DE3304198C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial, das gegenüber elektromagnetischen Wellen wie UV-Strahlen, sichtbarem Licht, IR-Strahlen, Röntgen- und γ- Strahlen empfindlich ist.

Photoleiter, die photoleitfähige Schichten von elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterialien wie z. B. Festkörper-Bildaufnahmevorrichtungen, elektrophotographischen Bilderzeugungsmaterialien oder Manuskript-Lesevorrichtungen (Klarschriftlesern) bilden, müssen eine hohe Empfindlichkeit, ein hohes S/N-Verhältnis [Photostrom (I _p)/Dunkelstrom (I _d)], ein spektrales Verhalten, das auf die einzustrahlenden elektromagnetischen Wellen abgestimmt ist, ein schnelles Ansprechen auf elektromagnetische Wellen und einen geeigneten Dunkelwiderstandswert haben und dürfen nicht gesundheitsschädlich sein. Des weiteren ist es bei einer Festkörper-Bildaufnahmevorrichtung erforderlich, daß Restbilder innerhalb einer festgelegten Zeit leicht zu beseitigen sind. Besonders im Fall eines elektropotographischen Bilderzeugungsmaterials, das in einer elektrophotographischen Vorrichtung für Büros verwendet wird, ist es sehr wichtig, daß es nicht gesundheitsschädlich ist.

Im Hinblick auf die vorstehenden Ausführungen hat in neuerer Zeit amorphes Silicium (nachstehend als a-Si bezeichnet, als Photoleiter Beachtung gefunden. Aus der DE-OS 27 46 967 ist eine Anwendung von a-Si für elektrophotographische Bilderzeugungsmaterialien bekannt, und aus der DE-OS 29 33 411 ist eine Anwendung von a-Si für eine Lesevorrichtung mit photoelektrischer Wandlung bekannt.

Aus der DE-OS 28 55 718 ist ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial bekannt, das eine auf einem Träger angeordnete photoleitfähige Schicht aus a-Si aufweist, die Wasserstoffatome enthält und mit gleichmäßig verteilten Atomen der Gruppe III oder V des Periodensystems dotiert sein kann.

Die DE-OS 33 03 700, eine ältere Anmeldung, betrifft ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial mit einem Träger, einer Grenzflächen- bzw. Zwischenschicht aus einem amorphen Material, das wenigstens Silicium- und Stickstoffatome enthält, einer Gleichrichterschicht aus einem amorphen Material, das in einer Matrix aus Siliciumatomen Atome (A) der Gruppe III oder V des Periodensystems enthält, und einer photoleitfähigen Schicht aus einem amorphen Material, das in einer Matrix aus Siliciumatomen Wasserstoff- und/oder Halogenatome enthält, wobei die Gleichrichterschicht entweder eine Dicke von 3 nm bis weniger als 0,3 µm hat und der Gehalt der Atome (A) mindestens 30 Atom-ppm beträgt oder eine Dicke von mindestens 3 nm hat und der Gehalt der Atome (A) 30 bis weniger als 100 Atom- ppm beträgt.

Es ist unter den gegenwärtigen Umständen erforderlich, daß die elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterialien mit photoleitfähigen Schichten, die aus herkömmlichem a-Si aufgebaut sind, bezüglich der Gesamteigenschaften verbessert werden, wozu die elektrischen, optischen und Photoleitfähigkeitseigenschaften, wie der Dunkelwiderstandswert, die Photoempfindlichkeit und das Ansprechen auf elektromagnetische Wellen sowie das Verhalten gegenüber den Umgebungsbedingungen während der Verwendung, die Stabilität im Verlauf der Zeit und die Haltbarkeit gehören.

Wenn zum Beispiel ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial in einem dunklen Bereich verwendet wird, kann die Zuführung von Ladungen von der Trägerseite nicht ausreichend verhindert werden: das verwendete Aufzeichnungsmaterial ist dann nicht frei von gewissen Problemen im Hinblick auf die Durchschlagsfestigkeit oder die Dauerhaftigkeit bei wiederholter kontinuierlicher Verwendung, oder es treten Bilddefekte auf, die gewöhnlich als "schwarzer Bereich" auf den auf ein Bildempfangsmaterial übertragenen Bildern bezeichnet werden, von dem angenommen wird, daß er auf das lokale Phänomen des Entladungsabbaus zurückgeht, oder es treten die sogenannten Bilddefekte auf, die gewöhnlich als "weiße Linie" bezeichnet werden, von denen man annimmt, daß sie z. B. auf das Reiben mittels einer Rakel, die zum Reinigen herangezogen wird, zurückgehen. Auch wurde das sogenannte "nicht-fokussierte Bild" häufig bei erhaltenen Bildern beobachtet, wenn sie in einer stark feuchten Atmosphäre entstanden oder unmittelbar danach in einer stark feuchten Atmosphäre längere Zeit stehengelassen wurden.

Wenn des weiteren die Schichtdicke 10 oder einige µm oder mehr beträgt, besteht die Neigung dazu, daß sich von der Trägeroberfläche Schichten ablösen oder sich Risse in den Schichten im Verlaufe der Zeit bilden, wenn man den Träger, nachdem er aus dem Vakuumaufdampfungsraum zur Schichtausbildung genommen worden ist, stehenläßt. Diese Erscheinungen treten insbesondere häufig auf, wenn es sich bei dem Träger um einen zylindrischen Träger handelt, der gewöhnlich im Bereiche der Elektrophotographie eingesetzt wird. Es treten demzufolge Probleme im Hinblick auf die zeitliche Stabilität auf, die zu lösen wären.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial gemäß Oberbegriff von Patentanspruch 1 bereitzustellen, bei dem die Schichten, aus dem das Aufzeichnungsmaterial gebildet ist, fest aneinander bzw. an dem Träger haften und die Langzeit-Stabilität verbessert ist.

Diese Aufgabe wird durch ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial mit den im kennzeichnenden Teil von Patentanspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst.

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren näher erläutert.

Fig. 1 bis 4 zeigen einen schematischen Querschnitt zur Erläuterung des Schichtaufbaus bevorzugter Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials.

Fig. 5 und 6 erläutern in schematischer Form Beispiele von Vorrichtungen, die zur Herstellung des erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials verwendet werden können.

Fig. 1 zeigt einen schematischen Querschnitt zur Erläuterung des Schichtaufbaus einer ersten Ausgestaltung des erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials.

Das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 100, das in Fig. 1 gezeigt wird, weist eine Zwischenschicht 102, die aus einem durch irgendeine der vorstehend erwähnten Formeln (1) bis (3) dargestellten amorphen Material besteht (nachfolgend abgekürzt als "a-SiN(H,X)" bezeichnet), eine Gleichrichterschicht 103 und eine photoleitfähige Schicht 104 auf einem Träger 101 auf, wobei die photoleitfähige Schicht 104 eine freie Oberfläche 105 hat.

Die Zwischenschicht 102 dient hauptsächlich dazu, die Haftung zwischen dem Träger 101 und der Gleichrichterschicht 103 zu verbessern. Sie ist derartig ausgebildet, daß sie Affinität sowohl zu dem Träger 101 als auch zu der Gleichrichterschicht 103 zeigen kann.

Die Gleichrichterschicht 103 hat hauptsächlich die Funktion, wirksam die Injektion von Ladungen von der Seite des Trägers 101 her in die photoleitfähige Schicht 104 zu verhindern.

Die photoleitfähige Schicht 104 hat die Aufgabe, Lichtstrahlung aufzunehmen, gegenüber der sie empfindlich ist, um dadurch Phototräger in dieser photoleitfähigen Schicht 104 zu erzeugen und diese Phototräger in eine bestimmte Richtung zu transportieren.

Als Halogenatome (X), die in das a-SiN(H,X) zur Bildung der Zwischenschicht eingebaut werden können, können Fluor-, Chlor-, Brom- und Jodatome erwähnt werden, wovon Fluor- und Chloratome besonders bevorzugt sind.

Die Ausbildung einer Zwischenschicht, die aus a-SiN(H,X) besteht, kann z. B. entsprechend dem Glimmentladungsverfahren, dem Zerstäubungsverfahren, dem Ionenimplantationsverfahren, dem Ionenplattierungsverfahren oder dem Elektronenstrahlverfahren hergestellt werden. Diese Herstellungsverfahren können in geeigneter Weise in Abhängigkeit von verschiedenen Einflußgrößen, wie Herstellungsbedingungen, Ausmaß der Belastung durch die Kapitalinvestitionen für die Installationen, Produktionsumfang und Eigenschaften, die für das herzustellende elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial erforderlich sind, ausgewählt werden. Im Hinblick auf eine relativ leichte Einstellung der Bedingungen zur Herstellung von elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterialien mit den gewünschten Eigenschaften und auf den leichten Einbau von Siliciumatomen und Stickstoffatomen in die auszubildende Zwischenschicht wird vorzugsweise das Glimmentladungsverfahren oder das Zerstäubungsverfahren herangezogen.

Des weiteren kann die Zwischenschicht unter Anwendung der Glimmentladungsverfahren in Kombination mit dem Zerstäubungsverfahren in dem gleichen Vorrichtungssystem hergestellt werden.

Zur Ausbildung einer Zwischenschicht durch das Zerstäubungsverfahren wird ein monokristallines oder polykristallines Si-Mikroplättchen oder Si₃N₄-Mikroplättchen oder ein Si-Mikroplättchen, in Form einer Mischung mit Si₃N₄ gebildet, als Target verwendet und in einer Atmosphäre verschiedener Gase zerstäubt.

Wenn z. B. sowohl das Si-Mikroplättchen als auch das Si₃N₄-Mikroplättchen als Target verwendet werden, wird ein Gas zum Zerstäuben, wie He, Ne oder Ar in den Aufdampfungsraum zum Zerstäuben eingeführt, um ein Gasplasma darin zu bilden und um das Zerstäuben des Si-Mikroplättchens und Si₃N₄-Mikroplättchens zu bewirken.

Alternativ wird unter Verwendung eines plattenförmigen Targets, gebildet in Form einer Mischung von Si und Si₃N₄, ein Zerstäubungsgas in das Vorrichtungssystem eingeleitet. Das Zerstäuben wird in der Atmosphäre dieses Gases bewirkt.

Wenn das Elektronenstrahlverfahren herangezogen wird, können ein monokristallines oder polykristallines hochreines Silicium und ein hochreines Siliciumnitrid in zwei Aufdampfungsschiffchen gebracht werden. Die Aufdampfung kann zur gleichen Zeit unabhängig voneinander mit dem Elektronenstrahl erfolgen, oder alternativ kann auch die Aufdampfung mit einem einzelnen Elektronenstrahl unter Verwendung von Silicium und Siliciumnitrid, die sich in dem gleichen Aufdampfungsschiffchen befinden, erfolgen. Das Zusammensetzungsverhältnis der Siliciumatome zu den Stickstoffatomen in der Zwischenschicht kann in dem ersteren Fall eingestellt werden, indem die Beschleunigungsspannung des Elektronenstrahls relativ zum Silicium bzw. Siliciumnitrid variiert wird, während in dem letzteren Fall die Einstellung dadurch erfolgt, daß vorher die Vermischungsmenge des Siliciums und Siliciumnitrids festgelegt wird.

Wenn das Ionenplattierungsverfahren herangezogen wird, werden verschiedene Gase in den Aufdampfungsraum eingebracht, und ein hochfrequentes elektrisches Feld wird an eine Spule angelegt, die vorher rund um den Aufdampfungsraum gewickelt worden ist, um darin ein Gasplasma zu bilden. In diesem Zustande können Si und Si₃N₄ unter Nutzung des Elektronenstrahlverfahrens aus der Dampfform abgeschieden werden.

Zwecks Ausbildung einer Zwischenschicht nach dem Glimmentladungsverfahren können gasförmige Ausgangsmaterialien zur Ausbildung des a-SiN(H,X), die gegebenenfalls mit einem Verdünnungsgas in einem festgelegten Mischungsverhältnis gemischt sind, in einen Abscheidungsraum zum Vakuumaufdampfen eingeleitet werden, in dem ein Träger ist. Die Glimmentladung wird in diesem Abscheidungsraum angeregt, um aus den Gasen ein Gasplasma zu bilden, wodurch a-SiN(H,X) auf dem Träger niedergeschlagen wird.

Als gasförmige Ausgangsmaterialien zur Herstellung von a-SiN(H,X) können nahezu alle Substanzen verwendet werden, die gasförmig oder vergasbar sind und mindestens eine aus Silicium-, Stickstoff-, Wasserstoff- und Halogenatomen ausgewählte Atomart enthalten.

Zu den Ausgangsmaterialien, die wirksam als gasförmige Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der Zwischenschicht verwendet werden können, zählen Substanzen, die unter den Bedingungen normaler Temperatur und normalen Druckes gasförmig sind oder ohne weiteres vergast werden können.

Zu derartigen Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der Zwischenschicht zählen zum Beispiel Stickstoffverbindungen, wie Stickstoff, Nitride, Stickstofffluorid und Azide, einfache Halogensubstanzen, Halogenwasserstoffe, Interhalogenverbindungen, Siliciumhalogenide, halogensubstituierte Siliciumhydride und Siliciumhydride (Silane).

Im einzelnen können erwähnt werden Stickstoff (N₂), als Stickstoffverbindungen Ammoniak (NH₃), Hydrazin (H₂NNH₂), Stickstofftrifluorid (F₃N), Stickstofftetrafluorid (F₄N₂), Stickstoffwasserstoffsäure (HN₃) und Ammoniumazid (NH₄N₃), als einfache Halogensubstanzen, Halogengase, wie Fluor, Chlor, Brom und Jod, als Halogenwasserstoffe FH, HI, CCl und HBr, als Interhalogenverbindungen BrF, ClF, ClF₃, ClF₅, BrF₅, BrF₃, JF₇, JF₅, JCl und JBr, als Siliciumhalogenide SiF₄, Si₂F₆, SiCl₄, SiCl₃Br, SiCl₂Br₂, SiClBr₃, SiCl₃J und SiBr₄, als halogensubstituierte Siliciumhydride SiH₂F₂, SiH₂Cl₂, SiHCl₃, SiH₃Cl, SiH₃Br, SiH₂Br₂ und SiHBr₃ und als Siliciumhydride Silane, wie SiH₄, Si₂H₆, Si₃H₈ und Si₄H₁₀.

Diese Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der Zwischenschicht können durch geeignete Auswahl zur Ausbildung der Zwischenschicht in der gewünschten Form verwendet werden, so daß Siliciumatome, Stickstoffatome und, wenn erforderlich, Wasserstoffatome oder Halogenatome in dem gewünschten Zusammensetzungsverhältnis in der zu bildenden Zwischenschicht enthalten sein können.

So kann z. B. eine Zwischenschicht durch Einleiten von SiH₄ oder Si₂H₆, die ohne weiteres im Stande sind, Siliciumatome und Wasserstoffatome einzubauen und eine Zwischenschicht mit den gewünschten Merkmalen zu bilden, N₂ oder NH₃ als Ausgangsmaterial zum Einbau von Stickstoffatomen und, wenn erforderlich, SiF₄, SiH₂F₂, SiHCl₃, SiCl₄, SiH₂Cl₂ oder SiH₃Cl als Ausgangsmaterial zum Einbau von Halogenatomen in ein Vorrichtungssystem (zur Ausbildung einer Zwischenschicht) (in einem festgelegten Mischungsverhältnis und im gasförmigen Zustand) und durch Glimmentladung gebildet werden.

