DE3038532A1 - Aufzeichnungstraeger - Google Patents

Aufzeichnungstraeger

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Description

Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungsträger für ein mit Licht vorgegebener Wellenlänge arbeitendes, optisches Speicher-Lese-System mit einer Licht dieser vorgegebenen Wellenlänge reflektierenden Schicht, einer für das Licht dieser vorgegebenen Wellenlänge durchlässigen Schicht auf der reflektierenden Schicht und mit einer das Licht dieser vorgegebenen Wellenlänge absorbierenden Schicht auf der durchlässigen Schicht. Sie bezieht sich ferner auf einen Aufzeichnungsträger mit in einer Spur srespeicherter Information sowie auf ein Verfahren zum Vervielfältigen einer auf dem optischen Aufzeichnungsträger mit Hilfe eines modulierten Lichtstrahls vorgegebener Wellenlänge gespeicherten Information.
In der US-PS 40 97 895 wird ein sogenannter Ablöse-Aufzeichnungsträger beschrieben, der aus mit einer Schicht aus lichtabsorbierendem, organischem Material bedeckten lichtreflektierenden Material besteht» Mit Hilfe eines auf den Aufzeichnungsträger gerichteten, fokussierten, modulierten Lichtstrahls, z.B. des Lichtstrahls eines Argon-Ionen-Lasers, kann die das Licht absorbierende Schicht örtlich verdampft oder abgelöst werden, so daß eine Öffnung mit darin freigelegtem lichtreflektierendem Material in der Schicht entsteht. Die Dicke der lichtabsorbierenden Schicht wird so gewählt, daß die Reflektivität des Aufzeichnungsträgers vermindert wird.
Es ist ferner ein verbesserter optischer Ablöse-Aufzeichnungsträger mit einer Dreifachschicht vorgeschlagen worden, (vgl. DE-OS 27 57 737). Die Dreifachschicht besteht aus einem lichtreflektierenden Material, einer darauf liegenden Schicht aus einem für das jeweilige Licht durchlässigen Material und einer auf der durchlässigen Schicht liegenden Schicht aus einem das Licht absorbierenden Material. Die
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Dicke der lichtabsorbierenden Schicht wird so auf die Dicke der lichtdurchlässigen Schicht und die optischen Konstanten des lichtreflektierenden Materials sowie der durchlässigen und der absorbierenden Schichten abgestimmt, daß die optische Reflektivität des Aufzeichnungsträgers vermindert wird. Es wird dann ein maximaler Anteil des auf den Aufzeichnungsträger auftreffenden Lichtes eines fokussierten, modulierten Lichtstrahls in der lichtabsorbierenden Schicht absorbiert und in Wärmeenergie umgewandelt. Durch die Wärmeenergie wird die lichtabsorbierende Schicht unter Bildung je einer Öffnung bzw. eines Lochs in der Schicht abgelöst oder geschmolzen. In der Öffnung wird die darunterliegende lichtreflektierende Schicht bei verbleibender lichtdurchlässiger Schicht freigelegt.
Die Reflektivität des Bereichs der Öffnung der lichtabsorbierenden Schicht ist diejenige der reflektierenden Schicht und damit wesentlich größer als die Reflektivität des umgebenden, unbelichteten Bereichs. Beim Lesen des Aufzeichnungsträgers werden die Unterschiede der Reflektivitäten optisch erfaßt und in ein für die gespeicherte Information repräsentatives elektrisches Signal umgewandelt.
