DE3028309C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum
funkenerosiven Bearbeiten eines Werkstücks, mit einer
Spaltentladungsschaltung, die einen Impulsgenerator enthält
und Paare elektrischer Leiter aufweist, über die die
vom Impulsgenerator erzeugten Arbeitsstromimpulse an den
zwischen Elektrode und Werkstück gebildeten Arbeitsspalt
angelegt werden, wobei unvermeidliche Streukapazitäten in
der Spaltentladungsschaltung dadurch auftreten, daß die
Leiter eines jeden Paares gegeneinander und gegen Erde
isoliert sind. Eine solche Vorrichtung ist aus der DE-OS
27 35 403 und der DE-OS 28 24 086 bekannt.
In einem funkenerosiven Bearbeitungs(EDM)-Prozeß wird elektrische Energie von
der Strom- bzw. Spannungsversorgung in der Form diskreter
elektrischer Impulse an den mit einem Arbeitsfluid
oder einem flüssigen Dielektrikum (beispielsweise
Kerosin oder Leuchtöl, Transformatoröl, destilliertes
Wasser oder schwach leitendes Wasser) gefüllten Arbeitsspalt
gelegt, um eine Folge elektrischer Entladungen
zwischen der Werkzeugelektrode und dem Werkstück zu
bewirken, so daß Material vom Werkstück abgetragen wird.
Jede einzelne Entladung trifft auf den Bereich des Werkstückes
neben der Werkzeugelektrode auf der einen oder
anderen sehr kleinen lokalisierten Zone auf, wobei die
Zone impulsmäßig geschmolzen und/oder verdampft und dann
mechanisch von dem Werkstückbereich durch den Impuls-Entladungsdruck
entfernt wird. Aufeinanderfolgende und sich
wiederholende Entladungen werden verwendet, um die lokalisierte
Materialentfernung oder die Abtragung über dem
gesamten Werkstückbereich zu überstreichen, und führen zur
Entstehung von kumulativ überlappten Entladungskratern
darauf. Mit fortschreitender Materialabtragung rückt die
Werkzeugelektrode bezüglich des Werkstückes durch eine
Servo-Vorschubeinrichtung vor, die gestaltet ist, um den
Arbeitsspaltabstand im wesentlichen konstant zu halten,
so daß dadurch Materialabtragungsentladungen erfolgreich
hervorgerufen werden können. Die Werkzeugelektrode
im sog. Sink-EDM-Bearbeiten ist im allgemeinen mit der gewünschten
Konfiguration des Hohlraumes oder einer Form ausgestaltet,
die komplementär im Werkstück gewünscht
wird. Somit wird die ggf. neben dem Werkzeug liegende
gesamte Oberfläche über denjenigen Teilen hiervon
bearbeitet, die der Werkzeugelektrode gegenüberliegen,
und sie nimmt eine Konfiguration an, die mit der Form
der Werkzeugelektrode übereinstimmt. Beim Laufdraht-
oder Drahtschnitt-EDM-Bearbeiten, bei dem die Werkzeugelektrode
aus einer kontinuierlichen, axial verlaufenden,
länglichen, drahtähnlichen Elektrode besteht, oder
beim Abtast-EDM-Bearbeiten mit einem Stab oder einer ähnlichen
Elektrode mit einem relativ einfachen Bearbeitungsprofil
wird eine zwei- oder dreidimensionale Relativverschiebung
zwischen der Elektrode und dem Werkstück bewirkt,
um zu einer in gewünschter Weise geformten Konfiguration
in oder auf dem Werkstück entsprechend dem Weg
der Relativverschiebung zu führen. Die Verschmutzung des
Arbeitsspaltbereiches mit Spänen, Teer und Gasen,
die durch Bearbeitungsentladungen erzeugt sind, kann gereinigt
werden, indem kontinuierlich oder intermittierend
der Spalt mit einem frischen Arbeitsfluid gespült
wird, und/oder indem intermittierend oder zyklisch die
Werkzeugelektrode vom Werkstück zurückgefahren wird, damit
das frische Arbeitsmedium in den Arbeitsspalt
gepumpt werden kann und aus diesem die Bearbeitungsverschmutzungen
abgeführt werden können.
Parameter von einzelnen und aufeinanderfolgenden
elektrischen Entladungen oder von Arbeits-Stromimpulsen,
insbesondere die Impuls-Ein-Zeit τ ein und der
Spitzenwertstrom I p , bestimmen für eine gegebene Kombination
der Elektrodenmaterialien und anderer Bearbeitungseinstellungen
die Materialabtragungseigenschaften je Einzelimpulsabgabe
und damit die kritischen Bearbeitungsergebnisse,
d. h., die Abtragungsrate oder -geschwindigkeit,
die Oberflächenrauhigkeit und die relative Elektrodenabnutzung,
und müssen daher zusammen mit der Impuls-Aus-Zeit
eingestellt werden, um einen besonderen Bearbeitungszustand
aufzubauen, der zur Erzielung der gewünschten Bearbeitungsergebnisse
geeignet ist. Diese Parameter werden
einzeln in einer Impulsquellenschaltung in der Strom-
bzw. Spannungsversorgung oder in einem Impulsgenerator
eingestellt, der vorzugsweise vom Festkörper- oder Halb
leiter-Schalt-Typ ist.
Der Erfinder hat erkannt, daß in einer herkömmlichen
EDM-Maschine - wie genau auch die Einstellung dieser Parameter
in der Impulsquelle in der Strom- bzw. Spannungsversorgung
erfolgt - die Impulse verzerrt werden, während sie
erzeugt und zum Spalt durch die Spaltentladungsschaltung
übertragen werden. Der Erfinder hat nun beobachtet, daß
die Verzerrung zurückzuführen ist auf Streukapazitäten,
die notwendig verteilt sind in der Spaltentladungsschaltung
einschließlich eines Halbleiter-Leistungs-Schalt-Netzwerkes
zum Pulsen einer Gleichstromquelle, verschiedenen
Leitungen in der Strom- bzw. Spannungsversorgung, Kabeln,
die den Leistungsschalter mit der Spaltlage verbinden, und
Leitern, die von den Leistungskabeln wegführen, um direkt
die Werkzeugelektrode und das Werkstück zu speisen, sowie
auch in einem gewissen Ausmaß in Umgebungsschaltungseinheiten
für mechanische Anordnungen. Bisher wurde diesen
Streukapazitäten seitens der Strom- bzw. Spannungsversorgung
und der mechanischen Bauteile in elektrischen
Bearbeitungen wenig Beachtung geschenkt. Der Erfinder hat
nun erkannt, daß diese Streukapazitäten bedeutsame Einflüsse
haben, die bei den Eigenschaften eines Entladungsimpulses
nicht vernachlässigt werden können, der ggf. am
Arbeitsspalt entsteht.
Insbesondere werden Streukapazitäten im allgemeinen
erzeugt an den Berührungsflächen zwischen dem Emitter und
dem Körper eines Halbleiterbauelementes in der Schalteinheit
zum Pulsen einer Gleichstromversorgung zur Erzeugung
der Leistungsimpulse und zwischen den parallelen Leitern
in einer gedruckten Schaltungsplatte, Leitkabeln und an den
Teilen von Isolatoren für den Elektrodenlagerkopf und für
das Werkstücklager. Es hat sich gezeigt, daß die Streukapazitäten
insgesamt ca. 0,1 µF in herkömmlichen EDM-Maschinen
betragen. Der Erfinder hat erkannt, daß das Vorliegen
von derartigen Streukapazitäten eine bedeutsame
Ursache ist für eine Tendenz zum Spaltkurzschluß und zu
einer Lichtbogenbildung, zur Entstehung einer Bearbeitungsinstabilität,
zur Unfähigkeit, die Abtragungsgeschwindigkeit
anzuheben, zu einer übermäßigen Elektrodenabnutzung
und zu einer unbefriedigenden Qualität der bearbeiteten
Oberfläche.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Vorrichtung der eingangs vorausgesetzten Art zu entwickeln,
die eine bessere Bearbeitungsausführung, eine
erhöhte Abtragungsgeschwindigkeit, eine verringerte
Werkzeugabnutzung und eine verbesserte Qualität der
bearbeiteten Oberfläche ermöglicht; außerdem soll sie ein
feines Endbearbeiten mit einer extrem geringen Abnutzung
der Werkzeugelektrode gewährleisten.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst,
daß der Abstand zwischen wenigstens einem der Leiterpaare
oder zwischen einem der Leiter und Erde so groß
gewählt ist, daß der gesamte Streukapazitätswert der
Spaltentladungsschaltung auf höchstens 10 nF verringert
ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in
den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Die Erfindung betrifft also eine
Vorrichtung zum elektroerosiven Bearbeiten einer Werkstückelektrode
mit einer Werkzeugelektrode, wobei ein
Festkörper-Schalt-EDM-Generator eine Folge von Arbeitsstromimpulsen
an einem Arbeitsspalt, der zwischen
den Elektroden ausgeführt ist, die mit einem flüssigen
Dielektrikum, vorzugsweise destilliertem oder schwach
leitendem Wasser, gespült sind, durch eine Spaltentladungsschaltung
erzeugt. Der Gesamtwert der Streukapazitäten in
der Spaltentladungsschaltung ist auf einen Wert kleiner
als 10 nF, vorzugsweise höchstens auf 5 oder 1 nF
begrenzt, um den Anstieg eines Spitzenwertstromes an
der Vorderflanke jedes einzelnen Arbeitsstrom-Impulses
zu steuern.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 ein Signaldiagramm, das schematisch
einen Entladungs- oder Arbeits
strom-Impuls zeigt, der an einem EDM-
Spalt verzerrt aufgrund von Streukapazitäten
auftritt, die gewöhnlich in der
Entladungsschaltung in einer herkömmlichen
EDM-Maschine vorhanden sind,
Fig. 2 eine Kurve, die die Beziehung der Streukapazität
gegenüber der Abtragungsgeschwindigkeit
und der relativen Elektrodenabnutzung
aufgrund von Meßergebnissen in
einem EDM-Bearbeiten zeigt,
Fig. 3 eine schematische Darstellung einer EDM-
Spaltentladungsschaltung zur Erläuterung
der Erfindung,
Fig. 4 einen Aufriß, der schematisch einen Elek
troden-(Werkzeug- oder Werkstück-)Aufbau
nach der Erfindung zeigt,
Fig. 5 einen Aufriß einer Abwandlung des Ausführungsbeispiels
der Fig. 4,
Fig. 6 ein elektrisches Schaltbild einer EDM-
Spaltentladungsschaltung in der Form
einer Ersatzschaltung mit Streukapazitäten
sowie Streuinduktivitäten,
Fig. 7 ein Signaldiagramm, das schematisch
drei typische Entladungsstromimpulse
zeigt, die an einzelnen Teilen der
Ersatzschaltung mit den angenommenen
drei verschiedenen verteilten Streukapazitäten
entstehen, und ein zusammengesetztes
Impulssignal zeigt, das als Ergebnis
der Summation dieser Ströme ent
steht,
Fig. 8 ein Signaldiagramm, das schematisch
einen Rechteck-Entladungsstrom-Impuls
als ein Ausgangssignal eines pulsenden
Leistungstransistors zeigt, um ideal
zwischen die Werkzeug- und die Werkstückelektrode
am EDM-Spalt gelegt zu
werden,
Fig. 9 ein Signaldiagramm, das schematisch
einen zusammengesetzten Entladungs
strom-Impuls zeigt, der eine Addition
der Signale der Fig. 7 und 8 darstellt
und tatsächlich am EDM-Spalt in einer
herkömmlichen Vorrichtung vorliegt, und
Fig. 10 ein Schaltbild, das schematisch ein
Ausführungsbeispiel der Erfindung
darstellt, um eine Konstanz des Spitzenwertstromes
von Arbeitsstrom-Impulsen
unabhängig von einer Änderung im Betrag
der Streukapazitäten während eines
gegebenen Ablaufes einer Bearbeitung zu
gewährleisten.