Alternativ kann eine Zwischenschicht auch dadurch gebildet werden, daß z. B. SiF₄ oder ein anderes Ausgangsmaterial, das zum Einbau von Siliciumatomen und Halogenatomen in eine zu bildende Zwischenschicht im Stande ist, und N₂ oder ein anderes Ausgangsmaterial, das zum Einbau von Stickstoffatomen geeignet ist, in einem festgelegten Verhältnis, wenn erforderlich zusammen mit einem Verdünnungsgas, wie He, Ne oder Ar, in ein Vorrichtungssystem zur Ausbildung einer Zwischenschicht und zur dortigen Einwirkung einer Glimmentladung geleitet werden.

Bei der Herstellung einer Zwischenschicht nach dem Zerstäubungsverfahren ist es auch möglich, eine gewünschte Zwischenschicht dadurch zu bilden, daß Silicium als Target und gasförmige Ausgangsmaterialien verwendet werden, die bei der Beschreibung der Ausbildung einer Zwischenschicht nach dem Glimmentladungsverfahren als Ausgangsmaterialien zum Einbau von Stickstoff- und, wenn erforderlich, Wasserstoff- oder Halogenatomen aufgezählt wurden.

Der Einbau von Wasserstoff- oder Halogenatomen in die Zwischenschicht ist unter dem Gesichtspunkt der Herstellungskosten günstig, da die Arten der gasförmigen Ausgangsmaterialien teilweise zur Zeit der kontinuierlichen Ausbildung der Gleichrichterschicht und der photoleitfähigen Schicht gemeinsam verwendet werden können.

Das amorphe Material a-SiN(H,X), das die Zwischenschicht aufbaut, muß sorgfältig durch strikte Auswahl der Bedingungen zur Herstellung der Zwischenschicht ausgewählt werden, so daß die Zwischenschicht mit den erforderlichen Eigenschaften versehen werden kann, da die Aufgabe der Zwischenschicht darin besteht, die Haftung zwischen dem Träger und der Gleichrichterschicht zu verbessern und zusätzlich den elektrischen Kontakt dazwischen gleichmäßig herzustellen.

Als bedeutsame Einflußgröße unter den Bedingungen zur Ausbildung von a-SiN(H,X) mit den Eigenschaften, die der Zielsetzung der Erfindung angepaßt sind, kann die Temperatur des Trägers während der Ausbildung angegeben werden.

Das heißt, daß bei der Bildung einer Zwischenschicht, die aus a-SiN(H,X) besteht, auf der Oberfläche des Trägers die Trägertemperatur während der Schichtausbildung eine bedeutsame Einflußgröße ist, die die Struktur und die Eigenschaften der zu bildenden Zwischenschicht beeinflußt. Die Trägertemperatur während der Ausbildung der Zwischenschicht ist zweckmäßigerweise genau einzustellen, damit a-SiN(H,X) mit den angestrebten Eigenschaften in der gewünschten Weise hergestellt werden kann.

Die Trägertemperatur bei der Ausbildung der Zwischenschicht sollte zur Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe innerhalb eines optimalen Bereiches in Übereinstimmung mit dem Verhalten zur Ausbildung der Zwischenschicht ausgewählt werden.

Wenn die Zwischenschicht aus a-Si _a N_1-a [amorphes Material gemäß Formel (1)] gebildet wird, beträgt die Trägertemperatur zweckmäßigerweise 20 bis 200°C, wobei der Bereich von 20 bis 150°C besonders bevorzugt wird. Wenn die Zwischenschicht aus a-(Si _b N_1-b ) _c H_1-c [durch die Formel (2) dargestelltes amorphes Material] oder aus a-(Si _d N_1-d ) _e (X,H)_1-e [durch die Formel (3) dargestelltes amorphes Material] gebildet werden soll, beträgt die Trägertemperatur vorzugsweise 50 bis 350°C, wobei der Bereich von 100 bis 250°C besonders bevorzugt ist.

Bei der praktischen Ausbildung der Zwischenschicht ist die Anwendung des Glimmentladungsverfahrens, des Zerstäubungsverfahrens oder des Elektronenstrahlverfahrens von Vorteil, da es in diesem Fall möglich ist, die Zwischenschicht, die Gleichrichterschicht, die photoleitfähige Schicht und des weiteren andere Schichten, die gegebenenfalls auf der photoleitfähigen Schicht ausgebildet werden, in dem gleichen System kontinuierlich zu bilden. Dies ist auch deswegen vorteilhaft, weil eine genaue Einstellung des Zusammensetzungsverhältnisses der Atome, die die jeweiligen Schichten aufbauen, oder die Einstellung der Schichtdicke mit relativer Leichtigkeit im Vergleich zu anderen Verfahren erfolgen kann. Wenn die Zwischenschicht nach diesen Schichtausbildungsverfahren hergestellt wird, können die Entladungsleistung und der Gasdruck während der Schichtausbildung als bedeutsame Einflußgrößen, ähnlich wie die vorgenannte Trägertemperatur, angegeben werden, die auf die Eigenschaften des herzustellenden a-SiN(H,X) Einfluß nehmen.

Die Entladungsleistung zur wirksamen Herstellung der Zwischenschicht mit den Eigenschaften, die sich mit den Zielen der vorliegenden Erfindung bezüglich der guten Produktivität decken, kann im Falle des a-Si _a N_1-a vorzugsweise 50 W bis 250 W, insbesondere 80 W bis 150 W betragen. Im Falle von a-(Si _b N_1-b ) _c H_1-c oder a-(Si _d N_1-d ) _e (X,H)_1-e liegen die Werte vorzugsweise zwischen 1 bis 300 W, wobei der Bereich von 2 bis 100 W besonders bevorzugt ist.

Der Gasdruck in dem Aufdampfungsraum beträgt im Falle der Durchführung der Schichtausbildung nach dem Glimmentladungsverfahren vorzugsweise 1,33 bis 667 Pa, insbesondere 13,3 bis 66,7 Pa. Bei der Durchführung der Schichtausbildung entsprechend dem Zerstäubungsverfahren wird es bevorzugt, wenn der Druck 0,13 bis 6,67 Pa und insbesondere 1,07 bis 4,00 Pa beträgt.

Der Gehalt an Stickstoffatomen, Wasserstoffatomen und Halogenatomen im a-SiN(H,X), das die Zwischenschicht in dem erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial aufbaut, stellt ebenfalls eine bedeutsame Einflußgröße bei der Ausbildung einer Zwischenschicht mit den angestrebten Eigenschaften zur Erreichung der Ziele, die sich die Erfindung gesetzt hat, dar, ähnlich wie die Bedingungen zur Herstellung der Zwischenschicht.

Das bedeutet, daß in den vorgenannten Formeln, die das amorphe Material wiedergeben, das die Zwischenschicht aufbaut, ª, b, c, d und e im allgemeinen die vorstehend angegebenen Werte haben, wobei ª im allgemeinen 0,57<a≦ 0,99999, vorzugsweise 0,57<a≧0,99 und insbesondere 0,57<a≦0,9, b im allgemeinen 0,6<b≦0,99999, vorzugsweise 0,6<b≦0,99 und insbesondere 0,6<b≦0,9, c vorzugsweise 0,65≦c≦ 0,98 und insbesondere 0,7≦c≦0,95, d im allgemeinen 0,6<d≦0,99999, vorzugsweise 0,6<d≦0,99 und insbesondere 0,6<d≦0,9 und e vorzugsweise 0,8≦e≦0,99 und insbesondere 0,85≦e≦0,98 beträgt.

Der zahlenmäßige Bereich der Dicke der Zwischenschicht in dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmaterial kann in geeigneter Weise derartig bestimmt werden, daß die Aufgabe, von der die Erfindung ausgeht, effektiv gelöst wird.

Die Dicke der Zwischenschicht zur Erreichung der im Rahmen der Erfindung angestrebten Ziele kann im allgemeinen 3,0 nm bis 2 µm, vorzugsweise 4,0 nm bis 1,5 µm und insbesondere 5,0 nm bis 1,5 µm betragen.

Die Gleichrichterschicht, die in dem erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial enthalten ist, besteht aus einem amorphen Material, das Atome (A) der Gruppe III des Periodensystems oder der Gruppe V des Periodensystems, vorzugsweise zusammen mit Wasserstoffatomen und/oder Halogenatomen, in einer Matrix aus Siliciumatomen enthält (nachfolgende Bezeichnung: "a-Si(III, V, H, X)"). Seine Schichtdicke t und der Gehalt C(A) der Atome (A) werden in besonderer Weise ausgewählt, um der Zielsetzung der Erfindung zu entsprechen.

Die Schichtdicke t der Gleichrichterschicht beträgt 0,3 bis 5 µm, vorzugsweise 0,5 bis 2 µm. Der Gehalt C(A) liegt zwischen 1×10² und 1×10⁵ Atom-ppm und vorzugsweise zwischen 5×10² und 1×10⁵ Atom-ppm.

Zu den Atomen (A) der Gruppe III des Periodensystems, die in der Gleichrichterschicht enthalten sein können, zählen Atome von B (Bor), Al (Aluminium), Ga (Gallium), In (Indium) und Tl (Thallium), wobei Atome von B und Ga besonders bevorzugt sind.

Zu den Atomen (A) der Gruppe V des Periodensystems, die in der Gleichrichterschicht enthalten sein können, zählen Atome von P (Phosphor), As (Arsen), Sb (Antimon) und Bi (Wismut), wobei Atome von P und As besonders bevorzugt sind.

Wenn es gewünscht ist, können in die Gleichrichterschicht Halogenatome wie Atome von Fluor, Chlor, Brom und Jod eingebaut werden, wobei Atome von Fluor und Chlor besonders bevorzugt sind.

Zur Ausbildung der Gleichrichterschicht, die aus a-Si(III, V, H, X) besteht, können z. B. das Glimmentladungs-, Zerstäubungs-, Ionenimplantations-, Ionenplattierungs- oder Elektronenstrahlverfahren ähnlich wie bei der Ausbildung der Zwischenschicht angewandt werden.

Zum Beispiel umfaßt bei der Ausbildung einer Gleichrichterschicht, die aus a-Si(III, V, H, X) besteht, nach dem Glimmentladungsverfahren das grundsätzliche Vorgehen die Einführung eines gasförmigen Ausgangsmaterials für den Einbau von Atomen der Gruppe III oder eines gasförmigen Ausgangsmaterials für den Einbau von Atomen der Gruppe V des Periodensystems und gegebenenfalls eines gasförmigen Ausgangsmaterials für den Einbau von Wasserstoffatomen und/oder Halogenatomen zusammen mit einem gasförmigen Ausgangsmaterial für den Einbau von Siliciumatomen in einen Abscheidungsraum, der auf einen verminderten Innendruck gebracht werden kann, in dem die Glimmentladung angeregt wird, um dadurch eine aus a-Si(III, V, H, X) bestehende Schicht auf der Oberfläche eines Trägers zu bilden, der in dem Abscheidungsraum in einer festgelegten Lage angeordnet ist und auf dem bereits die Zwischenschicht gebildet worden ist. Wenn die Gleichrichterschicht nach dem Zerstäubungsverfahren gebildet wird, kann ein gasförmiges Ausgangsmaterial für den Einbau von Atomen der Gruppe III oder ein gasförmiges Ausgangsmaterial für den Einbau von Atomen der Gruppe V des Periodensystems, gegebenenfalls zusammen mit gasförmigen Ausgangsmaterialien für den Einbau von Wasserstoffatomen und/oder Halogenatomen, in den Abscheidungsraum für die Zerstäubung eingeleitet werden, wenn die Zerstäubung eines aus Si bestehenden Targets in einer Inertgasatmosphäre, wie in Ar, He oder einer Gasmischung auf der Grundlage dieser Gase, erfolgt.

Als Ausgangsmaterialien, die als gasförmige Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der Gleichrichterschicht verwendbar sind, können jene herangezogen werden, die zweckmäßigerweise aus den gleichen Ausgangsmaterialien ausgewählt werden, die zur Ausbildung der Zwischenschicht verwendet werden können, wobei allerdings solche Ausgangsmaterialien hinzutreten, die als gasförmige Ausgangsmaterialien für den Einbau von Atomen der Gruppe III oder V des Periodensystems verwendet werden.

Zum Einbau von Atomen der Gruppe III oder V des Periodensystems in die Struktur der Gleichrichterschicht kann das Ausgangsmaterial für den Einbau von Atomen der Gruppe III oder das Ausgangsmaterial für den Einbau von Atomen der Gruppe V im gasförmigen Zustand in einen Abscheidungsraum zusammen mit anderen Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der Gleichrichterschicht eingeführt werden. Als Ausgangsmaterialien für den Einbau von Atomen der Gruppe III oder V des Periodensystems können zweckmäßigerweise solche herangezogen werden, die unter den Bedingungen normaler Temperatur und normalen Druckes gasförmig sind oder zumindest ohne weiteres unter den Schichtbildungsbedingungen vergasbar sind.

Beispielhafte Ausgangsmaterialien für den Einbau von Atomen der Gruppe III sind Borhydride, wie B₂H₆, B₄H₁₀, B₅H₉, B₅H₁₁, B₆H₁₀, B₆H₁₂ und B₆H₁₄, und Borhalogenide, wie BF₃, BCl₃ und BBr₃. Zusätzlich können z. B. auch AlCl₃, GaCl₃, Ga(CH₃)₃, InCl₃ und TlCl₃ erwähnt werden.

Beispielhaft für Ausgangsmaterialien für den Einbau von Atomen der Gruppe V sind Phosphorhydride, wie PH₃ und P₂H₄ und Phosphorhalogenide, wie PH₄I, PF₃, PF₅, PCl₃, PCl₅, PBr₃, PBr₅ und PJ₃. Zusätzlich zählen z. B. auch AsH₃, AsF₃, AsCl₃, AsBr₃, AsF₅, SbH₃, SbF₃, SbF₅, SbCl₃, SbCl₅, BiH₃, BiCl₃ und BiBr₃ als wirksame Ausgangsmaterialien für den Einbau von Atomen der Gruppe V.

Atome (A) der Gruppe III oder V, die in der Gleichrichterschicht enthalten sind, um die Eigenschaft des Gleichrichtens zu bedingen, können vorzugsweise im wesentlichen gleichmäßig innerhalb der zur Oberfläche des Trägers parallelen Ebenen und in Richtung der Schichtdicke verteilt werden.

Der Gehalt (A) der Atome (A) der Gruppe III oder V, die in die Gleichrichterschicht einzubauen sind, kann z. B. dadurch frei eingestellt werden, daß die Gasströmungsgeschwindigkeit, das Verhältnis der Gasströmungsgeschwindigkeit der Ausgangsmaterialien für den Einbau der Atome (A) der Gruppe III oder V, die Entladungsleistung, die Trägertemperatur und der Druck in dem Abscheidungsraum eingestellt werden.

Als Halogenatome, die in die Gleichrichterschicht eingebaut werden können, sofern es erforderlich ist, können jene angegeben werden, die vorstehend im Zusammenhang mit der Beschreibung der Zwischenschicht angegeben wurden.

Die Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht, die aus a-SiN(H,X) besteht, kann nach dem Vakuumaufdampfungsverfahren unter Nutzung des Entladungsphänomens, wie der Glimmentladung, dem Zerstäubungsverfahren oder dem Ionenplattierungsverfahren, ähnlich wie bei der Ausbildung der Zwischenschicht, durchgeführt werden. Zum Beispiel umfaßt bei der Ausbildung einer aus a-SiN(H,X) bestehenden photoleitfähigen Schicht entsprechend dem Glimmentladungsverfahren das grundsätzliche Vorgehen die Einführung eines gasförmigen Ausgangsmaterials für den Einbau von Wasserstoffatomen und/oder Halogenatomen zusammen mit einem gasförmigen Ausgangsmaterial für den Einbau von Siliciumatomen in einen Abscheidungsraum, der auf einen verminderten Druck gebracht werden kann, um die Glimmentladung anzuregen und um dadurch eine aus a-SiN(H,X) bestehende Schicht auf der Oberfläche einer Gleichrichterschicht auf einem Träger zu bilden, der in einer festgelegten Lage in dem Raum angeordnet ist. Wenn entsprechend dem Zerstäubungsverfahren vorgegangen werden soll, kann ein gasförmiges Ausgangsmaterial für den Einbau von Wasserstoffatomen und/oder Halogenatomen in einen Abscheidungsraum für die Zerstäubung eingeleitet werden, wenn die Zerstäubung eines aus Si bestehenden Targets in der Atmosphäre eines inerten Gases, wie Ar, He oder eines Mischgases auf der Grundlage dieser Gase, erfolgt.

