DE3202202C2

DE3202202C2 -

Info

Publication number: DE3202202C2
Application number: DE3202202A
Authority: DE
Inventors: Yukitoshi Yokohama Kanagawa Jp Ohkubo; Yoshiyuki Yokosuka Kanagawa Jp Osada; Masao Kawasaki Kanagawa Jp Sugata; Takashi Tokio/Tokyo Jp Nakagiri
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1981-01-26
Filing date: 1982-01-25
Publication date: 1991-04-11
Also published as: DE3202202A1; JPS57124367A; US4448867A

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Eine derartige Einrichtung ist aus der DE-OS 24 19 015 bekannt. Bei der bekannten Einrichtung wird eine Matrix aus voneinander isolierten Bildpunkt-Elektroden derart angesteuert, daß bildgemäß bestimmte Elektroden geladen werden, an denen dann der mittels einer Entwicklungsvorrichtung aufgebrachte Toner haftet. Das hierdurch erzeugte Tonerbild kann entweder zur Sichtanzeige oder zur Aufzeichnung auf Bildempfangsmaterial durch Übertragung auf dieses benutzt werden. Die bekannte Einrichtung besitzt jedoch dahingehend Nachteile, daß das auf den Bildpunkt- Elektroden entwickelte Tonerbild zur Sichtanzeige seitenrichtig auf dem opaken Substrat erzeugt werden muß, während es für eine nachfolgende Aufzeichnung spiegelbildlich zu erzeugen ist, damit das Tonerbild nach der darauffolgenden Übertragung auf das Bildempfangsmaterial seitenrichtig aufgebracht ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungsgemäße Einrichtung derart auszugestalten, daß ein erzeugtes Tonerbild sowohl für eine visuelle Betrachtung als auch für eine Aufzeichnung geeignet ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Patentanspruch 1 angegebenen Mitteln gelöst.

Bei der erfindungsgemäßen Einrichtung werden somit durchsichtige Elektroden und ein durchsichtiges Substrat eingesetzt, auf denen das Tonerbild ausgebildet wird. Damit ist ein erzeugtes Tonerbild sowohl für eine Betrachtung als auch für eine Aufzeichnung, z. B. unter Übertragung auf einen Aufzeichnungsträger, geeignet. Die Betrachtung kann hierbei im Durchsichtverfahren seitenrichtig erfolgen, wobei auch die Übertragung auf den Aufzeichnungsträger seitenrichtig erfolgt.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. Die erfindungsgemäße Einrichtung ist leicht und kompakt und somit transportabel und mit niedriger Spannung bei geringem Leistungsverbrauch ansteuerbar.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine Schnittansicht, die den grundsätzlichen Aufbau der Einrichtung zeigt,

Fig. 2 eine Draufsicht auf ein Substrat, das mit einer Vielzahl von Elektroden versehen ist, an die Transistoren angeschlossen sind, und das für ein Ausführungsbeispiel der Einrichtung verwendet wird,

Fig. 3 eine Schnittansicht eines Schnitts längs der Linie A-A′ in Fig. 2,

Fig. 4 eine Äquvalenzschaltung eines Ausführungsbeispiels der Einrichtung,

Fig. 5 ein Ablaufdiagramm, das Hauptschritte des Bilderzeugungsverfahrens zeigt,

Fig. 6 schematisch einen Schritt zum Aufbringen eines Toners bei dem erfindungsgemäßen Verfahren,

Fig. 7 schematisch einen Übertragungsschritt,

Fig. 8 eine Schrägansicht, die eine Bild-Sichtanzeige in Reflexionsform veranschaulicht,

Fig. 9 eine Schnittansicht, die eine Bild-Sichtanzeige in Durchlaßform veranschaulicht,

Fig. 10 eine Äquivalentschaltung eines weiteren Ausführungsbeispiels der Einrichtung,

Fig. 11A eine Äquivalenzschaltung eines dritten Ausführungsbeispiels der Einrichtung,

Fig. 11B eine Schnittansicht eines Sustrats des dritten Ausführungsbeispiels,

Fig. 12 eine weitere Äquivalenzschaltung,

Fig. 13 und 14 Schnittansichten von Substraten gemäß weiteren Ausführungsbeispielen.

Fig. 1 zeigt den grundsätzlichen Aufbau der Einrichtung (Bilderzeugungsvorrichtung). 11 bezeichnet ein Substrat mit einer Gegenelektrode, 12 ein Toner und 13 ein Boden- bzw. Grundsubstrat mit einer oberen Fläche, die dem Substrat 11 zugewandt ist und mit einer Gruppe A von Bildpunkt- bzw. Punkt-Elektroden versehen ist (die Elektroden 14, 14′, 14′′ . . . in Fig. 2 entsprechen), wobei jede Punkt-Elektrode einen Transistor hat. Wenn der Transistor ein (nachstehend als FET bezeichneter) Feldeffekttransistor ist, sind an einen Halbleiter jeweils die Punktelektrode, eine Source-Elektrode 15 und eine Gate-Elektrode 16 angeschlossen. Die Source-Elektroden 15 und die Gate-Elektroden 16 sind jeweils geschlossene Zuleitungselektroden. Der Toner befindet sich in dem Raum, der zwischen dem oberen Substrat 11 und dem Grundsubstrat 13 gebildet ist.

Gemäß Fig. 2, die eine vergrößerte Draufsicht auf einen Teil des Grundsubstrats darstellt, sind Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′, 14′′′ jeweils an ein Ende von entsprechenden Halbleitern 21, 21′, 21′′ bzw. 21′′′ angeschlossen. Die anderen Enden der Halbleiter sind mit Source-Elektroden 15 und 15′ verbunden, wobei die Verbindung für eine jeweilige Spalte gemeinsam ist. Gate-Elektroden 16 und 16′ sind zu einem Teil über eine Isolierschicht unter die Halbleiter geführt und überqueren unter Zwischensetzung einer Isolierschicht die Source-Elektroden 15 und 15′, wobei jede Gate-Elektrode für eine in einer Zeile angeordnete Gruppe von Halbleitern gemeinsam ist.

