DE2830778A1 - Elektrochemischer messfuehler mit verbesserter haftfestigkeit des elektrodensystems auf dem festelektrolyten - Google Patents

Elektrochemischer messfuehler mit verbesserter haftfestigkeit des elektrodensystems auf dem festelektrolyten

Info

Publication number
DE2830778A1
DE2830778A1 DE19782830778 DE2830778A DE2830778A1 DE 2830778 A1 DE2830778 A1 DE 2830778A1 DE 19782830778 DE19782830778 DE 19782830778 DE 2830778 A DE2830778 A DE 2830778A DE 2830778 A1 DE2830778 A1 DE 2830778A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
sensor according
electrode
thin
platinum
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19782830778
Other languages
English (en)
Other versions
DE2830778C2 (de
Inventor
Karl-Hermann Dipl Phys Friese
Wolf-Dieter Dipl Chem Haecker
Bernhard Topp
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE2830778A priority Critical patent/DE2830778C2/de
Priority to US06/054,784 priority patent/US4265724A/en
Priority to JP8755179A priority patent/JPS5515098A/ja
Publication of DE2830778A1 publication Critical patent/DE2830778A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2830778C2 publication Critical patent/DE2830778C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4075Composition or fabrication of the electrodes and coatings thereon, e.g. catalysts

