DE3738343A1 - Schaltkreissubstrat - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft ein Schaltkreissubstrat, das
elektrische Elemente, wie Kondensator-, Widerstands-
und Induktionselemente enthält. Sie betrifft insbeson
dere ein Schaltkreissubstrat, das eine Keramikviel
schichtstruktur mit den vorgenannten elektrischen
Elementen, die durch diskrete chipartige elektronische
Bauteile ausgebildet sind, aufweist. Die Erfindung
betrifft außerdem insbesondere ein verbessertes leiten
des Material, mit dem man elektrische Verbindungen
zwischen chipartigen elektronischen Bauteilen schaffen
kann.
Zur Herstellung eines elektronischen Schaltkreises mit
hoher Dichte und/oder verschiedenartigen Funktionen ist
es vorteilhaft, ein Schaltkreissubstrat anzugeben, auf
dem die verschiedenen elektronischen Bauteile auf
gebracht sind, die als elektrische Elemente, wie als
Kondensatoren, Widerstände und Induktoren, bestimmte
Funktionen erfüllen, wobei als weitere Funktion das
bloße Zusammenhalten und Verbinden der elektronischen
Bauteile hinzukommt. So ist beispielsweise ein Substrat,
das aus einer Keramikvielschichtstruktur besteht, z. B.
ein Keramikvielschichtsubstrat, geeignet, die vorgenannten
Erfordernisse zu erfüllen.
In einem Bericht mit dem Titel "Multilayer Ceramic
Substrate" werden von Susumu Nishigaki in Electronic
Ceramics, Gakken-sha, Band 16, (75), May 1985, auf den
Seiten 61 bis 71, verschiedene Arten von Keramikmehr
schichtstrukturen vorgestellt. In diesem Bericht werden
die Keramikmehrschichtsubstrate nach dem Verfahren
ihrer Herstellung grob in solche unterteilt, die nach
dem "Naßverfahren" unter Verwendung von Rohkeramik
schichten, d. h. grünen bzw. ungebrannten Keramikschich
ten, und solche, die nach dem "Trockenverfahren" unter
Verwendung von gebrannten Keramikplatten hergestellt
werden. Man hat dann weiterhin die nach dem "Naßverfahren"
erhaltenen Mehrschichtsubstrate genauer in die "Grün
schicht-Mehrschichtsubstrate" und "Druckmehrschichtsub
strate" eingeteilt.
Man erhält das "Grünschicht-Mehrschichtsubstrat" in der
Weise, daß man eine beliebige Vielzahl von Keramikgrün
schichten, auf die man dicke Filme aus einer dielektri
schen oder isolierenden Paste, einer Widerstandspaste
und/oder einer Leiterpaste gedruckt hat, herstellt,
laminiert, auf die Grünschichten einen Druck ausübt und
diese gemeinsam brennt. Eine solche Mehrschichtstruktur
kann mit Schaltkreiselementen, wie Kondensatoren,
Widerständen und Induktoren, gebildet werden.
Das "Druckmehrschichtsubstrat" erhält man in der Weise,
daß man das Verfahren zur Herstellung einer Grünschicht,
auf die ein dicker Film aus einer Widerstandspaste
und/oder Leiterpaste gedruckt worden ist, beliebig
wiederholt, eine dielektrische oder isolierende Paste
darauf druckt, dieses trocknet und wieder nach Belieben
eine dielektrische oder isolierende Paste, eine
Widerstandspaste und/oder Leiterpaste aufdruckt.
Bei dem "Trockenverfahren" verwendet man eine gebrannte
Keramikplatte, bei der man das Auftragen eines Wider
standspastenfilms und/oder eines Leiterpastenfilms
darauf beliebig wiederholt, diese trocknet und brennt
und nach einem ähnlichen Verfahren eine Isolierschicht
aufbringt.
Die vorgenannten herkömmlichen Verfahren oder die dabei
erhaltenen Substrate bergen die folgenden Probleme,
welche zu lösen sind.
In einen nach dem "Trockenverfahren" erhaltenen Keramik
mehrschichtsubstrat aus dem "Grünschicht-Mehrschichtsub
strat" und dem "Druckmehrschichtsubstrat" liegen die
Grünschichten, der dielektrische oder isolierende
Pastenfilm, der Widerstandspastenfilm und/oder der
Leiterpastenfilm geschrumpft bzw. zusammengezogen und
deformiert vor, so daß es schwierig ist, die charakte
ristischen Muster, wie den elektrostatischen Kapazitäts
wert, den Widerstandswert und den Induktionswert, des
in dem Substrat ausgebildeten Kondensatorelements,
Widerstandselements bzw. Induktionselements zu erhalten.
Das Verfahren zur Herstellung des "Grünschicht-Mehrschicht
substrats" erfordert vor dem Brennen ein Druckaufschla
gen, so daß Deformation ebenfalls während des
Druckaufschlagens stattfindet. Das "Naßverfahren" zur
Herstellung des Mehrschichtsubstrats erfordert ein
gleichzeitiges Brennen der Keramikgrünschichten mit dem
dielektrischen oder isolierenden Pastenfilm, dem Wider
standspastenfilm und/oder dem Leiterpastenfilm. Das
heißt also, daß der verwendete Widerstandspastenfilm
und/oder Leiterpastenfilm ebenfalls hohe Temperaturen
in einer Atmopshäre unter Brennbedingungen ausgesetzt
werden. Daraus folgt, daß das Keramikmaterial zur
Bildung der Keramikgrünschichten oder der dielektrische
Pastenfilm aus einem Material beschaffen sein muß, das
bei einer derartigen Temperatur in einer derartigen
Atmosphäre gebrannt werden kann, ohne daß sich die
Eigenschaften der Widerstandspaste und/oder Leiterpaste
verschlechtern, wodurch sich die Auswahl verwendbarer
Keramikmaterialien beträchtlich verringert. Ein Keramik
material, das bei relativ niedrigen Temperaturen gebrannt
werden kann, besitzt im allgemeinen eine geringe dielek
trische Konstante, so daß es schwierig ist, ein Konden
satorelement mit hoher elektrostatischer Kapazität
herzustellen. Der Widerstandspastenfilm dagegen muß dem
Brennen des Keramikmaterials widerstehen können, so daß
es mit Schwierigkeiten verbunden ist, einen spezifischen
Widerstand des das Widerstandselement bildenden Widerstandes
zu erreichen.
Ein besonderes Problem des "Druckmehrschichtsubstrats"
ist darin zu sehen, daß sich die Ebenheit bzw. Flach
heit der Oberfläche, die bedruckt werden soll, nach und
nach verschlechtert, wenn das Bedrucken mit der dielektri
schen oder isolierenden Paste, der Widerstandspaste
und/oder der Leiterpaste wiederholt wird. Es ist daher
schwierig, die Anzahl der Schichten des Mehrschichtsub
strats zu erhöhen. Infolgedessen hat es sich als sehr
schwierig erwiesen, die Elektroden zur Ausbildung der
Kapazität in einem Kondensatorelement vielschichtig zu
gestalten, so daß es also schwierig ist, ein Kondensator
element mit großer Kapazität in dem Vielschichtsubstrat
zu bilden. Da sich weiterhin die zu bedruckende Oberfläche
nach und nach hinsichtlich ihrer Flachheit bzw. Ebenheit
verschlechtert, kann man die Lage und das Druckmuster
der Widerstandspaste und/oder Leiterpaste nicht entspre
chend dem Entwurf aufbringen. Es ist also auch in
diesem Punkt schwierig, einen Widerstandswert, einen
elektrostatischen Kapazitätswert und einen Induktionswert
entsprechend der Entwurf zu erhalten.
Bei dem "Naßverfahren" andererseits wird ein Druck
schritt durchgeführt, der sich ähnlich zu dem vorge
nannten Verfahren zur Herstellung des "Druckmehrschicht
substrats" verhält, so daß man wieder einem Problem,
das ähnlich dem bereits angesprochenen Problem hin
sichtlich des "Druckmehrschichtsubstrats" ist, gegen
übersteht.
Es ist also Aufgabe der Erfindung, ein Keramikmehr
schichtsubstrat anzugeben, welches die beschriebenen
Nachteile überwindet.
Diese Aufgabe wird nun gelöst durch das Schaltkreissub
strat gemäß dem Hauptanspruch. Die Unteransprüche be
treffen besonders bevorzugte Ausführungsformen des An
meldungsgegenstandes.
Die Erfindung betrifft daher ein Schaltkreissubstrat
aus
einer Keramikmehrschichtstruktur 10 mit einer Vielzahl von Keramikschichten 2-7, die eine erste Keramikschicht 3-6 mit einem Hohlraum 44-49 aufweisen, und einer ersten und zweiten Hauptoberfläche 8, 9, die einander gegenüberliegend angeordnet sind;
einem chipartigen elektronischen Bauteil 26-28, das sich in dem Hohlraum 44-49 befindet, mit äußeren An schlußelektroden 29-34 aus einem Metall, das hauptsäch lich aus mindestens einem der Elemente Nickel, Kupfer und Palladium besteht, und
elektrischen Verbindungseinrichtungen (15-20), die aus einem hauptsächlich aus Kupfer bestehenden Metall ge bildet sind, welche mit den äußeren Anschlußelektroden verbunden sind und von denen sich ein Teil in das Innere der Keramikschichtstruktur erstreckt.
einer Keramikmehrschichtstruktur 10 mit einer Vielzahl von Keramikschichten 2-7, die eine erste Keramikschicht 3-6 mit einem Hohlraum 44-49 aufweisen, und einer ersten und zweiten Hauptoberfläche 8, 9, die einander gegenüberliegend angeordnet sind;
einem chipartigen elektronischen Bauteil 26-28, das sich in dem Hohlraum 44-49 befindet, mit äußeren An schlußelektroden 29-34 aus einem Metall, das hauptsäch lich aus mindestens einem der Elemente Nickel, Kupfer und Palladium besteht, und
elektrischen Verbindungseinrichtungen (15-20), die aus einem hauptsächlich aus Kupfer bestehenden Metall ge bildet sind, welche mit den äußeren Anschlußelektroden verbunden sind und von denen sich ein Teil in das Innere der Keramikschichtstruktur erstreckt.
Die erfindungsgemäße Keramikmehrschichtstruktur enthält
daher ein zuvor hergestelltes diskretes chipartiges
elektronisches Bauteil und ermöglicht daher die folgenden
Vorteile: das chipartige elektronische Bauteil selbst
wird während des Brennens und des vorgeschalteten
Druckauflegens zur Herstellung der Keramikschichtstruktur
nicht wesentlich defomiert, so daß beispielsweise der
mit dem chipartigen elektronischen Bauteil erreichte
elektrostatische Kapazitätswert, der Widerstandswert
oder der Induktionswert im wesentlichen im Einklang mit
dem Entwurf gehalten werden kann. Die Keramikschichtstruk
tur besitzt weiterhin einen Hohlraum, worin sich das
chipartige elektronische Bauteil befindet, so daß sich
die Hauptoberfläche der Keramikschichtstruktur dadurch,
daß das chipartige elektronische Bauteil (in der Struktur)
enthalten ist, im Hinblick auf ihre Flachheit bzw.
Ebenheit nicht verschlechtert. Die Anzahl der Schichten
der Schichtstruktur kann daher problemlos erhöht werden.
Eine Vielzahl von chipartigen elektronischen Bauteilen
kann weiterhin beliebig dreidimensional in die Schicht
struktur integriert werden, währenddem die bereits
schon angesprochene Flachheit bzw. Ebenheit der Haupt
oberfläche erhalten bleibt. Das chipartige elektronische
Bauteil kann, falls notwendig, so angeordnet werden,
daß es vollständig im Inneren der Keramikschichtstruktur
eingebettet ist, wodurch eine Verbesserung des Umgebungs
widerstandes, wie des Feuchtigkeitswiderstands, des
chipartigen elektronischen Bauteils erreicht werden
kann. Weiterhin kann man durch eine Keramikschichtka
pazität eine große elektrostatische Kapazität erhalten,
um somit aus einem chipartigen elektronischen Bauteil
einen Kondensator zu bilden.
Die äußeren Anschlußelektroden des chipartigen elektro
nischen Bauteils bestehen erfindungsgemäß aus einem
Metall, das hauptsächlich mindestens eines der Elemente
Nickel, Kupfer und Palladium umfaßt, währenddem die
elektrischen Verbindungseinrichtungen aus einem Metall
hergestellt sind, das hauptsächlich aus Kupfer besteht.
Diese Materialien hat man aus folgenden Gründen ge
wählt: Äußere Anschlußelektroden von chipartigen elek
tronischen Bauteilen sind bisher im allgemeinen aus
Silber hergestellt worden. Wenn jedoch die äußere
Anschlußelektrode aus Silber und die elektrische Ver
bindungseinrichtung aus Kupfer, die mit der äußeren
Anschlußelektrode verbunden werden soll, einer hohen
Temperatur ausgesetzt werden, so kommt es in der Kon
taktstelle zwischen dem Silber und Kupfer zu einer
eutektischen Reaktion, wobei sich eine eutektische
Legierung bildet, die einen extrem niedrigen Schmelzpunkt
besitzt. Das hat zur Folge, daß die in der Kontaktstelle
gebildete eutektische Legierung zwischen der äußeren
Anschlußeleketrode und der elektrischen Verbindungsein
richtung herausfließt, was zu einem ungenügenden elek
trischen Kontakt zwischen der äußeren Anschlußelektrode
und der elektrischen Verbindungseinrichtung führt. Wenn
jedoch die äußere Anschlußelektrode und die elektrische
Verbindungseinrichtung aus einem im wesentlichen iden
tischen Metall, was in der Hauptsache Kupfer ist, her
gestellt ist, kommt es zu keinem durch das Herausfließen
des Metalls in der Kontaktstelle zwischen der äußeren
Anschlußelektrode und der elektrischen Verbindungsein
richtung hervorgerufenen ungenügenden Kontakt, selbst
wenn diese hohen Temperaturen unterworfen werden. Die
äußere Anschlußelektrode und die elektrische Verbindungs
einrichtung werden während des Brennens zur Herstellung
der Keramikschichtstruktur hohen Temperaturen ausgesetzt.
Wenn die äußere Anschlußelektrode andererseits aus
einem Metall, das aus anstatt des Kupfers hauptsächlich
aus Nickel oder Palladium besteht, hergestellt ist, so
wird die Schmelztemperatur in der Kontaktstelle zwischen
der äußeren Anschlußelektrode und der elektrischen
Verbindungseinrichtung nicht erniedrigt, da Nickel oder
Palladium und Kupfer eine vollständige Legierung des
Fest-Flüssig-Systems ausbilden. Demzufolge fließt kein
Metall aus der Kontaktstelle zwischen der äußeren
Anschlußelektrode und der elektrischen Verbindungsein
richtung, ähnlich wie im bereits beschriebenen Fall der
aus Kupfer bestehenden Anschlußelektrode heraus, so daß
ein genügender Kontakt in der Kontaktstelle gewährleistet
ist.