Fig. 3 ist die Ansicht eines Schnitts längs der Linie A-A′ in Fig. 2. Gemäß Fig. 3 ist ein oberes Substrat 11 an der unteren Fläche mit einer Elektrode 31 versehen. Wenn das obere Substrat 11 selbst leitend ist, ist die Elektrode 31 unnötig. An einem Grundsubstrat 13 sind Feldeffekttransistoren in Metalloxid-Halbleiter-Ausführung (MOS-FET) ausgebildet. An dem Grundsubstrat 13 sind Gate-Elektroden 16 angebracht, auf welchen eine Isolierschicht 32 angeordnet ist.

An der Isolierschicht 32 sind Halbleiter 21 und 21′ angebracht. An ein Ende bzw. einen Rand des Halbleiters 21 bzw. 21′ ist eine Source-Elektrode 15 bzw. 15′ angeschlossen, während an den anderen Rand des Halbleiters 21 bzw. 21′ eine Punkt-Elektrode 14 bzw. 14′ angeschlossen ist.

In dem Zwischenraum zwischen den Substraten 11 und 13 befindet sich eine große Anzahl von Tonerteilchen, die bei der Erzeugung von Bildern in den Zwischenraum eingeleitet werden.

Fig. 4 zeigt eine Äquivalenzschaltung der vorstehend beschriebenen Einrichtung. In den Fig. 1 bis 3 und Fig. 4 sind gleiche Teile mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet. In Fig. 4 sind 41 und 41′ Feldeffekttransistoren, die an den Bereichen der Halbleiter 21 bzw. 21′′ ausgebildet sind. 31 ist eine für die Punkt- Elektroden 14, 14′, 14′′ und 14′′′ gemeinsame Elektrode.

Ein Verfahren zur Ansteuerung der Äquivalenzschaltung wird nachstehend beschrieben. Beispielsweise wird aufeinanderfolgend ein Abtastsignal an die Gate-Elektroden 16, 16′ angelegt. Wenn an einen jeweiligen FET ein Abtastsignal angelegt wird, wird dieser leitend. Wenn dann ein Bildsignal an die Source-Elektroden 15 und 15′ angelegt wird, die die Gate-Elektroden unter rechtem Winkel überqueren, wird auf die Punkt-Elektroden 14 und 14′′ Spannung oder elektrische Ladung aufgebracht. Darauffolgend wird dieses Abtastsignal zur benachbarten Gate- Elektrode versetzt. Wenn der Transistor bzw. Dünnfilmtransistor (TFT) in jeder Zeile den Einschaltzustand annimmt, wird darauffolgend auf die Punkt-Elektrodengruppe der Zeile Spannung oder elektrische Ladung aufgebracht, wobei dieses Aufbringen über alle Gate-Zeilen läuft, so daß daher die Bildsignale an alle Bildelemente angelegt werden. Das Anlegen von Spannung an die Source- Elektroden 15, 15′, . . . erfolgt durch gleichzeitiges Abtasten einer Zeile (d. h. nicht durch serielle Abtastung, bei der jedem Bildelement aufeinanderfolgend ein Signal zugeführt wird); auf diese Weise wird eine wirksame Spannung oder elektrische Ladung für die Punkt- Elektroden erreicht. Das heißt, die Signale werden an alle Punkt-Elektroden bei Ansteuerung einer Zeile gleichzeitig angelegt. Die auf diese Weise aufgebrachte Bild- Spannung oder -Ladung zieht selektiv den elektrischen Toner 12 an, der sich zwischen den einander gegenüberstehenden Substraten befindet. Die nicht elektrisch angezogenen Tonerteilchen werden dann entfernt, so daß daher an den gewählten Punkt-Elektroden an dem Grundsubstrat 13 Tonerbilder erzeugt werden. Das Bilderzeugungsverfahren beruht auf der Erzeugung von Tonerbildern an den Punkt-Elektroden der Feldeffekttransistoren oder Dünnfilmtransistoren mit Hilfe elektrischer Bildsignale. Wenn Farbtoner verwendet werden, können Farbbilder direkt betrachtet werden und es kann eine Hartkopie dadurch erzielt werden, daß die sich ergebenden Farbbilder auf Papier, Film oder dergleichen übertragen werden.

Die Hauptschritte, die bei dem vorangehend beschriebenen Grundaufbau der Bilderzeugungsvorrichtung angewandt werden, sind in Fig. 5 gezeigt. Zunächst wird Spannung oder elektrische Ladung aufgebracht, um Bilder an der Punkt-Elektrodengruppe an dem Substrat 13 zu formen. Dieser Schritt ist in Fig. 5 als "Signaleinschreiben" 51 bezeichnet. Danach werden in Abhängigkeit von der zugeführten Spannung oder elektrischen Ladung Tonerteilchen selektiv auf die Punkt-Elektroden aufgebracht. Dieser Schritt ist als "Tonerauflage" 52 bezeichnet. Wenn die Vorrichtung so aufgebaut ist, daß die Bildsignale mittels der selektiv aufgebrachten Tonerbilder sichtbar sind, kann die Vorrichtung als Sichtanzeigevorrichtung verwendet werden.

Danach werden die (durch elektrostatische Anziehungskräfte anhaftenden) aufgebrachten Tonerteilbereiche oder die nicht haftenden Tonerteilbereiche (an denen Toner vorhanden ist, der jedoch nicht durch elektrostatische Anziehungskraft angezogen ist) auf ein Papier oder einen Film (Bildempfangsmaterial) übertragen, was als "Übertragung" 53 dargestellt ist; die sich ergebenden übertragenen Bilder können als Hartkopie erzielt werden. Die Vorrichtung zur Erzeugung einer Hartkopie ist eine Aufzeichnungsvorrichtung.

Daher ergeben das Bilderzeugungsverfahren und die Bilderzeugungsvorrichtung ein Sichtanzeige-Verfahren bzw. eine Sichtanzeigevorrichtung bei dem Schritt 52, ein Aufzeichnungsverfahren bzw. eine Aufzeichnungsvorrichtung bei dem Schritt 53 und ein Verfahren und eine Vorrichtung sowohl zur Sichtanzeige als auch zur Aufzeichnung bei den Schritten 52 und 53.

Die vorstehend erläuterten Schritte können gleichzeitig ausgeführt werden. Insbesondere kann im Falle einer Aufzeichnung ohne Sichtanzeige der Übertragungsschritt gleichzeitig mit dem Tonerauflage-Schritt ausgeführt werden.

Die in Fig. 5 dargestellten Schritte stellen lediglich die Hauptschritte bei dem Verfahren bzw. der Einrichtung zur Bilderzeugung dar, so daß daher bei den tatsächlichen Einrichtungen zusätzlich ein Tonerzufuhr-Schritt, ein Schritt zur Zuführung von Aufzeichnungspapier, ein Schritt zum Fixieren des übertragenen Toners usw. vorzusehen sind.

Notfalls wird für die Erzeugung einer zweiten Kopie ein Reinigungsschritt ausgeführt.

Bei der Bilderzeugungsvorrichtng können verschiedenerlei Entwicklungsverfahren in Abhängigkeit von der auf die Bildelemente, nämlich die Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ usw. aufgebrachten Spannung bzw. elektrischen Ladung oder einem derartigen elektrischen Feld angewandt werden. Bei den Fig. 1 bis 4, die den grundsätzlichen Aufbau der Bilderzeugungsvorrichtung zeigen, erfolgt das Aufbringen des geladenen Toners 12 auf die Punkt-Elektroden durch elektrische Anziehungskraft, wobei der Toner 12 durch das elektrische Feld zwischen der Gegenelektrode 31 und den Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ usw. geladen wird. Das elektrische Feld zwischen der Gegenelektrode 31 und dem Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ usw. kann dasjenige sein, das zwischen den einander gegenüberstehenden Elektroden durch die mittels der Signale aus den Source-Elektroden 15, 15′ usw. aufgebrachte Spannung gebildet ist, oder dasjenige, das zwischen den einander gegenüberstehenden Elektroden durch die mittels der einmal angelegten Spannung erzeugte elektrische Ladung aufrechterhalten wird, die an der elektrostatischen Kapazität zwischen den einander gegenüberstehenden Elektroden zurückgehalten wird.

Auch wenn eine gewählte Punkt-Elektrode keine Gegenelektrode hat, können an dieser Tonerteilchen anhaften, sobald an der Punkt-Elektrode eine gesammelte Ladung festgehalten wird. Ferner werden die Tonerteilchen auch dann, wenn sie nicht geladen sind, an eine Punkt- Elektrode durch elektrostatische Induktion angezogen und haften an dieser. Weiterhin können die Tonerteilchen wahlweise mittels verschiedenen Verfahren zugeführt werden, wie beispielsweise durch Verteilen der Tonerteilchen über ein Drahtgitter, nach einem Kaskadenverfahren, bei dem an einem geeigneten Träger an der Oberfläche gehaltene Tonerteilchen bewegt werden, nach einem Verfahren, bei dem ein magnetischer Toner mittels einer Magnetbürste zugeführt wird, nach einem Verfahren, bei dem an einem Fell haftende Tonerteilchen zugeführt werden, nach einem Verfahren, bei dem ein Toner mit Hilfe einer Flüssigkeit zugeführt wird usw. Wahlweise können verschiedenartige Vorrichtungen unter Anwendung derartiger Verfahren verwendet werden.

Im folgenden wird ein Verfahren erläutert, bei dem ein elektrisches Feld angewandt wird.

In Fig. 3 ist kein Papier oder Film als Bildempfangsmaterial für die Übertragung gezeigt, da Fig. 3 nur eine grundsätzliche Darstellung für die Erläuterung der Schritte bis zum selektiven Aufbringen eines Toners auf das Substrat 13 in Abhängigkeit von Bildsignalen zeigt. Der Übertragungsschritt kann nach verschiedenen Verfahren ausgeführt werden.

Fig. 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel, bei dem der Schritt des selektiven Aufbringens des Toners auf die Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ usw. und die Übertragung des dermaßen aufgebrachten Toners auf ein Papier oder einen Film gleichzeitig ablaufen. Jeder der Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ und 14′′′ hat gleichermaßen wie in den Fig. 1 bis 4 einen Transistor.

Zur Vereinfachung der Erläuterung sind jedoch die Transistoren durch eine Gruppe von Schaltern 61, 61′, 61′′ usw. ersetzt. Die gewählten Punkt-Elektroden werden an eine Spannungsquelle 62 angeschlossen, während die nicht gewählten Punkt-Elektroden mit Masse verbunden werden. Ein Bildempfangsmaterial 64 wie Papier, Film oder dergleichen wird zwischen die einander gegenüberstehenden Elektroden eingeführt und an der Gegenelektrode 31 angeordnet, wobei das Einschreiben der elektrischen Signale zwischen den Elektroden erfolgt ist. Die Gegenelektrode 131 wird dann an eine Spannungsquelle 63 angeschlossen. Wenn negativ geladene Tonerteilchen 12 in den Mittelbereich zwischen den Elektroden eingebracht werden, werden einige Tonerteilchen zu den Elektroden 14′ und 14′′′ angezogen, an welche selektiv eine Spannung angelegt ist, während andere Tonerteilchen 12 zur Gegenelektrode 31 hin gezogen werden und daher an dem Papier bzw. Film 64 anhaften, so daß Aufzeichnungsbilder entstehen. Die aufgezeichneten Bilder entsprechen einem Umkehrmuster der Bilder an den Punkt-Elektroden, so daß daher dann, wenn die an den Punkt-Elektroden einzuschreibenden Bildern ein Negativmuster haben, die sich ergebenden Aufzeichnungsbilder ein Positivmuster haben. Bei der Bilderzeugungsvorrichtung ist die Schaltergruppe mit Dünnfilmtransistoren (TFT) aufgebaut, wobei eine Zeitmultiplex-Abtastung der Zeilen- Elektrodengruppe und der Spalten-Elektrodengruppe in Matrixform zur Steuerung des Leitzustands bzw. Sperrzustands der Dünnfilm-Transistoren vorgenommen wird. Da die Abtastung im Zeitmultiplex-Verfahren erfolgt, ist die an die Punkt-Elektroden angelegte Spannung keine kontinuierliche Spannung, wie sie mit 62 bezeichnet ist, sondern eine Impulsspannung. Dieser Unterschied stellt jedoch hinsichtlich der angelegten Spannung keinen wesentlichen Unterschied dar, sondern lediglich einen Unterschied hinsichtlich der wirksamen Spannung. Wenn ferner die an die Punkt-Elektroden angelegte Spannung gesteuert wird, ist es möglich, die Menge des auf die Punkt-Elektroden aufgebrachten Toners zu verändern. Dies bedeutet, daß mit dem Bilderzeugungsverfahren bzw. der Bilderzeugungsvorrichtung auf einfache Weise eine Tönungs- bzw. Gradations-Sichtanzeige herbeigeführt werden kann.

Fig. 7 zeigt eine andere Ausführungsart der Übertragung. Ein Bildempfangsmaterial 64 wie beispielsweise Papier wird auf eine Trommel 71 aufgebracht, deren Umfang leitend ist; die Spannung der Trommel 71 wird höher als diejenige der Gruppe der Punkt-Elektroden gemacht, auf die selektiv ein Toner 12 aufgebracht ist; der aufgebrachte Toner wird auf das Papier 64 übertragen. Bei diesem Übertragungsschritt wird ein Positivmuster an den Punkt-Elektroden als ein Positivmuster auf das Papier übertragen. Es ist anzumerken, daß sowohl bei dieser Übertragung als auch bei der vorangehenden Übertragung das Muster an den gewählten Punkt-Elektroden ein Spiegelbild bzw. Negativbild der Vorlage ist, d. h., die Oberfläche und die Rückseite umgekehrt bzw. vertauscht sind. Im Gegensatz dazu kann ein positiv geladener Toner verwendet werden; falls in diesem Fall eine Spannung der gleichen Polarität wie in den Fig. 6 und 7 angelegt wird, wird ein Negativ/Positiv-umgekehrtes Bild erzielt. Falls jede Polarität umgekehrt wird, ist das Ergebnis das gleiche wie gemäß den vorangehenden Ausführungen.

Im folgenden werden die vorangehenden beschriebenen Verfahren für Sichtanzeigevorrichtungen angewandt.

Nach Fig. 8 wird Toner selektiv auf Punkt-Elektroden aufgebracht, die jeweils mit einem FET versehen sind; 81 und 82 sind ein mit Toner belegter Teilbereich bzw. ein von Toner freier Teilbereich, so daß an einem Substrat 13 der Ausdruck "BCD" in Erscheinung tritt. Das Ablesen kann aufgrund des Unterschieds zwischen den optischen Eigenschaften des Toners und denjenigen des nicht belegten Bereichs erfolgen, wobei durch geeignete Wahl des Unterschieds ein gewünschter Kontrast erzielt werden kann. Eine der einfachsten Maßnahmen besteht darin, den Toner aus Teilchen zu bilden, die einen Farbstoff enthalten, der Schwarzabsorption zeigt, und die Elektrode mit einer streuenden Metallfläche oder einer reflektierenden Metallfläche auszubilden. Eine derartige Sichtanzeige ergibt ein hohes Kontrastverhältnis und einen breiten Betrachtungswinkel für einen Betrachter 83. Wenn dieses Betrachtungsverfahren bei dem Verfahren nach Fig. 7 angewandt wird, in der 71 eine leitende Trommel und 72 einen elektrischen Verbindungsanschluß bezeichnen, und der Toner auf einen durchsichtigen Film übertragen wird, werden die gleichen Bilder wie bei der Sichtanzeige erzielt. Es ist anzumerken, daß in diesem Fall die Bilder die gleichen wie diejenigen bei der Sichtanzeige unter Betrachtung von der Rückseite des aufnehmenden Films her sind. Wenn jedoch die Tonerbilder auf undurchsichtiges Papier übertragen werden, werden übertragene Bilder erzielt, die Spiegelbilder bezüglich der Vorlage sind, nämlich die Vorderseite und die Rückseite der Vorlagenbilder umgekehrt bzw. vertauscht sind, so daß daher auf diese Weise übertragene Bilder nicht als gewöhnliche Hartkopie verwendet werden können.

In Fig. 9 ist das Muster 81 mit dem selektiv aufgebrachten Toner ein Spiegelbild für einen Betrachter 83′, jedoch ein Positivbild der Vorlage für einen Betrachter 83 als Sichtanzeige; ferner kann das Muster auf ein Bildempfangspapier zur Erzeugung einer Hartkopie übertragen werden, die das gleiche Muster wie die Vorlage hat.

Wie aus der vorstehenden Erläuterung der Schritte ersichtlich ist, kann ein Löschen auch durch Nutzung des Übertragungsschritts vorgenommen werden. Fig. 10 zeigt eine Äquivalenzschaltung, bei der zur Ausführung eines teilweisen Löschens entsprechenden Gate-Zeilen gegenüberstehende Gegenelektroden 31′ und 31′′ voneinander elektrisch unabhängig sind. Das Löschen erfolgt zuerst dadurch, daß eine Spannung an eine Gate-Elektrode 16 angelegt wird, um damit Transistoren 41 und 41′′ durchzuschalten. Wenn an den Punkt-Elektroden 14 und 14′′ Toner anhaftet und dieser Toner beseitigt werden soll, wird die Spannung an Source-Elektroden 15 und 15′ auf Massepotential gebracht oder negativ gemacht, während die Spannung der Gegenelektrode 31′ positiv gemacht wird. Dann wird bei Verwendung eines negativ geladenen Toners der Toner von den Punkt-Elektroden 14 und 14′′ auf die Gegenelektrode 31′ aufgebracht. Demzufolge verschwindet an den Punkt-Elektroden 14 und 14′′ der Toner, so daß daher die Sichtanzeige gelöscht wird.

