DE69736477T2 - Luftfiltersystem für reinraum mit selbsttragenden filtereinheiten - Google Patents

Luftfiltersystem für reinraum mit selbsttragenden filtereinheiten Download PDF

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    • B01D2279/50Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses for air conditioning
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Description

  • Erfindungsgebiet
  • Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die Konstruktion von Reinräumen und insbesondere auf HEPA, ULPA und ähnliche Hochleistungsfiltersystemefür Reinräume. Reinräume sind geschlossene Räume, in denen die Umgebungsluft wiederholt gefiltert wird, so dass sie im Wesentlichen frei von Schwebstoffen ist, z. B. Anlagen, in denen die Luft zum Herausfiltern von Schwebstoffen, die größer als 0,3 Mikron sind, mit HEPA-Filtern und zum Herausfiltern von Schwebstoffen, die größer als 0,12 Mikron sind, mit ULPA-Filtern feingefiltert wird. Der Begriff "HEPA" bezieht sich hier auf HEPA- und/oder ULPA-Filter und andere ähnliche Hochleistungsfilter. Reinräume kommen allgemein in der Pharmazie, der Medizin und der Elektronik zur Anwendung.
  • Stand der Technik
  • Üblicherweise ist eine Anordnung aus Filtereinheiten in der Decke oder den Wänden eines Reinraums angeordnet. Der Begriff "Reinraumdecke" bezieht sich hier entweder auf eine Überkopfanordnung oder eine Seitenwandanordnung von Filtereinheiten. In allen Fällen wird die Raumluft gesammelt, rezykliert und unter Druck zu den Filtereinheiten geführt. Ein zu filterndes Luftvolumen wird üblicherweise an der stromaufwärtigen Seite der Filtereinheit mit Druck beaufschlagt, damit das Filtermedium durchströmt werden kann. Der Begriff "Plenum" bezieht sich hier auf den Raum, in dem die Luft vor dem Durchströmen des Filtermediums unter relativ höherem Druck steht als an der Auslassseite des Filters. In einer großen Filteranlage ist das Plenum ein großvolumiger Raum über der Reinraumdecke. In einer kleinen Anlage wie einer Werkbankvorrichtung ist die Filtereinheit üblicherweise in einem Gehäuse mit einem Gebläse kombiniert, was dazu dient, die Luft zum Durchströmen des Filtermediums mit Druck zu beaufschlagen. Die im Plenum enthaltene unter Druck stehende Luft passiert die Rückseite der Filtereinheiten, das Filtermedium in den Filtereinheiten und die Vorderseite der Filtereinheiten, wonach sie wieder in den Reinraum oder zur Werkbank geführt wird. Da die Filtereinheiten von relativ beschränkter Größe sind (eine übliche Einheit ist nur zwei mal vier Fuß groß) und da oft eine sehr große Fläche über einem Reinraum versorgt werden muss (oft so groß wie mehrere Fußballplätze), sind mehrere der Filtereinheiten nebeneinander in einer seitlich und länglich erweiterten Anordnung montiert, und die Anordnung ist gegen eine Leckage von ungefilterter Luft aus dem Plenum abgedichtet. Das Problem der Montage und Abdichtung der Filteranordnung wurde in der Vergangenheit dadurch gelöst, dass große abgehängte Gitter montiert wurden, auf die die Filtereinheiten platziert wurden. Diese Gitter sind häufig trogförmig, wobei die Einzelfiltereinheiten in ein gegebenes Rechteck des Gitters eingepasst sind, wobei ein vorstehender Abschnitt der Filtereinheiten in ein gelförmiges Dichtungsmittel, das sich im Trog befindet, eingetaucht ist. Das Dichtungsmittel und die Filtereinheitsabschnitte wirken zusammen, um sicherzustellen, dass Luft aus dem Plenum nur durch die Filtereinheiten in den Reinraum strömt. Die Gittertröge haben eine gewisse Breite, durch die nicht nur der seitliche Abstand zwischen Filtereinheiten vergrößert wird, sondern ironischerweise auch die Wege für Seitenströme ungefilterter Luft verbreitert werden. Außerdem wird durch die Trogbreite der Anteil an gefilterter Luftfläche in der Reinraumdecke verkleinert, und es entstehen Luftströmungsturbulenzen zwischen den Filtereinheiten, was Vibration verursacht.
  • Gelförmige Dichtungsmittel sind nur dann wirksam, wenn sie selbst über Jahre hinweg einen gewissen Grad an Elastizität oder Fließvermögen behalten, so dass sie trotz Gelalterung und Vibration der Filtereinheiten kontinuierlich an den Filtereinheitsabschnitten im Trog anliegen. Der Ersatz von wirkungslos gewordenen HEPA-Filtereinheiten ist mühsam. Die einzelnen Einheiten müssen so hoch aus der gelartigen Masse in den Trögen heraus- und weggehoben werden, dass sie über die Trogränder gehoben werden können, sodann so gekippt oder auf irgendeine Weise abgewinkelt werden, dass sie durch die von den Trögen definierte Gitteröffnung passen, und aus dem Gitter genommen werden. Klebriges gelförmiges Dichtungsmittel kann Verschmutzungen verursachen. Bei der Installierung der neuen Filtereinheit findet der umgekehrte Vorgang statt. Möglicherweise muss mehr gelförmiges Dichtungsmittel hinzugefügt werden; diese Gele sind recht teuer.
  • Aus der USP 4,883,511 an Gustin et al. geht ein Reinraumdeckensystem hervor, bei dem gelförmige Dichtungsmittel zur Abdichtung von Filtereinheiten verwendet werden, die in einer vertikal gestuften Anordnung gehalten werden und sich so gegenseitig ohne die Verwendung eines planaren Gitters aus Trögen tragen. In der USP 5,329,739 an Madl wird ein Reinraumfiltersystem beschrieben, bei dem Gruppen aus vier Filtereinheiten zusammen an der Kreuzung ihrer jeweiligen Ecken durch eine jede Ecke überlappende Scheibe getragen werden, wobei die Scheibe von einer Tragefläche wie einer Decke herabhängt. Auf Dichtungsstreifen getragenes gelförmiges Dichtungsmittel dichtet die Filtereinheiten gegen die Leckage von ungefilterter Luft ab.
  • Aus der DE-OS 37 19 734 sind Einzelfiltereinheiten bekannt, die eine Haube mit einem Vorfilter sowie einem Ventilator und Feinfiltereinheiten zur Zufuhr von Reinluft in einen Reinraum in einem Filterrahmen aufweisen, wobei der Feinfilter von einer Gitterstruktur und die Haube mit dem Ventilator von der Decke des Raums getragen werden. Die Haube und der Filterrahmen sind über ein federndes Element, das verhindert, dass Luft, die nicht durch den Feinfilter gegangen ist, in den Reinraum strömt, miteinander in Kontakt. Dank dieser Struktur kann eine weniger massive Gitterstütze verwendet werden, da Ventilatorvibrationen nicht an die Gitterstütze übertragen werden. Trotzdem ist eine Gitterstütze mit ihren oben genannten Problemen notwendig.
  • Aus der USP 3,808,777 sind mehrere alternative Anordnungen für Filtereinheiten bekannt. Bei einer ersten Ausführungsform sind die Filterrahmen an einer Tragestruktur ähnlich der gemeinsamen Gitterstütze befestigt, indem sie am Befestigungspunkt abgedichtet werden. Dadurch wird zwar die Verschmutzungen verursachende und teure Gelabdichtung vermieden, aber das Auswechseln der Filtereinheiten ist nach wie vor mühsam. Bei einer zweiten Ausführungsform ist das Filtermedium selbst gegen den Filterrahmen abgedichtet und kann unabhängig von der Filtereinheit ausgewechselt werden. Bei dieser Ausführungsform sind die Filterrahmen fest in der Tragestruktur aufgenommen, oder als Alternative mit Filtereinheiten, die die zu filternde Luft durch ein Leitungssystem erhalten. Bei keiner der beiden Varianten lässt sich die Filtereinheit als solche leicht austauschen.
  • Kurzdarstellung der Erfindung
  • Durch die vorliegende Erfindung wird eine Reihe von Verbesserungen in der Reinraumtechnologie bereitgestellt. Die erfindungsgemäßen Reinraumdecken haben eine kostengünstigere, praktischere, einfachere und wirksamere Auslegung. Dichtgele sind nicht mehr notwendig. Die Einzelfiltereinheiten sind selbsttragend, ohne irgendeine gemeinsame Tragstruktur mit anderen Filtern. Die gesamte Gitterstruktur, die bisher sowohl für das Tragen der Reinraumdeckenfiltereinheiten als auch für ihr Abdichten gegen Seitenströme ungefilterter Luft als unabdingbar angesehen wurde, ist dank der Erfindung unnötig. Alle Filter sind in einer Ebene, und sie müssen nicht wie im Gustin-Patent vertikal gestuft werden. Kein Filter wird gemeinsam mit einem benachbarten Filter getragen, und schon gar nicht mit drei benachbarten Filtern wie im Madl-Patent. In der vorliegenden Erfindung tragen die Filtereinheiten selbst innen ihre eigenen einzelnen Tragevorrichtungen, wodurch die bisher verwendeten großen Gitter nicht mehr nötig sind und auch willkürliche Abstände zwischen benachbarten Filtereinheiten, die zur Unterbringung des Filterhaltegitters belassen wurden, nicht mehr notwendig sind. Die selbsttragenden Einzelfiltereinheiten werden einer Deckenanordnung hinzugefügt oder daraus entnommen, ohne die seitlich oder in Längsrichtung benachbarten Filtereinheiten in Mitleidenschaft zu ziehen. Die Filtereinheiten können ohne Weiteres in ihre Position gebracht und herausgenommen werden. Benachbarte Filtereinheiten liegen näher beieinander als in herkömmlichen Reinraumdecken, wodurch der Deckenanteil, der aus Filtereinheiten besteht, vergrößert wird und Luftströmungen zwischen den Filtereinheiten, Turbulenzen und damit einhergehende Vibration verringert werden. Die erfindungsgemäßen Filtereinheiten und die Filtereinheit-Abhängeanordnungen wirken zusammen, so dass ein Verriegeln an Ort und Stelle ohne Weiteres möglich ist, indem die Filtereinheit einfach in Position gegen die installierte Abhängeanordnung gebracht und der Filter von unten in die Stütze eingeschnappt wird, ohne langwieriges Zusammenschrauben von mit Gewinde versehenen Elementen. Umgekehrt lässt sich die Filtereinheit-Abhängeanordnung zur leichten Entfernung leicht von unterhalb der Filtereinheit mit einem zu beschreibenden Abkopplungsmerkmal abkoppeln. Die Filtereinheiten sind über ihren schmalen Abstand hinweg gegeneinander abgedichtet. Luftseitenströmungen entlang den Filtereinheitswänden werden durch eine anhaftende, geeignet selbsttragende Masse oder Bahn, die die Lücke zwischen benachbarten Filtern überbrückt und über jedem möglichen Strömungsweg liegt, blockiert; möglich wird dies durch die enge Beabstandung der Filtereinheiten. In das neue Filtertragesystem lassen sich Sprinklersysteme und Deckenlampen leicht integrieren. Nach Bedarf lassen sich Leereinheiten (rechteckige Tafeln ohne Filter) für Filtereinheiten einsetzen, ohne etwas an der Einfachheit, die für die Erfindung kennzeichnend ist, zu ändern. Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung.
  • Durch die Erfindung wird dementsprechend eine Reinraumdecke mit einer Vielzahl von Filtereinheiten bereitgestellt, die jeweils einen Einheitrahmen und ein darin angeordnetes Filtermedium umfassen, wobei die Einheiten an Ort und Stelle an einzelnen, von einer Tragefläche getragenen Bändern, ohne weitere Stützung etwa durch ein Gitter oder andere Filtereinheiten, und einer Bandverankerungsklammer in jeder Filtereinheit innerhalb des Einheitenrahmenumfangs abgehängt sind, wobei benachbarte der Einheitenrahmen gegen Luftleckage zwischen den Einheiten abgedichtet sind.
  • Durch die Erfindung wird ferner ein Reinraumfilter bereitgestellt, der ein segmentiertes Filtermedium in einem Filterrahmen und eine einen Anker zwischen Mediensegmenten bildende Klammer aufweist, wobei der Klammeranker am Rahmen angebracht und dazu ausgelegt ist, ein Band tragend am Filter zu befestigen, wodurch die Filter in einer Filteranordnung selbsttragend sind.
  • Im Einzelnen wird durch die Erfindung eine Reinraum-Filteranordnung bereitgestellt, die eine Vielzahl an Einzelfiltereinheiten umfasst, die für die Zufuhr gefilterter Luft in einen Reinraum angeordnet sind, wobei jede der Einzelfiltereinheiten eine Abhängeanordnung hat, die mit keiner anderen Filtereinheit geteilt wird, wobei jede Filtereinheit in die Anordnung ein- und ausgebaut werden kann, unabhängig von einer Änderung der Position oder Orientierung der anderen Filtereinheiten oder einer Veränderung ihrer jeweiligen Abhängeanordnungen.