Die vorgenannte Dreifachschicht kann aus Aluminium als lichtreflektierendes Material, einer durchlässigen Schicht aus Silizium-Dioxid und einer lichtabsorbierenden Schicht aus Titan mit etwa 2 bis 12 Nanometer Dicke hergestellt werden. Dieser Aufzeichnungsträger besitzt gute Archiveigenschaften und beim Lesen der gespeicherten Informationen bei oberhalb des Schwellenwerts der Aufnanmeenergie liegende Energien ein gutes Signal/Rausch-Verhaltenο Die Aufnahmeempfindlichkeit ist jedoch vergleichsweise gering. Durch Ersatz der Titanschicht durch eine Tellurschicht ksnn die Aufnahmeempfindlichkeit zwar vergrößert werden, die Archiveigenschaften des Aufzeichnungsträgers werden dadurch aber verschlechtert.
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Für Archivzwecke wird daher eine Titanschicht vorgezogen.
Es ist ferner wünschenswert, den Aufzeichnungsträger mit gespeicherten Informationen zu vervielfältigen, so daß möglichst viele Kopien erhältlich sind. Wegen der geringen Dicke der absorbierenden Schicht sind die in dieser Schicht vorgesehenen Öffnungen jedoch nur schwierig zum Herstellen eines Masters oder einer Matrize von dem bzw. der Kopien gemacht werden könnten, zu reproduzieren bzw. abzuformen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Aufzeichnungsträger mit dem Dreifachschicht-System wegen seiner vorteilhaften Aufnahme- und Wiedergabeeigenschaften so weiter zu entwickeln, daß ohne Beeinträchtigung seiner vorteilhaften Eigenschaften ein Vervielfältigen bzw. Kopieren der gespeicherten Informationen möglich ist. Bei dem eingangs genannten Aufzeichnungsträger besteht die erfindungsgemäße Lösung darin, daß die durchlässige Schicht dicker als etwa 10 Manometer ist und aus einem bei mindestens 300°C unterhalb des Schmelzpunktes des Materials der absorbierenden Schicht schmelzenden, zerfallenden und/oder sublimierenden Material besteht. Die Schichtdicke der lichtdurchlässigen Schicht kann dabei zwischen etwa 10 und 500 Manometern, vorzugsweise zwischen 10 und 100 Manometern, liegen.
Durch die Erfindung wird erreicht, daß das Speichern der jeweiligen Information entweder in Form einer oder mehrerer sowohl durch die lichtdurchlässige als auch die lichtabsorbierende Schicht hindurchgehender Öffnungen oder in Form von in der lichtabsorbierenden Schicht gebildeten Blasen erfolgt,, Gute Ergebnisse werden erhalten, wenn die lichtdurchlässige Schicht aus Magnesiumfluorid oder
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Bleifluorid "besteht. Insbesondere wird für die lichtdurchlässige Schicht Magnesiumfluorid vorgezogen, wenn die lichtabsorbierende Schicht aus Titan mit einer Schichtdicke von vorzugsweise etwa 2 bis 25 Nanometern besteht.
Gemäß weiterer Erfindung wird ein Verfahren zum unmittelbaren Vervielfältigen der in Form von topographischen Merkmalen des Aufzeichnungsträgers gespeicherten Informationen vorgeschlagen. Bei diesem Verfahren wird die aus beispielsweise einer Spur mit einer Folge von Öffnungen in der durchlässigen und der absorbierenden Schicht oder von in der absorbierenden Schicht gebildeten Blasen mit der Information entsprechender Länge und/oder entsprechendem Abstand der Einzelöffnungen bzw. Blasen bestehenden Topologie des Aufzeichnungsträgers zunächst mit Hilfe eines modulierten Lichtstrahls hergestellt. AMann wird die die Öffnungen oder Blasen enthaltende, freiliegende Oberfläche mit einer leitenden, konformen Kontaktschicht bedeckt. Es folgt das Aufbringen einer Masterschicht mit einer zum selbsttragenden Ausbilden zusammen mit der Kontaktschicht ausreichenden Dicke auf die Kontaktschicht und das Abziehen der Masterschicht mit anhaftender Kontaktschicht von dem Aufzeichnungsträger. Die Kontaktschicht kann dabei vorzugsweise aus Gold, Kupfer oder Nickel hergestellt werden, während die Masterschicht insbesondere aus Kupfer oder Nickel zu bilden ist.
Anhand der schematischen Darstellung von Ausführungsbeispielen werden weitere Einzelheiten der Erfindung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen Aufzeichnungsträger;
Fig. 2 einen Schnitt durch einen Aufzeichnungsträger mit in der lichtdurchlässigen und der lichtabsorbierenden Schicht vorgesehenen Öffnungen;
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Fig. 3 einen Schnitt durch einen Aufzeichnungsträger mit in der lichtabsorbierenden Schicht gebildeten Blasen;
Fig. 4 ein Diagramm mit gegenübergestelltem Signal/Rausch-Spannungsverhalten des neuen und des bekannten Aufzeichnungsträgers als Funktion der auftreffenden Lichtenergie bei 42,5 Nanometer dicker Magnesiumfluorid-Schicht;
Fig. 5 ein Diagramm wie in Fig. 4 für den Fall einer 85,0 Nanometer dicken Magnesiumfluorid-Schicht; und
Fig. 6 einen Schnitt durch einen Aufzeichnungsträger gemäß Fig. 2 mit aufgebrachten Schichten der Kopier-Masterschablone.
Fig. 1 zeigt den Querschnitt eines erfindungsgemäßen, insgesamt mit 10 bezeichneten Aufzeichnungsträgers. Zu diesem gehören ein Substrat 12 mit Oberfläche 14; eine auf der Oberfläche 14 des Substrats 12 liegende, lichtreflektierende Schicht 16 mit Oberfläche 18; eine auf der Oberfläche 18 der reflektierenden Schicht 16 liegende lichtdurchlässige Schicht 20 mit Oberfläche 22; und eine auf der Oberfläche 22 der durchlässigen Schicht 20 liegende lichtabsorbierende Schicht 24 mit Oberfläche 26.
Fig. 2 zeigt ein schematisch dargestelltes Ausführungsbeispiel eines Querschnitts eines erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers, in dem die gespeicherte Information in Form von sowohl durch die lichtabsorbierende Schicht 24 als auch durch die lichtreflektierende Schicht 20 hindurchreichenden Öffnungen 34 aufgezeichnet sind. Im übrigen entsprechen die Bezugszeichen denjenigen nach Fig. 1.
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Normalerweise wird die Information durch. Änderung der Länge der Öffnungen 34 und der unbelichteten Bereiche 32 zwischen je zwei Öffnungen 34 in der Richtung einer Spur kodiert gespeichert. Die Länge der Öffnungen 34 wird durch die Länge der Zeit bestimmt, während der der Aufzeichnungsträger dem aufzeichnenden Lichtstrahl ausgesetzt wird, sowie ebenfalls durch die Geschwindigkeit vorgegeben, mit der der Aufzeichnungsträger durch die Brennebene des aufzeichnenden Lichtstrahls bewegt wird.
In Fig. 3 wird ein weiteres Ausführungsbeispiel eines insgesamt mit 50 bezeichneten erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers gezeigt. Die Schichten sind im wesentlichen ebenso wie in den Fig. 1 und 2 bezeichnet worden. Nach dem Aufzeichnen zeigt die Oberfläche 26 des Aufzeichnungsträgers 50 unbelichtete Bereiche 52 und belichtete Bereiche 54, wobei letztere als Blasen 56 ausgebildet wurden.
Das Substrat 12 kann ais Glas oder Kunststoff, z.B. Polyvinylchlorid, normalerweise in Form einer Scheibe, hergestellt werden; es läßt sich aber auch aus anderem Material, z.B. Aluminium, herstellen, das das Licht mit der aufzeichnenden Wellenlänge derart reflektiert, daß die Funktionen des Substrats 12 und der lichtreflektierenden Schicht 16 kombiniert werden. Wenn ein Substrat verwendet wird, muß es nur so stark sein, daß es den Rest des Speicheraufbaus tragen kann. Da jede Ravh-igkeit der Oberfläche 14 des Substrats 12 im Maßstab des Durchmessers des fokussierten Lichtstrahls beim Lesen ein Rauschen verursacht, kann es zweckmäßig sein, eine nichtkonforme Schicht aus einem Kunststoff material, z.B. einem Epoxy-Harz, vor dem Aufbringen der lichtreflektierenden Schicht 16 auf der Oberfläche 14 zu bilden. Durch eine solche Zusatzschicht wird
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eine mikroskopisch glatte Oberfläche erzeugt und die entsprechende Rauschquelle beseitigt.
DIb lichtreflektierende Schicht 16 reflektiert einen wesentlichen Teil des auffallenden Lichtes mit Aufzeichnungswellenlänge und wird in typischen Fällen aus einem Metall mit hoher Reflektivität, z.B. Aluminium oder G-old, hergestellt. Vorzugsweise soll die lichtreflektierende Sdicht wenigstens 5O?6 des auf die reflektierende Schicht auffallenden Lichts zurückwerfen. Die insbesondere etwa 30 bis 60 Nanometer dicke, reflektierende Schicht'16 kann beispielsweise mit Vakuum-Aufdampftechnik auf der Oberfläche 14 des Substrats 12 niedergeschlagen werden.
Die lichtdurchlässige Schicht 20 wird aus einem bei der Aufnahmewellenlänge im wesentlichen transparenten Material hergestellt, das eine mehr als 3000C niedrigere Schmelztemperatur besitzt als das Material der lichtabsorbierenden Schicht 24. Materialien, die diese Bedingungen erfüllen, werden durch Wärmeleitung von der lichtabsorbierenden Schicht in Richtung auf die lichtdurchlässige Schicht zum Schmelzen, Sublimieren und/oder Zersetzen gebracht, bevor die lichtabsorbierende Schicht ihren Schmelzpunkt erreicht. Wenn das lichtdurchlässige Material schmilzt j. wird die Struktur instabil, und Oberflächenspannurgjkann dazu führen, daß die durchlässige und die absorbierende Schicht beide längs der Kante des Lochs nach oben gezogen werden. Dieses Verhalten kann eine Erklärung für die Ausbildung bzw. Form des in Fig. 2 dargestellten Schnitts sein. Wenn das lichtdurchlässige Material bei Annäherung an die Schmelztemperatur zerfällt, sublimiert oder wenn sein Dampfdruck stark ansteigt, kann der Druck des eingeschlossenen Gases eine Blase in der absorbierenden Schicht bilden. Auf diese Weise kann die Ausbildung des Schnitts nach Fig. 3 erklärt werden.
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Bei vorgegebenem Material bestimmt die Dicke der durchlässigen Schicht das Temperaturprofil in dieser Schicht. Bei dünner, durchlässiger Schicht ist das Temperaturdifferential zwischen den gegenüberliegenden Flächen der Schicht kleiner, so dai3 ein Teil der Schicht schmilzt. Wenn dagegen die durchlässige Schicht relativ dick ist, kann die Temperatur auf der der absorbierenden Schicht gegenüberliegenden Oberfläche noch unterhalb der Schmelztemperatur bzw. sonstigen kritischen Temperatur liegen, während die Temperatur auf der an die absorbierenden Schicht angrenzenden Oberfläche bereits die zum Schmelzen, Zersetzen oder Sublimieren erforderliche Temperatur erreicht oder überschreitet. Im letztgenannten Fall ergibt sich eine Verformung der lichtabsorbierenden Schicht ohne vollständiges Zerschmelzen der durchlässigen Schicht.
