DE2905479A1

DE2905479A1 - Elektronen-strahl-fokussierung

Info

Publication number: DE2905479A1
Application number: DE19792905479
Authority: DE
Inventors: Kenneth William Hawken; Bozidar Janko
Original assignee: Tektronix Inc
Current assignee: Tektronix Inc
Priority date: 1978-02-15
Filing date: 1979-02-13
Publication date: 1979-08-16
Also published as: DE2905479C2; FR2417850B1; NL7901041A; JPS54122085A; FR2417850A1; JPS6238822B2; GB2015195A; CA1132649A

Description

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Mü rinnen, Β. 2. 1^q7^ci str-kl 11 7fifi

TEKTHONIX, Inc.,

, -Qrpqnn ^7077, U. St. A,

EI c k t r π π ρ p. s t r α4'ΐ I - F. ί ^ k ι j s: sierunn

Dip vor! \ inende Erf India mi bEziehf. sich ao-F ei-n ElektrnriEn-ätrahlsystein -öd-pr eine £lt?kt Γπτιεπ-Entl ad«nrrinhtunq z-ijm sdnrf pn E^ündnln hitic-ej tiefetiMiri'-'Pstrntil ns. Innbfin^rinrc ti Fi ζ i Fi; t -s-Itiii "die -Erf τ. ndfl-nn auf 1¹In Si/stem ;-'ii'^T- '!Πι..:.;.iji' eines V\attiπri?ii5t.TB-hi r?3 ΐ rs siner strahl rohre.*

ige Systeme ainfä Ijekangt, Bsi übVxchea schc-n ftbl-eiikBvst'niP'ip-n ioird zur Barstelliinci -van auf rnnern flild.3ctiirm eine Einzel 1 i-iseneinTicfitiarig ram FokuES- Gren dfis El pkir-nnsnstrahl bb benutzt. Es ist hi«r- bml kHinR KiirreVtur f-ür den Stranl vurqfisphen, um diesen übPT Ίρη η as amiεη Bereich des Anzeigeschirmes zu frikusniE-ren. iilenn sich "daher der Elektronenstrahl vom Mittelpunkt ri-es Bildschirmes üJeqtiEüJeqt, uird ηγ leicht rief nkussi ert, mob ei die -rirfißte .Unscharfe, d, h, eine maximale Üe-f okussi erunq in -rienjeniejen BereiciTEn des Bildschi TiUBB auftritt, die am iJeitesten uarn Mittelpunkt des Bildschirmes entfernt sind.

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ORSGINAL INSPECTED

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FGf die DarstPllunn kleiner a-lphäFtum-raeFiscfte-r: Inform-ation auf dem Bildschirm ist trine schgr Bündelung und höhere AuFlasuwet GTforde.rliErh;, es rrekannt ist eir>e Bipatential-LinsEneinricbttma mit einer nominellen Forkussi erspanmmg vrm .etwa 3ÖÖB tider mehr UoIt verwendet wird,, um den El ektrRnenstrahl am BiIdschirramittelpunkt zu f okrissi eren« Um den Strahl f nkusdynarasictT zu korri rii eren ,. ni-E-rtn eint? Bi potent I al — Linseneinrichtunn verutendet üiirtf, s&hald dnr Elektronenstrahl worn Bilrtschi rmnri ttelpunkt luenbeüxegt unrrf,. bji rd zur vorhandenen Spanmjnq an der Btpotep-tial-Linseneinri chtung eine Spannung bis etwa 5DQ UoIt _v ti? nach A-uslenkungsqjrad, h j nzuaddi ert » Das spielt sich alles im Hachspannunqishereich ah und deshalb muß der Uerstärker_r welcher der Bipotential-Linseneinrichtiinq diese zusätzliche Spannung zuführt, entsprechend isoliert und abgeschirmt werden, und es ist viel Energie erfarderlich, um dsn Fokus auf diese tilei.se dynamisch zu korrigieren oder zu bündeln.

In der US-Patentschrift 3 603 B39 sind mehrere Linseneinrichtungen zur Fokussierung des Elektronenstrahls sowie die Möglichkeit bESchrieben, einen zweiten Pvreuzungspunkt des Strahles im System zu erzeugen, um den Strahlstrom durch eine Farbkathodenstrahlröhre mit Schattenmaske zu Erhöhen. Die erforderlichen Spannungen, um den zweiten Kreuzungspunkt zu fokussieren, lassen sich hierbei nicht allzu niedrig halten. Außerdem wird die Linseneinrichtung, welche die zwsrte Über/kreuzung bewirkt, nicht dazu verwendet, um die Dsfokus-sierung der Ablenkung zu

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Es ist Aufnabe der v/orl i eienden Erfindung, ausgehend von dipsom dtand der Technik, et El eUronEn-Str inioyc^cn; verfügbar zr machen, desser· Strahl sich in Abnänpigkeit vnn der Auslenkung mit Hilfe von niedrigen Steuerspannungen innerhalb des Strahlerzeugungssystems unter Ueruder.dunq eines zweiten Elektronenstrahikreuzunnspunktns mit ειπεγ dynamischen Korrektur der Ablenkunqs-Dofokussierunn gebündelt und scharf gehalten iijcrrien kann.

Die Lösung dieser Aufoobe läßt sich nrfindungsnemäß iri einer Kathodenstrahlröhre dadurch verwi rkl ich en , daß eine Einpotential-Linseneinrichtung mit einer ZbJEi potEntial-Linseneinrichtunn kombiniert uird, wobei der Einpotential-Linseneinricfitunn eine variable niedriqc Sponiiung zugeführt wird, um die Lage der Fokussierung des zweiten Strahlkreuzungspunktes in Bezug auf die Ζωeipotential-Linseπ einrichtung zu steuern und des Fokus des Strahles in jeder Stellung auf dem Anzeigebildschirm dynamisch zu korrigieren. Weitere Lösunqsmerkmale ergeben sich aus den Ansprüchen,

Der Vorteil der Erfindung liegt nicht nur in der erzielbarEn scharfen Bündelung, sondern daß dies in einer Kathodenstrahlröhre mit einer f. i nriri gspannunq-St euerninrichtunrj für die dynamische Korrektur des Strahlfükus Erzielt uird.

Die dynamische Korrektur wirkt auf είπε Einpotential-LinsEnEinrichtung in Kombination mit einer ZwEipo-

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tontlal-Linseneinrichtung, wobei die Einpotential-Lirisene inricntunn den zweiten Kreuzunnspunkt des Elektronenstrahls entlann. dor ZwsipatHntial-Linseneinrichtunn steuert, ioach einer vorteilhaften Ahwandlunq der Erfindung kann auch bei einer Kathodenstrahlröhre eine zweifache Einpotential-Linseneinrichtunrj vorgesehen werden, Ldobei eine der Einpotem:ic;l-Linseneinrichtungen den zueiten ÜberkreuzuriQsnunkt des entsprechend entlang Geführten Elektronenstrahies steuert.

Uacn einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann bei einer Kathodenstrahlröhre eine Einpotential-Linseneinricntung mit einer Zueipütential-Linseneinrichtung auf verschiedene Weise miteinander kombiniert uerden, wobei jedoch stets zumindest die Einpotent iol-Linseneinrichtung eine Strahlbegrenzungseinrichtung aufweist, um den Elektronenstrahl zu formen und dessen Strom zu begrenzen.

Bei der Kathodenstrahlröhre nach der Erfindung kann auch eine EinpDtential-Linseneinrichtung und eine Zueipotential-Linseneinrichtung so kombiniert werden, daß der Einpotential-Linseneinrichtung eine variable niedrige Spannung zugeführt wird, um den zweiten Kreuzungspunkt des Elektronenstrahles in Bezug auf die Zweipotential=Linseneinrichtung zu steuern, und der Zweipntential=Linseneinrichtung kann eine variable Haehspannung zugeführt werden, um die Farbe der Information zu regsln, die durch den Bildschirm angezeigt tdsrden soil.

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UeitErE Einzelheit π:., Merkmale und Vorteile der /ar./.legenden Erfindung gehen hijs der folgenden Beschreib mg ucn Ausführungsbeispi e_ :r. c^rr Erfindung Ln Zusammsi! ;rr mit der beilisgenden Zaichnung hervor.

Es zeigEn:

Figur 1 - einen Längsschnitt durch eine Kathodenstrahlröhre,

Figur 2 - ein schematisches Schnittbild einss anderen AusführungsbeispiElES und

Figur 3 - die Anordnung der Elektroden nach einem weiteren Ausführungsbeispiel dsr Erfindung.

