DE4122582A1 - Modul zum aufbau einer reinraumdecke - Google Patents

Modul zum aufbau einer reinraumdecke

Info

Publication number
DE4122582A1
DE4122582A1 DE4122582A DE4122582A DE4122582A1 DE 4122582 A1 DE4122582 A1 DE 4122582A1 DE 4122582 A DE4122582 A DE 4122582A DE 4122582 A DE4122582 A DE 4122582A DE 4122582 A1 DE4122582 A1 DE 4122582A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
opening
module according
module
height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4122582A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4122582C2 (de
Inventor
Udo Jung
Herbert Eidam
Wilhelm Gerk
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Grenzebach GmbH and Co KG
Original Assignee
Babcock BSH AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE4122582A priority Critical patent/DE4122582C2/de
Application filed by Babcock BSH AG filed Critical Babcock BSH AG
Priority to DE9116423U priority patent/DE9116423U1/de
Priority to DK92912382.6T priority patent/DK0592472T3/da
Priority to RU9294015164A priority patent/RU2074293C1/ru
Priority to DE59201037T priority patent/DE59201037D1/de
Priority to CA002110694A priority patent/CA2110694A1/en
Priority to ES92912382T priority patent/ES2066621T3/es
Priority to US08/162,012 priority patent/US5462484A/en
Priority to EP92912382A priority patent/EP0592472B1/de
Priority to AT92912382T priority patent/ATE116053T1/de
Priority to PCT/EP1992/001297 priority patent/WO1993001454A1/de
Priority to JP4511044A priority patent/JPH06508913A/ja
Publication of DE4122582A1 publication Critical patent/DE4122582A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4122582C2 publication Critical patent/DE4122582C2/de
Priority to GR950400580T priority patent/GR3015448T3/el
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/24—Means for preventing or suppressing noise
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S454/00—Ventilation
    • Y10S454/906—Noise inhibiting means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Building Environments (AREA)
  • Vehicle Interior And Exterior Ornaments, Soundproofing, And Insulation (AREA)
  • Buildings Adapted To Withstand Abnormal External Influences (AREA)
  • Floor Finish (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Modul zum Aufbau einer Reinraum­ decke gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bestimmte Produktionsverfahren, zum Beispiel der Mikroelek­ tronik, der Feinwerkmechanik, der Optik oder der Pharmazie, benötigen reine, staubfreie Atmosphären, die durch rein­ raumtechnische Einrichtungen hergestellt werden. In der sogenannten Laminar-Flow-Technik wird die reine Atmosphäre erzeugt, indem hochgradig gefilterte Luft in turbulenzarmer Verdrängungströmung durch den Reinraum geführt wird.
In der in der EP-A2 02 02 110 beschriebenen Reinraumanlage in Laminar-Flow-Technik wird Luft durch Ventilatoren unter Druck in eine Kammer zwischen einer Decke und einer aus Hochleistungsfiltern gebildeten Zwischendecke gefördert. Die durch die Hochleistungsfilter gereinigte Luft durch­ strömt den Reinraum vertikal nach unten, wird im Boden ab­ gesaugt und über Seitenkanäle zu den Ventilatoren zurück­ geführt. Bei dieser Anlage sind die reinraumtechnischen Einrichtungen fest installiert.
Da sich die Produktionsbedingungen in vielen Bereichen mit zunehmender Schnelligkeit ändern, ist man an einem schnell auf- und abbaubaren Reinraumsystem, mit dem neue Reinräume schnell gebildet, alte entfernt oder vorhandene vergrößert oder verkleinert werden können, interessiert.
Dies hat zur Entwicklung von Modulsystemen geführt.
Zum Beispiel ist aus der EP-A1 01 96 333 ein Reinraumsystem be­ kannt, das eine Zwischendecke mit einem Trägersystem und Deckenmodulen aufweist, die als Filter-Ventilator-Module, als Rückluftmodule und als Blindmodule ausgebildet sind. Durch unterschiedliche Anordnung der verschiedenen Decken­ module werden Zonen unterschiedlichen Reinheitsgrades ein­ gestellt.
Ein weiteres Reinraumsystem mit unterschiedlichen Deckenmo­ dulen ist im Prospekt "Flexi-Reinraum" beschrieben. Dieses System ist ebenfalls nur dazu geeignet, in einem größeren Reinraum kleinere Zonen in Laminar-Flow-Technik mit höheren Reinheitsgraden, z. B. Klasse 100 oder darunter, einzurich­ ten. Eine Anordnung mehrerer Reihen von Filter-Ventilator- Modulen (Filter-Fan-Modulen) ist schon aus Platzgründen nicht möglich.
Voraussetzung der laminaren Strömung im Reinraum ist eine gleichmäßige Geschwindigkeitsverteilung hinter den Hoch­ leistungsschwebstoffiltern, die durch eine gleichmäßige Beaufschlagung der Filter zu erzeugen ist.
Die Hochleistungsschwebstoffilter haben sehr hohe Luft­ widerstände, die die Strömungsgeschwindigkeiten erheblich reduzieren. Wirksam ist daher im wesentlichen nur der statische Druckanteil einer Luftströmung vor den Hoch­ leistungsschwebstoffiltern.
Die Laminar-Flow-Technik erfordert demnach eine möglichst turbulenzarme Luftströmung mit möglichst hohem statischen Druckanteil in der Kammer vor den Hochleistungsschwebstof­ filtern.
