DE3025477A1 - Elektronisches bauteil - Google Patents
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Description
Elektronisches Bauteil
Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil und insbesondere ein solches mit wenigstens einem piezoelektrischen
Resonator sowie das dazugehörige Herstellungsverfahren.
Das Bestreben nach einer rationellen Massenfabrikation und gleichzeitiger Senkung des Herstellungspreises hat zu den sogenannten
"monolithischen" Quarz-Resonatoren geführt, bei denen, wie es z.B. in den französischen Patentanmeldungen 78 33 349
und 78 33 350 beschrieben ist, das schwingende Teil und seine Halterung aus einem einzigen Stück bestehen. Bei einem derartigen
Resonator wird das schwingende Teil aus einem piezoelektrischen Plättchen ausgeschnitten , ohne jedoch von ihm völlig abgetrennt
zu werden; im Bereich der nicht aktiven Zonen ist das schwingende Teil fest mit dem Plättchen verbunden, welches dergestalt eine
rahmenförmige Halterung bildet. Durch Metallabscheidung werden
anschließend auf das schwingende Teil die Elektroden aufgebracht, während der Rahmen metallische Streifen erhält, die die elektrische
Verbindung der Elektroden nach außen gewährleisten, sowie den endgültigen Lötanschluß vom Abdeckplättchen auf beiden Rahmenseiten,
wodurch eine ausgezeichnete Verkapselung erhalten wird.
Dieses Verfahren hat zur Möglichkeit der Massenherstellung von schwingenden Teilen geführt, die mit ihren Halterungen verbunden
sind und eine vorzügliche mechanische Widerstandsfähigkeit aufweisen. Jedoch müssen die individuellen Teile anschlisßend voneinander
getrennt werden zum Zwecke der Verkapselung, wodurch die Methoden der Massenherstellung einer Einzelbearbeitung weichen
müssen. Des weiteren konnten die Verfahrensschritte der Massenherstellung bisher nur auf einfache Bauteile angewendet werden
und nicht auf komplizierte Bauteile, die mehrere Resonatoren auf-
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weisen sowie andere integrierte elektronische Bauteile.
Diese Beschränkungen und insbesondere die Tatsache, daß die Einzelbearbeitung der Resonatoren während des Montierens und
der Endbearbeitung wenig rationell und sehr zeitaufwendig sind, lassen es wünschenswert erscheinen, neuartige elektronische Bauteile
zu schaffen, die monolithische Resonatoren aufweisen und die sich für die Massenherstellung eignen, auch wenn es sich
um komplizierte Bauteile mit mehreren Resonatoren sowie anderen integrierten Bauteilen auf demselben Plättchen handelt, so daß
damit hybride Schaltkreise hergestellt werden können.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es also, ein derartiges elektronisches Bauteil zu schaffen, bei dem die eingangs genannten
Nachteile vermieden sind, sowie ein geeignetes Herstellungsverfahren anzugeben.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit den im kennzeichnenden Teil der Ansprüche 1 und 12 angegebenen Merkmalen. Vorteilhafte Ausgestaltungen
sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert,
in der vorteilhafte Ausführungsbeispiele dargestellt sind. Es zeigen:
Figur 1 eine perspektivische Ansicht der Einzelteile eines erfindungsgemäßen Bauteils mit einem Stimmgabel-Resonator
vor dem Zusammenfügen;
Figur 2 dasselbe Bauteil nach dem Zusammenfügen;
Figur 3 das zusammengefügte Bauteil nach der Befestigung der Anschlußleiter;
Figur 4 ein Zwischenstück, das geeignet zur Massenfertigung der
in Figur 3 gezeigten Bauteile ist;
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Figuren
5 und 6
5 und 6
-8-
eine auseinandergezogene Ansicht eines fertigen erfindungsgemäßen
Bauteils mit zwei Resonatoren;
Figuren
7 und 8
7 und 8
den Fall einer Vielzahl von Resonatoren, die z.B. als Vielkanalfilter eingesetzt werden können;
Figur 9 ein erfindungsgemäßes Bauteil mit einem Resonator
und anderen diskreten elektronischen Teilen;
Figur 10 verdeutlicht das Herstellungsverfahren von Bauteilen
mit zwei verschiedenen und übereinandergelagerten Resonatoren;
Figur 11 eine auseinandergezogene Ansicht eines derartigen
Bauteils;
Figuren
12 und 13 das fertige Bauteil vor und nach der Befestigung der
Anschlußleiter und
Figuren
14 und 15
14 und 15
ein erfindungsgemäßes Bauteil , bei dem eine abschließende
Frequenzabstimmung mit Materialaufbringung erfolgt.
Ein erstes einfaches Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen
Bauteils mit nur einem Resonator ist in Figur 1 dargestellt. Das schwingende Teil 1, das hier die Form einer Stimmgabel aufweist,
jedoch auch jede andere ebene Form aufweisen kann, beispielsweise die eines Stabes und das jede geeignete Schwingungsform ausführen kann, wird einstückig mit seiner Halterung 2 aus
einem Plättchen 3 aus piezoelektrischem Material erhalten, beispielsweise aus monokristallinem Quarz, dessen Abmessungen bezüglich
der Vorzugsrichtungen eine Funktion der gewünschten Anwendung ist. Das Plättchen 3 bildet also um das schwingende Teil 1 eine
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302547? -ΡΑ·
rahmenförmige Halterung 2. Das schwingende Teil 1 ist mit den
herkömmlichen,nicht dargestellten Elektroden versehen, die durch an und für sich bekannte metallische Abscheidung aufgebracht
werden. Der Rahmen 2 ist auf seinen beiden Seiten mit einem metallischen Streifen versehen, der mit der zugehörigen Elektrode
verbunden ist,sowie mit einer Schicht einer metallischen Legierung
geringen Schmelzpunktes, die dem späteren Zusammenbau dient.
Der Resonator wird durch eine obere und untere Abschlußfläche vervollständigt.
Erfindungsgemäß bestehen diese beiden Flächen 4, aus zwei Plättchen aus einem elektrisch isolierenden Material
der gleichen Abmessungen wie das Plättchen 3. Vorzugsweise ist dieses isolierende Material optisch transparent um einen Laserstrahl
oder eine Wärmestrahlung durchzulassen. Obwohl Glas ein geeigneter Werkstoff ist, wird aus thermischen Ausdehnungsgründen
ein kristalliner Quarz mit gleichem Schnitt wie das Plättchen bevorzugt. In den als Deckel dienenden Abschlußflächen 4, 5 sind
für das schwingende Teil 1 Aussparungen 6 eingearbeitet, die den gleichen Umriß wie die rahmenförmige Halterung 2 für das
schwingende Teil aufweisen. Eine Schicht einer metallischen Legierung, wie beim Rahmen 2,ist um diese Aussparungen derart
angeordnet, daß sie einen analogen Rahmen 7 bildet. Um schließlich auf jeder Seite einen Teil der metallisiertenOberflache des
Plättchens 3 frei zu halten, ist jede der Flächen 4, 5 mit einem Ausschnitt 8 versehen und zwar vorzugsweise an gegenüberliegenden
Kanten bezüglich der Mittelachse des fertigen Bauteiles.
Das Zusammenfügen des als Resonator ausgestalteten Bauteils erfolgt
anschließend im Vakuum oder Teilvakuum in Gegenwart eines Edelgases, ia._dem die drei Plättchen 3, 4, 5 derart aufeinandergelegt
werden, daß sich die Rahmen gegenüberliegen. Die sich berührenden Plättchen werden anschließend auf eine Temperatur
erhitzt, die oberhalb des Schmelzpunktes der metallischen Legierung liegt und anschließend abgekühlt, bis sich diese Legierung
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wieder verfestigt.'Diese Behandlung wird vorteilhafterweise in
zwei Schritte unterteilt. Zuerst wird eine Abschlußfläche 4 oder am Halteplättchen für das schwingende Teil 1 befestigt. Anschließend
wird mittels der durch den Ausschnitt 8 freigelassenen Kontaktfläche und des metallischen Streifens auf der noch freien
Fläche des Plättchens 3 das schwingende Teil angeregt und elektrisch in Schwingungen versetzt, wodurch ein Abstimmen der
Frequenz durch Materialentfernung von der freien Fläche erfolgen kann, beispielsweise mittels eines Laserstrahls. Danach wird auf
gleiche Art und Weise die zweite Abschlußfläche 5 befestigt. Endgültige
Frequenzabstimmung und die üblichen Abschlußkontrollen können dann unter Ausnutzung der durch die Ausschnitte 8 freigelassenen
Kontaktflächen durchgeführt werden. An dem in Figur 2 dargestellten zusammengefügten Bauteil werden anschließend die
elektrischen Anschlußkontakte 9 angebracht, so daß das Bauteil die in Figur 3 gezeigte endgültige Form aufweist.
Bei der bisherigen Beschreibung des Resonators wurde davon ausgegangen,
daß die einzelnen Plättchen d.h. die Halterung für das schwingende Teil 1 oder die Abschlußflächen 4, 5 bereits ihre
endgültigen Abmessungen aufweisen und vor dem Zusammenfügen entsprechend bearbeitet worden sind. Diese Konzeption ist auch im
Hinblick auf einen Mehrschichtenaufbau besonders geeignet für die Massenherstellung in großen Serien. Diese Massenherstellung
eines derartigen Resonators ist in Figur 4 erläutert, in der die Einzelteile die gleichen Bezugszeichen wie vorher tragen.
In ein Plättchen 3 aus piezoelektrischem Material sind, wie oben beschrieben , eine Anzahl von schwingenden Teilen 1 ausgeschnitten,
während die Elektroden mit bestimmten Anschlüssen an die Leiterstreifen einen Rahmen 2 bilden und zwar auf beiden Seiten des
Plättchens 3. In den Abschlußflächen 3 und 4 und zwar auf ihren
Innenseiten sind entsprechend den Stellungen und den Abmessungen der Rahmen 2 des Plättchens 3 nicht durchgehende Aussparungen 6
vorgesehen. Ein einen Rahmen 7 bildender metallischer Streifen aus einer Legierung geringen Schmelzpunktes umgibt die Aussparungen
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An den Kanten eines jeden Rahmens 7 der Abschlußflächen 4 und werden dann Öffnungen 8 angebracht um den Zugang zu den Leitungsstreifen zu ermöglichen, die zu den schwingenden Teilen 1 des
Plättchens 3 gehören. Die Öffnungen 8 in jeder Abschlußfläche 4,
sind vorzugsweise so angeordnet, daß sie sich nicht gegenüberliegen wie es auch bei den oben erwähnten Ausschnitten 8 der Fall
ist.
Danach erfolgt der Zusammenbau der mit allen Einzelteilen versehenen
Plättchen 3, 4, 5 auf gleiche Art und Weise wie es im
Zusammenhang mit den Figuren 1 bis 3 beschrieben ist. Erst nach der endgültigen Frequenzabstimmung unter Verwendung der durch die
Öffnung 8 freigegebenen Teile des Plättchens 3 zum elektrischen
Anschluß werden die einzelnen Resonatoren durch Abtrennung von den anderen,z.B. mittels Sägen, erhalten, wodurch Bauteile entstehen,
die denjenigen von Figur 2 identisch sind. Anschließend erfolgt eine Einzelbearbeitung, wobei die Anschlußkontakte 9
angebracht werden, so daß das in Figur 3 gezeigte Bauteil erhalten wird.
Das vorstehend beschriebene Bauteil ist ein einfacher Resonator jedoch kann die gleiche Mehrschichten-Technologie auch genauso
gut zur Herstellung elektronischer Bauteile verwendet werden, die zwei zusammengehörige Resonatoren gleicher Frequenz oder
mehrere (m) Resonatoren unterschiedlicher Frequenz z.B. für den Einsatz als Vielkanalfilter aufweisen oder auch für Bauteile
verwendet werden, die wenigstens einen Resonator zusammen mit anderen diskreten elektronischen Teilen in derselben Hülle
aufweisen. Beispiele für derartige vielfältige Ausgestaltungen, die durch das gleiche Massenherstellungsverfahren erhalten werden,
wie es oben beschrieben ist, sind in den Figuren 5 bis 9 dargestellt.
Für diese im allgemeinen mehrere Resonatoren oder Einzelteile im gleichen Bauteil aufweisenden Ausführungsbeispiele gilt das
oben Gesagte analog, so daß nicht mehr sämtliche Einzelheiten be-
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schrieben werden.
Das in Figur 5 gezeigte Bauteil weist ein schwingendes Teil 1 mit seinem Rahmen 2 auf und auf dem gleichen Plättchen 3 ein
zweites schwingendes Teil 1' mit seinem Rahmen 2'. Die beiden
Rahmen 2 und 2' sind durch einennicht metallischen Bereich, d.h. durch eine isolierende Schicht, voneinander getrennt. Die zugehörigen
Abschlußflächen 4 und 5 weisen demzufolge zwei Aussparungen 6 und 61 auf sowie zwei Rahmen 7, 71, die durch
einen isolierenden Streifen voneinander getrennt sind. Das Gleiche gilt für die Ausschnitte 8, 8', die einen Teil der metallischen
Schicht der Rahmen 2, 21 des Plättchens 3 freigeben.
Der Zusammenbau erfolgt wie oben beschrieben um das in Figur 6 dargestellte endgültige Bauteil zu erhalten. Es ist deutlich,
daß das Verfahren der Massenherstellung von einzelnen Resonatoren sich ohne grundsätzliche Änderungen auf diesen Fall anwenden läßt.
Die Anwendung ist insbesondere interessant für Bauteile, die zwei Resonatoren gleicher Frequenz aber unterschiedlicher Dimensionsverhältnisse aufweisen, so daß sie gegeneinander versetzte
Inversionstemperaturen aufweisen, wie es zur thermischen Kompensation wünschenswert ist.
Der Fall von Bauteilen mit zwei Resonatoren kann ebenfalls ohne Schwierigkeiten auf eine beliebige Anzahl von Resonatoren ausgeweitet
werden, die nebeneinander angeordnet sind, wie es in den Figuren 7 und 8 dargestellt ist. In diesem Fall jedoch ist
es erforderlich zur Herstellung der Außenanschlüsse, daß die obere Abschlußplatte 4 ein wenig kleiner ist als die beiden anderen
Plättchen 3, 5, so daß das Ende des Metallstreifens des Plättchens
3 frei bleibt, analog den Ausschnitten 8 im vorhergehenden Fall; die sich kreuzenden Innenverbindungen sind ohne Schwierigkeiten
durch die bekannten Verfahren herstellbar, wie z.B. Isolierung durch Verdampfung von SiO0, Zerstäuben von SiO9, Al9O
oder TM2O1. oder Abscheidung aus der Gasphase geeigneter Verbindungen
auf dem Plättchen 3. Das fertige Bauteil ist in Figur
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-13-dargestellt und eignet sich insbesondere als Vielkanalfilter.
Figur 9 zeigt eine Draufsicht auf das Plättchen 3, das zu einem anderen erfindungsgemäßen elektronischen Bauteil gehört. Dieses
weist wenigstens einen Resonator 1 auf, während auf der übrigen freien Oberfläche des Plättchens 3 auf jede geeignete Art und
Weise andere diskrete Einzelteile angeordnet sind, z.B. ein integrierter Schaltkreis J sowie Kondensatoren C1 und C2. Das
Plättchen 3 kann demzufolge als Substrat verwendet werden, welches mit elektrischen Leitern in Dünnschichttechnik mit ihren Verbindungsstellen
versehen ist.
Es sei betont, daß das Massenherstellungsverfahren, wie es im
Zusammenhang mit isolierten Resonatoren beschrieben worden ist, ohne grundsätzliche Änderungen auch auf diejenigen Ausführungsbeispiele anwendbar ist, die in den Figuren 5 bis 9 dargestellt
sind.
Zum Vorstehenden sei betont, daß bei der Verwendung eines einzigen
piezoelektrischen Plättchens 3 z.B. aus monokristallinem Quarz, die erhaltenen monolithischen Resonatoren im gleichen fertigen
elektronischen Bauteil notwendigerweise den gleichen Schnitt aufweisen, z.B. X, Z, AT usw., des Plättchens 3. Die gleiche
Technik kann ohne besondere technologische Schwierigkeiten auf Bauteile ausgeweitet werden, die auch Resonatoren unterschiedlichen
Schnitts aufweisen, wobei in diesem Fall mehrere piezoelektrische Plättchen verwendet werden, die entsprechend
geschnitten sind und sich überlagern, wobei sie durch Zwischenplättchen voneinander isoliert sind und beide Enden des
Stapels mit einem Abschlußplättchen versehen sind. Mit η piezoelektrischen Plättchen (wobei η ganzzahlig und ~7- 1 ist) , deren
jedes zumindest ein schwingendes Teil aufweist, gelangt man zu einem fertigen Bauteil mit m monolithischen Resonatoren (m^ n^ 1),
deren piezoelektrische Plättchen durch η - 1 isolierende Plättchen voneinander getrennt sind, während die Gesamtanordnung sich
zwischen zwei isDlierenden Abschlußplättchen befindet.