Die Dicke der lichtdurchlässigen Schicht ist demgemäß ein Kompromiß zwischen dem für eine verminderte Reflektivität des Aufzeichnungsträgers erforderlichen Betrag und dem Wert, der wegen der thermischen Bedingungen zum Schmelzen oder Verdampfen usw. der lichtdurchlässigen Schicht erforderlich ist. In diesem Sinne sind Dicken der durchlässigen Schicht zwischen etwa 10 und etwa 500 Nanometern, insbesondere zwischen etwa 30 und 100 Nanometern, vorteilhaft,
Brauchbar als Material zum Herstellen der durchlässigen Schicht haben sich Magnesiumfluorid mit einem Schmelzpunkt von 12610C und Bleifluorid mit einem Schmelzpunkt von 855 C erwiesen. Diese Schmelzpunkte liegen mehr als 3000C unterhalb der Schmelztemperatur von 16680C des Titans. Demgegenüber schmilzt das früher verwendete Silizium-Dioxid bei einer Temperatur zwischen 1650 und 17000C, also bei einer mit der Schmelztemperatur des
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Titans der lichtabsorbiereöden Schicht vergleichbaren. Temperatur, Magnesiumfluorid und Bleifluorid können unter Anwendung üblicher Äufdampftechniken auf die Oberfläche 18 der lichtreflektierenden Schicht 16 aufgebracht werdenc
Die lichtabsorbierende Schicht 24 wird aus einem Material hergestellt, das Licht der Aufzeichnungswellenlänge absorbiert. Geeignete Materialien sind Titan, Platin, Rhodium, Gold, Nickel, Chrom, Mangan oder Vanadium, Diese Materialien können in üblicher Weise aufgedampft oder durch Elektronenstrahlverdampfung niedergeschlagen werden. Die absorbierende Schicht kann zwischen etwa 2 und 25 Nanometern dick sein, vorzugsweise zwischen 2 und 12 Nanometerno Wenn einige dieser Materialien dem Einfluß der Atmosphäre ausgesetzt werden, oxidieren sie teilweise, so daß sich eine absorbierende Schicht ergibt, die dünner ist als die ursprünglich niedergeschlagene Schicht. Diesem Effekt kann entgegengewirkt werden, indem die Schicht von vornherein dicker als gewünscht hergestellt wird, so daß die nachfolgende Oxidation zu einer Schichtdicke des gewünschten Wertes führt. Die erörterten und in den Ansprüchen angegebenen Dicken der absorbierenden Schicht sind die gewünschten Werte.
Die anhand der Figo 2 und 3 erläuterten Aufzeichnungsverfahren unterscheiden sich erheblich vom Stand der Technik, da dort der Aufzeichnungsträger aus einer lichtreflektierenden. Aluminiumschicht , einer lichtdurchlässigen Siliziumdioxidschicht und einer lichtabsorbierenden Titanoder Tellurschicht besteht. Im bekannten Aufzeichnungsträger wird die jeweilige Information durch das Bilden von Öffnungen lediglich in der absorbierenden Schicht
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gespeicherte Die Aufzeichnungsempfindlichkeit der bekannten Träger nahm in dem Maße zu, wie die Dicken der lichtdurchlässigen und lichtreflektierenden Schichten im Sinne eines Minimierens der Reflektivität des Trägers eingestellt wurden.
Um eventuell durch aus dem Umfeld auf die Oberfläche niedergeschlagenen Staub verursachte Signalfehler anzuschließen oder zumindest zu vermindern, kann ein etwa 0,05 bis 1 mm dicker Schutzüberzug auf die lichtabsorbierende Schicht aufgebracht werden. Auf der oberen Oberfläche der Schutzschicht liegende Staubteilchen befinden sich so weit weg von der Brennebene des optischen Systems, daß ihre Auswirkung auf das Aufzeichnen oder Lesen der Information erheblich herabgesetzt ist. Ein brauchbares Material für diesen Zweck ist Silikonharz. Ein solcher Überzug wird jedoch nicht benutzt, wenn die gespeicherte Information kopiert bzw. vervielfacht werden soll.
