DE2853414C2 - - Google Patents

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DE2853414C2
DE2853414C2 DE19782853414 DE2853414A DE2853414C2 DE 2853414 C2 DE2853414 C2 DE 2853414C2 DE 19782853414 DE19782853414 DE 19782853414 DE 2853414 A DE2853414 A DE 2853414A DE 2853414 C2 DE2853414 C2 DE 2853414C2
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DE
Germany
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rod
support
swivel
rotary shaft
support fork
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DE19782853414
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German (de)
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DE2853414A1 (de
Inventor
Wolfgang Dr.Rer.Nat. 8000 Muenchen De Keller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/28—Controlling or regulating
    • C30B13/285—Crystal holders, e.g. chucks

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
DE19782853414 1978-12-11 1978-12-11 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes Granted DE2853414A1 (de)

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DE3322629A1 (de) * 1983-06-23 1985-01-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen
JPS63270383A (ja) * 1987-04-27 1988-11-08 Shin Etsu Handotai Co Ltd 半導体結晶棒の支持装置
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DE2529366A1 (de) * 1975-07-01 1977-01-20 Wacker Chemitronic Vorrichtung zum stuetzen eines kristallinen stabes

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DE2853414A1 (de) 1980-06-19

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