In herkömmlichen EDM-Maschinen werden Streukapazitäten
im allgemeinen an den Grenzflächen zwischen dem
Emitter und dem Körper eines Halbleiterbauelementes in
der Schalteinheit zum Pulsen einer Gleichstromversorgung
und zwischen parallelen Leitern in einer den Schalter
und andere Schaltungselemente tragenden gedruckten Schaltungsplatte,
Leitkabeln und an den Teilen erzeugt, die
elektrisch den leitenden Elektrodenhalter und das Werkstücklager
von Erde isolieren. Insgesamt betragen diese
Kapazitäten 100 nF usw. Dagegen wurde erkannt, daß eine
am Arbeitsspalt erzeugte Impulsentladung einen verzerrten
Stromverlauf aufweist, wie dies in Fig. 1 gezeigt
ist. Der Erfinder hat nun ermittelt, daß dies auf dem Vorliegen
dieser Streukapazitäten beruht, die zwingend in
der Spaltentladungsschaltung vorhanden sind. In Fig. 1
ist dargestellt, daß der Impuls aufweist einen Teil eines
Spitzenwertstromes I p und einer Zeitdauer τ ein , der erzeugt
wird, wenn die Gleichstrom-EDM-Stromversorgung mittels
eines Ein-Aus-Schalters gepulst ist, und einen Teil
eines Spitzenwertstromes I p1 (=I p0+I p ) und einer Zeitdauer
τ ein1, der der Vorderflanke des Impulses aufgrund
dieser Streukapazitäten beigefügt ist. Der zusätzliche
Strom I p0, der auf den Spitzenwertstrom I p überlagert ist,
um den addierten Spitzenwertstrom I p1 zu erzeugen, und die
Zeit τ ein1 sind ausdrückbar durch:
mit
C = Streukapazität insgesamt,
L = Induktivität, und
E = Quellenspannung.
L = Induktivität, und
E = Quellenspannung.
Es ist zu sehen, daß I p1 und τ ein1 beide zunehmen,
wenn die Streukapazität C größer wird; ein Bearbeiten
mit einer großen Kapazität C hat einen großen Strom I p1,
was eine große Abweichung des effektiven Spitzenwertstroms
I peff von einem voreingestellten Wert I p bedeutet,
was wiederum eine merkliche Änderung in den Betriebseinstellungen
darstellt, um mit einem gewünschten Bearbeitungsergebnis
übereinzustimmen.
Beispielsweise ist die Oberflächenrauhigkeit gegeben
durch:
R = K R I peff 0,4 · τ ein 0,3, (3)
mit K R = konstant.
Die Abtragungsgeschwindigkeit ist gegeben durch:
W = K W I peff 1,4 · τ ein 1,1, (4)
mit K W = konstant.
Daraus folgt, daß momentane Änderungen in diesen gewünschten
EDM-Endfaktoren mit einer Änderung im effektiven
Spitzenwertstrom I peff hervorgerufen werden, der auf der
Addition von I p1 zum voreingestellten Wert I p beruht. Die
Änderung oder der Einfluß ist insbesondere in Endbearbeitungen
im allgemeinen und auch in Drahtschnitt- und anderen
EDM-Bearbeitungen im allgemeinen mit einer Wasser- (destilliert
oder schwach leitend) Arbeitsflüssigkeit groß,
die eine relativ hohe spezifische Dielektrizitätskonstante
aufweist.
In Fig. 2 ist eine durch Versuche erhaltene Kurve
gezeigt, die darstellt, wie eine Streukapazität EDM-
Endfaktoren beeinträchtigt. In dieser Figur ist die
Streukapazität in µF auf der Abszisse aufgetragen,
während die Abtragungsgeschwindigkeit in mg/min und
die relative Elektrodenabnutzung in Gew.-% auf der Ordinate
angegeben sind. Versuche wurden durchgeführt, um
ein eisenhaltiges Werkstück mit einer Kupferelektrode
und einem Wasser-Arbeitsfluid mit einem spezifischen
Widerstand von 4 · 10-4 Ohm · cm mittels Arbeitsimpulsen
zu bearbeiten, die durch Pulsen eines
Gleichstroms durch einen Transistorschalter erhalten
sind und eine Zeitdauer τ ein von 4 µs, ein Impulsintervall
τ aus von 6 µs und einen Spitzenwertstrom
I p von 10 A aufweisen. In der Fig. 2 stellt eine Kurve
A die Abtragungsgeschwindigkeit dar, die erhalten wird,
wenn die Elektrode positiv und das Werkstück negativ
gepolt sind, und die offenbar zunimmt, wenn die Streukapazität
abnimmt. Die Kurve C stellt die relative Elektrodenabnutzung
dar, die in diesem Fall vorliegt und die
abnimmt, wenn die Streukapazität abnimmt. Die Kurven B
und D zeigen in dieser Figur die Abtragungsgeschwindigkeit
bzw. die relative Elektrodenabnutzung, wenn die Elektrode
negativ und das Werkstück positiv gepolt sind, wobei beide
Kurven bezüglich einer Änderung in der Streukapazität
im wesentlichen konstant sind.
Aus der Fig. 2 ist zu ersehen, daß die Abtragungsgeschwindigkeit
A bei einer Polarität, in der die Elektrode
positiv gepolt und das Werkstück negativ gepolt
ist, die Abtragungsgeschwindigkeit B bei der entgegengesetzten
Polarität überschreitet, in der die Streukapazität
leicht unter 0,1 µF kommt. Die relative Elektrodenabnutzung
C in dieser einen Polarität wird durch die relative
Elektrodenabnutzung D in der entgegengesetzten
Polarität überschritten, in der die Streukapazität kleiner
als ca. 0,05 µF wird. Da die Kurven C und D grundsätzlich
bezüglich der Streukapazität konstant sind, ist
zu ersehen, daß es vorteilhaft ist, die Streukapazität
auf einen Wert nicht größer als ca. 0,01 µF für beide
Polaritäten zu begrenzen. Insbesondere werden in Bearbeitungen
der einen Polarität dann eine Abtragungsgeschwindigkeit
und eine relative Elektrodenabnutzung in
den größten bzw. kleinsten Bereichen erhalten. Wenn beispielsweise
die Streukapazität von 0,1 µF auf 0,01 µF
verringert wird, steigt die Abtragungsgeschwindigkeit
(Kurve A) etwa um einen Faktor 4 an, und die relative
Elektrodenabnutzung (Kurve C) wird auf etwa 1/10 verringert.
Die Zunahme in der Bearbeitungsleistungsfähigkeit
ist insbesondere bei Drahtschnitt- und bei anderen EDM-
Bearbeitungen bemerkenswert, die Wasser (destilliert oder
schwach leitend) für das Arbeitsfluid verwenden. Untersuchungen
an verschiedenen anderen Elektroden- und Werkstückmaterialien
haben grundsätzlich die gleiche Tendenz
gezeigt.
