DE3339276A1 - Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents
Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellungInfo
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0395937A1 (de) * | 1989-05-02 | 1990-11-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Kapazitiver Feuchtesensor |
DE3919864A1 (de) * | 1989-06-19 | 1990-12-20 | Testoterm Mestechnik Gmbh & Co | Kapazitiver feuchtesensor |
DE4438892A1 (de) * | 1994-10-31 | 1996-05-02 | Testo Gmbh & Co | Abgleichbarer kapazitiver Sensor und Verfahren zum Abgleichen eines solchen Sensors |
WO2000025120A1 (de) * | 1998-10-22 | 2000-05-04 | Marco Koch | Kapazitiver feuchtigkeitssensor sowie verfahren zu dessen herstellung |
DE19917717C2 (de) * | 1999-04-20 | 2002-10-17 | Joerg Mueller | Kapazitiver Feuchtesensor |
DE102009047201A1 (de) | 2009-11-26 | 2011-06-01 | Hagen, Gunter, Dipl.-Ing. | Verwendung von metallorganischem Gerüstmaterial zur Herstellung von feuchteempfindlichen Schichten für Sensoren |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI65674C (fi) * | 1982-12-21 | 1984-06-11 | Vaisala Oy | Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav |
JPS6486053A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-30 | Toshiba Corp | Sensitive element |
JPH0786492B2 (ja) * | 1987-12-15 | 1995-09-20 | 三菱化学株式会社 | 湿度センサ |
JPH0786491B2 (ja) * | 1987-12-15 | 1995-09-20 | 三菱化学株式会社 | 湿度センサ |
JPH0786489B2 (ja) * | 1987-12-15 | 1995-09-20 | 三菱化学株式会社 | 結露センサ |
EP0489825A1 (de) * | 1989-08-29 | 1992-06-17 | E + E Elektronik Gesellschaft M.B.H. | Verfahren zur herstellung eines feuchtesensors |
US4965698A (en) * | 1989-09-27 | 1990-10-23 | Johnson Service Company | Capacitance humidity sensor |
JP2003516539A (ja) * | 1999-12-08 | 2003-05-13 | ゼンジリオン アクチエンゲゼルシャフト | 容量型センサー |
JP2002243689A (ja) | 2001-02-15 | 2002-08-28 | Denso Corp | 容量式湿度センサおよびその製造方法 |
US6580600B2 (en) | 2001-02-20 | 2003-06-17 | Nippon Soken, Inc. | Capacitance type humidity sensor and manufacturing method of the same |
JP2002243690A (ja) * | 2001-02-20 | 2002-08-28 | Denso Corp | 容量式湿度センサおよびその製造方法 |
JP2003004683A (ja) | 2001-06-15 | 2003-01-08 | Denso Corp | 容量式湿度センサ |
JP4501320B2 (ja) | 2001-07-16 | 2010-07-14 | 株式会社デンソー | 容量式湿度センサ |
JP2006019589A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Denso Corp | 半導体装置 |
US9063067B1 (en) | 2010-11-17 | 2015-06-23 | Alvin P. Schmitt | Moisture sensing devices |
JP7120519B2 (ja) * | 2018-07-12 | 2022-08-17 | ミネベアミツミ株式会社 | 湿度センサ及びその製造方法 |
JP7193203B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-12-20 | ミネベアミツミ株式会社 | 検出装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI48229C (fi) * | 1972-10-12 | 1974-07-10 | Vaisala Oy | Kapasitiivinen kosteusanturi ja sen valmistumenetelmä. |
DE2848034A1 (de) * | 1978-11-06 | 1980-05-14 | Siemens Ag | Kapazitiver feuchtefuehler |
FR2486656A1 (fr) * | 1980-07-09 | 1982-01-15 | Commissariat Energie Atomique | Hygrometre capacitif |
FI65674C (fi) * | 1982-12-21 | 1984-06-11 | Vaisala Oy | Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav |
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- 1984-10-25 IT IT23303/84A patent/IT1177031B/it active
- 1984-10-26 NL NL8403264A patent/NL8403264A/nl not_active Application Discontinuation
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0395937A1 (de) * | 1989-05-02 | 1990-11-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Kapazitiver Feuchtesensor |
DE3919864A1 (de) * | 1989-06-19 | 1990-12-20 | Testoterm Mestechnik Gmbh & Co | Kapazitiver feuchtesensor |
EP0403994A1 (de) * | 1989-06-19 | 1990-12-27 | TESTOTERM MESSTECHNIK GMBH & CO. | Kapazitiver Feuchtesensor |
US5050434A (en) * | 1989-06-19 | 1991-09-24 | Testoterm Messtechnik Gmbh & Co. | Capacitive humidity sensor |
DE4438892A1 (de) * | 1994-10-31 | 1996-05-02 | Testo Gmbh & Co | Abgleichbarer kapazitiver Sensor und Verfahren zum Abgleichen eines solchen Sensors |
WO2000025120A1 (de) * | 1998-10-22 | 2000-05-04 | Marco Koch | Kapazitiver feuchtigkeitssensor sowie verfahren zu dessen herstellung |
DE19917717C2 (de) * | 1999-04-20 | 2002-10-17 | Joerg Mueller | Kapazitiver Feuchtesensor |
DE102009047201A1 (de) | 2009-11-26 | 2011-06-01 | Hagen, Gunter, Dipl.-Ing. | Verwendung von metallorganischem Gerüstmaterial zur Herstellung von feuchteempfindlichen Schichten für Sensoren |
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