Eine turbulenzarme Strömung wird durch eine einseitige Luftzufuhr zu dieser Kammer vor den Hochleistungsschweb­ stoffiltern begünstigt. Der statische Druckanteil einer Strömung kann durch Umwandlung von dynamischem Druck in statischen Druck erhöht werden.
Eine solche Umwandlung wird erreicht, indem die Luft durch ein Kammersystem mit mehreren Kammern geführt und dadurch die Strömungsgeschwindigkeit reduziert wird.
Ein solches Kammersystem weisen aus der DE-U 88 05 774 bekannte, sogenannte Tunnelmodule auf, die zur Bildung von Reinräumen in Laminar-Flow-Technik mit höchsten Reinheits­ graden aneinandergereiht werden.
Ein Tunnelmodul besteht aus einem Oberteil und zwei Seiten­ wänden. Das Oberteil weist ein Kammersystem mit einem Rück­ lufteinlaß, einem Ventilator und übereinanderliegenden Kammern auf, wobei die untere Kammer durch fliesenartig an­ geordnete Hochleistungsschwebstoffilter begrenzt wird. Die Luft wird durch das Kammersystem geführt und durch die Filter dem Reinraum zugeführt.
Bei der Führung der Luft durch das Kammersystem mit mehreren Kammern findet die gewünschte Umwandlung von dynamischem in statischen Druck und damit eine Reduzierung der Strömungsgeschwindigkeit vor den Hochleistungsschweb­ stoffiltern statt. Mit den Tunnelmodulen lassen sich kleinere und mittlere Reinräume schnell auf- und abbauen und vergrößern oder verkleinern. Insbesondere sind sie zum nachträglichen Einbau in vorhandene Gebäude geeignet. Bei Neubauten möchte man jedoch auf doppelte Wände, nämlich die der Tunnelmodule und die des Gebäudes, verzichten und sich nicht auf einen durch die Breite der Tunnelmodule begrenzten Reinraum beschränken.
Aufgabe der Erfindung ist daher, ein Modul gemäß dem Ober­ begriff des Anspruchs 1 zu entwickeln, das zum Aufbau der Decke eines vollständig in Laminar-Flow-Technik beschriebenen Reinraumes geeignet ist.
Die Aufgabe ist durch das Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst.
Durch fliesenartiges Aneinandersetzen der erfindungsgemäßen Module in einer Rahmenkonstruktion kann eine Reinraumdecke in Laminar-Flow-Technik aufgebaut werden. Die Module können zu einer Reinraumdecke beliebiger Größe zusammengesetzt werden, wobei der Austausch einzelner Module z. B. zur Wartung einfach möglich ist.
Durch die Rückluftöffnung in der Decke der Module wird die Rückluft aus dem Plenum zwischen Reinraumdecke und Gehäuse­ decke angesaugt und durch die mit Vorrichtungen zur Schall­ reduzierung versehene obere Kammer zum Ventilator geleitet. Die Größe der Rückluftöffnung ist so bemessen, daß einer­ seits die Strömungsgeschwindigkeit nicht zu groß ist, was bei einer zu kleinen Öffnung der Fall wäre, und anderer­ seits die Strecke in der oberen Kammer zur Schallredu­ zierung ausreichend lang ist.
Die Kombination von einer Schalldämmauskleidung in der oberen Kammer, Schalldämpfkulissen in der mittleren Kammer und einer Schallabsorptionsplatte in der unteren Kammer, gemäß Anspruch 2 ermöglicht eine gute Schallreduzierung bei geringerer Bauhöhe des Moduls und geringerem Gewicht der Schallschutzvorrichtungen verglichen mit den entsprechenden Größen des Tunnelmodules.
Durch den Austausch von Schalldämpfkulissen in der oberen Kammer durch Schalldämmauskleidungen und eine zusätzliche Schallabsorptionsplatte in der unteren Kammer kann die Höhe der oberen Kammer, die Höhe der Schalldämpfkulissen in der mittleren Kammer, damit die Höhe der mittleren Kammer und das Gewicht aller Schallschutzvorrichtungen verringert werden.
Geringere Höhe und geringeres Gewicht sind ein enormer Vorteil bei der Verwendung der Module zum Aufbau einer Reinraumdecke. Sie bedeuten geringere Anforderungen an die die Module tragende Rahmenkonstruktion.
Die Merkmale der Ansprüche 3 bis 9 beeinflussen die durch die mittlere Kammer in die untere Kammer strömende Luft so, daß eine möglichst turbulenzarme Luftströmung mit möglichst hohem statischen Druckanteil in der Kammer vor den Hoch­ leistungsschwebstoffiltern entsteht.
Die zur Öffnung hin abgerundete Schalldämpfkulisse gemäß Anspruch 3 verhindert, ebenso wie die in der Ecke zwischen oberen Zwischenboden und Seitenwand abgerundete obere Schalldämpfkulisse gemäß Anspruch 4, Turbulenzen bei der Umlenkung der strömenden Luft von der mittleren Kammer durch die Öffnung in die untere Kammer.
Der wesentliche Vorteil der Merkmale der Ansprüche 5 bis 9 ist jeweils eine Verbesserung der möglichst verlustarmen Umwandlung von dynamischem Druck in statischen Druck.
Der wesentliche Vorteil eines aus zwei Teilen bestehenden Ventilators gemäß Anspruch 10, dessen Motor über Schwin­ gungsdämpfer im Modul befestigt ist, ist, daß in einem Reinraum mit einer aus den Modulen aufgebauten Reinraum­ decke kaum Vibrationen durch die Ventilatoren auftreten.
Außerdem fallen bei diesem Ventilator Strömungshindernisse durch z. B. Stehbolzen, die die Motorplatte mit der Einlauf­ düse verbinden, weg.
Das Gleichrichteblech gemäß Anspruch 11 führt zu einer Vergleichmäßigung des Luftstromes in der oberen Kammer oberhalb des Ventilators.
Module gemäß Anspruch 12 sind besonders zum Aufbau einer Decke für Reinräume, in denen klimatisierte Luft benötigt wird, geeignet.
Die Erfindung wird anhand zweier, in der Zeichnung schema­ tisch dargestellter Beispiele weiter erläutert.
Fig. 1 zeigt einen vertikalen Schnitt durch ein Modul des ersten Beispiels.
In Fig. 2 ist ein vergrößerter Ausschnitt der Fig. 1 im Bereich um die die mittlere und die untere Kammer verbin­ dende Öffnung dargestellt.
Fig. 3 zeigt den der Fig. 2 entsprechenden Ausschnitt für ein Modul des zweiten Beispiels.
Beispiel 1
Ein Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke weist ein in etwa quaderförmiges Gehäuse mit rechteckigem Grundriß auf, wobei seine Decke 1, seine Seitenwände 2, 3 sowie die in der Zeichnung nicht sichtbaren, zur Zeichenebene parallelen Vorder- und Rückwand aus abgekanteten Blechen bestehen.
Das Modul ist durch zwei Zwischenböden 4, 5 in drei etagen­ artig übereinanderliegende, flache Kammern 6, 7, 8 unter­ teilt, die sich über die gesamte Breite (senkrecht zur Zeichenebene in Fig. 1) erstrecken. Die Kammerhöhen der drei Kammern 6, 7, 8 sind annähernd gleich groß. Die Kammern 6, 7, 8 sind durch wechselseitig angeordnete Öffnungen 9, 10 in den Zwischenböden 4, 5 miteinander verbunden.
Die obere Kammer hat in der Decke 1 eine mit einem Gitter oder einer Regelklappe abgedeckte Rückluftöffnung 11, die sich, ausgehend von der Seitenwand 3, über ein Fünftel bis ein Viertel der Länge des Moduls und über seine gesamte Breite erstreckt. Die Öffnung 9 des oberen Zwischenbodens 4 befindet sich in der Nähe der der Rückluftöffnung 11 gegenüberliegenden Seitenwand 2. Die Öffnung 10 des unteren Zwischenbodens 5 ist ein Spalt, der zwischen dem Rand des unteren Zwischenbodens 5, der nicht ganz an die Seitenwand 3 heranreicht, und der Seitenwand 3 freibleibt.
Die untere Kammer 8 wird nach unten durch drei aneinander­ gesetzte Hochleistungsschwebstoffilter 12 begrenzt, wobei die Hochleistungsschwebstoffilter 12 auf Abkantungen der Seitenwände 2, 3, der Vorder- und der Rückwand aufliegen. Die Hochleistungsschwebstoffilter 12 sind mit Dichtungen und Dichtmasse eingebaut.
In der mittleren Kammer 7 befindet sich ein Ventilator 13, der als gehäuseloser Radialventilator mit Außenläufermotor 15 ausgebildet ist und rückwärts gekrümmte Schaufeln 16 hat. Von oben auf die Einlaufdüse 14 gesehen ist seine Drehrichtung im Uhrzeigersinn. Der Ventilator 13 ist zwei­ geteilt, wobei seine Einlaufdüse 14 in der Öffnung 9 des oberen Zwischenbodens 4 sitzt und am oberen Zwischenboden 4 befestigt ist und sein Außenläufermotor 15 am unteren Zwischenboden 5 befestigt ist. Der Abstand der Ventilator­ achse 17 von der ihr zunächstliegenden Seitenwand 5 ent­ spricht etwa dem 0,8fachen des Durchmessers des Ventila­ tors 13. Ihr Abstand zur Vorderwand beträgt etwa 40% der Breite des Moduls.
Der Außenläufermotor 15 des Ventilators 13 ist auf eine über vier Gummischwingelemente 18 an einem rechteckigen Rahmen 19 befestigte Platte 20 montiert. Der Rahmen 19 ist an vier Stellen in der Nähe der Seitenwand 2, der Vorder­ und der Rückwand über kleine 5 mm dicke (in der Zeichnung nicht zu sehende) Plättchen auf dem Zwischenboden 5 fest­ geschraubt.
In der Decke 1 des Moduls befindet sich genau oberhalb der Einlaufdüse 14 eine weitere Öffnung 21 mit einem Stutzen 22, an dem eine Zufuhrleitung für klimatisierte Luft ange­ schlossen werden kann. Im Bereich der Öffnung 21 ist ein Teil der Decke 1 zur Wartung des Ventilators 13 abnehmbar.
In der oberen Kammer 6 sind die Decke 1, der obere Zwi­ schenboden 4 und die Seitenwände 2, 3 mit einer Schalldämm­ auskleidung 23, z. B. Schalldämmplatten, die aus geschäumtem Kunststoff hergestellt werden und eine pyramiden- oder wabenförmige Oberfläche aufweisen, bedeckt.
Die Schalldämmauskleidung 23 reicht an der Decke 1 von der Rückluftöffnung 11 bis zur Seitenwand 2, wobei die Öffnung 21 ausgenommen ist, und auf dem oberen Zwischenboden 4 von der Seitenwand 3 bis nah an die Einlaufdüse 14. Die Dicke der Schalldämmauskleidung 23 beträgt etwa je ein Viertel der Höhe der oberen Kammer 6, so daß dazwischen ein Spalt verbleibt, dessen Höhe etwa die Hälfte der Kammerhöhe be­ trägt.
Mittig über der Einlaufdüse 14 befindet sich in der oberen Kammer 6 ein Gleichrichteblech 24, das parallel zur Vorder­ und Rückwand steht. Es erstreckt sich von der Seitenwand 2 quer über die Einlaufdüse 14 bis etwas über deren Mitte hinaus.
