DE3010164C2 - Dünnschicht-Elektrolumineszenz-Anzeigeelement - Google Patents

Dünnschicht-Elektrolumineszenz-Anzeigeelement

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DE3010164C2
DE3010164C2 DE3010164A DE3010164A DE3010164C2 DE 3010164 C2 DE3010164 C2 DE 3010164C2 DE 3010164 A DE3010164 A DE 3010164A DE 3010164 A DE3010164 A DE 3010164A DE 3010164 C2 DE3010164 C2 DE 3010164C2
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Description

gekennzeichnet durch
— ein im Innenraum eingebrachtes Absorptionsmittel (16), das die in der Schutzflüssigkeit (13) enthaltene Restfeuchtigkeit absorbiert.
2. Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmittel (16) Silicagel ist.
3. Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmittel (16) als Schicht vorliegt. w
4. Element nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht auf einer Platte aus Aluminium, Glas oder Kunststoff aufgebracht ist.
5. Element nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht an einem der Substrate (1, 4> 11) angebracht ist.
6. Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmittel in der Schutzflüssigkeit (13) dispergiert ist (F i g. 7).
7. Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmittel im Material eines die beiden Substrate (1, 11) auf definiertem Abstand haltenden Abstandshalter (10) dispergiert ist (F i g. 5).
8. Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmittel (16) in einem in den Innenraum eingebrachten Behältnis untergebracht ist (F i g. 3,4).
9. Element nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Behältnis ein perforiertes Röhrchen ist, in das die in der Schutzflüssigkeit enthaltene Restfeuchtigkeit eindringen kann (F i g. 4).
Die Erfindung betrifft eine Dünnschicht-Elektrolumineszenzanzeigeelement (im folgenden mit »EL-Anzeige« bezeichnet) gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
Eine solche EL-Anzeige ist aus dem englischsprachigen Abstract der japanischen Offenlegungsschrift 52-1 27 790 bekannt. Zwischen liwei Glassubstraten ist eine aus Siliconöl bestehende Schutzflüssigkeit eingebracht. In dem Abstract ist außerdem beschrieben, wie die Einfüllöffnung für das Siliconöl vorteilhafterweise verschlossen wird.
ίο Die Schutzflüssigkeit enthält jedoch unvermeidlich eine geringe Menge an Feuchtigkeit, und zwar auch dann noch, wenn sie einer Vorbehandlung unterzogen wurde, um den Wasseranteil auszutreiben. Diese kleine, immer noch verbleibende Menge an Feuchtigkeit in der Schutzflüssigkeit kann dann in die EL-Anzeige eindringen und diese zerstören.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine EL-Anzeige gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs mit einer Scnutzanordnung zu schaffen, mit der Feuchtigkeit aus der Umgebung der EL-Dünnschicht möglichst vollständig ferngehalten werden kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem in Anspruch 1 angegebenen Dünnschicht-EL-Element gelöst.
2~> Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt F i g. 1 einen Querschnitt durch eine EL-Dünnschicht-Anzeige,
F i g. 2 eine graphische Darstellung, die Vergleichsdaten hinsichtlich der über die Zeit eintretenden Verschlechterung bei einer herkömmlichen EL-Anzeige und der in Fi g. 1 dargestellten EL-Anzeige wiedergibt, und
Fig.3 bis 6 Querschnitte anderer Ausführungsformen von EL-Anzeigen.
Fig. 1 zeigt eine Dünnschicht-Elektrolumineszenz (EL)-Anzeigeeinrichtung mit einem lichtdurchlässigen Glassubstrat 1, mehreren lichtdurchlässigen Elektroden 2 aus In2O3 oder SnO2, einer ersten dielektrischen Schicht 3, einer EL-Dünnschicht 4, einer zweiten dielektrischen Schicht 5, mehreren Gegenelektroden 6 aus beispielsweise Al, Abstandshaltern 10, sowie einem Gegensubstrat 11 aus Glas. Die lichtdurchlässigen Elektroden 2 sind parallel zueinander auf dem Glassubstrat 1 angeordnet. Die Gegenelektroden 6 sind so angeordnet, daß sie — in Aufsicht gesehen — unter einem rechten Winkel zu den lichtdurchlässigen Elektroden 2 liegen. Kreuzungspunkte der lichtdurchlässigen Elektroden 2 mit den Gegenelektroden 6 bilden jeweils ein Element für die EL-Anzeigeeinrichtung. An die lichtdurchlässigen Elektroden 2 und die Gegenelektroden 6 wird ein Wechselfeld angelegt.