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Description

""■*■ 2830 ff
Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einem elektrochemischen Meßfühler nach der Gattung des Hauptanspruchs. Bei den bekannten Meßfühlern dieser Art, z. B. in Form eines einseitig geschlossenen Pestelektrolytrohres, wird auf die dem Meßgas zugewandte Seite des Rohres eine Dünnschicht aus Platin z.B. durch Aufdampfen aufgebracht und anschließend auf diese DÜnnschicnt eine vorzugsweise aus keramischem * Material, z.B. Spinell bestehende poröse Schutzschicht aufgetragen. Diese Meßfühler haben den Nachteil, daß sie bei hohen Temperaturen des Meßgases keine befriedigende Standzeit zeigen* Dies liegt wohl daran, daß die Dünnschicht - z.B. bei Schädigung durch Bestandteile des Meßgases ihre Haftfähigkeit verliert und abgelöst wird. Dadurch verliert auch die darüberliegende poröse Schutzschicht ihren Halt, was zu weiterer Schädigung des Meßfühlers führt.
Vorteile der Erfindung
Der erfindungsgemäße elektrochemische Meßfühler mit dem kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruches hat demgegenüber den Vorteil, daß das aus einer Dünnschichtelektrode Und einer porösen Deckschicht bestehende Elektrodensystem auf dem Festelektrolyten auch bei höheren Beanspruchungen noch eine ausreichende Haftfestigkeit aufweist, so daß die DauerStandfestigkeit eines solchen Meßfühlers gegenüber den herkömmlichen gesteigert wird.
Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Hauptanspruch angegebenen Meßfühlers möglich. Der Meßfühler hat vorzugsweise die Form eines einseitig geschlossenen Rohres. Bei dieser Ausführungsform ist besonders vorteilhaft, wenn die Dünnschichtelektrode die Form eines um das Rohr herumgelegten Kammes aufweist, wobei der nicht
909885/010 8
* 4C0E
unterbrochene Teil der Elektrode sich gegen das offene Ende des Rohres hin befindet. Diese Ausführungsform bedingt keine wesentlich andere Technik bei der Herstellung des Meßfühlers gegenüber der bisher angewendeten Technik, es muß lediglich dafür gesorgt werden - z.B. durch Aufbringen einer entsprechenden Schablone -, daß die Dünnschichtelektrode im unteren und damit den Beanspruchungen am stärksten ausgesetzten Teil des Meßfühlers in Form einzelner Streifen aufgebracht wird.
Die zweite Alternative, das Zwischenschalten einer aus Katalysator und Keramik bestehenden Dickschicht, kann dann von Vorteil sein, wenn es darum geht, Meßfühler mit möglichst hoher Ansprechempfindlichkeit herzustellen.
Zeichnung
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 eine Draufsicht auf ein erstes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Meßfühlers, Fig. einen teilweisen Querschnitt durch einen Meßfühler nach dem gleichen Ausführungsbeispiel wie Fig. 1 und Fig. 3 schließlich eine Draufsicht auf einen Meßfühler nach einem anderen Ausführungsbeispiel.
Beschreibung der Erfindung
Das Ausführungsbeispiel gemäß den Figuren 1 und 2 geht von der Erkenntnis aus, daß die Haftfestigkeit einer porösen Schutzschicht z.B. aus MgAl-Spinell, die durch Plasmaspritzen aufgebracht wird, auf der nicht mit einer Dünnschichtelektrode belegten, gesinterten Festelektrolyt-Keramik befriedigend ist. Der Meßfühler nach Fig. 1 besteht aus einem einseitig geschlossenen Festelektrolytrohr 1 aus stabilisierten Zirkondioxid und weist an seinem offenen Ende einen Bund 2 auf. Die Dünnschichtelektrode 3, die vorzugsweise aus Platin'
-χ- 2830??®
besteht, hat die Form eines um das Rohr 1 herumgelegten Kammes, so daß sie im unteren Teil aus einzelnen Streifen 4 besteht, zwischen denen Streifen unbedeckter Keramikoberfläche 5 freibleiben. Diese Streifen 5 bewirken nun, daß die anschließend aufgebrachte poröse Schutzschicht 6 (Fig. 2) aus Spinell gut haftet, so daß der ganze Schutzschichtverband stabil bleibt und somit auch die Dünnschichtelektrode fixiert wird. Der zusammenhängende Teil der Dünnschichtelektrode 3, der sich vorwiegend auf' dem Bund 2 des Meßfühlers 1 befindet, sorgt für eine einwandfreie Kontaktierung der Dünnschichtelektrode beim Einbau des Meßfühlers in ein nicht dargestelltes Gehäuse.
Bei der Herstellung eines solchen Meßfühlers geht man von einem gesinterten Formkörper aus, bringt auf diesen an den Stellen 5, an denen die Keramik später, freiliegen soll, eine- Schutzlackschicht, z.B. durch Aufdrucken, auf, bedampft dann den ganzen Meßfühler in bekannter Weise mit Platin und entfernt dann den Schutzlack wieder, so daß' ein Aufbau gemäß Fig. 1 vorliegt. Anschließend bringt man die poröse Schutzschicht 6 z.B. durch Plasmaspritzen auf, wonach der fertige Meßfühler vorliegt, der eine sehr gute Haftfestigkeit des aus Dünnschichtelektrode 3 und poröser Schutzschicht 6 bestehenden Elektrodensystems auch bei extremer Beanspruchung zeigt. Die aufgedampfte Dünnschichtelektrode 3 aus Platin weist eine Dicke von 0,02 bis 20 ,um und die poröse Schutzschicht eine Dicke von 50 bis 500 ,um auf.
Das Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 geht von der Erkenntnis aus, daß die Haftfestigkeit des Elektrodensystems, das aus Dünnschichtelektrode und poröser Schutzschicht besteht, auf einer gesinterten, aus Platin und Keramik bestehenden Dickschichtfläche ausreichend ist. Der Meßfühler dieses Ausführungsbeispiels besteht wiederum aus einem einseitig geschlossenen Rohr 1 aus stabilisiertem Zirkondioxid mit einem Bund 2. Auf die Oberfläche dieses Rohres werden nun ein bis
9885/0108
ORIGINAL INSPECTED
4 480 Γ
Leiterbahnen J aus einer Mischung aus Platin und Keramik auf gebracht, und zwar derart, daß diese Leiter- . . bahnen stark aufgelöste und zerklüftete Randbefeiche & aufweisen, wie sie in einfacher Weise durch"Aufspritzen eijier jPlätin-Keramik-Suspension erhalten werden. Besonders günstig ist es, wenn zusätzlich zu diesen Leiterbahnen auf der"Oberfläche des Festelektrolyten hoöh kleine Ihseln des Dick&chichtmaterials aufgebracht werden. Alternativ dazu kann sogar die Leiterbahn ganz entfallen und unmittel-•bar' auf uem iPestelektrolyten ausschließlich derartige Inseln ftüs dein Dickschichtmaterial aufgebracht werden. Das Dicks chlchtmäteriai besteht aus Platin und Keramik im VoIumefrverhäitnis voh mindestens ii$» vorzugsweise von fetwa 2:5. Als Kefamikmaterial kommt hier vorzugsweise stabilisiertes Eirkondiöxidpulver in Betracht * wobei es - um eine.möglichst hohe AnBprechempfindlichkeit des Meßfühlers zu erreichen - ■ besondere günstig ist, wenn beispielsweise die Keramik des Festelektrolytrohres aus teilstabilisiertem Zirkondioxid mit 5 Sioi.-SE ^p0S und d^e Keramik der Oickschicht aus vollstjabilisiertem Eirkondioxidpulver mit 7 Mol.-Si besteht. Die Diehsehicht-Keramik weist somit eine geringere Sinteraktivität auf wie die Keramik des Meßfühlerkörpers, bo daß beim Sintern eine besonders günstige Porosität entsteht. Die Deckschicht kann auf den bereits fertiggebrannten Formkörper Aufgebracht werden> fes ist aber besonders günstig, wenn der ^Formkörper lediglich vorgebrannt ist und das Pertigbrennen zusammen mit den Dickschichtbereichen geschieht.
Auf den so vorbereiteten Meßfühlerkörper werden dann in bekannter Weise die in Fig. 3 nicht dargestellte Dünnschichtelektrode aufgedampft und anschließend die ebenfalls nicht dargestellte porösfe Keramik-Schutzschicht aufgebracht. Es liegt nun ein Meßfühler vor, der neben einer verbesserten Haftfestigkeit des Elektrodensystems noch eine höhere Ansprechempfindlichkeit als herkömmliche Meßfühler aufweist.
809885/0106

Claims (1)

  1. Pf/Ja 23.6.1978 ·
    Robert Bosch GmbH, 7000 Stuttgart
    Ansprüche
    1.) Elektrochemischer Meßfühler, bestehend aus einem Festelektrolytkörper und einem Elektrodensystem als Meßelek-* trode sowie einer Vergleichselektrode, wobei das Elektrodensystem aus einer Dünnschichtelektrode aus einem die Einstellung des Gasgleichgewichtes katalysierenden Materials und einer porösen Deckschicht besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschichtelektrode nur teilweise direkt den Pestelektrolyten bedeckt,
    2. Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschichtelektrode teilweise die Form einzelner Streifen aufweist und die darauf angebrachte poröse Schutzschicht teilweise direkt auf dem Festelektrolyten aufliegt.
    3· Meßfühler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Festelektrolyt teilweise eine Schicht aus einer Katalysator-Keramik-Dickschicht trägt, so daß das aus Dünnschichtelektrode und poröser Deckschicht bestehende Elektrodensystem teilweise auf der Dickschicht und teilweise auf dem Festelektrolyten aufliegt.
    909885/O1O8
    - 2 - 4 8 O ■■: ■
    k. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Pestelektrolyt aus stabilisiertem Zirkondioxid besteht. " " \" '
    5. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3» dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschichtelektrode aus Platin oder einer Platinmetallierung wie Platin-Rhodium besteht.
    6. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die poröse Deckschicht aus einem Oxid oder aus einem Gemisch mehrerer Oxide besteht.
    •7. Meßfühler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die poröse Deckschicht aus Aluminiumoxid oder MgAl-Spinell besteht.
    8. Meßfühler nach Anspruch 2, wobei der Meßfühler die Form eines einseitig geschlossenen Rohres hat, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschxchtelektrode die Form eines um das Rohr herumgelegten Kammes aufweist, wobei der nicht unterbrochene Teil der Elektrode sich gegen das offene Ende des Rohres hin befindet,
    9. Meßfühler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Katalysator-Keramik-Dickschicht die Form einzelner Leiterbahnen aufweist.
    909885/0108
    28307
    10. Meßfühler nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Katalysator-Keramik-Dickschicht die Form einzelner Inseln aufweist.
    11. Meßfühler nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Rand der Dickschichtberexche stark zerklüftet ist. ·
    12. Meßfühler nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Katalysator-Keramik-Dickschicht Platin oder eine Platin-Rhodium-Legierung sowie stabilisiertes Zirkondioxid enthält.
    13· Meßfühler nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Volumenverhältnis von Katalysator zu Keramik in der.Dickschicht oberhalb 1:5 liegt.
    909885/0108
DE2830778A 1978-07-13 1978-07-13 Elektrochemischer Meßfühler mit verbesserter Haftfestigkeit des Elektrodensystems auf dem Festelektrolyten Expired DE2830778C2 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2830778A DE2830778C2 (de) 1978-07-13 1978-07-13 Elektrochemischer Meßfühler mit verbesserter Haftfestigkeit des Elektrodensystems auf dem Festelektrolyten
US06/054,784 US4265724A (en) 1978-07-13 1979-07-05 Electrochemical sensor, particularly oxygen sensor to determine exhaust gas composition from automotive internal combustion engines
JP8755179A JPS5515098A (en) 1978-07-13 1979-07-12 Electrochemical sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2830778A DE2830778C2 (de) 1978-07-13 1978-07-13 Elektrochemischer Meßfühler mit verbesserter Haftfestigkeit des Elektrodensystems auf dem Festelektrolyten

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2830778A1 true DE2830778A1 (de) 1980-01-31
DE2830778C2 DE2830778C2 (de) 1985-10-31

Family

ID=6044275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2830778A Expired DE2830778C2 (de) 1978-07-13 1978-07-13 Elektrochemischer Meßfühler mit verbesserter Haftfestigkeit des Elektrodensystems auf dem Festelektrolyten

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4265724A (de)
JP (1) JPS5515098A (de)
DE (1) DE2830778C2 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2459971A1 (fr) * 1979-06-26 1981-01-16 Nissan Motor Capteur d'oxygene du type en pellicule mince et plate
WO1992012420A1 (de) * 1991-01-04 1992-07-23 Robert Bosch Gmbh Messfühler zur bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen
WO1992012419A1 (de) * 1991-01-04 1992-07-23 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung eines schichtsystems für gassensoren

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2904069A1 (de) * 1979-02-03 1980-08-07 Bosch Gmbh Robert Festelektrolyt fuer elektrochemische anwendungen und verfahren zur herstellung desselben
US4407704A (en) * 1979-12-04 1983-10-04 Ngk Insulators, Ltd. Oxygen concentration detector and a method of detecting oxygen concentration
JPS57194479A (en) * 1981-05-25 1982-11-30 Ngk Insulators Ltd Heating element
JPS57192856A (en) * 1981-05-25 1982-11-27 Ngk Insulators Ltd Oxygen concentration detector
JPS57192855A (en) * 1981-05-25 1982-11-27 Ngk Insulators Ltd Oxygen concentration detector
JPS57200850A (en) * 1981-06-04 1982-12-09 Ngk Insulators Ltd Detector for oxygen concentration
JPS57200849A (en) * 1981-06-04 1982-12-09 Ngk Insulators Ltd Detector for oxygen concentration
JP3811991B2 (ja) 1996-05-21 2006-08-23 株式会社デンソー 酸素センサ素子の製造方法及び酸素センサ素子
US6315880B1 (en) * 1997-10-16 2001-11-13 Mary R. Reidmeyer Chemical plating method, electrolytic cell and automotive oxygen sensor using it
JP4617599B2 (ja) * 2000-08-07 2011-01-26 株式会社デンソー ガスセンサ素子及びその製造方法
US6691553B2 (en) * 2000-08-29 2004-02-17 Delphi Technologies, Inc. Gas sensor protective shield
DE10144873A1 (de) * 2001-09-12 2003-03-27 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer Wärmeleitfähigkeitssensor mit poröser Abdeckung
US20080282769A1 (en) * 2007-05-18 2008-11-20 Charles Scott Nelson Apparatus and method for shielding a soot sensor
WO2011093975A2 (en) * 2010-01-29 2011-08-04 Fosaaen Technologies, Llc Method for producing a subminiature "micro-chip" oxygen sensor for control of internal combustion engines or other combustion processes, oxygen sensor and an exhaust safety switch

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2703390A1 (de) * 1976-02-09 1977-08-11 Toyota Motor Co Ltd Luftbrennstoffverhaeltnis-anzeigevorrichtung

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3989614A (en) * 1975-01-08 1976-11-02 Tseng Ying Tien Gas sensor
JPS5237486A (en) * 1975-09-19 1977-03-23 Hitachi Ltd Measuring instrument for oxygen content in waste gases
JPS5333194A (en) * 1976-09-08 1978-03-28 Nippon Denso Co Ltd Oxygen concentration detector
US4121988A (en) * 1975-12-19 1978-10-24 Nippondenso Co., Ltd. Oxygen sensor
JPS5916664B2 (ja) * 1976-08-07 1984-04-17 株式会社デンソー 酸素濃度検出器
JPS5329191A (en) * 1976-08-31 1978-03-18 Toyota Motor Co Ltd Oxygen sensor and method of producing same
JPS5329188A (en) * 1976-08-31 1978-03-18 Toyota Motor Co Ltd Oxygen sensor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2703390A1 (de) * 1976-02-09 1977-08-11 Toyota Motor Co Ltd Luftbrennstoffverhaeltnis-anzeigevorrichtung

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2459971A1 (fr) * 1979-06-26 1981-01-16 Nissan Motor Capteur d'oxygene du type en pellicule mince et plate
US4347114A (en) * 1979-06-26 1982-08-31 Nissan Motor Co., Ltd. Flat thin film type oxygen sensor
WO1992012420A1 (de) * 1991-01-04 1992-07-23 Robert Bosch Gmbh Messfühler zur bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen
WO1992012419A1 (de) * 1991-01-04 1992-07-23 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur herstellung eines schichtsystems für gassensoren

Also Published As

Publication number Publication date
US4265724A (en) 1981-05-05
JPS5515098A (en) 1980-02-01
DE2830778C2 (de) 1985-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2830778A1 (de) Elektrochemischer messfuehler mit verbesserter haftfestigkeit des elektrodensystems auf dem festelektrolyten
DE2913633C2 (de) Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren sowie Verfahren zur Herstellung desselben
DE2206216C3 (de) Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Abgasen, vorwiegend von Verbrennungsmotoren, sowie Verfahren zur Herstellung solcher Meßfühler
EP0604468B1 (de) Abgassensor
DE2657437C3 (de) Sauerstoff-Meßfühler
EP0552174B1 (de) Sensorelement für grenzstromsensoren zur bestimmung des lambda-wertes von gasgemischen
DE3728618C1 (de) Sensorelement fuer Grenzstromsensoren zur Bestimmung des lambda-Wertes von Gasgemischen
DE2904069C2 (de)
DE2907032A1 (de) Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen, insbesondere in abgasen von verbrennungsmotoren
EP0019731B1 (de) Polarographischer Messfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, insbesondere in Abgasen von Verbrennungsmotoren
EP0007621B1 (de) Sauerstoffsensor
DE69833592T2 (de) Verbesserte Struktur eines Sauerstoffsensorelements
DE3840703C2 (de)
DE3120159C2 (de)
DE4401749B4 (de) Sauerstoffkonzentrationssensor
DE4342064C2 (de) Gassensor
DE2911042A1 (de) Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung der sauerstoffkonzentration und verfahren zu seiner herstellung
DE2630746A1 (de) Sauerstoffsensoreinrichtung
DE3624217C2 (de)
DE4021997C2 (de) Hochtemperaturthermistor
DE2742279A1 (de) Sauerstoff-sensor
DE10133466A1 (de) Schichtverbund und mikromechanisches Sensorelement, insbesondere Gassensorelement, mit diesem Schichtverbund
DE3910272A1 (de) Sauerstoffsensor mit hoeherer bestaendigkeit bei sich wiederholenden thermischen schocks und mit kuerzerer aufwaermzeit
EP0104636A2 (de) Sauerstoffsensor und Verfahren zu dessen Herstellung
DE19532158A9 (de) Sauerstoffkonzentrationsdetektor

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee