DE2948348A1 - Projektionseinrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Projektion seinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, und betrifft insbesondere eine Projektion seinrichtung zum Abbilden eines Spiegel- oder Umkehrbildes eines Gegenstandes auf einer Projektionsebene insbesondere für ein kompaktes Kopiergerät mit Schlitzbelichtung.

In einer herkömmlichen Projektionseinrichtung eines Kopiergeräts u.a. weist das Projektionslinsensystem eine sogenannte Punktaugenlinse aus einer einzigen Linse auf; dies hat jedoch den Nachteil, daß die Konjugierte von der Gegenstandsoberfläche zu der Bildebene infolge des begrenzten Bildwinkels im Hinblick auf die Tiefenschärfe u.a. lang ist/ notwendigerweise wird dadurch die Einrichtung voluminös. Um diese Schwierigkeit zu überwinden und um das ganze Kopiergerät kompakt zu machen, ist eine Projektionseinrichtung bekannt, bei welcher das Linsensystem eine Facettenlinse mit demselben Bildwinkel wie ein herkömmliches Linsensystem aufweist und aus einer Anzahl Linsen besteht; die einzelnen Linsen haben eine übertragende Funktion, wobei ein Teil eines Gegenstandes in einen Teil eines entsprechenden Bildes projiziert wird, so daß das projizierte Bild des ganzen Gegenstandes durch das ganze Linsensystem auf einer Abbildungsebene abgebildet wird.

In den US-PS'es 3 584 952 und 3 592 542 sind Projektionseinrichtungen beschrieben, bei welchen eine Anzahl Linsen-· systeme entlang der Längsrichtung des Schlitzes angeordnet sind; durch diese Linsensysteme wird eine bandförmige Fläche einer zu kopierenden Vorlage auf ein lichtempfindliches Medium als die Synthese von Teilbildern projiziert, um dadurch das ganz Bild zu schaffen. Durch Anordnen der Linsen in einem Facettenobjektiv wird der wirksame Durchmesser jeder Linse verkleinert, und die demselben Bildwinkel entsprechende Konjugierte wird kürzer, so

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daß infolgedessen die ganze Einrichtung kompakt wird. Das heißt, in der in der US-PS 3 584 952 dargestellten Projektionseinrichtung weist ein Linsensystem drei Linsen, nämlich eine Front-, Zwischen- und Hinterlinse auf, die in Richtung der optischen Achse angeordnet sind, so daß durch die Frontlinse ein Zwischenbild, das einem Teil einer Vorlage entspricht, auf der Zwischenlinse gebildet ist, die zwischen der Front- und der Hinterlinse angeordnet ist; dieses Zwischenbild wird dann durch die Hinterlinse als das endgültige Bild auf einem lichtempfindlichen Medium abgebildet. Diese Zwischenlinse hat die Funktion einer Feldlinse und hat nichts zu tun mit der Vorlagenabbildung. Diese Feldlinse hat jedoch die wichtige Eigenschaft, daß sie die Helligkeit des auf das lichtempfindlieh Medium projizierten Bildes gleichförmig hält.

In ähnlicher Weise weist in der US-PS 3 592 542 ein Linsensystem drei Gruppen von Front-, Zwischen- und Hinterlinsen auf, wobei jede Gruppe zwei Linsen hat. In dieser Einrichtung sind drei Linsen oder drei Linsengruppen in Richtung der otpischen Achse angeordnet, und diese Einrichtung hat den Nachteil, daß ein Einstellen oder ein gegenseitiges Verstellen der Linsen, ohne daß es zu einer Exzentrizität kommt, schwierig ist.

Andererseits ist ein Objektiv mit einer im Vergleich zu seinem wirksamen Durchmesser großen Länge in Richtung der otpischen Achse in der GB-PS 954 629 beschrieben. Das in der britischen Patentschrift dargestellte Objektiv ist jedoch kein telezentrisches Linsensystem, und es gehört nicht zu den Systemen, bei welchen ein Zwischenbild zwischen einer ersten und einer zweiten Linse geschaffen wird, und bei welchem eine vorbestimmte Lichtstärkenverteilung auf der Projektionsebene gesteuert wird. Bei dem in der britischen Patentschrift beschriebenen Objektiv wird vielmehr das Bild eines Teils eines Gegenstandes durch ein Linsensystem abgebildet, und in diesem System ist kein Verfahren zum Zusammensetzen der einzelnen Teilbilder durch

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1 eine entsprechende Linsenanordnung beschrieben.

In der japanischen Patentschrift Nr. 30787/1970 ist ein Beispiel eines Projektionslinsensystems beschrieben, bei welchem Teilbilder durch eine Linsensystemanordnung zusammengesetzt werden und die telezentrische Anordnung verwendet ist. Dieses Rrojektionslinsensystem ist jedoch ein herkömmliches Linsensystem und nicht ein Objektiv mit einer im Vergleich zu dessen wirksamen Durchmesser großen Länge in Richtung der optischen Achse.

In der US-Patentanmeldung S.N. 889 404 ist eine Ausführungsform beschrieben, welche ein regelmäßig angeordnetes, optisches Abbildungssystem mit einer Anzahl Linsen aufweist,

15 und in welchem jedes optische Projektionssystem eine erste und eine zweite Linse aufweist, zwischen welchen das Zwischenbild eines Teils einer Vorlage geschaffen wird; die erste und die zweite Linse haben im Vergleich zu dem jeweils wirksamen Durchmesser eine verhältnismäßig große

Länge in Richtung der optischen Achse, und die erste Linse hat ein telezentrisches System auf der Austrittseite, während die zweite Linse ein telezentrisches System auf der Eintrittsseite hat. Ein Merkmal der in der erwähnten US-Patentanmeldung beschriebenen Erfindung besteht darin, daß die Lichtstärkeverteilung in der Endbildebene, die dem wirksamen Gegenstandsfeld entspricht, nicht durch eine Eklipse an der Objektivöffnung, sondern durch die Bildfeldblende reguliert wird. Durch Regulieren der Lichtstärkeverteilung mittels der Bildfeldblende, so daß eine gleichförmige Licht-Stärkeverteilung in der Bildebenenfläche geschaffen ist, und dadurch, daß die Lichtstärkeverteilungen von benachbarten Linsensystemen in der Bildebenenfläche einander überlagert werden, ist in der Schlitzfläche die Gleichförmigkeit der Belichtungsverteilung, die in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegriert ist, verbessert. Eine Schwierigkeit besteht jedoch darin, daß, wenn ein Fehler beim Einstellen der Bildfeldblende vorkommt, die Gleichförmigkeit der BeJ,ichtungsverteilung sehr gestört ist. Ferner ist das

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Vorsehen der Bildfeldblende lästig. Im Hinblick auf die herkömmlichen Einrichtungen ist somit durch die Erfindung eine vollkommen neue Projektion «einrichtung geschaffen.

Lichtleiter (die unter dem Warenzeichen Cellfock vertrieben werden) mit einer Abbildungswirkung, bei welcher der Brechungsindex radial von dem Mittelteil zu dem Randteil hin allmählich abnimmt, sind in der japanischen Patentschrift Nr. 28058/1972 beschrieben, während die stabförmige Linse gemäß der Erfindung einen über die ganze Linse gleichförmigen Brechungsindex aufweist.

Die Erfindung soll daher eine Projektionseinrichtung für ein kompaktes Kopiergerät u.a. mit Schlitzbelichtung schaffen, welche eine Anzahl Linsen aufweist, die jeweils im Vergleich ihrem wirksamen Durchmesser eine große Länge in Richtung der optischen Achse haben, und bei welcher sichergestellt ist, daß die Belichtungsverteilung in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegriert ist, um unabhängig von irgendeinem Fehler in dem Anordnungsintervall der Linsen eine Gleichförmigkeit zu erreichen.

Bei der Projektionseinrichtung gemäß der Erfindung ist dies dadurch erreicht, daß lichtdurchlässige Linsensysteme geschaffen sind, wobei zwei Linsen koaxial verwendet werden, die jeweils im Vergleich zu ihrem wirksamen Durchmesser eine große Länge in Richtung der optischen Achse aufweisen, daß diese Linsensysteme in Längsrichtung eines Schlitzes im wesentlichen in gleichem Abstand angeordnet sind, daß ferner diese Linsensysteme in zwei Reihen so angeordnet sind, daß jede von ihnen zwischen der benachbarten Reihe an einer bestimmten Stelle angeordnet ist, daß eine lichtabsorbierende oder lichtstreuende Schicht an dem Außenumfang der Linsen als eine sich in Richtung der optischen Achse erstreckende Blende verwendet wird, ohne daß eine Blende zwischen den zwei Linsen vorgesehen wird, indem die Eklipse der Objektiv-

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Öffnung benutzt wird, um in einer Bildebene eine Lichtstärkeverteilung zu schaffen, die der Lichtstärke zumindest von dem mittleren Bereich zu dem Randbereich hin verschieden ist, und daß der Randbereich, dessen Lichtstärke schwächer ist als die des mittleren Bereichs.dem Randbereich mindestens eines benachbarten Linsensystems überlagert wird.

