DE3439371C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine elektrostatische Aufspannvorrichtung und befaßt sich insbesondere mit einer elektrostatischen Aufspannvorrichtung, die in der Lage ist, einen aufzuspannenden oder anzuziehenden Gegenstand fest und sicher in einer ebenen Konfiguration zu halten. Bei dem aufzuspannenden Gegenstand handelt es sich vorzugsweise um eine Halbleiter-Scheibe oder ein Halbleiter-Plättchen, das aufgrund seiner Natur eine nach oben oder unten gerichtete Biegung oder Wölbung aufweist.

Fig. 1 zeigt eine herkömmliche elektrostatische Aufspannvorrichtung. Diese Aufspannvorrichtung enthält eine ebene plattenförmige Elektrode 1, auf deren Oberfläche ein dünner isolierender dielektrischer Film 2 aufgetragen ist. Ein dünnes Halbleiter-Plättchen 3 wird dadurch auf der Oberfläche des dielektrischen Films 2 festgehalten, daß zwischen das Plättchen 3 und die Elektrode 1 eine hohe Gleichspannung einer Spannungsquelle 4 gelegt ist. Auf diese Weise wird das Plättchen 3 durch elektrostatische Anziehungskraft gegen die Oberfläche des dielektrischen Films 2 gezogen.

Es ist kürzlich gelungen, einen Siliciumstab durch Anwendung eines Dampfphasenaufwachsverfahrens epitaxial wachsen zu lassen. Durch Abtrennen oder Abschneiden von dem Siliciumstab und anschließendes Polieren kann man dünne Silicium-Plättchen herstellen. Da ein derartiges Plättchen sehr dünn ist und einen Durchmesser von beispielsweise 10 cm oder mehr hat, ist das Plättchen nicht vollkommen eben. Im allgemeinen ist es mehr oder weniger nach oben oder nach unten gewölbt oder gebogen. Das Plättchen ist somit konkav oder konvex. Es besteht nun die Schwierigkeit, ein solches konkaves oder konvexes Plättchen so gegen die Oberfläche des dielektrischen Films zu ziehen, daß es einen vollständig planen oder ebenen Zustand einnimmt. Die von der elektrostatischen Aufspannvorrichtung ausgeübte Anziehungskraft kann durch die folgende Gleichung dargestellt werden:

Dabei ist K eine Konstante, n die Dielektrizitätskonstante des dielektrischen Films 2, V die der Elektrode 1 und dem Plättchen 3 aufgedrückte Spannung, a die Dicke des dielektrischen Films 2 und b der zwischen dem dielektrischen Film 2 und dem Plättchen 3 vorhandene Spalt.

Der obigen Gleichung kann man entnehmen, daß die Anziehungskraft f bei abnehmendem Spalt b zunimmt. Ist das Plättchen 3 konkav, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, treten keine Schwierigkeiten auf. Hat jedoch das Plättchen 3 eine entsprechend der Darstellung nach Fig. 3 konvexe Form oder ist, wiederum entsprechend der Darstellung nach Fig. 3, sein Mittenabschnitt gegenüber seinem Randabschnitt nach oben durchgebogen oder gewölbt, wird der Randabschnitt des Plättchens vor seinem Mittenabschnitt angezogen und verankert, weil der Randabschnitt in einer engeren oder direkten Berührung mit der Oberfläche des dielektrischen Films 2 steht. Man kann leicht erkennen, daß bei dem Anziehungsvorgang der Randabschnitt des Plättchens infolge der nach oben gerichteten Wölbung des Mittenabschnitts nach außen gleiten muß. Da aber der Randabschnitt bereits fest angezogen und verankert ist, kann er nicht mehr nach außen gleiten. Die Folge davon ist, daß der gewölbte Mittenabschnitt des Plättchens in keinen festen Kontakt mit dem dielektrischen Film 2 kommt, so daß das gesamte Plättchen den gewünschten ebenen oder planen Zustand nicht einnimmt. Es ist somit unmöglich, die Wölbung oder Durchbiegung des Plättchens 3 zu korrigieren.