Das erfindungsgemäße chipartige elektronische Bauteil
kann zuvor hergestellt werden, wobei das Material dazu
und die Methode zu seiner Herstellung aus einer relativ
großen Auswahl gewählt werden können. In einer bevorzugten
Ausbildungsform bildet man eine Vielzahl von Keramikschich
ten, die in der Keramikschichtstruktur eingeschlossen
ist, aus einem Keramikmaterial, das man bei niedrigen
Temperaturen in einer reduzierenden Atmosphäre brennen
kann, um somit die Oxidation des Kupfers zu verhindern,
das sowohl in den äußeren Anschlußelektroden als auch
in den elektrischen Verbindungseinrichtungen oder in
den elektrischen Verbindungseinrichtungen unter Hochtem
peraturbedingungen enthalten sein kann. Wenn das chip
artige elektronische Bauteil ein Kondensator sein soll,
so ist es bevorzugt, ein Dielektrikum aus einer nichtre
duzierenden Keramik zu verwenden, währenddem ein Film
aus einem nichtreduzierenden Widerstandsbauteil vorzugs
weise auf einem Keramiksubstrat ausgebildet ist, wenn
das chipartige elektronische Bauteil ein Widerstand
sein soll.
Falls das chipartige elektronische Bauteil weiterhin
einen Keramikschichtkondensator mit einer inneren Elek
trode darstellen soll, so ist z. B. eine solche innere
Elektrode vorzugsweise aus einem Metall gebildet, das
hauptsächlich aus zumindest einem der Elemente Nickel,
Kupfer und Palladium besteht. Der Grund ist darin zu
sehen, daß Nickel oder Palladium mit Kupfer eine voll
ständige Legierung des Fest-Flüssig-Systems bildet, so
daß sich der Schmelzpunkt an der Kontaktstelle zwischen
der inneren Elektrode und der äußeren Anschlußelektrode
nicht erniedrigt. Das hat zur Folge, daß das Metall in
der Kontaktstelle zwischen der Nickel oder Palladium
enthaltenden inneren Elektrode oder äußeren Anschlußelek
trode oder inneren Elektrode nicht schmilzt, so daß ein
guter Kontakt zwischen beiden gewährleistet ist. Wenn
die äußere Anschlußelektrode und die innere Elektrode
aus Nickel, Kupfer oder Palladium bestehen, so findet
keine eutektische Reaktion, durch die der Schmelzpunkt
unter Bildung des vorgenannten schlechten Kontakts
erniedrigt wird, statt, da die äußere Anschlußelektrode
und die innere Elektrode im wesentlichen aus dem gleichen
Metall bestehen. Wenn die äußere Anschlußelektrode aus
Palladium und die innere Elektrode aus Nickel bestehen
oder auch umgekehrt, so wird es zu keiner Erniedrigung
des Schmelzpunktes in der Kontaktstelle, wie dies schon
ähnlich der Fall bei der Kombination von Kupfer und
Nickel oder Palladium war, kommen.
Die Erfindung sei im folgenden näher unter Bezugnahme
auf die Zeichnungen erläutert. In den
Zeichnungen zeigt
Fig. 1 eine vergrößerte Schnittansicht eines Schalt
kreissubstrats gemäß einer Ausführungsform
der Erfindung;
Fig. 2 ein entsprechendes Schaltkreisdiagramm gemäß
des in Fig. 1 gezeigten Schaltkreissubstrat
und
Fig. 3 eine Explosionsteildarstellung des Zusammen
baus des in Fig. 1 gezeigten Schaltkreissub
strats.
Betrachtet man Fig. 1, so muß bemerkt werden, daß die
Größe des Schaltkreissubstrats 1 in senkrechter Rich
tung beträchtlich vergrößert ist im Vergleich zu der
dazu senkrecht verlaufenden Längsrichtung. Das Schaltkreis
substrat 1 umfaßt eine Keramikschichtstruktur 10 mit
einer Vielzahl von Keramikschichten 2, 3, 4, 5, 6 und 7
und einer ersten und zweiten Hauptoberfläche 8 und 9,
die gegenüberliegend angeordnet sind.
Die Keramikschichtstruktur 10 weist eine Vielzahl von
elektrischen Verbindungsdurchgängen 11, 12, 13 und 14
auf, die durch Durchgangslöcher definiert werden, die
in den Keramikschichten 2 bis 6 gebildet sind, so daß
sich Leiter 15, 16, 17 und 18 in den elektrischen
Verbindungsdurchgängen 11, 12, 13 bzw. 14 ausbilden.
Ein Leiter 19 befindet sich entlang der Grenzfläche
zwischen den Keramikschichten 6 und 7 und ist elektrisch
mit dem Leiter 15 verbunden. Ein anderer Leiter 20
befindet sich entlang der Grenzfläche zwischen den
Keramikschichten 3 und 4 und ist mit dem Leiter 16
elektrisch verbunden. Die Schaltkreismuster 21 und 22
sind auf der ersten Hauptoberschicht 8 der Keramikschicht
struktur 10 ausgebildet. Das Schaltkreismuster 21 ist
mit dem Leiter 15 elektrisch verbunden, während das
Schaltkreismuster 22 in der Regel mit den Leitern 17
und 18 verbunden ist.
Die Keramikschichtstruktur 10 beinhaltet weiterhin die
Zwischenräume 23, 24 und 25, die durch die Hohlräume
definiert werden, die in den Keramikschichten 3 bis 6
zur Aufnahme von beispielsweise chipartiger passiver
elektronischer Bauteile ausgebildet sind. Gemäß einer
Ausführungsform nehmen die Zwischenräume 23 und 24 die
Keramikschichtkondensatoren 26 bzw. 27 auf, währenddem
der Zwischenraum 25 einen chipartigen Widerstand 28
aufnimmt. Der Keramikschichtkondensator 26 weist eine
äußere Anschlußelektrode 29, die mit dem Leiter 19
elektrisch verbunden ist, und eine andere äußere Anschluß
elektrode 30, die mit dem Leiter 16 elektrisch verbunden
ist, auf. Der Keramikschichtkondensator 27 besitzt eine
äußere Anschlußelektrode 31, die mit dem Leiter 20
elektrisch verbunden ist, sowie eine andere äußere
Anschlußelektrode 32, die mit dem Leiter 17 elektrisch
verbunden ist. Der Widerstand 28 weist eine äußere
Anschlußelektrode 33, die mit dem Leiter 18 elektrisch
verbunden ist, sowie eine äußere Anschlußelektrode 34,
die mit dem Leiter 19, elektrisch verbunden ist, auf.
Das in Fig. 1 gezeigte Schaltkreissubstrat bildet daher
den in Fig. 2 gezeigten Schaltkreis zwischen den
Schaltkreismustern 21 und 22.
Es soll nun hauptsächlich unter Bezugnahme von Fig. 3
ein beispielhaftes Verfahren zur Herstellung des in
Fig. 1 gezeigten Schaltkreissubstrats beschrieben wer
den. Als Keramikschichten 2 bis 7 verwendet man die
Keramik-Grünschichten, d. h. die ungebrannten Keramik
schichten oder -blätter 102, 103, 104, 105, 106 und
107, die man bei niedrigen Temperaturen in einer reduzie
renden Atmosphäre sintern kann. Die Grünschichten 102
bis 106 werden in der Weise hergestellt, daß sie an den
entsprechenden Stellen die Durchgangslöcher 35 bis 39
aufweisen, die zusammen so ausgerichtet sind, daß sie
den schon vorher beschriebenen elektrischen Verbindungs
durchgang 11 bilden. Das Grünblatt 104 stellt man mit
einem Durchgangsloch 40 her, um somit den schon beschrie
benen elektrischen Verbindungsdurchgang 12 zu bilden.
Man versieht die Grünschicht 102 unter Bildung des
elektrischen Verbindungsdurchgangs 13 mit einem Durchgangs
loch 41. Man stellt die Grünblätter 102 und 103 in der
Weise her, daß sich an den entsprechenden Stellen die
Durchgangslöcher 42 und 43 befinden, die zusammen so
ausgerichtet sind, daß sie den elektrischen Verbindungs
durchgang 14 bilden.
Man stellt die Grünblätter 105 und 106 mit dadurch
senkrecht verlaufenden Löchern her, so daß sich die
Hohlräume 44 und 45 bilden, die zusammen so ausgerichtet
sind, daß sie den schon erwähnten Zwischenraum 23
bilden. Man stellt das Grünblatt 103 mit einem dadurch
senkrecht verlaufenden Loch her, um somit den Hohlraum
46 zu bilden, der wiederum den bereits schon erwähnten
Zwischenraum 24 bildet. Man stellt die Grünschichten
104, 105 und 106 mit dadurch senkrecht verlaufenden
Löchern her, um somit die Hohlräume 47, 48 und 49 zu
bilden, die miteinander in der Weise angeordnet sind,
daß sie den schon angesprochenen Zwischenraum 25 bilden.
Die Leiterpastenteile 50, 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57
und 58 , die ein Metall enthalten, das hauptsächlich aus
Kupfer besteht, werden in die betreffenden Durchgangs
löcher 35 bis 43, die in den Grünschichten 102 bis 106
ausgebildet sind, eingebettet. Das Leiterpastenteil 50
wird in der Weise ausgebildet, daß man die Leiterpaste
unter Ausdehnung zur Hauptoberfläche der Grünschicht
102 aufdruckt, um somit gleichzeitig das schon erwähnte
Schaltkreismuster 21 herzustellen. Das Leiterpastenteil
55 trägt man in der Weise auf, daß man die Leiterpaste
unter Ausdehnung zu einer Hauptoberfläche der Grünschicht
104 aufdruckt, um somit gleichzeitig den bereits ge
nannten Leiter 20 zu bilden. Die Leiterpastenteile 56
und 57 werden in der Weise aufgebracht, daß man die
Leiterpaste unter Ausdehnung zu einer Hauptoberfläche
der Grünschicht 102 aufdrückt, um somit gleichzeitig
das bereits schon erwähnte Schaltkreismuster 22 zu bil
den. Das Leiterpastenteil 59 druckt man auf eine Haupt
oberfläche der Grünschicht 107 unter Bildung des schon
genannten Leiters 19 auf.
Die Keramikschichtkondensatoren 26 und 27 und den
Widerstand 28 stellt man andererseits aus vorgefertig
ten Teilen her. Diese Elemente setzt man beispielsweise
in die vorbestimmten Hohlräume 44 bis 49 , zumindest
bevor man die Hohlräume 44 bis 49 zur regelmäßigen
Schichtbildung der Grünschichten 102 und 107 verschließt,
ein. Die Schichtanordnung der Grünschichten 102 bis 107
ist in Fig. 3 gezeigt. Man setzt sie dann unter Druck
und brennt in einer reduzierenden Atmosphäre bei einer
relativ niedrigen Temperatur. Man erhält dann das in
Fig. 1 gezeigte Schaltkreissubstrat.
In der vorgenannten Ausführungsform sind die Leiter 15
bis 20, die als elektrische Verbindungseinrichtungen
dienen, aus einem Metall gebildet, das hauptsächlich
aus Kupfer besteht. Die äußeren Anschlußelektroden 29
bis 34 sind aus einem Metall gebildet, das hauptsäch
lich aus mindestens einem der Elemente Nickel, Kupfer
und Palladium besteht. Wie man teilweise aus Fig. 3
entnehmen kann, ist die innere Elektrode 60 des Keramik
schichtkondensators 26 aus einem Metall gebildet, das
hauptsächlich aus mindestens einem der Elemente Nickel,
Kupfer und Palladium besteht. Der Widerstand 28 wird
hergestellt, indem man einen Widerstandsfilm 62 aus
einem Widerstandsbestandteil auf einem Keramiksubstrat
61 aufbringt und die äußeren Anschlußelektroden 33 und
34 mit beiden Enden des Widerstandsfilms 62 verbindet.
Man stellt die Grünschichten 102 bis 107 aus einem Ke
ramikmaterial her, das man bei niedrigen Temperaturen
in einer reduzierenden Atmosphäre sintern kann, welches
von Gakken-sha in Electronic Ceramics, Band 16, (74),
März 1985, auf den Seiten 18 bis 19 beschrieben ist.
Als Ausgangssubstanzen verwendet man Al2O3-, CaO,
SiO2-, MgO-, B2O3-Keramikpulver und kleinere Mengen an
Additiven. Diese Keramikpulver vermischt man mit einem
Bindemittel und formt beispielsweise mit einem Abstreich
messer Lagen mit einer Dicke von 200 µm und erhält
somit die Grünschichten 102 bis 107. Dielektrische
Eigenschaften bleiben in den auf diese Weise hergestellten
Grünschichten 102 bis 107 erhalten, auch wenn man sie
in einer reduzierenden Atmosphäre, wie in einer Stickstoff
atmosphäre, brennt. Man sintert dann die Grünschichten
102 bis 107 bei einer relativ niedrigen Temperatur von
etwa 900 bis 1000°C.
Die in den Keramikschichtkondensatoren 26 und 27 ent
haltenden Dielektrika werden aus einem nichtreduzie
renden Keramikmaterial gebildet. Bei den nachfolgend
beschriebenen Zusammensetzungen handelt es sich um
solche nichtreduzierenden dielektrischen Keramikzuammen
setzungen.
- 1. Nichtreduzierende dielektrische Keramikzusammen
setzungen in dielektrischen Bariumtitanat-Keramik
zusammensetzungen der folgenden Summenformel:
{(Ba1 - x Ca z )O} m · (Ti1 - y Zr y )O2,worin m, x und y auf folgende Bereiche begrenzt
sind:1,005 ≦ m ≦ 1,03
0,02 ≦ x ≦ 0,22 und
0 < y ≦ 0,20. - 2. Nichtreduzierende dielektrische Keramikzusammen
setzung in dielektrischen Bariumtitanat-Keramikzu
sammensetzungen der folgenden Summenformel:
{(Ba1 - x - y Ca x Sr y )O} m · TiO2,worin m, x bzw. y in folgenden Bereichen liegen:1,005 ≦ m ≦ 1,03,
0,02 ≦ x ≦ 0,22 und
0,05 ≦ y ≦ 0,35. - 3. Nichtreduzierende dielektrische Keramikzusammen setzungen in dielektrischen Bariumtitanat-Keramik zusammensetzungen der folgenden Summenformel: {(Ba1 - x - y Ca x Sr y )O} m · (Ti1 - z Zr z )O2,worin m, x, y bzw. z in folgenden Bereichen liegen:1,005 ≦ m ≦ 1,03, 0,02 ≦ x ≦ 0,22, 0,05 ≦ y ≦ 0,35 und 0,00 < z ≦ 0,20.