Es wurden erfindungsgemäße Aufzeichnungsträger in Form von Scheiben durch Speichern, einer Video-Information mit einer Signalbandbreite von 0 bis etwa 4,2 Megahertz untersucht, die auf einem frequenzmodulierten Träger einer Abweichung von etwa 7 bis 10 Megahertz kodiert waren. Die Qualität der unter Verwendung eines modulierten Argon-Ionen-Lasers hergestellten Aufnahmen wurde durch Messen des Signal/ Rausch-Spannungsverhältnisses der ausgelesenen Video-Information als Funktion der auf die Scheibe auffallenden Energie berechnet.
Das Signal/Rausch-Spannungsvernältnis wird bei der Wiedergabe bestimmt als das Verhältnis des Spitze-zu-Spitze-Video-Signals zum mittleren quadratischen Rauschpegel
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der gesamten Video-Bandbreite. Letztere wird mit dem von der Firma Tektronix Corp., Beaverton, Oregon, vertriebenen Grundgeräuschmeßgerät "Modell 1430" gemessen.
Beispiel 1
In Fig. 4 wird das Aufnahmeverhalten eines aus einer lichtreflektierenden Aluminiumschicht (Al), einer lichtdurchlässigen Magnesiumfluoridschxcht (MgFp) von etwa 42,5 Nanometern Dicke und einer lichtabsorbierenden Titanschicht (Ti) von etwa 7 Nanometern Dicke dargestellt. Die Dicken sind dabei so gewählt, daß sich die minimale Reflektivität von 3% für die 488-Nanometer-Wellenlänge des Aufzeichnungslichtstrahls ergab. In Fig. 4 wird auch das Aufzeichnungsverhalten einer zum Stand der Technik gehörenden Scheibe mit einer aus Silizium-Dioxid (SiOp) bestehende lichtdurchlässige Schicht dargestellt, deren Reflektivität für die 488-Nanometer-Wellenlänge ebenfalls auf 3% eingestellt wurde, die unter denselben Bedingungen gemessen wurde. Die Aufnahmeschwelle lag etwa auf semselben Niveau der auftreffenden Leistung gemessen in Milliwatt (= mW). Die Scheibe mit einer aus Magnesiumfluorid (MgFp) bestehenden durchlässigen Schicht zeigt in einem Bereich der einfallenden Leistung etwas oberhalb der Schwellen—Leistung ein viel höheres Signal/Rausch-Spannungsverhältnis (SNR) in dB als - die Scheibe mit Silizium-Dioxid (SiOp) als durchlässige Schicht.
Im gesamten Bereich der Aufnahmeenergien wurde eine Öffnung sowohl in den lichtdurchlässigen als auch in den lichtabsorbierenden Schichten gebildet.
Beispiel 2
Anhand von Fig. 5 wird das Auf nähme verhalten eines Aufzeichnungsträgers mit einer aus Aluminium bestehenden,
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lichtreflektierenden Schicht, einer aus Magnesiumfluorid "bestehenden, lichtdurchlässigen Schicht von etwa 85 Nanometern Dicke und einer aus Titan bestehenden, lichtabsorbierenden Schicht von 7 Nanometern Dicke mit dem entsprechenden Verhalten eines Silizium-Dioxid anstelle von Magnesiumfluorid als lichtdurchlässige Schicht enthaltenden Aufzeichnungsträgers bekannter Art verglichen. Die Schichtdicken und dren Verhältnis beim erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger waren so eingestellt, daß die Reflektivität bei der 488-Nanometer-Wellenlänge nur auf etwa 16% reduziert wurde. Unter denselben Verhältnissen betrug die Reflektivität bei der bekannten Anordnung 3%. "Wie in Beispiel 1 liegt die Leistungsschwelle, bei der eine Aufnahme erfolgt, bei beiden Trägern etwa auf demselben Niveau der auffallenden Leistung. Die eine aus Magnesiumfluorid bestehende durchlässige Schicht aufweisende Platte zeigt jedoch im gesamten Bereich der auffallenden Leistung und insbesondere gleich oberhalb der Schwelle ein höheres Signal/Rausch-Spannungsverhältnis als die Platte mit Siliziumdioxid als durchlässige Schicht.