Umfangreiche vom Erfinder durchgeführte Versuche haben ergeben, daß bei einem konvexen Plättchen entsprechend der Darstellung nach Fig. 1 die nach oben gerichtete Biegung oder Wölbung des Plättchens dadurch beseitigt werden kann, daß man entsprechend der Darstellung nach Fig. 3 eine Elektrode 1′ verwendet, die lediglich dem Mittenabschnitt des Plättchens 3 gegenüberliegt. Es hat sich allerdings gezeigt, daß es mit der Elektrode 1′ nicht möglich ist, ein konkaves Plättchen 3 entsprechend der Darstellung nach Fig. 4 in einen ebenen oder planen Zustand zu bringen. Bei den in Fig. 3 und 4 dargestellten Bauformen einer elektrostatischen Aufspannvorrichtung ist die Elektrode 1′ in ein Isoliersubstrat 4 eingebettet.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine elektrostatische Aufspannvorrichtung der gattungsgemäßen Art so weiterzubilden, daß sie in der Lage ist, das aufzuspannende Plättchen unabhängig davon, ob es nach oben oder nach unten durchgebogen oder gewölbt ist, in einen ebenen oder planen Zustand zu ziehen und in diesem Zustand fest und sicher zu halten.

Ausgehend von einer elektrostatischen Aufspannvorrichtung einer Bauart, die eine mit einem isolierenden dielektrischen Bauteil bedeckte Elektrode aufweist und bei der ein elektrostatisch anzuziehender Gegenstand auf dem dielektrischen Bauteil angeordnet und eine Potentialdifferenz zwischen den Gegenstand und die Elektrode gelegt wird, zeichnet sich die erfindungsgemäße Lösung prinzipiell dadurch aus, daß aufgrund einer ausgesuchten Form, Gestalt oder Konfiguration für die Elektrode die Verteilung einer auf den Gegenstand ausgeübten elektrostatischen Anziehungskraft über die gesamte Anziehungsoberfläche der elektrostatischen Aufspannvorrichtung nicht gleichförmig ist.

Dieser Zweck, nämlich die Erzielung einer ungleichförmigen Verteilung der Anziehungskraft über die gesamte Oberfläche der Aufspannvorrichtung, kann auf verschiedene Weise erreicht werden. So ist es bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung die Elektrode aus einer Vielzahl voneinander beabstandeter konzentrischer Teilelektroden gebildet. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung weist die Elektrode eine Vielzahl in Umfangsrichtung voneinander beabstandeter in Radialrichtung verlaufender Abschnitte auf. Bei einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel hat das dielektrische Bauteil eine sich quer zu seiner Flächenausdehnung ändernde Dicke. Das Ausführungsbeispiel, bei dem die Elektrode in Teilelektroden unterteilt ist, weist vorzugsweise veränderbare Widerstände auf, so daß den Teilelektroden unterschiedlich hohe Gleichspannungen zugeführt werden können. Die Widerstände können noch mit Schaltern kombiniert sein, so daß es möglich ist, die verschiedenen Teilelektroden zu unterschiedlichen Zeitpunkten zur Wirkung zu bringen.

Ausführungsbeispiele nach der Erfindung werden im folgenden an Hand von Zeichnungen beispielshalber erläutert. Es zeigen

Fig. 1 und 2 jeweils einen Querschnitt durch eine herkömmliche elektrostatische Aufspannvorrichtung, wobei das aufzuspannende Plättchen unterschiedlich gerichtete Durchbiegungen oder Wölbungen aufweist,

Fig. 3 und 4 jeweils einen Querschnitt durch eine vom Erfinder bei ausgeführten Experimenten in Betracht gezogene elektrostatische Aufspannvorrichtung, wobei das aufzuspannende Plättchen bei den beiden gezeigten Beispielen unterschiedlich durchgebogen oder gewölbt ist,

Fig. 5 eine Ansicht von oben auf ein Ausführungsbeispiel für das Muster der Elektrode in einer nach der Erfindung ausgebildeten elektrostatischen Aufspannvorrichtung,