In der mittleren Kammer 7 sind an den beiden Zwischenböden 4, 5, die die mittlere Kammmer 8 begrenzen, Schalldämpfku­ lissen 25, 26 befestigt, die sich vom Ventilator 13 in Richtung auf die Seitenwand 3 erstrecken. Die obere Schall­ dämpfkulisse 25 reicht bis zur Seitenwand 3, füllt die Ecke zwischen oberem Zwischenboden 4 und Seitenwand 3 und be­ deckt die Seitenwand 3 bis auf Höhe des unteren Zwischen­ bodens 5. Die untere Schalldämpfkulisse 26 reicht bis zur Öffnung 10. Die Höhe H1 der Schalldämpfkulissen 25, 26 an den Zwischenböden 4, 5 und die Höhe H2 des zwischen ihnen verbleibenden Spaltes betragen je etwa ein Drittel der Kammerhöhe, wobei die Höhe H2 des Spaltes etwas größer, z. B. um den Faktor 1, 2, ist als die der Schalldämpfkulissen 25, 26. Die Breite der oberen Schalldämpfkulisse 25 beträgt an der Seitenwand 3 nur etwa ein Viertel ihrer Höhe am oberen Zwischenboden 4.
Durch einen schrägen Verlauf der Schalldämpfkulissen 25, 26 an ihren zum Ventilator 13 weisenden Enden öffnet sich der zwischen ihnen verbleibende Spalt zum Ventilator hin auf etwa doppelte Höhe. Die untere Schalldämpfkulisse 26 ist an ihrem zur Seitenwand 3 weisende Ende abgerundet, wobei der Querschnitt des Endes einen Halbkreis um einen auf halber Höhe H₁ liegenden Mittelpunkt M1 bildet.
Die Schalldämpfkulissen 25, 26 weisen als Abdeckung ein glattes, abriebfestes Glasvlies auf und sind in ihrem Innern mit Mineralwolle gefüllt.
Zwischen dem Ende der unteren Schalldämpfkulisse 26 und der Seitenwand 3 befinden sich zwei nebeneinander angeordnete, von Vorder- zur Rückwand reichende Leitbleche 27, 28. Ihre Querschnitte beschreiben Kreisbögen, wobei der gemeinsame Mittelpunkt M2 ihrer Kreisbögen zum Mittelpunkt M1 etwas zum unteren Zwischenboden 5 hin verschoben ist.
Der Kreisbogen des vor dem Ende der unteren Schalldämpf­ kulisse 26 angeordneten Leitbleches 27 beginnt senkrecht oberhalb der Mittelpunkte M₁, M₂ im Spalt zwischen den Schalldämpfkulissen 25, 26 und verläuft durch die Öffnung 10 in die untere Kammer 8. Er bildet einen vollständigen Halbkreis, d. h. der in Fig. 2 eingezeichnete Winkel α1 zwischen einer horizontalen durch den Mittelpunkt M2 ge­ henden Linie und dem Ende des Kreisbogens beträgt 90°C.
Der Kreisbogen des zweiten Leitbleches 28 beginnt senkrecht oberhalb des Anfanges des Kreisbogens des ersten Leitble­ ches 27 und verläuft ebenfalls durch die Öffnung 10 in die untere Kammer 8. Er bildet jedoch nur einen etwa 120°- Kreisbogen, d. h. der Winkel α2 beträgt 40°C, und endet etwas höher als der Kreisbogen des ersten Leitbleches 27 in der unteren Kammer 8.
Die Höhe H3 des Spaltes zwischen unterer Schalldämpfkulisse 26 und Anfang des Leitbleches 27 beträgt etwa 20 bis 30%, z. B. 25%, und die Höhe H4 des Spaltes zwischen unterer Schalldämpfkulisse 26 und Anfang des Leitbleches 28 etwa 50 bis 66%, z. B. 58%, der gesamten Höhe H2 des Spaltes. Die Differenz zwischen dem Radius R2 des Leitbleches 28 und dem Radius R1 des Leitbleches 27 entspricht der Differenz zwischen Höhe H4 und Höhe H3.
Der untere Zwischenboden 5 ist in der unteren Kammer 8 mit einer Schallabsorptionsplatte 29 bedeckt. Die Schallabsorp­ tionsplatte 29 erstreckt sich von der Seitenwand 2 bis in die Nähe der Öffnung 10, an die sie nicht heranreicht, in deren Richtung sie jedoch abgeschrägt ist. Die Schallab­ sorptionsplatte 29 besteht aus mehreren Schichten, z. B. aus einer aus Kunststoffschaum hergestellten Schicht und einer Bitumenschicht.
Die Strömungsrichtung der Luft ist durch Pfeile symboli­ siert. Die freien Innenräume der oberen Kammer 6 und der mittleren Kammer 7 bilden einen haarnadelförmigen Luftka­ nal. Im Bereich der Seitenwand 3 ist der Luftkanal in der mittleren Kammer 7 durch die beiden Leitbleche 27, 28 in drei Kanäle verzweigt. Die Verzweigung setzt sich in der Öffnung 10 des unteren Zwischenbodens 5 und in einem klei­ nen, sich daran anschließenden Bereich der unteren Kammer 8 fort.
Zum Aufbau einer Reinraumdecke sind die Module über die gesamte Fläche der Reinraumdecke in einer gitterartigen Rahmenkonstruktion fliesenartig aneinandergesetzt.
Im Betrieb wird Rückluft aus dem Plenum zwischen Reinraum­ decke und Gebäudedecke über die Rückluftöffnung 11 und die obere Kammer 6 sowie klimatisierte Luft über die Öffnung 21 angesaugt und über die mittlere und untere Kammer 7, 8 durch die Hochleistungsschwebstoffilter 12 dem Reinraum zugeführt. Die gereinigte Luft durchströmt den gesamten Reinraum laminar.
Beispiel 2
Ein Modul des Beipiels 2 unterscheidet sich von dem des Beipiels 1 darin, daß es nicht drei, sondern zwei Hoch­ leistungsschwebstoffilter 12 aufweist. Sein Grundriß ist dementsprechend quadratisch und die Kammerlängen betragen nur noch zwei Drittel der Kammerlängen des Moduls des Beispiels 1. Breite und Höhe des Moduls und die Höhen der Kammern 6, 7, 8 entsprechen denen des Moduls des Beipiels 1.
In der mittleren Kammer 7 ist dagegen die Höhe H2 des Spaltes zwischen unterer und oberer Schalldämpfkulisse 26, 25 kleiner als die Höhe H1 der Schalldämpfkulissen 25, 26. Die Höhe H2 beträgt in diesem Beipiel zwei Drittel der Höhe H1.
Das Modul des Beipiels 2 unterscheidet sich von dem des Beipiels 1 auch darin, daß die Leitbleche 27, 28 nicht so weit in die untere Kammer 8 hineinragen wie bei diesem, wobei die Winkel α1 und α2 Werte von z. B. 40°C und 20°C annehmen. Die Höhe H3 beträgt ebenfalls 25% und die Höhe H4 50% der gesamten Höhe H2.

