DE3340566A1

DE3340566A1 - Hochfrequenz-kopplungsschaltung

Info

Publication number: DE3340566A1
Application number: DE19833340566
Authority: DE
Inventors: Aryeh Belmont Mass. Platzker; Yusuke Action Mass. Tajima
Original assignee: Raytheon Co
Current assignee: Raytheon Co
Priority date: 1982-11-09
Filing date: 1983-11-09
Publication date: 1984-05-10
Also published as: GB2129624A; JPH0471361B2; FR2535905A1; GB8328545D0; DE3340566C2; US4532484A; FR2535905B1; JPS59100602A; GB2129624B

Description

3340569

DOrr-.v.~r·? .?.

München, den 8. November 1983 /WtI, Anwaltsaktenz.: 27 - Pat. 348

Raytheon Company, Lexington, 141 Spring Street, MA 02173,
Vereinigte Staaten von Amerika

Hochfrequenz-Kopplungsschaltung

Die Erfindung betrifft allgemein Hochfrequenzschaltungen und im einzelnen Hochfrequenz-Hybridkoppler zur Kombination oder zur Aufteilung von Signalen, welche jeweils verschiedenen Anschlüssen zugeführt werden.

Bekanntermaßen ist es oft wünschenswert, ein Paar von Hochfrequenzsignalen, welche von zwei Einrichtungen oder Geräten ausgehen, miteinander zu kombinieren und das kombinierte
Hochfrequenzsignal einer dritten Einrichtung zuzuführen oder aber, ein eingegebenes Hochfrequenzsiqnal einer bestimmten
Einrichtung aufzuteilen und die Teilkomponenten des eingegebenen Hochfrequenzsignales zwei ausgangsseitigen Einrichtungen zuzuleiten. Eine bestimmte Kopplerart weist Hochfrequenzübertragungsleitungen auf, die auf einem Substrat gebildet
sind. Im allgemeinen wird eine Komponente eines Signales unmittelbar von einem eines Anschlußpaares zu einem Ausgangsanschluß übertragen und eine zweite Signalkomponente wird
auf elektromagnetischem Wege zwischen einem zweiten des genannten Anschlußpaares und dem Ausgangsanschluß übertragen. Eine bekannte Maßnahme zur elektromagnetischen Kopplung
einer Komponente der erwähnten Signale besteht darin, ein

elektromagnetisches Feld zwischen den Rändern eines Paares von über ein Dielektrikum getrennten Streifenleitern zu koppeln, welche nebeneinanderverlaufend auf einem gemeinsamen Substrat gebildet sind, wobei die Endbereiche jedes der Streifenleiter jeweils einen Anschluß des Kopplers darstellen. Bei dieser bekannten Maßnahme hängt der Kopplungsgrad von der Gesamtfläche des jeweiligen Randes und dem Abstand zwischen den Rändern der Streifenleiter ab.

Es ist weiter auf diesem Gebiete der Technik bekannt, daß der Koppler im allgemeinen einen bestimmten Wellenwiderstand aufweist, welcher auf die schaltungsmäßige Anwendung des betreffenden Kopplers abzustimmen ist. Da der Kopplungsgrad teilweise abhängig von der Gesamtfläche der Leiterränder ist, vergrößert man im allgemeinen die Gesamtfläche der Ränder zur Erhöhung des Kopplungsgrades. Eine bekannte Möglichkeit zur Vergrößerung der Gesamtfläche der Leiterränder sieht vor, daß eine Mehrzahl von schmalen Streifenleitern ineinandergreifend ausgebildet wird, so daß die Gesamtfläche der Leiterränder erhöht wird und damit eine Erhöhung des Kopplungsgrades erzielt wird. Beim Entwurf von Kopplern der hier betrachteten Art hat die Verwirklichung eines bestimmten Wellenwiderstandes des Kopplers besondere Bedeutung, da der Koppler einen Wellenwiderstand aufweisen soll, der auf die jeweils angeschlossenen Einrichtungen abgestimmt ist. Wie allgemein bekannt, ist der Wellenwiderstand einer fibertragungsleitung, beispielsweise einer Mikrostreifen-Übertragungsleitung, von der Dicke des Substrates, der Dielektrizitätskonstante und der Leiterbreite abhängig. Aus diesem Grunde werden die Breite, der Abstand und die Anzahl der genannten ineinandergreifenden Streifenleiter im allgemeinen so gewählt, daß sich ein Koppler mit dem gewünschten Kopplungsfaktor und einem vorbestimmten Weilenwiderstand ergibt. Das bedeutet, daß die Breite und die Anzahl der schmalen Leiterstreifen und ihr gegenseitiger Abstand im allgemeinen so gewählt werden, daß man aufgrund einer ausreichend schmalen Bemessung der

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Leiter einen Koppler mit dem gewünschten Kopplungsfaktor oder Kopplungsgrad erhält und aufgrund der Breite und der Anzahl der schmalen Streifenleiter einen gewünschten Wellenwiderstand verwirklicht. Ein Problem bei einem Aufbau des Kopplers in dieser bekannten Art und Weise besteht darin, daß bei einer gewünschten Erhöhung des Kopplungsgrades die Leiterbreite und der Abstand zwischen den Leitern abnehmen, wodurch die Herstellung einer entsprechenden Schaltung unter Vermeidung eines unannehmbaren Ausschusses erschwert wird, wenn ein gewünschter Kopplungsgrad erreicht und ein bestimmter Wellenwiderstand aufrecht erhalten werden sollen. Außerdem erhöht sich bei abnehmender Breite der Leiter deren Widerstand, so daß die Leiterverluste und daher die Einfügungsverluste des betreffenden Kopplers ansteigen.

Aufgabe der Erfindung ist es demgemäß, eine Hochfrequenz-Kopplungsschaltung in der Weise auszubilden, daß die Werte des Kopplungsfaktors und des Wellenwiderstandes innerhalb vergleichsweise weiter Grenzen verwirklicht werden können. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im anliegenden Anspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der dem Anspruch 1 nachgeordneten Ansprüche, deren Inhalt hierdurch ausdrücklich zum Bestandteil der Beschreibung gemacht wird, ohne an dieser Stelle den Wortlaut zu wiederholen.

Eine Hochfrequenz-Kopplungsschaltung der vorliegend angegebenen Art zur Übertragung einer Hochfrequenzsignales zwischen einem Eingangsanschluß und einem Paar von Ausgangsanschlüssen unter übertragung von reflektierter Energie zu einem isolierten Anschluß enthält ein Paar von Streifenleiteranordnungen, die dielektrisch von einem die Erdungsebene darstellenden Leiter getrennt angeordnet sind. Jede der Streifenleiteranordnungen besitzt jeweils in zwei unterschiedlichen Ebenen angeordnete Abschnitte. Jedes Ende der dielektrisch getrennt angeordneten Streifenleitersysteme stellt einen der genann-

ten Anschlüsse dar. Durch diese Konstruktion wird eine Hochfrequenz-KopplunqsschaItunq verwirklicht, mit der Hochfrequenzsignale zwischen einem Eingangsanschluß und einem Paar von Ausgangsanschlüssen übertragen werden können, indem eine erste Signalkomponente direkt von dem Eingangsanschluß zu einem ersten des Paares der Ausganqsanschlüsse übertraqen wird, während eine zweite Siqnalkomponente eine elektromagnetische Kopplunq zwischen einander benachbarten obenlieqenden und untenliegenden OberFlächenteilen der iJbertraqunqsleitungen zwischen dem Kinganqsanschluß und einem zweiten des Paares von Ausgangsanschlüssen erfährt. Durch elektromagnetische Kopplung eines Signales zwischen den einander benachbarten obenliegenden und untenliegenden Oberflächenteilen der genannten Übertragungsleitungen wird eine Vergrößerung der bei der Kopplung wirksamen Oberfläche erreicht, so daß man eine Vergrößerung des Kopplungsfaktors erhält, ohne daß eine Erhöhung der Einfügunqsverluste auftritt, die bei bekannten Konstruktionen im allgemeinen zu beobachten sind. Weiter ist eine derartige Konstruktion leichter herzustellen als die in geringem Abstand voneinander angeordneten Streifenleiter, die bei bekannten Kopplern mit Interdigitalleitern im allgemeinen anzutreffen sind.

Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel enthält die Hochfrequenz-Kopplungsschaltung der hier angegebenen Art eine erste Anzahl im Abstand voneinander aufeinanderfolgender Streifenleiterabschnitte, welche einen ersten bestimmten Abstand von einem die Erdunqsebene darstellenden Leiter haben, sowie eine zweite entsprechende Anzahl von Streifenleiterabschnitten, die in einem zweiten, unterschiedlichen, vorbestimmten Abstand von der durch den erwähnten Leiter vorgegebenen Erdungsebene gelegen und dielektrisch von der erstgenannten Anzahl von Streifenleiterabschnitten getrennt sind.

Ein Oberflächenteil ieweils eines der ersten Streifenleiterabschnitte ist elektromagnetisch mit einem Oberflächenteil

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eines entsprechenden der zweitgenannten Streifenleiterabschnitte gekoppelt. Jeder zwischenqelagerte Streifenleiterabschnitt der erstgenannten und der zweiten Anordnung von Streifenleiterabschnitten ist mit einem Paar flankierender Streifenleiterabschnitte des gegenüberliegenden damit elektromagnetisch gekoppelten Streifenleiterabschnittes verbunden, so daß sich ein Paar von dielektisch im Abstand voneinander gelegenen, sozusagen ineinanderliegenden Streifenleitern ergibt. Durch eine solche Konstruktion erhält man einen symmetrischen Koppler, da jeder Streifenleiter in seiner Gesamtheit denselben mittleren Abstand von dem die Erdungsebene darstellenden Leiter einnimmt, nachdem die Streifenleiterabschnitte jedes Streifenleiters einmal einen ersten Abstand und einmal einen zweiten Abstand relativ zur genannten Erdungsebene einnehmen. Jeder resultierende Streifenleiter bildet demgemäß in Zusammenwirkung mit dem Dielektrikum und der Erdungsebene ein Übertragungsleitungspaar mit im wesentlichen denselben elektromagnetischen Eigenschaften. Da weiterhin ein Oberflächenteil jedes der Streifenleiterabschnitte elektromagnetisch mit einem Oberflächenteil eines weiteren der Streifenleiterabschnitte gekoppelt ist, erhält man eine Kopplung zwischen den Streifenleitern, welche stärker ist als bei bekannten Konstruktionen.

Bei einer anderen Ausführungsform enthält eine Hochfrequenz-Kopplungsschaltung ein erstes Paar dielektrisch im Abstand voneinander angeordneter planerer Streifenleiter und ein weiteres Paar dielektrisch voneinander getrennt angeordneter planarer Streifenleiter, wobei das zweite Paar von Streifenleitern gegenüber dem erstgenannten Paar von Streifenleitern in einer anderen Ebene liegt und jeder Streifenleiter des zweiten Streifenleiterpaares ausgerichtet über einem entsprechenden Streifenleiter des ersten Streifenleiterpaares liegt und damit elektromagnetisch qekoppelt ist. Jeder Streifenleiter des erstgenannten Streifenleiterpaares ist abwechselnd mit demjenigen Streifenleiter des dielektrisch im Abstand davon gelegenen zweiten Streifenleiterpaares verbunden,

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der damit nicht elektromagnetisch gekoppelt ist, wobei die Verbindung an einer Mehrzahl von Punkten längs der Streifenleiter vorgesehen ist. Durch eine solche Ausbildung wird eine Kopplungsschaltung erreicht, die einen hohen Kopplungsfaktor aufweist. Weiter ist die Ausbreitung eines Signales durch die Übertragungsleitungen hindurch, die durch die Kombination der Streifenleiter gebildet wird, verhältnismäßig gleichförmig, da ein erster Signalanteil sich zwischen dem Eingangsanschluß und jedem der beiden Ausgangsanschlüsse längs einer ersten Übertragungsleitung ausbreitet, die einen auf dem Substrat vorgesehenen Streifenleiter enthält, während ein zweiter Signalanteil sich längs einer zweiten Übertragungsleitung ausbreitet, die einen Streifenleiter enthält, der auf einer Dielektrikumsschicht hergestellt ist. Außerdem ergeben die erwähnten Verbindungen von diagonal beabstandeten, nicht elektromagnetisch miteinander gekoppelten der genannten Streifenleiter der übertragungsleitung eine gleiche Potentialanregung für Energie, die sich längs der Übertragungsleitungen ausbreitet.

Nachfolgend werden einige Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Im einzelnen stellen dar :

Fig. 1 ein Blockschaltbild einer Gegentakt-Doppelverstärkeranordnung mit Hybridkopplern der hier angegebenen Art,

Fig. 2 eine Reihe von Aufsichten zur Erläuterung einbis 3 zelner Schritte bei der Herstellung von Hochfrequenz-Kopplungsschaltungen der hier angegebenen Art,

Fig. 3A einen Schnitt durch die in Fig. 3 gezeigte Anordnung entsprechend der in dieser Zeichungsfigur eingezeichneten Schnittlinie 3A-3A;

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Fig. 3B einen Schnitt durch die in Fig. 3 gezeigte Anordnung entsprechend der Schnittlinie 3B-3B zur Erläuterung von Maskierungsvorgängen zur Herstellung von Luft-überbrückungenr

Fig. 4A einen Schnitt durch das in Fig. 4 gezeigte System entsprechend der in dieser Zeichnungsfigur angedeuteten Schnittlinie 4A-4A zur Darstellung eines Schnittes durch ein erstes Paar von miteinander gleichsam verdrillten Streifenleitern;

Fig. 4B einen Schnitt entsprechend der in Fig. 4 angedeuteten Schnittlinie 4B-4B zur Wiedergabe eines Schnittes durch ein zweites Paar von miteinander gleichsam verdrillten Streifenleitern;

Fig. 5 eine Aufsicht entsprechend dem in Fig. 4 durch die Linie 5-5 umgrenzten Detail,

Fig. 5A eine teilweise abgebrochene, perspektivische Darstellung des in Fig. 3 durch die Linie 5A-5A umgrenzten Bereiches,

Fig. 5B eine schematisierte perspektivische Darstellung der Anordnung nach Fig. 5A;

Fig. 6 eine Reihe von Aufsichten zur Erläuterung der bis 8 Herstellungsschritte für eine andere Ausführungsform einer Hochfrequenz-Kopplungsschaltung und

Fig. 8A Schnittdarstellungen entsprechend der Linien bis 8D 8A-8A, 8B-8B, 8C-8C und 8D-8D in Fig. 8 zur Umgrenzung bestimmter Details dieser Ausführungsform einer Kopplungsschaltung.

Zunächst sei anhand der Fiq. 1 bis 4 ein in Fiq. 3 mit 10 bezeichneter Hybrid-Quadraturkoppler beschrieben, der zur übertragung eines Hochfrequenzsiqnales zwischen einem Einganqsanschluß und einem Paar von Ausgangsanschlüssen dient, wobei ein Sperranschluß oder Isolationsanschluß für reflektierte Hochfrequenzenergie von den genannten Anschlüssen her vorgesehen ist. In Fig. 1 ist eine Doppel-Gegentakt-Verstärkeranordnung 70 gezeigt, welche einen ersten Hybridkoppler 10'_r der als Signalaufteiler dient, ein Paar herkömmlicher angepaßter Verstärker 72 und 74, sowie einen zweiten Hybridkoppler 10 enthält, der als Signalkombinationseinrichtunq arbeitet, wobei die genannten Teile in der darqestellten Weise zusammengeschaltet sind.

Gemäß Fig. 2 ist eine Anzahl von segmentartigen Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g auf einer ersten Oberfläche eines dielektrischen Substrates 12 gebildet, welches vorliegend von halbisolierendem Galliumarsenid (GaAs) in einer anfänglichen Dicke von 0,38 mm gebildet ist. Die qenannten Streifenleiterabschnitte 14a bis 14q, (im vorliegenden Falle ein herkömmliches Metallisierungsmuster mit einer ersten Schicht aus Titan und einer zweiten Schicht aus Gold), werden unter Einsatz der üblichen photolithographischen Maskierungsverfahren und Metall-Aufdampfverfahren hergestellt. Die Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g werden bis zu einer Dicke von etwa 1 pm aufgedampft und besitzen eine Breite w von vorliegend 50 pm. Auf der jeweils anderen Oberfläche, welche der die Streifenleiterabschnitte tragenden Oberfläche gegenüberliegt, ist das dielektrische Substrat 12 mit einer eine Erdunqsebene bildenden Leiterschicht 16 versehen. Die Leiterschicht 16 wird an dem Substrat 12 angebracht, nachdem dieses auf eine Dicke von vorliegende 0,10 mm dünner gemacht worden ist. Jeder der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g von vorliegend ei.':er ungeraden Anzahl von Abschnitten hat von einem jeweils benachbarten Leiterabschnitt einen Abschnitt d von annähernd 15 (im. Dabei haben die einzelnen Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g

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in vorliegenden Falle, wie aus Fig. 2 ersichtlich, annähernd die Gestalt von Parallelogrammen., deren spitzer Winkel zwischen der schrägverlaufenden Seite 14b¹, beispielsweise des Streifenleiterabschnittes 14b und der horizontal verlaufenden Seite 14b'¹ desselben Streifenleiterabschnittes zwischen Null Grad und 90° liegen kann. Im vorliegenden Beispiel beträgt der spitze Winkel $ annähernd 15°. Anschließend an die Streifenleiterabschnitte 14a bzw. 14g sind weitere Streifenleiterabschnitte 14b bzw. 15d auf dem Substrat 12 angeordnet. Die beiden letztgenannten Streifenleiterabschnitte dienen als Kontaktbereiche für di^;e in Fig. 4 im einzelnen gezeigten resultierenden Streifenleiter zu den beiden Anschlüssen hin, vorliegend zu den in Fig. 4 mit B und D bezeichneten Anschlüssen. Die Länge jeder Horizontalseite der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g, die Anzahl dieser Streifenleiterabschnitte und der Abschnitt d zwischen den Streifenleiterabschnitten sind so gewählt, daß sich durch die Kombination eine Länge von im wesentlichen einer Viertelwellenlänge ergibt, wobei die Wellenlänge der Mittenband-Betriebsfrequenz der Schaltung zugrunde gelegt wird.

Es sei nun auf die Fig. 3, 3A und 3B Bezug genommen. Eine erste Maskierungsschicht 20, im vorliegenden Falle aus Photoresistmaterial, wird in der dargestellten Weise über den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g und dem Substrat 12 aufgebracht. Unter Einsatz herkömmlicher Maskierungs- und Ätzverfahren wird eine Anzahl von dreieckigen Öffnungen 22a bis 22h und 22a¹ bis 22h¹ in der Maskierungsschicht 20 gebildet, wobei die dreieckigen Öffnungen auf darunterliegende Teile der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g und- der weiteren Streifenleiterabschnitte 15b, sowie 15d ausgerichtet sind und diese Teile freiliegen. Die Öffnungen 22a bis 22h und 22a' bis 22h¹ werden hergestellt, um Öffnungen zur Durchplattierung durch die Maskierungsschicht 20 hindurch herzustellen, um selektiv einen Anschluß zu den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g herstellen zu können, worauf nachfolgend näher einge-

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gangen wird. Eine weitere Anzahl von in der Maskierungsschicht 20 gebildeten öffnungen 25a bis 25d leqt bestimmte darunterliegende Teile des Substrates 12 sowie darunterliegende Teile der Streifenleiterabschnitte 15b und 15d frei. Aus Fig. 3B ist erkennbar, daß ein Teil der Maskierungsschicht 20 über dem Streifenleiterabschnitt 15b liegt, so daß dann, wenn ein Streifenleiter innerhalb der öffnung 25a erzeugt wird, dieser über den Streifenleiter 15b hinweg eine Brücke bildet. Die öffnungen 25a bis 25d werden in der Maskierungsschicht 20 in solcher Weise hergestellt, daß eine Fläche entsteht, innerhalb welcher Streifenleiter für die Anschlüsse A bis D der Kopplungsschaltung in einer Weise erzeugt werden können, welche anhand von Fig. 4 näher beschrieben wird. Beispielsweise bilden die Öffnungen 25c und 25d, welche selektiv einen Teil des Substrates 12 und der Streifenleiterabschnitte 15c und 15d freilegen, Flächenbereiche, in denen die Streifenleiter für die Anschlüsse C und D (Fig. 4) erzeugt werden können, um die betreffenden Streifenleiter mit den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g zu koppeln. Nachdem die Maskierungsschicht 20 hergestellt und in der beschriebenen Weise ausgebildet ist, wird eine Schicht 26a, beispielsweise aus Titan in einer Stärke von 60 nm, aufgedampft und eine Schicht 26b aus Gold in einer Dicke von 200 nm wird nachfolgend aufgedampft, um eine zusammengesetzte Leiterschicht 26 auszubilden. Auf die zusammengesetzte Leiterschicht 26 wird eine weitere Photoresistschicht 20' aufgebracht und in entsprechender Weise mit einem Öffnungsmuster versehen, wie die erstgenannte Photoresistschicht 20, so daß eine dritte Anzahl von Öffnungen 27a bis 27i in der Maskierungsschicht oder Photoresistschicht 20' erzeugt wird, um, wie nachfolgend beschrieben, zur Plattierung wiederum 55treifenleiterabschnitte auszubilden.

Aus den Fig. 4, 4A und 4B ist zu erkennen, daß eine zweite, entsprechende Anzahl von aufeinanderfolgenden, im Abstand voneinander angeordneten Streifenleiterabschnitten 30a bis 30g

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in der Maskierungsschicht 20 durch die öffnungen 27a bis 27g (Fig. 3) gebildet und auf der zusammengesetzten Leiterschicht 26 (in Fig. 4 nicht dargestellt) bis zu einer Dicke von 3 pm aufplattiert wird. Die Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g sind dielektrisch getrennt von und in Ausrichtung mit den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g in solcher Weise gebildet, daß jeder der erstgenannten Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g elektromagnetich mit einem entsprechenden aus der Anzahl der zweitgenannten Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g gekoppelt ist. Weiter ist festzustellen, daß die Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g in gekreuzter Anordnung relativ zu den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g (Fig. 2) orientiert sind. Die Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g haben wiederum die Gestalt von Parallelogrammen mit Scheitelwinkeln von etwa 15°, wie dies zuvor für die Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g ausgeführt wurde. Die Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g werden in der Maskierungsschicht 20' in der Weise in Ausrichtung auf die öffnungen 22a bis 22h, 22a' bis 22h' gebildet, daß die erzeugten Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g selektiv in Verbindung mit jeweils bestimmten der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g kommen, welche sich unter der Maskierungsschicht 20 befinden. Diese selektive Verbindung von bestimmten Streifenleiterabschnitten 30a bis 30g mit jeweils entsprechenden der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g führt zu einer ineinanderliegenden oder verflochtenen oder verdrillten Anordnung eines Streifenleiterpaares 38 und 39- Die von den Streifenleitern 38 und 39 gebildeten Übertragungsleitungen entstehen durch Verbindung der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g mit den Streifenleiterabschnitten 30a bis 30g in solcher Weise, daß die Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g jeweils bestimmte der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g frei überbrücken oder überspannen. Diese Luftüberbrückungen entstehen durch die Verbindung des Leitermaterials der Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g mit dem sich in die Offnungen 22a bis 22h und 22a¹ bis 22h' (Fig. 3) hinein erstreckenden Plattierungs-

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material. Jeder der Streifenleiterabschnitte 30a bis 3Oq steht über das gleichsam als Brückenpfeiler wirksame Plattierungsmaterial der vorerwähnten öffnungen 22a bis 22h und 22a' bis 22h¹ mit denjenigen zwei der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g in Verbindung, welche den Streifenleiterabschnitt flankieren, der dem gerade betrachteten der Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g gegenüberliegt und nur elektromaqnetisch mit diesem Streifenleiterabschnitt gekoppelt ist- Ganz entsprechendes gilt für die Betrachtung der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g in ihrer Verbindung zu jeweils zwei benachbarten Streifenleiterabschnitten 30a bis 30g bei Blickrichtung von der Substratoberfläche nach aufwärts.

Die in Fig. 4A im Schnitt gezeichnete übertragungsleitung 38 weist also einen Erdungsbelag oder eine Erdungsebene 16, ein Substrat 12 und einen zusammengesetzten Streifenleiter 38' auf, der durch eine entsprechend gekennzeichnete strichpunktierte Linie verdeutlicht ist. Der zusammengesetzte Streifenleiter 38' enthält auch die Streifenleiterabschnitte 31b und 15b, welche in der dargestellten Weise miteinander in Verbindung stehen. Der zusammengesetzte Streifenleiter 38' setzt sich dann in dem Streifenleiterabschnitt 15b fort, der Verbindung zu dem Streifenleiterabschnitt 30a hat, der seinerseits sich über den Streifenleiterabschnitt 14a hinwegspannt und Verbindung zu dem Streifenleiterabschnitt 14b bekommt, der Kontakt zu dem Streifenleiterabschnitt 30c gewinnt, welcher wiederum den Streifenleiterabschnitt 14c in isolierendem Abstand überspannt. Der Streifenleiterabschnitt 30c hat dann Verbindung zu dem Streifenleiterabschnitt 14d. Von dort verläuft der zusammengesetzte Streifenleiter weiter zu dem Streifenleiterabschnitt 3Oe, der den Streifenleiterabschnitt in isolierendem Abstand überspannt und Kontakt zu dem Streifenleiterabschnitt 14f hat, der zwischen dem Streifenleiterabschnitt 3Oe und dem Streifenleiterabschnitt 30g gelegen ist. Letzterer überspannt in isolierendem Abstand den Streifenleiterabschnitt 14g und hat Verbindung mit dem Streifenleiter-

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abschnitt 15d, der schließlich mit dem Streifenleiterabschnitt 31d zusammengeschaltet ist.

Die übertragungsleitung 39, welche im Schnitt in Fig. 4B dargestellt ist, enthält wiederum die Erdungsebene oder den Erdungsbelag 16, das Substrat 12 und einen zusammengesetzten Streifenleiter 39' _r der durch eine entsprechend bezeichnete strichpunktierte Linie deutlich gemacht ist. Der zusammengesetzte StreiEenleiter 39' enthält die miteinander verbundenen Streifenleiterabschnitte 31a und 14a, die in der dargestellten Weise miteinander verbunden sind, wobei der Streifenleiterabschnitt 14a Verbindung zu dem Streifenleiterabschnitt 30b hat, der den Streifenleiterabschnitt 14b in isolierendem Abstand überspannt. Weiter enthält der zusammengesetzte Streifenleiter 39' den Streifenleiterabschnitt 14c, der den Streifenleiterabschnitt 30b mit dem Streifenleiterabschnitt 3Od verbindet, weichletzterer wiederum den Streifenleiterabschnitt 14d in isolierendem Abstand überspannt. Der zusammengesetzte Streifenleiter 39' setzt sich dann in dem Streifenleiterabschnitt 14e fort, der zwischen den Streifenleiterabschnitt 3Od und den Streifenleiterabschnitt 3Of geschaltet ist, welchletzterer den Streifenleiterabschnitt 14f in isolierendem Abstand übergreift und Verbindung zu dem Streifen-, leiterabschnitt 14g hat, der zwischen den Streifenleiterabschnitt 3Of und den Streifenleiterabschnitt 31c geschaltet ist, wobei schließlich der Streifenleiterabschnitt 31c den Streifenleiterabschnitt 15d isolierend überspannt.

Im Unterschied zu bekannten Konstruktionen, bei denen eine verhältnismäßig schmale Randfläche eines Streifenleiters die Aufgabe hat, Hochfrequenzenergie zu dem benachbarten Rand eines zweiten Streifenleiters auszukoppeln, stehen im vorliegenden Fall die verhältnismäßig breiten Oberseiten und Unterseiten mit den Flächen W der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g und 30a bis 30g zur Kopplung von Mikrowellenenergie zwischen den zusammengesetzten Streifenleitern 38' und 39' zur

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Verfügung. Da die Kopplung zwischen den Oberseiten und Unterseiten stärker als bei der üblichen Kopplung über die Ränder ist, kann ein Koppler mit Streifenleitern hergestellt werden, die breiter sind als die Streifenleiter bei den bekannten Kopplern mit einer Digitalleiteranordnung, so daß die Einfügungsverluste vermindert werden.

Die Übertragungsleitungen sind vorliegend korkenzieherartig oder ineinanderliegend bzw- verdrillt ausgebildet, um einen symmetrischen Koppler zu erhalten, bei dem jede übertragungsleitung im wesentlichen denselben Wellenwiderstand aufweist. Demgemäß besitzt jeder der zusammengesetzten Streifenleiter 38' und 39' Teile in der einen und der anderen von zwei Schaltungsebenen. Da_r wie aus den Fig. 4A und 4B ersichtlich ist, jeder untenliegende Streifenleiterabschnitt 14a bis 14q einen Abstand S von der Erdungsebene 16 hat und jeder obenliegende Streifenleiterabschnitt 30a bis 30g einen Abstand S' von der Erdungsebene 16 besitzt, haben die zusammengesetzten Streifenleiter 38' und 39' beide einen mittleren Abstand Sa von der Erdungsebene 16. Die zusammengesetzten Streifenleiterabschnitte 38" und 39' bilden somit in Kombination mit dem Substrat 12 und dem Erdungsbelag oder der Erdungsebene 16 ein Paar von Übertragungsleitungen mit im wesentlichen gleichen elektromagnetischen Eigenschaften. Der resultierende Koppler ist somit ein symmetrischer Koppler.

Es sei nun auf die Fig. 1, 5, 5A und 5B Bezug genommen. Die Kopplungsschaltung 10 kann dazu verwendet werden, ein Paar von Hochfrequenzsignalen, welche von den Ausgängen der Verstärker 72 und 74 abnehmbar sind und einem Paar von Anschlüssen B und C der Kopplungsschaltung 10 zugeführt werden, miteinander zu kombinieren und die genannten Hochfrequenzsignale an einem Ausgangsanschluß A der Kopplungsschaltung 10 beispielsweise an einen weiteren Verstärker abzugeben, wobei die Komponenten des Kombinationsergebnisses relativ zueinander eine Phasenverschiebung von 90° besitzen. Wird also der Koppler als Kombina-

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tionsschaltung eingesetzt, so gelangt ein Paar von Hochfrequenzsignalen zu den Eingangsanschlüssen B und C und das Kombinationsergebnis ist ein Hochfrequenzsignal, das von dem Ausgangsanschluß A abnehmbar ist, wobei kein Hochfrequenzsignal dem Anschluß D zugeführt wird. Wird also die Schaltung als Kombinationseinrichtung verwendet, so werden die an den Anschlüssen B und C eingegebenen Hochfrequenzsignale in der nachfolgend beschriebenen Weise zu dem Anschluß A übertragen :

Ein an dem Anschluß C eingeführtes Hochfrequenzsignal gelangt unmittelbar zu dem Anschluß A, da die Anschlüsse C und A über die von dem zusammengesetzten Streifenleiter 39' gebildete Übertragungsleitung 39 unmittelbar miteinander in Verbindung stehen. Dabei erfährt das Signal eine Phasenverschiebung von minus 90°, nachdem die Länge der Übertragungsleitung 39 so gewählt ist, daß sie im wesentlichen einer Viertelwellenlänge entspricht, wobei die Wellenlänge entsprechend der Mittenbandfrequenz des zu koppelnden Hochfrequenzsignales zugrunde gelegt wird. Ein an dem Anschluß B eingegebenes Hochfrequenzsignal wird zu dem Anschluß A elektromagnetisch ausgekoppelt, und zwar im Bereich der die Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g mit Abstand überbrückenden Teile der Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g, wie aus der schematischen Darstellung von Fig. 5B zu ersehen ist (es handelt sich um die Überkreuzungsbereiche der Streifenleiter der geflochtenen oder verdrillten Übertragungsleitungen 38, 39). An den Überkreuzungsbereichen der einzelnen Streifenleiterabschnitte 30a bis 30g koppelt sich die elektromagnetische Welle, die von dem Anschluß B aus die verdrillte übertragungsleitung 38 in Richtung auf den Isolationsanschluß oder Sperranschluß D entlang läuft, zu der verdrillten Übertragungsleitung 39 hin aus und läuft auf der übertragungsleitung 39 in einer Ausbreitungsrichtung entgegengesetzt der Wellenausbreitung auf der übertragungsleitung 38, so daß diese Energie nun eine Phasenverschiebung von minus

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180° erfährt. Die an dem Anschluß B einqekoppelte Energie erscheint somit an dem Anschluß A mit einer Phasenverschiebung von minus 180°. Das an dem Anschluß A abnehmbare Signal stellt somit eine vektorielle Kombination der an den Anschlüssen B und C eingespeisten Signale dar, so daß die Signale an dem Anschluß A mit einer 90"-Phasenverschiebung zwischen den zugeführten Eingangssignale kombiniert werden. Für gleiche eingegebene Signale an den Anschlüssen B und C wird ein etwaiger reflektierter Signalanteil von dem Anschluß A zu dem Anschluß D ausgekoppelt, während keine reflektierten Signalanteile zu den Anschlüssen B oder C gelangen. Wie aus Fig. 1 ersichtlich ist, wird der Anschluß D mit einer Impedanz gleich dem Wellenwiderstand der Übertragungsleitungen 38 und 39, vorliegend mit einer Impedanz von 50 Ohm abgeschlossen.

Die Mikrowellen-Kopplungsschaltung der hier angegebenen Art kann jedoch auch, wie in Fig. 1 gezeigt ist, als Signalaufteiler 10' eingesetzt werden, wenn beispielsweise ein Signal an dem Anschluß A eingespeist wird und in entsprechender Weise, wie dies oben erklärt wurde, zwischen den Anschlüssen R und C aufgeteilt wird. In diesem Falle wird das am Anschluß A eingegebene Signal zwischen den Anschlüssen B und C in Quadratur aufgeteilt, d.h., die Signalkomponenten an den Anschlüssen B und C haben eine gegenseitige Phasenverschiebung von 90°.

Bei der hier vorgeschlagenen Kopplungsschaltung ist der Kopplungsgrad der elektromagnetischen Energie, die sich auf einer der verdrillten Ubertragungsleitungen ausbreitet und auf die jeweils andere der verdrillten Übertragungsleitungen 38 und ausgekoppelt wird, durch entsprechende Veränderung der Oberfläche der Streifenleiterabschnitte 14a bis 14g und 30a bis 30g wählbar, um die effektive Oberfläche für die Kopplung oder diejenigen Flächenteile der Streifenleiterabschnitte, welche entsprechende andere Streifenleiterabschnitte übergreifen, einzustellen, und wobei der Scheitelwinkel der parallelogrammför-

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migen Streifenleiterabschnitte zwischen Null Grad und 90° verändert wird, so daß eine Veränderung des Winkel 0f (Fiq.5) vorgenommen wird, unter welchem sich die Streifenleitersegmente 14a bis 14g und 30a bis 30g überkreuzen, wobei eine maximale Kopplung auftritt, wenn der genannte Winkel sich dem Wert Null Grad nähert, während eine minimale Kopplung auftritt, wenn sich der Winkel dem Wert 90° nähert. Wird weiter eine ungerade Zahl von Streifenleiterabschnitten vorgesehen, so erhält man eine Mikrowellen-Kopplungsschaltung, bei der der Ausgangsanschluß A auf derselben Seite des Kopplers wie der Sperranschluß D ist.

Anstelle des Luftdielektrikums kann zwischen den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g und den diese übergreifenden Streifenleiterabschnitten 30a bis 30g auch eine Dielektrikumsschicht aus einem Material wie Siliziumnitrid, Polyimid oder einem anderen geeigneten Material vorgesehen sein. Weiter kann eine Kombination von Luft und einem bestimmten anderen dielektrischen Material zur Isolierung des Abstandes zwischen den Streifenleiterabschnitten 14a bis 14g und 30a bis 30g vorgesehen sein, um bestimmte elektromagnetische Eigenschaften zu verwirklichen.

Die Anordnung kann auch so getroffen werden, daß der Ausgangsanschluß A des Kopplers auf derselben Seite dieses Kopplers liegt wie einer der Eingangsanschlüsse, beispielsweise der Anschluß C. In diesem Falle erreicht man durch eine gerade Zahl von Streifenleiterabschnitten, daß der Ausgangsanschluß A auf derselben Seite des Kopplers 10 liegt wie der Eingangsanschluß C dieses Kopplers, da diese Anschlüsse unmittelbar über die Übertragungsleitung 39 miteinander in Verbindung stehen. Wird ein zusätzlicher Streifenleiterabschnitt beispielsweise in jede der Übertragungsleitungen 38 und 39 eingefügt, so ergibt sich eine zusätzliche Überkreuzung der verdrillten zusammengesetzten Streifenleiter 38' und 39', so daß die Lage der Endanschlußteile dieser Leitungen auf dem Substrat wechselt und

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sich damit ein Wechsel der Lage der Anschlüsse D und R ergibt.

Nunmehr sollen die Fig. 6 bis 8 näher betrachtet werden, in denen eine andere Ausführungsform der hior vorgeschlagenen Hochfrequenz-Kopplungsschaltung gezeigt ist. Zunächst sei auf Fig. 6 Bezug genommen. Auf einer Oberfläche eines Substrates 42 ist ein Paar von im Abstand parallel zueinander verlaufenden Streifenleitern 40a und 40b hergestellt, während auf der anderen Oberfläche eine Erdungsebene oder ein Erdungsbelag an dem Substrat 4 2 angebracht bzw. auf das Substrat aufgebracht ist. Einstückig mit jedem der Streifenleiter 40a und 40b ist jeweils eine Anzahl von Kontaktierungsfahnen 46a bis 46g verbunden. Die Streifenleitern 40a und 40b und die Kontaktierungsf ahnen 46a bis 46g werden auf dem Substrat 42 unter Einsatz herkömmlicher Maskierungs- und Aufdampfverfahren erzeugt. Die Streifenleiter 40a und 40b und die Kontaktierungsf ahnen 46a bis 46g bestehen vorliegend aus einer zusammengesetzten Schicht von Titan und Gold, wobei das Gold in einer Dicke von 1 pm aufgedampft ist.

Gemäß Fig. 7 wird nachfolgend eine Dielektrikumsschicht 48, vorliegend aus Polyimid, auf der mit der Streifenleiteranordnung versehenen Oberfläche des Substrates 4 2 aufgebracht. Unter Einsatz herkömmlicher Maskierungs- und Ätzverfahren wird in der Dielektrikumsschicht 48 ein Muster von Öffnungen 47a bis 47g gebildet, wobei diese öffnungen auf entsprechende Teile der Kontaktierungsfahnen 46a bis 46g ausgerichtet sind. Die öffnungen 47a bis 47g erstrecken sich durch die Dielektrikumsschicht hindurch und legen die jeweils zugehörigen Endbereiche der Kontaktierungsfahnen 46a bis 46g frei. Eine weitere Anzahl von Öffnungen 49a bis 49d durchdringen in der dargestellten Weise ebenfalls die Dielektrikumsschicht 48. Eine Titan schicht 51a und eine Goldschicht 51b werden sodann aufgebracht, so daß eine zusammengesetzte Leiterschicht 51 entsteht, welche der oben in Zusammenhang mit Fig. 3 erwähnten zusammenge-

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setzten Leiterschicht 26 der zuerst beschriebenen Ausführungsform entspricht. Die Öffnungen 49a bis 49d dienen hier durch Erzeugung von Streifenleitern 52a bis 52d (siehe Fig. 8) innerhalb dieser Öffnungen, wobei die Streifenleiter 52a bis 52d dazu dienen, den in Fig. 8 qezeigten Koppler an äußere Schaltungsbauteile anschließen zu können. Es genügt hier die Feststellung, daß die Öffnungen 47a bis 47g und 49a bis 49d Plattierungsöffnungen bilden, um ein weiteres Paar von Streifenleitern mit den zuerst erwähnten Streifenleitern 40a und 40b in Verbindung zu setzen.

Wie aus Fig. 8 zu ersehen, enthält der hier gezeigte Koppler 50 also ein weiteres Paar im Abstand zu einander parallel verlaufender Streifenleiter 40c und 4Od, welche auf der Dielektrikumsschicht 48 gebildet und auf die zuvor auf dem darunterliegenden Substrat hergestellten Streifenleiter 40a und 40b ausgerichtet sind. Einstückig mit jedem der Streifenleiter 40c und 4Od ist eine Anzahl von Kontaktierungsfahnen 52a bis 52g verbunden. Jede der Kontaktierungsfahnen 52a bis 52g hat eine Ausrichtung auf eine entsprechende der öffnungen 47a bis 47g, welche, wie zuvor beschrieben, ihrerseits auf die einstückig von den Streifenleitern 40a und 40b wegstehenden Kontaktierungsfahnen 46a bis 46g ausgerichtet sind. Aus den Fig. 8A und 8B ist zu ersehen, daß jeder Streifenleiter 40a bis 4Od und die zugehörigen Kontaktierungsfahnen so ausgerichtet sind, daß einander diagonal gegenüberstehende Paare von Streifenleitern 40a und 4Od.bzw. 40b und 40c abwechselnd zusammengeschaltet sind, indem die jeweiligen oberen Kontaktierungsfahnen 52a bis 52g über die Plattierung in den jeweils zugehörigen öffnungen 47a bis 47g mit den unteren Kontaktierungsfahnen 46a bis 46g der Streifenleiter 40a bzw. 40b verbunden werden. Wie demgemäß aus Fig. 8A ersichtlich, wird der Streifenleiter 40b über die mit Plattierungsmaterial ausgefüllte Öffnung 47b und die Kontaktierungsfahnen 46a und 52a mit dem Streifenleiter 40c in Verbindung gesetzt. In entsprechender Weise besteht die nächste Verbindung zwischen den

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Streifenleitern 40a bis 4Od gemäß Fiq- 8B in dem Anschluß des Streifenleiters 40a an den Streifenleiter 4Od über das Plattierungsmaterial der öffnung 47c und die Kontaktierungsfahnen 46b und 52b. Die jeweils folgenden Verbindungsstellen zwischen den einander diagonal gegenüberliegenden Streifenleitern 40a, 4Od; 40b, 40c sind in jeweils entsprechender Weise ausgebildet.

Die Streifenleiter 54a bis 54d zur Bildung der Anschlüsse werden in den öffnungen 49a bis 49d hergestellt. Der zur Bildung eines Anschlusses dienende Streifenleiter 54a wird in der öffnung 49a (Fig. 7) erzeugt, welche selektiv einen Endbereich des Streifenleiters 40a, sowie das Substrat 42 freilegt. Der zur Bildung des Anschlusses dienende Streifenleiter 54a wird also durch Plattierung durch die öffnung 49a hindurch erzeugt, so daß man eine unmittelbare Verbindung zu dem Streifenleiter 40a erhält. Außerdem steht der Streifenleiter 54a mit dem Streifenleiter 4Od (siehe Fig. RC) über das Plattierungsmaterial im Bereich der Kontaktierungsfahne 52a und. innerhalb der öffnung 47a mit der Kontaktierungsfahne 46a in Verbindung. Der zur Bildung eines weiteren Anschlusses dienende Streifenleiter 54c wird in der öffnung 49c (siehe Fig. 7) erzeugt, welche selektiv einen Endbereich des Streifenleiters 40a, sowie das Substrat 42 freilegt. Der zur Bildung eines Anschlusses dienende Streifenleiter 54c wird also durch die öffnung 49c hindurch plattiert, um einen unmittelbaren Kontakt zu dem Streifenleiter 40a herzustellen. Außerdem ist der Streifenleiter 54c einstückig mit dem Streifenleiter 4Od verbunden. Die zur Bildung der Anschlüsse dienenden Streifenleiter 54a und 54c und damit die Anschlüsse A und C sind also über die Streifenleiter 40a und 4Od unmittelbar zusammengeschaltet.

In entsprechender Weise wird der zur Bildung eines Anschlusses dienende Streifenleiter 54b in der öffnung 49b (Fig. 7) hergestellt, welche selektiv einen Endbereich dos Streifen-

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leiters 40b, sowie das Substrat 42 freilegt. Der Streifenleiter 54b wird also durch die öffnung 49 hindurch aufplattiert, so daß sich eine unmittelbare Verbindung zu dem Streifenleiter 40b ergibt. Außerdem ist der Streifenleiter 54b einstückig mit dem Streifenleiter 40c ausgebildet, wobei der Streifenleiter 40c isoliert über einen darunterliegenden Teil des Streifenleiters 40a hinweggeführt ist. Der zur Bildung eines weiteren Anschlusses dienende Streifenleiter 54d wird in der Öffnung 49d (siehe Fig. 7) hergestellt, wobei diese öffnung selektiv einen Teil des Substrates 42 freilegt. Der Streifenleiter 54d ist isoliert über den darunterverlaufenden Streifenleiter 40a hinweggeführt und hat unmittelbare Verbindung zu dem Streifenleiter 40b, wobei diese Verbindung über die Kontaktierungsfahre 52g (Fig. 8D), das Plattierungsmaterial in der Öffnung 47g (Fig. 7), sowie die Kontaktierungsfahne 46g (Fig. 6) verläuft. Außerdem ist der Streifenleiter 54d einstückig mit dem Streifenleiter 40c verbunden. Die zur Bildung der Anschlüsse dienenden Streifenleiter 54b und 54d und damit die Anschlüsse B und D der Kopplungsschaltung, sind somit über die Streifenleiter 40b und 40c unmittelbar zusammengeschaltet.

Im Betrieb wird ein Signal zwischen den Anschlüssen A und B, C in entsprechender Weise durch Kopplung übertragen, wie dies oben ausgeführt wurde. Eine symmetrische Konstruktion ergibt sich im vorliegenden Falle dadurch, daß ein erster Teil des eingegebenen Signales sich längs eines auf der Oberseite verlaufenden Leiters, vorliegend auf einem der Streifenleiter 40c und 4Od, ausbreitet, während ein zweiter Teil des Signales sich längs eines untenliegenden Leiters, vorliegend auf einem der Streifenleiter 40a und 40b, ausbreitet. Die im Wechsel vorgesehene Verbindung der einander diagonal gegenüberliegenden Streifenleiter der Streifenleiterpaare dient, wie zuvor schon angedeutet, zur Sicherstellung einer gleichen Potentialanregung der elektromagnetischen Welle, welche sich längs der Leiter bei Eingabe eines Signales in die Leitungen

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ausbreitet. Weiter bewirkt die abwechselnde Koppelverbindunq zwischen den Streifenleiterpaaren eine Unterdrückung der Übertragung parasitärer Schwinqungsmoden, da die Einflüsse der" verschiedenen Dielektrizitätskostanten des Substrates 42, der Dielektikurasschicht 48 und der Luft durch die periodische Verbindung der einander diagonal gegenüberstehenden Leiter unterdrückt werden, so daß eine ausgegliche Konfiguration längs der Streifenleiter 40a bis 4Od vorherrscht.

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Claims

334056S Patentansprüche

1. Hochfrequenz-Kopplungsschaltung mit einem Paar von Streifenleitern, dadurch gekennzeichnet, daß ieder Streifenleiter erste Oberflächenbereiche in einem ersten bestimmten dielektrikumserfüllten Abstand von einem die Erdunqsebene darstellenden Leiter, sowie zweite Oberflächenbereiche in einem hiervon verschiedenen zweiten dielektrikumserfüllten Abstand von diesem die Erdungsebene darstellenden Leiter aufweist.

2. Kopplungsschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Oberflächenbereiche eines Streifenleiters des Streifenleiterpaares über das Dielektrikum mit den zweiten Oberflächenbereichen des jeweils anderen Streifenleiters des Streifenleiterpaares elektromagnetisch gekoppelt sind.

3. Kopplungsschaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß Endbereiche jedes der Streifenleiter verflochten sind.

4. Kopplungsschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß Zwischenbereiche jedes der Streifenleiter verflochten sind.

5. Kopplungsschaltung, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine erste Anzahl aufeinanderfolgender, im Abstand nebeneinanderliegender Streifenleiterabschnitte und eine zweite, gleichgroße Anzahl aufeinanderfolgender, im Abstand nebeneinanderliegender Streifenleiterabschnitte vorgesehen sind und daß ein Oberflächenbereich jedes Streifenleiterabschnittes der ersten Anzahl von Streifenleiterabschnitten elektromagnetisch mit einem Oberflächenbereich eines jeweils entsprechenden Streifenleiterabschnittes der zweiten Anzahl von Stteifenleitorabschnitten gekoppelt ist.

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6. Kopplungsschaltung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen je zwei benachbarten Streifenleiterabschnitten der zweiten Anzahl von StreiEenleiterabschnitten gelegene Streifenleiterabschnitte über Verbindungsmittel Kontakt zu denjenigen beiden Streifenleiterabschnitten der ersten Anzahl von Streifenleiterabschnitten haben, die denjenigen Streifenleiterabschnitt der ersten Anzahl von Streifenleiterabschnitten flankieren, welcher mit dem an die betreffenden Verbindungsmittel angeschlossenen Streifenleiterabschnitt der zweiten Anzahl von Streifenleiterabschnitten elektromagnetisch gekoppelt ist.

7. Kopplungsschaltung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die miteinander elektromagnetisch gekoppelten Oberflächenbereiche der Streifenleiterabschnitte der ersten und der zweiten Anzahl von Streifenleiterabschnitten über ein Dielektrikum von einander getrennt sind.

8. Kopplungsschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Streifenleiter bzw. aus den Streifenleiterabschnitten der ersten und der zweiten Anzahl von Streifenleiterabschnitten zusammengesetzte Streifenleiter jeweils gleichen mittleren Abstand von dem die Erdungsebene darstellenden Leiter haben.

9. Kopplungsschaltung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein erstes Paar dielektrisch voneinander getrennter ebener Streifenleiter in einer ersten Ebene und ein weiteres Paar dielektrisch voneinander getrennter ebener Streifenleiter in einer zweiten, davon verschiedenen Ebene und über ein Dielektrikum von dem erstgenannten Paar von Streifenleitern getrennt vorgesehen sind und daß ein erster OberflMchenbereich des einen Streifenleiters jedes Streifenleiterpaares elektromagnetisch mit einem zweiten Oberflächenbereich des entsprechenden anderen Streifenleiters jedes Streifenleiterpaares gekoppelt ist.

10. Streifenleiteranordnunq, insbesondere für eine Kopplunqsschaltung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen ersten Streifenleiter mit obenlieqenden und untenliegenden Oberflächenbereichen, einen zweiten Streifenleiter, welcher ebenfalls obenliegende und unterliegende Oberflächenbereiche aufweist, sowie durch Mittel zur Verbindung der obenliegendon und untenliegenden Oberflächenbereiche der beiden Streifenleiter in solcher Weise, daß zwischen den Stroifenleitern Energie durch elektromagnetische Kopplung übertragen wird.

11. Streifenleiteranordnung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenbereiche als Streifenleiterabschnitte auf einem Substrat angeordnet und derart abwechselnd miteinander verbunden sind, daß sich eine verdrillte, flachliegende Konfiguration von zwei Streifenleitern ergibt.