- 4. Nichtreduzierende dielektrische Keramikzusammen setzungen aus CaZrO3 und MnO2 der folgenden allge meinen Formel: Ca x ZrO3 + MnO2,worin x von Ca x ZrO3 in den nachfolgend beschriebenen Bereichen liegt und MnO2 (=y) den folgenden Gewichts bereich einnimmt, wenn das Gewicht von Ca x ZrO3 1,00 beträgt:0,85 ≦ x ≦ 1,30 0,05 ≦ y ≦ 0,08 (Gewichtsanteil)
- 5. Nichtreduzierende dielektrische Keramikzusammen setzungen aus (BaCa)ZrO3 und MnO2 der folgenden allgemeinen Formel: (Ba x Ca1 - x ) y ZrO3 + zMnO2,worin x und y von (Ba x Ca1 - x ) y ZrO3 in den folgenden Bereichen liegt und MnO2 (= z) das folgende Gewichts verhältnis einnimmt, wenn das Gewicht von (Ba x Ca1- x ) y ZrO3 1,00 beträgt:0 < x ≦ 0,20 0,85 ≦ y ≦ 1,30 0,005 ≦ z ≦ 0,08 (Gewichtsverhältnis).
In der US-Patentschrift 44 51 869 wird das obige nicht
reduzierende Keramikmaterial und auch eine Methode zur
Herstellung eines Keramikschichtkondensators unter
Verwendung eines solchen nicht reduzierenden Keramik
materials beschrieben. Die Keramikschichtkondensatoren
26 und 27 sind mit den Dielektrika aus nichtreduzie
rendem Keramikmaterial in der Weise hergestellt worden,
daß die Kondensatoren 26 und27 ihre charakteristischen
Eigenschaften nicht verlieren, wenn sie sogar während
des Brennens der Grünblätter 102 bis 107 in eine redu
zierende Atmosphäre gebracht werden.
Man bildet den Widerstandsfilm 62 des Widerstands 28
mit einem nichtreduzierenden Widerstandsbestandteil.
Ein solches nichtreduzierendes Widerstandsbestandteil
kann man vorteilhafterweise z. B. nach der Methode, wie
sie in der deutschen Patentschrift 21 58 781 beschrieben
ist, herstellen. Gemäß dieser Patentschrift besteht der
nichtreduzierende Widerstandsbestandteil des Widerstands
materials beispielsweise aus Bor-Lanthan oder Bor-Yttrium
und nichtreduzierendem Glas. Diese nichtreduzierenden
Widerstandsbestandteile bringt man auf das Keramiksub
strat 61 auf und brennt dann in einer reduzierenden
Atmosphäre und erhält dann schließlich den gewünschten
Widerstand 28. Eine Veränderung der Eigenschaften tritt
nicht ein, wenn man diesen Widerstand 28 verwendet, und
selbst auch dann nicht, wenn man ihn während des Bren
nens der Grünschichten 102 bis 107 einer reduzierenden
Atmosphäre aussetzt.
Obwohl die äußeren Anschlußelektroden 29 bis 34 aus
einem Metall gebildet sind, das hauptsächlich aus min
destens einem der Elemente Nickel, Kupfer und Palladium
besteht, und die Leiter 15 bis 20, die als elektrische
Verbindungsvorrichtungen dienen, aus einem Metall ge
bildet sind, das hauptsächlich gemäß der obigen Ausfüh
rungsform aus Kupfer besteht, können andere Metalle,
wie Platin, Silber, Nickel, Palladium und dergleichen
in einer Menge hinzugefügt werden, daß die Eigenschaf
ten des Nickels, Kupfers oder Palladiums nicht beein
trächtigt werden. Dieses trifft ebenfalls auf die
innere Elektrode 60 zu.
Man bildet die äußeren Anschlußelektroden 29 bis 34 in
der Weise, daß man eine das oben beschriebene Metall
enthaltende Paste auf die Körper der chipartigen elek
tronischen Bauteile 26 bis 28 aufbringt und diese
brennt. Der Brennvorgang zur Herstellung der äußeren
Anschlußelektroden 29 bis 34 kann gleichzeitig mit dem
Brennen der Grünschichten 102 bis 107 durchgeführt
werden. Das heißt also, daß die äußeren Anschlußelek
troden 29 bis 34 auf den Keramikschichtkondensatoren 26
und 27 und dem Widerstand 28 bereits vorgesintert sein
können, wenn diese Elemente in die Hohlräume 44 bis 49
während des Schichtaufbaus der Grünschichten 102 bis
107 eingesetzt werden.