Wenn das Löschen an einer der Source-Elektroden 15 oder 15′ erwünscht ist, wird an diese Source-Elektrode positive Spannung angelegt, während die andere mit Masse verbunden wird oder negative Spannung erhält. Wenn an den Elektroden elektrische Ladung zurückgehalten wird, wird an die zu löschenden Elektroden eine Spannung angelegt, die ein ausreichendes Abstoßen des geladenen Toners bewirkt, oder es wird an die Gegenelektrode eine Spannung angelegt, die die Anziehungskraft der Gegenelektrode ausreichend steigert. Auf diese Weise kann wie bei einem elektronischen Abtasten bei dem Schreiben ein Löschen herbeigeführt werden. Es ist ferner möglich, ohne Aufteilung der Gegenelektrode die elektrische Ladung oder Spannung allein den Punkt-Elektroden (Bildelementen) in der Weise zuzuführen, daß das Anhaften des Toners selektiv unterbunden wird.

Vor dem gänzlichen Löschen oder dem Einschreiben neuer Bilder ist es zusätzlich zu dem vorangehend beschriebenen elektronischen Löschen wirkungsvoll, die Oberfläche mittels einer mechanischen Einrichtung abzustreifen, den Toner mittel seines Gebläses wegzublasen oder den Toner mit einer Flüssigkeit zu entfernen.

Die jeweilige Funktion der Bilderzeugungsvorrichtung ist aus der vorstehenden Erläuterung ersichtlich.

Im folgenden wird der Aufbau der mit Transistoren versehenen Elektrodengruppe in Einzelheiten erläutert.

Die mit Transistoren versehene Punkt-Elektrodengruppe gemäß der Darstellung in Fig. 2 kann am einfachsten mittels einer Halbleiterschaltung unter Verwendung eines Siliciumplättchen-Substrats hergestellt werden, d. h. dadurch, daß eine Elektrode eines Transistors in Metalloxid- Halbleiterausführung (MOS) als ein Punkt verwendet wird und viele der Punkte in Form einer Punktematrix angeordnet und als Elektroden verwendet werden, an denen Toner anhaftet. Ein gleichartiger Aufbau kann mittels einer Halbleiterschaltung mit auf Saphir aufgebrachtem Silicium (SOS-Halbleiterschaltung) erzielt werden, bei der ein Saphir-Substrat verwendet wird. Bei einem der sehr leistungsfähigen Ausführungsbeispiele der Bilderzeugungsvorrichtung werden Dünnfilm-Transistoren (TFT) verwendet. Wenn Dünnfilmtransistoren verwendet werden, entfallen bei dem Ausführungsbeispiel verschiedene Unzulänglichkeiten, die einem gemäß den vorstehenden Ausführungen verwendeten kristallinen Siliciumplättchen- Substrat zuzuschreiben sind, wie beispielsweise die Unmöglichkeit einer transparenten Sichtanzeige, die gemäß der Darstellung in Fig. 9 von der Rückseite her betrachtet werden kann, die Schwierigkeit bei der Herstellung eines kristallinen Siliciumplättchens mit großer Fläche, die hohen Kosten der Substratmaterialien, die Entstehung von Kristall-Fehlern und dergleichen. Eine SOS-Halbleiterschaltung hat ein Saphir-Substrat, das teuer ist und schwierig mit einer großen Fläche herzustellen ist.

Bei der Bilderzeugungsvorrichtung können die vorangehend genannten Transistoren verwendet werden, jedoch wird bei Verwendung eines Dünnfilm-Transistors (TFT) ein besseres Ergebnis erzielt. Bei dem Dünnfilmtransistor kann leicht ein durchsichtiges Substrat wie beispielsweise aus Glas, durchsichtigem Quarz, durchsichtiger Keramik oder dergleichen verwendet werden, während die Halbleiterschaltung mittels einer Technologie zur Formung eines dünnen Films hergestellt werden kann. Eine derartige Technologie wurde hinsichtlich der Herstellung eines dünnen Films aus CdS, Te und dergleichen untersucht, jedoch konnte noch keine praktisch anwendbare Technologie fertiggestellt werden.

Für die Bilderzeugungsvorrichtung sind diese Materialien nicht ausgeschlossen, jedoch ist ein Siliciumhalbleiter in Form eines dünnen Films äußerst brauchbar. Der dünne Siliciumfilm kann als amorphes Silicium oder Polysilicium bzw. polykristallines Silicium auf dem vorangehend genannten amorphen Substrat hergestellt werden. Ein derartiger dünner Siliciumfilm wird üblicherweise in einem Vakuumgefäß gebildet, so daß ein großflächiges Substrat leicht durch Verwendung einer groß bemessenen Filmbildungs- Vorrichtung hergestellt werden kann. Zur Erzeugung eines Transistors sind Elektroden und Isolierschichten notwendig, die gleichfalls mit dieser Technologie der Dünnfilm-Erzeugung hergestellt werden können. Beispielsweise kann im Falle eines Transistors mit amorphem Silicium die Siliciumschicht durch eine Glimmentladung in SiH₄-Gas geformt werden. Notfalls können H₂-Gas und ein Verunreinigungs-Gas für die Dotierung wie beispielsweise mit Bor, Phosphor und dergleichen hinzugefügt werden.

Die Isolierschicht kann nach einem chemischen Dampfablagerungs- Verfahren (CVD-Verfahren) hergestellt werden, das die thermische Zersetzung von Siliciumverbindungen, die thermische Oxidation des Siliciums, das Aufsprühen von SiO₂ oder die Bildung eines Silicium-Nitrid-Films unter Verwendung eines Gemisches eines Silan-Gases und Stickstoff oder Ammoniakgas umfaßt.

Die Elektrode kann als ein Metallfilm durch Widerstandsheizungs- Dampfablagerung, Elektronenstrahl-Dampfablagerung, Aufsprühen oder dergleichen hergestellt werden.

Die durchsichtige Elektrode kann folgendermaßen hergestellt werden: Es werden beispielsweise Zinnoxid bzw. Indiumoxid durch thermische Zersetzung von organischen Zinnverbindungen (Sprühverfahren) und Oxidation von unter Dampfablagerung aufgebrachtem metallischem Indium hergestellt.

Die Verarbeitung der auf diese Weise hergestellten Materialien zu einem Transistor kann dadurch erfolgen, daß wiederholte Male ein Zyklus einer Maskenbildung und eines Ätzens ausgeführt wird, wie beispielsweise unter Anwendung der Lithographie und der Elektronenstrahl-Belichtung, wie sie herkömmlicherweise bei der Siliciumhalbleiter- Technologie angewandt werden. Ferner kann eine Plasma- Ätzung angewandt werden.