  • Bei einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform wird Folgendes kombiniert bereitgestellt: eine Einzelfiltereinheit, die in eine Anordnung angeordnet werden kann, für die Zufuhr gefilterter Luft in einen Reinraum und eine Einzelfiltereinheit-Abhängeanordnung, die mit keiner anderen Filtereinheit der Anordnung geteilt wird.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Die Erfindung wird weiter anhand eines Ausführungsbeispiels in Verbindung mit den beiliegenden Zeichnungen beschrieben, in denen die mehreren Figuren die Erfindung veranschaulichen.
  • 1 ist eine fragmentarische Perspektivansicht einer von unten betrachteten Reinraumdecken-Filtereinheit-Anordnung;
  • 2 ist eine fragmentarische Ansicht der Filteranordnung aus 1 von oben betrachtet;
  • 3 ist eine axonometrische Ansicht einer Einzelfiltereinheit vor dem Zusammenbau mit den Tragestäben;
  • 4 ist eine Ansicht entlang der Linie 4-4 in 2;
  • 5 ist eine fragmentarische Schnittansicht der Filtereinheit in einer alternativen Trageausführungsform;
  • 6 ist eine fragmentarische Schnittansicht einer weiteren alternativen Trageausführungsform;
  • 7 ist eine fragmentarische Ansicht ähnlich 4, aus der jedoch die Halterungsentfernungsvorrichtung dargestellt wird, wie sie bereit ist, die Riegelteile an der Halterung abzulenken;
  • 8 ist eine fragmentarische Ansicht der mit einem Band abgedichteten Filtereinheit-Anordnung, die eine Reinraumdecke bildet;
  • 9 ist eine Ansicht entlang der Linie 9-9 in 8;
  • 10 ist eine Ansicht entlang der Linie 10 in 9;
  • 11 ist eine fragmentarische Schnittansicht von nebeneinanderliegenden, beabstandeten und abgedichteten Filtern;
  • 12 ist eine Ansicht einer erfindungsgemäßen Ausführungsform einer Kombination aus Filter und Plenum;
  • 13 ist eine Ansicht ähnlich 3, jedoch von einer Filtereinheit mit einem einzigen Montagepunkt;
  • 14 ist eine Ansicht ähnlich 11, die eine alternative Abdichtungsanordnung zeigt;
  • 15 ist eine Ansicht von Filtereinheiten, die mit einer alternativen Abhängeanordnung abgehängt sind;
  • 16 ist eine Schnittansicht der Filtereinheit-Abhängeanordnung entlang der Linie 16-16 in 15;
  • 17 ist ine Ansicht entlang der Linie 17-17 in 16;
  • 18 ist eine fragmentarische Detailansicht einer Filtereinheit mit einer Wasserleitung und einer Sprinkleranordnung, die darin integriert sind;
  • 19 ist eine fragmentarische Schnittansicht einer alternativen Filtereinheit und Sprinkleranordnung und
  • 20 ist eine fragmentarische Schnittansicht einer weiteren alternativen Filtereinheit und Sprinkleranordnung.
  • Ausführliche Beschreibung
  • Wie oben angegeben stellt die Erfindung eine verbesserte Reinraumdecke bereit, in der die zuvor eingesetzte Kombination aus Filterstütze und Dichtungsgitter durch die einfache einzelne Montage jeder Filtereinheit durch ihre eigene Abhängeanordnung ersetzt wird. Die Abdichtung erfolgt durch eine Bahn aus Dichtungs- oder Bandmaterial, das angelegt oder an Ort und Stelle gebildet wird oder, falls bevorzugt, durch andere Dichtungstechniken wie herkömmliche Gele, jedoch ohne den Einsatz von Filtereinheiten tragenden Gittertrögen. Bei der Montage und Demontage der einzelnen Filtereinheiten muss lediglich ein Tragestab in eine vorgeformte (Öffnung in der Filtereinheittrenneinrichtung oder der Filtereinheitswand eingeführt werden, die jeweils die Abhängeklammer definieren, und die Einheit an Ort und Stelle befestigt oder gelöst werden.
  • Im Einzelnen zeigen 1 bis 10 und besonders 1, 2 und 8 den erfindungsgemäßen Reinraum bei 10 der ein eingeschlossenes Volumen 12 umfasst und darüber eine Reinraum-Filteranordnung 14 mit einer Vielzahl von Einzelfiltereinheiten 16, die zur Zufuhr von gefilterter Luft zu dem eingeschlossenen Volumen des Reinraums angeordnet sind. Jede der einzelnen Filtereinheiten 16 hat ihre eigene Abhängeanordnung 18, die sie mit keiner anderen Filtereinheit teilt. Dementsprechend kann jede Filtereinheit 16 in die Anordnung 14 ein- und ausgebaut werden, unabhängig von einer Änderung der Position oder Orientierung der anderen Filtereinheiten und ohne eine Veränderung ihrer jeweiligen Abhängeanordnungen 18.
  • Es ist anzumerken, dass die einzelnen Filtereinheiten 16 seitlich und in Längsrichtung fast aneinanderstoßen, wodurch zwischen benachbarten Einheiten sehr wenig Platz vorhanden ist, besonders im Vergleich zu bekannten Systemen, bei denen die Filter gemeinsam von einer Gitterstruktur oder einer anderen Anordnung wie Eckbeschlägen getragen werden, wo die Masse des Filtertragesystems den Raum zwischen Filtern tatsächlich vergrößert, die abzudichtende Lücke vergrößert und wahrscheinlich unzulässige Vibration aufgrund von Luftströmung gestattet. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist der Abstand zwischen benachbarten Filtereinheiten 16 minimal so groß, wie es für den mechanischen Abstand notwendig ist, wodurch die gefilterte Fläche in der Reinraumdecke gegenüber der ungefilterten Fläche im Vergleich zu anderen Systemen vergrößert wird.