Die Erfindung wird nunmehr anhand von bevorzugten Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen im einzelnen erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 bis 4 herkömmliche Einrichtungen eines Kopiergeräts;

Fig. 5 das Linsensystem gemäß der eingangs erwähnten

US-Patentanmeldung SN 88 9 4 04 der Anmelderin;

Fig. 6 bis 8 ein erstes Linsensystem gemäß der Erfindung;

Fig. 9 eine Schnittansicht der Lichtstärkeverteilung in der Projektionsebene des ersten Linsensystems ;

Fig. 10 eine zweireihige bienenwabenförmige Anordnung der Linsensysteme gemäß der Erfindung;

Fig. 11 ein zweites Linsensystem gemäß der Erfindung;

Fig. 12 eine Schnittansicht der Lichtstärkeverteilung in der Projektionsebene des zweiten Linsen

systems ;

Fig. 13 ein drittes Reflexions-Linsensystem;

35 Fig. 14A,14B, 15A, 15B und 16 ein lichtabsorbierendes

Element gemäß der Erfindung; und

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Fig. 17 die Arbeitsweise eines Kopiergeräts, bei welchem die Erfindung verwendet ist.

In Fig. 1 ist das in der US-PS 3 584 992 beschriebene Ko-5 piergerät dargestellt. Das in seiner Gesamtheit mit 1 bezeichnete Kopiergerät weist folgende Teile auf: eine transparente, lichtdurchlässige Auflageplatte 2, auf welcher eine zu kopierende Vorlage D mit der zu kopierenden Seite nach unten weisend angeordnet ist, eine Tragplatte 3, die be-

züglich einer photo- oder lichtempfindlichen Platte P unverschiebbar ist) wobei die photoempfindliche Platte P auf der Oberseite eine Schicht aus photoempfindlichen Material aufweist, einen verschiebbaren Wagen4 zum Tragen einer in ihrer Gesamtheit mit 5 bezeichneten optischen Abbildungseinrichtung und ein Antriebssystem mit einem umkehrbaren Elektromotor 6 mit konstanter Drehzahl und einem Getriebe 7, um den Wagen 4 quer zu den einander gegenüberliegenden Oberflächen der Vorlage D und der photoempfindlichen Platte P anzutreiben.

Der Wagen 4 ist an einer Antriebsspindel 10 und einer Tragstange 11 gehaltert, die in einem bestimmten Abstand auf gegenüberliegenden Seiten der Tragplatte 3 angeordnet sind, und deren Achsen parallel zueinander verlaufen. Das Getriebe 7 ist mit der Antriebsspindel 10 verbunden und dient zum Drehen der Antriebsspindel, um das optische Abbildungssystem 5 in jeder der beiden Richtungen anzutreiben. Das Antriebssystem muß entsprechend angepaßt sein, um das optische Abbildungssystem in einer der beiden Richtungen zu bewegen, wobei eine vorbestimmte Bewegung umgekehrt wird, wenn das System eines der Bahnenden erreicht.

Das System 5 weist ein langes Gehäuse 13 auf, das an einem Ende durch einen Block 14, der mit dem Gewinde der Spindel 10 in Eingriff steht, und an dem anderen Ende von einem Block 15 getragen ist, der auf der Stange 11 verschiebbar

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ist; die Blöcke 14 und 15 bilden einen Teil des zu bewegenden Wagens 4. Ein Paar Leuchtstofflampen L, die in entsprechenden Fassungen gehalten sind und von einer entsprechenden, nicht dargestellten Energiequelle aus mit Energie

5 versorgt werden, sind zwischen den Blöcken 13 und 14 angebracht. Diese Lampen sind parallel zueinander auf gegenüberliegenden Seiten des Gehäuses 13 in der Nähe der Seitenfläche der zu kopierenden Vorlage angebracht, um die Vorlage zu beleuchten.

In dem Gehäuse 13 sind drei lange Linsengruppen 20 bis 22 gehaltert, die koaxial zwischen der Vorlage D und der photoempfindlichen Oberfläche P und entlang der Länge des Gehäuses angeordnet sind. Die oberste Linsengruppe 20 ist aus

15 einer Anzahl Linsen 24 gebildet, die sich über die ganze Länge dieser Linsengruppe erstrecken. Wie aus Fig. 2 zu ersehen, ist die Linsengruppe 20 durch zwei parallele Reihen von Linsen 24 gebildet, wobei die zweite Reihe um die Hälfte des Abstandes zwischen zwei Linsen in der gegenüberliegenden

20 ersten Reihe verschoben ist. Die Linsengruppen 20 sollten vorteilhafterweise aus geformten Kunstharz hergestellt sein, in welchem alle Linsen 24 fest mit dem Material verbunden sind, das den anderen Teil dieser Gruppe bildet.

Die Linsengruppen 21 und 22 entsprechen ganz der Linsengruppe 20 und sind bezüglich der Linsengruppe 20 so angeordnet, daß die Linsen jeder Gruppe koaxial zu den Linsen
der anderen Linsengruppe sind, um dadurch eine einzige Abbildungseinrichtung zu schaffen.

In Fig. 3 ist ein in seiner Gesamtheit mit 25 bezeichnetes Linsensystem dargestellt, das durch koaxial angeordnete Linsen 24, 26 und 27 der Linsengruppen 20, 21 und 22 gebildet ist. In Fig. 3 sind ferner eine Aperturblende 31 und

eine Bildfeldblende 32 dargestellt.

Die Aperturblende 31 ist durch öffnungen in einer mit öff-

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nungen versehenen Platte 30 gebildet, und jede Öffnung hat die Funktion, die in das Linsensystem 25 eintretende Licht" menge zu steuern. Die Bildfeldblende 32 hat die Funktion, den Bildwinkel einer Objektivfläche zu steuern und dadurch das Flächenelement zu beschränken, das mittels einer Abbildungseinrichtung 25 zu irgendeinem Zeitpunkt abgetastet wird. In jeder Abbildungseinrichtung dient das Linsenelement 24 als die Objektivlinse dieser Abbildungseinrichtung und eignet sich zum Konvergieren des Flächenelements der Vorlage auf der Feldlinse 26. Beispielsweise hat in Fig. 4 das Schriftzeichen R ein Bild in der Brennebene der Linse 24, welche mit dem Inneren der Linse 26 zusammenfällt, und ist durch den geometrischen Ort der Lichtstrahlen ausgedrückt. Hierbei wird das Schriftzeichen R umgekehrt und dann wieder in seinen Ausgangszustand zurückgebracht.

Die Linse 27 bildet auf der photoempfindlichen Oberfläche P das Bild des Schriftzeichens R in derFeldlinse 26 ab, und wie aus dem Beispiel der Fig. 4 zu ersehen ist, ist das Schriftzeichen R (in der Feldlinse 26) das Umkehr- oder Spiegelbild des Buchstabens auf der Vorlage D. Mit jedem Linsensystem in der Abbildungseinrichtung 5 kann somit das Flächenelement der Objektivebene, beispielsweise der Vorlage D, wiedergegeben werden und ein entsprechendes Umkehrbild auf der Bildebene geschaffen werden. Der Komplex der so gebildeten Flächenelementbilder schafft eine vollständige photographische Darstellung der Information auf der Vorlage D. Wenn die Bildebene P die Form einer wiederverwendbaren, elektrostatischen Kopierplatte, wie beispielsweise einer photoleitenden, xerographischen Selenplatte oder -trommel aufweist, wird das latente Bild auf der Platte oder Trommel umgekehrt, so daß das mittels Tonerpartikel entwickelte Bild an ein Blatt Papier als ein aufrechtstehendes Bild übertragen werden kann.

Ein derartiges Linsensystem mit drei Linsen erfordert

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mindestens zwei Exzentrizitätseinstellungen und bereitet die Schwierigkeit, um die erforderliche Genauigkeit zu gewährleisten. Um diese Schwierigkeiten zu überwinden, ist das Linsensystem gemäß der erwähnten US-Patentanmeldung S.N. 889 404 der Anmelderin geschaffen worden, das in Fig. 5 dargestellt ist. Bei diesem Linsensystem sind zwei Linsen verwendet, die im Vergleich zu ihrem wirksamen Durchmesser eine große axiale Länge aufweisen ( und nachstehend als stabförmige bzw. Stablinsen bezeichnet werden); bei diesem Linsensystem ist eine Bildfeldblende 35 zwischen den Stablinsen 33 und 34 vorgesehen, um die Lichtstärkeverteilund in der Bildebene zu steuern. Hierdurch ist nur eine Exzentrizitätseinstellung in dem Linsensystem erforderlich, und es ist leichter, die geforderte Genauigkeit sicherzustellen. Hierbei ist die Lichtstärkeverteilung in der Bildebenenfläche, die durch die Bildfeldblende 35 gesteuert ist, im allgemeinen gleichförmig, und durch ein Überlagern mit der Bildstärkeverteilung in der Bildebenenfläche eines benachbarten Linsensystems kann in der Schlitzfläche eine Gleichförmigkeit der in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegrierten Belichtungsverteilung geschaffen werden. Jedoch ergeben sich keine Schwierigkeiten, wenn der Anordnungszwischenraum zwischen den Linsensystemen regelmäßig ist; wenn jedoch ein Fehler in einem derartigen Anordnungszwischenraum vorhanden ist, hat dies eine Unregelmäßigkeit der Lichtmenge zur Folge, wodurch die Abbildung nachteilig beeinflußt wird.

Gemäß der Erfindung wird eine Steuerung nicht durch eine Bildfeldblende, sondern durch eine Linsenapertur-Eklipse geschaffen, um so eine vorbestimmte Lichtstärkeverteilung in derBildebenenflache zu schaffen, und durch ein entsprechendes überlagern dieser Lichtstärkeverteilung wird in der Schlitzfläche die Gleichförmigkeit der in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegrierten Belichtungsverteilung erhalten, selbst wenn ein Fehler in dem Anordnungszwischenraum

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der Linsensysteme vorliegt.

