DE2853414A1 - Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes - Google Patents

Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes

Info

Publication number
DE2853414A1
DE2853414A1 DE19782853414 DE2853414A DE2853414A1 DE 2853414 A1 DE2853414 A1 DE 2853414A1 DE 19782853414 DE19782853414 DE 19782853414 DE 2853414 A DE2853414 A DE 2853414A DE 2853414 A1 DE2853414 A1 DE 2853414A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
rod
retaining ring
arms
swivel arms
support
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19782853414
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2853414C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html
Inventor
Wolfgang Dr Rer Nat Keller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Corp filed Critical Siemens Corp
Priority to DE19782853414 priority Critical patent/DE2853414A1/de
Publication of DE2853414A1 publication Critical patent/DE2853414A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2853414C2 publication Critical patent/DE2853414C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/28Controlling or regulating
    • C30B13/285Crystal holders, e.g. chucks

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
DE19782853414 1978-12-11 1978-12-11 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes Granted DE2853414A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19782853414 DE2853414A1 (de) 1978-12-11 1978-12-11 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19782853414 DE2853414A1 (de) 1978-12-11 1978-12-11 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2853414A1 true DE2853414A1 (de) 1980-06-19
DE2853414C2 DE2853414C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1988-03-24

Family

ID=6056838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19782853414 Granted DE2853414A1 (de) 1978-12-11 1978-12-11 Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2853414A1 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3322629A1 (de) * 1983-06-23 1985-01-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen
US4886647A (en) * 1987-04-27 1989-12-12 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Supporting apparatus for semiconductor crystal rod
EP0544309A1 (en) * 1991-11-28 1993-06-02 Shin-Etsu Handotai Company Limited Self-clamping holder for polysilicon rod used in floating-zone single-crystal growth method
DE4318361C2 (de) * 1993-05-28 2003-02-13 Forschungsverbund Berlin Ev Stützvorrichtung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2529366A1 (de) * 1975-07-01 1977-01-20 Wacker Chemitronic Vorrichtung zum stuetzen eines kristallinen stabes

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2529366A1 (de) * 1975-07-01 1977-01-20 Wacker Chemitronic Vorrichtung zum stuetzen eines kristallinen stabes

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3322629A1 (de) * 1983-06-23 1985-01-03 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen
US4886647A (en) * 1987-04-27 1989-12-12 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Supporting apparatus for semiconductor crystal rod
EP0544309A1 (en) * 1991-11-28 1993-06-02 Shin-Etsu Handotai Company Limited Self-clamping holder for polysilicon rod used in floating-zone single-crystal growth method
US5427057A (en) * 1991-11-28 1995-06-27 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. Self-clamping holder for polysilicon rod used in floating-zone single-crystal growth method
DE4318361C2 (de) * 1993-05-28 2003-02-13 Forschungsverbund Berlin Ev Stützvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
DE2853414C2 (GUID-C5D7CC26-194C-43D0-91A1-9AE8C70A9BFF.html) 1988-03-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0241820A2 (de) Spritzling-Entnahmevorrichtung für Spritzgiessmaschinen
DE3232392C2 (de) Vorrichtung zum Ernten von Früchten und Beeren in Reihenkulturen
DE2444667C2 (de) Kreiselheuwerbungsmaschine
DE2853414A1 (de) Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes
WO1997005973A1 (de) Vorrichtung zum biegen eines bleches
DE19536664C2 (de) Computertisch
EP1461255B1 (de) Aufnahmevorrichtung für einen behälter und ein verfahren zum fixieren eines behälters
DE9214400U1 (de) Vorrichtung zum Reinigen von Schornsteinen
DE3540666C2 (de) Vorrichtung zum lotrechten Ausrichten der Hochachse eines mit einem Untergestell dreh- und neigungsverstellbar verbundenen Aufbaus
DE3346664A1 (de) Rundtakt-montage-anlage
DE2518757A1 (de) Vorrichtung zum herstellen von abfallwindungen und fadenreservewindungen auf einer spulenhuelse
DE2853415A1 (de) Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes
DE4318361C2 (de) Stützvorrichtung
DE4227844C2 (de) Höhenverstellvorrichtung für Arbeitsplatten
DE2853416A1 (de) Vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit einem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes
EP0864670A2 (de) Hebezeug für eine Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen
DE2032833A1 (de) Vorrichtung zum Feststellen eines ver stellbaren Fahrzeugsitzes oder der schwenk baren Ruckenlehne eines Fahrzeugsitzes in wahlbarer Position
DE1929413C3 (de) Einrichtung zur stufenlosen Einstellung von Teilen von Möbeln, insbesondere zu deren Höhen- und Neigungseinstellung
DE3111343C2 (de) "Vorrichtung zum Spalten von Holz"
DE3007289C2 (de) Wendetraverse
DE2548050A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum tiegelfreien zonenschmelzen eines an seinem unteren ende mit dem angeschmolzenen keimkristall versehenen halbleiterkristallstabes
DE69800829T2 (de) Vorrichtung für die Handhabung schwerer Gegenstände wie zum Beispiel Rahmen und Türen, und Schienenförderanlage
DE10114659A1 (de) Zahnärztlicher Behandlungsstuhl
EP3572056B1 (de) Tragenlagerungseinrichtung
DE20122110U1 (de) Spann- und Spreizvorrichtung zur Relativbewegung zweier Werkstücke

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8120 Willingness to grant licences paragraph 23
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee