) etwa soweit eingetaucht bzw. luftundurchlässig ist, daß der luftdurchlässige Bereich bündig mit der spannmittel sei ti gen Fortsetzung (22.3) des Profilabschnitts liegt (in Fig. 5 als 24.1 gestrichelt angedeutet). Auf der Dichtungsseite befindet sich eine dicht-

mittelseitige Fortsetzung (22.2) die wiederum mit dem

Dichtflansch (13) des Rnhmenwerks zusammenwirkt. Zwischen

der Dichtfläche (22.5) (Fig. 6) und Her Innenseite des Dichtflansches (13) sind Dichtungen angeordnet, die als einfache Ruodschnurdichtung, als doppelte Rundschnurdichtung (32) oder als Profildichtung (33) (Fig. 7) ausgebildet sein können. Die Kraft der Feder (17), übertragen durch die Spannbrücke (19) und die Seitenprofilabs*-^it.te (22) des Zellenrahmens wirken auf diese Dichtungen, pressen sie zusammtn, wobei die Länge des dichtmittelseitigen Überstandes (22.2) die Stärke der Dichtung und ihre Kcmpressilibität so aufeinander abgestinsnt sind, daß der dichtmittelseitige Fortsatz (22.2) des Zellenrahmens bei gepresster Dichtung gerade auf dem Dichtflansch (13) des Tragwerkes (10) aufsteht. Zur f ^«rung

besonders aufbereiteter Luft oder unterschiedlicher Luft-35

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menge pro Zeiteinheit, wird die Zuströmseite der Filterzellen (22) mit einer Haube (27) abgedeckt, der Luft über die Stutzen (28) zugeführt werden kann. Dazu erhalten die umlaufenden Seitenprofi labschnitte (22) des Zellenrahmens Auflageleisten (22.4) auf die der umlaufende Flansch der Haube (27) aufgelegt und befestigt werden kann. Die Fig. 5 zeigt diese Einzelheit der Befestigung nochmals vergrößert, wobei zur Befestigung der Haube (27) eine Verschraubung mit Hilfe der Schrauben (25.1) vorgesehen ist und zur Abdichtung eine Auflage von Dichtmasse (25.2).

Die Figuren 6 und 7 zeigen eine weitergeführte Ausbildung der Dichtungsanordnung im Bereich des Dichtflansches (13) des aus Steg (12) und Dichtflansch (13) gebildeten Trägerprofils (11) (Fig. 3). Hier ist euch ohne eingezeichnetem Filterpack (23) (Fig. 5) die wannenartige Vertiefung (22.1) zu erkennen, die in die Seitenprofile (22) des umlaufenden Zellenrahmens eingeformt ist und in die das Filterpack (23) (Fig. 5) eingelegt und mit Vergußmasse (24) (Fig. 5) in dieser Position eingekittet und abgedichtet wird. Die (in der Darstellung untere) Außenseite dieser wannenartigen Vertiefung bildet die Gegenfläche (22.5) zum Dichtflansch (13) und wirkt mit diesem unter Zwischenschaltung der Dichtung (32), einer doppelten Rundschnurdichtung oder (33) einer mit zwei Dichtspitzen versehenen Profildichtung zusammen. Durch den Druck den die Feder (17) der Spannvorrichtung auf den Zellenrahmen (22) überträgt, werden die zwei Grundschnurringe der Doppel-Rundschnurringdichtung (32) oder die beiden vorteilhafterweise dachförmig abgeschrägten Dichtlippen der Profildichtung (33) 7usammengepresst, wodurch die Abdichtung hergestellt wird. Der Raum zwischen den beiden Dichtringen der Doppel-Rundschnurdichtung (32) b/w. zwischen den beiden Dichtlippen der Profildichtung (33), kann vorteilhaft zur Überprüfung des Didhtsitzes verwandt werden. Dazu wird dieser

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Raum unter Überdruck oder Unterdruck gesetzt und die Veränderung dieses Druckes überwacht. Neben dieser qualitativen Aussage zur Dichtheit ist auch eine quantitative Aussage möglich, in dem kontinuierlich Luft eingeblasen oder abgesaugt wird, so daß der sich in dem Zwischenraum ein

stellende Überdruck bzw. Unterdruck konstant gehalten wird. Die pro Zeiteinheit zugeführte bzw. abgesaugte Luftmenge ist dabei direkt ein Maß für die erreichte D-'-htheit. Für reinraumtechnische Belange ist dabei ein Absaugen vorzuziehen um Verunreinigungen durch aus dem Dicht

raum austretende Luft zu vermeiden. Zur Druckhaltung und Überwachung ist eine Leitung (35) vorgesehen, die über Bohrungen (34) mit dem Zwischenraum in Verbindung steht. Dies kann in einfachster Weise - wie in Fig. 6 dargestellt durch den Dichtflansch (13) erfolgen. Eine andere Aus

führungsmöglichkeit ist dadurch gegeben, daß das Hohlkammerprofil - vorteilhafterweise ein stranggepresstes Leichtmetall profil - im Bereich des Dichtflansches (13) mit weiteren Kammern, die die Funktion der Verbindungsleitung (35) übernehmen, versehen ist. Die Profildich

tung (33) wird dann direkt auf den Dichtflansch (13) aufgebracht, wobei der Dichtflansch (13) um mindestens die Dicke der dichtmitteiseitigen Fortsetzung (22.2) übersteht. Durch diesen Überstand ist eine stossfreies Anlegen des Zellenrahmens (22) mit seiner dichtmitteiseiti

gen Fortsetzung (22.2) an das äußere Ende des Dichtflansches (13) gewährleistet. Vom inneren Zwischenraum der Profildichtung (33J geht die Bohrung (34) zu der als Sammeikanal (35) dienenden durchlaufenden Hohlkammer, die im Bereich der (in der Darstellung der Fig. 7 untersten)

Hohlkn-nmer (12.3) vorgesehen ist. Dabei wird die Funktion dieser Hohlkammer (12.3) nicht behindert, die in die Hohl kammer (12.3) einführbaren mit Gewindebohrungen oder mit Gewindebolzen versehenen Befestigungssteine_s lassen sich nach wie vor einfuhren und als Befestigungselemente

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für untergehängte Einrichtungen benutzen.

In der Fig. 8 ist schließlich nocheinmal ein Querschnitt durch das Trägerprofil mit Steg (12) und Dichtflansch (13) dargestellt, wobei die Kammer (12.1), deren Außenseite

mit dem Loch (15) versehen ist, zur Aufnahme der Befestigungsmittel für die Trägerprofile an Wand bzw. Decke eines Reinraumes dient und die Kammer (12.3), die über den Dichtflansch (13) vorgesehenen Schlitz (14) nach außen geöffnet ist, der Befestigung zusätzlicher Mittel dient.

Die dazwischen angeordneten K=unmern (12.2) dienen im wesentlichen der Stabilisierung, sie können jedoch auch die Verbindungsmittel zu den Anschlußarmen der Verbindungsstücke (11.1) (Fig. 1) aufnehmen und die mit ihnen übertragenen Zugkräfte in das Trägerprofil einleiten. Zur

Positionierung der in das Tragwerk (10) (Fig. 1) eingesetzten Filterzellen (20) (Fig. 1) dienen die Führungsun^! Klemmeinsätze (26),die ebenfalls mit einem Loch für den 5teh-/Hängebolzen (16) (Fig. 5) versehen, auf diese

Bolzen aufgesetzt werden und mit ihren nach außen ge

richteten Seitenteilen (26.1) die Filterzellen auf den für eine ordnungsgemäße Lage,auch im Hinblick auf die Dichtung, am Dichtflansch (13) vorgesehene Position bringen. Es versteht sich von selbst, daß diese Führungs- und Klemmeinsätze federnd ausgebildet und vorteilhafter

weise aus Federstahl gefertigt sind, wobei zum erleichtern der Entnahme der Filterzellen die freien Enden der nach außen verweisenden Seitenteile (26.1) nach innen gerichtete Abwinklungen (26.2) aufweisen. Die durch den

Schlitz (14) zum Reinraum offene Kammer (12.3) i«s Steges

(12) im Trägerprofil (11) (Fig. 1) wird zweckmäßigerweise an den Stellen an denen keine zusätzlichen Unterbauten vorgesehen sind, mit Einsätzen verschloßeri. Diese Einsätze können als Strömungsleitkörper,entsprechend

>>_: ' 35 Fig. 9, ausgebildet sein. Diese Ausbildung ist in der

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Lage, die Strömungsstörungen durch das Gitterwerk der Trägerprofile (11) (Fig. 1) des Rahmenwerks (10) (Fig.!) zu verringern und für eine Verbesserung der Homogenität der Luftverteilung Sorge zu tragen. Diese Einsätze (36) werden mit Hintergreifungsköpfen (36.1) in die Schlitze (14) eingeklipst und bilden für jede Filterzelle eine Art "Diffusor" und sorgen so für die störungsfreie Aufweitung der Strömung. Es versteht sich von selbst, daß diese Einsätze (36) auch für Sekundäraufgaben herangezogen werden können. Bei der Verwendung eirrs dichtdurchlässiger Materials zum Herstellen dieser Einsätze (36) lassen sich Beleuchtungsmittel, vorteilhafterweise Leuchtstoffröhren, in diesen Einsätzen unterbringen, zur allgemeinen Raumbeleuchtung. Die von diesen Beleuchtungsmittel freigesetzte Wärme kann nach außen abgeführt werden durch eine Lüftung an die die Hohlprofile dieser Einsätze angeschloßen sind.

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Claims

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1. Filterwand/-decke für reinraumtechnische Anlagen, mit in ein aus Trägerprofilen zusammengefügtes Rahinenwerk eingesetzten Filterzellen, wobei jede der Filterzellen mit einem umlaufenden Filterzellenrahmen versehen ist, in den jeweils ein Filterpack mii Vergußmasse abgedichtet eingefügt ist, wobei die Trägerprofile des Rahmenwerks im wesentlichen al? T-Profile ausgebildet sind, deren Flanschen als Dichtflansche die Auflager fü> die Filterzellen bilden und die über an deren insbesondere als Hohlkammerprofile ausgebildeten Stegen befestigte Steh- bzw. Hängebolzen fest mit Wand bzw. Dpcke eines Reinraumes verbindbar sind, wobei an den Bolzen gegen diese abgestützte Spannmittel vorgesehen sind, deren freie Enden auf den Filterzellenrahmen wirkend die Filterzellen gegen die Dichtflanschen anpressen und wobei zwischen den Dichtflanschen und den Filterzellenrahmen Dichtmittel angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Filterzellenrahmen (21) aus Seitenprofi labschnitten (22) gebildet sind, die zur Aufnahme des FI1 terpa<-i<s (23) wannenförmige Vertiefungen (22.1) aufweisen und die beidseits der wannenförmigen Vertiefung (22.1) mit Fortsätzen (22.2, 22.3) versehen sind, von denen der dirhtmittelseitige Profilfortsatz (22.2) mit dem zugeordneten Dichtflansch (13) des korrespondierenden Trägerprofi1s (11) Und der spannmittel sei ti ge Profil-

_ fortsatz (22.3) mit den Spannmitteln zusammenwirken, wo

bei der Überstand des dichtmittelseitigen Profilfortsatzes (22.2) höchstens gleich der Dicke der als umlaufendes Dichtprofil (32; 32; 33) ausgebildeten Dichtmittel ist, und wobei der äußere Überstand des Dichtflansches

(13) mindestens der Tiefe der umlaufenden wannenförmigen Vertiefung (22.1) entspricht.