  • Es ist jedoch allgemein notwendig, in der vorliegenden Auslegung die Luftströmung zwischen benachbarten Filtern zu sperren, wenn die Filter einzeln abgehängt bleiben und nicht permanent aneinander befestigt sind. So hat die vorliegende erfindungsgemäße Reinraumfilteranordnung 14 eine Luftstromsperrstruktur 20 zwischen benachbarten Filtereinheiten 16. Im Ausführungsbeispiel in 8, 9 und 10 umfasst die Luftstromsperrstruktur 20 eine von der Filtereinheit 16 getragene Reihe von luftundurchlässigen Bahnen 22, die so angeordnet sind, dass sie eine Luftströmung zwischen benachbarten Filtereinheiten sperrt. Die Bahnen 22 sind an je einem Paar benachbarter Filtereinheiten 16 wie gezeigt befestigt, wobei die Bahnränder 24 an den Rändern 26 der Vorderseite der Filtereinheiten befestigt sind, so dass die Bahn die Lücke 28 zwischen den Filtereinheiten überbrückt. Die Lücke 28 ist üblicherweise schmal, z. B. weniger als die doppelte Breite der Filtereinheitwand 29, so dass die Filtereinheiten 16 eng beabstandet sein können und die erwähnte Vergrößerung des Anteils an gefilterter Fläche in einer Anlage, besonders im Vergleich zu gelabhängigen Gitter-Trog-Abdichtungssystemen, erzielt werden kann. Jede Filtereinheit 16 hat geeigneterweise eine Leiste 32 aus Kautschuk-, Kunststoff- oder einem anderen vorzugsweise elastomeren oder elastischen Material 33, die entlang der Tiefe der Filtereinheit von den Vorderseitenrändern 26 der Filtereinheit weg zurückversetzt ist, um Platz für das Anhaften der Bahn 22 an den Kanten und/oder den benachbarten Rändern 24 zu schaffen. Die elastische Leiste 32 dient als eine Art Teilluftdichtung zwischen benachbarten Einheiten 16 sowie als ein Mittel zur Dämpfung von Vibration in der Anordnung 14, wobei eine solche Vibration bereits durch die unmittelbare Nachbarschaft der nebeneinander liegenden Filtereinheiten und die folglich reduzierte Luftströmungsturbulenz zwischen den Einheiten verringert ist.
  • Bei der in den 810 veranschaulichten Ausführungsform umfasst die Luftstromsperrstruktur 20 eine luftundurchlässige Bahn 22 in der Form eines Bandes 34, das an der Filtereinheit haftet und sich zwischen benachbarten Filtereinheiten 16 erstreckt, um die Luftströmung dazwischen zu sperren.
  • Bei der Ausführungsform der 11 hat die Bahn 22 die Form eines Klebstoffs 25, der durch einen in eine Ausnehmung 17 zwischen benachbarten Filtereinheiten 16 eingeführten Beschlag 27 festgehalten wird. Bei der Ausführungsform in 17 ist die Bahn 22 in der Form eines gerollten oder anderweitig geformten Dichtungsmaterials 31 ausgebildet, das zwischen die gegenüberliegenden Filtereinheiten 16 eingeführt ist, um die Luftströmung von der Lücke 28 in das Reinraumvolumen 12 zu sperren (1).
  • Zurückkommend auf die 810 kann das Band 34 vorgeformt oder an Ort und Stelle geformt sein, indem eine geeignet viskose Paste oder Flüssigkeit, die nach der Verdunstung des Lösungsmittels einen Film bildet, aufgestrichen, aufgewalzt oder anderweitig aufgebracht wird oder durch andere Mittel. Vorzugsweise handelt es sich bei dem Band 34 um eine vorgeformte Struktur, die üblicherweise aus einer oder mehreren Schichten einer starken Unterlage 36 besteht, die ihrerseits beispielsweise aus einem beliebigen geeigneten metallischen, Zellulose- oder Kunststoffmaterial hergestellt ist, und für jede Unterlagenschicht eine stark haftende Schicht 38 aus Klebematerial wie Isobutylen- und Silikon-basierende Klebstoffe. Es können zahlreiche Schichten aus diesen und anderen Haft- oder Verstärkungsmaterialien verwendet werden. Bei bevorzugten Ausführungsformen verläuft das Band 34 an der Seite und in Längsrichtung der Reinraum-Filteranordnung 14 in Übereinstimmung mit den rechteckigen Öffnungen der Lücken 28. Bei einer derartigen Anwendung hat das Band 34 in Abständen Kreuzungen 42, wobei die Abstände den Ecken der Filtereinheiten 16 entsprechen. Es ist wichtig, die Integrität der Dichtung an diesen Kreuzungen 42 zu erhalten. Dies kann dadurch erfolgen, dass ein Band 34 gewählt wird, das in der Unterlage und/oder bzw. den Klebeschichten 36, 38 so flexibel ist, dass es sich in unvermeidbare Falten und Winkel legen lässt, wenn es an die Ränder kommt oder sich an den Kreuzungen 42 überkreuzt. Insbesondere kann es sein, dass der Winkel des Bands 34, das von der Filtereinheit 16 heraufkommt und ein zweites Segment des Bands kreuzt, nicht genau 90 Grad beträgt, wenn das Material der Bandunterlage 36 nicht so flexibel ist, dass es um 90 Grad gebogen wird und gebogen bleibt. In diesem Fall ist das Volumen der Klebeschicht 38 wünschenswerterweise so dick oder groß, dass es das üblicherweise dreieckige Volumen zwischen in unterschiedlichen Richtungen verlaufenden, sich kreuzenden Segmenten des Bands 34 überbrückt; es lassen sich auch andere geeignete Mittel wie zusätzliche Materialschichten oder -stücke, Kompressionsvorrichtungen, Dichtungsmittel und andere Klebemittel (nicht gezeigt) einsetzen, um den gewünschten Kontakt und die gewünschte Luftstromundurchlässigkeit des Bands 34 überall, einschließlich den Bandkreuzungen 42 zu erhalten und aufrechtzuerhalten.
  • Nach der Beschreibung der Abdichtung zwischen den Filtereinheiten 16 werden nun 1, 2, 3 und 4 eingehend besprochen. Die Reinraum-Filteranordnung 14 aus einer Vielzahl von sich seitlich und in Längsrichtung erstreckenden Einzelfiltereinheiten 16 dient der Zufuhr von Luft aus dem Plenum 44 zum Reinraumvolumen 12 zu der Vorderseite 46 der Filtereinheit von der Rückseite 48 jeder Filtereinheit 16, wobei die Einzelfiltereinheit jeweils mit einer Einzelfiltereinheit-Abhängeanordnung 18, die mit keiner anderen Filtereinheit der Anordnung geteilt wird, kombiniert ist.