Claims (12)

1. Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke in Laminar-Flow- Technik, mit drei durch zwei Zwischenböden unterteilte, übereinanderliegenden Kammern, wobei die Kammern durch wechselseitig angeordnete Öffnungen in den Zwischenböden miteinander verbunden sind, die obere Kammer auf der der Öffnung des oberen Zwischenbodens gegenüberliegenden Seite des Moduls eine Rückluftöffnung aufweist,
in der mittleren Kammer unter der Öffnung des oberen Zwischenbodens ein Ventilator angeordnet ist, die untere Kammer nach unten durch Hochleistungsfilter begrenzt ist und
in den oberen beiden Kammern Vorrichtungen zur Schallre­ duzierung angebracht sind,
dadurch gekennzeichnet, daß sich die Rückluftöffnung (11) in der Decke (1) des Moduls befindet und sich, ausgehend von der Seitenwand (3), über 20 bis 30% seiner Länge und über seine ge­ samte Breite erstreckt.
2. Modul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der oberen Kammer (6) die Decke (1) und der obere Zwischenboden (4) mit Schalldämmauskleidungen (23), in der mittleren Kammer (7) die Zwischenböden (4, 5) mit Schalldämpfkulissen (25, 26) und in der unteren Kammer (8) der untere Zwischenboden (5) mit einer Schallab­ sorptionsplatte (29) versehen sind.
3. Modul nach Anpruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß in der mittleren Kammer (7) die untere Schalldämpfku­ lisse (26) zur Öffnung (10) im unteren Zwischenboden (5) hin abgerundet ist.
4. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der mittleren Kammer (7) die obere Schalldämpfkulisse (25) oberhalb der Öffnung (10) die Ecke zwischen oberem Zwischenboden (4) und Seitenwand (3) ausfüllt, wobei die Ecke zur mttleren Kammer (7) hin abgerundet ist.
5. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der Öffnung (10) mindestens ein abge­ rundetes Leitblech angeordnet ist, das ausgehend von der mittleren Kammer (7) oberhalb der unteren Schalldämpf­ kulisse (26) durch die Öffnung (10) in die untere Kammer (8) ragt.
6. Modul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand des Leitbleches zur unteren Schalldämpfkulisse (26) und ggf. der Abstand der Leitbleche untereinander im Verlauf von der mittleren Kammer (7) zur unteren Kammer (8) zunimmt.
7. Modul nach Anspruch 5 oder 6, gekennzeichnet durch ein Leitblech, das oberhalb der unteren Schalldämpfkulisse (26) auf einer Höhe von 25 bis 40% der Höhe des zwischen unterer und oberer Schalldämpfkulisse (26, 25) verbleibenden Spaltes angeordnet ist.
8. Modul nach Anspruch 5 oder 6, gekennzeichnet durch zwei Leitbleche (27, 28), wobei das erste Leitblech (27) auf einer Höhe von 20 bis 30% und das zweite Leitblech (28) auf einer Höhe von 50 bis 60% der Höhe des zwischen der unteren und der oberen Schalldämpfkulisse (26, 25) ver­ bleibenden Spaltes angeordnet ist.
9. Modul nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das zur Seitenwand (3) hin angeordnete, zweite Leitblech (28) weniger weit als das erste Leitblech (27) in die untere Kammer (8) hineinragt.
10. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Ventilator (13) aus zwei Teilen aufge­ baut ist, wobei seine Einlaufdüse (14) am oberen Zwischenboden (4) befestigt ist und sein Außenläufer­ motor (15) über Schwingungsdämpfer auf dem unteren Zwischenboden (5) befestigt ist.
11. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der oberen Kammer (6) über der Einlauf­ düse (14) ein Gleichrichteblech (24) parallel zur Vorder- und Rückwand von der Seitenwand (2) bis über die Mitte der Einlaufdüse verläuft.
12. Modul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß sich oberhalb der Einlaufdüse (14) in der Decke (1) eine Öffnung (21) zur Zufuhr von klimati­ sierter Luft befindet.
DE4122582A 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke Expired - Fee Related DE4122582C2 (de)

