DE3416949C2 - - Google Patents

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DE3416949C2
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der DE-OS 32 37 628 ist eine Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor bekannt, die aus einem stab­ förmigen Keramikkörper besteht, in den ein Widerstand­ draht zur Erzeugung von Wärme mittels elektrischer Energie eingebettet ist. Der Keramikkörper weist an seinem Umfang zwei Polkissen auf, die mit dem Heizwider­ stand im Keramikkörper einstückig sind und als Be­ festigungsstellen für die Anschlußdrähte zur Energiever­ sorgung dienen. Die Befestigung erfolgt vorzugsweise durch Löten, wobei als Lot bekanntermaßen Silber oder eine Legierung davon verwendet wird.
Bei dieser typischen Befestigungsart besteht das Problem, daß Silberionen des Lots unter dem Einfluß des elek­ trischen Feldes von einem elektrischen Pol zum anderen wandern und hierbei ein Kurzschließen dieser Pole bewirken. Denn die Silberelektrode hat ein Potential von ungefähr 0,8 V, welches niedriger als dasjenige aller anderen Edelmetalle ist. Man betrachtet daher die Silberelektrode als Zwischenstufe zwischen den edlen und den nichtedlen Metallen. Das Oxid des Silbers Ag2O ist eine chemisch unstabile Verbindung, die sehr leicht reduzierbar ist. In Anbetracht dieser Eigen­ schaften des Silbers wird bei einer räumlichen Anordnung von zwei Silberelektroden auf einem elektrisch isolier­ enden Material bei angelegter Gleichspannung, wie es bei dem bekannten Sauerstoffsensor der Fall ist, aufgrund des elektrischen Feldes eine große Menge von Silberionen Ag⁺ bei der positiven Elektrode erzeugt. Zudem sind die Elektroden von einer Atmosphäre mit einem gewissen Maß an Feuchtigkeit umgeben, so daß aufgrund des elektrischen Feldes oder erhöhter Tempe­ ratur folgende Dissoziationsreaktion des "Dampfes" stattfindet: H2O ⇄ H⁺+OH⁻. Die Silberionen und die OH--Gruppe reagieren miteinander unter Erzeugung von Silberoxid gemäß der Gleichung 2 Ag⁺ + 2 OH⁻ ⇄ Ag2O + H2O.
Da sich Silberoxid vergleichsweise leicht in Wasser, welches in dem elektrisch isolierenden Material, d. h. dem Keramikkörper, absorbiert, löst und sich die obigen Reaktionen in reversibler Weise wiederholen, wandert das Silberoxid mit dem Wasser als Medium auf die negative Elektrode zu und wird dort unter der Abgabe des Sauerstoffs reduziert, so daß es sich als Silber an dieser ablagert. Durch diese kontinuierliche Ablagerung des Silbers an der negativen Elektrode werden die beiden Elektroden schließlich kurzgeschlossen. Zudem können durch diese Wanderungsbewegung Risse in der Lötstelle selbst auftreten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Heizein­ richtung für einen Sauerstoffsensor zu schaffen, an der zur Energieversorgung Drähte angelötet sind, wobei auch nach längerer Gebrauchsdauer kein Kurzschluß zwischen den Lötstellen auftreten soll.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Durch die erfindungsgemäße Ausbildung einer zweiten Metallschicht, die keine Bestandteile an Silber oder Legierungen davon enthält, auf der gesamten freiliegen­ den Oberfläche des Silberlots wird zuverlässig verhin­ dert, daß Silberoxid und die daraus resultierende Wanderbewegung entstehen. So dient die Metallschicht als Schutz des Lots vor die Wanderbewegung för­ dernder Feuchtigkeit und verlängert wirksam die Lebens­ dauer der Polkissen der Heizeinrichtung.
Vorteilhafte Aus- und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungs­ beispielen in Verbindung mit der Zeichnung im einzelnen erläutert. Es zeigt
Fig. 1a einen Längsschnitt durch eine Ausführungsform einer Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor gemäß der Erfindung;
Fig. 1b einen vergrößerten Teilschnitt durch einen Abschnitt A eines rohrförmigen Festelektro­ lytkörpers des in Fig. 1a dargestellten Sauerstoffsensors;
Fig. 2 eine schematische perspektivische Darstellung einer Ausführungsform einer stabförmigen Heiz­ einrichtung, die bei dem Sauerstoffsensor der Fig. 1a Verwendung findet;
Fig. 3 einen Schnitt entlang Linie 3-3 in Fig. 2;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungs­ form eines Metallschutzrohres, das bei dem Sauerstoffsensor der Fig. 1a Verwendung fin­ det;
Fig. 5 ein Diagramm, in dem die Temperatur des Fest­ elektrolytkörpers in Abhängigkeit von der Abgas­ temperatur bei einem erfindungsgemäß ausgebil­ deten Sauerstoffsensor und einem bekannten Sauerstoffsensor dargestellt ist; und
Fig. 6 eine Schnittansicht entsprechend Fig. 3, einer anderen Ausführungsform der stabför­ migen Heizeinrichtung.
In den Fig. 1-4 ist ein Sauerstoffsensor dargestellt, bei dem ein rohr­ förmiger Festelektrolytkörper 1, beispielsweise aus Zirkon­ dioxid, durch ein Gehäuse 2 gelagert wird. Der rohrförmige Festelektrolyt­ körper 1 besitzt eine zylindrische Längsbohrung 1 a, die sich in seiner Längsrichtung erstreckt. Die Längs­ bohrung 1 a ist an einem Ende des Festelektrolytkörpers 1, das dem bei­ spielsweise über eine Abgasleitung (nicht gezeigt) einer Brennkraftmaschine eines Kraftfahrzeuges abgegebenen Abgas ausgesetzt ist, geschlossen. Die Längsbohrung 1 a ist am anderen Ende zur Umge­ bungsatmosphäre hin, die als Referenzgas benutzt wird, offen. Der rohrförmige Festelektrolytkörper 1 ist an seiner Innen- und Außenfläche mit einer Referenzelektrode 1 b (Anode) und einer Meßelektrode 1 c (Kathode) versehen, wie in Fig. 1b gezeigt. Beide Elektroden 1 b und 1 c be­ stehen aus porösem Platin. Der rohrförmige Festelektrolytkörper 1 ist über Talk 3, eine Metallscheibe 4 und einen Metallring 5 im Gehäuse 2 gelagert und abgedichtet, so daß die Längs­ bohrung 1 a in einem gasdichten Zustand relativ zum Abgas gehalten wird, d. h. die Umgebungsatmosphäre (Luft) und das Abgas stehen nicht miteinander in Verbindung. In die Längsbohrung 1 a ist eine stabförmige Heizeinrichtung 6 eingesetzt, die dazu dient, den rohrförmigen Festelektro­ lytkörper 1 zu erhitzen. Der geschlossene Endabschnitt des rohrförmigen Festelektrolytkörpers 1 wird von einem Metallschutz­ rohr 7 umgeben, das den geschlossenen Endabschnitt gegen das direkte Auftreffen des durch die Abgasleitung flie­ ßenden Abgasstromes schützt. Das Metallschutzrohr 7 ist an seinem oberen Ende am unteren Ende des Gehäuses 2 be­ festigt und ist in seiner Umfangswand mit rinnenförmigen Öffnungen 16 versehen, um das Abgas in das Innere des Metallschutz­ rohres 7 zu leiten, damit der untere oder geschlossene Endabschnitt des Festelektrolytkörpers 1 dem Abgas ausgesetzt werden kann. Diese rinnenförmigen Öffnungen 16 werden durch Einschneiden von Teilen der Umfangswand und durch radiales Einwärtsbiegen dieser Teile des Metallschutzrohres 7 hergestellt, so daß jalousieartige Platten 11 A gebildet werden, wie in Fig. 4 gezeigt.
