DE3017481A1

DE3017481A1 - Halbleiterlaservorrichtung

Info

Publication number: DE3017481A1
Application number: DE19803017481
Authority: DE
Inventors: Takashi Kitamura
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1979-05-08
Filing date: 1980-05-07
Publication date: 1980-11-13
Also published as: US4366492A; JPS55148482A; GB2052139B; DE3017481C2; GB2052139A

Description

HalbIeiterlaservorrichtung

Die Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterlaservorrichtung, die ein Halbleiterlaserelement aufweist und die Funktion hat, einen Laserstrahl aus dem Halbleiterlaserelement herauszuleiten und gleichzeitig das Halbleiterlaserelement zu schützen.

Es war bislang üblich, eine Verpackung bzw. ein Gehäuse 1 (siehe Fig. 1) auf der Halbleiterlaservorrichtung vorzusehen, um schädlichen Umwelteinflüssen vorzubeugen, und den als Laserausgangssignal auftretenden Lichtstrahl durch ein optisches Fenster 2 in dem Gehäuse 1 herauszuleiten.

Da jedoch ein in der Vorrichtung benutztes Halbleiterlaserelement 3 einen Lichtstrahl von seinen beiden Enden aussendet, ergibt sich zwangsläufig ein Problem dadurch,, daß nur einer der beiden Lichtstrahlen und zwar

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- 6 - de 04&Q 17481 ein Frontstrahl 4 alleine durch das optische Fenster wie oben stehend erläutert herausgeleitet wird, der andere Lichtstrahl jedoch, nämlich ein Rückstrahl 5 in dem Gehäuse so reflektiert wird, daß er mit dem Frontstrahl 4 gemischt wird.

Wenn nun die Rückstrahlkomponente mit der Frontstrahlkomponente gemischt wird, entsteht ein Problem dadurch, daß_/wenn beispielsweise die Intensität des Lichtstrahles aus der Halbleitervorrichtung gemessen wird, keine genaue Bewertung möglich ist, da die Lichtintensität von Punkt zu Punkt der Messung an dem optischen Fenster unterschiedlich ist. Ferner ist es naheliegend, daß Geister- und weitere unerwünschte Phänomene in Abhängigkeit von der Ortsbeziehung der Vorrichtung zur Zeit ihrer Benutzung auftreten. Hierdurch entstehen Unzulänglichkeiten und Nachteile, wenn die Halbleiterlaservorrichtung allein verwendet wird, oder wenn sie als Aufzeichnungseinheit benutzt wird.

in Anbetracht dieser Tatsachen ist es deshalb Aufgabe der Erfindung, eine Halbleitervorrichtung zu schaffen, bei der die zuvor erläuterten Nachteile vermieden werden, die bei herkömmlichen Laservorrichtungen auftreten.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, eine verbesserte Halbleitervorrichtung zu schaffen, die weder Geisterbilder noch andere unechte Effekte aufgrund von Reflexionen des Rückstrahls in der Laservorrichtung produziert.

Ferner soll ein Bildaufzeichnungsgerät geschaffen werden, das diese verbesserte Halbleiterlaservorrichtung verwendet.

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Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen

Fig. 1 einen schematischen Längsschnitt durch eine bekannte Halbleiterlaservorrichtung

Fig. 2 einen schematischen Längsschnitt eines ersten Ausführungsbeispiels der Halbleiterlaservorrichtung

Fig. 3 einen schematischen Längsschnitt eines weiteren Ausführungsbeispiels der Halbleiterlaservorrichtung

Fig. 4 einen schematischen Längsschnitt eines

dritten Ausführungsbeispiels der Halbleiterlaservorrichtung

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht des Inneren

eines Laser-Aufzeichnungsgerätes und

Fig. 6 ein Blockschaltbild der Regelung des in

Fig. 5 gezeigten Laser-Aufzeichnungsgerätes.

Fig. 2 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel der Halbleiterlaservorrichtung. Eine aus Kupfer hergestellte Halterung 11 ist fest auf einer Grundplatte 10 angebracht,

die im allgemeinen aus einem Metall hergestellt ist und 30

eine kreisförmige Scheibenform hat. An der senkrechten Fläche 12 der Halterung 11 ist ein Halbleiterlaserelement 13 befestigt. Dieses Halbleiterlaserelement 13 wird mit einer herkömmlichen Versorgungseinheit betrieben, die mit einem Laserversorgungsschaltkreis usw. versehen ist. Bei

diesem Ausführungsbeispiel sendet das Laserelement Licht-

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DE 0412 strahlen mit einer Wellenlänge im Infrarotbereich sowohl nach oben als auch nach unten aus.