Als Halogenatome, die in die photoleitfähige Schicht eingebaut werden können, sofern es erforderlich ist, können die vorstehend im Zusammenhang mit der Beschreibung der Zwischenschicht erwähnten angegeben werden.

Zu dem gasförmigen Ausgangsmaterial für den Einbau von Siliciumatomen, das zur Ausbildung der photoleitfähigen Schicht dient, zählen gasförmige oder vergasbare Siliciumhydride (Silane), wie SiH₄, Si₂H₆, Si₃HO₈ oder Si₄H₁₀, die vorstehend im Zusammenhang mit der Beschreibung der Zwischenschicht oder der Gleichrichterschicht als wirksame Ausgangsmaterialien erwähnt werden. Insbesondere werden SiH₄ und Si₂H₆ im Hinblick auf die leichte Handhabung während der Ausbildung und dem wirksamen Einbau von Siliciumatomen bevorzugt.

Als wirksames gasförmiges Ausgangsmaterial für den Einbau von Halogenatomen bei der Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht kann eine Anzahl von Halogenverbindungen, ähnlich wie im Falle der Zwischenschicht, verwendet werden, einschließlich gasförmiger oder vergasbarer Halogenverbindungen, wie Halogengase, Halogenide, Interhalogenverbindungen und halogensubstituierter Silanderivate.

Des weiteren können hierzu auch gasförmige oder vergasbare Siliciumverbindungen zählen, die Siliciumatome und Halogenatome enthalten und als wirksame Ausgangsmaterialien verwendet werden können.

Die Menge der Wasserstoffatome oder Halogenatome oder die Summe der Wasserstoffatome und Halogenatome, die in der Gleichrichterschicht oder der photoleitfähigen Schicht enthalten ist, liegt vorzugsweise zwischen 1 und 40 Atom-% und insbesondere zwischen 5 und 30 Atom-%. Zur Einstellung der Menge der Wasserstoffatome und/oder der Halogenatome, die in der Gleichrichterschicht oder in der photoleitfähigen Schicht enthalten sind, können z. B. die Trägertemperatur, die Menge des Ausgangsmaterials, das zum Einbau von Wasserstoffatomen oder Halogenatomen verwendet wird, die Entladungsleistung oder andere Größen eingestellt werden.

Als Verdünnungsgase, die bei der Ausbildung der photoleitfähigen Schicht nach dem Glimmentladungsverfahren verwendet werden, oder als Gase für die Zerstäubung während der Ausbildung entsprechend dem Zerstäubungsverfahren, können Edelgase, wie He, Ne, oder Ar herangezogen werden.

Die photoleitfähige Schicht kann eine Dicke haben, die zweckmäßigerweise in Abhängigkeit von den Eigenschaften, die für das herzustellende elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial erforderlich sind, bestimmt werden. Zweckmäßigerweise beträgt die Dicke der photoleitfähigen Schicht im allgemeinen 1 bis 100 µm, vorzugsweise 1 bis 80 µm und insbesondere 2 bis 50 µm.

Wenn in die Gleichrichterschicht Atome der Gruppe V eingebaut werden sollen, ist es zweckmäßig, daß die Leitfähigkeitseigenschaften der photoleitfähigen Schicht durch den Einbau einer Substanz zur Steuerung der Leitfähigkeitseigenschaften, die von den Atomen der Gruppe V verschieden ist, in die photoleitfähige Schicht frei eingestellt werden.

Als eine derartige Substanz können vorzugsweise die auf dem Halbleitergebiet verwendeten Fremdstoffe, vorzugsweise Fremdstoffe des p-Typs, angegeben werden, um dem a-Si(H,X), das die photoleitfähige Schicht aufbaut, Leitfähigkeitseigenschaften des p-Typs zu verleihen, wobei es sich typischerweise um Atome handelt, die zu der Gruppe III des Periodensystems gehören.

Der Gehalt der Substanz zur Steuerung der Leitfähigkeitseigenschaften in der photoleitfähigen Schicht kann zweckmäßigerweise z. B. im Hinblick auf die Beziehung zwischen den Leitfähigkeitseigenschaften, die für die photoleitfähige Schicht erforderlich sind, den Eigenschaften der anderen Schichten, die im direkten Kontakt mit der photoleitfähigen Schicht stehen, und den Eigenschaften der mit den anderen Schichten in Kontakt stehenden Grenzfläche ausgewählt werden.

Der Gehalt der Substanz zur Steuerung der Leitfähigkeitseigenschaften in der photoleitfähigen Schicht liegt im allgemeinen zwischen 0,001 bis 1000 Atom-ppm, vorzugsweise zwischen 0,05 bis 500 Atom- ppm und insbesondere zwischen 0,1 bis 200 Atom-ppm.

Der Träger kann entweder elektrisch leitend oder isolierend sein. Zu den elektrisch leitenden Trägern zählen Metalle, wie NiCr, nichtrostender Stahl, Al, Cr, Mo, Au, Nb, Ta, V, Ti, Pt und Pd und Legierungen davon.

Als isolierende Träger können z. B. gewöhnlich Folien oder Platten aus Kunstharzen, wie Polyester, Polyethylen, Polycarbonate, Celluloseacetat, Polypropylen, Polyvinylchlorid, Polyvinylidenchlorid, Polystyrol oder Polyamide, Glasmaterialien, keramische Materialien oder Papier verwendet werden. Die isolierenden Träger können vorzugsweise mindestens eine Oberfläche haben, die einer zur Vermittlung von elektrischer Leitfähigkeit unterzogen ist. Es wird bevorzugt, andere Schichten auf der Seite, bei der diese besondere Behandlung angewandt wurde, zu schaffen.

Zum Beispiel kann die Leitfähigkeit vermittelnde Behandlung auf einem Glas dadurch erfolgen, daß eine dünne Schicht aus NiCr, Al, Cr, Mo, Au, Ir, Nb, Ta, V, Ti, Pt, Pd, In₂O₃, SnO₂ oder ITO (In₂O₃ + SnO₂) darauf geschaffen wird. Alternativ kann eine Kunstharzfolie wie eine Polyesterfolie, der Leitfähigkeit vermittelnden Behandlung (auf ihrer Oberfläche) durch Vakuumaufdampfen, Elektronenstrahlabscheidung oder Zerstäubung eines Metalls, wie NiCr, Al, Ag, Pb, Zn, Ni, Au, Cr, Mo, Ir, Nb, Ta, V, Ti oder Pt, oder einer Laminierungsbehandlung mit einem derartigen Metall unterzogen werden, um der Oberfläche elektrische Leitfähigkeit zu vermitteln. Der Träger kann in irgendeiner Form, z. B. in Form von Zylindern, Bändern oder Platten, gebildet werden, und seine Form kann, wie es jeweils zweckmäßig ist, festgelegt werden. Wenn z. B. das in Fig. 1 dargestellte elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 100 als elektrophotographisches Bilderzeugungsmaterial verwendet wird, kann es zweckmäßigerweise zu einem endlosen Band oder einem Zylinder zum kontinuierlichen Hochgeschwindigkeitskopieren geformt werden. Der Träger kann eine Dicke haben, die geeigneterweise derart festgelegt ist, daß ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial, wie es erwünscht ist, ausgebildet werden kann. Wenn das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial Flexibilität haben soll, wird der Träger so dünn wie möglich ausgebildet, soweit dadurch die Funktion des Trägers noch bewahrt werden kann, jedoch beträgt in einem derartigen Falle die Dicke im allgemeinen 10 µm oder mehr unter dem Gesichtspunkt der Herstellung und der Handhabung des Trägers sowie auch seiner mechanischen Festigkeit.

Die Fig. 2 zeigt die zweite bevorzugte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials.

Das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 200, das in Fig. 2 gezeigt wird, unterscheidet sich von dem in Fig. 1 gezeigten elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial 100 dadurch, daß es eine obere Zwischenschicht 204 zwischen der Gleichrichterschicht 203 und der photoleitfähigen Schicht 205 aufweist.

Das heißt, das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 200 ist mit einem Träger 201 versehen, auf dem eine untere Zwischenschicht 202, eine Gleichrichterschicht 203, eine obere Zwischenschicht 204 und eine photoleitfähige Schicht 205 übereinandergeschichtet sind, wobei die photoleitfähige Schicht 205 eine freie Oberfläche 206 zeigt.

Die obere Zwischenschicht 204 hat die Aufgabe, die Haftung zwischen der Gleichrichterschicht 203 und der photoleitfähigen Schicht 205 zu verstärken, um dadurch den elektrischen Kontakt an der Grenzfläche beider Schichten gleichmäßig zu bewahren, während gleichzeitig die Schichtqualität der Gleichrichterschicht 203 widerstandsfähig gemacht wird, indem sie direkt auf der Gleichrichterschicht 203 ausgebildet wird.

Die untere Zwischenschicht 202 und die obere Zwischenschicht 204 bestehen aus dem gleichen amorphen Material wie die Zwischenschicht 102 des in Fig. 1 gezeigten elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials 100 und können entsprechend dem gleichen Herstellungsverfahren unter den gleichen Bedingungen ausgebildet werden, so daß ähnliche Eigenschaften ermittelt werden können. Die Gleichrichterschicht 203 und die photoleitfähige Schicht 205 können auch die gleichen Eigenschaften und Funktionen wie die Gleichrichterschicht 103 bzw. die photoleitfähige Schicht 104 haben und können entsprechend dem gleichen Schichtherstellungsverfahren sowie unter den gleichen Bedingungen wie im Falle der Fig. 1 ausgebildet werden.

Fig. 3 erläutert schematisch den Schichtaufbau der dritten Ausgestaltung eines erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials.

Das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 300, das die Fig. 3 zeigt, hat den gleichen Schichtaufbau wie das in Fig. 1 gezeigte elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 100, jedoch mit dem Unterschied, daß es auf der photoleitfähigen Schicht 304, die denselben Aufbau wie die photoleitfähige Schicht 104 hat, die in Fig. 1 gezeigt wird, eine kohlenstoffhaltige Schicht 305 aufweist.

Das heißt, daß das in Fig. 3 gezeigte elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 300 auf einem Träger 301 eine Zwischenschicht 302, eine Gleichrichterschicht 303, eine photoleitfähige Schicht 304 und eine kohlenstoffhaltige Schicht 305 aufweist, die aus einem amorphen Material besteht, das Siliciumatome und Kohlenstoffatome, gegebenenfalls mit Wasserstoffatomen und/oder Halogenatomen, enthält [nachfolgend als "a-SiC(H,X)" bezeichnet], wobei die kohlenstoffhaltige Schicht 305 eine freie Oberfläche 306 hat.

Die kohlenstoffhaltige Schicht 305 ist vorrangig vorgesehen, um die Ziele der Erfindung im Hinblick auf die Feuchtigkeitsbeständigkeit, die Eigenschaften bezüglich des wiederholten kontinuierlichen Gebrauchs, die Durchschlagsfestigkeit, das Verhalten gegenüber den Umgebungsbedingungen beim Gebrauch und die Dauerhaftigkeit zu erfüllen.

In dem in Fig. 3 gezeigten elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial 300 sind chemische und elektrische Stabilität an der Grenzfläche ausreichend gesichert, da jedes der amorphen Materialien, die die photoleitfähige Schicht 304 bzw. die kohlenstoffhaltige Schicht 305 bilden, den gleichen Bestandteil in Form von Siliciumatomen aufweist.

Als a-SiC(H,X), das die kohlenstoffhaltige Schicht aufbaut, kann ein amorphes Material, das aus Siliciumatomen und Kohlenstoffatomen besteht [a-Si _a C_1-a , worin 0<a<1 ist], ein amorphes Material, das aus Siliciumatomen, Kohlenstoffatomen und Wasserstoffatomen besteht [a-(Si _b C_1-b ) _c H_1-c , worin 0<a, b<1 ist] und ein amorphes Material, das aus Siliciumatomen, Kohlenstoffatomen, Halogenatomen und, wenn zweckmäßig, Wasserstoffatomen besteht [a-(Si _d C_1-d ) _e (X,H)_1-e , worin 0<d, e<1 ist], als wirksames Material genannt werden.

Die Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht, die aus a-SiC(H,X) aufgebaut ist, kann z. B. entsprechend dem Glimmentladungs-, dem Zerstäubungs-, dem Ionenimplantations-, dem Ionenplattierungs- oder dem Elektronenstrahlverfahren erfolgen. Diese Herstellungsverfahren können in Abhängigkeit von verschiedenen Einflußgrößen, wie Herstellungsbedingungen, Ausmaß der Kapitalinvestitionen für die Installationen, dem Produktionsrahmen und den gewünschten Eigenschaften, die für das herzustellende elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial erforderlich sind, in zweckmäßiger Weise durchgeführt werden. Im Hinblick auf eine vorteilhafte und relativ leichte Einstellung der Herstellungsbedingungen zur Herstellung von elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterialien mit gewünschten Eigenschaften und dem leichten Einbau von Siliciumatomen und Kohlenstoffatomen, gegebenenfalls zusammen mit Wasserstoff- oder Halogenatomen, in die herzustellende kohlenstoffhaltige Schicht wird vorzugsweise das Glimmentladungsverfahren oder das Zerstäubungsverfahren angewandt.

Die kohlenstoffhaltige Schicht kann unter Anwendung des Glimmentladungsverfahrens und des Zerstäubungsverfahrens in Kombination mit dem gleichen Vorrichtungssystem ausgebildet werden.

Zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht nach dem Glimmentladungsverfahren können gasförmige Ausgangsmaterialien für die Bildung von a-SiC(H,X), gegebenenfalls gemischt in einem festgelegten Verhältnis mit einem Verdünnungsgas, in einen Vakuumabscheidungsraum eingeführt werden, in dem ein Träger angeordnet ist. Das eingeführte Gas wird in ein Gasplasma durch Anregung mittels Glimmentladung übergeführt, wodurch auf der photoleitfähigen Schicht, die bereits auf dem Träger gebildet worden ist, a-SiC(H,X) abgeschieden wird.

Als gasförmige Ausgangsmaterialien zur Ausbildung von a-SiC(H,X) können die meisten gasförmigen oder vergasbaren Substanzen verwendet werden, die mindestens eine aus Silicium-, Kohlenstoff-, Wasserstoff- und Halogenatomen ausgewählte Atomart enthalten.

In dem Falle, daß ein gasförmiges Ausgangsmaterial, das Siliciumatome enthält, verwendet wird, kann z. B. eine Mischung aus einem gasförmigen Ausgangsmaterial, das Siliciumatome enthält, und einem gasförmigen Ausgangsmaterial, das Wasserstoff- oder Halogenatome enthält, in einem geeigneten Mischungsverhältnis verwendet werden, oder es kann alternativ eine Mischung aus einem gasförmigen Ausgangsmaterial das Siliciumatome enthält, und einem gasförmigen Ausgangsmaterial das Kohlenstoff- sowie Wasserstoff- oder Halogenatome enthält, ebenfalls in einem zweckmäßigen Mischungsverhältnis oder eine Mischung aus einem gasförmigen Ausgangsmaterial, das Siliciumatome enthält, und ienem gasförmigen Ausgangsmaterial, das Silicium-, Kohlenstoff- und Wasserstoffatome oder Silicium-, Kohlenstoff und Halogenatome enthält, verwendet werden.

