DE3406408A1 - Einrichtung und verfahren zum steuern eines vibrationswellenmotors - Google Patents

Einrichtung und verfahren zum steuern eines vibrationswellenmotors

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DE3406408A1 DE19843406408 DE3406408A DE3406408A1 DE 3406408 A1 DE3406408 A1 DE 3406408A1 DE 19843406408 DE19843406408 DE 19843406408 DE 3406408 A DE3406408 A DE 3406408A DE 3406408 A1 DE3406408 A1 DE 3406408A1
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    • H02N2/163Motors with ring stator

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

  • Einrichtung und Verfahren zum Steuern eines Vibrations-
  • wellenmotors Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung und ein Verfahren zum Steuern eines Vibrationswelleninotors mit verbessertem Antriebswirkungsgrad.
  • Gemäß der Darstellung in der US-PS 4 019 073 setzt ein Vibrationswellenmotor eine durch Anlegen einer periodischen Spannung wie einer Wechselspannung oder einer Impulsspannung an ein elektrostriktives Element erzeugte Vibrationsbewegung in eine Drehbewegung oder eine eindimensionale bzw. lineare Bewegung um. Da bei diesem Motor abweichend von einem herkömmlichen elektroma,gnetischen Motor keine Wicklung erforderlich ist, ist der rotor einfach aufgebaut und kompakt, wobei der Motor bei niedriger Drehgeschwindigkeit ein hohes Drehmoment erzeugt und bei der Drehung eine geringe Trägheit hat.
  • Bei dem Vibrationswellenmotor nach dem Stand der Technik wird jedoch die Vibrationsbewegung einer in einem Vibrationsteil erzeugten stehenden Welle durch Reibungsantrieb eines mit dem Vibrationsteil in Bewegung stehenden bewegbaren Teils wie eines Rotors in eine einseitig gerichtete Bewegung umgesetzt.
  • Zum Umkehren der Bewegungsrichtung ist es erforderlich, eine mechanische Gestaltung umzustellen, wie beispielsweise eine Berührungsstelle oder einen Berührungswinkel zwischen dem Vibrationsteil und dem bewegbaren Teil. Infolgedessen ist für den umsteuerbaren Antrieb des Vibrationswellenmotors eine groß bemessene Vorrichtung erforderlich, wodurch die Vorteile des Vibrationswellenmotors aufgegeben werden, nämlich der einfache Aufbau und die kompakte Gestaltung.
  • Als Lösung für dieses Problem wurde kürzlich ein Vibrationswellenmotor vorgeschlagen, der mittels einer Vibrationswanderwelle angetrieben wird.
  • Die Fig. 1 zeigt Bauteile eines derartigen Vibrationswellenmotors.
  • Auf einen Mittelzylinder 5a eines als Unterbau dienenden Ständers 5 sind ein Schwingungsdämpfer 4, ein ringförmige-s Metall-Vibrationsteil 2, an dessen dem Schwingungsdämpfer 4 zugewandter Fläche eine elektrostriktive Vorrichtung 3 angekittet ist, und ein bewegbares Teil 1 in dieser Aufeinanderfolge aufgesetzt. Der Ständer 5, der Schwingungsdämpfer 4 und das Vibrationsteil 2 sind so angebracht, daß eine Relativdrehung verhindert ist. Zum Zusammenfassen des Motors zu einer Einheit wird das bewegbare Teil durch sein Gewicht oder eine nicht gezeigte Vorspannungsvorrichtung in Andruckberührung mit dem Vi- brationsteil 2 gehalten. Die elektrostriktive Vorrichtung 3 weist eine Gruppe elektrostriktiver Elemente 3A1 bis 3A7 auf, die in einem Teilungsabstand angeordnet sind, der gleich der Hälfte einer Wellenlänge N einer Vibrationswelle ist. Die elektrostriktiven Elemente 3A1, 3A3, 3A5 und 3A7 sind in einer Richtung polarisiert, während die dazwischengesetzten elektrostriktiven Elemente 3A2, 3A4 und 3A6 in der Gegenrichtung polarisiert sind. Auf diese Weise sind die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A7 jeweils zu benachbarten Elementen entgegengesetzt polarisiert. Die elektrostriktive Vorrichtung 3 weist eine weitere Gruppe e elektrostriktiver Elemente 3B1 bis 3B7 auf, die gleichfalls im Teilungsabstand A/2 angeordnet und gegenüber dem jeweils benachbarten Element entgegengesetzt polarisiert sind.
  • Die Gruppe der elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A7 und die Gruppe der elektrostriktiven Elemente 3B1 bis 3B7 sind unter Phasendifferenz mit einem gegenseitigen Teilungsabstand von ( m #o + 1/4)# A angeordnet, wobei = O, Ir 2, 3, ..... ist.
  • Die elektrostriktive Vorrichtung 3 muß nicht aus den vielen elektrostriktiven Elementen bestehen, sondern kann auch gemäß der Darstellung in Fig. 2 durch ein ein-z.ges Ringelement 3 gebildet sein, welches unter dem Teilungsabstand A/2 zu polarisierten Bereichen 3a1 bis 3a5 und 3bl bis 3b5 polarisiert ist.
  • An den dem Schwingungsdämpfer 4 zugewandten Seiten ist an die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A7 ein Zuleitungsdraht lia und an die elektrostriktiven Elemente 3131 bis 3B7 ein Zuleitungsdraht lib angeschlossen, wobei diese Drähte mit einer Wechselspannungsquelle 6a bzw. einem 900-Phasenschieber 6b verbunden sind (siehe Fig. 3). Ein Zuleitungsdraht llc ist mit dem Metall-Vibrationsteil 2 und der Wechselspannungsquelle 6a verbunden.
  • Der dermaßen aufgebaute Vibrationswellenmotor arbeitet auf folgende Weise: Die Fig. 3 veranschaulicht die Entstehung der Vibrationswelle in dem Motor. Die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A4 und 3B1 bis 3B4 sind zwar für die Erläuterung jeweils nebeneinander dargestellt, jedoch erfüllen sie die Forderung der #/4-Phasenverschiebung, , wobei sie im wesentlichen so wie die elektrostriktiven Elemente 3A bis 3A4 und 3B1 bis 3B4 des in Fig. 1 gezeigten Motors angeordnet sind. Symbole @ in den elektrostriktiven Elementen 3A1 bis 3A4 und 3B1 bis 3B4 geben an, daß sich dort bei einem positiven Zyklus der Wechselspannung die elektrostriktiven Elemente ausdehnen, während Symbole S angeben, daß sich dort die Elemente bei dem positiven Zyklus zusammenziehen bzw. verkürzen.
  • Das Metall-Vibrationsteil 2 wird als eine Elektrode für die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A4 und 3B1 bis 3B4 verwendet, während an die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A4 aus der Wechselspannungsquelle 6a die Wechselspannung V = Vo sin Wt angelegt wird und aus der Wechselspannungsquelle 6a über den 9O0-Phasenschieber 6b. die elektrostriktiven Elemente 3B1 bis 3B4 mit einer um X/4 phasenverschobenen Wechselspannung V = Vo sin (w t + t/2) gespeist werden, wobei die Vorzeichen + und - in der Gleichung abhängig von der. Bewegungsrichtung des (in Fig. 3 nicht gezeigten) bewegbaren Teils 1 durch den Phasenschieber 6b gewählt werden. Wenn das Vorzeichen + gewählt ist, ist die Phase um + 900 verschoben, wobei das bewegbare Teil 1 vorwärts bewegt wird, während bei der Wahl des Vorzeichens - die Phase um 900 verschoben ist, so daß das bewegbare Teil 1 in der Gegenrichtung bewegt wird. Es sei nun angenommen, daß das Vorzeichen - gewählt ist und an die elektrostriktiven Elemente 3B bis 3B4 die Spannung V = Vo sin ( #Ot - C/2) angelegt wird. Wenn nur die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A4 durch das Anlegen der Spannung V = Vo sin Wt in Schwingungen versetzt werden, wird eine Vibration durch eine stehende Welle gemäß der Darstellung in Fig. 3(a) hervorgerufen. Wenn# nur die elektrostriktiven Elemente 3B1 bis 3B4 durch das Anlegen der Spannung V = V sin 0 (wt - 7t/2) in Schwingungen versetzt werden, wird eine Vibration durch eine stehende Welle gemäß der Darstellung in Fig. 3(b) erzeugt. Wenn die beiden Wechselspannungen mit der gegenseitigen Phasendifferenz gleichzeitig an die elektrostriktiven Elemente 3A1 bis 3A4 bzw.. 3B1 bis 3B4 angelegt werden, ist die Vibrationswelle eine Wanderwelle. Die Fig. 3(c) zeigt die Kurvenform zu einem Zeitpunkt t = 2nr/w , die Fig. 3(d) zeigt die Kurvenform zu einem Zeitpunkt t = R/2> + 2nr/w , die Fig. 3(e) zeigt die Kurvenform zu einem Zeitpunkt t = r/w + 2n und ,unddie Fig. 3(f) zeigt die Kurvenform zu einem Zeitpunkt t = 3 m/2 + 2n m/GJ . Die Wellenfront der Vibrationswelle wandert in der Richtung einer x-Achse.
  • Die Wanderwelle enthält eine Längswelle und eine Querwelle. Betrachtet man einen Massepunkt des in Fig. 4 geze.igten Vibrationsteils 2, so rufen eine Längsamplitude u und eine Queramplitude w eine elliptische Umlaufbewegung im Uhrzeigersinn hervor. Das bewegbare Teil wird an die Oberfläche des Vibrationsteils 2 angedrückt, wobei es nur Scheitelpunkte der Vibrationsfläche berührt. Daher wird das bewegbare Teil 1 durch ~die Komponente der Längsamplitude u der elliptischen Bewegung von Massepunkten A, A', .... an den Scheitelpunkten bewegt, so daß das bewegbare Teil in der Richtung eines Pfeils N bewegt wird.
  • Die Geschwindigkeit des Massepunktes A an dem Scheitelpunkt beträgt v = 2 Z fu (wobei f die Vibrationsfrequenz ist), während aufgrund des Reibungsantriebs durch die Andruckberührung die Bewegungsgeschwindigkeit des bewegbaren Teils 1 von der Geschwindigkeit des Massepunktes und auch von der Queramplitude w abhängig ist. Daher ist die Geschwindigkeit des bewegbaren Teils 1 proportional zu dem Ausmaß der elliptischen Bewegung des Massepunktes A.
  • Da andererseits das bewegbare Teil 1 unter Reibung an dem Scheitelpunkt der Wellenfront der Vibrationswanderwelle des Vibrationsteils 2 angetrieben wird, ist es zur Verbesserung eines Antriebswirkungsgrads erforderlich, daß die Wellenfront in der Richtung des Scheitelpunkts (der z-Achse nach Fig. 4) in Resonanz kommt. Hierbei besteht der Zusammenhang f=/E/3p ç mh/.R 2 wobei f(= w/2r) die Frequenz der Eingangsspannung ist, E der Elastizitätsmodul des Vibrationsteils 2 ist, P dessen Dichte ist, h dessen Dicke ist und Ä die Wellenlänge der erzeugten Welle ist. Die Resonanz tritt bei derjenigen Dikke auf, die der vorstehend genannten Beziehung entspricht.
  • Da das Vibrationsteil 2 ringförmig ist, wandert die Vibrationswanderwelle längs des Rings, wobei eine Resonanz dann auftiitt, wenn für die gerade neu erzeugte Welle die Umfangslänge mD gleich dem n-fachen der Wellenlänge ist, ist, nämlich nh = TLD gilt, wobei n eine natürliche Zahl ist.
  • Durch die Resonanz steigt die Amplitude der Vibrationswanderwelle an, so daß der Antriebswirkungsgrad des Vibrationswellenmotors verbessert wird.
  • Zum Verbessern des Antriebswirkungsgrads eines derartigen Vibrationswellenmotors ist es erforderlich, die Frequenz der angelegten periodischen Spannung unter Berücksichtigung verschiedener Umstände wie der Dicke und des Radius des Vibrationsteils zu steuern.
  • Nach einer solchen Einstellung kann sich jedoch die Resonanzfrequenz durch eine Temperaturänderung des Motors oder einer Oszillatorschaltung oder durch eine Alterungserscheinung am Motor wie einen Abrieb des Vibrationsteils verschieben bzw. verändern.
  • Ferner steigen durch die Einstellung der Frequenz die Herstellungskosten an.
  • Andererseits ist es anzustreben, die Frequenz so zu steuern, daß eine optimale Resonanzfrequenz bei einer höchsten Drehgeschwindigkeit des Vibrationswellenmotors erzielt wird.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine -Einrichtung und ein Verfahren zum Steuern eines Vibrationswellenmotors zu schaffen, bei welchen eine Frequenz gespeichert wird, die eine gemessene höchste Antriebsgeschwindigkeit des Vibrationswellenmotors ergibt, und der Motor mit einer periodischen Spannung mit der gespeicherten Frequenz angetrieben wird, um den Antriebswirkungsgrad zu verbessern.
  • Ferner sollen mit der Erfindung eine Einrichtung und ein Verfahren zum Steuern eines Vibrationswellenmotors geschaffen werden, bei welchen der Motor intermittierend mittels einer periodischen Spannung mit einer gespeicherten Frequenz betrieben wird.
  • Weiterhin soll erfindungsgemäß eine Frequenz gespeichert werden, die eine gemessene maximale Amplitude eines Vibrationsteils des Vibrationswellenmotors ergibt, und der Motor mittels einer periodischen Spannung mit der gespeicherten Frequenz betrieben werden.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
  • Fig. 1 ist eine auseinandergezogene Darstellung des Aufbaus eines Vibrationswellenmotors nach dem Stand der Technik.
  • Fig. 2 zeigt eine polarisierte elektrostriktive Vorrichtung nach Fig. 1.
  • Fig. 3 veranschaulicht den Antrieb bei einem Vibrationswellenmotor.
  • Fig. 4 veranschaulicht das Funktionsprinzip eines Vibrationswellenmotors.
  • Fig. 5 zeigt eine Steuerschaltung für den Vibrationswellenmotor als erstes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Steuereinrichtung.
  • Fig. 6 zeigt Ausgangssignal-Kurvenformen von in Fig.
  • 5 gezeigten Frequenzteilern.
  • Fig. 7 ist ein Ablaufdiagramm einer Betriebsablauffolge der in Fig. 5 gezeigten Schaltung.
  • Fig. 8 ist ein Ablaufdiagramm von Schritten zum Steuern des Vibrationswellenmotors gemäß dem in Fig.
  • 7 gezeigten Ablaufdiagramm.
  • Fig. 9 (a) und 9 (b) sind Ablaufdiagramme einer weiteren Betriebsablauffolge der in Fig. 5 gezeigten Schaltung.
  • Fig. 10 ist ein Ablaufdiagramm von Schritten zur Steuerung des Vibrationswellenmotors entsprechend den in den Fig. 9(a) und 9(b) gezeigten Ablaufdiagrammen.
  • Fig. 11 zeigt eine Steuerschaltung für den Vibrationswellenmotor als ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Steuereinrichtung.
  • Fig. 12 zeigt einen Zeitgeber zur intermittierenden Ansteuerung der Schaltung nach Fig. ll.
  • Fig. 13 zeigt eine Steuerschaltung für den Vibrationswellenmotor als ein drittes Ausführungsbeispiel der Steuereinrichtung.
  • Fig. 14 ist ein Ablaufdiagramm einer Betriebsablauffolge der in Fig. 13 gezeigten Schaltung.
  • Fig. 15 ist eine perspektivische Ansicht eines bei der Schaltung nach Fig. 13 verwendeten Vibrationsteils.
  • Fig. 16 zeigt eine Steuerschaltung für einen automatischen Scharfeinstellmechanismus, der den Vibrationswellenmotor enthält.
  • Es wird nun ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Steuereinrichtung erläutert. Die Fig. 5 zeigt eine Steuerschaltung für einen Vibrationswellenmotor. Mit CPU ist ein Mikrocomputer bezeichnet, mit DF1 bis DF3 sind D-Flip-Flops bezeichnet, mit DF4 ist eine steuerbare Ausgabeschaltung mit vier D-Flip-Flops bezeichnet, mit DF5 ist eine Schaltung mit drei D-Flip-Flops bezeichnet, mit BF ist ein Puffer mit drei Ausgangszuständen (tri-state buffer) bezeichnet, mit C1 ist ein Zähler bezeichnet, mit CG1 ist ein Taktgenerator bezeichnet, mit G1 und G2 sind NAND-Glieder bezeichnet, mit G3 und G4 sind Antivalenzglieder bezeichnet, mit G5 ist ein ODER-Glied bezeichnet, mit I1 bis I8 sind Inverter bezeichnet, mit D1 und D2 sind Frequenzteiler bezeichnet, mit AS ist ein Analogmultiplexer bezeichnet, mit RO bis R14 sind Widerstände bezeichnet, mit, CAP1 und CAP2 sind Kondensatoren bezeichnet, mit Trl bis Tr8 sind Transistoren bezeichnet, mit 3A und 3B sind elektrostriktive Elemente bezeichnet, die an einem Vibrationswellenmotor angebracht sind (und die einem der Elemente 3A1 bis 3A7 bzw. einem der Elemente 381 1bis 3B7 nach Fig. 1 entsprechen), und mit 11 ist ein kammförmiger Dr~i,schålter mit einer Schleifelektrode bzw. einem Schleifer 13 bezeichnet, der mit einer an einem Rotor 1 (als bewegbares Teil) angebrachten kammförmigen Elektrode 12 derart in Kontakt kommt, daß bei dem Umlauf des Rotors 1 ein Stromkreis geöffnet und geschlossen wird.
  • Die Inverter I3 und' 14, der Kondensator CAP1 und die Widerstände RO bis R4 mit stufenweise ansteigenden Widerstandswerten bilden einen Taktgenerator CG2. Der Analogmultiplexer AS wählt durch ein digitales Eingangssignal an Anschlüssen AO bis A2 einen von Anschlüssen XO bis X4 und verbindet den gewählten Anschluß mit einem Anschluß X. Auf diese Weise wird durch das digitale Signal einer der Widerstände RO bis R4 gewählt, so daß der Taktgenerator CG2 ein Schwingungs- bzw. Taktausgangssigna'l CLK mit der jeweils entsprechenden unterschiedlichen Frequenz erzeugt. Die Frequenzteiler D1 und D2 teilen die Eingangsfrequenz auf den Anstieg des Taktausgangssignals CLK hin. Da das Taktausgangssignal dem Frequenzteiler D2 über den Inverter I5 zugeführt wird, werden phasenverschobene Ausgangssignale ACLK und BCLK gemäß der Darstellung in Fig. 6 erzeugt.
  • Diese Taktausgangssignale werden jeweils Treiberstufen DR1 bzw. DR2 zugeführt. Die Treiberstufe DR1 weist. eine durch das Ausgangssignal mit der Kurvenform ACLK angesteuerte Gegentaktschaltung auf und legt eine periodische Spannung an das elektrostriktive Element 3A an. Die Treiberstufe DR2 wird durch das Ausgangssignal mit der Kurvenform BCLK angesteuert und legt eine um A/4 phasenverschobenen periodische Spannung an das elektrostriktive Element 3B an.
  • Die Flip-Flops DF1, DF2 und DF3 wirken als ein Schieberegister, wobei ihre Takteingangsanschlüsse CP an den Taktgenerator CG1 angeschlossen sind, so daß das Signal von dem Schleifer 13 aufeinanderfolgend bei dem Anstieg des Taktsignals verschoben wird. Der Zähler oil zählt die Taktsignale aus dem Taktgenerator CG1.
  • Das Flip-Flop DF4 hat eine Ausgangsstufe mit drei Ausgangszuständen und gibt durch ein Eingangssignal "L" an einem Anschluß OE Ausgangssignale an Anschlüssen QO bis Q3 ab.
  • Bei dem Anstieg des Ausgangssignals des zwischen den Eingang und den Ausgang des Flip-Flops DF2 geschalteten Antivalenzglieds G4 werden Eingangssignale an Eingängen DO bis D3 des Flip-Flops DF4 gespeichert; wenn das Ausgangssignal des zwischen den Eingang und den Ausgang des Flip-Flops DF3 geschalteten Antivalenzglieds G3 den hohen Pegel H annimmt, wird über das ODER-Glied G5 der Zähler C1 zurückgesetzt.
  • Unmittelbar nach einer Änderung des Signals aus dem Schleifer 13 werden die Ausgangssignale Q3 bis Q6 des Zählers C1 in dem Flip-Flop DF4 gespeichert, wonach der Zähler C1 sofort rückgesetzt wird, dann die Rücksetzung des Zählers aufgehoben wird und der Zähler C1 wieder zu zählen beginnt. Dieser Vorgang wird für einen jeden Wechsel des Signals aus dem Schleifer 13 ausgeführt.
  • Das Q-Ausgangssignal des Flip-Flops DF3 und das Ausgangssignal Q7 für das werthbchste Bit des Zählers C1 werden an Eingangsanschlüsse X1 und XO des Puffers BF mit den drei Ausgangszuständen angelegt, welcher durch das Eingangssignal L an dem Anschluß OE Signale Y1 und YO abgibt. Die Ausgangssignale des Flip-Flops DF4 und des Puffers BF werden Datensammelleitungen DBO bis DB3 des Mikrocomputers CPU zugeführt. Wenn ein Lesesignal RD, das erzeugt wird, wenn der Mikrocomputer CPU einen externen Datenwert einliest, und ein Adressensignal AO jeweils den niedrigen Pegel L haben, hat das Ausgangssignal des NAND-Glieds G2 den Pegel L, so daß an den Anschluß OE des Puffers BF das Signal L angelegt wird. Wenn das Adressensignal AQ den Pegel H hat, hat das Ausgangssignal des NAND-Glieds' G1 den Pegel L, welcher dem Anschluß OE des Flip-Flops DF 4 zugeführt wird, so daß die, Ausgangssignale QO bis Q3 in den Mikrocomputer CPU eingelesen werden.
  • Wenn der Mikrocomputer CPU ein Signal abgibt, nimmt ein Schreibsignal WR'den Pegel L an, wodurch das Flip-Flop DF5 die Signale an der Datensammelleitung des MiI<rocomputers CPU speichert. Das Ausgangssignal des Flip-Flops DF5 wird dem Analogmultiplexer AS zugeführt, welcher einen der Widerstände RO bis R4 wählt.
  • Durch das Signal WR wird über den Inverter I6 und das ODER-Glied G5 der Zähler C1 rückgesetzt. An einen Anschluß Re ist eine Integrierschaltung mit einem Kondensator CAP2 und einem Widerstand R6 angeschlossen, um den Mikrocomputer CPU rückzusetzen, wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird.
  • Die vorstehend beschriebenen Betriebsvorgänge werden anhand des Programmablaufdiagramms in Fig. 7 erläutert.
  • Wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird, wird der Mikrocomputer CPU rückgesetzt und ein Programmzähler auf "O" zurückgeschaltet. Damit beginnt das Programm von dem Kopf des Ablaufdiagramms an.
  • Zuerst wird eine Variable K auf "O" eingestellt, während der Inhalt eines Registers RG1 auf einen Maximalwert 15 für vier Bits eingestellt wird (K=O, RG1=15).
  • Die Variable K wird an die Datensammelleitung ausgegeben (Ausgabe K, Schritt FST). Da K = 0 gilt, ist das Ausgangssignal des-Flip-Flops DF5 gleich "0", so daß mittels des Analogmultiplexers AS der Widerstand RO gewählt wird.
  • Da der WiderstandswerF tages Widerstands RO der kleinste derjenigen der Widerstände RO bis R4 ist, hat das Taktausgangssignal CLK die höchste Frequenz.
  • Das Schreibsignal WR des Mikrocomputers CPU setzt über den Inverter I6 und das ODER-Glied G5 den Zähler C1 zurück.
  • Danach wird eine Adresse 0 eingegeben (Eingabe ADO, Schritt IN1). Da der Ausgang AO des Mikrocomputers CPU nunmehr den Pegel L hat, wird über die Datensammelleitung dem Mikrocomputer CPU das ~Ausgangssignal des Puffers BF zugeführt. Das Bit 1 der Daten wird darauf geprüft, ob es "O" oder "1" ist. Dies stellt die Ermittlung des Ausgangssignals Q des Flip-Flops DFS dar. Falls das Bit 1 "O" ist, nämlich der Schleifer 13 die Elektrode 12 berührt, schreitet das Programm zu einem Schritt WATweiter.
  • Dann wird das bei dem Schritt "Eingabe ADO" bzw. IN1 empfangene Bit 0 geprüft. Das Bit 0 ist das Ausgangssignal Q7 des Zählers C1 und daher noch wegen der anfänglichen Rücksetzung "O". Infolgedessen kehrt das Programm zu dem Schritt IN1 zurück.
  • Während das Programm wiederholt diese Schleife durchläuft, dreht der Vibrationswellenmotor; wenn dabei der Schleifer 13 in eine Stellung kommt, bei der er außer Kontakt zu der Elektrode 12 ist, nämlich der Schalter 11 geöffnet ist, nimmt nach den zeitlichen Verzögerungen durch die Flip-Flops DF1 bis DF3 das Ausgangssignal Y1 des Puffers BF den Pegel H an, wodurch das Programm aus der Schleife heraustritt und zu einem Schritt IN2 fortschreitet.
  • Bei dem Schritt IN2 wird die Adresse 0 wieder eingegeben (Eingabe ADO) und dann das Bit 0 geprüft. Dieser Sprungbefehl und der Sprungbefehl bei dem Schritt WAT erfassen einen Zustand, bei dem der Vibrationswellenmotor stillsteht oder mit einer sehr'niedrigen Geschwindigkeit bzw.
  • Drehzahl umläuft. Wenn der Zähler C1 bis zu der werthöchsten Bitstelle hochzählt, nimmt der Anschluß Q7 den Pegel H an, so daß das Bit 0 den Wert "1" annimmt. Auf diese Weise springt das Programm zu einem Schritt NXT. Dieser Sprungbefehl erfaßt den Zustand niedriger Drehzahl, um damit einen unnötigen Zeitaufwand zur Steuerung bei der niedrigen Drehzahl des Motors zu ersparen.
  • Das Bit 1 der bei dein Schritt IN2 eingegebenen Daten wird geprüft. Die Schleife zurück zu dem Schritt 1N2 wird wiederholt, bis der Schleifer 13 mit der Elektrode 12 den nächsten Kontakt bildet.. Wenn das Bit 1 auf "O" wechselt, schreitet das Programm zu einem Schritt IN3 weiter, bei dem die Adresse 1 eingegeben wird (Eingabe AD1). Dabei wird das Ausgangssignal des Flip-Flops DF4 eingelesen.
  • Gemäß der vorangehenden Beschreibung speichert das Flip-Flop DF4 die Ausgangssignale Q3 bis .Q6 des Zählers C1 unmittelbar nach dem Wechsel des Signals aus dem Schleifer 13. Daher kann in den Mikrocomputer CPU ein Wert eingegeben werden, der der Öffnungszeit des Schalters 11 entspricht.
  • Der bei dem Schritt IN3 eingegebene Wert DATA wird mit dem Inhalt des Registers RG1 verglichen. Da anfänglich RG1 = 15 gilt, muß der Wert DATA kleiner als ~15" sein, so daß das Programm zu einem Schritt MN fortschreitet, bei dem der Wert DATA in das Register RG1 eingespeichert wird (DATA > RG1) und die Variable K in ein Register RG2 eingespeichert wird (K - >RG2).
  • Das Programm schreitet dann zu dem Schritt NXT weiter, bei dem die Variable K aufgestuft wird (K + I-cK), Falls der Wert DATA größer als der Inhalt des Registers RG1 oder gleich diesem ist, bleiben die Inhalte der Register AG1 und RG2 unverändert, während das Programm zu. dem Schritt NXT fortschreitet.
  • Danach wird der Wert K mit "5" verglichen. Da K nunmehr gleich "1" ist, kehrt das Programm zu dem Schritt FST zurück. Der Wert K wird auf "1" eingestellt, um den Widerstand R1 zu wählen, wobei das Programm auf die gleiche Weise fortschreitet.
  • Auf diese Weise werden die Widerstände no bis Rd feinanderfolgend angewählt, um während des Umlaufs des Vibrationswellenmotors die Frequenz der angelegten Spannung zu verändern.
  • Wenn der Wert der Variablen K "5" erreicht, ist in dem Register RG1 ein der höchsten Geschwindigkeit bzw. Drehzahl des Vibrationswellenmotors entsprechender Zählwert gespeichert und in dem Register RG2 der dabei auftretende Wert K gespeichert.
  • Durch den Sprungbefehl für K = 5 zweigt das Programm zu einem Schritt FNS ab, bei dem der Inhalt des Registers RG2 ausgelesen wird. Auf diese Weise wird zum Steuern des Tak~ausgangssignals CLK des Taktgenerators CG2 aus den Widerständen RO bis R4 derjenige Widerstand gewählt, der die höchste Geschwindigkeit bzw. Drehzahl des Vibrationswellenmotors ergibt. Dann endet das Programm.
  • Das Taktausgangssignal CLK wird an die Frequenzteiler D1 und D2 angelegt, wodurch über die Treiberstufen DR1 bzw. DR2 an die elektrostriktiven Elemente 3A bzw. 3B periodische Spannungen angelegt werden, die durch das Ausgangssignal ACLK des Frequenzteilers Dl bzw. das Ausgangssignal BCLK des Frequenzteilers D2 bestimmt sind.
  • Damit wird die Frequenz der periodischen Spannung so gesteuert, daß eine für die Form und die Größe des Vibrationsteils optimale Resonanz sichergestellt wird, wodurch der Motor zu der höchsten Drehzahl angetrieben wird und der Antriebswirkungsgrad sehr hoch ist.
  • Da die Steuerung zu Beginn der Ansteuerung des Motors vorgenommen wird, wird der Motor immer optimal gesteuert, selbst wenn sich für eine jeweilige Ansteuerung eine Betriebsbedingung verändert.
  • Bei der Herstellung ist keine Feineinstellung der Frequenz erforderlich, so daß die Herstellungszeit verkürzt werden kann.
  • Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel ist zwar als Einrichtung zur Ausgabe des Geschwindigkeits-bzw. Drehzahlsignals des Motors der Kammform-Drehschalter gezeigt, jedoch kann statt dessen zum Erzeugen des Drehzahlsignals ein fotoelektrischer Wandler, bei dem ein optisches Muster und eine fotoempfindliche Vorrichtung verwendet wird, oder ein magnetoelektrischer Wandler eingesetzt werden, bei dem ein Magnetmuster und eine Halleffekt-Vorrichtung verwendet wird.
  • Bei dem vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel wird zwar zum Messen der Drehzahl der Zähler verwendet, jedoch kann auch das Signal von dem Schleifer direkt an den Mikrocomputer angelegt und von diesem durch ein Programm hinsichtlich der Zeit aufbereitet werden. Bei der Drehzahlmessung besteht daher feine Einschränkung auf den Schaltungszähler.
  • Die Kurvenformen der Ausgangssignale der Frequenzteiler sind nicht auf die. Rechteck-Kurvenformen ACLK und BCLK gemäß Fig. 6 beschränkt, sondern es können Sinus-Kurvenformen für die Ansteuerung des Vibr'ati'onswellenmotors verwendet werden.
  • Die Fig. 8 ist ein Ablaufdiagramm von Schritten für die Steuerung des Vibrationswellenmotors gemäß dem in Fig.
  • 7 gezeigten Ablaufdiagramm. Bei einem Schritt (a) wird die Frequenz der an die elektrostriktiven Elemente des Vibrationswellenmotors anzulegenden periodischen Spannung eingestellt. Bei einem Schritt (b) wird geprüft, ob die Drehzahl des bewegbaren Teils 1 des Vibrationswellenmo.- tors sehr niedrig oder "O" ist. Falls die Drehzahl sehr niedrig oder ~0" ist, schreitet das Programm zu einem Schritt (f) weiter. Falls die Drehzahl höher als eine vorbestimmte Drehzahl ist, schreitet das Programm zu einem Schritt (c) weiter, bei dem die Geschwindigkeit bzw.
  • Drehzahl gemessen wird.
  • Bei einem Schritt (d) wird die bei der anfänglich eingestellten Frequenz gemessene Drehzahl mit einer vorbestimmten Bezugsdrehzahl verglichen oder es werden jeweils bei aufeinanderfolgend veränderten Frequenzen gemessene Drehzahlen mit den bei den vorangehenden Frequenzen gemessenen Drehzahlen verglichen; falls die ersteren Drehzahlen niedriger sind, schreitet das Programm zu dem Schritt (f) weiter; falls die ersteren Drehzahlen höher sind, schreitet das Programm zu einem Schritt (e) weiter.
  • Bei dem Schritt (e) wird die Frequenz für die gemessene Drehzahl gespeichert.
  • Infolgedessen wird die Frequenz nur dann aufeinanderfolgend fortgeschrieben und gespeichert, wenn die Drehzahl allmählich ansteigt.
  • Bei. dem dem Schritt (b), (c) oder (e) folgenden Schritt (f) wird geprüft, ob die Frequenz auf jede der möglichen Frequenzen verändert wurde; wenn dies nicht der Fall ist, wird die Frequenz bei einem Schritt (g) verändert, wonach der Schritt (b) und die nachfolgenden Schritte wiederholt werden. Falls alle Frequenzen fertiggeprüft worden sind, wird die gespeicherte Frequenz bei einem Schritt (h ) ausgegeben. Die Drehzahl bei dieser Frequenz ist dann die maximale Drehzahl.
  • Eine zweite Betriebsart der in Fig. 5 gezeigten Schaltung wird anhand des in Fig. 9 gezeigten Programmablaufdiagramms erläutert.
  • Wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird, wird der Mikrocomputer CPU rückgesetzt und der Programmzähler auf "O" zurückgestellt. Damit beginnt das Programm von dem Kopf des Ablaufdiagramms in Fig. 9(a) an.
  • Die Variable K (0 bis 4) für die Widerstände RO bis R4 wird auf "2" in der Mitte des Bereichs eingestellt (K = 2). Danach schreitet das Programm zu einem Unterprogramm SUB gemäß der Darstellung in dem Ablaufdiagramm in Fig. 9(b) weiter.
  • Der Wert K wird an der Datensammelleitung ausgegeben (Ausgabe K). Da K = 2 gilt, ist das Ausgangssignal des Flip-Flops DF5 gleich "2", so daß durch den Analogmultiplexer AS der Widerstand R2 gewählt wird. Da der Widerstandswert des Widerstands R2 in der Mitte der Widerstände R'O bis R4 liegt, hat das Taktausgangssignal CLK eine Frequenz, die um die Mitte des Frequenzbereichs herum liegt.
  • Das Schreibsignal WR des Mikrocomputers CPU setzt über den Inverter I6 und das ODER-Glied G5 den Zähler C1 zurück.
  • Dann wird die Adresse 0 eingegeben (Eingabe ADO). Da der Ausgang AO des Mikrocomputers CPU den Pegel "L" hat, wird dem Mikrocomputer CPU über die Datensammell.eitung das Ausgangssignal des Puffers BF zugeführt. Das Bit 1 der Daten wird darauf geprüft, ob es "O" oder "1" ist. Dies stellt die Ermittlung des Ausgangssignals Q des Flip-Flops DF3 dar. Falls das Bit 1 "O" ist, nämlich der Schleifer 13 in Kontakt mit der Elektrode 12 ist, schrei-.tet das Programm zu einem Schritt WAT weiter. Dabei wird dann das Bit 0 der bei dem Schritt "Eingabe ADO" bzw.
  • IN1 eingegebenen Daten geprüft. Das Bit 0 ist das Aus- gangssignal Q7 des Zählers C1 und unmittelbar nach dem Rücksetzen noch "O". Daher kehrt das Programm zu dem Schritt IN1 zurück.
  • Während das Programm wiederholt diese Schleife durchläuft, dreht der Vibrationswellenmotor; wenn der Schleifer 13 in eine Stellung kommt, bei der er mit der Elektrode 12 keinen Kontakt bildet, nämlich der Schalter 11 geöffnet ist, nimmt nach der zeitlichen Verzögerllng durch die Flip-Flops DF1 bis DF3 der Ausgang Y1 des Puffers BF den hohen Pegel H an. Daher tritt das Programm aus der Schleife heraus und schreitet zu einem Schritt IN2 weiter.
  • Bei dem Schritt IN2 wird wieder die Adresse 0 eingegeben (Eingabe ADO) und danach das Bit 0 geprüft. Dieser Sprungbefehl und der Sprungbefehl bei dem Schritt WAT erfassen den Zustand, bei dem der V i br at i on swil le nmo to r stillsteht oder mit einer sehr niedrigen Drehzahl umläuft. Wenn der Zähler C1 bis zu dem werthöchsten Bit Q7 hochzählt, nimmt der Anschluß Q7 den Pegel H an, so daß das Bit 0 den Wert "1" annimmt. Auf diese Weise springt das Programm zu einem Schritt NXT weiter, bei dem der maximale Wert 15 für vier Bits eingestellt wird (DATA = 15). Auf diese Weise erfaßt dieser Befehl die niedrige Drehzahl, um eine Zeitverschwendung bei der Steuerung des Motors auf die maximale Drehzahl zu vermeiden.
  • Dann wird das Bit 1 der bei dem Schritt IN2 eingogebenen Daten geprüft. Die Schleife bis zurück zu dem Schritt IN2 wird wiederholt, bis der Schleifer 13 den nächsten Kontakt-mit der Elektrode 12 bildet. Wenn das Bit 1 auf "0" wechselt, schreitet das Programm zu einem Schritt IN3 weiter, bei dem die Adresse 1 eingegeben wird (Einga- be AD1). Dabei wird das AusgangssLgnal des Flip-i'#ops DF4 ausgelesen und als Wert DATA eingestellt.
  • Damit ist das Unterprogramm beendet, so daß das Programm zu dem Hauptprogramm zurückkehrt (RTN).
  • In dem Hauptprogramm wird der der gemessenen Drehzahl entsprechende Wert DATA in das Register RG1 eingespeichert (DATA » RG1). Danach wird der, Wert K auf "3" eingestellt und wieder das Unterprogramm SUB ausgeführt.
  • D.h., es wird der Widerstand R3 gewählt und die Drehzahl gemessen. Das Unterprogramm SUB wurde vorstehend erläutert, so daß hier die Erläuterung weggelassen wird.
  • Bei einem nachfolgenden Schritt NX3 wird der im Unterprogramm SUB gemessene Wert DATA mit dem Inhalt des Registers RG1 (dem Wert DATA für K = 2) verglichen; wenn der letztere Wert größer ist, nämlich die Drehzahl bei K = 3 höher ist, springt das Programm zu einem Schritt NX4 weiter, bei dem der Wert DATA für K = 3 in das Register RG1 eingespeichert wird (DATA --RG1).
  • Danach wird der Wert K auf "4"-eingestellt und das Unterprogramm SUB ausgeführt. D.h., es wird der Widerstand R4 gewählt und die Drehzahl gemessen. Danach wird der Wert DATA mit dem Inhalt des Registers RG1 verglichen; falls der letztere größer ist, ist die Drehzahl für K=4 maximal, so daß das Programm zu einem Schritt FNII fortschreitet. Falls der Inhalt des Registers RG1 kleiner ist, ist die Drehzahl für K = 3 maximal, so daß der Wert K auf "3" eingestellt wird und das Programm zu dem Schritt FHN fortschreitet.
  • Falls bei dem Schritt NX3 der Inhalt des Registers RG1 kleiner ist, wird der Wert K auf ~1" eingestellt und das Programm auf gleichartige Weise ausgeführt. Dieser Schritt ist dem Schritt NX4 gleichartig, so daß eine Erläuterung weggelassen wird. Der Wert DATA für K = 1 wird mit dem Inhalt des Registers RG1 verglichen; falls der letztere kleiner ist, ist die Drehzahl für K=2 maximal, so daß das Programm zu dem Schritt FNH fortschreitet.
  • Falls der Inhalt des Registers RG1 größer ist, wird der Wert DATA für K = 1 in das Register RG1 eingespeichert, und mit dem Wert DATA für K = 0 verglichen. Falls der Inhalt des Registers RG1 größer ist, ist die Drcllzahl für K = 1 maximal, so daß der Wert K auf "1" eingestellt wird und das Programm zu dem Schritt FNH fortschreitet.
  • Falls der Inhalt des Registers RG1 kleiner ist, ist die Drehzahl für K = 0 maximal, so daß der Wert K auf ~0" verbleibt und das Programm zu dem Schritt FNH fortschreitet.
  • Bei dem Schritt FNH wird der Wert K ausgegeben.
  • Auf diese Weise wird aus den Werten 0 bis 4 für K der je nige Wert ausgegeben, der die maximale Drehzahl ergibt, und es wird mit diesem Wert K der entsprechende Widerstand der Wi-derstände RO bis R4 gewählt, um damit das Ausgangssignal CLK des Taktgenerators CG2 zu steuern.
  • Mittels des Ausgangssignals CLK werden die Frequenzteiler D1 und D2 angesteuert. Über die Treiberstufen Dnl und DR2 werden jeweils an die elektrostriktiven Elemente 3A bzw. 3B die periodischen Spannungen in Perioden angelegt, die durch das Ausgangssignal ACLK des F r e que rlz t c i 1 e r s D1 bzw. das Ausgangssignal BCLK des Frequenz,teilers D2 bestimmt sind.
  • Die Frequenz der periodischen Spannungen wird so gesteuert, daß eine für die Form und die Größe des Vibrationsteils optimale Resonanz gewährleistet ist, wodurch die Motordrehzahl maximal wird und der Antriebswirkungsgrad sehr hoch ist.
  • Die Fig. 10 zeigt Schritte bei der Steuerung des Vibrationswellenmotors nach dem in Fig. 9 gezeigten Ab.laufdiagramm.
  • Bei einem Schritt (a') wird die Frequenz auf die Mitte des Frequenzbereichs eingestellt und bei dieser Frequenz eine Geschwindigkeit v1 des bewegbaren Teils gemessen.
  • Bei einem Schritt (b') wird eine Geschwindigkeit v2 des bewegbaren Teils bei einer Frequenz gemessen, die gegenüber der bei dem Schritt (a') eingestellten mittleren Frequenz versetzt ist. Bei dem Schritt (b') wird die Frequenz beispielsweise in der ansteigenden Richtung verändert.
  • Bei einem Schritt (c') werden die bei den Schritten (a') und (b') gemessenen Geschwindigkeiten v1 und v2 miteinander verglichen; falls die Geschwindigkeit v1 höher ist, schreitet das Programm zu einem Schritt (d') weiter; falls, die Geschwindigkeit v2 höher ist, schreitet das Programm zu einem Schritt (f') weiter.
  • Bei dem Schritt (d') wird eine Geschwindigkeit v3 bei einer Frequenz gemessen, die niedriger als die bei dem Schritt (a') eingestellte Frequenz ist.
  • Bei einem Schritt (e') werden die bei den Schritten (a') und (d') gemessenen Geschwindigkeiten v1 und v3 miteinander verglichen; falls die Geschwindigkeit v3 höher ist, schreitet das Programm zu einem Schritt (g') weiter; falls die Geschwindigkeit v1 höher ist, wird die Frequenz für diese Geschwindigkeit ausgegeben.
  • Bei dem Schritt (f') wird die Frequenz aufeinculdcrfolgend erhöht und es werden die Geschwindigkeiten bei den j,eiligen Frequenzen miteinander verglichen, wonach die Frequenz für die maximale Geschwindigkeit ausgegeben wird.
  • Bei dem Schritt (g') wird die Frequenz aufeinanderfolgend verringert und die Geschwindigkeiten bei den jeweiligen Frequenzen werden miteinander verglichen, wonach die Frequenz für die maximale Geschwindigkeit ausgegeben wird.
  • Falls bei dem Schritt (b') die Frequenz auf eine niedrigere Frequenz verändert wird, wird bei dem Schritt (f) die Frequenz aufeinanderfolgend herabgesetzt, während bei dem Schritt (d') die Frequenz über die bei dem Schritt (a') eingestellte Frequenz angehoben wird und bei dem Schritt (g) die Frequenz aufeinanderfolgend erhöht wird.
  • Zur Ansteuerung des Vibrationswellenmotors wird die Spannung mit der bei dem Schritt (e), (f') oder (g') ausgegebenen Frequenz angelegt.
  • Anhand, der Fig. 11 und 12 wird nun ein zweites Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Steuereinrichtung erläutert.
  • Die Fig. 11 und 12 zeigen eine Steuerschaltung für den Vibrationswellenmotor. Gleiche Elemente wie die in Fig.
  • 5 gezeigten sind mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei ihre Erläuterung weggelassen. ist.
  • Nach Fig. 11 wird an den Rücksetzanschluß Re des l^tikrocomputers CPU ein Signal RST angelegt, während an den Takteingang CP des Flip-Flops DF1 ein Signal CPCK angelegt wird. Die Signale RST und CPC werden aus der iii Fig. ~12 gezeigten Schaltung zugeführt, in welcher mit PG ein Impulsgenerator bezeichnet ist, mit C10 ein Zähler bezeichnet ist, mit DF10 ein D-Flip-Flop bezeichnet is-t, Mit CAP21 ein Kondensator bezeichnet ist, mit R15 ein Widerstand bezeichnet ist, mit G6 ein ODER-Glied bezeichnet ist, mit SW ein Schalter bezeichnet ist und mit DD ein Gl eichspannungs /Gl'eichspannungs-Wandl er bezeichnet ist.
  • Ein Eingang D des Flip-Flops DF10 ist mit einem Ausgang OUT des Zählers C10 verbunden, während ein Ausgang Q des Flip-Flops über das ODER-Glied G6 mit dem Rücksetzanschluß Re des Mikrocomputers CPU verbunden ist (Fig. ii).
  • Eine Speisespannung Vcc für die Schaltung wird direkt aus einer Batterie BAT zugeführt, so daß die Schaltung auf das Einlegen bzw. Einschalten der Batterie hin zu arbeiten beginnt. Eine Leitung VE ist mit dem Stromversorgungsanschluß des Mikrocomputers CPU verbunden.
  • Das Signal RST wird mittels einer Inte,grationsschaltung aus dem Kondensator CAP2' und dem Widerstand R15 für eine vorbestimmte Zeitdauer von dem Einschalten der Batterie an abgegeben, wobei der Zähler C10 und der Mikrocomputer CPU rückgesetzt werden und der Zähler C10 die Impulse aus dem Impulsgenerator PG zählt. Wenn der Zähler C10 die Impulse über eine vorbestimmte Zeitdauer gezielt hat, wird an dem Ausgang OUT ein Signal H abgegeben, wodurch bei dem Impulsanstieg an einem Takteingang CP der Ausgang Q des Flip-Flops Du 10 auf den hohen Pegel l IS wechselt, so daß das Signal RST abgegeben wird. Dadurch werden der Mikrocomputer CPU und auch der Zähler C10 wieder riickgesetzt. Das Riicksetzen wird mit einer Frequenz wiederholt, die der Zählung des Zählers C10 entspricht.
  • Die Flip-Flops DF1, DF2 und DF3 wirken als ein Schiebere- gister, wobei ihre Takteingänge an den Impulsgenerator PG angeschlossen sind, so daß das Signal aus dem Schleifer 13 aufeinanderfolgend bei einem jeweiligen Anstieg des Impulsausgangssignals CPCK verschoben wird. Der Zähler C1 zählt die Impulse des Ausgangssignals CPCK aus dem Impulsgenerator PG.
  • Die Funktionsweise dieser Schaltung wird anhand des Programmablaufdiagramms in Fig. 7 erläutert.
  • Wenn die Batterie BAT eingelegt bzw. eingeschaltzet wird, wird dem Mikrocomputer CPU Strom zugeführt, wobei der Mikrocomputer CPU durch das Signal RST aus dem Oi)ER-Glied G6 rückgesetzt wird und der Programmzähler auf O zurückgestellt wird. Damit beginnt das Programm von dem Kopf des Ablaufdiagramms an.
  • Die Variable K wird anfänglich auf O einrestellt während der Inhalt des Registers RG1 auf den Maximalwert 15 für vier Bits eingestellt wird (K = 0, RG; = 15). Je größer der Inhalt des Registers RG1 ist, um so niedriger ist die Geschwindigkeit bzw. Drehzahl.
  • Der Wert K wird auf die Datensammelleitung ausgegeben (Ausgabe K). Da K=O gilt, ist das Ausgangssignal des Flip-Flops DF5 gleich O so daß durch den Analogmultiplexer AS der Widerstand RO gewählt wird. Da der Widerstandswert des Widerstands RO der kleinste aus denjenigen der Widerstände RO bis R4 ist, hat das Taktausgangssigrlal CLK die höchste Frequenz.
  • Durch das Schreibsignal WR des Mikrocomputers CPU wird über den Inverter I6 und das ODER-Glied G5 der Zähler C1 rückgesetzt.
  • Danach wird die Adresse 0 cingeg,eberl (linlyal)(? Al(9). l)a das Ausgangssignal AO des Mikrocomputers CPU nun den niedrigen Pegel L hat, wird dem Mikrocomputer CPU über die Datensammelleitung das Ausgangssignal des Puffers BF zugeführt. Das Bit1 dieser Daten wird. darauf über prüft, ob es "O" oder "1" ist. Dies stellt die Ermittlung des Ausgangssignals Q des Flip-Flops DFA dar. Falls das Bit 1 "O" ist, nämlich der Schleifer 13 in Kontakt zur Elektrode 12 ist, schreitet das Programm zu dem Schritt WAT weiter. Dann wird das Bit 0 der bei dem Schritt "Eingabe ADO" eingegebenen Daten geprüft. Das Bit 0 ist das Ausgangssignal Q7 des Zählers C1 und daher unmittelbar nach dem Rücksetzen noch "0". Daher kehrt das Programm zu dem Schritt IN1 zurück.
  • Während das Programm w,iederholt diese Schleife durchläuft, dreht der Vibrationswellenmotor; sobald, der Schleifer 13 in eine Stellung gelangt, bei. der er nicht in Kontakt mit der Elektrode 12 ist, nämlich der Schalter 11 öffnet, wechselt das Ausgangssignal Y1 des Puffers BF nach der Zeitverzögerung durch die Flip-Flops DF1 bis DF3 auf den Pegel H. Dadurch tritt das Programm aus der Schleife heraus und schreitet zu dem Schritt IN2 weiter.
  • Bei dem Schritt IN2 wird wieder die Adresse 0 eingegeben (Eingabe ADO) und das Bit 0 geprüft. Dieser SprungE)efehl und der Sprungbefehl der Sprungbefehl bei dem Schritt WAT erfassen einen Zustand, bei dem der Vibrationswellenmotor stillsteht oder mit einer sehr niedrigen Drehzahl umläuft. Wenn der Zähler C1 bis zu dem werthöchsten Bit Q7 hochzählt, wird an dem Anschluß Q7 das Signal M abgegeben, so daß das Bit 0 den Wert "1" annimmt. Daher springt das Programm zu dem Schritt NXT. Dieser Befehl erfaßt den Zustand niedriger Drehzahl, um damit eine Zeitverschwendung bei der Steuerung des Motors auf die maximale Drehzahl zu vermeiden.
  • Danach wird das Bit 1 der bei dem Schritt IN2 eingcsTebenen Daten geprüft. Die Schleife bis zurück zu dem Schritt IN2 wird wiederholt, bis der Schleifer 13 den nächsten Kontakt der Elektrode 12 berührt. Wenn das Bit 1 auf "O" wechselt, schreitet das Programm zu dem Schritt IN3 wsiter, bei dem die Adresse 1 eingegeben wird (Eingabe AD1).
  • Dabei wird das Ausgangssignal des Flip-Flops DF4 eingelesen.
  • Gemäß der vorstehenden Beschreibung speichert das blip-Flop DF4 unmittelbar nach dem Wechsel des Signals aus dem Schleifer 13 die Ausgangssignale Q3 bis Q6 des 7ahlers C1. Daher kann in den Mikrocomputer CPIJ ein Wert eingegeben werden, der der Öffnungsdauer des Schalters 11 entspricht.
  • Der bei dem Schritt IN3 eingegebene Wert t)ATA wird mit dem Inhalt des Registers RG1 verglichen. Da anfänglich RG1 = 15 gilt, muß der Wert DATA kleiner als 15 sein, so daß das Programm zu dem Schritt MN fortsc#hreitet, bei dem der Wert DATA in das Register RG1 eingespeichert wird (DATA -+ RG1), während die Variable K in das Register RG2 eingespeichert wird (K ---> RG2) .
  • Das Programm schreitet zu dem Schritt NXT weiter, bei dem der Wert K aufgestuft wird (K + 1 < K). Falls der Wert DATA größer als der Inhalt des Registers RG1 oder gleich demselben ist, bleiben die Inhalte der Register RG1 und RG2 unverändert, wonach das Programm zu dem Schritt NXT fortschreitet.
  • Der Wert K ~wird dann mit "5" verglichen. Da K nunmehr gleich "1" ist, kehrt das Programm zu dem Schritt FST zurück. Dabei wird der Wert K auf "1" eingestell t, um den Widerstand R1 zu wählen, wonach das Programm auf vorangehend beschriebene Weise weiter abläuft.
  • Auf diese Weise werden aufeinanderfolgend die Widerstände RO bis R4 gewählt, um die Frequenz der angelegten Spannung zu verändern, während der Vibrationswellenmotor umläuft.
  • Wenn die Variable K den Wert "5" erreicht, ist in dem Register RG1 ein Zählstand gespeichert, der der höchsten Drehzahl des Vibrationswellenmotors entspricht, während in dem Register RG2 der hierzu entsprechende Wert K gespeichert ist.
  • Durch den Sprungbefehl für K = 5 springt das Programm zu dem Schritt FNS, bei dem der Inhalt des Registers RG2 ausgelesen wird. Auf diese Weise wird zum Steuern des Ausgangssignals CLK des Taktgenerators CG2 aus den Widerständen RO bis R4 derjenige Widerstand gewählt, der die höchste Drehzahl des Vibrationswellenmotors ergibt. Danach endet das Programm.
  • Eine vorbestimmte Zeitdauer nach dem Ausführen dieses Programms nach dem Einschalten der Batterie BAT wird von dem ODER-Glied G6 wieder das Signal RST abgegeben, so daß dieses Programm wiederholt ausgeführt und damit das Ausgangssignal CLK gebildet wird.
  • Das Ausgangssignal CLK wird an die Frequenzteiler D1 und D2 angelegt, wodurch über die Treiberstufen DR1 und DR2 an die elektrostriktiven Elemente 3A bzw. 3B jeweils die periodischen Spannungen angelegt werden, die durch das Ausgangssignal ACLK des Frequenzteilers D1 bzw. das Ausgangssignal BCLK des Frequenzteilers D2 bestimmt sind.
  • Die Frequenz der periodischen Spannung wird damit so gesteuert, daß eine für die Form und die Abmessungen des Vibrationsteils optimale Resonanz gewährleistet ist, wo- durch der Motor mit der höchsten Drehzahl betrieben wird und der Antriebswirkungsgrad sehr hoch ist.
  • Da die Steuerung zu Beginn der Ansteuerung des rlotors ausgeführt wird, wird der Motor immer optimal gesteuert, selbst wenn sich bei einer jeweiligen Ansteuerung ein Betriebszustand verändert.
  • Anhand der Fig. 13 und 14 wird ein drittes Ausführungsbeispiel der Steuereinrichtung erläutert.
  • Die Fig. 13 zeigt eine Steuerschaltung für den Vibrationswellenmotor. Hierbei sind gleiche Elemente wie die in Fig. 5 gezeigten mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei ihre Erläuterung weggelassen ist.
  • Mit I9 ist ein Inverter bezeichnet, mit R15 ist ein Widerstand bezeichnet, mit CAP3 ist ein Kondensator bezeichnet, mit Tr9 ist ein Transistor bezeichnet, mit Di ist eine Diode bezeichnet, mit ADC ist ein Analog/ Digital-Wandler bezeichnet, mit ON1 ist eine monostabile Kippstufe bezeichnet und mit OP1 und OP2 sind Pufferverstärker bezeichnet. Mit 3A und 3B sind an dem Vibrationsteil 2 des Vibrationswellenmotors befestigte elektrostriktive Elemente bezeichnet, während mit 11' ein elektrostriktives Element bezeichnet ist, das angrenzend an die elektrostriktiven Elemente 3A und 3B an dem Vibrationsteil 2 befestigt ist siehe Fig. 15).
  • Die Vibration des Vibrationsteils 2 wird auf das elektrostriktive Element 11' übertragen, welches daraufhin eine elektromotorische Kraft erzeugt. Die Ausgangsspannung des elektrostriktiven Elements 11' ist um so höher, je größer die Amplitude der Vibration des Vibrationsteils 2 ist, nämlich je höher bzw. stärker die Resonanz ist.
  • Die Ausgangsspannung des elektrostriktiven Elements 11' wird über den Pufferverstärker OP1 einer Spitzenwert-Halteschaltung aus der Diode Di und dem Kondensator CAP3 zugeführt, an welchem eine maximale Spannung gespeichert wird. Die Spannung an dem Kondensator CAP3 wird über den Pufferverstärker OP2 einem Analogspannungseingang VIN des Wandlers ADC zugeführt. Die Ausgänge des Flip-Flops DF4 haben drei Ausgangszustände, wobei das Flip-Flop DF4 an den Anschlüssen QO bis Q3 Ausgangssignale auf ein Eingangssignal an dem Anschluß OE hin abgibt.
  • Der Mikrocomputer CPU führt einen Ausgabebefehl dadurch aus, daß er die Daten an den Ausgabe-Sammelleitungen DBO bis DB3 ausgibt und an dem Anschluß WR einen Impuls mit dem Pegel L ausgibt (Schreibsignal). Im Ansprechen hierauf speichert das Flip-Flop DF5 die Daten an DBO bis DB2. Das Ausgangssignal am Anschluß WR wird auch über den Inverter I6 der monostabilen Kippstufe ON 1 zugeführt, so daß dessen Ausgangssignal für eine vorbestimmte Zeitdauer auf dem Pegel H gehalten wird. Das Signal mit dem Pegel H sperrt über den Inverter 19 und den Widerstand R15 den Transistor Tr9, so daß die Spitzenwert-Halteschaltung Di, CAP3 arbeitet. Auf diese Weise wird eine während der Dauer des Pegels H aus der monostabilen Kippstufe ON 1 erzeugte maximale Spannung aus dem elektrostriktiven Element 11' an dem Kondensator CAP3 gespeichert.
  • Diese Spannung wird mittels des Wandlers ADC in ein digitales Signal umgesetzt, welches in dem Flip-Flop DF4 durch ein Triggersignal gespeichert wird, das über den Inverter I9 zugeführt wird, wenn das Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe ON1 von dem Pegel H auf den Pegel L wechselt.
  • Der Puffer BF mit den drei Ausgangszustäsndell nimmt bei dem Pegel L an dem Anschluß OE an dem Anschluß X1 über den Inverter I9 das Signal aus der monostabilen Kippstufe ON1 auf und gibt an dem Anschluß Y1 ein Ausgangssignal ab.
  • An den Rcksetzanschluß Re ist eine Integrationsschaltung aus dem Kondensator CAP2 und dem Widerstand R6 angeschlossen, so daß der Mikrocomputer CPU rückgesetzt wird, wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird.
  • Die Funktionsweise der Schaltung wird nun anhand des Programmablaufdiagramms in Fig. 14 erläutert.
  • Wenn die Stromversorgung eingeschaltet wird, wird der Mikrocomputer CPU rückgesetzt und der Programmzähler auf "O" zurückgestellt. Damit beginnt das Programm vom Kopf des Ablaufdiagramms an.
  • Zur Einleitung wird die Variable K auf "O" eingestellt, während der Inhalt des Registers RG1 auf einen Minimalwert "O" eingestellt wird (K = O, RG1 = 0).
  • Danach wird der Wert K an die Datensammelleitung ausgegeben (Ausgabe K). Da K = 0 gilt, ist das Ausgangssignal des Flip-Flops DF5 gleich "0", so daß durch den Analogmultiplexer AS der Widerstand RO gewählt wird. Da der Widerstandswert des Widerstands RO der kleinste aus denjenigen der Widerstände RO bis R4 ist,# hat die i#:sgangswelle bzw. das Ausgangssignal CLK die höchste Frequenz.
  • Das Schreibsignal WR an dem Anschluß WR des Mikrocomputers CPU wird über den Inverter I6 an die monostabile Kippstufe ON1 angelegt.
  • Danach wird die Adresse, O eingegeben (Eingabe ADO).
  • Da der Ausgang AO des Mikrocomputers CPU den Pegel L führt, wird dem Mikrocomputer CPU über die Datensammelleitung das Ausgangssignal des Puffers BF zugeführt.
  • Aus diesen Daten wird das Bit 1 darauf überprüft, ob es "O" oder "1" ist. Dies stellt die Ermittlung des Ausgangssignals des Inverters I9 dar. Falls das Bit 1 "O" ist, nämlich das Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe ON1 den Pegel H hat und die Spitzenwert-Halteschaltung Di, CaP3 in Betrieb ist, kehrt das Programm zu dem Schritt IN1 für die Eingabe der Adresse 0 zurück.
  • Falls das Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe ON1 den Pegel "H" hat, durchläuft das Programm wiederholt diese Schleife, während das Vibrationsteil 2 des Vibrationswellenmotors weiter schwingt und der Rotor bzw.
  • das bewegbare Teil 1 weiter umläuft. Wenn das Ausgangssignal der monostabilen Kippstufe ON'1 auf den Pegel L wechselt, tritt das Programm aus der Schl#eife heraus und schreitet zu einem Schritt IN2 weiter.
  • Bei dem Schritt IN2 wird die Adresse 1 eingegeben (Eingabe AD1) und das Ausgangssignal des Flip-Flops DF4 eingelesen.
  • Da das Flip-Flop DF4 die Daten speichert, wenn das Ausgangssignal des Inverters IN9 den Pegel H hat, wird in den Mikrocomputer CPU ein Wert eingegeben, der dem maximalen Ausgangssignal des elektrostriktiven Elements 11' während der Dauer des Pegels H aus der monostabilen Kippstufe ON1 entspricht.
  • Der bei dem Schritt IN2 eingegebene Wert DATA wird mit dem Inhalt des Registers RG1 verglich,en. Da RG1. = 0 gilt, muß der Wert DATA größer als "O" sein, so daß das Programm zu einem Schritt MN fortschreitet, bei welchem der Wert DATA in das Register RG1 eingespeichert wird (DATA - ! RG1) und der Wert K in das Register RG2 eingespeichert wird (K--cRG2).
  • Dann schreitet das Programm zu einem Schritt NXT weiter, bei dem der Wert K aufgestuft wird (K + 1 K). Falls der Wert DATA kleiner als der Inhalt des Registers RG1 oder gleich demselben ist, schreitet das Programm ohne Veränderung der Inhalte der Register RG1 und RG2 zu dem Schritt NXT weiter.
  • Danach wird der Wert K mit "5" verglichen. Da K = 1 gilt, kehrt das Programm zu dem, Schritt FST zurück.
  • Der Wert K wird auf ~1" eingestellt, um den Widerstand R1 zu wählen, wonach das Programm auf gleichartige Weise wieder ausgeführt wird.
  • Auf diese Weise werden während des Umlaufs des Vibrationswellenmotors aufeinanderfolgend die Widerstände RO bis R4 gewählt, so daß die Frequenz der angelegten Spannung aufeinanderfolgend abgesenkt wird.
  • Wenn die Variable K den Wert "5" erreicht, ist in dem Register RG1 der Zählstand für die maximale Vibrationsamplitude des Vibrationsteils gespeichert, während in dem Register Rd2 der zugehörige Wert K gespeichert ist.
  • Daher schreitet das Programm durch den Sprungbefehl für K = 5 zu einem Schritt FNS weiter, bei dem der Inhalt des Registers RG2 ausgegeben wird, so daß zur Steuerung des Ausgangssignals CLK des Taktgenerators CG2 aus den Widerständen RO bis R4 der optimale Widerstand gewählt wird. Danach wird das Programm beendet.
  • Die Frequenzteiler D1 und D2 werden durch das Ausgangssignal CLK angesteuert. Über die Treiberstufen DR1 und DR2 werden an die elektrostriktiven Elemente 3A und 3B jeweils die periodischen Spannungen mit Kurvenformèn angelegt, die durch das Ausgangssignal ACLK des Frequenzteilers D1 bzw. das Ausgangssignal BCLK des Frequenzteilers D2 bestimmt sind.
  • Die Frequenzen der periodischen Spannungen werden so gesteuert, daß die für die Form und Abmessungen des Vibrationsteils optimale Resonanz gewährleistet ist, wodurch eine maximale Vibrationsamplitude des Vibrationsteils erzielt wird und der Antriebswirkungsgrad sehr hoch ist.
  • Da die Steuerung zu Beginn der Ansteuerung des Motors vorgenommen wird, wird immer ein Optimalzustand aufrecht erhalten, selbst wenn sich Betriebsbedingungen für eine jeweilige Ansteuerung verändern. Ferner ist keine Feineinstellung bei der Herstellung erforderlich, so daß die Herstellungszeit verkürzt werden kann.
  • Die Ausgangssignal-Kurvenform des Frequenzteilers ist nicht auf die in Fig. 6 gezeigte Rechteck-Kurvenform ACLK oder BCLK beschränkt; vielmehr kann zur AnSteuerung des Vibrationswellenmotors eine Sinuswelle verwendet werden.
  • Die beschriebene Steuereinrichtung bzw. das Steuerverfahren ist nicht nur bei einem umlaufenden Vibrationswellenmotor, sondern auch bei einem linearen Vibrationswellenmotor anwendbar.
  • Wenn das einzelne ringförmige Element 3 gemäß der Darstellung in Fig. 2 eingesetzt wird, wird an der Stelle des in Fig. 15 gezeigten elektrostriktiven Elements 11', nämlich zwischen den Elementen 3a5 und 3b5 ein polarisierter Bereich gebildet und aus diesem eine elektromotorische Kraft aufgenommen, um die Vibrationsamplitude des einzelnen Elements 3 ohne Beeinflussung durch die Vibration des Vibrationsteils 2 zu erfassen.
  • Die Fig. 16 zeigt eine ,anwendung des Vlbrationswellenmotors als Antrieb für ein Kameraobjektiv mit automatischer Scharfeinstellung. Eine automatische Scharfeinstellschaltung 101 ist an sich aus der JP-OS Nr. 155 337/1980 bekannt und wird daher hier nicht erläutert.
  • Der Schaltungsaufbau weist die in Fig. 5 gezeigte Schaltung, die automatische Scharfeinstellschaltung 101 und Wählschaltglieder G10 und G11 auf.
  • Bei einem Scharfeinstellungszustand haben die Ausgangssignale zweier Vergleicher 59 und 60 den Pegel L, während bei einer unscharfen Einstellung das Ausgangssignal eines dieser Vergleicher den Pegel H hat; die Ausgangssignale der Vergleicher liegen an dem Wählschaltglied GiO aus UND-Gliedern G12 und G13 und einem ODER-Glied G14 sowie an dem Wählschaltglied G11 aus UND-Gliedern G15 und G16 und einem ODER-Glied G17 derart an, daß der Vibrationswellenmotor M vorwärts oder rückwärts gedreht wird. Ein ODER-Glied G18 gibt ein Ausgangssignal ST ab, das den Pegel H hat, wenn der Motor angesteuert wird. Dieses Ausgangssignal wird an einen Anschluß STOP des Mikrocomputers CPU angelegt. Wenn der Anschluß STOP den Pegel L erhält, führt ~1; der Mikrocomputer CPU das Programm nicht aus. Daher wird das Programm bei der ersten Motoransteuerung nach dem Einschalten der Stromversorgung ausgeführt.
  • Der Vibrationswellenmotor ist nicht auf die Anwendung in der automatischen Scharfeinste 11 schaltung beschränkt, sondern kann auch zum Stellen bzw. -Steuern einer Irisblende oder für den Antrieb einer Filmtransportvorrichtung verwendet werden.
  • Bei einem Vibrationswellenmotor wird ein mit einem Vibrationsteil in Berührung stehendes bewegbares Teil durch eine Vibrationswanderwelle angetrieben, die von dem Vibrationsteil durch das Anlegen einer periodischen Spannung an ein mit dem Vibrationsteil in Berührung stehendes elektrostriktives Element erzeugt wird, wobei die Frequenz der periodischen Spannung aufeinanderfolgend verändert wird, bei der jeweiligen Frequenz die Antriebsgeschwindigkeit des bewegbaren Teils gemessen wird, die Meßwerte aufeinanderfolgend verglichen werden, eine Frequenz gespeichert wird, die den größten Meßwert ergibt, und das bewegbare Teil mittels der periodischen Spannung mit der gespeicherten Frequenz betrieben wird.
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Claims (7)

  1. Patent ansprüche Einrichtung zum Steuern eines Vibrationswellenmotorr, bei dem ein mit einem Vibrationsteil in Berührung stehendes bewegbares Teil durch Anlegen einer periodischen Spannung an ein mit dem Vibrationsteil in Berührung stehendes elektrostriktives Element zum Erzeugen einer Vibrationswanderwelle in dem Vibrationsteil angetrieben wird, gekennzeichnet durch eine Oszillatoreinrichtung (CG2, AS, DF5), mit der die Frequenz der periodischen Spannung aufeinanderfolgend veränderbar ist, eine Meßeinrichtung (11 bis 13, DF1 bis DF4, BF, C1; 11; OP1, Di, OP2, Tr9, CAP3, ADC) zum Messen der Geschwindigkeiten des bewegbaren Teils (1) oder der Vibrationsamplituden des Vibrationsteils (2) bei den veränderten Frequenzen und eine Verarbeitungseinrichtung (CPU) zum Speichern der Frequenz, welche die von der Meßeinrichtung erfaßte maximale Geschwindigkeit oder Vibrationsamplitude ergibt, und zum Einstellen der Frequenz der Oszillatoreinrichtung auf die gespeicherte Frequenz.
  2. 2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung (11 bis 13, DF1 bis DF4, BF, C1) ein kammförmiges Muster (12) zum Erfassen der Bewegung des bewegbaren Teils (1) aufweist.
  3. 3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung (11', OP1, Di, OP2, Tr9, CAP3, ADC, DF1 bis DF4, BF, C1) ein elektrostriktives Element (11') zum Erfassen der Vibrationsamplitude des Vibrationsteils (2) aufweist.
  4. 4. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Verarbeitungseinrichtung (cpu) zu Beginn des Antriebs des Vibrationswellenmotors betrieben wird.
  5. 5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Schalteinrichtung (G6, DF10, C10, PG) zum intermittierenden Betreiben der zuVe der.Verarbeitungseinrichtung (CPU) unter vorbestimmten Intervallen (Fig. 12).,
  6. 6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung tll bis 13, DF1 bis DF4, BF, C1) eine Meßschaltung (BF, C1) zum Erfassen einer niedrigen Geschwindigkeit oder der Geschwindigkeit "O" des bewegbaren Teils (1) aufweist, wobei die Meßschaltung bei der Erfassung der niedrigen Geschwindigkeit oder der Geschwindigkeit "O" bewirkt, daß die Verarbeitungseiflrichtung (CPU) die Frequenz der Oszillatoreinrichtung (CG2, AS, DF5) ändert.
  7. 7. Verfahren zum Steuern eines Vibrationswellenmotors durch Steuern der Frequenz einer an ein mit einem Vibrationsteil in Berührung stehendes elektrostriktives Element angelegten periodischen Spannung zum Antrieb eines mit dem Vibrationsteil in Berührung stehenden beweg- baren Teils durch eine in dem Vibrationsteil erzeugte Vibrationswanderwelle, dadurch gekennzeichnet, daß a) eine mittlere Frequenz in einem Frequenzbereich gewählt und die Geschwindigkeit des bewegbaren Teils bei der gewählten Frequenz gemessen wird, b) die Geschwindigkeit des bewegbaren Teils bei einer gegenüber der gewählten Frequenz versetzten Frequenz gemessen wird, c) die bei den Verfahrensschritten a) und b) gemessenen Geschwindigkeiten verglichen werden und zu einem Verfahrensschritt d) fortgeschritten wird, falls die Geschwindigkeit bei dem Verfahrensschritt a) höher ist, oder zu einem Verfahrensschritt f) fortgeschritten wird, falls die Geschwindigkeit bei dem Verfahrensschritt b) höher ist, d) die Geschwindigkeit des bewegbaren Teils bei einer gegenüber der gewählten Frequenz in der zur Versetzungsrichtung bei dem Verfahrensschritt b) entgegengesetzten Richtung versetzten Frequenz gemessen wird, und e) die bei den Verfahrensschritten a) und d) gemessenen Geschwindigkeiten verglichen werden und zu einem Verfahrensschritt g) fortgeschritten wird, falls die Geschwindigkeit bei dem Verfahrensschritt d) höher ist, oder die gegenwärtig bestehende Frequenz ausgegeben wird, falls die Geschwindigkeit bei dem Verfahrensschritt a) höher ist, oder f) aufeinanderfolgend die Frequenz in der gleichen Versetzungsrichtung wie bei dem Verfahrensschritt b) verändert wird, die Geschwindigkeiten bei den veränderten Frequenzen verglichen werden und die. Frequenz für die maximale Geschwindigkeit ausgegeben wird, bzw.
    g) aufeinanderfolgend die Frequenz in der gleichen Versetzungsrichtung wie bei dem Verfahrensschritt d) verändert wird, die Geschwindigkeiten bei den veränderten Frequenzen verglichen werden und die Frequenz für die maximale Geschwindigkeit ausgegeben wird.
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