An der Grundplatte 10 ist eine Metallkappe 14 dicht angebracht, die das Halbleiterlaserelement 13 und die Halterung'11 abdeckt, um sie von der ümgebungsluft abzutrennen. An dem Oberteil, der Metallkappe ist ein optisches Fenster 15 ausgebildet, um den Lichtstrahl (Frontstrahl·) durch dieses herauszuleiten.

Die lichtstrahlreflektierende Oberfläche der Halterung 11 und die innere Oberfläche der Meta^kappe 14 sind mit Filmen 16 bzw. 17 beschichtet, die Reflexionen verhindern und aus Nicrosin als absorbierendes Material und einem Lack als Bindemittel zusammengesetzt sind. Die Filme 16 und 17 werden im folgenden Antireflexionsfilme genannt. Ferner können die Antireflexionsfurne 16 und 17 mit einem Mattierungsmittel mit einer großen Streuung beschichtet werden. Die Streuung . wird größer, wenn pulverförmiges siliciumoxid mit einer großen Teilchengröße in das Mattierungsmittel gemischt wird. Auf diese Weise kann die Menge des Rückstrahles verringert werden,der durch das optische Fenster austritt.

Wird das Halbleiterlaserelement 13 betrieben, so tritt bei diesem Ausführungsbeispiel ein Frontstrahl 18 durch das obere optische Fenster 15 nach außen, während ein Rückstrahl 19 nach unten projiziert und zur Abschwächung in dem ersten Antireflexionsfilm 16 absorbiert

wird. Der verbleibende Rückstrahl, der von dem Antiref lexionsfilm 16 gestreut wird, wird weiter in dem zweiten Antireflexionsfilm 17 absorbiert und um einen bedeutenden Faktor abgeschwächt.

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Bei diesem Ausführungsbeispiel kann die austretende Menge des Rückstrahles, von dem bei der bekannten Vorrichtung ungefähr 35 % durch das optische Fenster austreten, auf ungefähr 4 % verringert werden. 5

Nigrosin als Absorptionsmaterial ist sehr wirkungsvoll bei der Absorption eines Lichtstrahles mit einer Wellenlänge im Infrarotbereich. Das Mattierungsmittel und das Siliciumoxidpulver bewirken, daß die reflektierten Strahlen zerstreut werden. Angemerkt soll werden, daß Ruß so wirkungsvoll wie Nigrosin bei der Absorption von Infrarotlicht ist. Dabei kann dieses Material direkt auf die den Rückstrahl reflektierende Fläche aufgetragen werden, oder es kann an der reflektierenden Fläche in Tafelform angebracht werden.

Fig. 3 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel. Die Halterung 11 hat eine den Rückstrahl reflektierende geneigte Fläche 20 anstelle der aufgetragenen Antireflexionsfilme bei dem ersten Ausführungsbeispiel. Der weitere Aufbau ist genauso wie bei dem ersten Ausführungsbeispiel.

Demgemäß wird bei dem zweiten Ausführungsbeispiel der Rückstrahl 19 in eine von der Richtung des Front-Strahles 18 unterschiedliche Richtung reflektiert, so daß er gestreut und im Gehäuse 14 abgeschwächt wird. Die Absorptions- und Abschwächungseffekte können insbesondere dadurch verstärkt werden, daß die innere Oberfläche des Gehäuses 14 aufgerauht wird. Wird ein Antireflexions-

film 16', der derselbe ist wie bei dem vorstehenden Ausführungsbeispiel, auf der geneigten reflektierenden Fläche aufgebracht, so werden diese Effekte weiter verstärkt.

Ist die Neigung der den Rückstrahl reflektierenden

Fläche 20 zu steil, so ist es möglich, daß das reflektierte Licht des ursprünglichen Rückstrahles direkt durch

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DE 0412 das optische Fenster 15 austritt. Deshalb sollte die Neigung vorteilhafterweise einen geeigneten Winkel aufweisen.

Nimmt man an, daß der den Lichtstrahl aussendende Abschnitt des Halbleiterlaserelementes 13 direkt unter dem Mittelpunkt des optischen Fensters 15 ist, so kann die horizontale Länge der den Rückstrahl reflektierenden Fläche 20 eine Länge von 1/4 oder mehr des maximalen Durchmessers des optischen Fensters von ihrem Mittelpunkt·^· weg haben, wobei der Rückstrahl 19 nicht direkt nach außen projiziert wird, sondern in dem Gehäuse 14 gestreut und abgeschwächt wird.

Fig. 4 zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel. Ein Faserkabel 21 zum Sammeln des Rückstrahles ist unter dem Halbleiterlaserelement 13 angeordnet. Das untere Endteil des Faserkabeis 21 ist in eine in der Halterung 11 ausgebildete Aussparung bzw. einen Hohlraum eingesetzt oder eingebettet. Der restliche Aufbau entspricht dem Aufbau des in Fig.^; 3 gezeigten Ausführungsbeispiels.

Die Aussparung 22 dient dazu, den durch das Faserkabel 21 gesammelten Rückstrahl zu zerstreuen und abzuschwächen. Die innere Oberfläche der Aussparung ist hierzu geeignet aufgerauht.

Es hat sich herausgestellt, daß beim Betrieb dieser Vorrichtung die Leckmenge des Rückstrahles durch das optische Fenster sehr klein ist; sie ist ungefähr 3 bis 4 % der Intensität des Frontstrahles.

Da sich durch den Einbau einer Aussparung bzw. eines Hohlraumes in das Gehäuse zum Zerstreuen und Abschwächen *" des Lichtstrahles ein bedeutender Effekt ergibt, ist es

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ferner vorteilhaft, den Antireflexionsfilm, die geneigte reflektierende Oberfläche usw. in diesem inneren Hohlraum zu verwenden, um hierdurch einen noch größeren Effekt zu erzielen, so daß der Rückstrahl nicht mehr durch das optische Fenster austritt.

Der vorstehend beschriebene Aufbau der Halbleiterlaservorrichtung dient dazu, den Rückstrahl innerhalb des Gehäuses zu halten. Es ist jedoch auch nützlich, die Vorrichtung so aufzubauen, daß der Rückstrahl zur anderweitigen Verfügung mittels eines einfachen optischen System^wie dem in Fig. 4 gezeigten Faser kabel 21 aus dem Gehäuse herausgeführt wird.

Wie vorstehend beschrieben wurde, sind bei der erfindungsgemäßen Halbleiterlaservorrichtung Rückhalteeinrichtungen für den Rückstrahl vorgesehen, die bewirken, daß dieser absorbiert, zerstreut und in dem Gehäuse abgeschwächt wird, so daß verhindert wird, daß sich der Rückstrahl des Halbleiterlaserelementes mit dem Frontstrahl mischt und mit diesem zusammen aus dem Gehäuse austritt. Als Folge hiervon kann die Intensitätsverteilung des Frontstrahles bei jeder Meßposition bei dem optischen Fenster sehr einheitlich gemacht werden. Da zudem keine "Geistereffekte" aufgrund des Rückstrahles auftreten, wird es möglich, das Verhalten der Halbleiterlaservorrichtung alleine und genauso, wenn die Halbleiterlaservorrichtung für die Bildaufzeichnung verwendet wird, das Ergebnis des Aufzeichnungsvorganges genau abzuschätzen.

Ferner ergeben sich noch die verschiedensten weiteren Vorteile.

Im folgenden soll ein Ausführungsbeispiel einer Bildaufzeichnungsvorrichtung, die zur Aufnahme der vorstehend beschriebenen Halbleiterlaservorrichtung geeignet

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DE 0412 ist, im einzelnen in Verbindung mit Fig. 5 erläutert werden.

Fig. 5 zeigt eine das elektrofotografische Verfahren verwendende Aufzeichnungseinheit 101, die eine fotoempfindliche Trommel 102, eine Bild-Entwicklungseinrichtung 103, eine Wärme-Fixiereinrichtimg 104, einen Lader 105, einen Papierf ührungsmechanijnus 106, Aufzeichnungspapier 106a usw. aufweist. Ein latentes elektrostatisches Bild, das auf der fotoempfindlichen Trommel mittels des auf Beleuchtungslicht basierenden bekannten elektrofotografischen Verfahrens gebildet worden ist, wird durch den Lader 105 und die Bild-Entwicklungseinrichtung 103 sichtbar gemacht. Das auf dem zuvor erwähnten latenten

Bild basierende entwickelte Bild wird dann auf das Aufzeichnungspapier 106a gedruckt, das über den Papierführungsmechanismus 106 zugeführt worden ist, und als Ausgabe nach außen ausgestoßen. Innerhalb der Aufzeichnungseinheit 101 ist eine Optikmontierplatte 107

angebracht, auf der die zuvor erwähnten optischen Elemente und verschiedene andere Elemente befestigt sind. Auf dieser Optikmontierplatte 107 sind die folgenden Bauteile angeordnet: ein Halbleiterlaserelement 108, das die Lichtquelle zum Aufbringen des Bildinformations-

^ Strahles als Eingabe auf die fotoempfindliche Trommel ist, eine Kollimatorlinse 129, die den in elliptischer Form vom Laserelement ausgesandten Laserstrahl in eine kreisförmige Form bringt, da der Strahl mit elliptischem Querschnitt unterschiedliche Divergenzwinkel in verti-

kaier und horizontaler Richtung hat, ein halbdurchlässiger Spiegel 109, der einen Teil des Laserstrahles durchläßt und den anderen reflektiert, eine Strahlintensitäts-Meßeinrichtung 110, in die der von dem halbdurchlässigen Spiegel 109 reflektierte Strahl zur Messung seiner Intensität eintritt, ein reflektierender

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Spiegel 111, der den durch den halbdurchlässigen Spiegel 109 durchtretenden Strahl umlenkt, eine Strahlaufweitungslinse 112, die den Durchmesser des von dem reflektierenden Spiegel 109 reflektierten Strahles aufweitet, ein Galvanometer- Abtastspiegel 113 zum Abtasten der Oberfläche der fotoempfindlichen Trommel 102 mittels des Laserstrahles, eine Abbildungslinse 114, die den Abtaststrahl nach dem Abtastspiegel 103 auf die Oberfläche der fo.toempf indlichen Trommel fokkusiert, ein Strahlpositionsbestimmungsspiegel 115, der in der Nähe der Abtastbeginnposition des von der Abbildungslinse 114 ausgesandten Abtaststrahles angeordnet ist und der den Abtaststrahl reflektiert, und eine Strahlpositionsbestimmungseinrichtung 116, die den vom Spiegel 115 reflektierten Strahl mißt und ein Steuersignal erzeugt.

Eine Spannungsversorgungseinheit 118, eine Folgasteuerschaltung 119 und eine Bildsignalsteuerschaltung 120 sind in einem unteren Gehäuse 117 angeordnet. Eine Platte 121 mit einer Aussparung zur Aufnahme der Strahlauf weitungslinse 112, eine Platte 122 mit einer Aussparung zur Aufnahme der Abbildungslinse 114, und eine Platte 123 mit einer Aussparung in der optischen Achse sowie mit einem Fotodetektor 123a auf der Rückseite der Aussparung sind auf der Optikmontier.pla.tte 107 derart befestigt, daß die Mittelpunkte der Aussparungen optisch in einer Achse liegen. Eine Scheibe 124 mit einer Aussparung um die optische Achse herum ist an dem vorderen Ende der Strahlaufweitungslinse 112 lösbar derart befestigt, daß der Mittelpunkt der Aussparung mit der optischen Achse der Strahlaufweitungslinse 112 zusammenfällt. Die umgebenden Flächen der Aussparungen in der zuvor erwähnten Platte 123 und der Scheibe 124 sind mit einem fluoreszierendem Material beschichtet, das, wenn

es mit Licht im Wellenlängenbereich von 800 bis 900 nm angeregt wird, sichtbares Licht aussendet.

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Die Lage des Laserstrahls kann durch Entfernen des Galvanometer- Abtastspiegels 113 und durch Projizieren des von der Strahlaufweitungslinse 112 ausgesandten Bildes des Laserstrahles auf die mit fluoreszierendem Material beschichtete Oberfläche der Platte 123 beobachtet werden. Der Laserstrahl wird mit der optischen Achse der Strahlauf we itungs linse 112 durch Schwenken der reflektierenden Oberfläche des reflektierenden Spiegels 111 parallel ausgerichtet. Als Ergebnis dieser Justierung des Lichtweges geht der gesamte Laserstrahl durch die Öffnungen in der Platte 123 und der Scheibe 124 und das Ausgangssignal des auf der Platte 123 angebrachten Fotodetektors 123a erreicht einen Maximalwert. Die genaue Justierung des Lichtweges kann durch Messen des Ausgangssignals des Foto-

'5 detektors 123a bestätigt werden. Eine Platte 125 mit einem Längsschlitz, der den Durchgang des Abtaststrahles ermöglicht, ist mechanisch fest auf der Oberfläche der Optikmontierplatte zwischen der Abbildungslinse 114 und der fotoempfindlichen Trommel 102 derart angebracht, daß

^zu der Mittelpunkt der kurzen Seite des Schlitzes mit eier Mitte der Abtastfläche der Abbildungslinse 114 zusammenfällt. Das bereits beschriebene fluoreszierende Material ist auf die umgebende Fläche des Längsschlitzes aufgebracht. Durch die Lichtemission des fluoreszierenden Materials auf der Oberfläche der Platte 125 kann die Position des Abtaststrahles auf der Platte 125 bestimmt werden.

Im folgenden soll in Verbindung mit Fig. 6 die Auf-

zeichnung beginnend vom Empfang der Muster- und Zeicheninformation, von einem Computer bis zur Herstellung der gewünschten Hartkopien unter Verwendung des beschriebenen Ausführungsbeispiels der Vorrichtung beschrieben werden.

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DE 0412 Die Informationen von einem Computer 201 werden als Eingabe in einem bestimmten Format an eine Schnittstelle 202 der Vorrichtung entweder direkt oder über ein Aufzeichnungsmaterial wie ein Magnetband oder eine Magnetplatte gelegt. Verschiedene Befehle des Computers werden von einem Befehls-Ausführungsschaltkreis204 dekodiert und ausgeführt. Die Daten werden in einem Datenspeicher 203 in einer bestimmten Menge gespeichert. Im Falle der Zeichen-Aufzeichnung liegen die Daten in binär kodierter Form vor. Im Fall von Figuren bzw. Muster-Aufzeichnung haben die Daten die Form eines Einheitsbildes, aus dem das Bild der Figur aufgebaut wird, oder die Daten liegen in Form von Zeilen vor, die die Figur bilden (sog. "Vektor -Daten"). Diese Betriebsweisen der Dateneingabe

T5 werden vor der Datenspeicherung ausgewählt. Die Befehls-Ausf ührungseinheit 204 steuert den Datenspeicher 203 und einen Zeilen-Datengenerator 206 so, daß sie entsprechend der ausgewählten Betriebsweise die Daten verarbeiten. Der Zeilen-Datengenerator erzeugt Enddaten für eine Abtastzeile.

Liegen die Daten im Zeilenkode vor, so werden die Zeichenmuster für eine Zeile zwischengespeichert; alternativ werden die Zeichenkodes für eine Zeile :zwischengespeichert und anschließend . die Zeichenmuster

aus dem Zeichengenerator 20 5 sequentiell ausgelesen, um die Enddaten zur Modulation des Laserstrahl für eine Abtastzeile herzustellen. Liegen die Daten als Abbildungsinformation vor, so werden die Daten in Abtastzeilen-

Daten umgesetzt, um nacheinander die Enddaten zur Modulation des Laserstrahls für eine Abtastzeile herzustellen. Die einer Abtastzeile entsprechenden Daten werden entweder an einen ersten Zeilenzwischenspeicher 207 oder an einen zweiten Zeilenzwischenspeicher 208 gelegt, die

Schieberegister etc. aufweisen, die eine Stellenzahl

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gleich der Zahl der Bildelemente in einer Abtastzeile haben; der Betrieb der Zwischenspeicher wird durch eine ZwischenspeicherSteuerschaltung 209 gesteuert. Die Daten in dem ersten Zeilenzwischenspeicher 207 und dem zweiten Zeilenzwischenspeicher 208 werden nacheinander Bit für Bit für eine Abtastzeile ausgelesen, wobei ein Strahlnachweissignal der Strahlpositionsbestimmungseinrichtung 116 (siehe Fig. 5) als Triggersignal dient. Die ausgelesenen Daten werden an eine Lasermodulationssteuerschaltung 211 angelegt. Während der Zeit, in der die reflektierende Oberfläche des Abtastspiegels 113 die fotoempfindliche Trommel entlang einer Zeile senkrecht zu deren Drehrichtung abtastet, wird ein Signal 212a der Lasermodulations-Steuerschaltung 211 an das Laserelement 108 über einen Temperatursteuerschaltkreis 216 angelegt, wodurch ein Helldunkelmuster für eine Abtastzeile auf die fotoempfindliche Trommel 102 aufgebracht wird. Die Daten werden abwechselnd, gesteuert von der Zwischenspeichersteuerschaltung " 20 9 aus dem ersten und dem zweiten Zwischenspeicher 207, 208 ausgelesen. Während die Daten aus dem einen der Zeilenzwischenspeicher ausgelesen werden, werden die Daten in den anderen der Zeilenzwischenspeicher eingeschrieben. Aufgrund dieses Systems können alle Daten an den Modulator ohne Ausfall angelegt werden, sogar wenn das

Zeitintervall zwischen dem ersten Abtasten und dem anschließenden Abtasten für den Abtastspiegel 112 sehr kurz ist, um die fotoempfindliche Trommel 102 abzutasten. Während des Abtastens einer Abtastzeile dreht sich die fotoempfindliche Trommel 102 mit einer konstanten Ge-

schwindigkeit und bewegt sich um einen bestimmten Abtastzeilenabstand. Wenn ein Druckersteuerschaltkreis 212, der den Drucker 101 steuert, den Startbefehl von dem Befehls-Ausführungsschaltkreis 204 empfängt, startet er den Druckbetrieb. Gleichzeitig mit dem Drucker-Fertigsignal·

212a wird ein Abtast-Fertigsignal 213a, das von einem

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DE 0412 Abtaststeuerschaltkreis 213a zur Steuerung des Abtastspiegel 113 erzeugt worden ist und ein Laserbetrieb-Temperatur -Fertigsignal 216a, das von dem Temperatursteuerschaltkreis 216 erzeugt worden ist, zu dem Befehlsausführungsschaltkreis 204 zurückgegeben. Wenn ein Signal an den Laserschwingkreis 108 zugeschaltet wird, wird das Signal an den Laserschwingkreis Ί 08 angelegt und die ersten Daten für die erste Seite auf die fotoempfindliche Trommel geschrieben-, Aufzeichnungspapier 106a wird.

durch den Papierführungsmechanismus 106 zu einer Zeit zugeführt, daß die auf die fotoempfindliche Trommel geschriebenen Daten auf den Kopfabschnitt der Seite bei der Bildübertragungsstation übertragen werden. Auf diese Weise werden die Zeichen- oder Figureninformationen des Computers 201 als klare Hartkopie auf einer Seite gewöhnlichen Papiers ausgegeben.

Durch die Verwendung der vorstehend beschriebenen Halbleiterlaservorrichtung, bei der ein Austreten des Rückstrahles der Halbleiterlaservorrichtung aus dem optischen Fenster der Vorrichtung oder der Laser-Aufzeichnungsvorrichtung verhindert wird, wird es möglich, ein sehr klares und sehr scharfes Bild zu erhalten, das

frei von Geisterbildern ist.
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Leerseite

Claims

Patentansprüche

[λ J Halbleiterlaservorrichtung, gekennzeichnet durch ein Halbleiterlaserelement (13), ein das Halbleiterlaserelement umgebendes Gehäuse {10, 14) mit einem optischen Fenster (15) durch das das von dem Halbleiterlaserelement ausgesandte Licht austritt, und eine Einrichtung. , die verhindert: , daß der von dem Halbleiterlaserelement erzeugte Rückstrahl durch das optische Fenster austritt.
2. Halbleiterlaserelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung ein Reflexionen verhinderndes Material ist/las auf einer den Rückstrahl reflektierenden Oberfläche angebracht ist.
3. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Reflexionen verhindernde Material ein absorbierendes Material mit Absorptionseigenschaftp-n in dem Wellenlängenbereich des Lichtstrahles enthält.
4. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das absorbierende Material Nigrosin ist.

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5. Halbleisterlaservorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das absorbierende Material Ruß ist.
6. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Reflexionen verhindernde Material zur Zerstreuung des Rückstrahles ein zerstreuendes Material enthält.
7. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zerstreuende Material ein Mattierungsmittel ist.
8. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zerstreuende Material

pulverförmiges Siliciumoxid ist.
9. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Reflexionen verhindernde Mate-

rial (17) auf die innere Oberfläche des Gehäuses (14) mit Ausnahme des optischen Fensters (15) aufgetragen ist.
10. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das zerstreuende Material (17)

■" auf die innere Oberfläche des Gehäuses (14) mit Ausnahme des optischen Fensters (15) aufgetragen ist.
11. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 1,

gekennzeichnet durch eine Halterung (11) in dem Gehäuse

(1ö, 14), die das Halbleiterlaserelement (13) trägt.
12. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung ein Reflexionen

verhinderndes biateridl (16, 20) auf einem Abschnitt der HaI-

terung (11) ist, auf dem der Rückstrahl des Halbleiterlaserelementes (13) auftrifft.

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13. Halbleiterlaserelement nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Reflexionen verhindernde Material (16, 20) ein absorbierendes Material mit Lichtabsorptionseigenschaften in dem Wellenlängenbereich des Halbleiterlaserelementes enthält.
14. Halbleiterlaserelement nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Reflexionen verhindernde Teil zur Zerstreuung des Rückstrahles ein zerstreuendes Material enthält.
15. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung eine geneigte reflektierende Oberfläche ist, die so gestaltet ist, daß

'5 die vom Rückstrahl des Halbleiterlaserelementes (13) getroffene geneigte Oberfläche der Halterung (11) in Bezug auf die den Frontstrahl· des Halbleiterelementes aussendende Fläche geneigt ist.
16. Hal·bl·eiterlaserelement nach Anspruch 15,dadurch

gekennzeichnet, daß die horizontale Länge der geneigten reflektierenden Oberfiäche 1/4 oder mehr des maximalen Durchmessers des optischen Fensters (15) ist.
17. Halbleiteriaservorrichtung nach Anspruch 15,

dadurch gekennzeichnet, daß auf der geneigten reflektierenden Oberfläche zur Verhinderung einer Reflexion des Rückstrahies ein Reflexionen verhinderndes Material

aufgebracht ist.
.
18. Halbleiteriaservorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung eine optische Einrichtung ist, die den Rückstrahl· in eine von der Projektionsrichtung des Frontstrahies unterschiediiche Richtung ieitet.

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]
19. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 18,

dadurch gekennzeichnet ., daß die optische Einrichtung ein Faserkabel (21) ist.

c
20. Halbleiterlaservorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß das Faserkabel· (21) aus dem Gehäuse (10, 14) herausgeführt ist.
21. Laser-Aufzeichnungsgerät gekennzeichnet durch "IO ein Halbleiterlaserelement (108), ein Aufzeichnungsmaterial (102), auf dem ein Bild aufzeichnungsbar ist, eine Abtasteinrichtung zum Abtasen des Aufzeichnungsmaterials mit dem Frontstrahl des Halbleiterläserelementes, eine Modulationseinrichtung zur Modulation der Ausgangsintensität des Frontstrahles der Halbleiterlaservorrichtung, und eine Einrichtung, die verhindert, daß der Rückstrahl des Halbleiterlaserelementes auf das Aufzeichnungsmaterial auftrifft.
22. Laser-Aufzeichnungsgerät nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufzeichnungsmaterial ein elektrofotoempfindliches Material ist.
23. Laser-Aufzeichnungsgerät nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationseinrichtung ein interner Modulator zur Modulation des durch das Halbleiterlaserelement fließenden elektrischen Stromes ist.
24. Laser-Aufzeichnungsgerät nach Anspruch 21, gekennzeichnet durch ein das Halbleiterlaserelement umgebendes Gehäuse, in dem die Einrichtung angebracht ist, die ein Auftreffen des Rückstrahls auf das Aufzeichnungsmaterial verhindert.

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