Alternativ ist es des weiteren möglich, eine Mischung aus einem gasförmigen Ausgangsmaterial, das Silicium- sowie Wasserstoff- oder Halogenatome enthält, und einem gasförmigen Ausgangsmaterial, das Kohlenstoffatome enthält, heranzuziehen.

Zu den gasförmigen Ausgangsmaterialien, die wirksam zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht herangezogen werden können, zählen gasförmige Siliciumhydride, die Silicium- und Wasserstoffatome enthalten, wie Silane, z. B.SiH₄, Si₂H₆, Si₃H₈ und Si₄H₁₀, und Verbindungen, die Kohlenstoff und Wasserstoff enthalten, wie gesättigte Kohlenwasserstoffe mit 1 bis 5 Kohlenstoffatomen, ethylenische Kohlenwasserstoffe mit 2 bis 5 Kohlenstoffatomen und acetylenische Kohlenwasserstoffe mit 2 bis 4 Kohlenstoffatomen.

Im einzelnen zählen hierzu gesättigte Kohlenwasserstoffe, wie Methan (CH₄), Ethan (C₂H₆), Propan (C₃H₈), n-Butan (n-C₄H₁₀) und Pentan (C₅H₁₂), ethylenische Kohlenwasser­ stoffe, wie Ethylen (C₂H₄), Propylen (C₃H₆), Buten-1 (C₄H₈), Buten-2 (C₄H₈), Isobutylen (C₄H₈) und Penten (C₅H₁₀) und acetylenische Kohlenwasserstoffe, wie Acetylen (C₂H₂), Methylacetylen (C₃H₄) und Butin (C₄H₆).

Als gasförmiges Ausgangsmaterial, das Silicium-, Kohlenstoff- und Wasserstoffatome enthält, können Alkylsilane, wie Si(CH₃)₄ Si (C₂H₅)₄ genannt werden. Zusätzlich zu diesen gasförmigen Ausgangsmaterialien ist es auch möglich, H₂ als wirksames gasförmiges Ausgangsmaterial für den Einbau von Wasserstoffatomen heranzuziehen.

Die bevorzugten Halogenatome, die in der kohlenstoffhaltigen Schicht enthalten sein können, sind Atome von F, Cl, Br und J. Ganz besonders werden Atome von F und Cl bevorzugt.

Der Einbau von Wasserstoffatomen in die kohlenstoffhaltige Schicht ist im Hinblick auf die Produktionskosten nützlich, da ein Teil der Arten der gasförmigen Ausgangsmaterialien bei der kontinuierlichen Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht nach der photoleitfähigen Schicht gemeinsam verwendet werden kann.

Als gasförmiges Ausgangsmaterial, das für den Einbau von Halogenatomen zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht wirksam herangezogen werden kann, können unter den Bedingungen normaler Temperatur und normalen Druckes gasförmige Substanzen oder ohne weiteres vergasbare Substanzen genannt werden.

Zu derartigen gasförmigen Ausgangsmaterialien für den Einbau von Halogenatomen zählen einfache Halogensubstanzen, Halogenwasserstoffe, Interhalogenverbindungen, Siliciumhalogenide, halogensubstituierte Siliciumhydride und ähnliche Verbindungen.

Im einzelnen können als einfache Halogensubstanzen angegeben werden Halogengase, wie Fluor, Chlor, Brom und Jod, als Halogenwasserstoffe FH, HJ, HCl und HBr, als Interhalogenverbindungen BrF, ClF, ClF₃, ClF₅, BrF₅, BrF₃, JF₇, JF₅, JCl und JBr, als Siliciumhalogenide SiF₄, Si₂F₆, SiCl₄, SiCl₃Br, SiCl₂Br₂, SiClBr₃, SiCl₃J und SiBr₄ und als halogensubstituierte Siliciumhydride SiH₂F₂, SiHCl₂, SiHCl₃, SiH₃Cl, SiH₃Br, SiH₂Br₂ und SiHBr₃.

Zusätzlich zu diesen Ausgangsmaterialien können auch halogen­ substituierte paraffinische Kohlenwasserstoffe wie CCl₄, CHF₃, CH₂F₂, CH₃F, CH₃Cl, CH₃Br, CH₃J und C₂H₅Cl, fluorierte Schwefelverbindungen, wie SF₄ und SF₆ und halogenhaltige Alkylsilane, wie SiCl(CH₃)₃, SiCl₂(CH₃)₂ und SiCl₃CH₃, verwendet werden, d. h. sie stellen wirksame Ausgangsmaterialien.

Zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht nach dem Zerstäubungsverfahren wird ein monokristallines oder polykristallines Si-Mikroplättchen oder C-Mikroplättchen oder ein Mikroplättchen, das Si und C darin gemischt enthält, als Target verwendet und in einer Atmosphäre verschiedener Gase zerstäubt.

Wenn z. B. ein Si-Mikroplättchen als Target verwendet wird, wird ein gasförmiges Ausgangsmaterial für den Einbau von mindestens Kohlenstoffatomen, das mit einem Verdünnungsgas, sofern es zweckmäßig ist, verdünnt sein kann, in einen Abscheidungsraum für die Zerstäubung eingeleitet, um darin ein Gasplasma auszubilden und das Zerstäuben des Si-Mikroplättchens zu bewirken.

Alternativ können Si und C als separate Targets oder ein Folien- bzw. Plattentarget aus einer Mischung von Si und C verwendet werden. Das Zerstäuben wird in einer Atmosphäre durchgeführt, die, wenn notwendig, Wasserstoffatome und/oder Halogenatome enthält.

Als gasförmige Ausgangsmaterialien für den Einbau von Kohlenstoffatomen oder für den Einbau von Wasserstoff- oder Halogenatomen können solche verwendet werden, die im Zusammenhang mit der Glimmentladung erwähnt werden und die vorstehend als wirksame Gase auch im Falle des Zerstäubungsverfahrens beschrieben sind.

Als Verdünnungsgas, das bei der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht mittels des Glimmentladungsverfahrens oder des Zerstäubungsverfahrens zu verwenden ist, können vorzugsweise Edelgase, wie He, Ne oder Ar verwendet werden.

Die kohlenstoffhaltige Schicht sollte sorgfältig ausgebildet werden, so daß die angestrebten Eigenschaften in dem gewünschten Ausmaß erhalten werden.

Das bedeutet, daß eine Substanz, die Siliciumatome, Kohlenstoffatome und, wenn erforderlich, Wasserstoff- und/oder Halogenatome enthält, verschiedene Formen zwischen kristallin bis amorph einnehmen und elektrische Eigenschaften von leitend, halbleitend bis isolierend und photoleitfähige Eigenschaften von photoleitend bis nicht-photoleitend in Abhängigkeit von den Herstellungsbedingungen zeigen kann. Daher werden bei der praktischen Verwirklichung der Erfindung die Herstellungsbedingungen in zweckmäßiger Weise genau ausgewählt, damit das a-SiC(H,X) mit den gewünschten Eigenschaften in Abhängigkeit von dem jeweiligen Verwendungszweck gebildet werden kann.

Wenn z. B. die kohlenstoffhaltige Schicht vorrangig zur Verbesserung der Durchschlagsfestigkeit vorgesehen ist, wird a-SiC(H,X) als amorphes Material mit beträchtlichem elektrischen Isoliervermögen unter den Gebrauchsbedingungen hergestellt.

Wenn alternativ der vorrangige Zweck der Schaffung der kohlenstoffhaltigen Schicht darin besteht, daß eine Verbesserung bei der kontinuierlichen wiederholten Verwendung und im Hinblick auf das Verhalten gegenüber den Umgebungsbedingungen beim Gebrauch erzielt wird, kann der Grad der elektrischen Isolierung bis zu einem gewissen Ausmaß vermindert und ein a-SiC(H,X) als ein amorphes Material hergestellt werden, das bis zu einem gewissen Ausmaß gegenüber eingestrahltem Licht empfindlich ist.

Bei der Ausbildung der aus A-SiC(H,X) bestehenden kohlenstoffhaltigen Schicht auf der Oberfläche der photoleitfähigen Schicht ist die Trägertemperatur während der Schichtausbildung eine bedeutsame Einflußgröße für die Struktur und die Eigenschaften der zu bildenden Schicht. Es ist daher für die Zwecke der Erfindung erstrebenswert, die Trägertemperatur während der Schicht­ ausbildung genau einzustellen, damit ein a-SiC(H,X) mit den angestrebten Eigenschaften in dem gewünschten Ausmaß hergestellt werden kann.

Als Trägertemperatur bei der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht kann im Hinblick auf die Ziele der Erfindung der optimale Temperaturbereich in Übereinstimmung mit dem Verfahren zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht ausgewählt werden.

Wenn die kohlenstoffhaltige Schicht aus a-Si _a C_1-a gebildet werden soll, liegt die Trägertemperatur vorzugsweise zwischen 20 und 300°C und insbesondere zwischen 20 und 250°C.

Wenn die kohlenstoffhaltige Schicht aus a-(Si _b C_1-b ) _c H_1-c oder a-(Si _d C_1-d ) _e (X,H)_1-e gebildet werden soll, beträgt die Trägertemperatur vorzugsweise 50 bis 350°C und insbesondere 100 bis 250°C.

Zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht können das Glimmentladungs- oder Zerstäubungsverfahren mit Vorteil herangezogen werden, da eine genaue Einstellung des Zusammensetzungsverhältnisses der Atome, die die Schicht aufbauen, oder eine Einstellung der Schichtdicke mit relativer Leichtigkeit durchgeführt werden kann, wenn mit anderen Verfahren verglichen wird. In dem Falle, daß die kohlenstoffhaltige Schicht entsprechend diesen Schicht­ ausbildungsverfahren ausgebildet wird, sind die Entladungsleistung und der Gasdruck während der Schichtausbildung bedeutsame Einflußgrößen, die die Merkmale des herzustellenden a-SiC(H,X) ähnlich wie die vorgenannte Träger­ temperatur beeinflussen.

Die Entladungsleistung zur wirksamen Herstellung von a-Si _a -C_1-a mit den angestrebten Eigenschaften und mit guter Produktivität kann vorzugsweise zwischen 50 und 250 W und insbesondere zwischen 80 und 150 W liegen.

Die Entladungsleistung kann im Falle von a-(Si _b C_1-b ) _c H_1-c oder a-(Si _d C_1-d ) _e (X,H)_1-e vorzugsweise zwischen 10 und 300 W und insbesondere zwischen 20 und 200 W liegen.

Der Gasdruck in dem Abscheidungsraum kann im allgemeinen etwa 1,33 bis 667 Pa, vorzugsweise etwa 1,33 bis 133 Pa und insbesondere etwa 13,3 bis 66,7 Pa betragen.

Die vorstehend erwähnten numerischen Bereiche stellen bevorzugte numerische Bereiche für die Trägertemperatur und die Entladungsleistung zur Herstellung der kohlenstoffhaltigen Schicht dar, jedoch sollten diese Einflußgrößen bei der Schichtherstellung nicht einzeln unabhängig voneinander bestimmt werden. Vielmehr ist es zweckmäßig, daß die optimalen Werte der jeweiligen Einflußgrößen für die Schichtausbildung auf der Grundlage gegenseitiger Beziehung bestimmt werden, so daß eine kohlenstoffhaltige Schicht, die aus a-SiC(H,X) besteht, mit den gewünschten Eigenschaften gebildet werden kann.

Der Gehalt an Kohlenstoffatomen und Wasserstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht in dem erfindungsgemäßen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial ist eine bedeutsame Einflußgröße zur Erzielung der gewünschten Eigenschaften zur Lösung der der Erfindung zugrundeliegenden Aufgabe, ähnlich wie die Bedingungen zur Herstellung der kohlenstoffhaltigen Schicht.

Der Gehalt an Kohlenstoffatomen, die in der kohlenstoffhaltigen Schicht enthalten sind, wenn diese aus a-Si _a C_1-a besteht, kann im allgemeinen 1×10^-3 bis 90 Atom-%, vorzugsweise 1 bis 80 Atom-% und insbesondere 10 bis 75 Atom-% betragen. Das bedeutet hinsichtlich der vorstehenden Darstellung von a in der Formel a-Si _a C_1-a , daß a im allgemeinen 0,1 bis 0,99999, vorzugsweise 0,2 bis 0,99 und insbesondere 0,25 bis 0,9 beträgt.

Wenn die kohlenstoffhaltige Schicht aus a-(Si _b C_1-b ) _c H_1-c aufgebaut ist, liegt der Gehalt an Kohlenstoffatomen, die in der kohlenstoffhaltigen Schicht enthalten sind, im allgemeinen zwischen 1×10^-3 bis 90 Atom-%, vorzugsweise zwischen 1 bis 90 Atom-% und insbesondere zwischen 10 und 80 Atom-%. Der Gehalt an Wasserstoffatomen liegt im allgemeinen zwischen 1 und 40 Atom-%, vorzugsweise zwischen 2 und 35 Atom-% und insbesondere zwischen 5 und 30 Atom-%. Ein hergestelltes elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial, das einen Wasserstoffgehalt innerhalb dieser Bereiche aufweist, erweist sich bei praktischen Anwendungen als hervorragend. Das bedeutet hinsichtlich der Darstellung durch die Formel a-(Si _b C_1-b ) _c H_1-c , daß b im allgemeinen 0,1 bis 0,99999, vorzugsweise 0,1 bis 0,99 und insbesondere 0,15 bis 0,9 und c im allgemeinen 0,6 bis 0,99, vorzugsweise 0,65 bis 0,98 und insbesondere 0,7 bis 0,95 beträgt.

Wenn die kohlenstoffhaltige Schicht aus a-(Si _d C_1-d ) _e (X,H)_1-e aufgebaut ist, liegt der Gehalt in der kohlenstoffhaltigen Schicht an Kohlenstoff­ atome im allgemeinen zwischen 1×10^-3 und 90 Atom-%, vorzugsweise zwischen 1 und 90 Atom-% und insbesondere zwischen 10 und 80 Atom-%. Der Gehalt an Halogenatomen liegt im allgemeinen zwischen 1 und 20 Atom-%, vorzugsweise zwischen 1 und 18 Atom-% und insbesondere zwischen 2 und 15 Atom-%. Ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial, das mit einem Halogenatomgehalt innerhalb dieser Bereiche hergestellt worden ist, erweist sich bei der praktischen Anwendung als ganz vorzüglich. Der Gehalt an Wasserstoffatomen, die gegebenenfalls darin enthalten sein können, liegt im allgemeinen bei bis zu 19 Atom-%, vorzugsweise bei bis zu 13 Atom-%. Das bedeutet hinsichtlich der Darstellung durch a-(Si _d C_1-d ) _e (X,H)_1-e , daß d im allgemeinen 0,1 bis 0,99999, vorzugsweise 0,1 bis 0,99 und insbesondere 0,15 bis 0,9 und e im allgemeinen 0,8 bis 0,99, vorzugsweise 0,82 bis 0,99 und insbesondere 0,85 bis 0,98 beträgt.

Der Bereich der Zahlenwerte der Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht ist eine bedeutsame Einflußgröße, um die Ziele der Erfindung wirksam zu erreichen.

Es ist zweckmäßig, daß der Bereich des Zahlenwertes der Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht in geeigneter Weise in Abhängigkeit von dem vorgesehenen Verwendungszweck bestimmt wird, um auf diese Weise dem Zweck der Erfindung wirksam zu entsprechen.

Die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht wird notwendigerweise und zweckmäßigerweise im Hinblick auf Erwägungen über die Beziehung zwischen dem Gehalt an Kohlenstoffatomen, Wasserstoffatomen oder Halogenatomen, der Schichtdicke der photoleitfähigen Schicht wie auch auf andere Beziehungen zu den geforderten Eigenschaften der jeweiligen Schichten bestimmt.