Wie in Fig. 1a gezeigt, umfaßt die stabförmige Heizein­ richtung 6, die in die Längsbohrung 1 a des rohrförmigen Festelektrolytkörpers 1 eingesetzt ist, einen Keramik­ körper 8, der aus keramischem Material, beispielsweise Aluminiumoxid, besteht, wie die Fig. 2 und 3 zeigen. Der Keramikkörper 8 trägt einen gedruckten Heizwiderstand 13 (Fig. 2), so daß der Heizwiderstand 13 in die Masse des Keramikkörpers 8 eingebettet ist. Der Heizwiderstand 13 ist an zwei gedruck­ te Leitungsabschnitte 14 angeschlossen, die mit zwei Polkissen 10 in Verbindung stehen. Beim Heizwiderstand 13 und dem Leitungsabschnitt 14 handelt es sich um Auf­ drucke von elektrisch widerstandsfähigen und elektrisch leitenden Materialien, die in Pastenform auf die Ober­ fläche eines Keramikstabes aufgebracht werden, um ein vorgegebenes Druckmuster auszubilden, wie in Fig. 2 mit gestrichelten Linien dargestellt ist. Der mit dem Heiz­ widerstand 13 und den Leitungsabschnitten 14 versehene Keramikstab wird mit einer Keramikschicht versehen, so daß der Keramikkörper 8 gebildet wird. Diejenigen Enden der Leitungsabschnitte 14, die nicht an den Heizwiderstand 13 angeschlossen sind, durchdringen die Keramikschicht, erreichen die äußere Umfangsfläche des Keramikkörpers 8 und sind an die Polkissen 10 angeschlossen. Die Leitungs­ abschnitte 14 sind über ein entsprechendes Paar Drähte 9 an eine elektrische Stromquelle ange­ schlossen. Jeder Draht 9 ist an einem Ende mit dem entsprechenden Polkissen 10 verlötet. Wie aus dem Schnitt der Fig. 3 hervorgeht, sind die beiden Polkissen 10 auf der äußeren Umfangsfläche des stabförmigen Keramik­ körpers 8 vorgesehen. Genauer gesagt sind die Polkissen 10 so entlang Teilen der Umfangsfläche des Keramikkör­ pers 8 angeordnet, daß sie mit den Leitungsabschnitten 14 und somit dem Heizwiderstand 13 in elektrisch leitender Verbindung stehen. Die Endabschnitte der Drähte 9 und die entsprechenden Polkissen 10 sind über eine geeignete Lötmaterialmasse bzw. Lot 11, die bzw. das Silber enthält, an­ einandergelötet. Dieses Lot 11 umgibt die Umfangsfläche des entsprechenden Drahtes 9. Die freiliegende Fläche des Lots 11 ist mit einer me­ tallischen Schicht 12 überzogen. Das Material für diese metallische Schicht 12 ist aus Metallen, ausgenommen Silber, ausgewählt. Mit anderen Worten, die metallische Schicht 12 besteht aus einem Metall, das sich von Silber oder seinen Legierungen unterscheidet. Bei­ spielsweise besteht die metallische Schicht 12 aus Nickel. Sie kann in einer geeigneten Weise aufgebracht werden, beispielsweise durch galvanische Abscheidung eines geeig­ neten Metalles, vorzugsweise unter Anwendung eines ge­ eigneten chemischen Abscheidungsvorganges.
Der Heizwiderstand 13 in der stabförmigen keramischen Heizeinrichtung 6 besitzt einen positiven Temperaturkoeffizienten von 0,5%/°C. Durch diese Auswahl des positiven Temperaturkoeffizienten wird der Widerstand des Heizwiderstandes 13 erhöht, und dessen Wärmeerzeugungsvermögen bei ansteigen­ der Abgastemperatur herabgesetzt, so daß auf diese Weise eine mögliche Überhitzung des Festelektrolytkörpers 1 und der Heizeinrichtung 6 bei erhöhter Temperatur des Abgases verhindert wird. Wenn andererseits die Abgastemperatur relativ niedrig ist, wird der Widerstand des Heizwider­ standes 13 niedrig gehalten und sein Wärmeerzeugungsver­ mögen erhöht, wodurch es möglich wird, die Temperatur des Festelektrolytkörpers 1 auf ein Niveau anzuheben, auf dem eine genaue elektromotorische Kraft durch die Elektro­ den 1 b, 1 c in einer vergleichsweise kurzen Zeitspanne nach dem Kaltstart der Brennkraftmaschine induziert wer­ den kann, oder den Festelektrolytkörper 1 ausreichend zu erhitzen, während sich die Brennkraftmaschine im Leer­ lauf befindet.
In dem Diagramm der Fig. 5 ist die Temperatur T S (°C) des Festelektrolytkörpers 1 in Abhängigkeit von der Temperatur T G (°C) des Abgases dargestellt. Die Kurve (a) stellt die Beziehung zwischen den Temperaturen T S und T G bei der keramischen Heizeinrichtung 6 des vorliegenden Sauer­ stoffsensors dar, während die Kurve (b) die gleiche Beziehung bei einer bekannten geschützten Heizvorrich­ tung wiedergibt, bei der ein Nichrom-Draht Verwendung findet, der so ausgebildet ist, daß die Zeitspanne vom Start eines kalten Motors bis zur Erzeugung einer elek­ tromotorischen Kraft durch einen Sauerstoffsensor, bei dem die ge­ schützte Heizeinrichtung Verwendung findet, im wesent­ lichen der Zeitspanne des erstgenannten Sauerstoff­ sensors entspricht. Bei einer Abgastemperatur von 800°C beträgt die Temperatur des Festelektrolytkörpers 1, der von der keramischen Heizeinrichtung 6 erhitzt worden ist, 800°C, wie durch die Kurve (a) verdeutlicht wird, während die Temperatur eines von der bekannten geschützten Heizeinrichtung erhitzten Festelek­ trolytkörpers 950°C beträgt, wie Kurve (b) zeigt. Aus dem Diagramm geht eine geringere Aufheizung des Festelektrolyt­ körpers durch die keramische Heizeinrichtung 6 hervor, so daß damit die Gefahr eines Überhitzens des Festelektrolytkörpers, wenn die Abgastemperatur T G relativ hoch ist, herabge­ setzt wird.
Es wurden mit dem mit der Heizeinrichtung 6 versehenen Sauer­ stoffsensor und dem bei den Messungen der Fig. 5 ver­ wendeten anderen Sauerstoffsensor Untersuchungen durchgeführt, um das Aussehen bzw. die Erscheinungsform der Festelek­ trolytkörper und die physikalischen Bedingungen der Heizein­ richtungen zu prüfen, nachdem diese Sauerstoffsensoren über 300 Stunden kontinuierlich bei einer Abgastemperatur von 800°C in Betrieb waren. Dabei wurde festgestellt, daß der bekannte Sauerstoffsensor eine Reihe von Rissen in einer Spinel-Überzugsschicht besaß, die auf der Außenfläche des Festelektrolytkörpers angeordnet war, und daß 70% der Widerstandsdrähte der geschützten Heizeinrichtung gebrochen waren. Bei dem mit der Heizeinrichtung 6 ausgebildeten Sauerstoffsensor traten weder derartige Risse noch der­ artige Brüche auf.
Wie aus dem Vorstehenden hervorgeht, besitzt die kera­ mische Heizeinrichtung 6, bei der der gedruckte Heiz­ widerstand 13 mit einem positiven Temperaturkoeffizienten Verwendung findet, ein relativ niedriges Widerstands­ niveau bei niedrigen Abgastemperatu­ ren, so daß somit eine erhöhte Wärmemenge abgegeben und ein rasches Erhitzen des Festelektrolytkörpers 1 und somit eine frühere Erzeugung einer elektromotorischen Kraft durch den Sauerstoffsensor möglich gemacht wird. Dieser Vorteil wird beispielsweise unmittelbar nach dem Start einer kalten Brennkraftmaschine oder dann, wenn sich die Brenn­ kraftmaschine im Leerlauf befindet, erzielt. Ein Anstieg der Abgastemperatur auf ein beträchtlich höheres Niveau bewirkt einen beträchtlichen Anstieg des Widerstandes des Heizwiderstandes 13. Beispielsweise ist der Wider­ stand bei 800°C etwa 5mal so hoch wie der bei Raum­ temperatur. Somit wird die Möglichkeit einer Überhitzung des Festelektrolytkörpers 1 und der Heizeinrichtung 6 minimal gehalten. Ein positiver Temperaturkoeffizient des Heizwiderstandes 13 ist in bezug auf das Wärmeregu­ lier- bzw. Wärmesteuervermögen der Heizeinrichtung 6 von Bedeutung. In dem Fall, in dem der Sauerstoffsensor für eine Brennkraftmaschine verwendet wird, sollte der positive Temperaturkoeffizient des Heizwiderstandes 13 nicht unter 0,3%/°C liegen. Dieser Koeffizient, der einen positiven Wert besitzen sollte, wird durch be­ stimmte elektrisch widerstandsfähige Metallpulver, die für den Heizwiderstand 13 ausgewählt werden, und durch die Menge der in der Paste von solchen Metallpulvern enthaltenen Glasfritte bestimmt.
Bei herkömmlich ausgebildeten Sauerstoffsensoren wird ein eutektisches Ag-Cu-Zn-Hartlot, das Ag als einen seiner Bestandteile enthält, häufig verwendet, um die Drähte an die elektrischen Polkissen einer stabförmigen Heizeinrichtung anzuschließen. Es wurde hierbei festgestellt, daß das im Lot enthal­ tene Ag zwischen den elektrischen Polkissen wandert und daß durch dieses Wandern ein Kurzschließen der Pol­ kissen oder die Bildung von Rissen an diesen elektri­ schen Verbindungen der Heizeinrichtung verursacht werden kann. Das Wandern von Silber stellt ein Phänomen dar, gemäß dem die durch die Ionisierung von AgOH oder AG2O erzeugten Ag-Ionen sich unter dem Einfluß des elektri­ schen Feldes in Richtung auf ein oder das andere Pol­ kissen bewegen.
Um dies zu verhindern, findet bei der keramischen Heizeinrichtung 6 die metalli­ sche Schicht bzw. Überzugsschicht 12 Verwendung, die kein Ag enthält, vorzugsweise eine stromlose Plattierung, um die frei­ liegende Oberfläche des Lots 11, das zum Anlöten der Drähte 9 an die Polkissen 10 ver­ wendet wird, abzudecken. Diese metallische Schicht 12 ver­ hindert die Ionisierung von Ag und verhindert somit, daß der Silbergehalt des Lots 11 zwischen den bei­ den Polkissen 10 wandert. Die metallische Schicht 12 dient des weiteren dazu, eine Reaktion des Ag-Bestandteils des Lots 11 mit einem Gas, mit dem Silber in ein­ facher Weise reagiert, zu verhindern, beispielsweise die Reaktion des Ag-Bestandteils mit einem Sulfidgas, die zur Bildung von Silbersulfid führt.
Wie vorstehend erläutert, kann die metallische Schicht 12 durch verschiedenartige bekannte Verfahren, beispiels­ weise durch galvanische Abscheidung, hergestellt werden, und das metallische Material für diese Schicht kann aus Metallen, ausgenommen Ag, ausgewählt werden, die nicht die vorstehend erwähnte Wanderung durchführen, d. h. aus Metallen, die von Silber oder seinen Legie­ rungen verschieden sind. Beispielsweise kann die metalli­ sche Schicht 12 aus Nickel (Ni), Zink (Zn), Gold (Au) o. ä. hergestellt werden. Nickel besitzt eine besonders gute Wärme- und Korrosionsfestigkeit. Es wird bevorzugt, die metallische Schicht 12 als Nickel-Plattierungsschicht auszubilden, insbesondere als Plattierungsschicht einer Nickel-Phosphor-Legierung (Ni-P), die etwa 10% Phosphor enthält, was in bezug auf die Verhinderung der Bildung von feinen Löchern und der Erzielung einer hochdichten Adhäsion am Lot 11 von Vorteil ist. Es wird ferner vorgezogen, die metallische Schicht 12 mit einer Dicke auszubilden, die nicht unter einem µm liegt.
Während bei der keramischen Heizeinrichtung 6 der vor­ liegenden Ausführungsform ein gedruckter Heizwiderstand 13 Verwendung findet, der in den Keramikkörper 8 einge­ bettet ist, kann der verwendete Heiz­ widerstand auch in Form eines eingebetteten Wider­ standdrahtes aus Wolfram, Nickel, Platin o. ä. oder anders ausgebildet sein, solange der Heizwider­ stand aus einem Material besteht, das einen positiven Temperaturkoeffizienten besitzt. In bezug auf die Lage des Heizwiderstandes im Keramikkörper 8 ist es wün­ schenswert, daß der Heizwiderstand in einem Abschnitt des rohrförmigen Festelektrolytkörpers 1 angeordnet ist, der dem von dem Sauerstoffsensor zu überwachenden Abgas ausgesetzt ist.
In Fig. 6 ist eine andere Ausführungsform des Sauerstoffsensors dargestellt. In dieser Figur finden die gleichen Bezugs­ ziffern wie bei den Fig. 2 und 3 zur Identifizierung von gleichen Teilen Verwendung.
Diese Ausführungsform umfaßt eine stabförmige Heiz­ einrichtung 6 a, die sich von der Heizeinrichtung 6 der Fig. 1-3 dadurch unterscheidet, daß die gesamte Oberfläche der metallischen Schicht 12 der Heizeinrich­ tung 6 a mit einer wärmefesten Schicht 15 bedeckt ist, die aus einem geeigneten wärmefesten Material besteht. Wie bei der ersten Ausführungsform kann die me­ tallische Schicht 12 der Heizeinrichtung 6 a vorzugsweise durch ein geeignetes galvanisches Abscheideverfahren, insbesondere durch stromlose oder chemische Abscheidung, hergestellt werden. Diese Ausführungsform des Sauerstoff­ sensors, die eine keramische Heizeinrichtung 6 a mit der wärmefesten Schicht 15 aufweist, führt zu Ergebnissen, die denen der Kurve (a) der Fig. 5 für die erste Aus­ führungsform entsprachen. Durch die zusätzliche Ausbil­ dung der wärmefesten Schicht 15, die die metallische Schicht 12 abdeckt, wird das vorstehend erwähnte Wande­ rungsphänomen des Ag-Bestandteils des Lots 11 noch wirksamer verhindert.
Die wärmefeste Schicht 15 kann aus irgendwelchen bekann­ ten wärmefesten Materialien hergestellt werden, bei­ spielsweise Silikonen, fluorierten Harzen, anorganischen Materialien etc. Anorganische Materialien werden auf­ grund ihrer ausgezeichneten Wärmefestigkeit bevorzugt. Es wird ferner bevorzugt, das Wasserabsorptionsvermögen der wärmefesten Schicht 15 unter einem Prozent (% der Gewichtszunahme nach 72stündiger Lagerung bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 95% und Raumtemperatur) zu halten, um die vorstehend erwähnte Reaktion des Sil­ bers und dessen Wanderung in optimaler Weise verhindern zu können.

Claims (9)

1. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor aus einem Keramikkörper mit einem darin eingebetteten elektrischen Heizwiderstand, die mittels an Polkissen des Keramikkörpers mit Lot, das Silber oder Legierungen davon enthält, befestig­ ter Drähte mit elektrischer Energie versorgt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die freiliegende Fläche des Lots (11) mit einer Schicht (12) aus Metall bedeckt ist, das von Silber oder seinen Legierungen verschieden ist.
2. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (12) aus Metall eine galvanische Metallabscheidung ist.
3. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallabscheidung eine stromlose Abscheidung ist.
4. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die stromlose Abscheidung Nickel enthält.
5. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallabscheidung Nickel enthält.
6. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperaturkoeffizient des an die durch das Lot (11) und die Schicht (12) abgedeckten Drähte (9) angeschlossenen Heizwiderstands (13 ) zumindest 0,3 %/°C beträgt.
7. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (12 ) aus Metall eine Dicke von zumindest 1 µm aufweist.
8. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor, nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht (12) aus Metall mit einer wärmefesten Schicht (15 ) überzogen ist.
9. Heizeinrichtung für einen Sauerstoffsensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die wärmefeste Schicht (15) aus einem anorganischen Material besteht.
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