Es wurde beobachtet, daß mit Steigerung des auf der
Streukapazität C beruhenden addierten Stromes I p1 die
Tendenz zu Spaltkurzschluß und -lichtbogenbildung anwächst.
Dies verringert die Bearbeitungsstabilität und damit die
Abtragungsgeschwindigkeit und steigert weiterhin die Elektrodenabnutzung.
Es scheint, daß aufgrund des gesteigerten
Spitzenwertstromes I p1 eine größere Materialmenge geschmolzen
und von der Elektrode entfernt wird, was - gekoppelt
mit der verringerten Abtragungsgeschwindigkeit - vermutlich
die gesteigerte relative Elektrodenabnutzung bei einer
größeren Streukapazität verursacht, die in herkömmlichen
EDM-Maschinen vorhanden ist.
Hiervon ausgehend sieht die Erfindung
eine Vorrichtung zum funkenerosiven Bearbeiten vor,
wobei der gesamte (effektive) Wert der Streukapazitäten
in der Spaltentladungsschaltung, die mit dem Arbeitsspalt
einen Leistungsschalter zum Pulsen des Ausgangsstromes
einer Strom- bzw. Spannungsquelle verbindet, auf einen
Wert nicht größer als 10 µF und vorzugsweise höchstens
5 oder 1 nF begrenzt ist.
Fig. 3 zeigt eine EDM-Spaltentladungsschaltung zur
Erläuterung verschiedener Ausführungsbeispiele der Erfindung.
Eine Werkzeugelektrode 1 und eine Werkstückelektrode
2 sind nebeneinander vorgesehen, um dazwischen einen
Arbeitsspalt G zu bilden. Der Spalt G ist mit einer
dielektrischen Flüssigkeit, vorzugsweise destilliertem
oder schwach leitendem Wasser, gespült, die als das EDM-
Arbeitsmedium dient und auch Späne, Teer und Gase abführt,
die im Arbeitsspalt G erzeugt sind, sowie den
zuletzt genannten Bereich im wesentlichen während des Ablaufes
eines EDM-Bearbeitens reinigt. Eine Folge
von Arbeitsimpulsen einer vorgewählten Impuls-(Strom-)
Dauer τ ein und eines Spitzenwertstromes I p wird durch einen
EDM-Impulsgenerator 3 erzeugt, der aufweist eine symbolisch
gezeigte Einheit von Leistungstransistoren und eine
oder mehrere gedruckte Schaltungsplatten, Drahtleitungen
und andere nicht gezeigte Schaltungsbauteile. Der Generator
3 hat einen ersten Ausgangsanschluß, der elektrisch mit der
Werkzeugelektrode 1 über ein Kabel 4 a und einen Elektrodenanschluß
5 a verbunden ist, der auf der Oberfläche einer elektrisch
leitenden Werkzeughaltespindel 5 liegen kann, wie
dies dargestellt ist. Der andere Ausgangsanschluß des Generators
3 ist elektrisch mit dem Werkstück 2 über ein Kabel
4 b und einen Werkstückanschluß 6 a verbunden, der auf einem
elektrisch leitenden Arbeitstisch 6 angebracht ist, auf
dem das Werkstück 2 fest vorgesehen ist. Die Werkzeughaltespindel
5 ist mechanisch gekoppelt und über einen elektrischen
Isolator 7 verbunden mit einem Stößel 9 der Maschine,
der geerdet ist, während der Arbeitstisch 6 mechanisch gekoppelt
und über einen elektrischen Isolator 8 mit einem
geerdeten Gestell 10 der Maschine verbunden ist. Der EDM-
Generator 3 ist auch geerdet.
Die obige Anordnung kann so aufgebaut sein, daß der
effektive Wert der Streukapazität zwischen der Werkzeugelektrode
1 und dem Werkstück 2 nicht größer als 10 nF
ist und vorzugsweise höchstens 5 oder 1 nF beträgt.
In der herkömmlichen EDM-Maschine betragen die Streukapazitäten,
die auf der Isolation des Elektrodenlagers
5 und des Arbeitstisches 6 gegenüber Erde beruhen, beide höchstens
2000 pF (2 nF); jedoch sind die im Generator 3
und den Kabeln 4 a und 4 b vorhandenen Streukapazitäten beträchtlich
groß. Es sei beispielsweise von einer gedruckten
Schaltungsplatte mit einer Dicke (Standarddicke) von 0,6 mm,
einer spezifischen Dielektrizitätskonstanten ε r mit dem
Wert 8 und einem nebeneinanderliegenden Bereich zwischen
deren Hauptleitung und Erde von 10 cm² ausgegangen; dann beträgt
die Streukapazität C₁ ca. 45 pF, und wenn dreißig (30)
ähnliche gedruckte Schaltungsplatten verwendet werden, so
weist deren gesamte Streukapazität C₁ etwa 1500 pF auf. Die
zwischen einem geschirmt verdrahteten Leistungstransistor
3 und den Ausgangskabeln 4 a, 4 b erzeugte Streukapazität C₂
beträgt 200 pF; wenn dreißig (30) Leistungstransistoren
insgesamt verwendet werden, beträgt sie insgesamt 6000 pF.
Die gleiche Anzahl von Leistungstransistoren, die zwangsläufig
eine Kapazität von 50 pF je Einheit besitzen, führt
zu einer gesamten Streukapazität C₃ von 1500 pF. Weiterhin
liefern die Kabel 4 a und 4 b, die eine Streukapazität
von 500 pF aufweisen, eine gesamte Streukapazität C₄ von
1000 pF, während andere Leiter und Drähte im Generator 3
eine Streukapazität C₅ von 2000 pF an ihren Abständen erzeugen.
Somit ist im Impulsgenerator 3 mit dem Ausgangskabel
4 a und 4 b eine Gesamtkapazität von C₁+C₂+C₃+C₄
+C₅=12 nF zwangsläufig vorhanden. Dieser Betrag
wird weiter durch ca. 20 nF gesteigert, wenn die Kabel
4 a und 4 b vorzugsweise geschirmt verdrahtet sind, um die
Leistungstransistoren 3 mit dem Elektrodenlager 5 und dem
Arbeitstisch 6 zu verbinden. Mit den mechanischen Teilen
7, 9; 8, 10 einschließlich, die direkt der erregten Werkzeugelektrode
1 und dem Werkstück 2 zugeordnet sind, ist
zu ersehen, daß eine Streukapazität von über 20 nF insgesamt
zwangsläufig in der Spaltentladungsschaltung bei
der herkömmlichen EDM-Maschine vorliegt.
Die in der Kurve der Fig. 2 niedergelegte Erkenntnis
zeigt nun, warum die herkömmlichen EDM-Spalt-Schaltungsanordnung
mangelhaft ist, was auf die große, zwangsläufig
vorhandene Streukapazität zurückzuführen ist (vgl. oben).
Erfindungsgemäß wird eine stark gesteigerte Bearbeitungsleistungsfähigkeit
erreicht, indem die Streukapazität insgesamt
in der gesamten Spaltentladungsschaltung auf nicht
mehr als 10, 5 oder 1 nF begrenzt wird. Dies kann
beispielsweise erfolgen, indem die Dicke einer gedruckten
Schaltungsplatte und der Abstand zwischen Leitern darauf
im Impulsgenerator 3 gesteigert wird, indem der Abstand
zwischen deren jeweils mit den Elektrodenanschlüssen 5 a und 6 a
verbundenen Ausgangskabeln 4 a und 4 b erhöht wird, und indem
die Dicke von einem oder von beiden Isolatoren 7 und 8
vergrößert wird, die die Leiter 5 und 6 von Erde trennen,
so daß das Erfordernis einer Gesamtkapazität von höchstens
10 nF, vorzugsweise 5 nF und noch vorzugsweiser
1 nF in der gesamten Spaltentladungsschaltung erfüllt
werden kann. Wenn beispielsweise die Spaltentladungsschaltung
eine so auf 200 pF (0,2 nF) verringerte
Streukapazität aufweist, um ein End- oder Oberflächenbearbeiten
für eine Oberflächenrauhigkeit von 3 µ R max
auszuführen, so hat sich gezeigt, daß die relative Elektrodenabnutzung
kleiner als 3% ist. Im Vergleich hierzu
beträgt die entsprechende relative Elektrodenabnutzung
mit einer herkömmlichen Spaltentladungsschaltung, die
zwangsläufig eine gesamte Streukapazität von 20 nF aufweist,
200% bis 300%. Daraus ist zu ersehen, daß die erfindungsgemäße
Vorrichtung das Endbearbeiten mit einem extrem
verringerten Anteil der Werkzeugelektrodenabnutzung
ermöglicht und somit einen feinen und genauen Betrieb ohne
Abnutzung erlaubt.
In Fig. 4 ist eine Arbeitstischlager- und Erdungsanordnung
gezeigt, die als Teil der allgemeinen Anordnung
der Fig. 3 nach der Erfindung verwendbar ist, wobei die
Streukapazität in diesem Teil auf höchstens 100 pF verringert
ist. In der gezeigten Anordnung wird ein elektrisch
leitender (Metall-)Arbeitstisch 11 durch ein Kabel 4 b von
einem EDM-Impulsgenerator 3 gespeist, um seinerseits ein
elektrisch leitendes Werkstück (nicht gezeigt) zu speisen,
das fest darauf durch eine mechanische, Vakuum-, magnetische
oder ähnliche (nicht gezeigte) Befestigungseinrichtung angebracht
ist. Der Arbeitstisch 11 ist auf mehreren parallelen
Pfosten 13 eines elektrisch leitenden Materials (Metall)
gelagert, von denen jeder in eine entsprechende hohle Hülse
12 eines isolierenden Materials, wie beispielsweise Glas,
Harz oder Stein, schraubbar ist bzw. in diesen beweglich
oder fest aufgenommen wird, wobei diese Hülse 12 ihrerseits
fest in einem entsprechenden Block 14 eines elektrisch leitenden
Materials (Metall) enthalten ist. Die Blöcke 14 sind
ihrerseits auf einer elektrisch leitenden (Metall-)Platte
15 in Berührung hiermit gelagert. Die Platte 15 ist ihrerseits
gerade wie der Tisch 11 durch weitere parallele Pfosten
17 eines elektrisch leitenden Materials (Metall) gelagert,
deren jeder in eine entsprechende hohle Hülse 16
eines isolierenden Materials, wie beispielsweise Glas, Harz
oder Stein, verschraubbar ist bzw. darin beweglich oder fest
aufgenommen wird, wobei diese Hülse ihrerseits fest in einem
entsprechenden Block 18 eines elektrisch leitenden Materials
(Metall) enthalten ist. Die Blöcke 18 sind ihrerseits auf
einer metallischen Grundplatte 19 gelagert, die in der dargestellten
Weise geerdet ist.
Die Hülsen 12 und 16 liefern relativ schmale Isolationsbereiche
und können so die Streukapazitäten in der
Vorrichtung auf einen Mindestwert verringern. Weiterhin
kann der Abstand zwischen dem Werkstück-Speisetisch 11
und Erde beträchtlich gesteigert werden. Die Anordnung der
gestuften Isolatoren 12, 16 ist daher insbesondere vorteilhaft,
um die Kapazität in dieser Lage auf einen Mindestwert
zu verringern, ohne praktisch die mechanische Stärke der
Werkstücklagerung herabzusetzen. Die in Reihe liegende zweistufige
Anordnung (vgl. Fig. 4) einer Isolationseinheit 12,
16 halbiert die Gesamtkapazität. Mehr als zwei Stufen einer
Isolation können verwendet werden, um weiter die Gesamtkapazität
herabzusetzen. Jedes starre Isoliermaterial ist
verwendbar, um die Hülsen 12 und 16 aufzubauen; Stein oder
Keramik sind besonders vorteilhaft.
Fig. 5 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung,
das dazu dient, die Kapazität an den Teilen in
der Spaltentladungsschaltung zu begrenzen, an denen die
Werkzeugelektrode 1 und das Werkstück 2 elektrisch durch
den Impulsgenerator leitend und von Erde getrennt sind. Bei
diesem Ausführungsbeispiel ist ein elektrisch leitender
Hauptarbeitstisch 20 durch mehrere Isolatoren 21 gelagert,
die diesem von der geerdeten Maschinenunterlage 19 elektrisch
isolieren. Weitere Isolatoren 23 bleiben auf dem
Hauptarbeitstisch 20 und lagern einen elektrisch leitenden
Hilfsarbeitstisch 22, um dazwischen eine elektrische Isolation
zu erzeugen. Das Werkstück 2 ist auf
dem Hilfsarbeitstisch 22 durch mehrere elektrisch leitende Klemmen
befestigt, von denen eine in der dargestellten Weise
mit einem Kabel 4 b vom Impulsgenerator 3 der Fig. 2 verbunden
ist. Die Isolatoren 23 sind am Hauptarbeitstisch 20 mittels
einer Klemmeinheit 24 festgelegt.