Die erste dielektrische Schicht 3 besteht aus Y2O3, TiO2, Al2O3, Si3N4 und SiO2 und wird mit einem Bedampfungsverfahren aufgebracht. Die EL-Dünnschicht 4 besteht aus einer ZnS-Dünnschicht, die in einem gewünschte Maße mit Mangan dotiert ist. Die zweite dielektrische Schicht 5 besteht aus einem ähnlichen oder demselben Material wie die erste dielektrische Schicht 3.
Die EL-Anzeige weist eine Abdichtung für die EL-Einheit, nämlich für die erste und zweite dielektrisehe Schicht 3 bzw. 5 und die EL-Dünnschicht 4 auf. Das Gegensubstrat 11 ist zusammen mit dem lichtdurchlässigen Glassubstrat 1 zum Abdichten bzw. zum Abschließen der EL-Einheit vorgesehen. Das Gegensubstrat 11
muß nicht lichtdurchlässig sein, weil auf das Substrat 1 feschaut wird. Die Abstandshalter 10 legen das Gegensubstrat 11 in seiner Lage fest. Es wird ein Klebemittel 12 aufgebracht, mit dem das lichtdurchlässige Glassubstrat 1, der Abstandshalter 10 und das Gegensubstrat 11 verklebt werden. In einem Hohlraum, der durch die beiden Substrate 1 und 11 gebildet wird, befindet sich eine Schutzflüssigkeit 13, die - wie der Name sagt — die EL-Einheit schützt Die Schutzflüssigkeit 13 ist beispielsweise Siliconöl oder ein Schmiermittel bzw. Fett, das für eine Vakuumabdichtung geeignet ist.
Die Schutzflüssigkeit !3 weist folgende Eigenschaften auf:
15
1. Sie dringt in kleine Löcher oder Risse ein, die in den dielektrischen Schichten 3 und 5 vorhanden sind oder entstehen,
2. sie ist hochspannungsfest,
3. sie ist widerstandsfähig gegenüber Wärme und :?o Feuchtigkeit,
4. sie ist hinsichtlich des Materials, aus dem die EL-Einheit besteht, inert, und
5. sie weist einen niedrigen Dampfdruck und einen kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf.
Die Punkte 1, 2. und 4. sind sehr wichtige Eigenschaften für die Schutzflüssigkeit 13.
Der Abstandshalter 10 ist eine isolierende plastische Jn Platte oder Folie aus einem Polyacetylharz oder einem Polyamidharz oder einem Siliconkautschuk, oder er ist eine Glasplatte. Im Gegensubstrat 11 befindet sich wenigstens eine Einführöffnung 14, um die Schutzflüssigkeit einzubringen. Das Klebemittel 12 ist ein Epoxyharz. Auf dem lichtdurchlässigen Glassubstrat 1 sind Anschlüsse 15 für die lichtdurchlässigen Elektroden 2 und die Gegenelektroden 6 ausgebildet und erstrecken sich in den Innenraum der Einheit hinein. Die Anschlüsse 15 stehen mit einer (nicht dargestellten) -4» Steuerschaltung in Verbindung, die der EL-Einheit eine Wechselspannung bereitstellt.
Die meiste Feuchtigkeit bzw. das meiste Wasser, die bzw. das in der Schutzflüssigkeit 13 üblicherweise enthalten ist, wird vor dem Einfüllen durch einen 4> Entgasungsvorgang entfernt. Dennoch bleibt auch dann noch eine geringe Menge an Feuchtigkeit bzw. Wasser in der Schutzflüssigkeit 13 zurück. Diese geringe Feuchtigkeits- bzw. Wassermenge kann jedoch die EL-Schicht zerstören bzw. beschädigen, wenn diese ϊ» Feuchtigkeit bzw. auch kleine Mengen an Wasser in sie eindringt. Eine solche kleine Feuchtigkeitsmenge kann durch Absorptionsmittel absorbiert werden, se daß die EL-Einheit vollständig gegen Feuchtigkeit geschützt ist und eine sichere und gute Funktionsweise gewährleistet bleibt.