Priority Applications (13)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE9116423U DE9116423U1 (de) 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
DE4122582A DE4122582C2 (de) 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
AT92912382T ATE116053T1 (de) 1991-07-08 1992-06-10 Modul zum aufbau einer reinraumdecke.
DE59201037T DE59201037D1 (de) 1991-07-08 1992-06-10 Modul zum aufbau einer reinraumdecke.
CA002110694A CA2110694A1 (en) 1991-07-08 1992-06-10 Clean-room ceiling module
ES92912382T ES2066621T3 (es) 1991-07-08 1992-06-10 Modulo para conformar una cubierta de espacio puro
DK92912382.6T DK0592472T3 (da) 1991-07-08 1992-06-10 Modul til opbygning af et renrumsloft
EP92912382A EP0592472B1 (de) 1991-07-08 1992-06-10 Modul zum aufbau einer reinraumdecke
RU9294015164A RU2074293C1 (ru) 1991-07-08 1992-06-10 Модуль для конструкции потолка в помещениях стерильной чистоты
PCT/EP1992/001297 WO1993001454A1 (de) 1991-07-08 1992-06-10 Modul zum aufbau einer reinraumdecke
JP4511044A JPH06508913A (ja) 1991-07-08 1992-06-10 クリーンルーム構築用のモジュール
US08/162,012 US5462484A (en) 1991-07-08 1992-06-10 Clean-room ceiling module
GR950400580T GR3015448T3 (en) 1991-07-08 1995-03-17 Clean-room ceiling module.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4122582A DE4122582C2 (de) 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4122582A1 true DE4122582A1 (de) 1993-01-14
DE4122582C2 DE4122582C2 (de) 1994-12-15

Family

ID=6435690

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4122582A Expired - Fee Related DE4122582C2 (de) 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
DE9116423U Expired - Lifetime DE9116423U1 (de) 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
DE59201037T Expired - Fee Related DE59201037D1 (de) 1991-07-08 1992-06-10 Modul zum aufbau einer reinraumdecke.

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE9116423U Expired - Lifetime DE9116423U1 (de) 1991-07-08 1991-07-08 Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
DE59201037T Expired - Fee Related DE59201037D1 (de) 1991-07-08 1992-06-10 Modul zum aufbau einer reinraumdecke.