Die zweistufige Isolation halbiert hier wieder die Gesamtkapazität
in der Arbeitstisch-Lagerung und Erdung. Der Hilfsarbeitstisch
22 ist lösbar über dem Hauptarbeitstisch 20
angebracht. Durch diese Anordnung kann die Hilfseinheit
22, 23 wahlweise auf der Haupteinheit 20, 21 befestigt
werden, wenn eine End- oder Oberflächen-EDM-Bearbeitung
am Werkstück 2 vorgenommen werden soll, um die Gesamtkapazität
der Vorrichtung auf einen Mindestwert zu verringern.
Wenn ein rohes EDM-Bearbeiten durchgeführt werden soll,
ist der Einfluß der Streukapazität in der Spaltentladungsschaltung
auf Bearbeitungsentladungsimpulse klein; dann
kann das Werkstück direkt auf der Hauptleitungs- und
Isoliereinheit 20, 21 angebracht werden, wobei die Klemmeinheit
24 mit dem Kabel 4 b vom Impulsgenerator
3 verbunden ist.
Direkt oberhalb des Werkstücks 2 ist eine Werkzeugelektrode
1 gezeigt, die neben einem elektrisch leitenden
Hilfselektrodenhalter 29 liegt und durch diesen
getragen ist, wobei der Halter 29 an ein Kabel 4 a vom Impulsgenerator
3 angeschlossen ist. Der Hilfselektrodenhalter
29 ist mit einem elektrisch leitenden Hauptelektrodenhalter
27 über eine Isolierplatte 30 gekoppelt, die dazwischen
eine elektrische Isolation erzeugt. Der Hauptelektrodenhalter
27 ist mit einem elektrisch leitenden Stößel
26 durch eine Isolierplatte 31 gekoppelt, die dazwischen
eine elektrische Isolation erzeugt, wobei der Stößel
26 geerdet ist. Auch hier halbiert die zweistufige Isolation
die Gesamtkapazität in der Elektrodenlagerung und
Erdung. Der Hilfshalter 29 ist lösbar unterhalb des Haupthalters
27 befestigt. Durch diese Anordnung kann die Hilfseinheit
29, 30 wahlweise an der Haupteinheit 27, 31 befestigt
werden, wenn ein End- oder Oberflächen-EDM-Bearbeiten
durchgeführt werden soll, um die Werkzeugelektrode 1
so zu führen, daß die Gesamtkapazität in der Vorrichtung
auf einen Mindeswert verringert ist. Wenn eine rohe EDM-
Bearbeitung ausgeführt wird, kann die Werkzeugelektrode 1
direkt durch die Hauptleitungs- und Isoliereinheit 27, 31
getragen werden, wobei der Haupthalter 27 an das Speisungskabel
4 a vom Impulsgenerator 3 angeschlossen ist.
In der Anordnung der Fig. 5 können mehr als zwei Isolationsstufen
auf jeder Werkzeugelektroden- und Werkstückseite
vorgesehen werden, um weiter die Gesamtkapazität zu
verringern. Der Isolator 21, 23, 30, 31 kann aus jedem starren
Isolierstoff bestehen und weist vorzugsweise Keramik
oder Stein auf.
Erfindungsgemäß wird die gesamte Streukapazität im Impulsgenerator
einschließlich der Ausgangskabel und die
Streukapazität auf der Elektroden- und Werkstück-Erdungsseite
auf 100 pF bzw. 10 pF verringert. Wenn mit dieser
Spaltentladungsschaltung ein Bearbeiten durchgeführt wird,
um zu einer Oberflächenrauhigkeit von 3 R max zu führen, so
betragen die Abtragungsgeschwindigkeit 0,012 g/min und die
relative Elektrodenabnutzung 3%. Mit einer herkömmlichen
Spaltentladungsschaltung betragen sie für den gleichen Ober
flächen-Rauhigkeitszustand 0,003 g/min bzw. 130%.
Die Tatsache, daß ein extrem feines Oberflächen-
oder End-EDM-Bearbeiten, das eine Oberflächengüte von
1 bis 3 R max erlaubt, unter einem abnutzungsfreien Zustand
mit einer geringen relativen Abnutzung von 3% erfolgreich
erhalten wird, ist tatsächlich hinsichtlich des
bestehenden Vorurteiles bemerkenswert, daß dies praktisch
unmöglich sei. Daher zeichnet sich die Erfindung durch
einen äußerst hohen praktischen Nutzen aus.
Fig. 6 zeigt ein Ersatzschaltungsbild mit verteilter Impedanz
der EDM-Spalt-Entladungsschaltung einschließlich
der Werkzeugelektrode 1 und des Werkstückes 2 nebeneinander
am Arbeitsspalt G und des EDM-Impulsgenerators
3 vom Halbleiter- und insbesondere Transistorschalt-Typ,
der auch als unabhängige Strom- bzw. Spannungsversorgung
in der EDM-Technik bezeichnet wird. Wie bereits oben erwähnt
wurde, kann ein derartiger Impulsgenerator eine
Gleichstromquelle und einen Halbleiterschalter aufweisen,
beispielsweise eine Reihe von parallel verbundenen Transistoren,
deren Hauptelektroden (d. h. Emitter und Kollektoren)
vorzugsweise in Reihe mit der Gleichstromquelle und
dem Bearbeitungsspalt G verbunden sind, während deren
Steuerelektroden (d. h. Basisanschlüsse und Emitter) durch
einen Signalimpulsgenerator, z. B. einen Multivibrator, erregbar
sind, der eine Folge von Schalt- oder Signalimpulsen
erzeugt, so daß der Schalter abwechselnd ein- und ausgeschaltet
wird und der Ausgang der (Gleichstrom-)Quelle intermittierend
"gepulst" ist, um eine Folge von Arbeitsimpulsen
am EDM-Spalt G zu erzeugen. Als Ergebnis wird eine
elektrische Entladung mit vorgewählten Parametern, d. h.
einem Spitzenwertstrom und einer Zeitdauer, die grundsätzlich
an einstellbaren Einstellungen im Impulsgenerator 3
voreingestellt sind, intermittierend und wiederholt durch
den EDM-Spalt G hervorgerufen. Die Bezeichnung "Spaltentladungsschaltung"
wird hier verwendet, um einen Generator
und eine Spaltschaltung einschließlich aller Schaltungsbauteile
anzugeben, die zwangsläufig Streukapazitäten enthalten,
die die Eigenschaften einer funkenerosiven Bearbeitung
beeinträchtigen, abgesehen vom Voreinstellen der
Parameter an diesen einstellbaren Quellenteilen. Derartige
Streukapazitäten sind an verteilten Kapazitäten C₁, C₂ und
C₃ im Ersatzschaltbild der Spaltentladungsschaltung zusammen
mit verteilten Streuinduktivitäten L₁, L₂ und L₃ dargestellt,
wobei jedes Paar einer Kapazität und einer Induktivität, nämlich
C₁ und L₁, C₂ und L₂ sowie C₃ und L₃ einen Dämpfungsoszillator
bildet. Wenn eine gesamte Streukapazität von 15 nF
in der gesamten Spaltentladungsschaltung vorhanden ist,
so ist es zweckmäßig, daß C₁=3 nF, C₂=5 nF,
C₃=7 nF, L₁=0,1 µH, L₂=L₃=1 µH angenommen
werden. Es ist dann zu ersehen, daß die drei LC-Netzwerke
mit Frequenzen von 50 MHz, 14 MHz bzw. 11 MHz mit den drei
einzelnen Stromverläufen A₁, A₂ bzw. A₃ schwingen, die
summiert oder addiert werden, um ein zusammengesetztes Signal
A am Bearbeitungsspalt G zu erzeugen, wie dieses schematisch
in Fig. 7 gezeigt ist. Das zusammengesetzte Signal A hat den
Spitzenwertstrom I p0, der bis zu 9 A beträgt und dessen Zeitdauer
τ ein1 0,5 bis 1 µs aufweist, wenn die (Gleichstrom-)
Quelle des Impulsgenerators 3 eine Ausgangsspannung von 90 V
besitzt. Das zusammengesetzte Signal A wird zum Rechecksignal
B addiert, das am Spalt G auftritt, wenn für die Streukapazität
in der gesamten Spaltentladungsschaltung der Wert Null
angenommen wird, um ein tatsächliches Signal zu erzeugen,
wie dieses durch jeden der verzerrten Impulse D in Fig. 9
dargestellt ist, worauf bereits oben im Zusammenhang mit der
Fig. 1 eingegangen wurde.
Oben wurde darauf hingewiesen, daß EDM-End-Parameter,
wie die Gleichungen (3) und (4) für die Oberflächenrauhigkeit
R und die Abtragungsgeschwindigkeit W und auch in der
Fig. 2 gezeigte Versuchsergebnisse darlegen, wesentlich
durch das Vorliegen von einer Änderung im effektiven
Spitzenwertstrom I peff sowie in der effektiven Impulsdauer
τ ein beeinflußt werden. Wenn so eine Verschiebung
in den Werten dieser Eingangsparameter aufgrund des Vorliegens
von Streuinduktivitäten in der Spaltentladungsschaltung
vorhanden ist, kann ein gewünschtes Bearbeitungsergebnis
nicht erzielt werden. Der Erfinder hat nun weiterhin
erkannt, daß eine derartige Verschiebung sogar mit einem
gegebenen Schaltungsaufbau und so während eines gegebenen
Ablaufes einer Bearbeitung aufgrund einer Änderung in der
Elektrodengröße, dem nebeneinanderliegenden Elektrodenbereich,
dem Elektrodenmaterial, der Temperatur des Dielektrikums,
dem Grad der Verschmutzung des Dielektrikums, der wirksamen
Anzahl der Schalttransistoren in der Entladungsschaltung
usw. auftreten kann.
In Fig. 10 ist eine EDM-Strom- bzw. Spannungsversorgung
nach einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung
gezeigt, mit dem eine Änderung in der Streukapazität in
der Spaltentladungsschaltung während eines gegebenen Ablaufes
einer Bearbeitung wirksam kompensiert wird. Die Strom-
bzw. Spannungsversorgung hat eine Gleichstromquelle 35 und
eine Transistorschalteinheit 36, die zusammen den mit der
Werkzeugelektrode 1 und dem Werkstück 2 verbundenen Impulsgenerator
bilden. Die Gleichstromquelle 35 kann hier ihre
Ausgangsspannung abhängig von einem Steuersignal ändern,
wie dies weiter unten näher erläutert wird. Die Spaltentladungsschaltung
umfaßt einen Fühlerwiderstand 37 zum Überwachen
des durch den Arbeitsspalt G zwischen der Werkzeugelektrode
1 und dem Werkstück 2 fließenden Entladungsstromes.
Ein weiterer Fühlerwiderstand 38 liegt am Arbeitsspalt
G, um auf die Spaltspannung anzusprechen, und
ist zu einem Diskriminator 39 geführt, der ein "1"-Ausgangssignal
liefert, wenn jede Spaltentladung eingeleitet
wird, wenn der Leistungsträger 36 durch einen von
einem Signalquellen-Zeitgeber 36 a gelieferten Signalimpuls
eingeschaltet ist. Der zuletzt genannte Signalimpuls
oder ein "1"-Signal und das "1"-Ausgangssignal
des Diskriminators 39 geben - wenn sie beide vorliegen -
ein UND-Gatter 40 frei, um einen Zeitgeber 41 zu betätigen.
Der Zeitgeber 41 liefert dann einen kurzen Überwachungsimpuls,
der lediglich an einem Anfangsteil der
Spaltentladung auftritt, um dadurch ein Gatter 42 freizugeben,
so daß es auf den durch den Widerstand 37 erfaßten
Spaltraum lediglich während dieser Periode oder
Zeitdauer anspricht. Ein Mehrpegel-Diskriminator 43 (der
mehrere Schmitt-Trigger umfassen kann) mit mehreren darin
voreingestellten Schwellenwerten spricht auf den erfaßten
Spaltstrom an und erzeugt - wenn dieser den einen oder anderen
Schwellenwertpegel überschreitet - ein entsprechendes
Signal, das entlang seines gegebenen Kanales 44 an einem
der Gleichstromquelle 35 zugeordneten Betätigungsglied
45 liegt.
Der oben beschriebene zusätzliche Spitzenwertstrom
I p0 tritt in einer Anfangsperiode τ ein1 jeder Spaltentladung
D (vgl. Fig. 9) als Ergebnis der Tatsache auf,
daß die elektrostatische Energie, die während des Impulsintervalls
τ aus in einer Streukapazität (Kondensator)
in der Spaltschaltung gespeichert wurde, durch den
Arbeitsspalt G entladen wird, wenn der Leistungsschalter
36 eingeschaltet ist. Somit hängt der erhöhte effektive
Spitzenwertstrom I peff oder I p1=I p0+ I p , der so in
der anfänglichen Impulsperiode τ ein1 entwickelt wird, vom
tatsächlichen Wert der Streukapazität ab und verändert sich
mit diesem. Der Mehrpegel-Diskriminator 43 kann auf die
unterteilten Bereiche der Größe des anfänglichen Spitzenwertstromes
I peff oder I p1 ansprechen und die Signale jeweils
entsprechend den überwachten Bereichen erzeugen.
Das Betätigungsglied 45 spricht auf diese Signale an
und wirkt auf die Spannungsquelle 35 so ein, daß - wenn
ein größerer anfänglicher Spitzenwertstrom I p0 erfaßt
wird - deren Ausgangsspannung auf einen gegebenen Wert
verringert werden kann, und daß - wenn ein kleinerer anfänglicher
Spitzenwertstrom I p0 erfaßt wird - deren Ausgangsspannung
auf einen größeren Wert erhöht werden kann.
Somit sollte die Ausgangsspannung der Gleichstromquelle
35 derart gesteuert werden, daß der effektive Spitzenwertstrom
I peff in der Anfangsperiode τ ein1 über aufeinanderfolgenden
Impulsen trotz während des Prozesses ablaufenden
Veränderungen im Wert der Streukapazitäten in der
Spaltentladungsschaltung im wesentlichen konstant gehalten
ist.
Die Erfindung ermöglicht so eine
Vorrichtung zum funkenerosiven Bearbeiten eines Werkstückes
mit einer Werkzeugelektrode, wobei eine erhöhte
Bearbeitungsleistungsfähigkeit insbesondere in der Abtragungsgeschwindigkeit,
der Oberflächenrauhigkeit, der relativen
Elektrodenabnutzung und der Bearbeitungsgenauigkeit
erzielt wird.
Claims (7)
1. Vorrichtung zum funkenerosiven Bearbeiten eines
Werkstücks,
mit einer Spaltentladungsschaltung, die einen Impulsgenerator enthält und Paare elektrischer Leiter aufweist, über die die vom Impulsgenerator erzeugten Arbeitsstromimpulse an den zwischen Elektrode und Werkstück gebildeten und mit einem Dielektrikum gefüllten Arbeitsspalt angelegt werden, wobei unvermeidliche Streukapazitäten in der Spaltentladungsschaltung dadurch auftreten, daß die Leiter eines jeden Paares gegeneinander und gegen Erde isoliert sind, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen wenigstens einem der Leiterpaare oder zwischen einem der Leiter und Erde so groß gewählt ist, daß der gesamte Streukapazitätswert der Spaltentladungsschaltung auf höchstens 10 nF verringert ist.
mit einer Spaltentladungsschaltung, die einen Impulsgenerator enthält und Paare elektrischer Leiter aufweist, über die die vom Impulsgenerator erzeugten Arbeitsstromimpulse an den zwischen Elektrode und Werkstück gebildeten und mit einem Dielektrikum gefüllten Arbeitsspalt angelegt werden, wobei unvermeidliche Streukapazitäten in der Spaltentladungsschaltung dadurch auftreten, daß die Leiter eines jeden Paares gegeneinander und gegen Erde isoliert sind, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abstand zwischen wenigstens einem der Leiterpaare oder zwischen einem der Leiter und Erde so groß gewählt ist, daß der gesamte Streukapazitätswert der Spaltentladungsschaltung auf höchstens 10 nF verringert ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Gesamtwert der Streukapazitäten in der Spaltentladungsschaltung
höchstens 5 nF beträgt.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Gesamtwert der Streukapazitäten in der Spaltentladungsschaltung
höchstens 1 nF beträgt.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Dielektrikum destilliertes oder schwach leitendes
Wasser ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Werkstück (2) auf einem elektrisch leitenden Arbeitstisch (11, 22) befestigt ist,
daß der Arbeitstisch (11, 22) über erste Isolatoren (12, 23) mit einer elektrisch leitenden Metallplatte (15, 20) verbunden ist, und
daß die Metallplatte (15, 20) über zweite Isolatoren (16, 21) mit der geerdeten, metallischen Grundplatte (19) der Vorrichtung verbunden ist.
daß das Werkstück (2) auf einem elektrisch leitenden Arbeitstisch (11, 22) befestigt ist,
daß der Arbeitstisch (11, 22) über erste Isolatoren (12, 23) mit einer elektrisch leitenden Metallplatte (15, 20) verbunden ist, und
daß die Metallplatte (15, 20) über zweite Isolatoren (16, 21) mit der geerdeten, metallischen Grundplatte (19) der Vorrichtung verbunden ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die elektrisch leitende Metallplatte (15, 20) als
Hauptarbeitstisch (20) ausgebildet ist, auf dem lösbar
unter Zwischenschaltung der ersten Isolatoren (23) ein
Hilfsarbeitstisch (22) befestigt ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Werkzeugelektrode (1) an einem elektrisch leitenden Hilfselektrodenhalter (29) befestigt ist, daß der Hilfselektrodenhalter (29) über eine erste Isolierplatte (30) mit einem elektrisch leitenden Hauptelektrodenhalter (27) lösbar verbunden ist, und daß der Hauptelektrodenhalter (27) über eine zweite Isolierplatte (31) mit der geerdeten, elektrisch leitenden Pinole (26) der Vorrichtung verbunden ist.
daß die Werkzeugelektrode (1) an einem elektrisch leitenden Hilfselektrodenhalter (29) befestigt ist, daß der Hilfselektrodenhalter (29) über eine erste Isolierplatte (30) mit einem elektrisch leitenden Hauptelektrodenhalter (27) lösbar verbunden ist, und daß der Hauptelektrodenhalter (27) über eine zweite Isolierplatte (31) mit der geerdeten, elektrisch leitenden Pinole (26) der Vorrichtung verbunden ist.
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