Bei der Bilderzeugungsvorrichtung können außer dem vorstehend genannten Dünnfilm-Siliciumhalbleiter Dünnfilm- CdS-Halbleiter, Dünnfilm-CdSe-Halbleiter oder Dünnfilm-Te- Halbleiter verwendet werden.

Der Toner kann der gleiche sein wie der für elektrofotografische Kopiergeräte verwendete.

Als Material für den Toner können gewöhnliche thermoplastische Harze verwendet werden. Zur Erzeugung eines Toners wird ein Färbungsmittel und ein Harz gleichförmig gemischt und fein zerteilt. Als Färbungsmittel können verschiedene Farbstoffe bzw. Farbmittel verwendet werden. Der elektrische Widerstand, die Reibungselektrizitäts- Eigenschaften und die Farbe des Toners werden auf für die tatsächliche Verwendung gewünschte Werte eingestellt. Die Teilchengröße des Toners ist üblicherweise ungefähr 10 µm bis 1 µm. Bei der Bilderzeugungsvorrichtung ist die Auflösung durch die Fläche der Punkt- Elektrode als Bildelement begrenzt, so daß es daher nicht notwendig ist, Toner mit einer derart kleinen Teilchengröße einzusetzen.

Wenn bei der Bilderzeugungsvorrichtung eine Entwicklung unter Verwendung des TFT-Aufbaus bei einem Abstand zwischen den einander gegenüberstehenden Elektroden von 50 bis 500 µm und einer Signalspannung von 3 bis 50 V ausgeführt wird, können ein zufriedenstellendes Schreiben und Entwickeln ausgeführt werden. Einer Punkt-Elektrode als Bildelement mit der Größe 100 µm × 100 µm kann eine ausreichende Spannung oder elektrische Ladung mit einem Strom von weniger als µA zugeführt werden. Daher kann bei der Bilderzeugungsvorrichtung das Schreiben und Entwickeln für eine Vorrichtung mit 100 000 Bits bzw. Bildelementen mit einer Betriebsspannung von 15 V und einem Leistungsverbrauch von weniger als einige 10 mW ausgeführt werden.

Der Leistungsverbrauch ist gewöhnlich bei dem Schritt der Papierzufuhr und einem Antriebsmechanismus für die Bildübertragung groß. Selbst unter Hinzufügen dieses Leistungsverbrauchs ist der Gesamtleistungsverbrauch sehr gering, wobei die notwendige Vorrichtung klein bemessen ist und geringen Leistungsverbrauch hat, da kein Hochspannungs-Mechanismus notwendig ist, wie er für eine Koronaentladung bei dem Carlson-Verfahren notwendig ist. Unter Anwendung der gegenwärtig bestehenden Integrationsschaltungs- Technologie können leicht ausreichend kleine Bildelemente erzeugt werden, so daß es möglich ist, eine Auflösung von 2 bis 20 Linien je mm zu erzielen.

Bei der Bilderzeugungsvorrichtung kann eine Fixierung nach der Übertragung durch Schmelzen eines Harztoners oder durch teilweises Lösen eines Toners und darauffolgendes Verdampfen des Lösungsmittels erfolgen.

Als weitere Ausführungsbeispiele der Bilderzeugungsvorrichtung können bei dem grundsätzlichen Schaltungsaufbau verschiedene aktive Elemente und passive Elemente kombiniert werden. In Fig. 11A ist eine Äquivalenzschaltung eines Transistor-Substrats gezeigt, die für die Bilderzeugungsvorrichtung eingesetzt werden kann. Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ und 14′′′ als Bildelemente sind jeweils mit Kondensatoren 111, 111′, 111′′ bzw. 111′′′ verbunden. Diese Kondensatoren können wie die bei der Bilderzeugungsvorrichtung verwendeten Transistoren nach einem Dünnfilm-Herstellungsverfahren erzeugt werden.

Fig. 11B zeigt einen Aufbau, der dem Transistor-Substrat nach Fig. 3 mit der Ausnahme entspricht, daß Kondensatoren hinzugefügt sind und die Gegenelektrode 31 sowie der Toner 12 weggelassen sind. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen gleiche Teile.

Die Kondensatoren 111, 111′, 111′′ und 111′′′ können folgendermaßen hergestellt werden: Ein Bauelement 113 kann dadurch gebildet werden, daß auf einfache Weise das Bauelement 113 von einer Gate-Elektrode 16 durch Ätzen in Form einer dünnen Trennungslinie abgetrennt wird, wobei die Gate-Elektrode 16 in der gleichen Ebene wie das Bauelement 113 liegt. Da zwischen den Punkt-Elektroden 14, 14′′ und den Bauelementen 113 eine Isolierschicht 32 liegt, bildet der sich ergebende Aufbau Kondensatoren. Die Kondensator- Gegenelektroden werden gemäß der Darstellung in Fig. 11A gemeinsam über Zuleitungsteile 112 bzw. 112′ nach außen zu angeschlossen. Der Verbindungsanschluß der Kondensator-Gegenelektroden kann gemäß der Darstellung bei diesem Ausführungsbeispiel für jedes Gate getrennt vorgesehen sein, es kann jedoch auch unter Zwischensetzung der Isolierschicht ein gemeinsamer leitender Dünnfilm unter allen Punkt-Elektroden angebracht werden, die die Bildelemente bilden. Ferner ist es möglich, die Adressier-Gate-Leitungen 16, 16′ selbst zu verbinden. Weiterhin können die Gegenelektroden der Kondensatoren 111 und 111′′ an die benachbarte Gate-Leitung bzw. Gate- Elektrode 16′ angeschlossen werden. Diese Kondensatoren bewirken, daß die über die Signalleitungen bzw. Source- Elektroden 15, 15′ zugeführten Signale durch die Kondensatoren in Form elektrischer Ladung für eine bestimmte Zeitdauer aufrechterhalten werden.

Dies ist im Vergleich zu dem in Fig. 3 gezeigten Aufbau hinsichtlich eines "Einschreibe"-Vorgangs ersichtlich. Nach Fig. 3 wird die Menge der gesammelten elektrischen Ladung durch den Abstand zwischen den einander gegenüberstehenden Elektroden bestimmt, während nach Fig. 11 eine bestimmte elektrische Ladung ohne irgendeine Gegenelektrode gesammelt werden kann.