Fig. 6 einen Querschnitt längs der Linie VI-VI nach Fig. 5 zum Aufzeigen der Beziehung zwischen der erfindungsgemäßen elektrostatischen Aufspannvorrichtung und dem anzuziehenden Plättchen,

Fig. 7, 8 und 9 jeweils Ansichten von oben auf verschiedene bevorzugte Elektrodenmuster der erfindungsgemäßen elektrostatischen Aufspannvorrichtung,

Fig. 10, 11 und 12 jeweils Querschnitte durch die erfindungsgemäße elektrostatische Aufspannvorrichtung und das anzuziehende Plättchen, wobei bei den dargestellten Ausführungsbeispielen das isolierende dielektrische Bauteil und die Elektrode jeweils eine sich quer zu ihrer Flächenausdehnung ändernde Querausdehnung und somit einen sich ändernden Querschnitt haben, und

Fig. 13 eine Abwandlung des Ausführungsbeispiels nach Fig. 12, bei dem die die Gesamtelektrode bildenden Teilelektroden mit Gleichspannungen beaufschlagt werden können, die sich entsprechend einem vorbestimmten Muster ändern.

Eine nach der Erfindung ausgebildete Elektrode 11 ist in Fig. 5 gezeigt. Die Elektrode 11 enthält einen kreisförmigen Mittenabschnitt 11 a, zwei mit dem Mittenabschnitt konzentrische kreisförmige Ringe 11 b und 11 c sowie radial verlaufende Verbindungsabschnitte 11 d, die den Mittenabschnitt mit den kreisförmigen Ringen verbinden. Die Elektrode 11 mit dem in Fig. 5 gezeigten Muster ist auf der Oberseite eines Keramiksubstrats 14 angebracht. Ein beispielsweise aus Glas hergestelltes dielektrisches Bauteil 12 ist mit der Oberseite der Elektrode 11 verbunden. Zum Anlegen einer Gleichspannung ist ein Leitungsdraht 15 vorgesehen, der an die Elektrode 11 angeschlossen ist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform hat die Elektrode 11 einen Außendurchmesser D = 120 mm, der kreisförmige Mittenabschnitt 11 a hat einen Durchmesser d = 30 mm, und die kreisförmigen Ringe 11 b und 11 c sowie die elektrodenmaterialfreien Bereiche A zwischen diesen Ringen haben in Radialrichtung gemessen jeweils gleiche Breiten l, wie es aus Fig. 5 hervorgeht.

Bei einem Experiment wurde ein Halbleiterplättchen 13 mit einem Durchmesser von 125 mm auf der Oberfläche des dielektrischen Bauteils 12 der elektrostatischen Aufspannvorrichtung mit der in Fig. 5 gezeigten Elektrode 11 angeordnet, und es wurde eine Gleichspannung von 400 V zwischen die Elektrode 11 und das Plättchen 13 gelegt. Hierbei konnte ein Halbleiterplättchen mit einem Mittenabschnitt, der etwa 30 µm höher als sein Außenabschnitt war, vollkommen eben und plan aufgespannt werden, so daß die Wölbung oder Durchbiegung des Plättchens korrigiert wurde. In einem Fall, bei dem sich die Elektrode 11 über die gesamte Oberfläche der Aufspannvorrichtung erstreckte, betrug die Differenz in der Höhe etwa 15 µm.

Mit der nach der Erfindung ausgebildeten elektrostatischen Aufspannvorrichtung kann ein Plättchen, das in einer der Darstellung nach Fig. 6 entgegengesetzten Richtung durchgebogen oder gewölbt ist, noch besser und leichter in einen ebenen oder planen Zustand gezogen werden.

Weitere erfindungsgemäße Elektrodenmuster sind in Fig. 7 bis 9 gezeigt. Eine in Fig. 7 dargestellte Elektrode 21 besteht aus einem kreisförmigen Mittenabschnitt 21 a und drei kreisförmigen Ringen 21 b, 21 c und 21 d, die konzentrisch zueinander und zu dem kreisförmigen Mittenabschnitt sind. Der kreisförmige Mittenabschnitt und die dazu konzentrischen kreisförmigen Ringe sind im Gegensatz zum Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 elektrisch nicht miteinander verbunden. In Fig. 8 und 9 sind Elektroden 31 und 41 dargestellt, die jeweils aus einer Vielzahl von Elektrodenabschnitten 31 a und 41 a bestehen, die sich in der Radialrichtung erstrecken. Die Elektrodenabschnitte 31 a haben eine Breite, die ausgehend vom Mittenabschnitt zunimmt. Demgegenüber bleibt die Breite der Elektrodenabschnitte 41 a konstant. Mit dem Elektrodenmuster nach Fig. 9, bei dem der Mittenbereich der Elektrode relativ groß ist und zum Rand hin die Elektrodenbereiche im Vergleich zu den elektrodenfreien Bereichen abnehmen, kann ein Plättchen, das entsprechend der Darstellung nach Fig. 6 in seinem Mittenbereich einen relativ hohen Abstand von der Aufspannvorrichtung hat, vollkommen eben und plan gezogen und aufgespannt werden.

Weitere erfindungsgemäße Ausführungsbeispiele sind in Fig. 10, 11 und 12 dargestellt. Bei diesen Ausführungsbeispielen ändert sich der Abstand zwischen der Oberfläche eines dielektrischen Films oder dielektrischen Bauteils und der Oberfläche der Elektrode, wobei die Konstruktion so getroffen ist, daß ein gebogenes Plättchen besser in einen ebenen Zustand gezogen werden kann. Durch die Auswahl einer geeigneten Oberflächenkonfiguration für die Elektrode kann man die Verteilung der Anziehungskraft festlegen, und zwar wie es gemäß der Veränderung des genannten Abstands gewünscht ist. Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 10 ist die obere Oberfläche einer Elektrode 50 sphärisch ausgebildet, so daß ein gebogenes Plättchen 53 unter der Einwirkung einer elektrostatischen Kraft fest und plan gegen die Oberfläche 52 a eines dielektrischen Bauteils 52 gezogen wird. Die elektrostatische Kraft wird hierbei durch eine Gleichspannung erzeugt, die von einer Gleichspannungsquelle 54 stammt und zwischen die Elektrode 50 und das Plättchen 53 gelegt wird. Die sphärische Oberfläche 51 a der Elektrode 50 ist so gestaltet, daß der Abstand zwischen der Elektrodenoberfläche 51 a und der oberen Oberfläche 52 a des dielektrischen Bauteils 52 in der Mitte am kleinsten ist und dann in Richtung auf den Rand allmählich zunimmt. Das bedeutet, daß die Dicke des dielektrischen Bauteils 12 ebenfalls in der Mitte am kleinsten ist und in Richtung auf den Rand anwächst.

Die Dickenverteilung des dielektrischen Bauteils 52 ist derart festgelegt, daß die gemäß der obigen Gleichung berechnete Anziehungskraft f im wesentlichen gleichförmig auf die verschiedenen Bereiche des Plättchens 53 einwirkt, wobei das Ausmaß der Durchbiegung oder Wölbung des Plättchens im voraus aufgrund von Erfahrung und entsprechende Experimente in Betracht gezogen wird. Dies bedeutet, daß die Dickenverteilung in einer solchen Weise bestimmt oder festgelegt wird, daß die Oberflächengestalt der Elektrode 50 im wesentlichen mit der erwarteten Durchbiegung oder Wölbung des aufzuspannenden Plättchens 53 zusammenfällt. Dies bedeutet, daß eine relativ starke Anziehungskraft auf den Mittenbereich des Plättchens ausgeübt wird oder daß die relative Größe der Anziehungskraft im Mittenbereich zu derjenigen im Randbereich so gewählt ist, daß der Rand des Plättchens auf der Oberfläche 52 a des dielektrischen Bauteils 52 gleiten kann, wenn der Mittenbereich des Plättchens in Berührung mit dem dielektrischen Bauteil 52 gezogen wird.