In Fig. 6 ist ein erstes Linsensystem gemäß der Erfindung dargestellt. Stablinsen 40 und 41 sind koaxial zueinander angeordnet, und auf einem Teil des Außendurchmessers ist ein lichtabsorbierendes Element 4 2 zum Steuern und Regulieren der Lichtstärkeverteilung in der Bildebene als eine Art Blende vorgesehen, die in Richtung der optischen Achse verläuft. Ein Teil der Fläche des Gegenstands D bildet ein umgekehrtes Zwischenbild 43 zwischen den Stablinsen 40 und 41 und bildet schließlich ein aufrechtstehendes Bild im Verhältnis eins zu eins in der Bildebene P. In Fig. 7 sind Datensymbole der Stablinsen 40 und 41 dargestellt.Die Abbildungswirkung der Stablinsen ist in Fig. 8 wiedergegeben, in welcher ein Hauptlichtstrahl 44 (nämlich ein Strahl, der auf die Mitte einer ersten Fläche auftrifft) dargestellt ist. Die Stablinse 4 0 ist telezentrisch auf der Bildseite, während die Stablinse 41 auf der Gegenstandsseite telezentrisch ist; infolgedessen wird der Hauptlichtstrahl, der an der Stablinse 40 austritt oder an der Stablinse 41 eintritt, parallel zu der optischen Achse. Folglich werden die Lichtstrahlen, die das Zwischenbild schaffen, durch die Stablinse 4 1 ohne einen Verlust an Licht wirksam wieder in der Bildebene abgebildet. Das heißt, da die Stablinsen 40 und 41 telezentrisch ausgebildet sind, wirken die Oberfläche der Stablinse 4 0 auf der Bildseite und die Oberfläche der Stablinse 41 auf der Gegenstandsseite so, daß sie eine Luftlinse bilden (d.h. eine Konkavlinse, deren innerer Brechungskoeffizient kleiner ist als ihr äußerer Brechungsin-

dex, ist einer gewöhnlichen Konvexlinse äquivalent), und daß sie auch als die Feldlinse 26 der Fig. 4 dienen. Es soll jedoch beachtet werden, daß die Fläche des Gegenstandes, der ohne einen Verlust an Licht auf der Bild- oder Projektionsebene wieder abgebildet worden ist, im Bereich der begrenzten Fläche 0_Q in dem mittleren Teil, nämlich in

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dem Bereich von 0~ i'i der Fläche auf der Zwischenbildebene liegt. In diesem Bereich ist der Durchmesser der Eintrittsöffnung immer gleich dem Außendurchmesser der Linse, es gibt keine Apertureklipse und es ist eine Gleichförmigkeit der Lichtstärke-verteilung geschaffen. Wenn der Innendurchmesser des lichtabsorbierenden Elements 42 0_?1 ist, wird der Lichtstrahl von der Gegenstandsfläche, die über 0 auf der Zwischenbildebene und in der Fläche 0₂·ι/ nämlich der Fläche, die 0_n bis 0„. auf der Gegenstandsoberfläche entspricht, abgebildet wird, durch die innere Oberfläche des Körpertubus der Linse 40, nämlich durch die dem Außendurchmesser entsprechende Oberfläche der Linse und der inneren Fläche des Zwischenteils der zwei Linsen gebrochen, was dann eine Apertureklipse bewirkt. Die Winkelgrad nehmen von 0„ in Richtung

15 auf 0_Π1 und auf 0„. zu, und die Apertureklipse wird 100%, d.h. der Lichtstrahl, der gleichmäßig in die Projektionsebene durchgelassen worden ist, wird null.

In Fig. 9 ist ein Querschnitt der Lichtstärkeverteilung

in der Bildebene zu einem derartigen Zeitpunkt dargestellt; in Fig. 9 ist auf der Ordinate I die Lichtstärke aufgetragen, während auf der Abszisse die Bildhöhe (der Bildwinkel) aufgetragen ist. Hierbei entsprechen 0. und 0 . .. jeweils 0„ bzw. 0_O1 auf der Gegenstandsoberfläche in der Projektionsebene. Optische Systeme, die eine derartige trapezförmige Lichtstärkeverteilung in der Projektionsebene schaffen, sind in gleichen Abständen in einer Anordnungsreihe angeordnet, und wenn die Verteilung in Richtung der Anordnung bezüglich der Belichtung, die in einer zu der Richtung der Anordnung senkrechten Richtung (nämlich in der Abtastrichtung) zeitintegriert ist, untersucht wird, ist sie sinusförmig. Sogar die sinusförmige Intensitätsverteilung ist manchmal zulässig (wobei die Anordnung nicht auf eine Reihe beschränkt ist, sondern auch eine Anzahl Reihen aufweisen kann); wenn aber, wie in FLg. 10 dargestellt, Linsen mit koaxial angeordneten ersten Linsen 40 und zweiten Linsen 4 1 zweireihig

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und bienenwabenförmig angeordnet sind (eine Anordnung, in welcher die zweite Reihe um a/2 bezüglich der ersten Reihe versetzt ist, wobei a der Abstand oder der Zwischenraum zwischen den optischen Abbildungssystemen ist), wird in Richtung der Anordnung die Verteilung der Lichtmenge, die in der Richtung senkrecht zu der Richtung der Anordnung, d.h. in der Abtastrichtung integriert ist, im wesentlichen gleichförmig. Die Anordnung kann mehrere Reihen aufweisen, wobei die wabenförmigen zwei Reihen als eine Gruppe gelten. Der Abstand 1 zwischen der ersten und der zweiten Reihe ist entsprechend der Schlitzbreite festgelegt.

Die Gleichförmigkeit zu dem vorbeschriebenen Zeitpunkt wird im Bereich von einigen Prozent gehalten, wenn die Beziehung zwischen dem Abstand a und dem wirksamen Gegenstandsbildwinkel a und dem wirksamen Gegenstandsbildwinkel 0_O1 der folgenden Bedingung genügt:

⁰OI ⁰OI

K χ -^- *. a ^ K₀ χ -^- (K₁= 0.9, K₉ = 1.1)

2 "2
20

Auf diese Weise ist mit der erfindungsgemäßen Ausführungsform ein optisches System geschaffen, iⁿ dem die Belichtungsverteilung, die in der Abtastrichtung des projizierten Bildes integriert ist, gleichförmig ausgebildet ist, und in welcher die Anzahl der Linsen in Richtung der optischen Achse zwei ist und deren Einstellung leicht durchzuführen ist.

Die Belichtungsverteilungen, die in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegriert sind, werden einander in der Fläche jedes Linsensystems, wobei die Lichtstärke schwach ist, nämlich in der Randfläche in Fig. 9 überlagert, und infolgedessen ist die Gleichförmigkeit der Belichtungsverteilungen niemals sehr gestört, selbst wenn ein Fehler in dem Anordnungszwischenraum der Linsensysteme vorliegt.

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Bei von der Anmelderin durchgeführten Versuchen hat sich ergeben, daß ein gutes Ergebnis erhalten werden kann, wenn für die Stablinsen 40 und 41 identische Linsen verwendet werden (die jedoch ebenensymmetrisch bezüglich des Zwischenbilds 43 sind) und wenn die Länge jeder Linse entlang der optischen Achse zwei bis sechzigmal solang wie der wirksame Durchmesser der Linse gemacht wird.

Im Hinblick auf die Ausführung der Linsen 40 und 41 sollten die ersten Linsen die Gleichungen (6) bis (10) und die zweiten Linsen 41 Gleichungen (16) bis (20) genügen, die nachstehend noch angeführt werden. In den Gleichungen bedeutet; Y₁ den Krümmungsradius der ersten Oberfläche der ersten Linse 40, nämlich der Oberfläche auf der Gegenstandsseite; Y,~ den Krümmungsradius der zweitenOberflache der ersten Linse 40, nämlich der Oberfläche auf der Bildseite (wobei in den Zeichnungen Y _ eine negative Größe ist); d₁' die Dicke in der Mitte der ersten Linse, nämlich den Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche der erstenLinse entlang der optischen Achse; η ' den Brechungsindex der ersten Linse; 0. den wirksamen Durchmesser der Linse; 0_Q die Größe der Gegenstands-Bildfeidfläche, die ohne einen Verlust an Licht (ohne eine Apertureklipse) durchgelassen wird; 0~ die Größe des Zwi-5 schenbildes 43; S. den Abstand von der ersten Oberfläche der Linse 40 zu dem Gegenstand D (wobei in der Zeichnung S₁ ein negativer Wert ist) ; S ' den. Abstand von der zweiten Oberfläche der ersten Linse 40 zu dem Zwischenbild 45; B₁ (- - j φ_Ί/φ I) den Abbildungsmaßstab des Zwischenbildes 4 3 bezüglich des Gegenstandes D; und F die wirksame Blendenzahl auf der Gegenstandsseite. F , S.., ß.. und S ' können vorhanden sein, und aus diesen fünf eingestellten Werten können Y₁, Y₂. d. ' , 0. und 0 mit Hilfe der idealer. Abbildungstheorie berechnet werden. Aus der Definition

35 der Blendenzahl F ergibt sich

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s.² ₊ ( ⁰I

( Il ) 2

2
Fe _Ξ (1 )

Aus der paraxialen bzw. achsenparallelen Anordnung folgt

β -r .

wobei 0. = ⁿ1 ~ ¹ (die Brechkraft der ersten Oberfläche)

' ^Y1

~ ⁿ 1
0_ = (die Brechkraft der zweiten Oberfläche)

^ ^Y2
und

^ei" ^Ξ p-'-r- ^ist·

Die Bedingung, bei welcher der Hauptstrahl des auffallendenLichtstrahls von dem Gegenstand, nämlich der Lichtstrahl der durch die Mitte der ersten Oberfläche hindurchgeht, die zweite Oberfläche verläßt und dann parallel zu deroptischen Achse verläuft, kann aufgrund der Tatsache, daß die Brennweite der zweiten Oberfläche (d.h.λ/φ^ ) gerade gleich e.. ' ist, durch die folgende Beziehung ausredrückt werden:

-J- ■ V ^<;1

Wenn die Bedingung für den Lichtstrahl, der auf die Linse 40 von dem Ende der Gegenstandsbildfeldfläche 0„ auftrifft, welche keine Apertureklipse verursacht, nicht verletzt wird, wird die folgende Beziehung aufgrund der Tatsache erhalten, daß die unteren Strahlen des Lichtstrahls, nachdem er durch die erste Oberfläche hindurchgegangen ist, entlang des Randes der Linse 4 0 verlaufen, welcher parallel zu der opti-

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1 sehen Achse ist

Schließlich ergibt sich die folgende Gleichung notwendigerweise aufgrund der Bedingung, daß von vorne herein der Abstand S ' von der zweiten Oberfläche der ersten Linse 40 zu der Zwischenbildlage auf dem richtigen Wert erhalten bleibt.

- ei

Durch Auflösen der Gleichungen (1) bis (5) bezüglich Y₁, Y-, d ', 0.. und 0_ werden die folgenden Ergebnisse erhal-

15 ten:

Y2 = (1 - η ') χ

(7)

' = ni' χ

IS)

_ S₁ZFc

φ j _

(9)

Φο =

(10)

Nunmehr wird die Linse 41 beschrieben, wobei in der Beschreibung wieder die in Fig. 7 dargestellten Symbole verwendet werden. Hierbei ist Y₃ der Krümmungsradius der ersten Oberfläche der zweiten Linse 41, nämlich die Ober-

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fläche auf der Gegenstandsseite; γ. der Krümmungsradius der zweiten Oberfläche der zweiten Linse, nämlich der Oberfläche auf der Bildseite (wobei in der Zeichnung Y₄ ein negativer Wert ist); d ' die Dicke in der Mitte der zweiten Linse, nämlich der Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche entlang der optischen Achse und n~' der Hauptbrechungsindex des Materials dieser Linse, nämlich der Brechungsindex für die charakteristische Wellenlänge. Ferner ist 0., der wirksame Durchmesser dieser Linse; 0. die Größe des projezierten Bildes in der Projektionsebene bezüglich der zweiten Linse; S,der Abstand von der ersten Oberfläche der Linse 41 zu dem Zwischenbild 43 (wobei in der Zeichnung S₃ eine negative Größe ist), und S.'der Abstand von der zweiten Oberfläche der zweiten Linse 41 zu dem projezierten Bild. Ferner ist ß₂ ( = ~ I — I) der Abbildungsmaßstab des endgültigen projezierten Bildes bezüglich des Zwischenbildes 43, und Fe' ist die wirksame Blendenzahl F dieser Linse 41 auf der

2Q Bildseite.

Die wirksame Blendenzahl F, die durch die Bedingung festgelegt ist, die sich auf die Helligkeit des projezierten Bildes bezieht, nämlich

2 «3 2

ι lö, J + U— J IMJ,

Fe = —2 £

der Abbildungsmaßstab ß₂(|ß₂|>1) des projezierten Bildes ^₀ der so eingestellt ist, daß ein Teilbild nicht beeinflußt werden kann, und der Abstand S. des Zwischenbildes sowie der Abstand S ' der Linsenrückseite zu der Projektionsebene sind Werte, die vorher eingestellt werden können. Auch der Hauptbrechungsindex n₂' des Materials ist durch Festsetzen der Güte des Materials festgelegt. Aus den festgesetzten Werten Fe¹, ß₂, S^, S ' und η ' werden der

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_ 23 -

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^DE °⁰⁷¹

Krümmungsradius γ, der ersten Oberfläche der zweiten Linse 41, der Krümmungsradius γ. deren zweiten Oberfläche, die Dicke d ' in der Mitte der zweiten Linse, der wirksame Durchmesser 0, der zweiten Linse und der wirksame Teildurchmesser 0. der zweiten Linse sowie der wirksame Teildurchmesser0. des projizierten Bildes mit Hilfe der idealen Abbildungstheorie sowie aus den folgenden Bedingungen bestimmt.

Die Beziehung zwischen dem Abbildungsmaßstab ß„ und den Konstruktionsdaten der Linse 41 sind durchdie folgende Gleichung gegeben:

15

wobei 0.. =

(die Brechkraft der ersten Oberfläche)

20

0 =

(Brechkraft der zweiten Oberfläche)

25

35

und

^ist·

Damit der auftreffende Lichtstrahl, dessen optische Hauptachse parallel zu der optischen Achse verläuft, ohne ein Übermaß und einen Verlust bezüglich des wirksamen Durchmessers der zweiten Linse durch diese zweite Linse hindurchgehen kann, sollte die Austrittsöffnung auf der zweiten Oberfläche der zweiten Linse liegen. Diese Forderung führt dazu, die folgende Bedingung aufgrund der Tatsache einzuhalten, daß die Brennweite der ersten Oberfläche (d.h. 1/0₃) genau gleich e ' ist.

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Wenn die Bedingung für den Lichtstrahl, der von dem Ende des wirksamen Zwischenbilddurchmessers 0_ auf die zweite Linse 41 auffällt, nicht verletzt wird, wird die folgende Beziehung aufgrund der Tatsache erhalten, daß die unteren Strahlen des Lichtstrahls, nachdem sie durch die erste Oberfläche hindurchgegangen sind, entlang des Randes der Linse 41 verlaufen, welche parallel zu der optischen Achse verläuft.

U - §7- f^{1 +} 17ί ⁽¹⁴⁾

Schließlich ergibt sich aus der Bedingung, bereits vorher den Abstand von der ersten Oberfläche der zweiten Linse 41 zu der Zwischenbildlage auf dem richtigen Wert zu halten, die folgende Beziehung:

S₃= 1/B₂ χ /n-0₄e₂ ¹JS₄' + e₂'] (15)

Durch Auflösen der Gleichungen (1) bis (5) bezüglich der Werte γ,, γ.. d ' , 0.. und 0. werden die folgenden Ergebnisse erhalten:

Ϊ3 = (1 - n₂ ') x ~- (16)

d₂ ' = n₂ ' χ S₁. Vß2 (18)

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1 Folglich wird in dein koaxialen optischen System, das

eine Verknüpfung der ersten Linse 40 und der zweiten Linsw 41 aufweist, ein Zwischenbild ( mit einem Bilddurchmesser von 0₇) des abzubildenden Gegenstandes ( mit einem Durchmesser von 0„) zuerst durch die erste Linse gebildet und anschließend wird dieses Zwischenbild durch die zweite Linse in die Projektionsebene als ein aufrechtstehendes Bild mit einem projizierten Bilddurchmesser 0. gelegt, ohne daß die Gleichförmigkeit der Helligkeit verlo-

10 ren geht. In diesem Fall muß dafür gesorgt werden, daß,

um das Bild der ganzen Gegenstandsoberfläche in der Projektionsebene ohne eine Bedingung abzubilden, indem eine Anzahl koaxialer optischer Systeme angeordnet werden, die jeweils die erste und die zweite Linse aufweisen, die op-

15 tischen Systeme im allgemeinen bei ß χ ß„ Φ~ + 1, das

heißt mit einer Vergrößerung von eins-zu-eins benutzt werden. Das heißt, die ersten und zweiten Linsen müssen so angeordnet werden, daß sie der Beziehung genügen:

ß₂ = ΊΓ ⁽²¹⁾

20 1

In diesem Fall gilt natürlich notwendigerweise:

Fe¹ = Fe (22)

Wenn schließlich in einem koaxialen optischen System mit einer Vergrößerung von eins - zu - eins und bei einer Verwendung der ersten Linse 40 und der zweiten Linse 41 ß. und Fe der ersten Linse 40 durch entsprechende Bedingungen eingestellt sind, werden ß_ und Fe' der zweiten Linse selbstverständlich mittels der Gleichungen (21) und (22) bestimmt. Hierbei muß jedoch die Tatsache beachtet werden, daß S , S ' und η ', welches die anderen Einstellwerte der ersten Linse sind, und S , S ' und η ' , welches die Einstellwerte der zweiten Linse sind, unabhängig aufgrund entsprechender Bedingungen festgelegt wenden können.

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- 26 - DE 0071

Der Unterschied in der Ausführung zwischen der ersten und der zweiten Linse führt im allgemeinen dazu, zwei Arten von Linsen herzustellen, was jedoch vom Produktionsstandpunkt her möglichst vermieden werden sollte. Unter diesem Gesichtspunkt denkt man sofort an ein koaxiales optisches System, in welchem die erste Linse symmetrisch bezüglich der Zwischenbildebene angeordnet ist, da die zweite Linse des vorerwähnten koaxialen optischen Systems mit einer aufrechtstehenden Vergrößerung von eins-zu-eins eine Kombination aus der ersten und der zweiten Linse aufweist, welche den Bedingungen (21 )und (22) genügen. Basierend auf dieser Auffassung wird es infolgedessen möglich, die erste Linse als die zweite Linse abzuleiten. In diesem Fall können die verschiedenen Elemente, welche die zweite Linse bilden,aus der folgenden Beziehung erhalten werden, wobei die verschiedenen Elemente die erste Linse bilden:

Y3= -Y2, Yu= -γι, d₂'=di^r, η₂'=ηι', φ₃=Φι,

Φ·. = Φο, 02=l/0i, S₃= -S₂ ¹, Si,¹= -Si, Fe'=Fe 20

Hierdurch wird das optische Abbildungs- oder Projektionssystem einfach.

Bei der praktischen Ausführung wurde die Anmelderin darin bestärkt, daß die erste und die zweite Linse in der Größenordnung von J^ 10% gegenüber den vorherigen Bedingungen (6) bis (10) und (16) bis (20) abweichen können, wobei die Größenordnung folgendermaßen ausgedrückt werden kann:

κ, χ (m¹ - D χ — < Yi < K₂ χ

^{1(1 Bl)} ßTsT^J

⁽ⁿⁱ' " ^{1] x}

1(1-01) - _BjSiJ

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DE 0071

* (1-n,·) χ B₁S₁ > γ₂ > κ₂ χ (1-nV) χ χ η,' χ B₁S₁ < Cl₁' < K₂ χ η,· χ B₁S₁

K₁ χ

< _φι < κ₂ χ

x Φι < φο < K₂ χ

1 Ü ι

(1-η₂·) χ -£— χ K₁ < γ₃ < K₂ χ (1-η₂·)

K₁ χ (η₂'-1) χ

SuVB₂

ß 2 ' ^J

-η₂ ' χ Su Vß2 χ K < d₂ ' < κ

(-η₂') χ Su

SuVFe'

χ K₁ < φ₃ <

_Ί ■ χ K₂

1 V₂

,S₃B₂-Su'

X φ 3 X K₂

wobei K. = 0,9 und K₂ = 1,1 ist.

Unter diesen Bedingungen

n Bedingungen

sind dann in der folgenden Tabelle I die Daten für 6 Ausführungsformen dargestellt. Die Einheit ist mm.

030023/0882

Ul

Ul

Tabelle I

Ca) O O N) Ca)

■	1	Φο,	φι.	Φο ι	I	.7	Φ!	,Φ3	§2.',S3	- 21.	B,	'α Ρ2	πι	491	Material	4	Yi	•	Y2	Ya	r.	-4	di1,	1	I a(Abstand)	68-2.04
2	2		3	.7	1.	3	3.4	- 21.	-O	.35	1.	491	Acryl	3	.61	-3.7	3.7	-3.61	11.	7	1.	68-2.04
	2.	•	3	.2	1.	4	2.4	- 21.	-O	.375	1.	491	Acryl	5	.85	-3.87	3.87	-5.86	12.		1.	8 -2.2
4	1.	34	5	.7	ι.	58	4.86	- 21.	-O	.3	1.	51633	Acryl	4	.206	-3.1	3.1	-4.206	9.	1	1.	68-2.04
5	2		3	.7	1.	3	3.4	- 21.	-O	.35	1.	491	BK7	3	.796	-3.89	3.89	-3.796	11.	7	1.	68-2.04
6	2.	6	3	.2	1.	4	2.4	- 21.	-O	.375	1.	491	Acryl	6	.15	-4.07	4.07	-6.15	12.	1.	8 -2.2
1.	34	5	1.	58	4.86	-O	.3	1.	Acryl	-3.26	3.26	9.	1.

OO Ca)

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Das zweite Linsensystem gemäß der Erfindung wird nunmehr anhand von Fig. 11 und 12 beschrieben. In diesem Linsensystem wird die Lichtstärkeverteilung in der Bildebene durch die Linsenapertur-Eklipse wie bei dem ersten Linsensystem gesteuert, um so die Gaußsche Lichtstärkeverteilung zu erhalten, wie in Fig.12 dargestellt ist. Durch überlagern des Randteils wird eine Gleichförmigkeit der Belichtung, die in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegriert ist, erreicht. Das zweite Linsensystem unterscheidet sich bezüglieh der Linsendaten von dem ersten Linsensystem, und durch Verkleinern des Abbildungsmaßstabes sowie durch Erweitern des Bildwinkels der Linse wird das Gesichtsfeld mehrmals überlagert, um eine Gleichförmigkeit der Belichtungsverteilung zu erreichen und um ferner einen Anordnungsfehler im Inneren des Linsensystems zuzulassen. In Fig.11 ist ein Zwischenbild 53 zwischen einer ersten Stablinse 50 und einer zweiten Stablinse 51 abgebildet.

Nunmehr wird der Hauptstrahl 54 beschrieben. Wenn der Lichtstrahl 55 ,welcher von dem Ende des wirksamen Gegenstandsfeldes auf das obere Ende der ersten Oberfläche der Stablinse 50 auffällt, und der Lichtstrahl 56, der von dem Ende des wirksamen Gegenstandsfeldes durch das untere Ende der zweiten Oberfläche der Stablinse 50 hindurchgeht, be-

25 trachtet werden, ist der Lichtstrahl, der genau in der Mitte der Höhen austritt, bei welchen die Strahlen 55 und 56 aus der zweiten Oberfläche austreten, und welcher parallel zu der optischen Achse in Richtung auf die Stablinse 51 verläuft, nämlich die Mitte des austretenden Lichtstrah-

les, als der Hauptlichtstrahl bezeichnet. Die Stablinse ist auf der Bildseite telezentrisch, und die Stablinse 51 ist ebenfalls auf der Bildseite telezentrisch. Der Straiil 57, der weiter unten als der Strahl 56 auffällt, geht durch die erste Oberfläche der Stablinse 50 hindurch, wo-

35 rauf er durch ein lichtabsorbierendes Element 52 gedämpft bze. geschwächt wird, und schließlich wird die Lichtstärkeverteilung in der Bildebene eine Gaußsche Verteilung. Derartige Linsensysteme sind in Richtung des Schutzes in glei-

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- 30 - _DE 0071

chen Abständen angeordnet, und wenn der folgenden Bedingung genügt ist, wird eine Gleichförmigkeit von mehreren Prozent als die Belichtungsverteilung erhalten. Hierbei ist a der AnordnungsZwischenraum.

L₁ χ Φ_λ< a <L₂ χ φ_λ (L₁ = LIe; L₂=1.36)

Die verschiedenen Elemente der Stablinsen 50 und 51 werden quantitativ mit Hilfe derselben Linsensymbole_/wie sie vorstehend angeführt sind, beschrieben. Aus der Definition der Blendenzahl F ergibt sich:

fa-

Fe 9 ' ! £_ (22)

*Ί

ebenso ergibt sich aus der paraxialen Anordnung:

■ _

• 1
wobei φ_Λ- (die Brechkraft der ersten Oberfläche)

^Y1

1 - n·
Φ^ (die Brechkraft der zweiten Oberfläche)

und _d^,

e/S-^T ist.

1 _n

2Q Die folgende Beziehung ist aufgrund der Bedingung dargestellt, daß der Hauptstrahl des wirksamen einfallenden Lichtstrahls von dem Gegenstand, nachdem er die zweite Oberfläche verlassen hat, parallel zu der optischen Achse austritt.

2

Φ₇ · ~r (24)

^e1

Φ_Λ '"—- (25)

1 S₁

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" ³¹ DE 0071

Aus der Bedingung, nach wlecher der Öffnungswirkungsgrad bei dem maximalen erforderlichen Bildwinkel null ist,ergibt sich notwendigerweise die folgende Beziehung:

-2 χ S χ φ
«0 - e7 ⁽²⁶⁾

Schließlich ergibt sich aus der Bedingung, den Abstand S-' von der zweiten Oberfläche der ersten Stablinse 50 zu der Zwischenbildlage auf einem entsprechenden Wert zu halten, notwendigerweise die folgende Beziehung:

V ⁼ jr ⁽²⁷⁾

15 ²

Durch Auflösen der Bedingungen in den Gleichungen (22) bis (27), bezüglich der Werte Y₁, γ», d ', φ. und φ~ werden die folgenden Ergebnisse erhalten:

₂₀ Ύι = - (ni · - 1) S₁ (28)

Ύ2 = Si χ S₁ χ (1 - πι') (29)

di · = 2 χ m ' χ Si * 0i (30)

²⁵ Φι -.^iZFe. (31)

ΑΦ

_Φο = _ _|j_ ₍₃₂₎

Nunmehr wird die zweite Stablinse 51 beschrieben. Die wirksame Blendenzahl F, die durch die Bedingung festgelegt ist, die sich auf die Helligkeit des projizierten Bildes bezieht, läßt sich durch die folgende Gleichung ausdrücken:

_Fe

Φ3

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³² DE 0071

Auch die Beziehung zwischen dem AbbildungsmaSstab ß« und den AusfUhrungsdaten der zweiten Stablinse 51 ist durch die folgende Gleichung gegeben:

wobei

- J

(die Brechkraft der ersten Oberfläche),

10

1 -n₂·

(die Brechkraft der zweiten Oberfläche)

20

und

15

V ⁿ2

ist.

Aus der Bedingung, nach der der Hauptstrahl des wirksamen von dem Gegenstand auftreffenden Lichtstrahlsparallel zu der optischen Achse verläuft, wenn er auf die erste Oberfläche der zweiten Stablinse 51 auftrifft, werden die fol genden Gleichungen erhalten:

²⁵

(35)

(36)

30

Aus der Bedingung, nach welcher der Öffnungswirkungsgrad bei dem maximal erforderlichen Bildwinkel null ist , ergibt sich notwendigerweise die folgende Beziehung:

0,

2 χ S ' χ 0

(37)

Schließlich ergibt sich aus der Bedingung, im vorhinein den Abstand S₃ von der ersten Oberfläche der zweiten Stablinse 51 zu der Zwischenbildlage auf einem entsprechenden Wert zu halten, notwendigerweise die folgende Beziehung!