Im Vergleich zu dem Aufbau nach Fig. 3 können auf einfache Weise bei dem Fall nach Fig. 11 Kondensatoren hoher Kapazität erzeugt werden. Daher kann die Vorrichtung nach Fig. 11 in der Praxis mit einer niedrigen Spannung betrieben werden.

Fig. 12 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, bei dem Widerstände vorgesehen sind. Wenn die Widerstandswerte von Widerständen 120, 120′, 120′′ und 120′′′ die folgende Bedingung erfüllen:

R_on « R « R_off

wobei R_on den Einschaltwiderstand eines Transistors ist und R_off den Sperrwiderstand eines Transistors bezeichnen, können an eine jeweilige Elektrode Signale mit einem hohen Nutzsignal/Störsignal-Verhältnis angelegt werden, während bei dem Aufbau nach Fig. 4 die Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′, 14′′′ durch Streukapazitäten beeinflußt werden können. Widerstandsanschlüsse 121 bzw. 121′ können wie im Falle der vorangehend genannten Kondensatoren alternativ an die Adressen-Gate-Leitungen oder an das jeweils benachbarte Gate angeschlossen werden. Ferner ist es möglich, derartige Widerstandskomponenten durch Ableitung zu der Gegenelektrode gemäß der Darstellung in Fig. 3 zu erhalten.

Gemäß den vorangehenden Ausführungen werden geladene trockene Teilchen in Luft selektiv auf die Punkt-Elektroden aufgebracht. Alternativ kann ein Flüssigentwicklungssystem angewandt werden, d. h., es können die Tonerteilchen 12 nach Fig. 3 in einer Flüssigkeit verteilt werden, die in den Zwischenraum zwischen den beiden Elektroden eingefüllt wird. Diese Flüssigkeit ist üblicherweise ein Isoliermaterial wie ein schwer brennbares Lösungsmittel der Erdölreihe oder dergleichen. Die in Fig. 1 gezeigten Widerstände können einen Widerstandswert haben, der demjenigen des vorstehend genannten schwer brennbaren Lösungsmittels der Erdölreihe gleichartig ist.

Ein weiteres abgewandeltes Ausführungsbeispiel besteht darin, daß jeder der Feldeffekttransistoren 41, 41′, 41′′ usw. durch ein Paar aus einem FET mit einem n-Kanal Halbleiter und einem FET mit einem p-Kanal-Halbleiter ersetzt wird. Auf diese Weise ist es möglich, an die Punkt-Elektroden 14, 14′, 14′′ usw. wahlweise positive oder negative Spannung anzulegen. Damit ist es möglich, hinsichtlich des Toners den Bereich der Spannung oder der elektrischen Ladungsmenge zu erweitern. Das einfachste Beispiel hierfür besteht darin, daß eine den Toner abstoßende Spannung oder elektrische Ladung an eine Elektrode angelegt wird, an der der Toner nicht haften soll, während eine den Toner anziehende Spannung oder elektrische Ladung an eine Elektrode angelegt wird, an der der Toner haften soll. Wenn daher positiver Toner und negativer Toner mit voneinander verschiedenen Farben verwendet wird, ist es möglich, in den beiden Farben bei einem einzigen Schritt zu entwickeln.

Gemäß den vorangehenden Ausführungen sind die an die Punkt-Elektroden angeschlossenen aktiven und passiven Bauelemente nahezu gleichartig den bei gewöhnlichen integrierten Schaltungen angewandten, so daß daher bei der Bilderzeugungsvorrichtung keine bestimmte Einschränkung hinsichtlich der Kombinationen derartig angeschlossener Schaltungselemente besteht.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen sind die Punkt-Elektroden in der Form einer Matrix angeordnet, jedoch können bei der Bilderzeugungsvorrichtung auch viele Elektroden auf einer geraden Linie angeordnet werden. Eine derartige Ausführungsform ist besonders zweckdienlich als Aufzeichnungskopf mit sehr hoher Auflösung, d. h., die Elektrodenabschnitte mit den Transistorabschnitten, die die Bildelemente darstellen, können mit einer sehr hohen Dichte an einer geraden Linie angeordnet werden.

Eine weitere Ausführungsform besteht darin, daß die die Bildelemente darstellenden Elektroden kreisförmig angeordnet werden. In der Mitte des Kreises wird ein Transistorabschnitt ausgebildet, während der jeweilige Bildelement- Elektrodenabschnitt in einem Kreis angeordnet wird. Diese Anordnung erleichtert eine feine und genaue Herstellung der Transistoren. Mit diesem Aufbau können Polarkoordinatenaufzeichnungen wie Kreisdiagramme ohne komplizierte Computerbearbeitung oder mechanische Bearbeitung erzielt werden.

Zur ausschließlichen Verwendung für die Sichtanzeige und die Aufzeichnung von Buchstaben bzw. Zeichen mit einer festen Form können verschiedene Markierungen mit fester Form oder 7-Segment-Ziffernanzeigen verwendet werden. Für die Anwendung alphabetischer und numerischer Zeichen sind Bildelemente in Segment-Ausführung vorteilhaft.

Wenn die Bilderzeugungsvorrichtung mit Punktematrix-Elektroden aufgebaut wird, ist es nicht immer notwendig, daß die Punkte eine Rechteckform gemäß der Darstellung bei 14 in Fig. 2 haben. Bei einer weniger dichten Anordnung der Punkte ergeben kreisförmige Punkt-Elektroden eine Folge mit gutem Aussehen, insbesondere bei der Darstellung einer gekrümmten Linie. Daher können die Punkt-Elektroden die Form eines Quadrats, eines Rechtecks, eines Dreiecks, eines Kreises, einer Ellipse, einer Raute oder anderer Vielecke haben.

Gemäß den nachstehenden Ausführungen können in Abhängigkeit von dem Aufbau der Halbleiter für die Herstellung eines Dünnfilms verschiedener Abwandlungen vorgenommen werden.