Country Status (11)

Country Link
US (1) US5462484A (de)
EP (1) EP0592472B1 (de)
JP (1) JPH06508913A (de)
AT (1) ATE116053T1 (de)
CA (1) CA2110694A1 (de)
DE (3) DE4122582C2 (de)
DK (1) DK0592472T3 (de)
ES (1) ES2066621T3 (de)
GR (1) GR3015448T3 (de)
RU (1) RU2074293C1 (de)
WO (1) WO1993001454A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4320162A1 (de) * 1993-06-18 1994-12-22 Krantz Tkt Gmbh Modul für eine Reinraumdecke
EP0768498A3 (de) * 1995-10-13 1999-11-24 JENOPTIK Aktiengesellschaft Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2700203A1 (fr) * 1993-01-04 1994-07-08 Cherrier Gerard Unité autonome de diffusion d'air propre à flux laminaire destinée aux chambres dites "stériles" et aux volumes propres.
DE19511158C2 (de) * 1995-03-27 2000-01-27 Meissner & Wurst Ventilatoreinheit für Reinräume
JP3505066B2 (ja) * 1997-06-20 2004-03-08 株式会社日立産機システム 空気清浄装置
SE513093C2 (sv) 1997-06-27 2000-07-03 Flaekt Ab Fläktmodul för renrumstillämpningar
WO1999011984A1 (en) * 1997-09-03 1999-03-11 Kyodo-Allied Industries Ltd. A method and apparatus for minimising noise from fan filter unit
US6050774A (en) * 1997-10-14 2000-04-18 Huntair Inc. Modular filter fan unit
CA2328226C (en) * 1998-08-24 2004-04-06 Hepa Corporation High filtering efficiency, low energy consumption, and low noise fan filter unit
US6132309A (en) * 1999-03-10 2000-10-17 Panelli; Paul Giulo Modular clean room plenum
DE29916321U1 (de) * 1999-09-16 1999-12-23 M + W Zander Facility Engineering GmbH + Co. KG, 70499 Stuttgart Reinstlufteinrichtung für den Pharmazie-, Lebensmittel- und biotechnischen Bereich
US6220958B1 (en) 2000-01-18 2001-04-24 Air System Components Lp Support bridges for air diffusers including spring loading for air flow control blades
US6290597B1 (en) 2000-01-18 2001-09-18 Air System Components L.P. Air diffuser with adjustable pattern controller blades
US6383241B1 (en) 2000-02-16 2002-05-07 Battelle Memorial Institute Protective filtration system for enclosures within buildings
DE10019543C2 (de) * 2000-04-20 2002-03-07 Fraunhofer Ges Forschung Zuluftelement
US6471582B1 (en) * 2001-08-14 2002-10-29 Applied Optoelectronics, Inc. Adapter for coupling air duct to fan-driven vent
US7597534B2 (en) 2003-03-20 2009-10-06 Huntair, Inc. Fan array fan section in air-handling systems
US11255332B2 (en) 2003-03-20 2022-02-22 Nortek Air Solutions, Llc Modular fan housing with multiple modular units having sound attenuation for a fan array for an air-handling system
US7137775B2 (en) 2003-03-20 2006-11-21 Huntair Inc. Fan array fan section in air-handling systems
US20120195749A1 (en) 2004-03-15 2012-08-02 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices, systems and methods
US8540557B1 (en) 2004-08-02 2013-09-24 Bard Manufacturing Company Wall curb for air treatment system
JP4963976B2 (ja) * 2007-01-26 2012-06-27 ヤマハ発動機株式会社 樹脂ブロックベルトを有するベルト式無段変速機を備えた鞍乗型車両
US8616842B2 (en) 2009-03-30 2013-12-31 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices, systems and method
US9151295B2 (en) 2008-05-30 2015-10-06 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices, systems and methods
US8087492B2 (en) * 2010-03-08 2012-01-03 Huntair, Inc. Methods and systems for integrating sound attenuation into a filter bank
AU2012271641B2 (en) 2011-06-15 2015-10-01 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices and systems
DE102011106512A1 (de) * 2011-06-15 2013-01-03 Steinbeis GmbH & Co. für Technologietransfer vertreten durch STZ EURO Steinbeis-Transferzentrum Energie- Umwelt-Reinraumtechnik Filtervorrichtung
CA2838934C (en) 2011-06-15 2016-08-16 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices, systems and methods
USD698916S1 (en) 2012-05-15 2014-02-04 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device
US10024531B2 (en) 2013-12-19 2018-07-17 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices, systems and methods
US9702576B2 (en) 2013-12-19 2017-07-11 Airius Ip Holdings, Llc Columnar air moving devices, systems and methods
CN103752103A (zh) * 2014-01-26 2014-04-30 苏州新区枫桥净化设备厂 一种净化层流罩
US10221861B2 (en) 2014-06-06 2019-03-05 Airius Ip Holdings Llc Columnar air moving devices, systems and methods
CN106152373B (zh) * 2015-03-25 2019-12-03 大金工业株式会社 空调室内机的控制方法及空调室内机
US20190056122A1 (en) * 2015-04-20 2019-02-21 Synexis Llc Clean Rooms Having Dilute Hydrogen Peroxide (DHP) Gas and Methods of Use Thereof
USD805176S1 (en) 2016-05-06 2017-12-12 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device
USD820967S1 (en) 2016-05-06 2018-06-19 Airius Ip Holdings Llc Air moving device
US10487852B2 (en) 2016-06-24 2019-11-26 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device
USD886275S1 (en) 2017-01-26 2020-06-02 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device
USD885550S1 (en) 2017-07-31 2020-05-26 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device
FR3078144B1 (fr) * 2018-02-19 2020-09-25 Energie Et Transfert Thermique Dispositif de traitement d'air neuf et installation qui en est equipee
USD887541S1 (en) 2019-03-21 2020-06-16 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device
CA3136808A1 (en) 2019-04-17 2020-10-22 Airius Ip Holdings, Llc Air moving device with bypass intake