In dem mit B an der oberen Kurve bezeichneten Bereich der auftreffenden Leistung nach Fig. 5 werden in der absorbierenden Schicht nur Blasen erzeugt. In dem mit B/P der oberen Kurve von Fig. 5 angedeuteten Übergangsbereich werden Blasen mit Löchern gebildet. Jenseits des Übergangsbereichs wird die Information in Form von Öffnungen in den Schichten 20 und 24 gemäß Fig. 3 aufgenommen.
In dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger werden Informationen so aufgezeichnet, daß sich an der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers eine ausreichend große Höhenunterschiede zeigende Topographie ergibt, die zum Herstellen
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von Doppeln bzw. zum Vervielfältigen geeignet ist. Von der auf erfindungsgemäße Weise gespeicherten Information können daher mit Hilfe von Standardverfahren Abzüge hergestellt werden. In Fig. 6 wird der Schnitt durch einen Aufzeichnungsträger 60 gezeigt, auf dem für die Vervielfältigung erforderlichem Schichten aufgebracht sind. Die Bezugszeichen der Schichten des Aufzeichnungsträgers und der Merkmale der gespeicherten Information stimmen mit denjenigen der Fig. 1 und 2 überein. Nach der Aufnahme der Information wird auf der Oberfläche 26 des Informationsträgers eine Deckschicht 62 gebildet, was durch Aufdampfen von Metallen, z.B. von Gold oder Kupfer oder durch stromloses Aufgalvanisieren eines Metalls, wie Nickel, erfolgen kann. Die hergestellte Deckschicht 62 soll eine elektrisch leitende, nadellochfreie, konforme Schicht bilden. In typischen Fällen kann diese Schicht etwa 30 bis 120 Nanometer dick sein.
Anschließend wird eine Masterschicht 64, z.B. durch Galvanisieren, auf der Deckschicht 62 erzeugt. Bevorzugt wird dabei eine Schicht aus Nickel oder Kupfer, zweckmäßig mit einer Dicke von etwa 200 bis 300 Mikrometern, so daß sich eine selbsttragende und spannungsfreie Schicht ergibt.
Die Masterschicht 64 wird anschließend zusammen mit der Deckschicht 62 von dem Aufnahmeträger getrennt, so daß eine Metall-Nachbildung bzw. ein Metall-Abdruck der gespeicherten Information entsteht, der eine zum Herstellen von Kopien der gespeicherten Informationen geeignete Topographie besitzt.
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Beispiel 5
Es wurden von einem Aufzeichnungsträger, der Informationen als Öffnungen oder Blasen gemäß den Beispielen 1 und 2 enthält, Abdrucke hergestellt. Dabei wurden die Proben mit einer Goldschicht von etwa 80 Nanometern Dicke durch. Aufdampfen und dann mit einer Nickelschicht von etwa 250 Mikrometern Dicke durch Galvanisieren beschichtet. Die Abdrücke wurden vom Aufzeichnungsträger getrennt und mit Hilfe eines Abtast-Elektronenmikroskops untersucht. Diese Prüfung zeigte, daß in jedem Fall eine getreue Nachbildung entstanden war.
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Claims (1)

  1. Dr.-lng. Reiman Kör.ig · Dipl.-!ng. Klaus Bergen Cecilienallee "76 A Düsseldorf 3Q Telefon 452DDB Patentanwälte
    1028532
    10. Oktober 1980 33 659 B
    RCA Corporation, 30 Rockefeiler Plaza, Mew York, N.Y. 10020 (V.St.A.)
    "Aufzeichnungsträger" Patentansprüche:
    Aufzeichnungsträger für ein mit Licht vorgegebener Wellenlänge arbeitendes, optisches Speicher-Lese-System mit einer Licht dieser Wellenlänge reflektierenden Schicht, mit einer für das Licht dieser Wellenlänge durchlässigen Schicht auf der reflektierenden Schicht und mit einer Licht dieser Wellenlänge absorbierenden Schicht auf der durchlässigen Schicht, dadurch gekennzeichnet , dai3 die durchlässige Schicht (20) dicker als etwa 10 Nanometer ist und aus einem bei mindestens 3000C unterhalb des Schmelzpunktes des Materials der absorbierenden Schicht (24) schmelzenden, zerfallenden und/oder sublimierenden Material besteht.
    Träger nach Anspruch 1 mit in einer Spur gespeicherter Information, dadurch gekennzeichnet , daß die Information aus einer Folge von Öffnungen (34) in der lichtdurchlässigen und der lichtabsorbierenden Schicht (20, 24) oder von Blasen (56) in der lichtabsorbierenden Schicht (24) besteht, wobei die Länge und/oder der gegenseitige Abstand (32, 52) aufeinanderfolgende Öffnungen (34) bzw. Blasen (56)
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    "2- 303:532
    entlang der Spur die Information repräsentiert.
    3. Träger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e kennzeichnet , daß die durchlässige Schicht (20) zwischen etwa 10 und 500 Nanometer dick ist.
    4. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis J, dadurch gekennzeichnet , daß die durchlässige Schicht (20) zwischen etwa 30 und 100 Nanometer dick ist.
    5. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 Ms 4, dadurch gekennzeichnet , daß die durchlässige Schicht (20) aus Magnesiumfluorid oder Bleifluorid besteht.
    6. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 "bis 5, dadurch gekennze lehnet , daß die das Licht absorbierende Schicht (24) etwa 2 bis 25 Nanometer dick ist.
    7. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß die das Licht absorbierende Schicht (24) aus Titan, Platin, Rhodium, Gold, Nickel, Chrom, Mangan oder Vanadium besteht.
    8. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die für das Licht durchlässige Schicht (20) aus Magnesiumfluorid und die das Licht absorbierende Schicht (24) aus Titan besteht.
    13001Ö/073.9
    BAD ORIGINAL
    -3- 303Γ532
    9. Verfahren zum Vervielfältigen einer auf einem optischen Aufzeichnungsträger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 Ms 8 mit Hilfe eines modulierten Lichtstrahls vorgegebener Wellenlänge gespeicherten Information, dadurch gekennzeichnet , daß mit Hilfe des modulierten Lichtstrahls eine Folge von Öffnungen (34) in der durchlässigen und in der absorbierenden Schicht (20. 24) oder von Blasen (56) in der absorbierenden Schicht (24) mit der Information entsprechender Länge und/oder entsprechendem gegenseitigem Abstand der Einzelöffnungen bzw. -blasen in dem Aufzeichnungsträger (30, 50) erzeugt wird, daß die die Öffnungen (34) oder Blasen (56) enthaltende, freigelegte Oberfläche (26) mit einer leitenden, konformen Kontaktschicht (62) bedeckt wird, daß auf die Kontaktschicht (62) eine Masterschicht (64) in einer ihr zusammen mit der Kontaktschicht (62) selbsttragende Eigenschaften verleihenden Stärke bzw. Dicke aufgebracht wird, und daß die Masterschicht (64) mit der anhaftenden Kontaktschicht (62) vom Aufzeichnungsträger (30) abgezogen wird.
    10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch ge kennzeichnet , daß die Kontaktschicht (62) aus Gold, Kupfer oder Nickel hergestellt wird.
    11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Masterschicht (64) aus Kupfer oder Nickel hergestellt wird.
    13Ü01Ö/0739
    BAD ORiGSNAt
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