Es sei festgestellt, daß das in Fig. 1 gezeigte Schalt
kreissubstrat nur ein Beispiel darstellt, um auf ein
fache Weise die Erfindung zu erläutern. Die Art, die
Anzahl und auch der Verbindungsaufbau der in dem erfin
dungsgemäßen Schaltkreissubstrat verwendeten chiparti
gen elektronischen Bauteile ändern sich daher jeweils
entsprechend dem gewünschten Schaltkreis. Obwohl die
Hohlräume zur Aufnahme der chipartigen elektronischen
Bauteile gemäß der vorgenannten Ausführungsform durch
die Durchgangslöcher in den die Keramikschichtstruktur
bildenden Keramikschichten definiert sind, können sich
diese Hohlräume auch in Aushöhlungen, die nicht durch
die Keramikschichten führen, befinden.
Claims (16)
1. Schaltkreissubstrat,
gekennzeichnet durch
- - eine Keramikschichtstruktur (10) mit einer Vielzahl von Keramikschichten (2-7), die eine erste Keramikschicht (3-6) mit einem Hohlraum (44-49) aufweisen, und einer ersten und zweiten Hauptoberfläche (8, 9), die einander gegenüber liegend angeordnet sind;
- - ein chipartiges elektronisches Bauteil (26-28) mit äußeren Anschlußelektroden (29-34), das sich in dem Hohlraum (44-49) befindet und
- - elektrische Verbindungseinrichtungen (15-20), die mit den äußeren Anschlußelektroden verbunden sind, und von denen sich ein Teil in das Innere der Keramikschichtstruktur erstreckt,
wobei die äußeren Anschlußelektroden aus einem
Metall gebildet sind, das hauptsächlich aus
mindestens einem der Elemente Nickel, Kupfer und
Palladium besteht,
und die elektrischen Verbindungseinrichtungen aus einem hauptsächlich aus Kupfer bestehenden Metall gebildet sind.
und die elektrischen Verbindungseinrichtungen aus einem hauptsächlich aus Kupfer bestehenden Metall gebildet sind.
2. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das chipartige elektronische Bauteil (26) eine
innere Elektrode (60) aufweist, die aus einem
Metall gebildet ist, das hauptsächlich aus minde
stens einem der Elemente Nickel, Kupfer und Palla
dium besteht.
3. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Keramikschichtstruktur eine zweite Keramik
schicht (2) mit einem ersten Durchgangsloch (35,
41, 42) aufweist.
4. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Keramikschichtstruktur eine dritte Keramik
schicht (7) ohne Hohlraum aufweist.
5. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Keramikschicht in dem Schichtaufbau
der aus einer Vielzahl von Keramikschichten beste
henden Keramikschichtstruktur zwischengelagert
ist.
6. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Hohlraum ein Loch aufweist, das senkrecht
durch die erste Keramikschicht führt.
7. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrischen Verbindungseinrichtungen ein
leitendes Materialteil (19, 20) aufweisen, das
sich entlang der Grenzfläche zwischen einem
benachbarten Keramikschichtpaar aus der Vielzahl
von Keramikschichten erstreckt.
8. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrischen Verbindungseinrichtungen ein
in dem ersten Durchgangsloch ausgebildetes leitendes
Materialteil (50, 56, 57) aufweisen.
9. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Keramikschicht ein zweites Durch
gangsloch (36-40, 43) und die elektrischen Verbin
dungseinrichtungen ein in dem zweiten Durchgangs
loch ausgebildetes leitendes Materialteil (51-55,
58) aufweisen.
10. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrischen Verbindungseinrichtungen
einen leitenden Film (21, 22) aufweisen, der sich
über die erste Hauptoberfläche (8) der
Keramikschichtstruktur erstreckt.
11. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die in der Keramikschichtstruktur enthaltene
Vielzahl von Keramikschichten aus einem Keramikma
terial, das bei niedrigen Temperaturen in einer
reduzierenden Atmosphäre gesintert werden kann,
hergestellt worden ist.
12. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß das chipartige Bauteil aus einem Kondensator
(26, 27) mit einem Dielektrikum aus nichtreduzieren
der Keramik besteht.
13. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß das chipartige elektronische Bauteil aus einem
Widerstand (28) mit einem auf einem Keramiksub
strat (61) ausgebildeten Film (62) aus einem
nichtreduzierenden Bestandteil besteht.
14. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß das chipartige elektronische Bauteil aus einem
Keramikschichtkondensator (26, 27) besteht.
15. Schaltkreissubstrat nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Keramikschicht (3-6) ein erstes
Durchgangsloch (36-40, 43), und die Keramikschicht
struktur eine zweite Keramikschicht (2) mit einem
zweiten Durchgangsloch (35, 41, 42) und eine
dritte Keramikschicht (7) ohne Hohlraum aufweisen,
wobei die elektrischen Verbindungseinrichtungen
ein erstes leitendes Materialteil (19, 20), das
sich entlang der Grenzfläche zwischen einem benach
barten Paar aus Keramikschichten aus der Vielzahl
von Keramikschichten (2-7), erstreckt, und ein
zweites, in den ersten und zweiten Durchgangslöchern
ausgebildetes leitendes Materialteil (15-18)
aufweisen.
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