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Figur 10 zeigt einen derartigen Zusammenbau mit fünf Schichten,
der gemäß dem beschriebenen Massenherstellungsverfahren für die einfachen Resonatoren erhalten wurde und dessen Einzelteile in
ausexnandergezogener Form in Figur 11 dargestellt sind; nach dem
Unterteilen des Plättchenstapels erhält man das in Figur 12 gezeigte Bauteil,während Figur 13 das fertige Bauteil mit den
Leiteranschlüssen darstellt. Um bei diesem Ausführungsbeispiel einen Zugang zur metallischen Schicht eines jeden piezoelektrischen
Plättchens 3, 3' von oben nach unten vorzusehen zur elektrischen Anregung des Resonators und zur endgültigen Befestigung der
Leiter (Figur 13), sind die Zwischenplättchen 10 und die Endflächen
4 und 5 jeweils mit zwei öffnungen an den- Kanten ihrer
Rahmen versehen, z.B. an den Enden einer Diagonalen für das Zwischenplättchen 10 und an den Enden einer langen Seite, die
in den beiden Fällen unterschiedlich ist für die Endflächen 4, 5.
Die piezoelektrischen Plättchen sind ihrerseits mit einer einzigen Öffnung in einem Winkel des Rahmens versehen, wobei die öffnung
der einen in dem Winkel vorgesehen ist, der demjenigen des anderen Rahmens gegenüberliegt. Damit ist sichergestellt, daß jedes
piezoelektrische Plättchen von oben und von unten zugänglich ist.
Das Zusammenfügen und die FrequenzabStimmung stellen keine besonderen
Probleme hinsichtlich des oben Gesagten für den ein fachen Fall. Derartige Bauteile eignen sich insbesondere für
Anwendungen mit thermischer Kompensation.
Die erfindungsgemäße Vielschichten-Technologie ermöglicht, zusätzlich
zu dem bereits Gesagten, zur Feinabstimmung der Frequenz die Anwendung eines Verfahrens, mit dem Material aufgebracht
wird als Alternative zu dem Verfahren, bei dem Material abgetragen wird. Ein derartiges Beispiel ist in den Figuren 14 und 15
dargestellt für ein einziges Bauteil, doch gilt dies auch für die Herstellung in großem Maßstab. Wie oben ausgeführt, befindet
sich das piezoelektrische Plättchen 3 mit seinem schwingenden Teil zwischen zwei Abschlußplättchen 4 und 5. Diese sind optisch
transparent, wobei ihre Aussparungen mit einer Schicht 11, 11' versehen sind aus verdampfbarem Metall hohen Dampfdrucks. Zwischen
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den Endplättchen 4, 5 und den piezoelektrischen Plättchen 3 sind zwei isolierende Plättchen 12, 12' vorgesehen, deren jede
mit einer nicht durchgehenden Aussparung 13 auf der Seite des schwingenden Teils versehen sind um diesem einen Freiraum zu
verschaffen, sowie mit einer herkömmlichen metallischen Legierung auf beiden Flächen versehen sind. In den Aussparungen sind
kalibrierte öffnungen 14 vorgesehen, die wenigstens teilweise im aktiven Bereich des schwingenden Teils enden. Die öffnungen
stellen also eine Verbindung zwischen dem Hohlraum für das schwingende Teil und den Aussparungen der Endflächen 4, 5 dar.
Das den Resonator aufweisende Bauteil wird anschließend wie in den vorhergehenden Fällen zusammengefügt und eine Grobabstimmung
der Frequenz vorgenommen, wie es bereits beschrieben wurde. Eine Feinabstimmung der Frequenz erfolgt anschließend ,
indem durch eine der beiden Abschlußflächen 4, 5 eine Wärmestrahlung
geschickt wird, die schematisch in Figur 15 mit 15 bezeichnet ist. Die Strahlung bewirkt ein Schmelzen und ein
Verdampfen des mit 11, 11' bezeichneten verdampfbaren Metalls
in den Endplättchen 4, 5. Der Dampf mit hohem Dampfdruck dringt
durch die als Blenden wirkenden Öffnungen und schlägt sich auf den aktiven Bereich des schwingenden Teils nieder. Dieser Prozess
des Verdampfens und Niederschlagens wird durch eine Frequenzmessung
und eine geeignete Steuerungstechnik entsprechend geregelt.
Die beschriebene Verwendung der Technologie monolithischer Resonatoren und der Vielschichtenaufbau weisen also viele Vorteile
auf, insbesondere die Möglichkeit einer Massenherstellung. Dabei sind auch andere Anwendungen möglich als die vorstehend
beschriebenen. Die Anzahl der schwingenden Teile pro Plättchen oder pro Bauteil kann verändert werden,sowie die Schnittrichtungen
der piezoelektrischen Materialien und es können auch andere elektrische Grundteile mit den Resonatoren verbunden werden,
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e e r s e
ite
Claims (16)
1. Elektronisches Bauteil mit m piezoelektrischen Resonatoren,
wobei m ganzzahlig und ^ 1 ist, dadurch gekennzeichnet, daß es aus einer Überlagerung gebildet ist von :
a) η Plättchen aus piezoelektrischem Material, wobei η ganzzahlig
ist und m ^ η $= 1 ist, deren jedes wenigstens
einen nicht geschlossenen Einschnitt aufweist, der einen Bereich darstellt, der das schwingende Teil bildet, sowie
einen Bereich, der die rahmenförmige Halterung bildet, mit der das schwingende Teil verbunden ist;
b) η - 1 Zwischenplättchen aus isolierendem Material, die die vorhergehenden voneinander trennen und deren jedes
mindestens eine Öffnung aufweist, die einen Rahmen gleicher Abmessungen wie diejenigen der angrenzenden piezoelektrischen
Plättchen, denen sie entsprechen, bilden;
c) zwei Abschlußplättchen aus isolierendem Material, die die Endflächen bilden und die in Dickenrichtung je wenigstens
eine nicht durchgehende Aussparung aufweisen, die einen Rahmen gleicher Abmessung wie die entsprechenden rahmenförmigen
Halterungen des angrenzenden piezoelektrischen Plättchens bilden;
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daß die schwingenden Teile mit Elektroden versehen sind, die mit Leiterstreifen auf ihrem Rahmen verbunden sind zum
elektrischen Anschluß, daß die Oberfläche eines jeden Rahmens mit einer Schicht aus Metall und/oder metallischer Legierung
versehen ist, und daß die Plättchen durch Lötverbindung der Legierung miteinander fest verbunden sind.
2. Bauteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das die Zwischenplättchen und Endplättchen bildende Material
optisch transparent ist.
3. Bauteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Material Glas ist.
4. Bauteil nach Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das sämtliche Plättchen bildende Material monokristalliner Quarz ist.
5. Bauteil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß alle Plättchen gleich geschnitten sind, so daß die Ausdehnungskoeffizienten
abgestimmt sind.
6. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei m = η = 1 ist, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Endplättchen einen
Ausschnitt aufweist, der den Zugang zum Leiterstreifen auf
dem Rahmen des schwingenden Teils ermöglicht und damit die Verbindung eines Anschlußdrahtes.
7. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei m = 2 und
η = 1 ist, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Resonatoren
gleiche Frequenz aufweisen, aber unterschiedliche Dimensionsverhältnisse aufweisen, so daß ihre Inversionstemperatüren
verschoben sind und damit eine thermische Kompensation ermöglichen.
030064/0891
8. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei η = 1 ist,
dadurch gekennzeichnet, daß es m "<?· 2 Resonatoren unterschiedlicher
Frequenz aufweist zur Verwendung als Vielkanalfilter.
9. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet,
daß es außerdem bzw. den Resonatoren wenigstens ein diskretes elektronisches Teil aufweist, das auf denselben
Plättchen wie der bzw. die Resonatoren befestigt ist und auf dem auch die elektrischen Anschlüsse als dünner Film
angeordnet sind.
10. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei η ^2 ist,
dadurch gekennzeichnet, daß die Plättchen,in die die Resonatoren eingeschnitten sind,unterschiedlich geschnitten sind.
11. Bauteil nach einem der Ansprüche 2 bis 9, wobei η = 1 ist,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den Plättchen mit dem oder den schwingenden Teilen und den Endplättchen Zwischenplättchen
vorgesehen sind, die mit Rahmen versehen sind und welche nicht durchgehende Aussparungen aufweisen zur Aufnahme
der aktiven Bereiche der schwingenden Teile sowie Öffnungen aufweisen, die als Maske den Elektroden gegenüberliegen
und daß die Aussparungen der Endplättchen mit einer Schicht eines verdampfbaren Metalls versehen sind.
12. Verfahren zur Herstellung von elektronischen Bauteilen gemäß
den Ansprüchen 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrischen Resonatoren durch Einschnitte in
Plättchen aus piezoelektrischem Material erhalten werden, wobei sie mit diesen Plättchen verbunden bleiben, so daß
letztere die Halterungen bilden durch Verbindungsbereiche, daß auf beiden Seiten des schwingenden Teils und auf beiden
Seiten der Plättchen ein Metall oder eine Legierung mit niedrigem Schmelzpunkt aufgebracht werden, welche die
Elektroden bilden bzw. damit verbundene metallisierte Leiterstreifen,
030064/0891
302547?
daß analoge metallische Leiterstreifen auf jeder Fläche der
Zwiechenplättchen und auf den Innenflächen der Abschlußplättchen
derartig aufgebracht werden, daß sie einen Rahmen um jede Öffnung bilden und um jede vorher in diese Plättchen
eingearbeiteten Aussparungen bilden, daß die Kanten eines jeden Rahmens mit Ausnahme derjenigen
der schwingenden Teile mit Öffnungen versehen werden um den Zugang von außen zu den mit den Elektroden verbundenen
Leiterstreifen zu gewährleisten, so daß freiliegende Kontaktflächen
entstehen,
daß die einzelnen Plättchen unter Vakuum oder Teilvakuum in Gegenwart eines trägen oder Edelgases zusammengefügt
werden, wobei sie sich in geeigneter Stellung berühren, und daß die Gesamtanordnung auf eine Temperatur gebracht
wird, die höher als die Schmelztemperatur der Legierung ist und anschließend bis zur Erstarrung der Legierung abgekühlt
wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Frequenzabstimmung für die Resonatoren durch Abtragung von
Material erfolgt unter Verwendung der frei liegenden Kontaktflächen für den elektrischen Anschluß und die Messung und
daß danach die Anschlußdrähte an diesen Flächen befestigt werden.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet,
daß eine vorläufige Frequenzabstimmung während des Zusammenfügens erfolgt und daß der erste Schritt dazu erfolgt, während
nur eine Endfläche befestigt ist, mittels Materialabtragung mit einem Laserstrahl auf der Fläche des schwingenden Teils,
die noch frei ist und daß der zveite Schritt erfolgt, wenn die zweite Endfläche befestigt ist.
03006A/0891
15. Verfahren nach Ansprüchen 12 oder 13 zur Herstellung von
Bauteilen gemäß Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß eine endgültige Frequenzabstimmung durch Materialauftrag auf die
Elektroden erfolgt, indem die Endplättchen eines jeden Bauteils einer Wärmestrahlung unterworfen werden, die eine
Verdampfung von Metall bewirkt, das in den Aussparungen der Endflächen vorgesehen ist, wobei sich der Dampf auf
den Elektroden durch die sie maskierenden Öffnungen niederschlägt.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15·, dadurch gekennzeichnet,
daß in jedes Plättchen eine Vielzahl identischer Teile eingearbeitet werden, die so angeordnet sind, daß sie
denjenigen der anderen Plättchen gegenüberliegen und insbesondere die schwingenden Teile mit ihren Elektroden und
Rahmen in den entsprechenden Plättchen,die Rahmen und Zugangsöffnungen
in den Zwischenplättchen und die Aussparungen mit ihren Rahmen und Zugangsöffnungen in den Endplättchen
sich gegenüberliegen, daß die Plättchen anschließend zusammengefügt werden und daß erst danach die Einzelteile
durch einen Sägevorgang voneinander getrennt werden und daß schließlich die Anschlußdrähte befestigt werden.
03006A/0891
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