Da bei dem betrachteten Ausführungsbeispiel nach Fig. 10 die Oberseite der Elektrode zwecks Erzielung einer Übereinstimmung mit der unteren Oberfläche eines gebogenen Plättchens sphärisch ist, kann man den Abstandsunterschied zwischen dem Plättchen und der Elektrode über die gesamte innere Oberfläche des Plättchens im wesentlichen konstant machen. Auf diese Weise wird vermieden, daß zunächst die Randabschnitte des Plättchens so stark angezogen werden, daß der Mittenabschnitt des Plättchens nicht mehr plangezogen werden kann. Anders ausgedrückt bedeutet dies, daß das Plättchen über seine Gesamtoberfläche in einer solchen Weise angezogen wird, daß die Durchbiegung oder Wölbung des Plättchens vollständig korrigiert wird.

In Fig. 11 ist ein weiteres erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel gezeigt, bei dem die Oberseite 51 a der Elektrode 50 geneigt ist und dementsprechend die Unterseite des dielektrischen Bauteils 52 ebenfalls schräg verläuft. Die Elektrode 50 und das Bauteil 52 haben somit beide eine keilförmige Gestalt. Mit dieser Konstruktion wird zunächst das in der Darstellung rechte Ende des Plättchens 53 angezogen. Dort hat nämlich das dielektrische Bauteil seine geringste Dicke. Das schwächer angezogene linke Ende des Plättchens kann dann während des Aufspannvorgangs über die Oberseite 52 a des dielektrischen Bauteils 52 gleiten. Bei den Ausführungsbeispielen nach Fig. 10 und 11 kann zusätzlich nach der Erfindung die zwischen das Plättchen und die Elektrode gelegte Gleichspannung allmählich erhöht werden. Auf diese Weise ist es möglich, den Aufspannvorgang noch besser zu steuern.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel zeigt Fig. 12. Dort ist die Oberseite einer Elektrodenanordnung 61 im allgemeinen sphärisch ausgebildet, wie es bereits in Fig. 10 gezeigt ist. Die durch die Elektrodenanordnung 61 gebildete Elektrode besteht jedoch aus einer Mittenelektrode 61 A und zwei Außenelektroden 61 B und 61 C, die die Mittenelektrode 61 A konzentrisch umgeben. Die Außenelektroden können ringförmig oder aber auch vieleckig sein. Eine Alternative besteht darin, daß diese Elektroden von einer Vielzahl paralleler leitender Streifen gebildet sein können. Um benachbarte Elektroden gegeneinander zu isolieren und in geeigneter Weise zu unterstützen, sind sie vorteilhafterweise in einen Isolierkörper 68 eingebettet. Die Elektroden 61 A, 61 B und 61 C sind über jeweils veränderbare Widerstände 65, 66 und 67 mit einer gemeinsamen Gleichspannungsquelle 54 verbunden. Die Widerstände werden vorzugsweise so eingestellt, daß zu Beginn des Aufspannvorgangs allen Elektroden die gleiche Spannung zugeführt wird. Nach dem damit verbundenen Anziehungsvorgang wird die Spannung erhöht, und zwar ausgehend von der Mittenelektrode 61 A in Richtung auf die äußerste Außenelektrode 61 C fortschreitend.

Fig. 13 zeigt eine Modifikation des Ausführungsbeispiels nach Fig. 12. Bei dem erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel nach Fig. 13 sind Schalter S₁, S₂ und S₃ vorgesehen, die dazu dienen, den voneinander getrennten Teilelektroden 61 A bis 61 C die Gleichspannung in einer noch zu beschreibenden Weise zuzuführen. Da bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 13 das dielektrische Bauteil 52 und auch die Teilelektroden 61 A bis 61 C eine gleichförmige Dicke haben, ist das Verfahren zum Anlegen der Gleichspannung an die Elektroden verschieden gegenüber dem beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 12 praktizierten Verfahren. So wird beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 13 vorzugsweise zunächst die Gleichspannung nur an die Mittenelektrode 61 A gelegt. Zu diesem Zweck wird der Schalter S₁ geschlossen, so daß dann zunächst nur der gebogene Mittenbereich des Plättchens 53 angezogen wird. Da zu diesem Zeitpunkt die Außenelektroden 61 B und 61 C mit einer Spannung noch nicht beaufschlagt sind, kann der Randabschnitt des Plättchens auf der Oberseite des dielektrischen Bauteils 52 nach außen gleiten. Dadurch wird sichergestellt, daß das Plättchen in einen planen oder ebenen Zustand gezogen wird. Im Anschluß daran werden die mittlere Außenelektrode 61 B und die äußere Außenelektrode 61 C aufeinanderfolgend durch aufeinanderfolgendes Schließen der Schalter S₂ und S₃ mit Spannung beaufschlagt. Die Widerstände 65 bis 67 sind vorzugsweise so eingestellt, daß die höchste Spannung stets an der Mittenelektrode 61 A liegt und daß die Spannung in Richtung auf den Rand abnimmt. Auf diese Weise ist es leichter möglich, das Plättchen nach unten zu ziehen und in einen planen und ebenen Zustand aufzuspannen.

Claims (14)

1. Elektrostatische Aufspannvorrichtung einer Bauart, die eine mit einem isolierenden dielektrischen Bauteil bedeckte Elektrode aufweist und bei der ein elektrostatisch anzuziehender Gegenstand auf dem dielektrischen Bauteil angeordnet und eine Potentialdifferenz zwischen den Gegenstand und die Elektrode gelegt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (11; 21; 31; 41; 50; 61) eine derartige Konfiguration hat, daß die Verteilung einer auf den Gegenstand (13, 53) ausgeübten elektrostatischen Anziehungskraft über die gesamte Anziehungsoberfläche der elektrostatischen Aufspannvorrichtung ungleichförmig ist.

2. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrostatische Anziehungskraft relativ stark bei einem Mittenabschnitt der Anziehungsoberfläche und relativ schwach bei einem Randabschnitt der Anziehungsoberfläche ist.

3. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der elektrostatisch anzuziehende Gegenstand ein gebogenes Plättchen (13; 53) aus einem Halbleitermaterial aufweist.

4. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrostatische Anziehungskraft relativ stark auf einer Seite der Anziehungsoberfläche, jedoch relativ schwach auf der anderen Seite der Anziehungsoberfläche ist.

5. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (11; 21; 31; 41) freie Bereiche (A) hat, die für eine ungleichförmige Verteilung der elektrostatischen Anziehungskraft sorgen.

6. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (11; 21) eine Vielzahl voneinander beabstandeter ringförmiger Abschnitte (11 a, 11 b, 11 c; 21 a, 21 b, 21 c, 21 d) aufweist.

7. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (11; 31; 41) eine Vielzahl in Umfangsrichtung voneinander beabstandeter radial verlaufende Abschnitte (11 d; 31 a; 41 a) aufweist.

8. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die in Umfangsrichtung gemessene Breite jedes der radial verlaufenden Abschnitte (31 a) in Richtung auf den Rand zunimmt.

9. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die in Umfangsrichtung gemessene Breite jedes radial verlaufenden Abschnitts (41 a) konstant ist.

10. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des isolierenden dielektrischen Bauteils (52 in Fig. 10, 11 und 12) nicht gleichförmig ist.

11. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke des isolierenden dielektrischen Bauteils (52 in Fig. 11) an einem Ende relativ klein ist und in Richtung auf das andere Ende allmählich zunimmt.

12. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß eine in Berührung mit der Elektrode (50; 61) stehende Oberfläche des isolierenden dielektrischn Bauteils (52 in Fig. 10 und 12) im wesentlichen sphärisch ist.

13. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (61) eine Vielzahl elektrisch isolierter Teilelektroden (61 A, 61 B, 61 C) enthält und daß die Aufspannvorrichtung ferner eine Einrichtung (65, 66, 67) zum Anlegen unterschiedlicher Gleichspannungen an die Teilelektroden aufweist.

14. Aufspannvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrode (61) eine Vielzahl elektrisch isolierter Teilelektroden (61 A, 61 B, 61 C) enthält und daß die Aufspannvorrichtung ferner eine Schalteinrichtung (S₁, S₂, S₃) zum Anlegen von Gleichspannungen zu unterschiedlichen Zeiten an die Teilelektroden aufweist.