DE3005727A1 - Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer elektrolytkondensatoren - Google Patents
Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer elektrolytkondensatorenInfo
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- 239000011888 foil Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 9
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 title abstract 2
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 title 1
- 150000003016 phosphoric acids Chemical class 0.000 title 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims abstract description 11
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 7
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010924 continuous production Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
- H01G9/004—Details
- H01G9/04—Electrodes or formation of dielectric layers thereon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F3/00—Brightening metals by chemical means
- C23F3/02—Light metals
- C23F3/03—Light metals with acidic solutions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
-
- Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenfolie für
- Elektrolytkondensatoren. Elektrolytkondensatoren.
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenfolie für Elektrolytkondensatoren unter Verwendung einer walzharten Aluminiumfolie, welche geätzt und formiert wird.
- Derartige walzharte Aluminiumfolien werden als Elektrodenfolien in Elektrolytkondensatoren eingesetzt. Zur Erhöhung der Kapazität werden dabei die Aluminiumfolien durch eine elektrochemische Ätzung aufgerauht und danach in einem weiteren elektrochemischen Prozeß mit der im fertigen Kondensator als Dielektrikum dienenden Aluminiumoxidschicht überzogen.
- Die Schwierigkeiten bei der Handhabung walzharter Aluminiumfolien bestehen allerdings darin, daß sie eine hohe Biegesteifigkeit aufweisen. Bei einem bekannten ;Verfahren werden deshalb die walzhart geätzten Aluminiumfolien nach der Ätzung aber vor der Aufbringung der Oxidschicht ausgeglüht. Hierdurch soll erreicht werden, daß die Folie bei den folgenden Verarbeitungsschritten leichter zu handhaben ist. Bei einer Glühbehandlung ohne Sauerstoffausschluß können sich allerdings thermische Oxidschichten bilden, welche die Güte der als Dielektrikum dienenden Oxidschicht verschlechtern können. Dies zeigt sich beispielsweise durch ein Ansteigen des Verlustfaktors des Elektrolytkondensators.
- Weiterhin wird durch einen derartigen Glühprozeß ein kontinuierlicher Fertigungsverlauf unterbrochen.
- Aufgabe der Erfindung ist es daher, ein Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenfolie fUr Elektrolytkondensatoren anzugeben, das die vorstehend aufgezeigten Schwierigkeiten umgeht.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Folie vor dem Ätzen mit einer Polierlösung behandelt wird, die ca. 7 Volumen 46 konzentrierte Salpetersäure und ca. 93 Volumen 46 konzentrierte Phosphorsäure enthält.
- Gemäß Weiterbildungen der Erfindung wird die Behandlung in einem Polierbad mit einer Temperatur von ca. 80 0C bei einer Behandlungszeit von vorzugsweise ca. 1 Minute durchgeführt.
- Uberraschenderweise hat sich gezeigt, daß durch das erfindungsgemäße Verfahren eine walzharte Folie erhalten wird, welche sich durch eine höhere Biegefestigkeit insbesondere quer zur Walzrichtung auszeichnet. Die Ätzung und damit auch die spezifische Kapazität der Folien wird dabei nicht verringert.
- Es ist zwar aus der DE-AS 12 05 192 ein Verfahren zur Herstellung eines elektrolytfreien Metalloxidkondensators bekannt, bei welchem der formierte anodische Oxidfilm mit einer Lösung ähnlicher Zusammensetzung behandelt wird. Die Ätzlösung besteht dabei aus 6% Salpetersäure und 9496 Phosphorsäure, die bei 60 0C zur Anwendung kommt. Der Zweck dieser Behandlung besteht darin, daß Verunreinigungszentren bzw. schwache Stellen der dielektrischen Oxidschicht entfernt werden und somit Verunreinigungen oder sonstige Fehler der Oxidschicht beseitigt werden.
- Es handelt sich somit bei dem aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren um einen anderen Gegenstand, und es war nicht vorherzusehen, daß die dort offenbarte Ätzlösung sich zum Polieren walzharter - ungeätzter und unformierter - Aluminiumfolien eignen würde.
- Ausfuhrungsbeispiel: 100zum dicke Aluminiumfolien wurden mit einer Polierlösung behandelt, welche 5 Teile konzentrierte Salpetersäure auf 70 Teile konzentrierte Phosphorsäure enthielt.
- Die Folien wurden 1 Minute in die 80 0C heiße Lösung eingetaucht. Dabei nahm die Dicke der Folien auf 90/um ab. Anschließend wurden polierte und zum Vergleich nicht polierte walzharte Folien mit einem Ätzstrom von 40 As/cm2 geätzt und anschließend auf 50 V formiert.
- Dabei ergaben sich für beide Folien Werte der spezifischen Kapazität von ca. 5,5/uF/cm2.
- Aus dem Ausführungsbeispiel ergibt sich, daß somit die erfindungsgemäße Behandlung der walzharten Aluminiumfolien keine nachträglichen Veränderungen der elektrischen Eigenschaften verursacht.
- Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die polierte Folie nach dem Ätzen eine nicht glänzende Oberfläche aufweist wodurch eine verbesserte Wärmeaufnahme bei einer eventuell durchgeführten IR-Bestrahlung erzielt wird.
- 3 Patentansprüche.
Claims (3)
- Patentansprüche Verfahren zum Herstellen einer Elektrodenfolie für Elektrolytkondensatoren unter Verwendung einer walzharten Aluminiumfolie, welche geätzt und formiert wird, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Folie vor dem Ätzen mit einer Polierlösung behandelt wird, die ca. 7 Volumen 46 konzentrierte Salpetersäure und ca. 93 Volumen 96 konzentrierte Phosphorsäure enthält.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Behandlung in einer Polierlösung mit einer Temperatur von ca. 80 °C durchgeführt wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Behandlungszeit ca. 1 Minute beträgt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803005727 DE3005727A1 (de) | 1980-02-15 | 1980-02-15 | Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer elektrolytkondensatoren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803005727 DE3005727A1 (de) | 1980-02-15 | 1980-02-15 | Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer elektrolytkondensatoren |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3005727A1 true DE3005727A1 (de) | 1981-08-20 |
Family
ID=6094729
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803005727 Ceased DE3005727A1 (de) | 1980-02-15 | 1980-02-15 | Verfahren zum herstellen einer elektrodenfolie fuer elektrolytkondensatoren |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3005727A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0501047A1 (de) * | 1989-10-04 | 1992-09-02 | Showa Aluminum Kabushiki Kaisha | Verfahren zur Herstellung von Aluminiumfolien und ihre Verwendung als Elektroden für Elektrolytkondensatoren |
-
1980
- 1980-02-15 DE DE19803005727 patent/DE3005727A1/de not_active Ceased
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0501047A1 (de) * | 1989-10-04 | 1992-09-02 | Showa Aluminum Kabushiki Kaisha | Verfahren zur Herstellung von Aluminiumfolien und ihre Verwendung als Elektroden für Elektrolytkondensatoren |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8131 | Rejection |