2. Filterwand/-decke nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichig net, daß die Seitenprofil abschnitte (22) mindestens einer

FiIterzellenrahmens (21) im Bereich der spannmittel sei ti gen Profilfortsätzungen (22.3) mit Auflageleisten (22.4) versehen sind und auf den Auflageleisten eine Luftverteilungshaube (27) mit Lufteintrittsstutzen (28) aufge- ^g legt und abgedichtet mit diesen verbunden ist, wobei die

Lufteintrittsstutzen (28) jeder der mit Luftverteilungshauben (27) versehenen Filterzellen (20) mit einer Lüftungszentrale verbindbar sind.

2Q 3, Filterwand/-decke nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Spannmittel auf den Steg- bzw. Hängebolzen (16) eine Schraubenfeder (17) angeordnet ist, deren eines Ende an siner Widerlagerscheibe (18), die mit einer Spannmutter (18.1) verstellbar ist anliegt und de-

OC ren anderes Ende an einer Spannbrücke (19) anliegt, wobei

die Spannbrücke (19) mit den Oberkanten der spannmittelseitigen P^ofi!fortSatzungen (22.

3) zusammenwirken und wobei jeder Trägerprofi labschnitt (11) des Rahmenwerks (10) mindestens zwei derartige Spannmittel aufweist.

4. F1lterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß am spannmittelseitigen Ende des Steges (12) vorzugsweise im Bereich der Befestigung der Steh- bzw. Hängebolzen (16) ein zentrierender, ein mit der /den FilterzelleV-n (20) zusammenwirkender, diese

Zentrierender FUhrungs- und Klemmeinsatz (26) angeordnet 1st, wobei der FUhrungs- und KläameiRsatz (26) abge-

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winkelte Seitenteile (26.1) aufweist,

5. Fi1terwand/-decke nach Anspruch 4* dadurch gekennzeichnet« daß die abgewinkelten Seiteriteile (26J) der FUhrungs- und Kiemmeinsä'tze (26) an ihren freien Enden

nach innen gerichtete Umbiegungen (26.2) als EinfUhrhilf en aufweist.

6. F1lterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, daß das umlaufende Dichtprofil

eine Rundschnurdichtung (31) ist.

7. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als umlaufendes Dichtprofil zwei im Abstand voneinander angeordnete Rundschnurdich

tungen (32) vorgesehen sind.

8. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das umlaufende Dichtprofil von

ü!0 einer U-förmigen Profildichtung (33) gebildet ist, wobei

die U-Schenkel nach außen gerichtet und ihre freien Enden vorzugsweise dachförmig abgeschrägt sind.

9. Filterwand/-decke nach Anspruch 7 oder 8, dadurch ge-

kennzeichnet, daß der Raum zwischen den beiden Rundschnur

dichtungen (32) oder zwischen den beiden freien U-Schenkeln der U-förmig ausgebildeten Profildichtung (33) eine umlaufende Prüfrille bildet, die mit mindestens einem nach außen geführten Anschluß versehen ist.

10. Filterwand/-decke nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Steg (12) mindestens eines der Profi labschnitte (11) des Rahmenwerks (10) dichtmittelseitig einen Schlitz (14) aufweist, der mit der dichtmittelseitigen Hohlkammer (12.3) eine hinterschnit-

tene Nut bildet, in die Gewindebolzen oder mit Gewinde-

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bohrung versehene Mutternsteine als Verbinder für anbringbafe Versorgungs-_S Beleuchturigs- o.dgl. Leisten einführbar sind.

11* Filterwand/-decke nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß Profi!einsätze vorgesehen sind, die in den Schlitz (14) einsetzbar sind.

12. Filterwand/-decke nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, däS die rföfilstücke mit einem vom Profi!abschnitt (11) abstehenden, vorzugsweise im Querschnitt ein spitzes Oval bildenden Strömungsleitkörper versehen sind, mit einer sich in Strömungsrichtung erstreckenden Tiefe von etwa dem 3-fachen seiner der Breite des Profilabschnittes (11) entsprechenden Basisbreite.