  • Jede Filtereinheit 16 umfasst einen Filterrahmen 50 mit Wänden 29, die geeigneterweise aus Aluminium oder einem anderen Metall, aber möglicherweise auch aus Holz bestehen. Innerhalb des Rahmens 50 und zwischen seiner Rückseite 48 und seiner Vorderseite 46 sind ein linker und ein rechter Pack 52, 54 aus Filtermedium 56 angeordnet, das innerhalb der Filterrahmenwände 29 liegt. Eine Trenneinrichtung 57 trennt den linken und den rechten Pack 52, 54. In der Vergangenheit bestand die Funktion der Trenneinrichtung 57 darin, die Filterpacks 52, 54 an Ort und Stelle zu tragen und dem Filtereinheitrahmen 50 Steifigkeit zu verleihen. Diese Funktionen bestehen bei den erfindungsgemäßen Filtereinheiten 16 fort und eine neue Funktion kommt hinzu: eine Klammer zum Tragen der Einzelfiltereinheiten durch einzelne Abhängeanordnungen 18. Die Trenneinrichtung 57 ist ein als Kastenträger ausgelegtes, starres Element, das an den gegenüberliegenden Enden 59, 61 des Filterrahmens 50 an diesen angeklebt ist und die Abhängeklammer 58 definiert, wie unten beschrieben.
  • Jede Abhängeanordnung 18 umfasst dann die innerhalb des Filterrahmens 50 montierte Klammer 58, die so ausgelegt ist, dass ihre Einzelfiltereinheit 16 an der Tragefläche 62 außerhalb oder jenseits des Rahmens und üblicherweise an der baulichen oder echten Decke des Raums, in dem der Reinraum eingerichtet wird, montiert wird. Während der Abstand zwischen der Reinraum-Filteranordnung 14 und der echten Decke des umgebenden Raums häufig groß ist, sind bei der vorliegenden Erfindung niedrigere Räume, als normalerweise für Reinraumanlagen in Frage kommen, brauchbar. Durch Weglassen eines großen Troggitter- und Tragsystems gestattet die vorliegende Erfindung den Einbau von Anlagen an Orten, deren Decken zuvor als zu niedrig für die bekannten Anlagen galten oder die als zu klein galten, um die Kosten für das übliche Gittersystem zu rechtfertigen.
  • Über der Filtereinheitsanordnung 14 liegt die echte Raumdecke oder ein Deckenersatz wie das konstruierte Gehäuse 64, das die Tragefläche 62 (2) bereitstellt und mit der Filtereinheitsanordnung 14 das Plenum 44 bildet. Die Filtermediumpacks 52, 54 sind an der Vorderseite 46 der Filtereinheiten 16 zum eingeschlossenen Volumen 12 und an der Rückseite 48 der Filtereinheiten zum Plenum 44 hin offen.
  • Die Abhängeanordnung 18 umfasst weiter einen Stab 68 oder ein anderes langgestrecktes Teil, das eine solche Länge, einen solchen Durchmesser, eine solche Stärke und eine solche Gestalt hat, dass es die Filtereinheit-Abhängeklammer 58 an der Raumdecke oder andernorts mit der Tragefläche 62 verbindet, wobei der Filtereinheitrahmen 50 von der Tragefläche beabstandet ist. Das langgestreckte Stabteil 68 der Abhängeanordnung erstreckt sich von der Tragefläche 62 oder von einem dazwischenliegenden Anbringort, der von der Fläche 62 getragen wird, an dem ein oder mehrere Stabteile 68 für Einzelfiltereinheiten 16 angebracht werden können, und steht mit der Klammer 58 in Verbindung, die mit dem Filtereinheitrahmen 50 verbunden ist und sich vorzugsweise in der Ebene der Filtermediumpacks 52, 54 oder in oder neben der Ebene des Filtereinheitrahmens befindet. Der Stab 68 hat bei 74 nützlicherweise ein Gewinde oder trägt eine andere Struktur zum Zusammenwirken mit der Klammer 58 zum Befestigen der Klammer an dem Stab. Bei der Ausführungsform dieser Figuren erstreckt sich der Stab 68 üblicherweise durch die Rückseite 48 des Filtereinheitrahmens und nicht zu der Vorderseite 46 des Filtereinheitrahmens, so dass er innerhalb des Filtereinheitrahmens 50 und allgemein in der Ebene der Filtermediumpacks 52, 54 endet.
  • Wenn die Abhängeanordnung-Klammer 58 im Filtereinheitrahmen 50 montiert ist, überschneidet sie sich mit dem langgestreckten Stabteil 68 an oder in der Nähe seiner zusammenwirkenden Gewindestruktur 74 und innerhalb des Umfangs des Filtereinheitrahmens. Die die Klammer 58 bildende Trennvorrichtung 57 erstreckt sich quer zum Filtereinheitrahmen 50 und hat einen Schulterabschnitt 75, der allgemein einem Abschnitt der oberen Wand 76 der Trenneinrichtung entspricht. Der Schulterabschnitt 75 der Trenneinrichtung ist örtlich mit Öffnungen versehen und hat in dieser Ausführungsform der Erfindung vordere und hintere Montagelöcher 78, 80, in die die Stäbe 68 eingeschoben werden können, um die Einzelfiltereinheit 16 zu tragen, indem dem mit einem Gewinde versehenen Abschnitt 74 des Stabes 68 eine Halterung 82 angefügt wird. Die Halterungen 82 blockieren ein Herausrutschen der Stäbe 68 aus den Löchern 78, 80 wie gezeigt. Die Trenneinrichtung 57 ist innen offen zwischen der Filtereinheitfläche 46 und dem Ort der Halterung 82 an den Stäben 68, wobei die Halterung so bemessen ist, dass sie durch den offenen Innenraum der Trenneinrichtung bewegt werden kann.
  • Ein Zugriff auf die Halterungen 82 kann vorteilhafterweise von der Vorderseite 46 der Filtereinheit 16 erfolgen. Zu diesem Zweck hat die Vorderwand 84 der Trenneinrichtung 57 vorzugsweise zusätzliche Löcher, z. B. Loch 86, die mit den Löchern 78, 80 deckungsgleich und so bemessen sind, dass die Halterungen 82 zu dem mit einem Gewinde versehenen Abschnitt 74 des Stabs 68 gelangen können.
  • Mit besonderem Bezug auf 7 ist ein Werkzeug 83 mit einer Buchse 85, die an einem Schaft 87 montiert ist, so bemessen, dass es durch das Loch 86 passt, um eine Halterung 82 zu dem Stab 68 hin- oder von diesem wegzutragen, so dass die Halterung den offenen Innenraum 89 der Trenneinrichtung 57 kontrolliert durchquert, wobei kein großer Abschnitt der Fläche 46 der Filtereinheit 16 offen gelassen werden muss. Die Halterung 82 ist somit ohne Weiteres durch das Loch 86 zugänglich, um sie einzuführen und festzuziehen oder sie zu lösen und zu entfernen. Es ist anzumerken, dass die Werkzeugbuchse 85 über die Halterung 82 passt und ihre Riegel-Zungen 92 zu Zwecken zusammendrückt, die nun erläutert werden.