Zusätzlich ist es auch zweckmäßig, einen wirtschaftlichen Gesichtspunkt in Erwägung zu ziehen, wie die Produktivität oder die Möglichkeit der Massenproduktion.

Die kohlenstoffhaltige Schicht hat zweckmäßigerweise eine Schichtdicke von im allgemeinen 0,003 bis 30 µm, vorzugsweise 0,004 bis 20 µm und 0,005 bis 10 µm.

Fig. 4 zeigt eine vierte Ausgestaltung der Erfindung.

Das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 400, das in Fig. 4 gezeigt wird, unterscheidet sich von dem in Fig. 2 gezeigten elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial 200 dadurch, daß es eine kohlenstoffhaltige Schicht 406, die der in der Fig. 3 gezeigten kohlenstoffhaltigen Schicht 305 ähnlich ist und auf einer photoleitfähigen Schicht 405 vorliegt, aufweist.

Das bedeutet, daß das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial 400 einen Träger 401, eine untere Zwischen­ schicht 402, eine Gleichrichterschicht 403, eine obere Zwischenschicht 404, eine photoleitfähige Schicht 405 und eine kohlenstoffhaltige Schicht 406 in der erwähnten Reihenfolge aufweist, wobei die kohlenstoffhaltige Schicht 406 eine freie Oberfläche 407 zeigt.

Das erfindungsgemäße elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial mit dem vorstehend beschriebenen Schichtaufbau kann sämtliche Probleme, auf die vorstehend eingegangen ist, beheben und zeigt hervorragende elektrische, optische und Photoleitfähigkeitseigenschaften, Durchschlagsfestigkeit sowie bei der Verwendung gute Eigenschaften im Hinblick auf sein Verhalten gegenüber den Umgebungsbedingungen.

Wenn es als elektrophotographisches Bilderzeugungsmaterial verwendet wird, ist es insbesondere frei vom Einfluß des Restpotentials bei der Bilderzeugung insgesamt, stabil in seiner elektrischen Eigenschaft im Hinblick auf die hohe Empfindlichkeit und hohes SN-Verhältnis wie auch auf hervorragende Lichtdauerfestigkeit und auf die Eigenschaften, die wiederholten Gebrauch ermöglichen, wodurch es möglich ist, wiederholt Bilder hoher Qualität mit hoher Bilddichte, klarem Halbton und hoher Auflösung zu erhalten.

Die photoleitfähige Schicht selbst haftet unter Vermittlung der Zwischenschicht und der Gleichrichterschicht hervorragend an dem Träger. Es ist daher möglich, das elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial mit hoher Geschwindigkeit wiederholt und kontinuierlich während einer langen Zeitdauer zu verwenden.

Nachfolgend wird ein Verfahren zur Herstellung des elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials beschrieben, wobei die Herstellung unter Anwendung des Glimmentladungsab­ scheidungsverfahrens erfolgt.

Fig. 5 zeigt eine Vorrichtung zur Herstellung eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials, wobei die Abscheidung nach dem Glimmentladungsverfahren erfolgt.

In den Gasbomben 502 bis 506 sind hermetisch abgeschlossene gasförmige Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der jeweiligen Schichten enthalten. Zum Beispiel enthält die Bombe 502 SiH₄- Gas (Reinheit: 99,999%), verdünnt mit He (nachfolgend abgekürzt wiedergegeben als "SiH₄/He"). Die Bombe 503 enthält B₂H₆-Gas (Reinheit: 99,999%), verdünnt mit He (nachfolgend abgekürzt als "B₂H₆/He"). Die Bombe 505 enthält SiF₄-Gas (Reinheit: 99,999%), das mit He verdünnt ist, (nachfolgend bezeichnet mit "SiF₄/He"), während die Bombe 506 C₂H₄-Gas (Reinheit: 99,999%) enthält.

Die Arten der Gase, die in diese Bomben einzufüllen sind, können in Abhängigkeit von der jeweiligen Art der zu bildenden Schichten verändert werden.

Damit diese Gase in die Reaktionskammer 501 auf Grund der Betätigung der Ventile 522-526 der Gasbomben 502-506 strömen, ist das Leckventil 535 geschlossen. Die Einlaßventile 512-516, die Auslaßventile 517-521 und die Hilfsventile 532, 533 sind geöffnet. Das Hauptventil 534 wird zunächst geöffnet, um die Reaktionskammer 501 und die Gasrohre zu evakuieren. Der nächste Schritt besteht darin, wenn die Ablesung auf dem Vakuum­ anzeigegerät 536 etwa 0,67 mPa beträgt, die Hilfsventile 532, 533 und die Auslaßventile 517-521 zu schließen.

Dann werden die Ventile der Gasrohre, die mit den Bomben der Gase zur Einführung in die Reaktionskammer 501 verbunden sind, programmgemäß geöffnet, um das gewünschte Gas in die Reaktionskammer 501 einzuführen.

Im folgenden wird ein Verfahren zur Herstellung eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials mit dem in Fig. 3 gezeigten Aufbau kurz beschrieben.

SiH₄/He-Gas aus der Gasbombe 502 und NH₃-Gas aus der Gasbombe 504 werden in die Massenströmungsregler 507 bzw. 509 eingeleitet, indem die Ventile 522 und 524 geöffnet werden, um die Drucke an den Auslaßmanometern 527 bzw. 529 auf 9,8 N/cm² einzuregeln und die Einlaßventile 512 bzw. 514 allmählich geöffnet werden. Nachfolgend werden allmählich die Auslaßventile 517 und 519 und das Hilfsventil 532 geöffnet, um das jeweilige Gas in die Reaktionskammer 501 fließen zu lassen.

Das Öffnen der Auslaßventile 517 und 519 wird derartig eingeregelt, daß das relative Strömungsgeschwindigkeitsverhältnis von SiH₄/He zu NH₃ den gewünschten Wert hat. Auch das Öffnen des Hauptventils 534 wird eingeregelt, während die Anzeigen auf dem Vakuumanzeigegerät 536 beobachtet werden, so daß der Druck in der Reaktionskammer den gewünschten Wert erreichen kann.

Nach Feststellung, daß die Temperatur des Trägers 537 mittels der Heizeinrichtung 538 auf 50 bis 400°C festgelegt ist, wird die Stromquelle 540 unter eine geeignete Spannung gesetzt, um die Glimmentladung in der Reaktionskammer 501 einzuleiten. Diese Glimmentladung wird während der gewünschten Zeitdauer aufrechterhalten, um eine Zwischenschicht in der gewünschten Dicke auf dem Träger auszubilden.

Die Herstellung der Gleichrichterschicht auf der Zwischenschicht kann z. B. entsprechend der nachfolgend beschriebenen Verfahrensweise durchgeführt werden.

Nachdem die Ausbildung der Zwischenschicht abgeschlossen ist, wird die Stromquelle 540 zur Unterbrechung der Entladung abgeschaltet. Die Ventile in dem ganzen Rohrleitungs­ system zur Einleitung von Gasen in die Vorrichtung werden einmal geschlossen, um die in der Reaktionskammer verbliebenen Gase abzuziehen, wodurch die Kammer auf das festgelegte Vakuum evakuiert wird. Dann werden die Ventile 522 und 523 für das SiH₄/He-Gas aus der Gasbombe 502 bzw. das B₂H₆/He-Gas aus der Gasbombe 503 geöffnet, um den Druck an den Auslaßmanometern 527 bzw. 528 auf 9,8 N/cm² einzustellen. Danach folgt das allmähliche Öffnen der Einlaßventile 512 bzw. 513, um die Gase in die Massenströmungsregler 507 bzw. 508 strömen zu lassen. Nachfolgend werden durch allmähliches Öffnen der Auslaßventile 517, 518 und des Hilfsventils 522 die jeweiligen Gase in die Reaktionskammer 501 strömen gelassen.

Die Auslaßventile 517 und 518 werden dabei so eingeregelt, daß das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄/He- Gas zu dem B₂H₆/He-Gas den gewünschten Wert erreichen kann. Das Öffnen des Hauptventils 532 wird auch eingeregelt, während die Anzeigen des Vakuumanzeigegerätes 536 beobachtet werden, so daß der Druck in der Reaktionskammer den erwünschten Wert erhalten kann. Nach Feststellung, daß die Temperatur des Trägers 537 durch die Heizeinrichtung 538 in den Bereich von 50 bis 400°C gebracht worden ist, wird die Spannung der Stromquelle 540 auf den gewünschten Wert gebracht, um die Glimmentladung in der Reaktionskammer 501 einzuleiten, die während einer festgelegten Zeitdauer aufrechterhalten bleibt, um eine Gleichrichterschicht in der gewünschten Schichtdicke auf der Zwischenschicht auszubilden.

Die Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht kann durch die Verwendung von zum Beispiel SiH₄/He-Gas erfolgen, das in die Bombe 502 eingefüllt ist, wobei entsprechend dem gleichen Verfahren vorgegangen wird, das im Zusammenhang mit der vorgenannten Zwischenschicht oder der Gleichrichterschicht beschrieben wird. Als gasförmiges Ausgangsmaterial, das zur Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht herangezogen wird und das nicht SiH₄/He-Gas ist, kann mit besonderer Wirksamkeit Si₂H₆/He-Gas zur Verbesserung der Schichtausbildungsgeschwindigkeit verwendet werden.

Die Ausbildung einer kohlenstoffhaltigen Schicht auf der photoleitfähigen Schicht kann unter Verwendung von z. B. SiH₄/He-Gas, das in die Bombe 502 eingefüllt ist, und von C₂H₄-Gas, das in die Bombe 506 eingefüllt ist, erfolgen, wobei entsprechend der gleichen Verfahrensweise vorgegangen wird, die bereits im Zusammenhang mit der Ausbildung der Zwischenschicht oder der Gleichrichter­ schicht erläutert wurde.

In dem Falle, daß Halogenatome in die Zwischenschicht, die Gleichrichterschicht oder die photoleitfähige Schicht einzubauen sind, wird den zur Ausbildung der jeweiligen Schichten herangezogenen Gasen des weiteren zum Beispiel SiF₄/He-Gas beigegeben und in die Reaktionskammer 501 überführt.

Nachfolgend wird ein Verfahren zur Herstellung eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials unter Verwendung einer Vakuumabscheidungsvorrichtung, die in Fig. 6 gezeigt wird, beschrieben. Die in Fig. 6 gezeigte Herstellungsvorrichtung ist ein Beispiel, bei der das Glimmentladungsabscheidungsverfahren und das Zerstäubungsverfahren in geeigneter Weise in Abhängigkeit von den zu bildenden Schichten gewählt wird.

In den Gasbomben 602 bis 606 sind hermetisch abgeschlossen gasförmige Ausgangsmaterialien zur Ausbildung der jeweiligen Schichten enthalten. Zum Beispiel wird SiH₄/He-Gas in die Bombe 602, B₂H₆/He-Gas in die Bombe 603, Sif₄/He-Gas in die Bombe 604, NH₃-Gas in die Bombe 605 und Ar-Gas in die Bombe 606 eingefüllt. Die jeweilige Art der in diese Bomben eingefüllten Gase kann in Abhängigkeit von der Art der auszubildenden Schichten verändert werden.

Nachfolgend werden diese Gase in die Reaktionskammer 601 strömen gelassen, wobei die Ventile 622-626 der Gasbomben 602-606 und das Leckventil 635 geschlossen sind. Die Einlaßventile 612-616, die Auslaßventile 617-621 und das Hilfsventil 632 sind geöffnet. Zunächst wird das Hauptventil 634 geöffnet, um die Reaktionskammer 601 und die Gasrohre zu evekuieren. Danach werden, wenn die Ablesung des Vakuumanzeigegerätes 636 etwa 0,67 mPa beträgt, das Hilfsventil 632 und die Auslaßventile 617 bis 621 geschlossen. Dann werden die Ventile der Gasrohre, die mit den Bomben der Gase zur Einleitung in die Reaktionskammer verbunden sind, programmgemäß geöffnet, um das gewünschte Gas in die Reaktionskammer 601 einzuleiten.

Nachfolgend wird ein Beispiel zur Herstellung eines elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterials mit dem gezeigten Aufbau kurz erläutert.

SiH₄/He-Gas aus der Gasbombe 602 und NH₃-Gas aus der Gasbombe 605 werden in die Massenströmungsregler 607 bzw. 610 eingeleitet, indem die Ventile 622 und 625 geöffnet werden, um den Druck an den Auslaßmanometern 627 bzw. 630 auf 9,8 N/cm² einzustellen. Das Öffnen der Einlaßventile 612 bzw. 615 erfolgt allmählich. Nachfolgend werden die Auslaßventile 617 und 620 und das Hilfsventil 632 allmählich geöffnet, um die jeweiligen Gase in die Reaktionskammer 601 einströmen zu lassen. Während dieser Maßnahme wird das Öffnen der Auslaßventile 617 und 620 so eingeregelt, daß das relative Strömungsge­ schwindigkeitsverhältnis SiH₄/He zu NH₃ den gewünschten Wert einnimmt. Das Öffnen des Hauptventils 634 wird ebenfalls eingeregelt, während die Anzeigen auf dem Vakuum­ anzeigegerät 636 beobachtet werden, so daß der Druck in der Reaktionskammer 601 den gewünschten Wert erreichen kann.

Nachdem feststeht, daß die Temperatur des Trägers 637 durch die Heizeinrichtung 638 auf 50 bis 400°C eingestellt worden ist, wird die Stromquelle 640 unter die gewünschte Spannung gesetzt, um die Glimmentladung in der Reaktionskammer 601 ablaufen zu lassen. Diese Glimmentladung wird während einer gewünschten Zeitdauer aufrechterhalten, um eine Zwischenschicht in der gewünschten Dicke auf dem Träger auszubilden.

Bei der Herstellung einer Gleichrichterschicht auf der Zwischenschicht kann zum Beispiel in der nachstehend wiedergegebenen Verfahrensweise vorgegangen werden.

Nachdem die Ausbildung der Zwischenschicht abgeschlossen worden ist, wird die Stromquelle 640 zur Unterbrechung der Entladung abgestellt. Die Ventile in dem gesamten Rohrsystem zur Einleitung der Gase in die Vorrichtung werden einmal geschlossen, um die in der Reaktionskammer 601 verbliebenen Gase abzuziehen, wodurch die Reaktionskammer 601 bis auf das gewünschte Vakuum evakuiert wird.

Dann werden die Ventile 622 und 623 für das SiH₄/He-Gas (aus der Gasbombe 602) bzw. das B₂H₆/He-Gas (aus der Gasbombe 603) geöffnet, um den Druck an den Auslaßmanometern 627 bzw. 628 auf 9,8 n/cm² einzustellen. Es folgt ein allmähliches Öffnen der Einlaßventile 612 bzw. 613, um die Gase in die Massenströmungsregler 607 bzw. 608 strömen zu lassen. Nachfolgend erfolgt ein allmähliches Öffnen der Auslaßventile 617 und 618 und des Hilfsventils 632. Die jeweiligen Gase werden in die Reaktionskammer 601 strömen gelassen. Die Auslaßventile 617 und 618 werden dabei derartig eingeregelt, daß das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit von SiH₄/He-Gas zu B₂H₆/He-Gas den gewünschten Wert einnehmen kann. Das Öffnen des Hauptventils 634 wird ebenfalls eingeregelt, während die Anzeigen des Vakuumanzeigegerätes 636 beobachtet werden, so daß der Druck in der Reaktionskammer den gewünschten Wert erreichen kann. Nach Feststellung, daß die Temperatur des Trägers 637 mittels der Heizeinrichtung 638 in den Bereich von 50 bis 400°C gelangt ist, wird die Spannung der Stromquelle 640 auf den gewünschten Wert gebracht, um die Glimmentladung in der Reaktionskammer 601 einzuleiten, wobei die Glimmentladung während einer festgelegten Zeitdauer darin aufrechterhalten wird, um auf der Zwischenschicht eine Gleichrichterschicht der gewünschten Dicke auszubilden.

