DE3644310A1

DE3644310A1 - Keramisch beschichtetes laminat und verfahren zu dessen herstellung

Info

Publication number: DE3644310A1
Application number: DE19863644310
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Hasegawa; Mitsuhiro Inoue
Original assignee: Hitachi Chemical Co Ltd
Current assignee: Showa Denko Materials Co ltd
Priority date: 1985-12-26
Filing date: 1986-12-23
Publication date: 1987-07-02
Anticipated expiration: 2006-12-24
Also published as: GB2185437A; GB2185437B; DE3644310C2; GB8630311D0; US4713284A

Description

Die Erfindung betrifft keramisch beschichtete Laminate für gedruckte Leitungs- bzw. Schaltungsplatten mit ausge zeichneter Hitzebeständigkeit und thermischer Leitfähig keit und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.

Bislang werden als bedruckte Schaltungs- bzw. Leitungs platten hauptsächlich Phenolharzlaminate und Epoxyharz laminate verwendet. Mit der derzeitigen Forderung nach einer Abpackung der Teile mit hoher Dichte, die durch die höhere Leistung und Miniaturisierung von elektronischen Vorrichtungen bedingt ist, treten Probleme hinsichtlich der Verdichtung der so erzeugten Wärme auf. Da diese her kömmlichen Substrate aus organischem Material wegen ihrer schlechten thermischen Leitfähigkeit eine schlechte Wär mezerstreuung besitzen und auch eine schlechte Hitzebe ständigkeit aufweisen, ist es schwierig, diese Substrate aus organischem Material für ein Packen mit hoher Dichte zu verwenden. Als Substrate mit ausgezeichneter thermischer Leitfähigkeit sind keramische Substrate aus Aluminiumoxid und dergleichen sowie Metallkernsubstrate, erhalten durch Beschichten einer Metallplatte als Kern mit einer isolieren den Schicht, bekannt geworden. Im Hinblick auf die Hitze beständigkeit sind auch schon Substrate entwickelt worden, die unter Verwendung hitzebeständiger Harze wie Polyimiden, Polyethern, Etherketonen, Polysulfonen und dergleichen an stelle der herkömmlichen Phenolharze und Epoxyharze erhal ten worden sind.

Diese Substrate sind aber noch mit vielen Problemen be haftet. So haben zum Beispiel Substrate, die aus keramischen Stoffen wie Aluminiumoxid, Siliciumcarbid, Berylliumoxid etc. hergestellt sind, zwar eine ausgezeichnete thermische Leitfähigkeit und Hitzebeständigkeit, doch sind die Pro duktionsstufen bei ihrer Herstellung kompliziert und die Verarbeitbarkeitder erhaltenen Produkte ist schlecht. Wei terhin ist die mechanische Festigkeit der erhaltenen Pro dukte nur niedrig, und es können keine großdimensionierten Substrate wegen der Einschränkung auf die Größe des Sub strats und dergleichen erhalten werden. Metallkernsubstra te, erhalten durch Bildung von mit einem gewebten Flächenge bilde verstärkten Harzschichten auf den Oberflächen eines Kerns aus einer Metallplatte, können die hohe thermische Leitfähigkeit des Metallkerns nicht genügend nutzen. Sie sind daher hinsichtlich ihrer Wärmezerstreuungseigenschaften nicht ausreichend, da die aus einem Harz mit niedriger ther mischer Leitfähigkeit hergestellte isolierende Schicht die elektrisch leitenden Teile, die zu einer Schaltung ver formt werden sollen, berührt. Da weiterhin das Kernmaterial aus einem Metall gebildet ist, ist die Bildung von durch gehenden Löchern nicht einfach und erfordert sehr kompli zierte Produktionsstufen. Was die hitzebeständigen Harz substrate betrifft, so sind diese zwar hinsichtlich der Hitzebeständigkeit verbessert, doch können aufgrund der niedrigen thermischen Leitfähigkeit der Harze keine guten Hitzezerstreuungseigenschaften erwartet werden.

Um die obengenannten Nachteile zu überwinden, ist schon ein Verfahren vorgeschlagen worden, bei dem eine Keramik mit einer Plasmaflamme auf ein übliches Substat einer gedruckten Schaltung aufgespritzt wird, um eine isolierende Schicht mit guter thermischer Leitfähigkeit zu bilden. Darauf wird eine elektrische Schaltung gebildet (JP-OS 60-62 186). Wenn eine Keramik in einfacher Weise auf ein gewöhnliches Substrat einer gedruckten Schaltung durch Flammspritzen aufgebracht wird, dann ist die Klebfestigkeit zwischen der keramischen Schicht und dem Substrat aufgrund der unterschiedlichen thermischen Expansionskoeffizienten der keramischen Schicht und des Substrats und dergleichen nicht ausreichend. Des wegen ist die Bildung von elektrischen Schaltungen mit ge nügender Verläßlichkeit schwierig. Wenn eine dickere kera mische Schicht gebildet wird, um die Wärmeleitfähigkeit zu verbessern, dann tritt das Problem auf, daß die keramische Schicht von dem übrigen Substrat aufgrund unterschied licher thermischer Ausdehnungskoeffizienten und derglei chen abblättert.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein keramisch beschich tetes Laminat zur Verfügung zu stellen, bei dem die oben erwähnten Defekte überwunden worden sind und das dazu imstande ist, in der gleichen Weise wie herkömmliche Sub strate aus organischem Material verarbeitet zu werden. Dieses Laminat soll eine ausgezeichnete thermische Leit fähigkeit und Hitzebeständigkeit besitzen. Durch die Erfindung soll weiterhin ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Laminats zur Verfügung gestellt werden.

Durch die Erfindung wird daher ein keramisch beschichtetes Laminat zur Verfügung gestellt, das dadurch gekennzeichnet ist, daß es eine Vorimprägnierungsschicht eines gewebten Flächengebildes, eine oder ein Paar von durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schichten, die mit der Vorim prägnierungsschicht aus dem gewebten Flächengebilde ver bunden ist bzw. sind, und eine oder ein Paar von Kupfer folien, die an die durch Flammspritzen aufgebrachten kera mischen Schichten gebunden ist bzw. sind, enthält.

Durch die Erfindung wird weiterhin ein keramisch beschich tetes Laminat zur Verfügung gestellt, das dadurch gekenn zeichnet ist, daß es durch Flammspritzen einer Keramik auf eine Oberfläche einer Metallplatte, um darauf eine ke ramische Schicht zu bilden, Dazwischenlegen bzw. schicht weises Anordnen einer Anzahl von Vorimprägnierungsproduk ten eines gewebten Flächengebildes zwischen ein bzw. einem Paar der keramisch beschichteten Metallplatten, so daß die keramischen Schichten mit den Vorimprägnierungsprodukten in Berührung stehen, oder Laminierung einer Anzahl von Vor imprägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes auf die keramisch beschichtete Metallplatte, so daß die ke ramische Schicht mit dem Vorimprägnierungsprodukt in Be rührung steht, Heißverpressen der resultierenden laminier ten Elemente und Abziehen der Metallplatte oder der Metall platten hergestellt worden ist.

Die Erfindung wird anhand der beigefügten Zeichnungen nä her erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Querschnitt eines Beispiels eines er findungsgemäßen keramisch beschichteten La minats;

Fig. 2 eine schematische Ansicht, die die Stufe des Flammaufspritzens der Keramik zeigt;

Fig. 3 und 4 Querschnitte, die die Stufe der Heißverpressung der keramisch beschichteten Laminate zeigen,;

Fig. 5 einen Querschnitt, der ein weiteres Beispiel einer Laminatkonstruktion zeigt; und

Fig. 6 einen Querschnitt eines weiteren Beispiels eines erfindungsgemäß keramisch beschichteten Laminats.

Die Fig. 1 stellt eine Querschnittsansicht eines er findungsgemäßen, mit Kupfer plattierten, keramisch be schichteten Laminats dar. Das Bezugszeichen 1 bezeichnet eine Kupferfolie, das Bezugszeichen 2 bezeichnet eine durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht, und das Be zugszeichen 3 bezeichnet eine Laminatschicht, erhalten durch Laminierung und Härtung einer vorbestimmten An zahl von Schichten eines Vorimprägnierungsprodukts eines gewebten Flächengebildes.

Als Harz für das Vorimprägnierungsprodukt eines gewebten Flächengebildes können im Hinblick auf die elektrischen Eigenschaften, die Verformbarkeit und die Verarbeitbarkeit vorzugsweise Epoxyharze und Polyimidharze verwendet werden. Es ist auch möglich, wärmehärtende Harze, wie Phenolharze, ungesättigte polyesterharze, Melaminharze, Vinylesterharze und dergleichen, sowie thermoplastische Harze, wie Polysul fone, Polyetheretherketone, Polyethersulfone, Polyether imide etc., zu verwenden.

Als Fasern für das gewebte Flächengebilde können herkömmlicher weise verwendete Glasfasern, Aramidfasern, Kevlar-Fasern (Warenzeichen für ein Produkt von E. I. du Pont de Nemours & Co.), Papier, SiC-Fasern, Siliciumdioxidfasern etc. ver wendet werden.

Das Vorimprägnierungsprodukt eines gewebten Flächenge bildes bzw. das Vorimprägnierungsprodukt aus einem geweb ten Flächengebilde kann durch herkömmliche Methoden herge stellt werden.

Die erfindungsgemäß resultierenden kupferplattierten Lami nate können einfachseitig kupferplattierte Laminate oder doppelseitig kupferplattierte Laminate sein.

Was die Keramiken betrifft, so sind solche, die Aluminiumoxid oder Siliciumcarbid entweder allein oder als Hauptkompo nente enthalten, vom Standpunkt der elektrischen Isolierungs eigenschaften und der thermischen Leitfähigkeit vorzu ziehen. Es ist auch möglich, andere Keramiken, wie Alu miniumnitrid, Spinell, Mullit, Berylliumoxid etc., mit guter thermischer Leitfähigkeit und guten elektrischen Isolie rungseigenschaften je nach den im Einzelfall geforderten Eigenschaften zu verwenden.

Das durch Flammspritzen erfolgende Aufbringen der Keramik kann in der Weise durchgeführt werden, daß man ein kera misches Pulver durch eine Hochtemperaturatmosphäre schleu dert, so daß das Keramikpulver durch Erhitzen sofort in den geschmolzenen Zustand überführt wird. Das geschmolzene Pulver wird nach einem herkömmlichen Verfahren an die Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstands gebunden.

Genauer gesagt, es kann ein Plasmaflammspritzverfahren un ter Verwendung einer Plasmaflammspritzvorrichtung, ein Gas flammspritzverfahren, ein Wasserplasmaspritzverfahren und dergleichen angewendet werden.

Es wird bevorzugt, im allgemeinen ein keramisches Pulver mit einer Teilchengröße von 10 bis 50 µm zu verwenden.

Die Dicke der durch Flammspritzen aufgebrachten Keramik schicht ist vorzugsweise 20 bis 500 µm, mehr bevorzugt 20 bis 200 µm. Wenn die Dicke weniger als 20 µm ist, dann kön nen keine ausreichenden Effekte hinsichtlich der Hitzebe ständigkeit und der thermischen Leitfähigkeit erhalten werden, während umgekehrt, wenn die Dicke mehr als 500 µm beträgt, die Verarbeitbarkeit, z.B. die Bohrverarbeitbar keit, schlechter wird und die Kosten in unerwünschter Weise gesteigert werden.

Die durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht kann dadurch gebildet werden, daß man entweder ein kera misches Pulver auf eine Kupferfolie durch Flammspritzen aufbringt oder daß man das keramische Pulver auf eine Seite des Vorimprägnierungsprodukts des gewebten Flächenge bildes durch Flammspritzen aufbringt. Im erstgenannten Fall werden ein oder mehrere Vorimprägnierungsprodukte von ge webten Flächengebilden zwischen die durch Flammspritzen auf gebrachten keramischen Schichten auf den Kupferfolien gelegt (im Falle einer doppelseitigen Beschichtung) oder auf die durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht auf der Kupferfolie laminiert (im Falle einer ein seitigen Beschichtung) und heißverpreßt. Im letzteren Fall wird eine Kupferfolie oder ein paar von Kupferfolien, die mit einem Klebstoff beschichtet ist bzw. sind, auf eine durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht oder ein Paar von durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schichten der Vorimprägnierungsprodukte aus gewebtem Flä chengebilde aufgebracht, während eine vorgewählte Anzahl von Vorimprägnierungsprodukten von gewebten Flächengebilden zwischen oder auf die nichtflammbespritzte Seite oder die nichtflammbespritzten Seiten der Vorimprägnierungs produkte des gewebten Flächengebildes oder des Vorimpräg nierungsprodukts gelegt oder laminiert und heiß verpreßt werden.

Das Heißverpressen kann nach herkömmlichen Methoden durch geführt werden, wie sie zur Herstellung von üblichen la minierten Substraten für gedruckte Schaltungsplatten ange wendet werden.

Bei der in Fig. 2 gezeigten Herstellung eines doppelseitig mit Kupfer plattierten, keramisch beschichteten Laminats unter Verwendung von Kupferfolien, von denen eine Seite mit einem keramischen Pulver durch Flammspritzen beschich tet worden ist, wird ein Argongasstrom 4 zu einer Plasma flammenspritzvorrichtung geleitet. An die Elektroden 5 und 5′ wird eine Spannung angelegt, um durch Bogenbildung ein Plasma zu erzeugen. Zur gleichen Zeit wird ein zugeführtes keramisches Pulver 6 durch die hohe Temperatur des Plasmas geschmolzen, und die geschmolzene Keramik wird geschleudert. Die geschmolzene Keramik wird auf einer Kupferfolie 8 ab geschieden und darauf gebunden. Diese wird von einer Zu führungswalze 7 zugeführt. Auf diese Weise wird eine durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht 9 auf der Kupferfolie gebildet. Die auf diese Weise mit der Keramik durch Flammspritzen beschichtete Kupferfolie wird nachein ander durch eine Aufwickelungswalze 10 aufgewickelt, wo durch in kontinuierlicher Weise eine durch Flammspritzen mit Keramik beschichtete Kupferfolie erzeugt wird. Die Tem peratur des dem Flammspritzen ausgesetzten Teils der Kupfer folie wird durch eine Kühlwalze 12, durch die Kühlwasser 11 hindurchgeleitet wird, kontrolliert, so daß die Bildung von Falten aufgrund einer thermischen Ausdehnung der Kupfer folie verhindert wird. Sodann wird, wie in Fig. 3 gezeigt, eine vorgewählte Anzahl (zum Beispiel 6 Blätter) von Vor imprägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes 13 (zum Beispiel mit einer Dicke von 0,2 mm) zwischen die Kupferfolien 8, die die durch Flammspritzen aufgebrachten Keramikschichten 9 aufweist, gelegt. Das resultierende laminierte Material wird zwischen eine obere Heizplatte 14 und eine untere Heizplatte 15 gelegt und heißverpreßt (zum Beispiel bei 170°C, 50 kg/cm², 2 Stunden lang), wodurch das gewünschte keramisch beschichtete La minat erhalten wird.

Im Falle der Herstellung eines doppelseitig mit Kupfer plattierten keramisch beschichteten Laminats unter Ver wendung von Vorimprägnierungsprodukten von gewebten Flä chengebilden, von denen eine Seite mit einem keramischen Pulver durch Flammspritzen beschichtet worden ist, wird das keramische Pulver in der gleichen Weise, wie oben beschrie ben, auf ein Vorimprägnierungsprodukt eines gewebten Flä chengebildes durch Flammspritzen aufgebracht. Sodann wer den, wie in Fig. 4 gezeigt wird, die Vorimprägnierungs produkte des gewebten Flächengebildes mit den darauf durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schichten 9, auf denen eine vorgewählte Anzahl von Vorimprägnierungspro dukten eines gewebten Flächengebildes zwischen die nicht flammbespritzten Seiten gelegt worden sind, zwischen Kupferfolien 8, die Klebstoffschichten 16 auf weisen, die mit den durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schichten in Berührung kommen sollen, ange ordnet. Das resultierende laminierte Material wird zwischen eine obere Erhitzungsplatte 14 und eine untere Erhitzungs platte 15 gelegt und heißverpreßt, wodurch das gewünschte keramisch beschichtete Laminat erhalten wird.

In der gleichen Weise, wie oben beschrieben, kann ein auf einer Seite mit Kupfer plattiertes keramikbeschichtetes Laminat hergestellt werden.

Das erfindungsgemäße keramisch beschichtete Laminat hat eine verbesserte Klebkraft zwischen der keramischen Schicht und der Schicht des Vorimprägnierungsprodukts. Ein Grund dafür ist wie folgt. Wenn die Kupferfolien mit der darauf durch Flammspritzen aufgebrachten Keramik, die zwischen die eine Anzahl von Vorimprägnierungsprodukten eines ge webten Flächengebildes gelegt sind, heißverpreßt werden oder wenn die Kupferfolien mit Klebstoffschichten, die zwischen den durch Flammspritzen mit Keramik beschichteten Vorim prägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes ge legt sind, zwischen denen eine Anzahl von Vorimprägnierungs produkten eines gewebten Flächengebildes gelegt sind, heiß verpreßt werden, dann wird die Viskosität des Harzes in den Vorimprägnierungsprodukten in der Anfangsstufe des Ver formens erniedrigt, und das Harz imprägniert die Poren in den durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schichten. Durch Härten des Harzes in einem solchen Zustand wirkt das Harz als Klebstoff für die Vorimprägnierungsproduktschicht und die keramische Schicht, und zur gleichen Zeit wird die Klebfestigkeit durch mechanische Wirkungen erhöht.

Indem weiterhin die Poren in der durch Flammspritzen auf gebrachten keramischen Schicht durch das Harz, das die Poren imprägniert hat, abgeschlossen wird, wird die Klebfestig keit verbessert, und zur gleichen Zeit werden verschiedene Eigenschaften, wie die dielektrische Festigkeit, die Wasser beständigkeit etc., der durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schicht verbessert.

Weiterhin kann die Dicke der keramischen Überzugsschicht nach dem bekannten Verfahren, vom Standpunkt der Klebfestig keit her gesehen, nicht gesteigert werden. Dagegen kann erfindungsgemäß die Dicke der keramischen Schicht erhöht werden, ohne daß die Klebfestigkeit erniedrigt wird, während die thermische Leitfähigkeit und die Hitzezerstreuungseigen schaften verbessert werden.

Andererseits kann erfindungsgemäß ein keramisch beschich tetes Material hergestellt werden, das keine Kupferfolien auf den Oberflächen aufweist. Dabei wird eine Keramik auf eine Metallplatte durch Flammspritzen aufgebracht, wodurch darauf eine keramische Schicht gebildet wird. Eine Anzahl von Vorimprägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebil des wird zwischen einem Paar der keramisch beschichteten Metallplatten in der Weise angeordnet, daß die kera mischen Schichten mit den Vorimprägnierungsprodukten in Berührung kommen, oder es wird eine Anzahl von Vorimpräg nierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes auf die keramisch beschichtete Metallplatte so auflaminiert, daß die keramische Schicht mit einem Vorimprägnierungsprodukt in Kontakt kommt. Die resultierenden laminierten Elemente werden heißverpreßt, und die Metallplatte bzw. die Metall platten wird bzw. werden abgezogen. Das so hergestellte, keramisch beschichtete Laminat hat eine verbesserte Kleb festigkeit zwischen der keramischen Schicht und der Vor imprägnierungsproduktschicht und eine gute Glätte der äußersten keramischen Schichten.

Im allgemeinen haben eine Keramik, die ein anorganisches Material ist, und ein Harz, das ein organisches Material ist, einander gegenüber eine schlechte Klebfestigkeit, was auf Unterschiede der Materialien und der thermischen Aus dehnungskoeffizienten zurückzuführen ist. Wenn daher eine Keramik durch Flammspritzen auf eine Oberfläche eines Sub strats aufgebracht wird, dann ist es nach dem Verformen schwierig, eine ausreichende Klebfestigkeit zu erhalten. Da weiterhin die Oberfläche der durch Flammspritzen aufge brachten Schicht, so wie sie ist, rauh ist, sollte die Oberfläche einer Polierbehandlung unterworfen werden, um sie zu glätten, um darauf eine elektrische Schaltung zu bilden.

Da jedoch gemäß der vorliegenden Erfindung das keramisch beschichtete Laminat durch Flammspritzen einer Keramik auf eine Metallplatte, Zwischenlegung einer Anzahl von Vorim prägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes zwischen ein Paar der keramisch beschichteten Metallplatten, Heißverpressen der resultierenden laminierten Elemente und Abziehen der Metallplatten hergestellt wird, schmilzt das Harz in den Vorimprägnierungsprodukten zu dem Zustand einer niedrigen Viskosität, imprägniert die in der rauhen, durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schicht vorhandenen Poren und härtet darin aus, so daß die Klebstofffläche zu nimmt, was eine gute Klebfestigkeit ergibt. Da weiterhin die Metallplatte nach der Heißverpressung entfernt wird, hat die durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht, die auf der Oberfläche auftritt, eine glatte Oberfläche, da die Ober fläche der Metallplatte, so wie sie ist, überführt worden ist. Daher ist keine Polierbehandlung notwendig, und darauf können ohne irgendeine Behandlung elektrische Schaltungen bzw. Schaltkreise gebildet werden.

Als Metallplatte kann eine Eisenplatte, eine Aluminium platte, eine Edelstahlplatte oder dergleichen verwendet werden.

Um die Metallplatte leicht von der keramischen Schicht ab zuziehen, ist es zu bevorzugen, kein Sandstrahlen der Me tallplatte vor dem Flammspritzen durchzuführen oder ein solches Sandstrahlen nur in geringem Ausmaß durchzuführen. Damit die Metallplatte einfacher abgezogen werden kann, ist es zweckmäßig, die Metallplatte einer Formtrennbehandlung zu unterwerfen, indem darauf ein Formtrennmittel, zum Bei spiel vom Silicontyp oder Fluortyp, abgeschieden wird, wel ches herkömmlicherweise beim Formen von Kunststoffen ver wendet wird.

Wie oben erwähnt, kann in einfacher Weise ein Laminat er halten werden, das Keramikschichten auf beiden Seiten eines Substrats aus einem organischen Material (Vorimprägnierungs produkt) aufweist. Bei dieser Ausführungsform ist, da die durch Flammspritzen aufgebrachte keramische Schicht auf der Metallplatte gebildet ist und die Vorimprägnierungspro dukte zwischen ein Paar der keramischbeschichteten Metall platten sind, und wegen des anschließenden Heißver pressens, die Klebfestigkeit zwischen der keramischen Schicht und der Schicht des Vorimprägnierungsprodukts sehr gut. Da weiterhin die glatte Oberfläche der Metallplatte auf die Oberfläche der keramischen Schicht, so wie sie ist, über führt worden ist, ist die Oberfläche des resultierenden ke ramisch beschichteten Laminats sehr glatt, und es können darauf ohne irgendeine Vorbehandlung elektrische Schalt kreise bzw. Schaltungen bzw. Verdrahtungen gebildet werden.

Die oben beschriebene Ausführungsform wird genauer unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert.

Die Fig. 5 ist ein Querschnitt einer Laminatkonstruktion, und die Fig. 6 ist ein Querschnitt eines keramisch be schichteten Laminats.

Nach dem Aufschichten eines Silicon-Formtrennmittels auf eine Oberfläche einer Edelstahlplatte 21 (2 mm dick) mit glatten Oberflächen wird darauf eine Aluminiumoxidschicht 22 mit einer Dicke von etwa 100 µm durch Flammspritzen ge bildet, wobei Aluminiumoxid unter Verwendung einer Plasma flammspritzvorrichtung aufgespritzt wird. Ein Paar von so behandelten Edelstahlplatten und imprägnierte Glastuch-Epoxy harz-Vorimprägnierungsprodukte 23 (zum Beispiel 6 Schichten jeweils mit einer Dicke von 0,2 mm) werden, wie in Fig. 5 gezeigt, laminiert und heißverpreßt (zum Beispiel bei 170°C, 50 kg/cm², 2 Stunden lang). Nach dem Abkühlen des resul tierenden Formkörpers werden die Edelstahlplatten abgezogen, wodurch ein Laminat erhalten wird, das Aluminiumoxidschich ten auf den Oberflächen besitzt, wie es in Fig. 6 gezeigt ist. In der gleichen Weise, wie oben beschrieben, kann ein einseitig keramisch beschichtetes Laminat hergestellt werden.

Das resultierende keramisch (mit Aluminiumoxid) beschichtete Laminat hat glatte Aluminiumoxidschichten, und die Kleb festigkeit zwischen der Aluminiumoxidschicht und dem Epoxy harz (Vorimprägnierungsproduktschicht) ist gut. Da das keramisch beschichtete Laminat Aluminiumoxidschichten mit guter thermischer Leitfähigkeit auf seinen Oberflächen be sitzt, hat es ausgezeichnete Hitzezerstreuungseigenschaften und eine gute Hitzebeständigkeit. Weiterhin hat es eine gute Bogenbeständigkeit und gute Gleichlaufbeständigkeit. Da weiterhin der Kern dieses Laminats ein herkömmlicher weise verwendetes Glas-Epoxysubstrat ist, kann die Bildung von Durchgangslöchern und die Porbearbeitung nach herkömm licherweise angewendeten Methoden durchgeführt werden.

Erfindungsgemäß können einfacherweise keramisch beschichte te Laminate mit ausgezeichneter thermischer Leitfähigkeit und Hitzebeständigkeit hergestellt werden. Die resultieren den Laminate haben weiterhin sowohl eine ausgezeichnete Verformbarkeit und Verarbeitbarkeit, die sich von den ver wendeten organischen Substraten (Vorimprägnierungsprodukte aus mit Harz imprägniertem gewebtem Flächengebilde) herlei ten, und eine ausgezeichnete Hitzebeständigkeit und thermi sche Leitfähigkeit, die sich von den keramischen Substraten (durch Flammspritzen aufgebrachte Keramikschichten) herlei ten. Die Nachteile, die sich von den organischen Substraten und den keramischen Substraten herleiten, sind überwunden worden.

Claims

1. Keramisch beschichtetes Laminat, dadurch gekenn zeichnet, daß es eine Vorimprägnierungsschicht eines gewebten Flächengebildes, eine oder ein Paar von durch Flammspritzen aufgebrachten keramischen Schichten, die mit der Vorimprägnierungsschicht aus dem gewebten Flä chengebilde verbunden ist bzw. sind, und eine oder ein Paar von Kupferfolien, die an die durch Flammspritzen aufgebrach ten Schichten gebunden ist bzw. sind, enthält.

2. Keramisch beschichtetes Laminat nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, daß die keramische Schicht auf einer Kupferfolie durch Flammspritzen gebildet ist und daß das Verformen des keramisch beschichteten Laminats durch Heißverpressen durchgeführt worden ist.

3. Keramisch beschichtetes Laminat nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, daß die keramische Schicht auf einem Vorimprägnierungsprodukt eines gewebten Flächengebildes durch Flammspritzen gebildet worden ist, und daß das Verformen des keramisch beschichteten Laminats durch Heißverpressen unter Verwendung von einer oder eines Paars von Kupferfolien mit einer Klebstoffschicht an ihrer Innen seite bewirkt worden ist.

4. Keramisch beschichtetes Laminat, dadurch gekenn zeichnet, daß es durch Flammspritzen einer Keramik auf eine Oberfläche einer Metallplatte, um darauf eine kera mische Schicht zu bilden, Dazwischenlegen bzw. schichtwei ses Anordnen einer Anzahl von Vorimprägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes zwischen ein bzw. einem Paar der keramisch beschichteten Metallplatten, so daß die kera mischen Schichten mit den Vorimprägnierungsprodukten in Berührung stehen, oder Laminierung einer Anzahl von Vor imprägnierungsprodukten eines gewebten Flächengebildes auf die keramisch beschichtete Metallplatte, so daß die kera mische Schicht mit dem Vorimprägnierungsprodukt in Berührung steht, Heißverpressen der resultierenden laminierten Elemen te und Abziehen der Metallplatte oder der Metallplatten her gestellt worden ist.

5. Keramisch beschichtetes Laminat nach einem der An sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das gewebte Flächengebilde in der Vorimprägnierungs schicht des gewebten Flächengebildes aus Glasfasern besteht.

6. Keramisch beschichtetes Laminat nach einem der An sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das gewebte Flächengebilde in der Vorimprägnierungs schicht des gewebten Flächengebildes aus Aramidfasern be steht.

7. Keramisch beschichtetes Laminat nach einem der An sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Harz in der Vorimprägnierungsschicht des gewebten Flächengebildes ein Epoxyharz ist.

8. Keramisch beschichtetes Laminat nach einem der An sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Harz in der Vorimprägnierungsschicht des gewebten Flächengebildes ein Polyimidharz ist.

9. Keramisch beschichtetes Laminat nach einem der An sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Aluminiumoxidpulver als solches oder als Hauptkompo nente in einem keramischen Pulver verwendet worden ist.

10. Keramisch beschichtetes Laminat nach einem der An sprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Siliciumcarbidpulver als solches allein oder als Hauptkompo nente in einem keramischen Pulver verwendet worden ist.

11. Verfahren zur Herstellung eines keramisch beschich teten Laminats, dadurch gekennzeichnet, daß man ein keramisches Pulver auf eine Oberfläche einer Metall platte durch Flammspritzen aufbringt, um darauf eine kera mische Schicht zu bilden, eine Anzahl von Vorimprägnierungs produkten eines gewebten Flächengebildes zwischen ein bzw. einem Paar der keramisch beschichteten Metallplatten da zwischenlegt bzw. schichtweise anordnet, so daß die kera mischen Schichten mit den Vorimprägnierungsprodukten in Berührung stehen, oder eine Anzahl von Vorimprägnierungs produkten eines gewebten Flächengebildes auf die keramisch beschichtete Metallplatte laminiert, so daß die keramische Schicht mit einem Vorimprägnierungsprodukt in Berührung steht, die resultierenden laminierten Elemente heißverpreßt und die Metallplatte oder die Metallplatten abzieht.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekenn zeichnet, daß die Oberfläche der Metallplatte, die flammbespritzt worden ist, zuvor einer Formtrennbe handlung unterworfen wird.