  • In einer üblichen Anlage mit einer Reinraum-Filteranordnung, in der die erfindungsgemäßen Filtereinheiten 16 und die Abhängeanordnung 18 verwendet werden, sind eine Vielzahl von Stäben 68 von der Tragefläche 62 oder oder einem Zwischenort abgehängt, der von einer Klammer oder Platte definiert wird, die von der Tragefläche getragen wird und von der aus sich die einzelnen Einheitenstäbe 68 erstrecken, so dass jede Filtereinheit 16 ihre eigenen Stäbe hat (siehe besonders 1, 4 und 7). Die Stäbe 68 tragen Nivellierungplatten 90 auf einer vorbestimmten, abgemessenen Höhe in dem von dem Raum eingeschlossenen Volumen 12. Die Platten 90 liegen auf gleicher Höhe und werden dazu verwendet, die Filtereinheiten 16 auf derselben Höhe aufzureihen.
  • Die Abhängehalterungen 82 sind für eine schnelle Installierung der Filteranordnung 14 gestaltet. Jede Halterung 82 umfasst einen Halterungskörper 94 mit beispielsweise vier umfangsmäßig verteilten, vertikal angeordneten Körperschlitzen 95, in denen jeweils eine bewegliche Riegel-Zunge 92 verschieblich getragen wird, so dass sie in die Körperschlitze hinein- und aus ihnen herausbewegt werden kann. In den Schlitzen 95 sitzende Kompressionsfedern 93 (7) drücken die Zungen 92 federnd nach außen in eine Schließstellung (siehe 5 and 7), es sei denn, sie werden beispielsweise vom Werkzeug 83 zurückgezogen. Nach außen bewegt, liegen die Riegel-Zungen 92 an dem Schulterabschnitt 75 der Trenneinrichtung an. Die Halterung 82 ist in einer vorbestimmten Position auf den mit einem Gewinde versehenen Abschnitt 74 des Abhängeteilstabs 68 geschraubt, wie dargestellt. Diese Position stellt eine Lücke 91 zur Verfügung, die ungefähr der Dicke der oberen Wand 76 der Trenneinrichtung zwischen den oberen Rändern 97 der federbelasteten Zungen 92 und der unteren Fläche 99 der Platten 90 entspricht. Im eingebauten Zustand einer Filtereinheit 16 ist die obere Wand 76 der Trenneinrichtung in der Lücke 91 zwischen den Riegel-Zungen 92 und der Platte 90 angeordnet. Die Montagelöcher 78, 80 der Filtereinheit-Trenneinrichtung haben auch die Funktion, die federbelasteten Zungen 92 zu verschließen. Die Montagelöcher 78, 80 der Trenneinrichtung sind jeweils so bemessen, dass sie über die Halterungen 82 passen, wenn die Zungen zurückgezogen oder nach innen bewegt werden, und sind wünschenswerterweise so bemessen, dass sie die Bewegung nach innen selbst bewirken. Dadurch wird eine leichte Installation der einzelnen Filtereinheiten 16 möglich, wie nun beschrieben wird.
  • Zur Installation der Filtereinheiten 16 sind die Abhängeanordnungen 18 so angeordnet, wie gerade beschrieben, wobei die Stäbe 68 von einer Tragefläche 62 herabhängen, und in einem solchen Muster, dass sie mit den Filtereinheiten registerhaltig sind. Die Platten 90 befinden sich auf einer vorbestimmten, einheitlichen Ebene (siehe 2). Eine Halterung 82 ist soweit auf die mit einem Gewinde versehenen Abschnitte 74 jedes Stabes 68 geschraubt, dass die gewünschte Lücke 91 entsteht. Bei jedem Paar Abhängestäbe 68 ist eine Filtereinheit 16 vorgesehen, die so ausgerichtet ist, dass die Vorderseite 46 nach unten (es wird von einer deckengestützten Installierung ausgegangen) und die Rückseite 48 nach oben weist. Die Montagelöcher 78, 80 der Filtereinheit-Trenneinrichtung sind mit den herabhängenden Halterungen 82 und somit den Stäben 68 deckungsgleich. Die Filtereinheit 16 wird so nach oben geschoben, dass die Halterungen 82 durch die Montagelöcher 78, 80 der Trenneinrichtung gehen. Bei diesem Vorgang legen die Löcher 78, 80 die Zungen 92 soweit an die Federn 93 an, bis die Riegel-Zungen der Halterung 82 die Löcher passiert haben und in das Innere 89 der Trenneinrichtung eintreten. Die federbelasteten Zungen 92 bewegen sich dann nach außen und nehmen in dieser Anwendungsstellung den Schulterabschnitt 75 der Trenneinrichtung in Eingriff, während die Filtereinheit 16 auf den Halterungszungen ruht. Die Platte 90 begrenzt die Bewegung der Filtereinheit 16 nach oben, koordiniert mit dem Durchgang der Halterung 82 durch das Montageloch 78, 80. Die ausgefahrenen Halterungszungen 92 halten die Filtereinheit 16 abgehängt an Ort und Stelle. Das Zugangsloch 86 wird dann geeigneterweise mit einem Stopfen 100 geschlossen, der ohne Weiteres entfernt werden kann, falls eine Demontage der Filtereinheit 16 gewünscht wird. Zur Demontage wird der Stopfen 100 entfernt und das Werkzeug 83 durch das Loch 86 eingeführt, um die Halterung 82 einzuschieben und die Zungen 92 in ihre Halterungskörperschlitze 95 zu schließen. Die Halterung 82 passt dann zurück durch das Loch 78, so dass die Filtereinheit 16 unter Schwerkrafteinwirkung herunterfällt. Es ist anzumerken, dass benachbarte Filtereinheiten durch das Hinzufügen oder Entfernen einer oder mehrerer Filtereinheiten auf die gerade beschriebene Weise in ihrer Position oder an ihren Montageplätzen nicht gestört werden.
  • Die Filtereinheiten können anstatt zwei Montagestellen auch nur eine haben. In 13 umfasst die Filtereinheit 116 einen Rahmen 150, Filter packs 152, 154 und eine Trenneinrichtung 157. Die Trenneinrichtung 157 hat ein einzelnes Montageloch 178. Die Montage der Filtereinheit 116 erfolgt auf dieselbe Weise wie bei der Filtereinheit 16 unter Verwendung derselben, zuvor beschriebenen Abhängeanordnung, außer, dass sich am Loch 178 eine einzige Stabmontagestelle befindet, die auf der Trenneinrichtung 157 der Filtereinheit zentriert ist.
  • Andere Anordnungen der Filtereinheiten im Rahmen der Erfindung schließen selbständige Einheiten ein, bei denen der Filterrahmen und die Filterpacks in eine Haube oder Gehäuseeinfassung eingegliedert sind oder damit kombiniert sind, die ihre eigenen Ventilatoren hat und ihr eigenes Plenum definiert, und nicht wie bei der Ausführungsform von 2 ein gemeinsames Plenum benutzt. In 12 der beiliegenden Zeichnungen hat die Gehäuseinfassung 110 Seitenwände 112, eine obere Wand 114 und ein Paar Ventilatoren 118. Eine elastische Leiste 132 umgibt die Gehäuseeinfassung 110, um die Einheit teilweise mit benachbarten Einheiten abzudichten und die Vibration der Einheiten zu reduzieren. Bei dem Filterrahmen und den Filterpacks (nicht gezeigt) kann es sich um einheitliche Strukturen handeln, die in der Gehäuseeinfassung 110 befestigt sind, oder sie können einen oder mehrere der Filterpacks und Filterrahmen umfassen, wie in 2, 3 und 13 gezeigt. Auch die Abhängeanordnung ist dieselbe, außer, dass die obere Wand 114 der Gehäuseeinfassung und nicht die Trenneinrichtung eines Filterrahmens die Montagelöcher 115, 117 definiert.
  • Der Ort und die Art der Halterung können zur Erfüllung unterschiedlicher Bedürfnisse variiert werden. Beispielsweise kann die Halterung andere Konfigurationen haben als in 4 und 7 gezeigt, kann an verschiedenen Orten platziert sein, auch außerhalb der Vorderseite der Filtereinheit oder innerhalb des Umfangs des Filters. In 5 beispielsweise erstreckt sich der Stab 68 fast über die volle Höhe des Filtereinheitrahmens 50 und ist neben dem Loch 86 durch die Halterungsmutter 111 und die Unterlegscheibe 113 befestigt, die gegen die Vorderwand 84 der Trenneinrichtung 57 wirken, die geeigneterweise bei 109 nach innen umgelenkt ist, um die Halterungsmutter aufzunehmen. Der Stopfen 100 wird dann verwendet, um die durch die Umlenkung 109 gebildete Öffnung zu schließen.
  • In 6 als weiteres Beispiel hängt der Abhängestab 168 von einer nicht gezeigten Tragefläche herab, und sein mit einem Gewinde versehener Abschnitt 174 erstreckt sich durch ein Loch 140 in der oberen Wand 142 der Seite 144 des Rahmens 150 jenseits der Rückseite 48 der Filtereinheit. Der Stab 168 ist über eine Gewindeverbindung mit einer feststehenden Mutter 146 knapp jenseits des Filtermediums 56 befestigt.
  • In 15, 16 und 17 wird die Einzelfiltereinheit 216 einer Reihenanordnung von einer nicht gezeigten Tragefläche durch vier Abhängeanordnungen 218 getragen, die jeweils einen Stab 268 mit einem Abschnitt 274 umfassen, der ein Gewinde hat. Die Filtereinheit 216 umfasst einen Rahmen 250, in dem die Filterpacks 252 und 254 angeordnet sind. Die Trenneinrichtung 257, die an den Trenneinrichtungsenden 259, 261 am Rahmen 250 befestigt ist, trennt die Filtermediumpacks 252, 254. Bei dieser Ausführungsform hat der Rahmen 250 einen umfangsmäßigen oberen Flansch 251 und einen umfangsmäßigen unteren Flansch 253, die die Rahmenwand 229 umgeben. In der Nähe der Ecken des Rahmens 250 weist der obere Flansch 251 Löcher 287, 280 auf. Der Stab 268 geht durch die Löcher 278, 280 und geht in der gezeigten Ausführungsform durch eine Halterung 282, die durch eine Mutter 263 festgehalten wird, durch die der Stab am Filterrahmen 250 befestigt ist. Die Halterung 282 hat vordere und hintere Zungen 292, die wie in den obigen Ausführungsformen der Halterung federbelastet sind, um sich nach außen zu bewegen, wenn sie nicht von den Löchern 278, 280 gesperrt sind, um die Filtereinheit 216 in der Position gegen die Platte 290 zu tragen. Die Leiste 32 aus elastischem Material 33 ist in dieser Ausführungsform ebenfalls vorgesehen und an der Außenfläche des unteren Flanschs 253 befestigt. Diese Leiste 32 liegt an einer benachbarten Leiste 32 an der nächsten Filtereinheit 216 in der Anordnung an.
  • Reinraum-Filteranordnungen sind üblicherweise mit Beleuchtungssystemen und Feuerschutzsystemen wie Sprinklern versehen. Gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine oder mehrere der Filtereinheiten durch eine Attrappe oder eine Beleuchtungseinheit ersetzt sein, die kompatibel mit den anderen Filtereinheiten in der Anordnung, die beispielsweise ähnlich abgehängt sind, ausgelegt ist. 1820 zeigen übliche Sprinklervariationen für die vorliegende Erfindung. Im Allgemeinen und mit Bezug auf 18 ist die Versorgungs- oder Fallleitung 275 der Sprinkleranlage vertikal durch die Trenneinrichtung 57, geeigneterweise durch einen Raum 276 zwischen oder neben den nicht gezeigten Abhängelöchern und einem daran befestigten Sprinklerkopf 277 eingeführt. Die Fallleitung 275 geht praktischerweise durch eine Führungsleitung 279, die über einen Klemmring 281 in der Trenneinrichtung 57 befestigt ist, wobei der Klemmring durch Muttern 283 befestigt ist und seine Position durch den Führungsring 285 getragen wird. Dichtungsmaterial 287 um die Fallleitung 275 herum sorgt für Abdichtung gegen Luftleckage.
  • Bei einer anderen Ausführungsform in 19 ist eine einfache Rohrfallleitung 295, die den Kopf 297 trägt, zwischen die linke und die rechte Trenneinrichtungssektion 357, 457 eingeführt, durch den Ring 300 geführt und durch den Ring 301, Muttern und Schrauben 302 an Ort und Stelle getragen und dort durch Schweißung oder Abdichtung 303 abgedichtet. In 20 geht die Fallleitung 304 durch eine einzige Kammertrenneinrichtung 557, oben durch eine Dichtungsscheibe 305 und unten durch eine Dichtungsscheibe 306 und die Halterung 307 abgedichtet.
  • Erfindungsgemäß sind daher dementsprechend Reinraumdecken mit kostengünstigerem, praktischerem, einfacherem und wirksamerem Design vorgesehen. Dichtungsgele sind nicht mehr notwendig. Die Einzelfiltereinheiten sind selbsttragend und werden nicht gemeinsam mit anderen Filtern getragen. Die gesamte bekannte Gitterstruktur, die früher zum Tragen und Abdichten der Reinraumdecken-Filtereinheiten gegen Seitenströmungen von ungefilterter Luft für notwendig gehalten wurde, ist weggefallen. Alle erfindungsgemäßen Filter liegen in einer Ebene und sie müssen nicht verti kal gestuft werden. Kein Filter wird gemeinsam mit einem anderen Filter getragen, und schon gar nicht mit drei benachbarten Filtern. Die erfindungsgemäßen Filtereinheiten tragen selbst intern oder extern, aber auf alle Fälle automatisch, ihre eigenen individuellen Tragemittel, wodurch nicht nur die zuvor benutzten großen Gitter überflüssig sind, sondern auch keine Notwendigkeit für willkürliche Abstände zwischen benachbarten Filtereinheiten mehr besteht, die belassen wurden, um das Filtertragegitter in zuvor bekannten Reinraumdecken unterzubringen. Da die Filtereinheiten einzeln selbsttragend sind, werden sie in eine Deckenanordnung eingefügt oder daraus entfernt, ohne die seitlich oder in Längsrichtung benachbarten Filtereinheiten zu stören. Die Filtereinheiten lassen sich ohne Weiteres in ihre Position einfügen und herausnehmen. Benachbarte Filtereinheiten sind näher beieinander als in herkömmlichen Reinraumdecken, wodurch der Deckenanteil, der aus Filtereinheiten besteht, vergrößert wird und Luftströmungen zwischen den Filtereinheiten, Turbulenzen und damit einhergehende Vibration verringert werden. Die erfindungsgemäßen Filtereinheiten und die Filtereinheit-Abhängeanordnungen wirken zusammen, so dass ein Verriegeln an Ort und Stelle ohne Weiteres möglich ist, indem die Filtereinheit einfach in Position gegen die installierte Abhängeanordnung gebracht und der Filter von unten in die Stütze eingeschnappt wird, ohne langwieriges Zusammenschrauben von mit Gewinde versehenen Elementen. Umgekehrt lässt sich die Filtereinheit-Abhängeanordnung zur leichten Entfernung leicht von unterhalb der Filtereinheit mit einem zu beschreibenden Abkopplungsmerkmal abkoppeln. Die Filtereinheiten sind über ihren schmalen Abstand hinweg gegeneinander abgedichtet. Luftseitenströmungen entlang den Filtereinheitwänden werden durch eine anhaftende, geeigneterweise selbsttragende Masse oder Bahn, die die Lücke zwischen benachbarten Filtern überbrückt und über jedem möglichen Strömungsweg liegt, blockiert; möglich wird dies durch die enge Beabstandung der Filtereinheiten. In das neue Filtertragesystem lassen sich Sprinklersysteme und Deckenlampen leicht integrieren. Nach Bedarf lassen sich Leereinheiten (rechteckige Tafeln ohne Filter) für Filtereinheiten einsetzen, ohne etwas an der Einfachheit, die für die Erfindung kennzeichnend ist, zu ändern.

Claims (7)

  1. Reinraum-Filter-Anordnung (14) umfassend eine Vielzahl an Einzel-Hochleistungsfiltereinheiten (16), beispielsweise HEPA oder ULPA, angeordnet für die Zufuhr gefilterter Luft in einen Reinraum (10), wobei jede Einzel-Filtereinheit (16) einen Rahmen (50) und ein Filtermedium (56) darin umfasst, und jede Einzel-Filtereinheit (16) eine separate Abhängeanordnung (18) zur Anbringung der Einzel-Filtereinheit (16) an einer Tragefläche (62), ohne Unterstützung durch ein Gitter oder andere Filtereinheiten hat, wobei die separate Abhängeanordnung (18) mit keiner anderen Filtereinheit (16) geteilt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Filtereinheiten (16) gegeneinander über ihren schmalen Abstand hinweg abgedichtet sind, wobei jede Filtereinheit (16) in die Filteranordnung (14) ein- und ausgebaut werden kann, unabhängig von einer Änderung der Position oder Orientierung der anderen Filtereinheiten (16) oder einer Veränderung ihrer jeweiligen Abhängeanordnungen.
  2. Reinraum-Filter-Anordnung (14) gemäß Anspruch 1, zusätzlich umfassend eine Luftstromsperrstruktur (20) zwischen benachbarten Filtereinheiten (16).
  3. Reinraum-Filter-Anordnung (14) gemäß Anspruch 1 oder 2, bei der die Abhängeanordnung (18) eine Klammer (58) und einen langgstreckten Stab umfasst, der mit der Einheit (16) verbunden ist und an der Tragefläche (62) befestigt ist.
  4. Reinraum-Filter-Anordnung (14) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Abhängeanordnung (18) eine Klammer (58) umfasst, die an dem Rahmen (50) angebracht ist, ein langgestrecktes Teil (68), das an der Tragefläche (62) befestigt ist und eine verbindende Struktur an dem langgestreckten Teil (68) bzw. der Klammer (58), mit der die Klammer (58) an dem langgestreckten Teil (68) gesichert ist.
  5. Reinraum-Filter-Anordnung (14) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Filtereinheit (16) zusätzlich eine Filtermediumtrenneinrichtung (57) zwischen verschiedenen Abschnitten des Filtermediums umfasst.
  6. Reinraum-Filter-Anordnung (14) gemäß Anspruch 4 oder 5, wobei die verbindende Struktur eine Halterung (82), umfassend einen Schließkörper, eine in dem Schließkörper angebrachte, bewegliche Riegel-Zunge, die aus dem Schließkörper heraus bewegbar ist, und eine Sperrstruktur, die die bewegliche Riegel-Zunge gegen ein Herausbewegen aus dem Schließkörper sperrt, wobei der Schließkörper so bemessen ist, dass er die Klammeranordnung (58) in der nicht betätigten Stellung des Riegels passiert aber nicht in der betätigten Stellung des Riegels.
  7. Reinraum umfassend ein abgeschlossenes Volumen, das zumindest teilweise von einer Reinraumfilteranordnung (14) nach einem der Ansprüche 1 bis 6 gebildet wird.
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