Die Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht kann z. B. unter Verwendung von SiH₄/He-Gas, das in die Bombe 602 eingefüllt ist, durchgeführt werden, wobei entsprechend der gleichen Verfahrensweise vorgegangen werden kann, wie im Falle der vorgenannten Zwischenschicht oder der Gleichrichterschicht beschrieben ist.

Als gasförmiges Ausgangsmaterial, das zur Ausbildung einer photoleitfähigen Schicht herangezogen wird und das sich vom SiH₄/He-Gas unterscheidet, kann insbesondere und wirksam Si₂H₆-/He-Gas zur Verbesserung der Schichtausbildungsgeschwindigkeit verwendet werden.

Die Ausbildung einer kohlenstoffhaltigen Schicht auf der photoleitfähigen Schicht kann zum Beispiel entsprechend der gleichen Verfahrensweise erfolgen. Zunächst wird der Verschluß geöffnet. Alle Ventile für die Gaszuführung werden auf einmal geschlossen. Die Reaktionskammer 601 wird durch Öffnen des Hauptventils 634 evakuiert.

Auf die Elektrode 641, an die eine Hochspannung angelegt ist, wurden vorher Targets aufgebracht, wobei ein hochreines Silicium-Mikroplättchen 642-1 und ein hochreines Graphit-Mikroplättchen 642-2 in dem gewünschten Flächenverhältnis angeordnet sind. Aus der Gasbombe 606 wird Ar-Gas in die Reaktionskammer 601 eingeleitet. Das Hauptventil 634 wird derartig eingeregelt, daß der Innendruck in der Reaktionskammer 6,67 bis 133 Pa wird. Die Hochspannungsquelle wird angeschaltet und die Targets werden zur gleichen Zeit zerstäubt, wodurch eine kohlenstoffhaltige Schicht auf der photoleitfähigen Schicht gebildet werden kann.

In dem Falle, daß Halogenatome in die Zwischenschicht, die Gleichrichterschicht oder die photoleitfähige Schicht eingebaut werden sollen, wird den Gasen, die zur Ausbildung der vorstehend genannten Schichten verwendet werden, zum Beispiel SiF₄/He beigegeben. Sie werden dann in die Reaktionskammer 601 eingeleitet.

Beispiel 1

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden nacheinander die verschiedenen Schichten auf einem Aluminiumträger unter den in Tabelle 1 gezeigten Bedingungen ausgebildet, wobei bei der Ausbildung der Zwischenschicht ein Mikroplättchen aus hochreinem Silicium verwendet wurde.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit +5 kV unterzogen und bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit einer Dosis von 1,0 lx · s verwendet. Das erhaltene Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler, der Toner und der Tonerträger enthielt, entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das Vorliegen irgendeines Bilddefektes (z. B. eine helle Fläche in einem schwarzen Bildbereich) wurde geprüft. Es wurde insgesamt kein derartiger Defekt beobachtet. Die Bildqualität wurde mit sehr gut beurteilt. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial verbliebene Rest des Toners, der nicht übertragen worden war, wurde mittels einer Gummirakel entfernt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Ein derartiger Kopiervorgang wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß ein Bilddefekt oder ein Ablösen der Schichten auftrat.

Beispiel 2

Ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial wurde wie in Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch der Gehalt der Stickstoffatome im Verhältnis zu den Siliciumatomen in der Zwischenschicht durch Änderung des Flächenverhältnisses des Si-Mikroplättchens zu dem Si₃N₄-Mikroplättchen des zum Zerstäuben (im Vakuum) dienenden Targets verändert wurde. Die Beurteilung erfolgte wie im Beispiel 1. Es wurden die in Tabelle 2 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 2

Beispiel 3

Ein elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial wurde wie im Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Zwischenschicht variiert wurde. Die Beurteilung erfolgt wie in Beispiel 1. Es wurden die in Tabelle 3 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 3

Beispiel 4

Elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien wurden wie in Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Gleichrichterschicht und der Borgehalt wie folgt geändert wurden. Alle Ergebnisse waren mit gut zu bezeichnen.

Tabelle 4

Beispiel 5

Mittels der in der Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 5 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungs­ material wurde wie in Beispiel 1 beurteilt. Es wurden sehr gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 6

In der gleichen Weise wie im Beispiel 1 wurden mittels der in Fig. 6 gezeigten Vorrichtung die Maßnahmen zur Schicht­ ausbildung durchgeführt, wobei allerdings die in Tabelle 6 gezeigten Bedingungen eingehalten wurden.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie in Beispiel 1 beurteilt. Es wurden sehr gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 7

Mittels der in Fig. 6 dargestellten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 7 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung ⊕ 5 kV unterzogen, wonach unmittelbar eine bildmäßige Belichtung erfolgte. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar danach wurde ein elektrisch geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) zwecks Kaskaden­ entwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht. Hierdurch wurde darauf ein gutes Tonerbild erhalten.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal mittels eines Gummirakel gereinigt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Schritte der Bilderzeugung und Reinigung wiederholt. Es wurde selbst bei 150 000 maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 8

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem Aluminiumträger unter den in Tabelle 8 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklervorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit + kV unterzogen. Unmittelbar darauf folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar danach wurde ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) zwecks Kaskadenentwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht. Hierdurch wurde darauf ein gutes Tonerbild erhalten.

Das auf diese Weise erhaltene Tonerbild wurde mittels einer Gummirakel gereinigt. Erneut wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Bilderzeugung und Reinigung wiederholt. Es wurde selbst bei 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 9

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 9 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang mit ⊕ 5 kV einer Koronaentladung unterzogen. Unmittelbar hierauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar danach wurde ein elektrisch geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) zwecks Kaskaden­ entwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht. Hierdurch wurde darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten.

Das auf diese Weise erhaltene Tonerbild wurde erneut mittels einer Gummirakel gereinigt. Danach wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und Reinigung wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 10

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 7 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Masseverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Flächenverhältnis des Silicium- Mikroplättchens zu dem Graphit während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Bei derartigen erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurde die Bildbeurteilung durchgeführt, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens 50 000mal wiederholt wurden, wobei die in Tabelle 10 gezeigten Ergebnisse erhalten wurden.

Tabelle 10

Beispiel 11

Aufzeichnungsmaterialien wurden wie im Beispiel 7 hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Eine Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens wurde, wie in Beispiel 7 beschrieben, vorgenommen. Dabei wurden die in Tabelle 11 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000maliger Wiederholung
0,05	Stabil nach 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil nach 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 12

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 7 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) in der aus Tabelle 12 ersichtlichen Weise geändert wurden. Die Beurteilung wurde wie im Beispiel 7 vorgenommen, wobei gute Ergebnisse erhalten wurden.

Beispiel 13

Nach derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 7 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) in der aus Tabelle 13 ersichtlichen Weise geändert wurden. Die Beurteilung erfolgte wie in Beispiel 7, wobei gute Ergebnisse erzielt wurden.

Beispiel 14

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung werden unter den in Tabelle 14 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Danach erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s. Das Ladungsbild wurde mittels eines negativ geladenen Entwicklers (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen, wobei darauf ein sehr gut übertragenes Bild erhalten wurde.

Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial verbliebene Toner wurde mittels einer Gummirakel entfernt, bevor es dem folgenden Kopierzyklus unterzogen wurde. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 15

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 15 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte 1,0 lx · s. Das Ladungsbild wurde mittels eines negativ geladenen Entwicklers (der Toner und Tonträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen, wodurch darauf ein sehr gut übertragenes Bild erhalten wurde.

Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial verbliebene Toner wurde mittels einer Gummirakel entfernt, bevor der nächste Kopierzyklus vorgenommen wurde. Es wurde keine Bildverschlechterung selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung solcher Maßnahmen festgestellt.

Beispiel 16

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 16 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 lang mit ⊕ 5 kV einer Koronaentladung unterzogen. Danach folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s. Das Ladungsbild wurde mittels eines negativ geladenen Toners (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war gut und hatte eine sehr hohe Dichte.

Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial verbliebene Toner wurde mittels einer Gummirakel entfernt, bevor der nächste Kopierzyklus erfolgte. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung der Maßnahmen keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 17

Es wurden Aufzeichnungsmaterialien nach derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 14 hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehaltes der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht durch Änderung des Verhältnisses der Strömungsgeschwindigkeit des SiH₄-Gases zu dem C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Bei dem erhaltenen elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial wurde die Bildbeurteilung nach 50 000maliger Wiederholung der Bilderzeugung bis zu der Übertragung, wie im Beispiel 14 beschrieben, wiederholt, wobei die in Tabelle 17 gezeigten Ergebnisse erhalten wurden.

Tabelle 17

Beispiel 18

Die Schichtausbildung wurde entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 14 durchgeführt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die Beurteilungsergebnisse werden in Tabelle 18 gezeigt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Kein Bilddefekt während 50 000 Wiederholungen
2	Stabil während 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 19

Die Schichtausbildung wurde entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 14 durchgeführt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) in der in Tabelle 19 gezeigten Weise geändert werden. Die Beurteilung lieferte gute Ergebnisse.

Beispiel 20

Die Schichtausbildung wurde in gleicher Weise wie im Beispiel 14 durchgeführt, wobei jedoch die Verfahren zur Schichtausbildung (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) in der in Tabelle 20 gezeigten Weise geändert wurden. Dann wurde eine Bewertung durchgeführt, die gute Ergebnisse lieferte.

Beispiel 21

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 21 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf wurde eine bildmäßige Belichtung durchgeführt. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) zwecks Kaskadenentwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials aufgebracht. Hierdurch wurde darauf ein gutes Tonerbild erhalten.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zwecks Reinigens) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Erzeugung des Bildes und zur Reinigung wiederholt. Es wurde bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 99999 00070 552 001000280000000200012000285919988800040 0002003304198 00004 99880 22

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 22 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zur Reinigung) mittels einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Erzeugung des Bildes und zum Reinigen wiederholt. Es wurde selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 23

Mittels der in der Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 23 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit +5 kV unterzogen. Danach folgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zwecks Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zwecks Reinigens) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurde das vorstehend erwähnte Verfahren zur Erzeugung des Bildes und zur Reinigung wiederholt. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 24

Aufzeichnungsmaterialien wurden nach der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 21 hergestellt, wobei jedoch das Gewichtsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht durch Veränderung des Verhältnisses der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : SiF₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Bei dem erhaltenen Aufzeichnungsmaterial wurden Bewertungen des Bildes durchgeführt, nachdem die Schritte der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens 50 000mal entsprechend der im Beispiel 21 beschriebenen Weise wiederholt worden waren. Auf diese Weise wurden die aus Tabelle 24 ersichtlichen Ergebnisse erzielt.

Tabelle 24

Beispiel 25

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 21 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Unter Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie in Beispiel 21 beschrieben, wurden die in Tabelle 25 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten von Bilddefekten
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil während 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil während 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 26

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 21 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 26 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 21. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 27

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 21 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 27 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 21, wobei gute Ergebnisse erzielt wurden.

Beispiel 28

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 23 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die kohlenstoffhaltige Schicht unter Zerstäubungsbedingungen, die in Tabelle 28 gezeigt werden, ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 23, wobei gute Ergebnisse erzielt wurden.

Tabelle 28

Beispiel 29

Ein Aufzeichnungsmaterial wurde in der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 23 hergestellt, wobei jedoch die kohlenstoffhaltige Schicht unter den in Tabelle 28A gezeigten Bedingungen durch Zerstäubung ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 23, wobei gute Ergebnisse erhalten wurden.

Tabelle 28A

Beispiel 30

Mittels der Herstellungsvorrichtung der Fig. 5 wurden auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den in Tabelle 29 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mittels eines negativ geladenen Entwicklers (der Toner und Tonträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene nicht übertragene Toner wurde (zwecks Reinigens) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus in Angriff genommen wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, wobei kein Ablösen der Schichten auftrat und die Bilder gut waren.

Beispiel 31

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 30 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch der Gehalt der Stickstoffatome relativ zu den Siliciumatomen in der Zwischenschicht verändert wurde. Die entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 30 durchgeführten Beurteilungen lieferten Ergebnisse, die in Tabelle 30 wiedergegeben werden.

Tabelle 30

Beispiel 32

Entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 30 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Zwischenschicht verändert wurde und die Beurteilung wie in Beispiel 30 erfolgte. Es wurden die in Tabelle 31 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 31

Beispiel 33

Entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 1 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Gleichrichterschicht und der Borgehalt wie in Tabelle 32 gezeigt verändert wurden. Alle Ergebnisse waren gut.

Tabelle 32

Beispiel 34

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den in Tabelle 33 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial zeigte gute Qualität ohne Ablösen der Schicht und keinen einzigen Bilddefekt.

Beispiel 35

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Vorrichtung wurden Schichten auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den in Tabelle 34 gezeigten Bedingungen ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in gleicher Weise wie im Beispiel 30 beurteilt. Es wurden sehr gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 36

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 35 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Darauf folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar danach wurde zwecks Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wurden wiederholt. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 37

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 36 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zwecks Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde. Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Beispiel) mit einer Gummirakel behandelt. Danach wurden erneut die vorstehend erwähnten Schritte der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 38

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 37 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Danach folgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte darauf erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Sogar nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 39

Entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 36 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurden, indem das Flächenverhältnis des Silicium-Mikroplättchens zum Graphit während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Mit den erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden Bildbewertungen durchgeführt, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens 50 000mal wiederholt worden waren, wobei die in Tabelle 38 gezeigten Ergebnisse erhalten wurden.

Tabelle 38

Beispiel 40

Entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 36 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Durch Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und Reinigens, wie im Beispiel 36 beschrieben, wurden die in Tabelle 39 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil nach 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil nach 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 41

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 36 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 40 gezeigt ist. Die Beurteilung wurde wie im Beispiel 36 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 42

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 36 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 41 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 36. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 43

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 42 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem zylindrischen Aluminiumträger ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 0,1 lx · s eingesetzt. Das Ladungsbild wurde mittels eines negativ geladenen Entwicklers (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus in Angriff genommen wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, wodurch keinerlei Bildverschlechterung beobachtet wurde.

Beispiel 44

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den in Tabelle 43 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s eingesetzt. Das Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus in Angriff genommen wurde. Es wurde selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 45

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den in Tabelle 44 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Ein derartiger Schritt wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, wobei keine Bildverschlechterung festgestellt wurde.

Beispiel 46

Entsprechend der im Beispiel 43 beschriebenen Verfahrensweise wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Bei den erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien erfolgte die Bildbewertung nach 50 000maliger Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens entsprechend den in Beispiel 43 beschriebenen Verfahren, wobei die in Tabelle 45 gezeigten Ergebnisse erhalten wurden.

Tabelle 45

Beispiel 47

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 43 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die durch die Bewertung ermittelten Ergebnisse werden in Tabelle 46 gezeigt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Kein Bilddefekt während 50 000 Wiederholungen
2	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 48

Entsprechend der in Beispiel 43 beschriebenen Verfahrensweise wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 47 gezeigt ist. Die Bewertung wurde wie im Beispiel 43 durchgeführt, wobei gute Ergebnisse erzielt wurden.