Nach Fig. 13 sind Source-Elektroden 15, 15′ für das Anlegen von Signalen unterhalb eines Halbleiters 130 angeordnet. Dieser Aufbau hat den Vorteil, daß dann, wenn ein Halbleiter über die ganze Fläche ohne ein Muster ausgebildet wird, kein Toner an den Source-Elektroden 15, 15′ anhaftet und keine unnötige Bilderzeugung an den von den Punkt-Elektroden (Bildelementen) verschiedenen Teilbereichen auftritt.

Der Verbindungsteil zwischen einem Halbleiter und einem Elektrodenelement kann allgemein eine Übergangszone bilden, so daß daher bei einer symmetrischen Anordnung einer Source und eines Draines bzw. eines Halbleiters, wie sie in Fig. 3 gezeigt ist, die Anordnung so ist, daß Dioden in Gegenrichtung angeordnet sind. Im Gegensatz dazu sind nach Fig. 13 Dioden in der gleichen Richtung angeordnet, so daß daher das Substrat bei dem Ausführungsbeispiel ohne irgendeine besondere Beachtung des Ohm'schen Kontakts erzielt werden kann. Ferner kann die Anzahl der Herstellungsschritte vermindert werden. (In den Fig. 3 und 13 sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet.) Nach Fig. 13 sind die Source-Elektroden 15, 15′ direkt auf einem Isolierfilm 32 angeordnet, der über den Gate-Elektroden 16, 16′ liegt, während die Halbleiterschicht 130 die ganze Oberfläche bedeckt und im weiteren die Punkt-Elektroden 14, 14′′ in der Weise angeordnet sind, daß sie elektrisch unabhängig bzw. getrennt sind. Diese Anordnung ergibt vorteilhafterweise eine außerordentliche Verengung der Kanallänge zwischen der Source-Elektrode 15 und der Punkt-Elektrode.

Nach Fig. 14 wird eine Schutzschicht 140 auf die Elektrodenflächen und die Halbleiterflächen aufgebracht. Die Schutzschicht dient dazu, das Eindringen von Verunreinigungen in die Halbleiterabschnitte zu verhindern und die mechanisch schwachen Elektroden zu schützen. Die Schutzschicht kann aus einem organischen oder anorganischen dielektrischen Material gebildet sein. Als organisches Material können verschiedene hochpolymere Beschichtungen verwendet werden, während als anorganisches Material das gleiche Material wie dasjenige der Isolierschicht 32 oder Metalloxide verwendet werden können.

Besonders vorteilhafte Anwendungen der Bilderzeugungsvorrichtung bzw. des Bilderzeugungsverfahrens sind die Sichtanzeige und Aufzeichnung von Farbbildern sowie die Sichtanzeige und Aufzeichnung von Tönungsbildern bzw. Gradationsbildern. Ein einfaches Verfahren hierfür besteht darin, daß verschiedenfarbige Toner bereitgestellt werden und jeweils ein einer jeweiligen Farbe entsprechendes Bildeingangssignal mit dem entsprechenden Farbtoner entwickelt wird.

Falls verschiedenartige Toner hergestellt werden, von denen jeder nur dann anhaftet, wenn die ihm eigentümliche bestimmte Spannung oder elektrische Ladung auf eine Punkt- Elektrode aufgebracht wird, und diese Toner voneinander verschieden gefärbt werden, ist es möglich, mit nur einem einzigen Schritt Farbbilder zu entwickeln. Auf diese Weise kann eine Farb-Sichtanzeige erzielt und bei Bedarf eine Farbkopie hergestellt werden.

Wenn gemäß den vorangehenden Ausführungen eine mit einer Vielzahl von Elektroden verbundene Transistoranordnung gesteuert wird, an die Elektroden eine Spannung oder elektrische Ladung angelegt wird und selektiv auf die Elektroden Toner aufgebracht wird, wie es der vorstehenden Beschreibung entspricht, sind

i) ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bildsichtanzeige,
ii) ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bildlaufzeichnung oder
iii) ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Sichtanzeige und Aufzeichnung erzielbar, die ein Einschreiben und Löschen ermöglichen.

Bei dem Verfahren und der Vorrichtung zur Bilderzeugung ist die elektronische Steuerung einfach, die Sichtanzeige und die Aufzeichnung können mit einer niedrigen Spannung unter Ansteuerung mit geringer Leistung herbeigeführt werden und die Vorrichtung kann leicht und klein bemessen sein.

Claims

1. Einrichtung zur Erzeugung von Bildern, mit einer Anordnung voneinander isolierter Bildpunkt-Elektroden, mit einer Schaltungseinrichtung zum bildmäßigen Zuführen von Spannung oder Ladung zu den jeweiligen Elektroden über zugeordnete Transistoren und mit einer Entwicklungsvorrichtung zum Aufbringen von Toner auf die beaufschlagten Elektroden, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (14) als durchsichtige Elektroden auf einem durchsichtigen Substrat (13) ausgebildet sind.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Gegenelektrode (31; 71).

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen den einander gegenüberliegenden Elektroden im Bereich von 50 µm bis 500 µm liegt.

4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Toner auf ein zwischen dem auf die beaufschlagten Elektroden aufgebrachten Toner und der Gegenelektrode angeordnetes Bildempfangsmaterial übertragbar ist.

5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Bildempfangsmaterial ein durchsichtiger Film ist.

6. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß an nicht gewählten Elektroden vorhandener, nicht anhaftender Toner auf die den nicht gewählten Elektroden gegenüberstehenden Teilen eines Bildempfangsmaterials übertragbar ist, das an der Gegenelektrode angebracht ist.

7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die sich an den beaufschlagten Elektroden ergebenden Tonerbilder dadurch gelöscht werden, daß die elektrischen Ladungen an gewählten Elektroden neutralisiert oder auf die entgegengesetzte Polarität verändert wird.

8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Toner an den beaufschlagten Elektroden abgewischt wird.

9. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Toner von den beaufschlagten Elektroden abgeblasen wird.

10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß auf den Elektroden (14) eine Schutzschicht (140) angeordnet ist (Fig. 14).

11. Einrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (140) aus einem Material gebildet ist, das aus einer Gruppe gewählt ist, die organische Polymere und anorganische Materialien enthält.