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- 33 - DE 0071 (38)

Durch gleichzeitiges Auflösen der Bedingungen in den Gleichungen (33) bis (38) bezüglich der Größen Y₃, Y₄, d₂',0₃ und 0. werden die folgenden Ergebnisse erhalten:

Y₃ = Sw¹ * -^- χ (1 - n₂') (39)

0 2

Y* = (1 - n₂«) χ Su¹ · (40)

d,¹ = -2 χ n₂' χ S/ χ -~ (41)

(42)

φ* = -&2 χ φ₃ (43)

20 Aufgrund der Tatsache, daß das erfindungsgemäße Linsensystem ein System mit einer aufrechtstehenden Vergrößerung eins-zu-eins ist, ergibt sich:

B₂ = —— (44)

^ß1

In einer derartigen Anordnung ist die folgende Gleichung notwendigerweise selbstverständlich:

Fe¹ = Fe . (45)

Wie bereits bezüglich des ersten Linsensystems beschrieben ist, kann bei dem optischen System, das bezüglich der Zwischenbildebene symmetrisch ist, die erste Stablinse 50 als die zweite Stablinse 51 abgeleitet werden. In diesem Fall

sind die verschiedenen Elemente, welche die zweite Stab-

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- 34 - DE 0071

linse 51 bilden, mit verschiedenen Elementen, die die erste Stablinse 50 bilden, durch die folgenden Beziehungen verbunden:

Ys= -Y2, Yv= -Yi , d₂'=di', η₂ ^>βηι·, Φι=Φ_χ, Φ»=Φο, 02=1/01, S₃= -S₂ ¹, Sw¹ = -Si, Fe'=Fe

Dadurch wird das optische Projektionssystem einfach.

Ferner wurde die Anmelderin durch eine Versuchsausführung darin bestärkt, daß die erste und die zweite Linse in der Größenordnung von ^ 10 % gegenüber den vorstehend angeführten Bedingungen (28) bis (32) und (39) bis (4 3) abweichen können. Das bedeutet:

-Ki χ Si χ (ni'-l) < γι < -K₂ χ Si χ (ni'-l)

K₂ χ Si χ 0ι χ (1-ηι¹) < Υ2 1 Ki χ Si " Bi χ (1-η,¹) 2 χ Ki χ ηι¹ χ Si χ 0ι _< di¹ £ 2 χ K₂ χ ηι' * Si χ Bi

κι χ < φ, <

K₂

-κ, χ p- < Φο < -K₂ χ p

Pl- — Pl

χ Sw' χ ^- χ (1-η₂')< γι <Κ₂

P₂ — —

K₂ x Sw' x (l-n₂·) < Yw < Ki χ Sw¹ * (1-Π2¹)

-2 xKi xn₂· * Sw' xi< d₂· < -2 XK₂ χ n₂' * S,'«£ 30

_Kl χ SwVFe' < _φ| < κ, x^: N^⁷

-Ki x 0₂ x Φ3 < Φ- < -K₂ * 02 * Φ

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- 35 - DE 0071

1 wobei K. = 0,9 und K₂ = 1,1 ist.

Unter Beachtung dieser Bedingungen sind in Tabelle II die Daten von sechs AusfUhrungsformen dargestellt. Die Einheit 5 ist wieder mm.

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Tabelle II

	Φο,	Φη	Φι.	Φ3	S2 1,	-S,	Si, -S.,1	5	Bi,	1 B2	η,	',η2·	Material	Yi	54	Y2	27	Y3	-11.	54	a,·.	a (Abstand)	3 -	1.	5
1	5.	6	1.	1	4.	6	-23.	5	- O	.2	1.	491	Acryl	11.	49	-2.	57	2.27	-14.	49	13.	1.	3 -	1.	5
2	6.	2	1.	1	5.	2	-29.	4	- O	.18	1.	491	Acryl	14.	03	-2.	48	2.57	-9.	03	15.	1.	2 -	1.	4
3	4		1	1	5.	1	-18.	5	- O	.28	1.	491	Acryl	9.	74	-2.	3	2.48	-11.	74	15.	1.	3 -	1	5
4	5	6	1	.1	4.	6	-23	.5	- O	.2	1	5163	BK7	11	74	-2.	61	2.3	-14.	74	13.	1.	3 -	1	5
5	6	.2	1	.1	5.	2	-29	.4	- O	.18	1	5163	BK7	14	.5	-2.	52	2.61	- 9	5	15.	·	2 -	1	.4
6	4		1	.1	5	1	-18	-O.	28	1	.5163	BK7	9	-2	2.52		15.	1.
			a,·
8
6
1
8
6
1

CN

in η

- 37 - de 0071

Wenn ein Spiegel in dpr Zwischenbildebene der ersten und zweiten Linsensysteme vorgesehen wird, die zu der Zwischenbildebene symmetrisch sind, kann ein drittes Linsensystem mit Reflexion geschaffen werden, wie in Fig. 13 dargestellt

5 ist. Die Linsendaten für jede einzelne Stablinse 60 des dritten Linsensystems sind identisch mit denen der ersten und zweiten durchlässigen Linsensysteme.

Das Licht von dem Gegenstand D geht durch einen halbdurch-

lässigen Spiegel 61 und durch eine Stablinse 60 hindurch und schafft ein Zwischenbild auf einem Spiegel 62, von welchem das Licht zurückkommt, wieder durch die Sbablinse 60 hindurchgeht und von dem halbdurchlässigen Spiegel 61 reflektiert wird, um schließlich ein aufrechtstehendes Bild mit einer Vergrößerung von eins-zu-eins auf der Bildebene P abzubilden. Nunmehr wird anhand der Fig. 14 bis 16 das lichtabsorbierende Element gemäß der Erfindung beschrieben. Das lichtabsorbierende Element ist an einem Teil des Außendurchmessers der Stablinse vorgesehen und dient als eine Blende, die in Richtung der optischen Achse verläuft; die Lichtstärkeverteilung in der Bildebene wird durch eine Linsenapertur -Eklipse qesteuert. Somit ist es notwendiq, daß das Licht, das auf die Stablinse von einem anderen Teil als dem wirksamen Gegenstandsfeld 0_Q auftrifft, nicht als Streulicht zu der Bildebene durchgelassen wird. Eine Ausführungsform des lichtabsorbierenden Elements eines Systems mit einem Linsentubus als Stablinsen-Halteteil wird nunmehr anhand von Fig. 14A, 14B, 15A und 15B beschrieben.Ein Schwärzen der Außenfläche der Linse mit Tusche als Ersatzstoff für das lichtabsorbierende Element ist nicht zweckmäßig, da die Tusche abgeschabt wird, wenn die Stablinse in den Körpertubus eingebracht wird. Deswegen ist bei der Erfindung eine Antireflexionsmaßnahme erwünscht, die in einem großen Bereich in Richtung der optischen Achse beständig ist, um die Lichtstärkeverteilung in der Bildebene durch eine Linsenapertur-Eklipse zu steuern. Wenn der Linsentubus auch als lichtabsorbierendes Element verwendet wird, kann

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die Innenreflexion an der inneren Oberfläche des Linsentubus nicht verhindert werden, und es ist eine weitere Überlegung notwendig.

In Fig. 14A wird ein lichtabsorbierendes Element 102, das im wesentlichen denselben Brechungsindex wie den der Stablinse aufweist, zwischen die Außenflächeder Stablinsen 90 und 91 sowie die Innenfläche des Linsentubus 101 eingesetzt, und ein lichtabsorbierendes Element 103, das in der Wirkung mit dem lichtabsorbierenden Element 102 identisch ist, wird zwischen die Stablinsen 90 und 91 eingeschoben. Wenn der Innendurchmesser des lichtabsorbierendenElements 103 gleich dem des lichtabsorbierenden Elements 102 ist, können die beiden lichtabsorbierenden Elemente 102 und 103 eine Einheit bilden und fest miteinander Verbundenwerden. Vorzugsweise sollte jedoch das lichtabsorbierende Element 103 einen Brechungsindex haben, der dem von Luft angenähert ist, um eine innere Reflexion zu verhindern. Wenn das lichtabsorbierende Element 103 keinen Brechungsindex aufweist, würde die innere Reflexion null sein. Im Hinblick auf die Materialien der Stablinsen 90 und 91 sowie des lichtabsorbierenden Elements 102 können die Stablinsen 90 und 91 beispielsweise aus transparentem, lichtdurchlässigem Kunststoff hergestellt werden, und das lichtabsorbierende Element 102 kann aus einem schwarzen Kunststoff gebildet sein. Licht wird dann in dem schwarzen Kunststoff gedämpft und absorbiert.

In Fig. 14B ist ein System dargestellt, bei welchem der Körpertubus auch als ein integrales lichtabsorbierendes EIement wirkt. Das heifit, die aus transparentem Kunststoff geformten Stablinsen 90 und 91 sind in einen Tubus 101 aus schwarzem Kunststoff eingesetzt, wodurch die innere Reflexion an der Außenfläche der Stablinsen und der Innenfläche des Tubus im wesentlichen null ist.

Anhand von Fig. 15A und 15B wird nunmehr die Wirkungs-

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- 39 - DE 0071

weise der lichtabsorbierenden Elemente beschrieben. In Fig. 15A erreicht ein Lichtstrahl 104, der auf die erste Oberfläche der Stablinse 90 von einer anderen Fläche als dem wirksamen Gegenstandsfeld auftrifft, die Grenzfläche zwischen der Stablinse 90 und dem lichtabsorbierenden Element 102. Da der Brechungsindex der Stablinse 90 im wesentlichen gleich dem des lichtabsorbierenden Elements ist, ist das von der Grenzfläche reflektierte Licht 105 sehr gering, und das Licht fällt durch die Grenzfläche hindurch auf das lichtabsorbierende Element 102.

Das lichtabsorbierende Element 102 besteht aus einem Material, welches das einfallende Licht infolge von Lichtabsorption und -diffusion schwächt, so daß das Licht 106, welches durch das lichtabsorbierende Element 102 hindurchgeht und von der

15 Grenzfläche zwischen dem Element 102 und dem Linsentubus

reflektiert wird und wieder auf die Stablinse 90 fällt, oder das Licht 107, das auf den Linsentubus 101 auftrifft, null wird. Das lichtabsorbierende Element selbst hat die Wirkung, äußeres Streulicht abzufangen, und der Linsentubus sollte vorzugsweise schwarz sein, damit er dazu dienen kann, außeres Streulicht zu unterbinden.

Wie in Fig. 15B dargestellt ist, erzeugt der Lichtstrahl 108, der durch die zweite Oberfläche der Stablinse 90 hindurchgeht und dann auf das lichtabsorbierende Element 103 auftrifft, nicht notwendigerweise überflüssige Lichtstrahlen 109 bis 111. Insbesondere ist eine Beseitigung des Lichtstrahls 109 wichtig, da, wenn dieser Lichtstrahl schräg auftrifft, die reflektierte Lichtmenge größer wird. Der Brechungsindex des lichtabsorbierenden Elements 103 sollte daher in angemessener Weise dem von Luft angenähert sein; jedoch ergeben sich dadurch in Wirklichkeit keine Schwierigkeiten, selbst wenn das lichtabsorbierende Element 103 aus demselben Material wie das lichtabsorbierende Element

35 102 gebildet ist.

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Der Innendurchmesser des lichtabsorbierenden Elements kann gleich oder größer sein als der AuBendurchmesser der Linse. Das heißt, das lichtabsorbierende Element 103 reicht aus, um beinahe vollständig das Licht zu absorbieren und zu dämpfen, das den Tubus über die Außenfläche der Stablinsen hinaus erreicht. Das Material der Linsen kann ein Kunstharz sein, wie beispielsweise Akrylharz oder Styrol, oder Glas u.a., und das plattierte Material der lichtabsorbierenden Schicht kann gefärbter Kunststoff u.ä, sein. Vorzugsweise kann ein eine statische Aufladung verhinderndes Mittel mit diesen Materialien gemischt oder auf sie aufgebracht werden, um ein Haften von Staub u.ä. zu verhindern. Der wirksame Lindendurchmesser ist, wie ausgeführt, gleich dem Linsenaußendurchmesser. Wenn sich aber der wirksame Linsendurchmesser Do anscheinend von dem Linsenaußendurchmesser unterscheidet, ist dies nicht nachteilig, wenn sie im wesentlichen gleich sind. Wie in Fig. 16 dargestellt, schafft der andere Teil 112 der ersten und zweiten Oberflächen der Linse als der effektive Durchmesser Do eine rauhe Oberfläche oder lichtabsorbierende Oberfläche, und ein derartiger Teil braucht nicht als Linse zu wirken. Lichtstrahlen, die über den wirksamen Linsendurchmesser hinausgehen, werden durch die lichtabsorbierenden Elemente absorbiert und geschwächt.

In Fig. 17 ist eine Ausführungsform eines Kopiergeräts dargestellt, bei welchem die Projektionseinrichtung gemäß der Erfindung angewendet ist. Eine Trommel 160 wird mit einer konstanten Drehzahl in Pfeilrichtung von einem nichtdargestellten Motor angetrieben. Die Trommel 160 weist an ihrem Umfang eine photoempfindliche Auflage 116 aus einer elektrisch leitenden Trägerschicht, einer photoleitenden Schicht und einer transparenten, lichtdurchlässigen Isolierschicht auf. Diese photoempfindliche Auflage 161 wird zuerst mittels einer Koronaentladeeinrichtung 162 gleichförmig geladen. Die

Polarität einer derartigen Ladung ist positiv, wenn der Photoleiter ein N-Halbleiter ist, und ist negativ, wenn der

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Photoleiter ein P-Halbleiter ist. Die photoempfindliche Auflage 161 wird bildmäßig mit einer Vorlage 164 belichtet, die auf einem transparentem Wagen 163 angeordnet ist, welcher in Pfeilrichtung mit der Umfangsgeschwindigkeit der Trommel 160, multipliziert mit dem Kehrwert der Abbildungsvergrößerung bewegt;wird, d.h. im Fall einer Abbildung eines Bildes mit einer Vergrößerung von eins-zu-eins mit einer Geschwindigkeit, die gleich der Umfangsgeschwindigkeit der Trommel ist. Dieses Bild wird dann auf der photoempfindlichen Auflage 161 mittels einer Projektionslinsenanordnung 165 aufgebracht. Die Fläche der Vorlage 164, welche der Anordnung 165 gegenüberliegt, nämlich die Fläche der Vorlage, welche auf der photoempfindlichen Auflage 161 abzubilden ist, wird mit einem Beleuchtungssystem 160 aus einer Lampe und einem Reflektor beleuchtet. Wenn die zur Beleuchtung verwendete Lichtmenge entsprechend eingestellt ist, kann auch die Belichtung auf der photoempfindlichen Auflage 161 entsprechend eingestellt werden.

Gleichzeitig mit der Belichtung mittels der Anordnung 165

wird die photoempfindliche Auflage 161 mittels einer Koronaentladeeinrichtung 167 entladen, derenPolarität der der Wechselstrom-Koronaentladeeinrichtung 162 entgegengesetzt ist, wodurch ein dem Bild der Vorlage 164 entsprechendes Ladungsmuster auf der photoempfindlichen Auflage 161 ge-

25 schaffen ist. Ferner wird die ganze Oberfläche der photoempfindlichen Auflage 161 gleichförmig mit Licht von einer Lampe 168 belichtet, um dadurch ein elektrostatisches, latentes Bild mit gutem Kontrast zu schaffen. Dieses latente Bild wird mittels einer Kaskaden-Entwicklungseinrichtung

169 oder einer Entwicklungseinrichtung mit einer magnetischen Bürste in ein Tonerbild entwickelt. Anschließend wird dieses Tonerbild auf ein Kopierblatt 172 übertragen, das von einer nicht dargestellten Zuführeinrichtung aus zugeführt wird, und wird mit einer Geschwindigkeit, welche

35 gleich der der photoempfindlichen Auflage 161 ist, mittels Rollen 170 und 171 weiter befördert, wobei es mit der

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photoempfindlichen Auflage 161 in Anlage gebracht wird. Um den Ubertragungswirkungsgrad zu erhöhen, wird eine Ladung, deren Polarität der des bei dem entwickelten Bild verwendeten Toners in der übertragungs- oder Transferstation auf die Rückseite des Kopierpapiers 172 aufgebracht, und zwar mittels einer Koronaentladeeinrichtung 173. Das auf das Kopierpapier 172 übertragene Tonerbild wird mittels einer entsprechenden Fixiereinrichtung beispielsweise einer Wärme-Fixiereinrichtung fixiert, in dem es mit Hilfe von zwei Rollen 174 und 175 gegen das Kopierpapier gedrückt wird; das Kopierpapier wird dann in eine nichtdargestellte Ablage ausgetragen, x entgegengesetzt ist,

Nach der Beendigung der Bildübertragung wird die Oberfläche der photoempfindlichen Auflage durch eine federnd an- liegende Schneide 176 gereinigt, um irgendwelchen Resttoner von der Oberfläche zu entfernen, so daß dann die Einrichtung für einen weiteren Abbildungsvorgang bereit ist. Die Entladeeinrichtung 167 ist vorgesehen, um die Oberfläche der photoempfindlichen Auflage 161 gleichzeitig mit dem Aufbringen des Lichtbildes zu entladen; sie kann aber andererseits auch zwischen der Ladeeinrichtung 162 und dem Abbildungssystem angeordnet sein, um die Oberfläche der photoempfindlichen Auflage 161 vor dem Aufbringen des Lichtbildes zu entladen. In diesem Fall erübrigt sich die Lampe 168. Die photoempfindliche Auflage 161 braucht auch keine isolierende Schicht aufzuweisen. In diesem Fall sind dann die Entladeeinrichtung 167 und die Lampe 168 nicht erforderlich. Gemäß der Erfindung ist somit eine kompakte Projektionseinrichtung geschaffen, bei welcher auch ein Fehler in dem Anordnungszwischenraum der Linsensysteme zugelassen werden kann.

Gemäß der Erfindung weist somit in einem Kopiergerät mit Schlitzbelichtung eine Projektionseinrichtung durchlässige Linsensysteme auf, die jeweils eine Linse mit einer im Vergleich zu ihrem wirksamen Durchmesser großen Länge in

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Richtung der optischen Achse aufweist. Eine Teilfläche einer Vorlage wird auf eine vorbestimmte Teilfläche in einer Bildebene projiziert, und die Lichtstärkeverteilung des projizierten Teilbildes hat eine vorbestimmte zentrale Fläche, die durch eine Linsenapertur-Eklipse gesteuert wird und bezüglich zumindest der optischen Achse diametral verläuft, und eine Randfläche, die außerhalb der zentralen Fläche liegt und eine geringe, bzw. schwache Lichtstärke aufweist. Eine Anzahl derartiger Linsensysteme sind in gleichen Abständen voneinander in Längsrichtung des Schlitzes in einer Ebene senkrecht zu der optischen Achse angeordnet, so daß die Randflächen zumindest in den Linsensystemen einander überlagert sind. Ferner sind die Linsensysteme in einer Anzahl Reihen angeordnet, wobei jede Reihe genau zwischen der benachbarten Reihe angeordnet ist, wodurch, selbst wenn ein Fehler in dem Anordnungszwischenraum der Linsensysteme vorliegt, in der Schlitzfläche die Gleichförmigkeit der in der Vorlagenabtastrichtung zeitintegrierten Belichtung erhalten bleibt.

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Claims (1)

Patentansprüche

1. Projektionseinrichtung mit einem Linsensystem zum Proji- >—J

zieren einer Teilfläche eines Gegenstandes auf eine vorbestimmte Teilfläche in einer Bildebene, dadurch gekennzeichnet, daß das Linsensystem eine Stablinse (40, 41; 50, 51; 90, 91) mit einer im Vergleich zu ihrem wirksamen Durchmesser großen Länge in Richtung der optischen Achse aufweist, und zumindest an dem äußeren Umfangsteil der Stablinse (40, 41; 50, 51; 90, 91) ein lichtabsorbierendes Element (42; 52; 102) zum Schwächen und Auslöschen von einen anderen Teil der Stablinse des Linsensystems als deren wirksame Durchmesserfläche erreichenden, unnötigen Lichtstrahlen angebracht ist, so daß die Lichtstärkeverteilung über der Bildebenenfläche in dem Linsensystem durch die Apertur-Eklipse der Stablinse (40, 41; 50, 51; 90, 91) so gesteuert wird, daß die Lichtstärke in der Randfläche schwächer als zumindest in der zentralen Fläche ist.

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2. Projektionseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine Anzahl Linsensysteme im wesentlichen in gleichen Abständen in einer vorbestimmten Richtung in einer Ebene senkrecht zu der optischen Achse angeordnet sind, so daß die Lichtstärkeverteilungen zumindest in der Randfläche einander überlagert sind.

3. Projektionseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch g ekennze ichnet, daß die Linsensysteme in einer Anzahl Reihen in einer vorbestimmten Richtung in einer Ebene senkrecht zu der optischen Achse angeordnet sind, so daß jedes der Linsensysteme genau zwischen der benachbarten Reihe angeordnet ist.

4. Projektionseinrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennze ichnet, daß jedes der Linsensysteme ein lichtdurchlässiges System mit einer aufrechtstehenden Vergrößerung eins-zu-eins mit einer ersten (40,50,90) und einer zweiten Stablinse (41,51,91) ist.

5. Projektionseinrichtung nach Anspruch 4, dadurch g ekennze ichnet, daß die ersten und zweiten Stablinsen (40,41;50,51;90,91) den folgenden Linsendaten genügen, und zwar für die erste Stablinse (40,50,90): 25

K χ ^l -V^Fe

^Kl ^X £{*^K χ ¹

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K, X 0. X _Ω- ς <.0η<^Κ? ^Χ 01 ^Χ Oc

/>i^bi ο^ι /y₁b₁

K₁ = 0.9, K₂ = 1.1

wobei r₁ und r~ die Krümmungsradien der Oberfläche auf der Gegenstandsseite und der Oberfläche auf der Bildseite der ersten Stablinse sind, d.' die Dicke der Linse in der optischen Achse ist, 0₁ der wirksame Durchmesser der Linse ist, 0„ die Größe des Gegenstandes ist, η ' der Brechungsindex bei der vorgesehenen Wellenlänge ist, B₁ der Abbildungsmaßstab, S. der Abstand von der Oberfläche auf der Gegenstandsseite zu der Gegenstandsoberfläche entlang der optischen Achse ist, S_' der Abstand von der Oberfläche auf der Bildseite zu der Zwischenbildebene entlang der optischen Achse ist, und Fe die wirksame Blendenzahl F auf der Gegenstandsseite ist; und
für die zweite Stablinse (41,51,91):

S₄' , S

χ U-n ') x -/--r₁<K χ (1-n ') χ --

¹ . P₂ ~~ "~ Pl

K χ (n '-I) χ

₉c K₁ χ (-n ') χ S.¹//?- ^d ¹^K χ (-n ') χ

S₄VFe^{1 S} ₄'/Fe'

K₁ χ ^ φ-, ^K-, ^x — —

1 r τΓ ~" ^{J z}

-₍.T7

3^24 K χ φ χ -+-1-if

K₁ = 0.9, K₂ = 1.1 35

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wobei r, und r. die Krümmungsradien der Oberfläche auf der Gegenstandsseite und der Oberfläche auf der Bildseite der zweiten Stablinse sind, ä' die Dicke der Linse auf der optischen Achse ist, 0.. der wirksame Durchmesser der Linse ist, 0₄ die Größe des projizierten Bildes ist, n_' der Brechungsindex für die vorgesehene Wellenlänge ist, ß_ der Abbildungsmaßstab ist, S der Abstand von der Oberfläche auf der Gegenstandsseite zu der Zwischenbildebene entlang der optischen Achse ist, S.¹ der Abstand von der Oberfläche auf der Bildseite zu der projizierten Bildebene entlang der optischen Achse ist und Fe' die wirksame Blendenzahl F auf der Bildseite ist.

6. Projektionseinrichtung nach Anspruch 5, dadurch g e-15kennzeichnet, daß die Einrichtung den folgenden Gleichungen genügt:

^r3 ⁼ "^r2' ^r4 ⁼"^rT V ⁼ V' V ' ⁼ V' ⁰3 ⁼ W⁰O' B₂ = j , S₃ = -S₂ ¹, S₄ ¹ = -S₁, Fe¹ = Fe.

7. Projektionseinrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Anordnungs zwischenraum der Linsensystem der folgenden Formel genügt: 25

^a*K, χ

wobei a der Anordnungszwischenraum ist, 0_O1 der wirksame Durchmesser des Gegenstandsfeldes ist, K. = 0,9 und K₂ gleich 1,1 ist.

8. Projektionseinrichtung nachAnspruch 4, dadurch g ekennzeichnet, daß die ersten und die zweite Stablinse den folgenden Linsendaten genügen, und zwar die erste Stablinse (40,50,90):

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-K₁ χ (n₁'-l) χ S₁^r₁C-K₂ x (r^'-l) χ S_±

K₂ x S₁ χ β_χ χ (1-η_χ') C r₂ ^ Κ_χ χ S₁ χ β_γ χ (1-U₁') 2 χ K χ η ' XS₁ χ β ^ Ci₁ ' ^ 2 χ K₂ χ η^ XS₁ χ β

-S /Fe -S /Fe

0^{Κ Χ}

-K₁ χ -± ^ φ₀ -_ -K₂ x^
K_n = 0.9, K = 1.1

wobei r. und r die Krümmungsradien der Oberfläche auf der Gegenstandsseite und der Oberfläche auf der Bildseite der ersten Stablinse ist, d ' die Dicke der Linse auf der optischen Achse ist, 0 der wirksame Durchmesser der Linse ist, 0_r die Größe des Gegenstands ist, n₁' der Bre-

20 chungsindex für die vorgesehene Wellenlänge ist, ß. der Abbildungsmaßstab ist, S. der Abstand von der Oberfläche auf der Gegenstandsseite zu der Gegenstandsoberfläche entlang der optischen Achse ist, S ' der Abstand von der Oberfläche auf der Bildseite zu der Zwischenbildebene entlang

der optischen Achse ist und Fe die wirksame Blendenzahl F auf der Gegenstandsseite ist; und

für die zweite Stablinse (41,51,91): K₁ XS' χ -J- χ (l-n,')< r , K χ S ' χ ^- x

— ■ ji

K₂ χ (l-n₂·) χ S₄'_xr₄^K₁ χ (l-n₂') χ S₄ ¹

-2 χ κ χ η ' χ S ' χ -L_v;d₁ ^l<-2 χ K₀ χ η ' χ S ' ^χ *■ ^ ρ 2 ~ 1 ~ £■ 2. 4

S '/Fe¹ ε-Κ, χ <: ri- .- K- χ —

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-K₁ χ β₂ χ Φ₃-£ 0₄<^-κ₂ χ /B₂ χ φ₃-

9. Projektionseinrichtung nach Anspruch 8, dadurch g ekennzeichnet, daß die Einrichtung den folgenden Gleichungen genügt:

7 - -J3~· ^S3 ⁼ -^S ₂'' Y = -S₁, Fe' = Fe.

10. Projektionseinrichtung nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennze ichnet, daß der Anordnungszwischenraum der Linsensysteme der folgenden Formel genügt:

M χ φ </ a < Μ. χ rt

wobei a der Anordnungszwischenraum ist, 0₁ der wirksame Durchmesser der Stablinse, M₁ = 1,18 und M =1,36 ist.

1 1. Projektionseinrichtung nach einem der Ansprüche 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Linsensysteme ein System mit einer Reflexion und einer aufrechtstehenden Vergrößerung von eins-zu-eins mit nur einer Stablinse (60), einem halbdurchlässigen Spiegel (61) auf der Eintrittsseite der Stablinse (60) und einem Spiegel (92) auf der Austrittsseite der Stablinse (60) ist.

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