Gsmäß Figur 1 weist είπε KathodEnstrahlröhre 1G einen Glaskolban 12 mit einem Hals 14 und Einsm Trichter auf. Im Hals 14 ist ein System zum Erzeugen eines Elektronenstrahls vorgesehen, der eine Kathode 18, ein Gitter 2D, eine erste Anode 22, eine Einpotentiallinse mit Elementen Zk und 2&, eine Fokussierelektrode 20 und eine Bipotential-Linse, die das Element 2S einschließt. Das System wird υοπ einer Leiterschicht 3D auf der Innenseite des Trichters 16 ergänzt.

Die Kathode 18 liegt an Masse oder hat ein D-UaIt-Potential und uird van einer klendel 32 geheizt. Am Gitter 20 liegen -5D UoIt an. Es hat eine Öffnung 3k zum Durchlaß eines von der Kathode 18 ankommenden Elektronenstrahls 36. Die Öffnung 3k formt den Elektronenstrahl 3G und begrenzt dessen Stromdichte, wobei

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das Gitter 20 auf den Elektronenstrahl 36 einwirkt, um ihn zu konvergieren und zu veranlassen, einen ersten Kreuzungspunkt C. zwischen Gitter 2Ώ und erste Anode 22 zu bilden.

Die erste Anode 22 lieqt an 1DDG UoIt und weist eine strahlformende Öffnung 38 auf, durch welche der Elektronenstrahl 3G hindurchgeht. Das durch die Anode entwickelte elektrische Feld läßt den Elektronenstrahl 36 divergieren, sobald er durch das Element Zk der Einpotential-Linse hindurchtritt. Die Elemente Zk und 26 der Einpotential-Linse liegen an 2DDD UoIt. Das Element Zk weist eine strahlenfQrmende Öffnung kO auf, durch welche der Strahl 36 hindurchgeht, und das elektrische Feld des Elementes Zk läßt den Strahl 36 divergieren, wenn er sich längs dieses Feldes bewegt, und zwar in die Fokussierelektrode

Am Glaskolben 12 sind horizontale und vertikale Ablenkspulen kZ üblicher Bauart vorgesehen, welche durch Ablenkungssignale betrieben werden, die durch übliche X- und Y-Ablenkschaltungen kk erzeugt werden. Von den Ablenkschaltungen kk werden zusätzlich Signale abgeleitet und zu einem Fokussierverstärker kS übertragen. Der Ausgang des Fokussierverstärkers kB ist mit der Fokussierelektrode 2ß verbunden. Die Spannung der vom FDkussierverstärker kB abgegebenen Signale, welche der Fokirssierelektrode 28 zugeführt werden, schwankt zwischen D-1GD UoIt, und der Pegel der Spannung hängt von der Ablenkung ab, die über die Ablenkspulen kZ an den Elektronenstrahl 36 angelegt ist. Wenn sich

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die Ablenkung riss Elnktrunenstrahles 36 von der ,'Entralen RüMrenachse uegbeueyt, so ändert sich dip. Spannung an der Fokussi erel p.ktrode 2B. Dies bewirkt eine Änderung des elektrischen Feldes der Fokussieren! ektrodr. 2b, wobei ein Kcmvtfrrji ernn des Elektronen-GtrahlcD 36 an einer zweiten Kreuzunqssteile C„ innerhalb des Elementes 26 erfolgt, und zuar in Abhängigkeit von der Spannung an der FokussiErslEktrodE 28. Auf diese Weise bildet die Einpotential-Linse eine Abbildung der zweiten Überkreuzjnnssteile C_n zwischen der Einpotentia]-Linse und der Bipatential-Linse.

Die Leiterschicht 3G ist mit Einer Hochspannung uerbunden, beispielsujeise mit 1ß KU, und steht ebenfalls mit einem üblichsn Fluoreszenzschirm kB in Verbindung, der aus schwarzem und weißem Phosphor Pi* gebildet ist, so daß auch am Bildschirm kB 18 HU anliegen. Die zweite Kreuzungsstelle C„ des Strahles 3G wird durch die Bipotential- oder Zueifach-Linse auf eine beliebige anzeigbare Stelle auf dem Fluoreszenzschirm kB fokussiert. Für den Schirm 48 können außer dem erwähnten Phosphor natürlich andere Leuchtstoffe benutzt werden, um beispielsweise beliebige Farbe zu erzeugen.

Auf diese Weise uiird beim Gegenstand der vorliegenden Erfindung durch das Ändern der Spannung an der Fokussierelektrode 28 eine Korrektur einer Ablenk-Defokussierung bewirkt, uelchs diE Lage der zweiten ÜLerkreuzungsstelle C„ des Elektronenstrahls relativ zur Einpotential- oder Einzellinseneinrichtung steuert.

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DIc Luqr; der zideinn uberKruuzuriMss iⁿ! 1 ° :e' ::f!-:;-Of.-ijaor dnr :jtri rkc der Einpotnnt^: nl-L 1 πsnr.eiriricntunn sehr ⁿ.r\p f ':;: eil icn ; aus diesem J run de ist ein?? niedrig ε dynamiscnn Kor rekturspanmjnn erf arderl: π^Η-, die ππγίε dem f-iasse- (Γ.-u 11 - ader Erd-) Potent: gI liegt. Deshalb ist es für den Fokussierverstärker hö nicht srforderlicn, auruendiae Isolierungen qeqen hnhe Spannunq vnrziisenen. Damit ist eine Hasten- umJ Enerqi-eeinsnarunn aeiin Aufoau und Betrieb sines derartinen dynamischen Fakussierkürrekturverstärkers vernunden,

D^A e FIi₁Ur 2 zeint ein abqeuiandeltes Ausführunnsbeispiel, uD.iei nleiche üezueszeichen für gleicne Elemente veruiendei uierden. Beim Ausf ühTungsbeispi el ne- ^nB Figur 2 wird anstatt einer Zueipatential—Linse eine zujeite Einpotential-Linse veruendet. Die Elemente 24 und 2G der ersten Einpatential süuiie ein Element 5D der zweiten Einpotentiai-Linse als auch die Leiterschichh 3Q uerden miteinander und mit 10 KU verbunden. Die Fokussiert!ektroi2 26 der ersten Einpotent i al-Li ns ine ir richtung ist mit dem Ausgaic des Fokussierverstärkers 46 verbunden, dessen Spannu..;_. " ~ rleicher aJeise, tjie'in Z^".Tmenhang mit dem Ausfüh.'ungsbeispiel gemäß Figur 1 oeschiieben, im Bereich zwischen D-2DD UoIt schwanken kann. Eine Elektrode 52 der zweiten Einpotential-Linse liegt an ü UoIt. Der äetrieb der Kathodenstrahlröhre ist der nleiche, uie bei der Kathodenstrahlröhre von Figur 1,

Die Figur 3 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel eine andere Elektrodenanordnung der Erfindung, wo-

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ηπΐ nleichp -:i2zunszeichen für qleicbe Elemente veru^ndct werden. Die Ele-kirndononordnung des Ausf ijhrungsbeispieies van Finur 3 ist mit der Ausnahme gleichem A-ufhau wie die Elektrodenanordnung yon Figur 1, daß die Elemente Zk und 26 der Einpntential-Linse mit dem Fakussierverstärker 4G verbunden sind, der an diese 100-5DG Volt anlegt, und daß an die Elektrode 28 eine f^ste Spannung wan 50DÜ UoIt abgelegt ist. Auf diese Weise kann die Eirrpotential-Linse, statt daß sie für die dynamische Fokuskorrektur zum Elektronenstrahl 36 die Elektrode 28 verwendet, in ihrer Hachspannungs—Betriebsart verwendet werden, beispielsweise bei 5000 UoIt, um Strahl abweichungen zu verringern, und die Elektroden Zk und 26 können bei Niederspannung betrieben werden und für die Ablenkdefokussierung eingestellt uerden. Die Elektroden Zk und 26 sind daher die Fokussierelektrodeneinrichtung und empfangen vom Fokussierverstärker k6 eine schwankende Korrekturspannung.

Der Schirm kB kann mit üblichem Penetron-Phosphor überzagen werden, der rate oder grüne oder irgendwelche gewünschte Farben emittiert. Die Leiterschicht 30 in den Kathodenstrahlröhren deT Figuren 1 bis 3 können wahlweise über den Schalter 54 entweder mit 18 HU oder mit 12 KU verbunden werden, um die Information in roter Farbe anzuzeigen, wenn die Leiterschicht mit 12 KU verbunden ist und in grüner Farbe, wenn die Leiterschicht 30 mit 18 KU verbunden ist. Die Farbe kann zwischen rot, orange, gelb und grün schwanken, abhängig von der an die Leiterschicht 30 und damit an den Schirm 48 angelegten Spannung. Der Schalter

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kann beliebig ausgestaltet sein. Er kann helspiülsein elektronischer oder ein manueller Schalter

Bei der Kathodenstrahlröhre qemäß Figur 1 macht das Schalten der Spannung an der Leiterschicht 30 von 18 KU auf 12 KU oder umgekehrt über den Schalter 5k gleichzeitig, eine Änderung der Spannung an der Fokussierelektrode 28 erforderlich, um eine geeignete Korrektur für das Defokussieren des Elektronenstrahies 36 sicherzustellen. In gleicher Lüeise muß die Spannung bei der Kathodenstrahlröhre gemäß Figur 3 an den FokussierelektrDden Zk und 26 geändert werden, wenn die Leiterschicht 30 von 18 KU auf 10 KU oder umgekehrt geändert wird, um eine geeignete Korrektur zum Defokussieren des Elektronenstrahles 36 sicherzustellen. Im Falle der Kathodenstrahlröhre gemäß Figur 2 macht das Umschalten der Spannung an der Leiterschicht 30 von 18 KU auf 12 KU oder umgekehrt über den Schalter 5k kein Rückfokussieren des Strahles an der zuleiten Kreuzungsstelle erforderlich« Daher ist keine Änderung der Spannung der Fokussierelektrode 28 in der Kathodenstrahlröhre gemäß Figur 2 erforderlich, wenn die Spannung an der Leiterschicht 30 von einem Spannungspegel zum nächsten geschaltet wird, uiobei eine Änderung der Spannung an der Fokuasierelektrode 28 in der Kathodenstrahlröhre gemäß Figur 1 rrforderlich istj uenn eine derartigp Änderung des Spannungspegels auftritt.

Die hier dargestellten Einpotential-Linseneinrichtungen und Bipotential-LinBeneinrichtung-en wurden als elektrostatische Linsen beschrieben« Es können aber auch

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magnetische Linsen an deren Stelle verwendet werden, um daa gleiche Ergebnis zu erzielen.

Aus dem Vorhergehenden geht hervor, daß die Anwendung einer niedrigen variablen Spannung an eine Fokussierelektrode einer Einpotential-Linseneinrichtung die Lage der zweiten Kreuzungsstelle des Elektronenstrahles steuert, wobei sie die Fokussierung entlang der daran anschließenden Linseneinrichtung dynamisch steuert.

Selbstverständlich sind im Rahmen des Erfindungsgedankens weitere Änderungen und Modifizierungen der beschflieben Ausführungsbeispiele möglich.

Zusammengefaßt bezieht sich die Erfindung auf eine Kathodenstrahlröhre mit zwei kombinierten Elektranenlinseneinrichtungen, um den Elektronenstrahl an einer zweiten Kreuzungsstelle zwischen den zwei Elektronenlinsencinrichtungen zu fokussieren, wobei einer der zwei Linseneinrichtungen eine variable Spannung zugeführt wird, um die Lage der StrahlüberkreuzungsstellB zu steuern, um den Strahl auf den Anzeigeschira in beliebiger Lage auch außerhalb von der Bilrischirmmitte zu fokussieren.

Claims

München, θ. 2. 1979 str-kl 11 756

TEKTRONIX, Inc.,

Bearvertan, Oregon 97077, U.St.A.

ELEKTRONEN-STRAHL-FOHUSSIERUNG

Patentansprüche

ElektrDnen-Strahlsystem zum scharfen Bündeln eines Elektronenstrahls vorzugsweise in einer Kathodenstrahlröhre mit einer geheizten Kathode souiie einer Folge won Gitter, Anoden und Ablenkeinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Kathode (18) und erster Anode (22) eine Vorrichtung {34} zum Erzeugen eines ersten Kreuzungspunkts (C,.) des Elektrodenstrahles (36) vorgesehen ist, dem eine erste (24, 26) und eine zweite (28) Linseneinrichtung in Elektronenstrahlrichtung folgt, ujobei die erste Linseneinrichtung (24, 26) eine Fokussierelektrodeneinrichtung miifc einer an diese angelegten Fokussierspannung enthält, um einen zweiten Kreuzungspunkt (C„) des Elektronenstrahls (36) in Bezug zur zweiten Linseneinrichtung (26, 30) zu steuern, wodurch auf einem Bildschirm (48) der Elektronenstrahl (36) vom zweiten Kreuzungspunkt (Cp) durch die zweite Linseneinrichtung (28) fokussiert wird.

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2. ElektranEn-Strahlsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Linseneinrichtung (24, 26) eine Einpotentiallinse ist.

3. Elektronen-Strahlsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Linseneinrichtung (28) eine Mehrpotentiallinse ist.

km Elektronen-Strahlsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ziueite Linaeneinrichtung eine Einpotentiallinse (5G) ist.

5. Elektronen-5trahlsystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis k, dadurch gekennzeichnet , daß die erste Linaeneinrichtung eine strahlbegrenzende Öffnung (34) aufweist.

6. Elektronen-Strahlsystem nacti einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Linseneinrichtung elektrostatische Linieneinrichtungen sind.

7. Elektranen-itrahleystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ge.-kennzeichnet, daß dre zweite Linseneinrichtung eine Mehrpotential-Linsenainrichtung und der Bildschirm (ifB) monochromatisch

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S«, ElektrDnen-Strahlsystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekenn zeichnet , daß die zweite Linseneinrichtung eine Mehrpotential-Linseneinrichtung und der Bildschirm (4B) farbeinstellbar ist.

9. Elektronen-Strahlsystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis B₁ dadurch gekenn zeichnet , daß die zweite Linseneinrichtung eine Einpotential-Einrichtunb und der Bildschirm monochromatisch ist.

10. Elektronen-Strahlsystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß die zumite Linseneinrichtung sine Einpotential-Linseneinrichtung und der Bildschirm (kB) farbeinstellbar ist.

11o Elektronen-Strahlsystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet , daß die ersten Linseneinrichtungen eine erste (24) und eine zweite (26) Elektrodeneinrichtung enthilt, uielche an einer Festspannung liegen souiB rMumlich eine dritte Elektrodeneinrichtung (28) umschließ^ uielche mit einer variablen Fokussiaripannung verbunden ist_o

12_O Elakteonen-Strahlsystem nach einem ader mehreren der Ansprüche 1 bis 11„ dadurch gekennzeichnet , daß die erete Linseneinrichtung eins-erste (2k) und eine zweite (26) Elektrodeneinrichtung enthilt, welche mit der Fokussierschaltung (it£) verbunden Bind, und eine dritte Elektrodenein-

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;\"^;> ;.;: ·: \\ U^-O) ei.nscrh) i=P* . w-*-· ^-.'; ε mit. einer nC V/ P T hi) ρ rjρ Γ: Ϊ H ' ,

:ier 'insnruci^ ¹ h^: s I·⁷,. ;j a ti u. r c tr σ e F; e π- η - ζ e 1 ■; i" Vr e t_f ti β Ij ti if? r^rstt? L \ πετ?' nri cp LufTfi (?ί*) mir ·;ίπι?Γ ζωπ ί"⁴ ^r (^9Γ·} ι.τ.Ί vi.t!rtf-:r- LinsL'npiP-ricntLinn (SD) ^ij^p rir·:.- irrjtfin 'iahen Scianntina-r-"-t°'^ii;n' ? ^: f?·'.: ■„,.- !.ififif E-CHI Fvnn dr^ttp L 1 nsene .1 nr \ c\\ — ü:n.: (.'.".ü./ r»i t df?T η;'Ti'r; r>n-H ■/;:' iüaieri ^peinnu-nD ri3T FnK u sei prsch πι ⁺ w>:\ ('<0> υ er du rule π ist.

h.1 f.'(i i,rüuf?n-ätrah ί ptfpt ^r" nBrrf- ft-spruari 13, d a rf u r c η π r k r f. r· ;; ε i c π π e t _r cfnF άτε foe·+r- '· ^: ;: ^;i;,,. .-τ: i tu hu spot Ent ΐ al ^\irM arn rnei dl I i schert Ir ncjiHücintBJ: C3ö) upt

15. Kl pktronert-StrohiBystEm nach Απ5Γ"ΠΓΛεη 13 und "Λ 'johiie einem ader m^hrprr?n der vcraufnehsrrien An-SprÜChe, rf 3 rj U Γ C [! Π P k B ΓΤ Π Z !? 7 ΓΓ El Π C t , dcR rias Feste iTohe bpannunnpFirrt^nt 1 -·ζ\ zur dneinflüssuim der Bi ldsr^H j rrnf 3~i;c uxsc'tal tbar ist.

IG. E]ektrcncn-Strahlsystem nach einem oder mehreren der υ α rauf peilenden Ansn-üc'-s, d a d. u r c h ρ ρ k e η π 7 e 1 c h η e t , daö die Linsenp5r.ri::.itungen sjuechse] nd in Strablrichtur.g unters^hiedliciie (-urEhmesser aufuieisen und axial sich teilweise überlappen.

17. Elektronen-StrahlLV^^em nach einem oder mehrer-n der voraufgehenden Ansprüche, dadurch g ε -

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