Beispiel 49

Entsprechend der in Beispiel 43 beschriebenen Verfahrensweise wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 48 gezeigt ist. Die Beurteilung erfolgte wie im Beispiel 43. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 50

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 49 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Darauf erfolgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zwecks Kaskadenentwickelns ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wobei ein gutes Tonerbild darauf erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die Maßnahmen der Erzeugung des Bildes und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 51

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem Aluminiumträger unter den in Tabelle 50 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit +5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials zur Kaskadenentwicklung aufgebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 52

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 51 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte darauf erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Erneut wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Erzeugung des Bildes und zum Reinigen wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 53

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 50 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehaltes an Siliciumatomen zu Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄ : SiF₄ : C₂H₄ während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Bei den erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien erfolgte die Bildbeurteilung nach 50 000maliger Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie es in Beispiel 50 beschrieben ist, wobei die in Tabelle 52 gezeigten Ergebnisse erzielt wurden.

Tabelle 52

Beispiel 54

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 50 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Durch Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie sie in Beispiel 50 beschrieben sind, wurden die in Tabelle 53 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 55

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 50 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 54 gezeigt ist. Die Beurteilung erfolgte wie im Beispiel 50, wobei gute Ergebnisse erzielt wurden.

Beispiel 56

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 50 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 55 gezeigt ist. Die Bewertung wurde wie in Beispiel 50 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 57

Entsprechend dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 52 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die kohlenstoffhaltige Schicht in Abweichung nach dem Zerstäubungsverfahren unter den in Tabelle 56 gezeigten Bedingungen ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 52. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Tabelle 56

Beispiel 58

Mit der in Fig. 6 dargestellten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem Aluminiumträger unter den in Tabelle 57 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Die Gegenwart irgendeines Bilddefekts (z. B. eines hellen Bereichs in einem schwarzen Bildbereich) wurde überprüft. Es wurde jedoch kein derartiger Defekt festgestellt. Die Bildqualität wurde mit sehr gut ermittelt. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000mal oder öfter wiederholt. Weder ein Bilddefekt noch ein Ablösen der Schichten trat auf.

Beispiel 59

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 58 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch der Gehalt der Stickstoffatome relativ zu den Siliciumatomen in der Zwischenschicht durch Veränderung des Flächenverhältnisses von Si-Mikroplättchen zu Si₃N₄-Mikroplättchen der Targets für die Zerstäubung verändert wurde. Die Beurteilung erfolgte wie im Beispiel 58, wobei die in Tabelle 58 gezeigten Ergebnisse erzielt wurden.

Tabelle 58

Beispiel 60

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 58 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Zwischenschicht verändert wurde. Die Bewertung wurde wie in Beispiel 58 vorgenommen, wobei die in Tabelle 59 gezeigten Ergebnisse aufgefunden wurden.

Tabelle 59

Beispiel 61

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 58 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Gleitrichterschicht und der Borgehalt, wie in Tabelle 60 gezeigt, verändert wurden. Alle Ergebnisse waren gut.

Tabelle 60

Beispiel 62

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem Aluminiumträger unter den in Tabelle 61 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie im Beispiel 58 beurteilt, wobei sehr gute Ergebnisse erhalten wurden.

Beispiel 63

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Vorrichtung wurden in gleicher Weise wie im Beispiel 58 Schichtausbildungsmaßnahmen durchgeführt, wobei jedoch die in Tabelle 62 gezeigten Bedingungen eingehalten wurden.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie im Beispiel 59 beurteilt. Es wurden sehr gute Ergebnisse ermittelt.

Beispiel 64

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem Aluminiumträger unter den in Tabelle 63 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s durchgeführt, wobei eine lichtdurchlässige Testkarte herangezogen wurde.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials aufgebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 65

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 64 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit +5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 66

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 65 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit +5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials aufgebracht, wodurch ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte darauf erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Bilderzeugung und zum Reinigen wiederholt. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiele 67

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 64 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde, indem das Flächenverhältnis der Silicium-Mikroplättchen zu dem Graphit während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Mit den erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden Bildbeurteilungen durchgeführt, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie im Beispiel 64 beschrieben, wiederholt wurden. Es wurden die in Tabelle 66 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 66

Beispiel 68

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 64 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Durch Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie im Beispiel 64 beschrieben, wurden die in Tabelle 67 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 69

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 64 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 68 gezeigt ist. Die Beurteilung wurde wie im Beispiel 64 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 70

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 64 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 69 gezeigt ist. Die Beurteilung wurde wie in Beispiel 64 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 71

Mittels der Herstellungsvorrichtung, die in Fig. 6 gezeigt wird, wurden unter den in Tabelle 70 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingebaut und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 0,1 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, wobei keine Bildverschlechterung feststellbar war.

Beispiel 72

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung werden unter den in Tabelle 71 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Derartige Schritte wurden 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung feststellbar war.

Beispiel 73

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 2 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem negativ geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus vollzogen wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung festgestellt wurde.

Beispiel 74

Nach derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 71 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehalts der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Eine Bildbeurteilung bei dem auf diese Weise erhaltenen Aufzeichnungsmaterial wurde durchgeführt, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens entsprechend den Verfahren des Beispiels 71 50 000mal wiederholt worden waren, wobei die in Tabelle 73 gezeigten Ergebnisse erzielt wurden.

Tabelle 73

Beispiel 75

Entsprechend der im Beispiel 71 beschriebenen Verfahrensweise wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die bei der Beurteilung ermittelten Ergebnisse werden in Tabelle 74 gezeigt.

Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Kein Bilddefekt während 50 000 Wiederholungen
2	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 76

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 71 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 75 gezeigt ist. Die durchgeführte Bewertung lieferte gute Ergebnisse.

Beispiel 77

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 71 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 76 gezeigt ist. Bei der durchgeführten Bewertung wurden gute Ergebnisse festgestellt.

Beispiel 78

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 77 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Darauf folgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zwecks Kaskadenentwickelns ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Bilderzeugung und zum Reinigen wiederholt. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 79

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 78 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) gesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Es erfolgte darauf unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 80

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurde unter den in Tabelle 79 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingefügt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊕ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein negativ geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 81

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 78 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehalts der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : SiF₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden bezüglich der Bildqualität bewertet, was nach 50 000maliger Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 78 beschrieben sind, geschah. Auf diese Weise wurden die in Tabelle 80 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 80

Beispiel 82

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 78 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Durch Wiederholung der im Beispiel 78 beschriebenen Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens wurden die in Tabelle 81 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 83

Entsprechend der im Beispiel 78 beschriebenen Verfahrensweise wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es aus Tabelle 81A ersichtlich ist. Die Beurteilung erfolgte in wie im Beispiel 78. Es wurden gute Ergebnisse ermittelt.

Beispiel 84

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie in Beispiel 78 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es aus Tabelle 82 ersichtlich ist. Die Bewertung wurde wie in Beispiel 78 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse ermittelt.

Beispiel 85

Nach derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 80 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die kohlenstoffhaltige Schicht unter den in Tabelle 83 gezeigten Bedingungen nach dem Zerstäubungsverfahren ausgebildet wurde. Die Beurteilung erfolgte wie in Beispiel 80. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 86

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 84 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Die Gegenwart irgendeines Bilddefektes (z. B. einer hellen Fläche auf einem schwarzen Bildteil) wurde geprüft. Es wurde jedoch kein derartiger Defekt insgesamt beobachtet. Die Bildqualität wurde mit sehr gut eingestuft. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß ein Bilddefekt oder ein Ablösen der Schichten auftrat.

Beispiel 87

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie in Beispiel 86 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch der Gehalt der Stickstoffatome relativ zu den Siliciumatomen in der Zwischenschicht unter Variieren des Flächenverhältnisses von Si-Mikroplättchen zu Si₃N₄-Mikroplättchen auf den Targets für die Zerstäubung geändert wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 86. Es wurden die in Tabelle 85 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 85

Beispiel 88

Entsprechend der im Beispiel 86 beschriebenen Verfahrensweise wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Zwischenschicht geändert wurde. Die Bewertung wurde wie im Beispiel 86 durchgeführt. Die in Tabelle 86 gezeigten Ergebnisse wurden erhalten.

Tabelle 86

Beispiel 89

Entsprechend derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 86 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Gleichrichterschicht und der Gehalt an Phosphoratomen wie in Tabelle 87 gezeigt geändert wurden. Sämtliche Ergebnisse waren gut.

Tabelle 87

Beispiel 90

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 88 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie in Beispiel 86 beurteilt, wobei sehr gute Ergebnisse erzielt wurden.

Beispiel 91

Die Maßnahmen zur Ausbildung der Schichten wurden wie im Beispiel 86 mittels der in Fig. 6 gezeigten Vorrichtung durchgeführt, wobei allerdings die in Tabelle 89 gezeigten Bedingungen eingehalten wurden.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie im Beispiel 86 beurteilt, wobei sehr gute Ergebnisse erhalten wurden.

Beispiel 92

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahrensmaßnahmen wie in den Beispielen 86, 90 und 91 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 90 gezeigten Bedingungen ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte wie in den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 93

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 91 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingefügt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) zur Kaskadenentwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials aufgebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurde die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 94

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 92 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 93.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe herangezogen. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s durchgeführt, wobei eine lichtdurchlässige Testkarte verwendet wurde.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst bei 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 95

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 93 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie in Beispiel 93.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen.

Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar danach wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet, und darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung war keine Bildverschlechterung feststellbar.

Beispiel 96

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 93 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehaltes der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde, indem das Flächenverhältnis des Silicium- Mikroplättchens zum Graphit während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden der Bildbeurteilung unterzogen, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 93 beschrieben sind, 50 000mal wiederholt wurden. Es wurden die in Tabelle 94 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 94

Beispiel 97

Es wurden Aufzeichnungsmaterialien entsprechend der im Beispiel 93 beschriebenen Verfahrensweise hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Durch Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 93 beschrieben werden, wurden die folgenden Ergebnisse erhalten.

Dicke der Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 98

Nach der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 93 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie in Tabelle 96 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 93. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 99

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 93 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie in Tabelle 97 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 93. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 100

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahrensweisen wie in den Beispielen 93, 94, 95, 98 und 99 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 98 gezeigten Bedingungen ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte entsprechend den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse ermittelt.

Beispiel 101

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 99 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, wobei keine Bildverschlechterung feststellbar war.

Beispiel 102

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 100 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 101.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mittels eines positiv geladenen Entwicklers (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung feststellbar war.

Beispiel 103

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 101 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 101.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung.

Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 0,1 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus begonnen wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung beobachtet wurde.

Beispiel 104

Nach demselben Verfahren wie in Beispiel 101 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden einer Bildbewertung unterzogen, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie im Beispiel 101 beschrieben, 50 000mal wiederholt wurden. Es wurden die in Tabelle 102 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 102

Beispiel 105

Entsprechend der im Beispiel 101 beschriebenen Verfahrensweise wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht in der in Tabelle 103 gezeigten Weise geändert wurde. Die Ergebnisse der Bewertung werden ebenfalls in Tabelle 103 gezeigt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Kein Bilddefekt während 50 000 Wiederholungen
2	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 106

Entsprechend der im Beispiel 101 beschriebenen Verfahrensweise wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 104 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 101. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 107

Entsprechend der im Beispiel 101 beschriebenen Verfahrensweise wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 105 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 101. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 108

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahrensweisen, die in den Beispielen 101, 102, 103, 106 und 107 beschrieben sind, wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 106 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte wie in den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 109

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 107 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 110

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 108 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 109.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 100 000maliger oder öfterer Wiederholung war keine Bildverschlechterung feststellbar.

Beispiel 111

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 109 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 109.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 112

Entsprechend der Verfahrensweise des Beispiels 109 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : C₂F₄-Gas/C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht abgewandelt wurde. Mit den erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden nach 50 000maliger Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die in Beispiel 109 beschrieben sind, die in Tabelle 110 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 110

Beispiel 113

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 109 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Durch die Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und Reinigens, die in Beispiel 109 beschrieben sind, wurden die folgenden Ergebnisse erzielt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 114

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 109 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 112 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 109. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 115

Es wurde ein Aufzeichnungsmaterial entsprechend der im Beispiel 109 beschriebenen Verfahrensweise hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 113 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 109. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 116

In gleicher Verfahrensweise wie im Beispiel 101 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schichte unter den in Tabelle 114 gezeigten Bedingungen nach dem Bedampfungsverfahren ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 111. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 117

Nach den gleichen Bedingungen und Maßnahmen, die in den Beispielen 109, 110, 111, 114 und 115 beschrieben werden, wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die kohlenstoffhaltige Schicht unter den in Tabelle 115 gezeigten Bedingungen ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte entsprechend den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 118

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 116 gezeigten Bedingungen auf einem zylindrischen Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Ein derartiger Schritt wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß ein Ablösen der Schichten auftrat. Die Bilder waren gut.

Beispiel 119

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 118 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch der Gehalt der Stickstoffatome relativ zu den Siliciumatomen in der Zwischenschicht verändert wurde. Die Bewertung wurde wie im Beispiel 118 durchgeführt. Dabei wurden die in Tabelle 117 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 117

Beispiel 120

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 118 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Zwischenschicht verändert wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 118 durchgeführt. Es wurden die in Tabelle 118 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 118

Beispiel 121

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 118 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Gleichrichterschicht und der Gehalt an Phosphoratomen in der in Tabelle 119 gezeigten Weise geändert wurden. Alle Ergebnisse waren gut.

Tabelle 119

Beispiel 122

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den in Tabelle 120 gezeigten Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene zylindrische Aufzeichnungsmaterial war von hoher Qualität, ohne daß irgendeine Schicht sich ablöste oder irgendein Bilddefekt auftrat.

Beispiel 123

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Vorrichtung wurden auf einem zylindrischen Aluminiumträger unter den Bedingungen Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie in Beispiel 118 beurteilt. Es wurden sehr gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 124

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahrenswegen wie in den Beispielen 118, 122 und 123 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 122 gezeigten Bedingungen ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte entsprechend den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 125

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 123 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Darauf erfolgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar danach wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwicklung (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Danach wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholungszahl wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 126

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 124 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 125.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte durchgeführt.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwicklung (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zwecks Reinigens) mit einer Gummirakel bearbeitet. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 100 000maliger oder öfterer Wiederholung war keine Bildverschlechterung feststellbar.

Beispiel 127

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 125 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 125.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Danach erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s durchgeführt, wobei eine lichtdurchlässige Testkarte verwendet wurde.

Unmittelbar darauf wurde ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) zur Kaskadenentwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zwecks Reinigens) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 128

Entsprechend der im Beispiel 125 wiedergegebenen Verfahrensweise wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehaltes der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Flächenverhältnis des Silicium-Mikroplättchens zu dem Graphit während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden einer Bildbewertung unterzogen, nachdem die Schritte der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 125 beschrieben sind, 50 000mal wiederholt worden waren. Auf diese Weise wurden die in Tabelle 126 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 126

Beispiel 129

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 125 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei allerdings die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Durch die Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und Reinigens, die im Beispiel 125 beschrieben werden, wurden die in Tabelle 127 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 130

In der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 125 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 128 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 125. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 131

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 125 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 129 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgt wie im Beispiel 125. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 132

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahrenswegen, wie in den Beispielen 125, 126, 127, 130 und 131, wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 130 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte in ähnlicher Weise wie in den entsprechenden Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 133

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung werden unter den folgenden Bedingungen auf einem zylindrischen Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mittels eines positiv geladenen Entwicklers (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung feststellbar war.

Beispiel 134

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den folgenden Bedingungen auf einem zylindrischen Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß dabei eine Bildverschlechterung festgestellt wurde.

Beispiel 135

Mittels der in Fig. 5 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 133 gezeigten Bedingungen auf einem zylindrischen Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut und zeigte eine sehr hohe Dichte. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel bearbeitet, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung beobachtet wurde.

Beispiel 136

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 133 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehaltes der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Verhältnis der Strömungsgeschwindigkeit SiH₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden einer Bildbewertung unterzogen, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie im Beispiel 133 beschrieben, 50 000mal wiederholt wurden. Es wurden die in Tabelle 134 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 134

Beispiel 137

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 133 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht, wie in Tabelle 135 gezeigt, geändert wurde. Die durch die Bewertung erhaltenen Ergebnisse werden ebenfalls in Tabelle 135 gezeigt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Kein Bilddefekt während 50 000 Wiederholungen
2	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 138

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 133 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 136 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 133. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 139

Entsprechend der im Beispiel 133 beschriebenen Verfahrensweise wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 137 gezeigt ist.

Beispiel 140

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahrensmaßnahmen wie in den Beispielen 133, 134, 135, 138 und 139 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 138 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte entsprechend den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 141

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 139 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, und darauf wurden erneut die Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 142

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 140 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 141.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ‴ 5 kV unterzogen. Es folgte unmittelbar darauf eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Ob 32519 00070 552 001000280000000200012000285913240800040 0002003304198 00004 32400erfläche des Aufzeichnungsmaterials gebraucht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 143

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 141 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 141.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ‴ 5 kV unterzogen. Unmittelbar darauf erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht. Auf diese Weise wurde darauf ein gutes Tonerbild erhalten.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 144

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 141 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Verhältnis des Gehaltes an Siliciumatomen zu Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht dadurch geändert wurde, daß das Strömungsgeschwindigkeitsverhältnis SiH₄-Gas : SiF₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Bei den erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien erfolgte eine Bildbewertung dadurch, daß die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und Reinigens, wie im Beispiel 141 beschrieben, 50 000mal wiederholt wurden. Es wurden die in Tabelle 142 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 142

Beispiel 145

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 141 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Durch die Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und Reinigens, wie in Beispiel 141 beschrieben, wurden die in Tabelle 143 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefekts
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 146

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 141 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurde, wie es in Tabelle 144 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 141. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 147

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 141 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 145 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 141. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 148

Entsprechend dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 143 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die kohlenstoffhaltige Schicht unter den in Tabelle 146 gezeigten Bedingungen entsprechend dem Zerstäubungsverfahren hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 143. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 149

Entsprechend den gleichen Bedindungen und Verfahrensmaßnahmen wie in den Beispielen 141, 142, 143, 146 und 147, wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 147 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte entsprechend den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 150

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 148 gezeigten Bedingungen Schichten auf einem Aluminiumträger ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ‴ 5 kV unterzogen. Es wurde eine bildmäßige Belichtung vorgenommen. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Die Gegenwart irgendeines Bilddefekts (z. B. heller Bereich auf einem dunklen Bildbereich) wurde überprüft, es konnte jedoch kein derartiger Defekt irgendwo ermittelt werden. Auch die Bildqualität wurde mit sehr gut ermittelt. Der auf dem Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß ein Bilddefekt oder ein Ablösen der Schichten auftrat.

Beispiel 151

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 150 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch der Gehalt der Stickstoffatome relativ zu den Siliciumatomen in der Zwischenschicht geändert wurde, indem das Flächenverhältnis des Si-Mikroplättchens zum Si₃N₄-Mikroplättchen auf den Targets für die Zerstäubung geändert wurde. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 150. Es wurden die in Tabelle 149 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 149

Beispiel 152

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 150 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Zwischenschicht verändert wurde. Die Bewertung erfolgte in ähnlicher Weise wie im Beispiel 150. Es wurden die in Tabelle 150 gezeigten Ergebnisse ermittelt.

Tabelle 150

Beispiel 153

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 150 wurden elektrophotographische Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der Gleichrichterschicht und der Gehalt an Boratomen in der in Tabelle 151 gezeigten Weise verändert wurden. Alle Ergebnisse waren gut.

Tabelle 151

Beispiel 154

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den folgenden Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde beurteilt wie im Beispiel 150. Es wurden sehr gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 155

Schichtausbildungsmaßnahmen wurden wie im Beispiel 150 mittels der in Fig. 6 gezeigten Vorrichtung durchgeführt, wobei allerdings die folgenden Bedingungen eingehalten wurden.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde wie im Beispiel 150 bewertet, wobei sehr gute Ergebnisse erhalten wurden.

Beispiel 156

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahren wie in den Beispielen 150, 154 und 155 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei allerdings die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 154 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte in wie in den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 157

Mittels der in der Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 155 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das auf diese Weise erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es folgte unmittelbar darauf eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials aufgebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen zur Erzeugung des Bildes und zum Reinigen wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 158

Mittels der in der Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 156 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 157.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es folgte unmittelbar darauf eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Erneut wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 100 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 159

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 157 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 157.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Darauf folgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s durchgeführt, wobei eine lichtdurchlässige Testkarte verwendet wurde.

Unmittelbar darauf wurde ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) zur Kaskadenentwicklung auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst bei 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Tabelle 157

Beispiel 160

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 157 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde, indem das Flächenverhältnis der Silicium-Mikroplättchen zum Graphit während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde. Mit dem erhaltenen Aufzeichnungsmaterial wurden Bildbewertungen durchgeführt, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 157 beschrieben sind, 50 000mal wiederholt worden waren. Es wurden die in Tabelle 158 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 158

Beispiel 161

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 157 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde, wie es in Tabelle 159 gezeigt ist. Durch Wiederholung der Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 157 beschrieben werden, wurden die ebenfalls in Tabelle 159 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten von Bilddefekten
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 162

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 157 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 160 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 157. Es wurden gute Ergebnisse erhalten.

Beispiel 163

Entsprechend der gleichen Verfahrensweise wie im Beispiel 157 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht) geändert wurden, wie es in Tabelle 161 gezeigt ist. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 157. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 164

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahren wie in den Beispielen 157, 158, 159, 162 und 163 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei allerdings die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 162 gezeigten Bedingungen ausgebildet wurde. Die Bewertung erfolgte wie in den jeweiligen Beispielen, wobei gute Ergebnisse erzielt wurden.

Beispiel 165

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 163 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es wurde bildmäßig belichtet. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mit einem positiv geladenen Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der unübertragen auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene Toner wurde (zum Reinigen) einer Behandlung mittels einer Gummirakel unterzogen, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung beobachtet wurde.

Beispiel 166

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 164 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 165.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronatentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mittels eines positiv geladenen Entwicklers (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut. Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde zum Reinigen mit einer Gummirakel bearbeitet, bevor der nächste Kopierzyklus eingeleitet wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 100 000 oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung feststellbar war.

Beispiel 167

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 165 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 165.

Das erhaltene elektrophotographische Aufzeichnungsmaterial wurde in ein Kopiergerät eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ⊖ 5 kV unterzogen. Es erfolgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe mit 1,0 lx · s verwendet. Das Ladungsbild wurde mittels eines positiv geladenen Entwicklers (der Toner und Tonerträger enthielt) entwickelt und auf ein glattes Papier übertragen. Das übertragene Bild war sehr gut und hatte eine sehr hohe Dichte. Der auf dem elektrophotographischen Aufzeichnungsmaterial zurückgebliebene, nicht übertragene Toner wurde (zum Reinigen) einer Behandlung mittels einer Gummirakel unterzogen, bevor zum nächsten Kopierzyklus übergegangen wurde. Eine derartige Maßnahme wurde 150 000mal oder öfter wiederholt, ohne daß eine Bildverschlechterung zu beobachten war.

Beispiel 168

Nach demselben Verfahren wie im Beispiel 165 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde, indem das Strömungsgeschwindigkeitsverhältnis SiH₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden der Bildbewertung unterzogen, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, wie im Beispiel 165 beschrieben, 50 000mal wiederholt wurden. Es wurden die in Tabelle 166 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Tabelle 166

Beispiel 169

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 165 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht, wie in Tabelle 167 gezeigt, geändert wurde. Die Bewertungsergebnisse werden ebenfalls in Tabelle 167 gezeigt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Kein Bilddefekt während 50 000 Wiederholungen
2	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 170

In derselben Weise wie im Beispiel 165 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurden, wie es in Tabelle 168 gezeigt ist. Die Bewertung wurde wie im Beispiel 165 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 171

Entsprechend dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 165 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei jedoch die Verfahren zur Ausbildung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurden, wie es in Tabelle 169 gezeigt ist. Dabei wurde die Bewertung wie in Beispiel 165 durchgeführt. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 172

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahren wie in Beispielen 165, 166, 167, 170 und 171 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 170 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die jeweilige Bewertung erfolgte wie in den vorstehend erwähnten Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 173

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 171 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ‴ 5 kV unterzogen. Danach erfolgte unmittelbar eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, um darauf ein gutes Tonerbild zu erhalten.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung festgestellt.

Beispiel 174

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 172 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie in Beispiel 173.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ‴ 5 kV unterzogen. Es folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung wurde mit 1,0 lx · s durchgeführt, wobei eine lichtdurchlässige Testkarte verwendet wurde.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials gebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Es wurde selbst nach 100 000maliger oder öfterer Wiederholung keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 175

Mittels der in Fig. 6 gezeigten Herstellungsvorrichtung wurden unter den in Tabelle 173 gezeigten Bedingungen auf einem Aluminiumträger Schichten ausgebildet. Die anderen Bedingungen waren die gleichen wie im Beispiel 173.

Das erhaltene Aufzeichnungsmaterial wurde in eine Entwicklungsvorrichtung (mit Ladungsbehandlung) eingesetzt und dort 0,2 s lang einer Koronaentladung mit ‴ 5 kV unterzogen. Es folgte eine bildmäßige Belichtung. Als Lichtquelle wurde eine Wolframlampe verwendet. Die bildmäßige Belichtung erfolgte mit 1,0 lx · s unter Verwendung einer lichtdurchlässigen Testkarte.

Unmittelbar darauf wurde zur Kaskadenentwicklung ein positiv geladener Entwickler (der Toner und Tonerträger enthielt) auf die Oberfläche des Aufzeichnungsmaterials aufgebracht, wodurch darauf ein gutes Tonerbild mit sehr hoher Dichte erhalten wurde.

Das erhaltene Tonerbild wurde einmal (zum Reinigen) mit einer Gummirakel behandelt. Darauf wurden erneut die vorstehend erwähnten Maßnahmen der Bilderzeugung und des Reinigens wiederholt. Selbst nach 150 000maliger oder öfterer Wiederholung wurde keine Bildverschlechterung beobachtet.

Beispiel 176

Nach demselben Verfahren wie in Beispiel 173 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch das Gehaltsverhältnis der Siliciumatome zu den Kohlenstoffatomen in der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurde, indem das Strömungsgeschwindigkeitsverhältnis SiH₄-Gas : SiF₄-Gas : C₂H₄-Gas während der Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die erhaltenen Aufzeichnungsmaterialien wurden einer Bildbewertung unterzogen, nachdem die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die in Beispiel 173 beschrieben sind, 50 000mal wiederholt wurden. Auf diese Weise wurden die in Tabelle 174 gezeigten Ergebnisse erhalten.

Tabelle 174

Beispiel 177

Nach derselben Verfahrensweise wie im Beispiel 173 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei jedoch die Schichtdicke der kohlenstoffhaltigen Schicht verändert wurde. Die Maßnahmen der Bilderzeugung, des Entwickelns und des Reinigens, die im Beispiel 173 beschrieben werden, wurden wiederholt. Dabei wurden die in Tabelle 175 gezeigten Ergebnisse erzielt.

Dicke der kohlenstoffhaltigen Schicht (µm)
Ergebnisse
0,001
Neigung zum Auftreten eines Bilddefektes
0,02	Kein Bilddefekt während 20 000 Wiederholungen
0,05	Stabil bei 50 000 oder mehr Wiederholungen
1	Stabil bei 200 000 oder mehr Wiederholungen

Beispiel 178

Entsprechend dem Verfahren des Beispiels 173 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Herstellung der Schichten (mit Ausnahme des Verfahrens zur Herstellung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurden, um die aus Tabelle 176 ersichtliche Folge von Schichten zu erhalten. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 173. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 179

Entsprechend dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 173 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die Verfahren zur Ausbildung der Schichten mit Ausnahme des Verfahrens zur Ausbildung der kohlenstoffhaltigen Schicht geändert wurden, um die aus Tabelle 177 ersichtliche Folge von Schichten zu erhalten. Die Bewertung erfolgte wie im Beispiel 173, wobei gute Ergebnisse erzielt werden.

Beispiel 180

Entsprechend dem gleichen Verfahren wie im Beispiel 175 wurde ein Aufzeichnungsmaterial hergestellt, wobei allerdings die kohlenstoffhaltige Schicht unter den in Tabelle 178 gezeigten Bedingungen unter Anwendung des Zerstäubungsverfahren hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte wie in Beispiel 175. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Beispiel 181

Entsprechend den gleichen Bedingungen und Verfahren wie in den Beispielen 173, 174, 175, 178 und 179 wurden Aufzeichnungsmaterialien hergestellt, wobei allerdings die photoleitfähige Schicht unter den in Tabelle 179 gezeigten Bedingungen hergestellt wurde. Die Bewertung erfolgte wie in den jeweiligen Beispielen. Es wurden gute Ergebnisse erzielt.

Claims (9)

1. Elektrophotographisches Aufzeichnungsmaterial mit einem Träger und einer photoleitfähigen Schicht aus einem amorphen Material, das in einer Matrix aus Siliciumatomen ggf. Wasserstoffatome und ggf. Atome der Gruppe III des Periodensystems enthält, dadurch gekennzeichnet, daß es zwischen dem Träger (101; 201; 301; 401) und der photoleitfähigen Schicht (104; 205; 304; 405), die Wasserstoff- und/oder Halogenatome enthält, eine Zwischenschicht (102; 202; 302; 402) aus einem amorphen Material, das durch eine der Formeln (1) bis (3) wiedergegeben wird: Si _a N_1-a  (0,57 < a < 1) (1)(Si _b N_1-b ) _c H_1-c  (0,6 < b < 1; 0,65 ≦ c < 1) (2)(Si _d N_1-d) _e (X, H)_1-e  (0,6 < d < 1; 0,8 ≦ e < 1) (X = Halogenatom) (3)und eine Gleichrichterschicht (103; 203; 303; 403) mit einer Dicke t von 0,3 bis 5 µm aus einem amorphen Material, das in einer Matrix aus Siliciumatomen Atome (A) der Gruppe III oder V des Periodensystems mit einem Gehalt C(A) von 1×10² bis 1×10⁵ Atom-ppm enthält, aufweist.

2. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es auf der photoleitfähigen Schicht (304; 405) eine Schicht (305; 406) aus einem amorphen Material, das Siliciumatome und Kohlenstoffatome enthält, aufweist.

3. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das amorphe Material, aus dem die Schicht (305; 406) besteht, ferner Wasserstoffatome enthält.

4. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das amorphe Material, aus dem die Schicht (305; 406) besteht, ferner Halogenatome enthält.

5. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das amorphe Material, aus dem die Schicht (305; 406) besteht, ferner Wasserstoff- und Halogenatome enthält.

6. Aufzeichnungsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die photoleitfähige Schicht (104; 205; 304; 405) eine Substanz zur Steuerung der Leitfähigkeitseigenschaften enthält.

7. Aufzeichnungsmaterial nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Gleichrichterschicht (103; 203; 303; 403) Atome der Gruppe V des Periodensystems enthält und die photoleitfähige Schicht (104; 205; 304; 405) Atome der Gruppe III des Periodensystems enthält.

8. Aufzeichnungsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (102; 202; 302; 402) eine Dicke von 3,0 nm bis 2 µm hat.

9. Aufzeichnungsmaterial nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es zwischen der Gleichrichterschicht (203; 403) und der photoleitfähigen Schicht (205; 405) eine obere Zwischenschicht (204; 404) aus einem amorphen Material, das durch eine der vorstehenden Formeln (1) bis (3) wiedergegeben wird, aufweist.