Auf der Innenseite des Gegensubstrats 11 ist ein absorbierendes Element 16 aus einer Aluminiumfolie ausgebildet, die mit Silicagel beschichtet ist. Da die Schutzflüssigkeit 13 niehl-ionische Eigenschaften auf- t>o weist, kann das Siücagel-Material die in der Schutzflüssigkeit 13 enthaltene ionische Feuchtigkeit absorbieren, ohne daß das Silicagel mit der Schutzflüssigkeit 13 in Wechselwirkung tritt. Da* absorbierende Element 16 ist durch einen Kleber, beispielsweise ein Epoxyharz an das *" Gegensubstrat 11 angeklebt. Anstelle des mit Silicagel beschichteten AluminiumOlenients 16 kann auch eine Glasplatte oder eine Kunststoffplatte verwendet werden, die jeweils mit Silicagel beschichtet sind. Es kann auch eine Platte, die aus Silicagel besteht, verwendet werden, und die auch an dem Gegensubstrat 11 angebracht ist.
Die in F i g. 1 dargestellte EL-A.nzeigeeinrichtung wird mit dem nachfolgend beschriebenen Herstellungsverfahren gefertigt. Die EL-Einheit wird auf die lichtdurchlässige Elektrode 2 aufgebracht, die ihrerseits auf dem lichtdurchlässigen Glassubstrat 1 liegt Das Gegensubstrat 11 ist derart über dem lichtdurchlässigen Glassubstrat 1 angebracht, daß die EL-Einheit unter Verwendung der Abstandshalter 10 umschlossen ist Die beiden Substrate 1 und 11, sowie die Abstandshalter 10 werden mit einem Klebemittel beschichtet Die zusammengesetzte EL-Anzeigeeinrichtung wird in einem die Schutzflüssigkeit 13 enthaltenen Behälter aufgenommen. Der Behälter wird mit einer Temperatur von 100 bis 200° C aufgeheizt und in ihm wird mit einer Vakuumpumpe ein Unterdruck von kleiner als 10~2mbar erzeugt. Luft und Gas, die bzw. das sich im Innenraum der EL-Anzeige befinden, werden dadurch abgesaugt, und die Schutzflüssigkeit 13 kann in die Einfüllöffnung Heingefüllt werden. Die EL-Anzeigeeinrichtung wird bei Raumtemperatur und Atmosphärendruck wieder aus dem Behälter entnommen. Die Einfüllöffnung 14 wird mit einem Kleber, beispielsweise mit Epoxyharz, geschlossen, so daß die Schutzflüssigkeit 13 nicht ausströmen kann.
Auf diese Weise wird Luft und Gas mit einer Vakuumpumpe entfernt. Durch Aufheizen des Behälters wird das Entfernen von Luft und Gas aus der Flüssigkeit 13 unterstützt bzw. verbessert. Darüber hinaus wird auch durch das Erwärmen die Fließfähigkeit der Schutzflüssigkeit 13 verbessert Die Schutzflüssigkeit 13 kann daher vollständig in die kleinen Löcher eindringen.
Bei dem in F i g. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel muß Gas aus der Silicagel-Schicht entfernt werden, bevor das Absorberelement 16, das mit der Silicagelschicht beschichtet ist, in den Innenraum gebracht wird, der durch die beiden Substrate 1 und 11 gebildet wird. Wenn das Gas aus der Silicagelschicht nämlich erst nach dem Anbringen des Absorberelements 16 im Innenraum entfernt wird, muß das Absaugen des Gases durch die kleine Einfüllöffnung 14 vorgenommen werden, so daß das Absaugen des Gases lange dauert bzw. nur unvollkommen geschieht. Darüber hinaus besteht die Gefahr, daß das zum Anbringen des Absorberelements in der EL-Anzeigeeinrichtung verwendete Klebemittel gegen hohe Temperaturen von etwa 120 bis 1500C nicht widerstandsfähig genug ist, denn solche Temperaturen sind erforderlich, um das Klebemittel, mit dem die Silicagelschicht am Absorberelement 16 angeklebt wird, auszuhärten und das Gas aus der Sil'cagelschicht auszutreiben.
Die in Fig. 2 gezeigte graphische Darstellung zeigt einen Vergleich von Daten, die die Funktionsverschlechterung wiedergeben, und zwar im Vergleich zu einer herkömmlichen Dünnschicht-EL-Anzeige ohne das Absorberelement 16 und der Dünnschicht-EL-Anzeige mit dem Absorberelement 16. Es wurden jeweils zehn Einheiten beider Dünnschicht-EL-Anzeigen zusammengesetzt und hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit ausgesetzt. Mit der in F i g. 1 dargestellten Linie a sind die Daten in herkömmlichen Anzeigelemcnten und mit der Linie b sind die Daten von Anzeigeelementen gemäß F i g. 1 angegeben. Die Linie c gibt die unterste Begrenzungslinie wieder, oberhalb der die Anzeigeelemente schlecht bzw. funktionsunfähig
werden. Auf der Ordinate ist der Grad der Verschlechterung und auf der Abszisse die Zeit aufgetragen.
Wie Fig. 2 zeigt, ist die Lebensdauer der Anzeigen mit dem Absorberelement 16 gemäß Fig. 1 etwa vierbis fünfmal länger als bei heikömmlichen Anzeigen ohne Absorberelement. Bei diesen Untersuchungen betrug die Dicke der Silicagelschicht, mit der das Element 16 beschichtet war, bis zu 100 μιπ. Eine dickere Silicagelschicht als 100 μηι ergibt eine längere Lebensdauer der Dünnschicht-EL-Anzeige.
Die F i g. 3 bis 5 geben weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung wieder. Die gezeigten Elemente, die denen von Fig. 1 entsprechen, sind mit denselben Bezugszeichen versehen.
Bei dem in F i g. 3 dargestellten Ausführungsbeispie! ist rund um die Dünnschicht-EL-Einheit das Absorberelement 16 aus Silicagel-Teilchen, eine Abdeckplatte 17 und ein Abstandselement 18 angeordnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel werden als Absorberelemente 16 Silicagel-Teilchen verwendet. Die Abdeckplatte 17 deckt die Dünnschicht-EL-Einheit ab, so daß die Silicagel-Teilchen von der Anzeigeseite her vor dem Glassubstrat 1 nicht gesehen werden können. Die Abdeckplatte 17 besteht aus Kunststoff oder dgl. Sie ist vorzugsweise so angeordnet, daß die Silicagel-Teilchen nicht gesehen werden können, weil sie sich zu sehr setzen bzw. niederschlagen und damit eine gute Anzeige der Anzeigeeinrichtung stören bzw. verhindern. Das Abstandselement 18 hält die Silicagel-Teilchen zusammen mit der Abdeckplatte 17 an ihrem Platz.
Bei der in F i g. 4 dargestellten Ausführungsform sind die als Absorberelement 16 dienenden Silicagel-Teilchen in einem Rohr oder Schlauch untergebracht. Das Rohr weist viele kleine Löcher auf oder ist für Feuchtigkeit sehr gut durchlässig. Das Rohr ist am Rand der Dünnschicht-EL-Einheit angeordnet.
Bei dem in F i g. 5 dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Silicagel-Teilchen, die als Absorberelement dienen, in den Abstandshaltern 10 dispergiert. Zwar ist die Feuchtigkeitsabsorption bei dieser Ausführungsform vielleicht etwas geringer als bei den anderen Ausführungsformen, jedoch ist der Fertigungsvorgang wesentlich einfacher.
Bei den EL-Anzeigeelementen gemäß den Fig. 1 unnd 3 bis 5 kann auch ein farbiger Hintergrund für die EL-Anzeige dadurch vorgesehen sein, daß irgendeine Farbe der Schutzflüssigkeit zugesetzt ist, daß eine farbige Hintergrundplatte verwendet wird, oder daß das Absorberelement farbig ist.
Durch den Zusatz von Farbstoff in die Schutzflüssigkeit erhält man gegenüber der in der EL-Einheii erzeugten Elektrolumineszenz eine gleichmäßige blau- oder schwarzgefärbte Hintergrundschicht, so daß das Absorberelement und das Gegensubstrat nicht sichtbar sind, wenn man von der Anzeigeseite her auf das Glassubstrat schaut.
Es kann jedoch auch das Absorberelement, das mit Silicagel beschichtet ist, gefärbt werden, um den Hintergrund für die EL-Einheit zu schaffen.
Es kann aber auch zusätzlich eine Hintergrundsplatte zwischen dem Absorberelement und der EL-Dünnschicht angebracht sein. Eine solche Hintergrundsplatte besteht aus Kunstfasern, die gefärbt sind. Vorzugsweise ist die Hintergrundsplatte mit der Schutzflüssigkeit imprägniert
Der räumliche Ausdehnungskoeffizient von Siliconöl, aus der die Schutzflüssigkeit 13 besteht, ist etwa 10""V0C, also wesentlich höher als der räumliche Ausdehnungskoeffizient von Glas, das für die Glassubstrate 1 und/oder 11 verwendet wird und 10-e/°C beträgt. Daher kann das Gehäuse der Dünnschicht-EL-Anzeige durch hohe Temperaturen leicht beschädigt 5 oder zerstört werden, zumal die Haftung der Klebemittel bei solch hohen Temperaturen nicht mehr gut ist.
Um sicherzustellen, daß die Dünnschicht-EL-Anzeige auch bei hoher Temperatur ordnungsgemäß arbeitet und nicht zerstört wird, wird eine Blase durch
ic) Einbringen getrockneter Luft oder getrocknetem Sticksioffs in die Schutzflüssigkeit 13 gebildet. Die Blase nimmt Druck oder Spannungen auf, die im Innern des Gehäuses durch die unterschiedlichen räumlichen Ausdehnungskoeffizienten für die Materialien herrühren, aus denen das Gehäuse und die Schutzflüssigkeit !3 besteht.
Beispielsweise wurde getrocknete Luft oder getrockneter Stickstoff (N2) von etwa 0,7 bis 0,5 cm3, je nach dem Innenvolumen des Gehäuses und der Art des Klebemittels genommen. Die Dünnschicht-EL-Anzeigeeinrichtung mit der Blase widerstand hohen Temperaturen bis zu 75°C und einer hohen Luftfeuchtigkeit bis zu 95% und arbeitete dabei zufriedenstellend.
Fig.6 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Dünnschicht-EL-Anzeigeeinrichtung. Auch in Fig. 6 sind die Elemente, die denen in F i g. 1 entsprechen, mit denselben Bezugszahlen versehen.
Bei dem in Fig.6 dargestellten Ausführungsbeispiel sind Silicagel-Teilchen, die als Absorberelement dienen und Durchmesser in einem Bereich von etwa 3 bis 75 μίτι aufweisen, in der Schutzflüssigkeit 13 verteilt. Vorzugsweise sollte das Verhältnis von Silicagel zu Siliconöl, welches als Schutzflüssigkeit 13 verwendet wird, etwa 0,5 bis 5 g pro 10 cm3 betragen.
Die in Fig. 6 dargestellte EL-Anzeigeeinrichtung wird folgendermaßen hergestellt. Vor dem Einfüllen der Schutzflüssigkeit 13 wird das EL-Gehäuse und ein die Schutzflüssigkeit 13 mit den Silicagel-Teilchen enthaltener Behälter in eine Vakuumkammer gebracht. Ein Rohr, durch das die Schutzflüssigkeit 13 fließt, ist während des Einfüllens mit der Einfüllöffnung 14 verbunden. Das Ende des Röhrchens, welches nicht mit der Einfüllöffnung 14 in Verbindung steht, wird zunächst nicht mit der Schutzflüssigkeit 13 in Berührung gebracht.
Unter diesen Voraussetzungen wird das Gas mit einer Vakuumpumpe aus der Vakuumkammer gepumpt. Wenn die Kammer evakuiert ist, wird das besagte eine Ende des Röhrchens in die Schutzflüssigkeit 13 getaucht.
Danach wird wieder Luft in die Vakuumkammer eingelassen. Die Schutzflüssigkeit 13 im Behälter gelangt durch das Röhrchen in den Innenraum der EL-Anzeigeeinrichtung. Die Vakuumkammer kann auf eine Temperatur von 100 bis 200° C aufgeheizt werden, um die Fließfähigkeit der Schutzflüssigkeit 13 zu verbessern.
Nach Abschluß des Einfüllens der Schutzflüssigkeit 13 in den Innenraum der EL-Einheit wird das Röhrchen durch Zusammenpressen bzw. durch einen entsprechenden Vorgang verschlossen. Das Röhrchen wird dann an der dichten Stelle abgeschnitten. Über das Röhrchen bzw. die Einfüllöffnung wird dann ein Klebemittel, beispielsweise ein Epoxyharz, aufgebracht, um einen sicheren vollständigen Abschluß zu gewährleisten.
Im Gegensatz zu dem in F i g. 1 dargestellten Beispiel kann das Gas aus den Silicagel-Teilchen, die in der Schutzflüssigkeit 13 verteilt sind, bei dem in F i g. 6 dargestellten Ausführungsbeispiel zusammen mit dem
Gas aus der Schutzflüssigkeit 13 entfernt werden. Die in der Schutzflüssigkeit 13 enthaltene Feuchtigkeit, die eine geringe Diffusionsgeschwindigkeit aufweist, v/ird dabei schnell entfernt.
Die Silicagel-Teilchen können sich nach dem Einfüllen in das Gehäuse der EL-Anzeigeeinrichtung absetzen, so daß dadurch die EL-Anzeige nicht gut sichtbar ist. Um dies zu vermeiden, kann ein Farbstoff in der Schutzflüssigkeit 13 gelöst sein, so daß die Silicagel-Teilchen selbst mit dem Farbstoff gefärbt werden. Die Farbe des Farbstoffs kann verwendet werden, um einen Hintergrund zu schaffen, wodurch die
Darstellung bzw. Sichtbarkeit der EL-Anzeigeeinrichtung verbessert bzw. sichergestellt wird. Es ist auch folgendes möglich. Nachdem die Silicagel-Teilchen sich vor dem Einfüllen in das Gehäuse der EL-Anzeige in der Schutzflüssigkeit 13 genügend abgesetzt haben, brauchen die Silicagel-Teilchen nicht gefärbt zu werden, und die sich abgesetzte Silicagel-Schicht wird zusammen mit der Schutzflüssigkeit 13 in das Gehäuse gepumpt, so daß relativ viele Silicagel-Teilchen ins Gehäuse gelangen. In diesem Falle dient die weiße Farbe der Silicagel-Teilchen als Hintergrund für die EL-Anzeige.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

Patentansprüche:
1. Dünnschicht-EL(ElektroIumineszenz)-Anzeigeelement mit
— zwei Substraten (1,11), die einen dazwischenliegenden Innenraum begrenzen,
— einer zwischen zwei dielektrischen Schichten (3, 5) liegenden EL-Dünnschicht (4) im Innenraum zwischen den beiden Substraten (1, H), von denen eines (1) für das von der EL-Dünnschicht (4) bei Erregung abgegebene Licht durchlässig ist,
— zwei einander gegenüberliegenden Elektroden (2, 6) auf der jeweiligen Außenseite der dielektrischen Schichten, sowie mit
— einer in den durch die beiden Subftrate (1, 11) festgelegten Innenraum eingebrachten Schutzflüssigkeit (13), die die dielektrischen Schichten (3, 5) benetzt, in die in den dielektrischen Schichten (3, 5) vorhandenen kleinen Löcher eindringt, gegenüber der EL-Dünnschicht (4) und den beiden dielektrischen Schichten (3, 5) neutral, gegenüber Hochspannung, Feuchte und höheren Temperaturen widerstandsfähig ist und einen niedrigen Dampfdruck sowie einen kleinen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist,
DE3010164A 1979-03-16 1980-03-17 Dünnschicht-Elektrolumineszenz-Anzeigeelement Expired DE3010164C2 (de)

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