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0196333A1 (de) * 1984-09-18 1986-10-08 Takasago Thermal Engineering Co. Ltd. Verfahren zur errichtung von sauberen räumen
EP0202110A2 (de) * 1985-05-14 1986-11-20 Flanders Filters, Inc. Reinraum mit laminarer Strömung
DE8805774U1 (de) * 1988-04-30 1988-06-23 Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik
DE3836147A1 (de) * 1988-10-23 1990-04-26 Ltg Lufttechnische Gmbh Reinraumdecke

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1879107A (en) * 1930-11-07 1932-09-27 David H Couch Air or gas washer
FR1105213A (fr) * 1954-04-28 1955-11-29 Dispositif de captation de gouttelettes
JPS6071830A (ja) * 1983-09-29 1985-04-23 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 組替式局所環境制御室
US4560395A (en) * 1984-04-17 1985-12-24 Environmental Air Control, Inc. Compact blower and filter assemblies for use in clean air environments
US4810269A (en) * 1988-04-27 1989-03-07 Stackhouse Associates, Inc. Point one micron filtering system
SU1641401A1 (ru) * 1988-12-27 1991-04-15 Украинский научно-исследовательский институт природных газов Устройство дл удалени жидкости из потока газа

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0196333A1 (de) * 1984-09-18 1986-10-08 Takasago Thermal Engineering Co. Ltd. Verfahren zur errichtung von sauberen räumen
EP0202110A2 (de) * 1985-05-14 1986-11-20 Flanders Filters, Inc. Reinraum mit laminarer Strömung
DE8805774U1 (de) * 1988-04-30 1988-06-23 Babcock-BSH AG vormals Büttner-Schilde-Haas AG, 4150 Krefeld Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik
DE3836147A1 (de) * 1988-10-23 1990-04-26 Ltg Lufttechnische Gmbh Reinraumdecke

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4320162A1 (de) * 1993-06-18 1994-12-22 Krantz Tkt Gmbh Modul für eine Reinraumdecke
EP0768498A3 (de) * 1995-10-13 1999-11-24 JENOPTIK Aktiengesellschaft Einrichtung zur Erzeugung eines gereinigten, turbulenzarmen Luftstromes zur Versorgung lokaler Reinräume

Also Published As

Publication number Publication date
DE4122582C2 (de) 1994-12-15
EP0592472B1 (de) 1994-12-21
ATE116053T1 (de) 1995-01-15
DE9116423U1 (de) 1992-09-17
DK0592472T3 (da) 1995-05-29
DE59201037D1 (de) 1995-02-02
EP0592472A1 (de) 1994-04-20
US5462484A (en) 1995-10-31
GR3015448T3 (en) 1995-06-30
ES2066621T3 (es) 1995-03-01
JPH06508913A (ja) 1994-10-06
RU2074293C1 (ru) 1997-02-27
CA2110694A1 (en) 1993-01-21
WO1993001454A1 (de) 1993-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4122582C2 (de) Modul zum Aufbau einer Reinraumdecke
EP0497296B1 (de) Filter-Ventilator-Einrichtung zur Verwendung bei Reinräumen
DE4328995C2 (de) Reinraumanlage
DE3330536A1 (de) Deckenkonstruktion fuer reinraeume
EP0340433B1 (de) Tunnelmodul zum Aufbau eines Reinraumes in Laminar-Flow-Technik
DE102008051032A1 (de) Modulares und Fassaden-integriertes Lüftungs- und Klimasystem
DE19511158A1 (de) Ventilatoreinheit für Reinräume
EP2354686B9 (de) Deckenluftauslass für Zuluft und Induktion von Raumluft in horizontaler Richtung einer klimatechnischen Anlage
DE4015665A1 (de) Klimasystem fuer mehrraumgebaeude
DE4115171C2 (de) Ventilator-Filtereinheit für Reinraumdecken
DE3805873A1 (de) Luftauslasssystem in elementbauweise
EP0563509B1 (de) Quelluftdurchlass für raumlufttechnische Anlagen
DE20300465U1 (de) Be- und Entlüftungsanlage mit Gegenstrombetrieb
DE9012650U1 (de) Raumabgrenzende Decke
EP3085846A1 (de) Überströmelement und wandelement
EP0893655B1 (de) Wärmestation für eine Warmluft-Kirchenheizung
EP0895035A2 (de) Dämmsystem für Gebäudefassaden
DE4103026C1 (de)
DE4320162C2 (de) Modul für eine Reinraumdecke
EP0433612B1 (de) Wetterschutz-Abdeckung für Lüftungsvorrichtungen
DD298841A5 (de) Warmluftheizeinrichtung fuer einen kirchenraum
DE29704427U1 (de) Filter-Ventilator-Einheit
DE3327785C2 (de)
DE9319483U1 (de) Vorrichtung zur Belüftung und/oder Klimatisierung von wärmeabgebenden Einrichtungen
DE8303226U1 (de) Schalldaempfer-kulisse fuer den sockelschalldaempfer eines dachventilators

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee